JP2000323378A - レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法 - Google Patents
レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法Info
- Publication number
- JP2000323378A JP2000323378A JP12711699A JP12711699A JP2000323378A JP 2000323378 A JP2000323378 A JP 2000323378A JP 12711699 A JP12711699 A JP 12711699A JP 12711699 A JP12711699 A JP 12711699A JP 2000323378 A JP2000323378 A JP 2000323378A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- storage device
- take
- transfer hand
- receiving shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 構造が簡単であり，作業性が良く，レチクル
のサイズ及び厚さが異なっていても同一の装置で対応で
きるレチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収
納方法を提供する。 【解決手段】 一対の搬送ハンド３と，それぞれの搬送
ハンドに設けられて相互に対向する爪４と，各搬送ハン
ドに一端が取り付けられた一対の搬送ハンド受け軸９
と，各搬送ハンド受け軸を保持すると共に搬送ハンド受
け軸の軸方向と直交する方向に移動可能にされた搬送ハ
ンド受け軸保持部材と，を有して成ることによる。
のサイズ及び厚さが異なっていても同一の装置で対応で
きるレチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収
納方法を提供する。 【解決手段】 一対の搬送ハンド３と，それぞれの搬送
ハンドに設けられて相互に対向する爪４と，各搬送ハン
ドに一端が取り付けられた一対の搬送ハンド受け軸９
と，各搬送ハンド受け軸を保持すると共に搬送ハンド受
け軸の軸方向と直交する方向に移動可能にされた搬送ハ
ンド受け軸保持部材と，を有して成ることによる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，レチクルを搬送す
るためのレチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出
し収納方法の改良に関する。
るためのレチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出
し収納方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年，半導体製造用の回路図原版である
レチクル及びフォトマスクのペリクルサイズの大型化と
カセット搬送の普及が進んできている。例えば，安定し
た動作でカセットからレチクルを取り出す場合には，搬
送ハンドでレチクル側面を十分に固定するために，カセ
ットの取り出し口の反対側からシリンダ機構等によりレ
チクルを押し出す機構等が必要となる。
レチクル及びフォトマスクのペリクルサイズの大型化と
カセット搬送の普及が進んできている。例えば，安定し
た動作でカセットからレチクルを取り出す場合には，搬
送ハンドでレチクル側面を十分に固定するために，カセ
ットの取り出し口の反対側からシリンダ機構等によりレ
チクルを押し出す機構等が必要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし，レチクルの大
きさに応じて，レチクルを収納するカセットにこのシリ
ンダ機構等を取り付ける必要があり，大きさの異なるレ
チクルをカセットから取り出す場合には，シリンダ機構
等の設定を新たに行う必要があり，作業性が悪くなると
いう問題があった。また，カセットにレチクルを収納す
る場合にも，レチクルをカセットの中に押し込む機構を
必要とするため，レチクルを搬送する機器の構造が複雑
になるという問題もあった。更に，レチクルサイズ及び
厚さの多様化により，レチクルを搬送する機器により搬
送できるレチクルが限定されたり，搬送機構が各レチク
ルサイズに対応するように更に可変機構を設ける必要が
生じ，レチクルを搬送する機器の構造が複雑になるとい
う問題もあった。
きさに応じて，レチクルを収納するカセットにこのシリ
ンダ機構等を取り付ける必要があり，大きさの異なるレ
チクルをカセットから取り出す場合には，シリンダ機構
等の設定を新たに行う必要があり，作業性が悪くなると
いう問題があった。また，カセットにレチクルを収納す
