JPH0662542U - ウエーハカセット - Google Patents

ウエーハカセット

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JPH0662542U
JPH0662542U JP006660U JP666093U JPH0662542U JP H0662542 U JPH0662542 U JP H0662542U JP 006660 U JP006660 U JP 006660U JP 666093 U JP666093 U JP 666093U JP H0662542 U JPH0662542 U JP H0662542U
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JP
Japan
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wafer
cassette
shelf
shelves
plate
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JP006660U
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English (en)
Inventor
誠一 寺島
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Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Publication date
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Priority to US08/186,848 priority patent/US5472099A/en
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls

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  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 多数枚のシリコンウエーハを自動操作で収納
できるウエーハカセットを提供する。 【構成】 略Ｖ字状の切欠部２とウエーハ有無検査用の
貫通孔４を有する棚板６の多数枚を、ウエーハ挿脱用間
隙をあけて互いに平行に設け、前記切欠部群によりウエ
ーハコンベアのウエーハ排出側先端部を挿脱できる凹部
２６を形成する。カセットの上下端部には、棚板６と同
一形状でカセット定置用の係止孔１４を有する支持板１
６を設ける。さらに切欠部２の最奥部近傍に衝合部材２
０，２２を、互いのなす角度を１３５度とし、かつ棚板
６と直交させてに設け、前記貫通孔４を衝合部材２０，
２２間の中心部に位置させる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、多数枚のシリコンウエーハ（以下、ウエーハという）を挿脱自在に 収納することができるウエーハカセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばインゴットを加工機でスライスして得られたウエーハは、後加工 や試験・分析などのために作業員により２０〜３０枚単位で専用ケースに収納さ れ、運搬されていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなハンドリングでは、ウエーハを専用ケースに収納 する際、ウエーハに塵埃等が付着し易くなるだけでなく、作業員の手間が増え、 ケースごとの移動・移載が要所において人手に頼らねばならないという問題があ った。 本考案は上記の点を解決しようとするもので、その目的は従来の専用ケースを 改良し、ウエーハを自動操作で収納できるウエーハカセットを提供することにあ る。また、ウエーハを収納したカセットごと機械操作だけで移動・移載が可能な ウエーハカセットを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のウエーハカセットは、一側に切欠部を形成した多数の棚板を 、該棚体間にウエーハ挿脱用間隙をあけて多段に設け、該間隙の奥部にウエーハ 外周端の一部が衝合しうる衝合部材を設け、前記多数の棚板切欠部によりウエー ハコンベアの先端部が挿脱可能な空間を形成したことを特徴とする。
【０００５】 請求項２に記載のウエーハカセットは、前記多数の棚板を、スペーサを介して 複数の支柱により支持・固定し、該複数の支柱の両端部には、前記棚板と同一形 状を有しカセットを所定箇所へ定置するための係止孔を形成した支持板を、前記 棚板と平行に取り付けたことを特徴とする。
【０００６】 請求項３に記載のウエーハカセットは、２枚の平板状の衝合部材は、前記棚板 切欠部の最奥部近傍に互いに対称的に対向させて衝合部材どうしのなす角度を１ ３０度〜１４０度とし、かつ前記多数の棚板と直交させて設け、前記棚板には、 前記衝合部材間間隙の対称中心部位に、ウエーハ有無検査用の貫通孔を形成した ことを特徴とする。
【０００７】
【作用】
請求項１に記載のウエーハカセットにおいては、ウエーハコンベアの先端部（ ウエーハ排出側の端部）を前記空間に挿入したのち該コンベアを作動すれば、ウ エーハは該コンベアの先端部から、カセットのウエーハ挿脱用間隙に自動的に挿 入され、前記衝合部材と衝合してカセットに収納される。
【０００８】 請求項２に記載のウエーハカセットにおいては、空カセットは係止孔を介して 所定の場所に定置されたのち上記のようにウエーハが収納され、ウエーハ収納後 のカセットは、同様に係止孔を介して所定の場所に定置される。
【０００９】 請求項３に記載のウエーハカセットにおいては、ウエーハは１３０度〜１４０ 度の角度をなすように設けた平板状の衝合部材の双方に衝合してカセットに収納 される。このために任意寸法のウエーハであっても、その中心点がほぼ同一直線 上に位置した状態で整然と収納される。 また、カセットにウエーハが収納されているか否かは、前記貫通孔を介して光 センサにより確認することたできる。
【００１０】
【実施例】
次に、本考案を図面に示す実施例により、さらに詳細に説明する。 実施例 図１，２に示すように、長方形板体の一側に略Ｖ字状（または略Ｕ字状）の切 欠部２と、該切欠部の最奥部近傍にウエーハ有無検査用の貫通孔４とを形成した 棚板６の多数枚を、該棚板間にウエーハ挿脱用の間隙８をあけて互いに平行に、 スペーサ１０を介して支柱１２の複数本により支持・固定する。 支柱１２の両端部には支持板１６を設ける。すなわち、棚板６より厚肉で棚板 ６と同一形状を有し、このウエーハカセットを所定箇所へ定置するための係止孔 （ピン孔）１４を形成した支持板１６を小ネジ１８により支柱１２に取り付けて 棚板６と平行、かつ棚板６との間に適宜間隙をあけた形態とする。 支持板１６とそれに隣接する棚板６との間に形成される間隙８ａは棚板６，６ 間の間隙よりも大きい寸法にしてあり、ウエーハカセットをロボットにより持ち 上げ、移動・移載する場合には、ロボットの爪をこの間隙８ａに挿入して所定の 動作を行なうものである。また、支持板１６の厚さは棚板６よりも厚くしてある ために、十分強度が高く、ロボットの爪を支持板１６に掛けて持ち上げたり、移 動・移載しても破損することがない。 さらに衝合部材２０，２２を小ネジ２４により棚板６と直交させて、かつ前記 貫通孔４を挟むように互いに対向させて略逆ハ字状に設ける。 前記多数枚の棚板６の切欠部群によりウエーハコンベア（図示せず）の先端部 が挿脱しうる略Ｖ字状の凹部２６が形成される。 前記棚板６、スペーサ１０、支持板１６および衝合部材２０，２２は硬質ポリ 塩化ビニル製とし、前記支柱１２はステンレスのような金属製ものとする。
【００１１】 この実施例では、前記貫通孔４は棚板６および支持板１６の幅方向中央部に位 置し、前記衝合部材２０，２２は貫通孔４の両側に対称的に設けてあり、棚板６ および支持板１６の寸法は、縦×横が約２３８ｍｍ×約２３０ｍｍとしてある。 また、衝合部材２０と２２とのなす角度は１３５度としてあり、衝合部材２０， ２２はウエーハ挿脱用間隙の奥部に設けてある。 したがって、このウエーハカセットでは、図１に示すようにφ４〜８インチの 範囲のウエーハＷを出し入れすることができ、各サイズのウエーハは、その中心 点がほぼ同一直線上に位置した状態で、かつ、大きい径のウエーハもはみ出すこ となく整然と収納され、フリーサイズのウエーハカセットとなるものである。
【００１２】 つぎに、このウエーハカセットの使用方法について説明すると、ロボットの爪 を間隙８ａに挿入して持ち上げ、所定の定位置に設けた突起部（図示せず）に係 止孔１４を係合させて所定の場所に定置する（この場合、棚板６がほぼ水平にな るようにする）ことによって、ウエーハコンベアの先端部（図示せず）を前記凹 部２６に挿入したのち該コンベアを作動すれば、ウエーハは該コンベアの先端部 から前記ウエーハ挿脱用空間に一枚ずつ自動的に挿入され、前記衝合部材と衝合 してカセットに収納される。 ウエーハ収納後のカセットは、同様に搬送ロボットにより、カセット１単位で 次工程における所定の場所に係止孔１４を介して定置される。
【００１３】
【考案の効果】
以上の説明で明かなように、請求項１に記載のウエーハカセットによれば、ウ エーハコンベアの先端部を前記空間に挿入したのち、該コンベアを作動すること で、ウエーハを自動的にカセットに収納することができ、枚葉単位の収納とカセ ット単位のロボット搬送が可能となり、ウエーハの加工システム末端まで自動化 することができる効果がある。 請求項２に記載のウエーハカセットによれば、ウエーハコンベア先端部の挿入 作業および、ウエーハ収納後のカセットを次工程の所定の場所に搬送する作業を 、搬送ロボットで自動的に行うことができる効果がある。 請求項３に記載のウエーハカセットによれば、種々のサイズのウエーハを、そ の中心点をほぼ同一直線上に位置させた状態で整然と収納することができる効果 がある。また、ウエーハ有無検査用の貫通孔を介して光センサによりカセットに ウェーハが収納されているか否かを確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例の平面図である。
【図２】図１の左側面図であって、一部を断面で示した
ものである。
【符号の説明】
２ 切欠部 ４ 貫通孔 ６ 棚板 ８ 間隙 １０ スペーサ １２ 支柱 １４ 係止孔 １６ 支持板 １８，２４ 小ネジ ２０，２２ 衝合部材 ２６ 凹部

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一側に切欠部を形成した多数の棚板を、
    該棚体間にウエーハ挿脱用間隙をあけて多段に設け、該
    間隙の奥部にウエーハ外周端の一部が衝合しうる衝合部
    材を設け、前記多数の棚板切欠部によりウエーハコンベ
    アの先端部が挿脱可能な空間を形成したことを特徴とす
    るウエーハカセット。
  2. 【請求項２】 前記多数の棚板を、スペーサを介して複
    数の支柱により支持・固定し、該複数の支柱の両端部に
    は、前記棚板と同一形状を有しカセットを所定箇所へ定
    置するための係止孔を形成した支持板を、前記棚板と平
    行に取り付けたことを特徴とする請求項１に記載のウエ
    ーハカセット。
  3. 【請求項３】 ２枚の平板状の衝合部材は、前記棚板切
    欠部の最奥部近傍に互いに対称的に対向させて衝合部材
    どうしのなす角度を１３０度〜１４０度とし、かつ前記
    多数の棚板と直交させて設け、前記棚板には、前記衝合
    部材間間隙の対称中心部位に、ウエーハ有無検査用の貫
    通孔を形成したことを特徴とする請求項２に記載のウエ
    ーハカセット。
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