る場合にも，レチクルをカセットの中に押し込む機構を
必要とするため，レチクルを搬送する機器の構造が複雑
になるという問題もあった。更に，レチクルサイズ及び
厚さの多様化により，レチクルを搬送する機器により搬
送できるレチクルが限定されたり，搬送機構が各レチク
ルサイズに対応するように更に可変機構を設ける必要が
生じ，レチクルを搬送する機器の構造が複雑になるとい
う問題もあった。
【０００４】以上の従来技術における問題に鑑み，本発
明は，構造が簡単であり，作業性が良く，レチクルのサ
イズ及び厚さが異なっていても同一の装置で対応できる
レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方
法を提供することを目的とする。
明は，構造が簡単であり，作業性が良く，レチクルのサ
イズ及び厚さが異なっていても同一の装置で対応できる
レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方
法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本出
願第１の発明のレチクル取り出し収納装置は，一対の搬
送ハンドと，それぞれの搬送ハンドに設けられて相互に
対向する爪と，各搬送ハンドに一端が取り付けられた一
対の搬送ハンド受け軸と，各搬送ハンド受け軸を保持す
ると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に移
動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と，を有して
成ることを特徴とする。
願第１の発明のレチクル取り出し収納装置は，一対の搬
送ハンドと，それぞれの搬送ハンドに設けられて相互に
対向する爪と，各搬送ハンドに一端が取り付けられた一
対の搬送ハンド受け軸と，各搬送ハンド受け軸を保持す
ると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に移
動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と，を有して
成ることを特徴とする。
【０００６】したがって，本出願第１の発明のレチクル
取り出し収納装置によれば，爪が設けられた搬送ハンド
が保持部材により作動され，搬送ハンド受け軸の長さを
調節することによって，レチクルの大きさに合わせて，
レチクルを把持し，保持部材を搬送ハンド受け軸の軸方
向と直交する方向に移動可能にすることにより，構造が
簡単であり作業性が良いレチクル取り出し収納装置を提
供することができ，レチクルのサイズ及び厚さが異なっ
ていても同一の装置で対応することが可能になる。
取り出し収納装置によれば，爪が設けられた搬送ハンド
が保持部材により作動され，搬送ハンド受け軸の長さを
調節することによって，レチクルの大きさに合わせて，
レチクルを把持し，保持部材を搬送ハンド受け軸の軸方
向と直交する方向に移動可能にすることにより，構造が
簡単であり作業性が良いレチクル取り出し収納装置を提
供することができ，レチクルのサイズ及び厚さが異なっ
ていても同一の装置で対応することが可能になる。
【０００７】本出願第２の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第１の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記保持部材が，搬送ハンド受け軸を軸方向
に移動可能に保持すること特徴とする。したがって，本
出願第２の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
レチクルの辺の長さに合致するように一対の爪間の距離
を調整し，保つことが可能になる。
装置は，本出願第１の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記保持部材が，搬送ハンド受け軸を軸方向
に移動可能に保持すること特徴とする。したがって，本
出願第２の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
レチクルの辺の長さに合致するように一対の爪間の距離
を調整し，保つことが可能になる。
【０００８】本出願第３の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第１又は本出願第２の発明のレチクル取
り出し収納装置において，前記保持部材を搬送ハンド受
け軸の軸方向と直交する方向に位置決めする位置決めユ
ニットを有して成すことを特徴とする。したがって，本
出願第３の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
レチクルを移動させる場合にレチクルを所定の場所に位
置決めすることが可能になる。
装置は，本出願第１又は本出願第２の発明のレチクル取
り出し収納装置において，前記保持部材を搬送ハンド受
け軸の軸方向と直交する方向に位置決めする位置決めユ
ニットを有して成すことを特徴とする。したがって，本
出願第３の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
レチクルを移動させる場合にレチクルを所定の場所に位
置決めすることが可能になる。
【０００９】本出願第４の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第３の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記位置決めユニットは，搬送ハンド受け軸
の軸方向と直交する方向に前記保持部材を移動可能にす
ることを特徴とする。したがって，本出願第４の発明の
レチクル取り出し収納装置によれば，レチクルを所定の
位置から取り出したり，所定の位置に収納することが可
能になる。
装置は，本出願第３の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記位置決めユニットは，搬送ハンド受け軸
の軸方向と直交する方向に前記保持部材を移動可能にす
ることを特徴とする。したがって，本出願第４の発明の
レチクル取り出し収納装置によれば，レチクルを所定の
位置から取り出したり，所定の位置に収納することが可
能になる。
【００１０】本出願第５の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第１〜本出願第４のいずれか一の発明の
レチクル取り出し収納装置において，前記保持部材が，
エアチャックであることを特徴とする。したがって，本
出願第５の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
搬送ハンド受け軸をその軸方向に滑らかに動かすことを
可能にする。
装置は，本出願第１〜本出願第４のいずれか一の発明の
レチクル取り出し収納装置において，前記保持部材が，
エアチャックであることを特徴とする。したがって，本
出願第５の発明のレチクル取り出し収納装置によれば，
搬送ハンド受け軸をその軸方向に滑らかに動かすことを
可能にする。
【００１１】本出願第６の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第１〜本出願第５のいずれか一の発明の
レチクル取り出し収納装置において，前記爪には，レチ
クルの辺に対する倣い溝が設けられて成ることを特徴と
する。したがって，本出願第６の発明のレチクル取り出
し収納装置によれば，溝の部分にレチクルの辺が把持さ
れることにより，レチクルを安定して保持することが可
能になる。ここで爪に設けられた倣い溝とは，レチクル
の辺に沿い，レチクルの辺の形状に倣う内側形状の溝で
ある。かかる倣い溝を介してレチクルの辺に爪が嵌合
し，爪によってレチクルが強固に把持される。
装置は，本出願第１〜本出願第５のいずれか一の発明の
レチクル取り出し収納装置において，前記爪には，レチ
クルの辺に対する倣い溝が設けられて成ることを特徴と
する。したがって，本出願第６の発明のレチクル取り出
し収納装置によれば，溝の部分にレチクルの辺が把持さ
れることにより，レチクルを安定して保持することが可
能になる。ここで爪に設けられた倣い溝とは，レチクル
の辺に沿い，レチクルの辺の形状に倣う内側形状の溝で
ある。かかる倣い溝を介してレチクルの辺に爪が嵌合
し，爪によってレチクルが強固に把持される。
【００１２】本出願第７の発明のレチクル取り出し収納
装置は，本出願第６の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記倣い溝の断面形状が，Ｖ字形状であるこ
とを特徴とする。したがって，本出願第７の発明のレチ
クル取り出し収納装置によれば，Ｖ字形状のテーパ部分
にレチクルの辺が把持されることにより，レチクルを安
定して保持することが可能になる。
装置は，本出願第６の発明のレチクル取り出し収納装置
において，前記倣い溝の断面形状が，Ｖ字形状であるこ
とを特徴とする。したがって，本出願第７の発明のレチ
クル取り出し収納装置によれば，Ｖ字形状のテーパ部分
にレチクルの辺が把持されることにより，レチクルを安
定して保持することが可能になる。
【００１３】本出願第８の発明のレチクル取り出し方法
は，一対の搬送ハンドに相互に対向して設けられたレチ
クルを把持する爪によって，レチクル側面を把持して，
レチクルが保持され得る限界位置付近までレチクルを引
き出し，その後，レチクル側面部分を前記爪によって再
度把持して，カセットからレチクルを引き出すことを特
徴とする。
は，一対の搬送ハンドに相互に対向して設けられたレチ
クルを把持する爪によって，レチクル側面を把持して，
レチクルが保持され得る限界位置付近までレチクルを引
き出し，その後，レチクル側面部分を前記爪によって再
度把持して，カセットからレチクルを引き出すことを特
徴とする。
【００１４】したがって，本出願第８の発明のレチクル
取り出し方法によれば，爪が設けられた搬送ハンドが作
動され，搬送ハンド受け軸の長さを調節することによっ
て，レチクルの大きさに合わせて，レチクルを把持し，
レチクルを搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に
自在に動かし，作業性が良いレチクル取り出し方法を提
供することができ，レチクルのサイズ及び厚さが異なっ
ていても同一の装置で対応することが可能になる。
取り出し方法によれば，爪が設けられた搬送ハンドが作
動され，搬送ハンド受け軸の長さを調節することによっ
て，レチクルの大きさに合わせて，レチクルを把持し，
レチクルを搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に
自在に動かし，作業性が良いレチクル取り出し方法を提
供することができ，レチクルのサイズ及び厚さが異なっ
ていても同一の装置で対応することが可能になる。
【００１５】本出願第９の発明のレチクル収納方法は，
一対の搬送ハンドに相互に対向して設けられたレチクル
を把持する爪によって，レチクル側面を把持して，所定
位置までレチクルを収納した後，レチクルから搬送ハン
ドを離間させ，次いで搬送ハンドでレチクルをカセット
に押し込むことを特徴とする。
一対の搬送ハンドに相互に対向して設けられたレチクル
を把持する爪によって，レチクル側面を把持して，所定
位置までレチクルを収納した後，レチクルから搬送ハン
ドを離間させ，次いで搬送ハンドでレチクルをカセット
に押し込むことを特徴とする。
【００１６】したがって，本出願第９の発明のレチクル
収納方法によれば，爪が設けられた搬送ハンドが作動さ
れ，搬送ハンド受け軸の長さを調節することによって，
レチクルの大きさに合わせて，レチクルを把持し，レチ
クルを搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に自在
に動かすことにより，作業性が良いレチクル取り出し収
納方法を提供することができ，レチクルのサイズ及び厚
さが異なっていても同一の装置で対応することが可能に
なる。また，搬送ハンドを閉じることにより，その閉じ
た搬送ハンドを用いて，レチクルをカセットに安定して
収納することが可能になる。ここに，所定位置とは，カ
セットにレチクルが収納されるべき位置であって，カセ
ットの奥までレチクルが収納され，レチクルがカセット
からはみ出さない位置を示す。
収納方法によれば，爪が設けられた搬送ハンドが作動さ
れ，搬送ハンド受け軸の長さを調節することによって，
レチクルの大きさに合わせて，レチクルを把持し，レチ
クルを搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に自在
に動かすことにより，作業性が良いレチクル取り出し収
納方法を提供することができ，レチクルのサイズ及び厚
さが異なっていても同一の装置で対応することが可能に
なる。また，搬送ハンドを閉じることにより，その閉じ
た搬送ハンドを用いて，レチクルをカセットに安定して
収納することが可能になる。ここに，所定位置とは，カ
セットにレチクルが収納されるべき位置であって，カセ
ットの奥までレチクルが収納され，レチクルがカセット
からはみ出さない位置を示す。
【００１７】
【発明の実施の形態】実施の形態 本発明における実施の形態のレチクル取り出し収納装置
を，図１〜図４を参照して説明する。また本明細書で
は，同一又は同等の部位には同一符号を付して説明す
る。
を，図１〜図４を参照して説明する。また本明細書で
は，同一又は同等の部位には同一符号を付して説明す
る。
【００１８】本実施の形態に係るレチクル取り出し収納
装置は，以下の装置で構成されている。すなわち，レチ
クル１の側面を把持し固定する爪４と，レチクル１の側
面に平行に設置されている平板状の搬送ハンド３が設置
されている。搬送バンド３のレチクル１に最も近い位置
に爪４が取り付けられている。また，爪４には，レチク
ル１の側面に合致するように倣い溝１０すなわち，断面
Ｖ字状の溝１０が設けられている。これらの搬送ハンド
３と爪４は，レチクル１を挟むように，１つのレチクル
１に対して２つ設けられている。また，爪４が設置され
ている搬送ハンド３面と同一面上の所定位置に一端が取
り付けられた搬送ハンド受け軸９が設置されている。搬
送ハンド３と接続されたこの端部とは別の端部から搬送
ハンド受け軸９が挿入され保持されており，軸方向に自
在に搬送ハンド受け軸９を動かすエアチャック５が設け
られている。また，エアチャック５は，エアチャック支
持台８により支えられている。更に，搬送ハンド受け軸
９の軸方向と直交する方向の所定位置に，エアチャック
支持台８を移動し，その位置を保持する位置決めユニッ
ト６が設置されている。
装置は，以下の装置で構成されている。すなわち，レチ
クル１の側面を把持し固定する爪４と，レチクル１の側
面に平行に設置されている平板状の搬送ハンド３が設置
されている。搬送バンド３のレチクル１に最も近い位置
に爪４が取り付けられている。また，爪４には，レチク
ル１の側面に合致するように倣い溝１０すなわち，断面
Ｖ字状の溝１０が設けられている。これらの搬送ハンド
３と爪４は，レチクル１を挟むように，１つのレチクル
１に対して２つ設けられている。また，爪４が設置され
ている搬送ハンド３面と同一面上の所定位置に一端が取
り付けられた搬送ハンド受け軸９が設置されている。搬
送ハンド３と接続されたこの端部とは別の端部から搬送
ハンド受け軸９が挿入され保持されており，軸方向に自
在に搬送ハンド受け軸９を動かすエアチャック５が設け
られている。また，エアチャック５は，エアチャック支
持台８により支えられている。更に，搬送ハンド受け軸
９の軸方向と直交する方向の所定位置に，エアチャック
支持台８を移動し，その位置を保持する位置決めユニッ
ト６が設置されている。
【００１９】レチクル１を複数枚収納可能なカセット２
は，上下方向に移動するエレベータ７上に配置される。
搬送ハンド３は，レチクル１の辺に沿ってその溝がつい
ているＶ字形状の爪４を有し，平行開閉型のエアチャッ
ク５によって開閉動作をし，Ｖ字のテーパ面にてレチク
ル１の側面エッジを押さえることによりレチクル１を把
持する。その際，レチクル１の厚さ方向の中心と，爪４
のＶ字の中心が一致するようにエレベータ７は上下方向
に位置決めしている。また，エアチャック５は，搬送ハ
ンド受け軸９の軸方向と直交する方向に移動可能な位置
決めユニット６によって，レチクル１を移動すべき場
所，又はレチクル１を押し込むための最適な場所に位置
決めされる。
は，上下方向に移動するエレベータ７上に配置される。
搬送ハンド３は，レチクル１の辺に沿ってその溝がつい
ているＶ字形状の爪４を有し，平行開閉型のエアチャッ
ク５によって開閉動作をし，Ｖ字のテーパ面にてレチク
ル１の側面エッジを押さえることによりレチクル１を把
持する。その際，レチクル１の厚さ方向の中心と，爪４
のＶ字の中心が一致するようにエレベータ７は上下方向
に位置決めしている。また，エアチャック５は，搬送ハ
ンド受け軸９の軸方向と直交する方向に移動可能な位置
決めユニット６によって，レチクル１を移動すべき場
所，又はレチクル１を押し込むための最適な場所に位置
決めされる。
【００２０】つぎに，動作について図４を参照して説明
する。カセット２からレチクル１を取り出す場合は，図
４ａのようにカセット２に収納されているレチクル１の
わずかにはみだしている側面を，爪４の付いた搬送ハン
ド３が把持し，図４ｂのようにカセット２からレチクル
１が保持され得る限界位置付近まで位置決めユニット６
が移動する。この時点ではレチクル１の端をわずかに把
持しているだけで安定して把持できてないので，ここで
一度搬送ハンド３を開いてレチクル１を離し，図４ｃの
ように位置決めユニット６がカセット２側に移動してレ
チクル１の側面のより広範な部分を再度把持し直す。そ
して搬送ハンド３がレチクル１を安定に把持した状態
で，カセット２からレチクル１を完全に引き出して図４
ｄの状態になる。一方，カセット２にレチクル１を収納
する場合は，図１ｅのように搬送ハンド３がカセット２
に接触せず，かつレチクル１がカセット２から落ちない
状態に位置決めユニット６が移動し，そこで一度搬送ハ
ンド３がレチクル１を離す。そして図１ｆのように搬送
ハンド３はレチクル１から離れる方向に移動し，爪４の
間にレチクル１が無い状態でエアチャック５をストロー
クエンドまで閉じる。その後，図１ｇのように爪４の端
面でレチクル１をカセット２の奥まで押し込んでから，
搬送ハンド３は後ろに退避する。
する。カセット２からレチクル１を取り出す場合は，図
４ａのようにカセット２に収納されているレチクル１の
わずかにはみだしている側面を，爪４の付いた搬送ハン
ド３が把持し，図４ｂのようにカセット２からレチクル
１が保持され得る限界位置付近まで位置決めユニット６
が移動する。この時点ではレチクル１の端をわずかに把
持しているだけで安定して把持できてないので，ここで
一度搬送ハンド３を開いてレチクル１を離し，図４ｃの
ように位置決めユニット６がカセット２側に移動してレ
チクル１の側面のより広範な部分を再度把持し直す。そ
して搬送ハンド３がレチクル１を安定に把持した状態
で，カセット２からレチクル１を完全に引き出して図４
ｄの状態になる。一方，カセット２にレチクル１を収納
する場合は，図１ｅのように搬送ハンド３がカセット２
に接触せず，かつレチクル１がカセット２から落ちない
状態に位置決めユニット６が移動し，そこで一度搬送ハ
ンド３がレチクル１を離す。そして図１ｆのように搬送
ハンド３はレチクル１から離れる方向に移動し，爪４の
間にレチクル１が無い状態でエアチャック５をストロー
クエンドまで閉じる。その後，図１ｇのように爪４の端
面でレチクル１をカセット２の奥まで押し込んでから，
搬送ハンド３は後ろに退避する。
【００２１】上述したように，レチクル取り出し収納装
置を動作させることによるほかに，更にレチクル１を安
定してカセット２から取り出し，カセット２に収納する
ことが可能になるレチクル取り出し収納方法を以下に説
明する。搬送ハンド３がレチクル１を把持したときにレ
チクル１の自重により，レチクル１の先端部がわずかに
下に傾いたまま取出収納をおこなうことになる。この
時，レチクル１とカセット２が接触しないようにエレベ
ータ７を少し下げる。以下にその動作の詳細について図
４を用いて説明する。まず，カセット２からレチクル１
を取り出す場合は，図４ａでレチクル１の側面を搬送ハ
ンド３が把持した状態においてエレベータ７を少し下
げ，レチクル１とカセット２が接触しないようにする。
つぎに，図４ｂのようにカセット２からレチクル１が保
持され得る限界位置付近まで位置決めユニット６が移動
した時点で，エレベータ７を元の位置に戻してから搬送
ハンド３を開いてレチクル１を離し，図４ｃのようにカ
セット２側に位置決めユニット６が移動して，レチクル
１の側面のより広範な部分を搬送ハンド３に付属する爪
４が再度把持し直す。そして，エレベータ７を少し下げ
て，カセット２からレチクル１を完全に引き出して，図
４ｄの状態にする。一方，カセット２にレチクル１を収
納する場合は，図４ｅのようにエレベータ７を少し下げ
た状態でレチクル１がカセット２から落ちない位置に位
置決めユニット６が移動し，そこでエレベータ７を元に
戻してから一度搬送ハンド３がレチクル１を離す。つぎ
に，図４ｂの位置に搬送ハンド３が下がり，レチクル１
を浅く再度把持し直す。そして，エレベータ７を少し下
げて，レチクル１をカセット２の奥まで入れて図４ａの
状態となり，つぎにエレベータ７を元に戻してから搬送
ハンド３がレチクル１を離して，搬送ハンド３は後ろに
退避する。
置を動作させることによるほかに，更にレチクル１を安
定してカセット２から取り出し，カセット２に収納する
ことが可能になるレチクル取り出し収納方法を以下に説
明する。搬送ハンド３がレチクル１を把持したときにレ
チクル１の自重により，レチクル１の先端部がわずかに
下に傾いたまま取出収納をおこなうことになる。この
時，レチクル１とカセット２が接触しないようにエレベ
ータ７を少し下げる。以下にその動作の詳細について図
４を用いて説明する。まず，カセット２からレチクル１
を取り出す場合は，図４ａでレチクル１の側面を搬送ハ
ンド３が把持した状態においてエレベータ７を少し下
げ，レチクル１とカセット２が接触しないようにする。
つぎに，図４ｂのようにカセット２からレチクル１が保
持され得る限界位置付近まで位置決めユニット６が移動
した時点で，エレベータ７を元の位置に戻してから搬送
ハンド３を開いてレチクル１を離し，図４ｃのようにカ
セット２側に位置決めユニット６が移動して，レチクル
１の側面のより広範な部分を搬送ハンド３に付属する爪
４が再度把持し直す。そして，エレベータ７を少し下げ
て，カセット２からレチクル１を完全に引き出して，図
４ｄの状態にする。一方，カセット２にレチクル１を収
納する場合は，図４ｅのようにエレベータ７を少し下げ
た状態でレチクル１がカセット２から落ちない位置に位
置決めユニット６が移動し，そこでエレベータ７を元に
戻してから一度搬送ハンド３がレチクル１を離す。つぎ
に，図４ｂの位置に搬送ハンド３が下がり，レチクル１
を浅く再度把持し直す。そして，エレベータ７を少し下
げて，レチクル１をカセット２の奥まで入れて図４ａの
状態となり，つぎにエレベータ７を元に戻してから搬送
ハンド３がレチクル１を離して，搬送ハンド３は後ろに
退避する。
【００２２】また，本発明はレチクル及びフォトマスク
に限らず，液晶基板など全ての方形板に関して，図１に
示すような形状のカセットからの取出収納に適用するこ
とが可能である。
に限らず，液晶基板など全ての方形板に関して，図１に
示すような形状のカセットからの取出収納に適用するこ
とが可能である。
【００２３】以上の本発明の実施の形態のレチクル取出
し収納装置及びレチクル取出し収納方法によれば，一対
の搬送ハンドと，それぞれの搬送ハンドに設けられて相
互に対向する爪と，各搬送ハンドに一端が取り付けられ
た一対の搬送ハンド受け軸と，各搬送ハンド受け軸を保
持すると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向
に移動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と，を有
して成ることにより，構造が簡単であり，作業性が良
く，レチクル等の方形状板のサイズ及び厚さが異なって
いても同一の装置で対応することが可能なレチクル取出
し収納装置及びレチクル取出し収納方法を提供すること
が可能になる。
し収納装置及びレチクル取出し収納方法によれば，一対
の搬送ハンドと，それぞれの搬送ハンドに設けられて相
互に対向する爪と，各搬送ハンドに一端が取り付けられ
た一対の搬送ハンド受け軸と，各搬送ハンド受け軸を保
持すると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向
に移動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と，を有
して成ることにより，構造が簡単であり，作業性が良
く，レチクル等の方形状板のサイズ及び厚さが異なって
いても同一の装置で対応することが可能なレチクル取出
し収納装置及びレチクル取出し収納方法を提供すること
が可能になる。
【図１】 本発明における実施の形態のレチクル取り出
し収納装置及びカセットの側面図である。
し収納装置及びカセットの側面図である。
【図２】 本発明における実施の形態のレチクル取り出
し収納装置の上面図である。
し収納装置の上面図である。
【図３】 本発明における実施の形態のレチクル取り出
し収納装置の正面図である。
し収納装置の正面図である。
【図４】 本発明における実施の形態のレチクル取り出
し収納装置及びレチクル取り出し収納方法を示す図であ
る。
し収納装置及びレチクル取り出し収納方法を示す図であ
る。
１ レチクル ２ カセット ３ 搬送ハンド ４ 爪 ５ エアチャック ６ 位置決めユニット ７ エレベータ ８ エアチャック支持台 ９ 搬送ハンド受け軸 １０ 倣い溝
Claims (9)
- 【請求項１】 一対の搬送ハンドと，それぞれの搬送ハ
ンドに設けられて相互に対向する爪と，各搬送ハンドに
一端が取り付けられた一対の搬送ハンド受け軸と，各搬
送ハンド受け軸を保持すると共に搬送ハンド受け軸の軸
方向と直交する方向に移動可能にされた搬送ハンド受け
軸保持部材と，を有して成ることを特徴とするレチクル
取り出し収納装置。 - 【請求項２】 前記保持部材が，搬送ハンド受け軸を軸
方向に移動可能に保持すること特徴とする請求項１に記
載のレチクル取り出し収納装置。 - 【請求項３】 前記保持部材を搬送ハンド受け軸の軸方
向と直交する方向に位置決めする位置決めユニットを有
して成すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
のレチクル取り出し収納装置。 - 【請求項４】 前記位置決めユニットは，搬送ハンド受
け軸の軸方向と直交する方向に前記保持部材を移動可能
にすることを特徴とする請求項３に記載のレチクル取り
出し収納装置。 - 【請求項５】 前記保持部材が，エアチャックであるこ
とを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一に記載
のレチクル取り出し収納装置。 - 【請求項６】 前記爪には，レチクルの辺に対する倣い
溝が設けられて成ることを特徴とする請求項１〜請求項
５のいずれか一に記載のレチクル取り出し収納装置。 - 【請求項７】 前記倣い溝の断面形状が，Ｖ字形状であ
ることを特徴とする請求項６に記載のレチクル取り出し
収納装置。 - 【請求項８】 一対の搬送ハンドに相互に対向して設け
られた爪によってレチクル側面を把持し，レチクルが保
持され得る限界位置付近までレチクルを引き出し，その
後，レチクル側面部分を前記爪によって再度把持して，
カセットからレチクルを引き出すことを特徴とするレチ
クル取り出し方法。 - 【請求項９】 一対の搬送ハンドに相互に対向して設け
られた爪によってレチクル側面を把持し，所定位置まで
レチクルを収納した後，レチクルから搬送ハンドを離間
させ，次いで搬送ハンドでレチクルをカセットに押し込
むことを特徴とするレチクル収納方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12711699A JP2000323378A (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12711699A JP2000323378A (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000323378A true JP2000323378A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=14952014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12711699A Pending JP2000323378A (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000323378A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007258450A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの保持機構 |
| JP2017175139A (ja) * | 2011-06-23 | 2017-09-28 | ディーエムエス ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハーＤＭＳ Ｄｙｎａｍｉｃ Ｍｉｃｒｏ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ＧｍｂＨ | ワークピースを保持するためのロボットハンドラ、およびワークピースを搬送するための方法 |
-
1999
- 1999-05-07 JP JP12711699A patent/JP2000323378A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007258450A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの保持機構 |
| JP4634950B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2011-02-16 | 株式会社ディスコ | ウエーハの保持機構 |
| JP2017175139A (ja) * | 2011-06-23 | 2017-09-28 | ディーエムエス ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハーＤＭＳ Ｄｙｎａｍｉｃ Ｍｉｃｒｏ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ＧｍｂＨ | ワークピースを保持するためのロボットハンドラ、およびワークピースを搬送するための方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100457762B1 (ko) | 기판캐리어 | |
| TW201242863A (en) | Transmission box | |
| EP1387217A3 (en) | Lithography exposure apparatus having an evacuable reticle library coupled to a vacuum chamber | |
| JP2004014785A (ja) | 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム | |
| US20200373194A1 (en) | Process kit ring adaptor | |
| JP2014032992A (ja) | 基板保持リング把持機構 | |
| JP2000323378A (ja) | レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法 | |
| JPH05182891A (ja) | 基板の位置決め装置 | |
| JPH11284059A (ja) | 半導体ウェハ把持装置 | |
| JP4434901B2 (ja) | 試料搬送装置 | |
| JP2005166758A (ja) | カセット台およびウエハ検査装置 | |
| JPH07201947A (ja) | ウェハー搬送用のロボットハンドおよびこのロボットハンドによるウェハーの保持方法 | |
| KR20060134740A (ko) | 웨이퍼 이송 장치 | |
| CN103915367B (zh) | 刻蚀清洗工艺中的硅片搬送方法及设备 | |
| WO2019206014A1 (zh) | 承载装置和曝光机 | |
| JP2014190998A (ja) | 基板収納ケース | |
| JPH0298956A (ja) | 半導体基板搬送方法 | |
| JPH1012697A (ja) | 基板挿抜装置 | |
| JP2003188232A (ja) | 可変圧チャンバ内の半導体の動きを抑制するシステム及び方法 | |
| JP3371002B2 (ja) | ウェハの搬送方法 | |
| JP2008277613A (ja) | 基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取出方法 | |
| KR100550349B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 핸들링 장치 | |
| JP2947576B2 (ja) | 収納治具の挟持構造および挟持方法 | |
| JP2834970B2 (ja) | 基板収納装置 | |
| US20150037122A1 (en) | Station arrangement for processing and/or measuring semiconductor wafers, and also processing method |