JP2008141106A - ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 - Google Patents
ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008141106A JP2008141106A JP2006328047A JP2006328047A JP2008141106A JP 2008141106 A JP2008141106 A JP 2008141106A JP 2006328047 A JP2006328047 A JP 2006328047A JP 2006328047 A JP2006328047 A JP 2006328047A JP 2008141106 A JP2008141106 A JP 2008141106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- portions
- holding structure
- transfer container
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 72
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 276
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 7
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 5
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 4
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】蓋体7の裏面側7aに固定される一対の支持枠部10,10の間に、下面10a側と略面一に水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部11,11が各々一体となるように設けられている。
そして、容器本体6内に収納される複数の半導体ウエハ4…が、ウエハ接触部9,9の移動抑制突起16,16が設けられた下向きに凸状の弾性変形可能な円弧部14,14に各々当接されて保持されている。
【選択図】図3
Description
6a 開口部
7 蓋体
7a 裏面側
8,18,28,38
ウエハ押さえ部材
9,19,29 ウエハ接触部
9a 外側端部
11,11 水平部
13,13 立ち上がり部
14,14 円弧部
15 中央連結部
16,26,36移動抑制突起
17,117 ストッパ突起部
20 ウエハ搬送容器
Claims (7)
- 上部に開口部を設けた有底箱状の容器本体の内部に、円板状の半導体ウエハを収納すると共に、該開口部に装着されて該開口部を閉塞する蓋体を設け、該蓋体の内側には、前記容器本体内に収納された半導体ウエハの上縁部に弾接して、保持するウエハ押さえ部材を設けてなるウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造であって、
前記ウエハ押さえ部材は、前記半導体ウエハに弾接されるウエハ接触部と、該ウエハ接触部の両側に設けられて、前記蓋体の裏面側に固定される一対の支持枠部との間に、該支持枠部下面側から水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部を各々設けて、該水平部の内側に連結されて下向きに凸状の円弧部によって、前記ウエハ接触部を支持することを特徴とするウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。 - 前記水平部よりも前記ウエハ接触部が下方に位置すると共に、該水平部の内側端部とウエハ接触部の外側端部との間を上下方向で連結する立ち上がり部を設け、該立ち上がり部には、内向きに一定の傾斜角度が与えられていることを特徴とする請求項1記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
- 前記ウエハ接触部を支持する円弧部を左右一対形成すると共に、該両円弧部間を上向きに凸状の中央連結部で一体に連結することを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
- 前記中央連結部の上方には、前記蓋体の裏面側から突設されて、所望の位置で、前記ウエハ接触部の変形を停止させるストッパ突起部が設けられていることを特徴とする請求項3記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
- 前記水平部、立ち上がり部、円弧部及び中央連結部は、該水平部と略同一の一定の幅を有して一体に形成されると共に、略一定の厚みを有することを特徴とする請求項3又は4記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
- 前記ウエハ接触部は、前記円弧部の幅方向に一対となるように、該円弧部の内側端部近傍位置から下向きに突設されて、介装により半導体ウエハの上縁部を保持する移動抑制突起部を有することを特徴とする請求項1乃至5のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
- 前記ウエハ押さえ部材は、曲げ弾性率1〜2.5GPaの物性を有する材料が用いられて、構成されていることを特徴とする請求項1乃至6のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006328047A JP4908172B2 (ja) | 2006-12-05 | 2006-12-05 | ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006328047A JP4908172B2 (ja) | 2006-12-05 | 2006-12-05 | ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008141106A true JP2008141106A (ja) | 2008-06-19 |
JP4908172B2 JP4908172B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=39602238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006328047A Active JP4908172B2 (ja) | 2006-12-05 | 2006-12-05 | ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4908172B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011053001A2 (ko) * | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Park Jong Ik | 전방 리테이너 |
CN102966442A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-03-13 | 曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司 | 监控布置在燃气发动机的燃气供应管中的止回阀的方法 |
WO2014064774A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
KR101411367B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2014-06-27 | 비아이 이엠티 주식회사 | 웨이퍼 카세트용 쿠션 |
TWI586597B (zh) * | 2016-02-23 | 2017-06-11 | 中勤實業股份有限公司 | 用於收納基板的容器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09107026A (ja) * | 1995-10-12 | 1997-04-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ収納容器のウェーハカセット |
JPH11163115A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ押さえ部材、これを組み込んだウェーハ収納用容器 |
JP2004217898A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Du Pont Toray Co Ltd | シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物、その製造方法およびそれからなるシリコンウェーファー搬送治具 |
JP2005294386A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
-
2006
- 2006-12-05 JP JP2006328047A patent/JP4908172B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09107026A (ja) * | 1995-10-12 | 1997-04-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ収納容器のウェーハカセット |
JPH11163115A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ押さえ部材、これを組み込んだウェーハ収納用容器 |
JP2004217898A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Du Pont Toray Co Ltd | シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物、その製造方法およびそれからなるシリコンウェーファー搬送治具 |
JP2005294386A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011053001A2 (ko) * | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Park Jong Ik | 전방 리테이너 |
WO2011053001A3 (ko) * | 2009-10-28 | 2011-10-20 | Park Jong Ik | 전방 리테이너 |
CN102966442A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-03-13 | 曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司 | 监控布置在燃气发动机的燃气供应管中的止回阀的方法 |
KR101411367B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2014-06-27 | 비아이 이엠티 주식회사 | 웨이퍼 카세트용 쿠션 |
WO2014064774A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
JP5946539B2 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-07-06 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
TWI586597B (zh) * | 2016-02-23 | 2017-06-11 | 中勤實業股份有限公司 | 用於收納基板的容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4908172B2 (ja) | 2012-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI495605B (zh) | Substrate storage container | |
JP5301731B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4918495B2 (ja) | 二次ウェハ拘束システムを備えたウェハ容器 | |
JP4908172B2 (ja) | ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造 | |
TWI322478B (en) | Substrate storage container and method for manufacturing the same | |
KR101472145B1 (ko) | 기판 수납 용기 | |
JP5270668B2 (ja) | リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 | |
JP6018075B2 (ja) | ウェーハ収納容器 | |
JP4999597B2 (ja) | 枚葉式ウエハケース | |
JPWO2011132257A1 (ja) | 基板収納容器 | |
KR20140092548A (ko) | 웨이퍼 보관 장치 | |
KR100995529B1 (ko) | 박판수납용기용 훅 및 박판수납용기 | |
JP2008129453A (ja) | ペリクルの収納方法 | |
TW201005860A (en) | A wafer container with constraints | |
JP5601647B2 (ja) | 基板収納容器及びサポート治具 | |
JP2011138863A (ja) | 基板収納容器 | |
US20090180270A1 (en) | Fixing mechanism for fixing a switch and related electronic device | |
JP2011040208A (ja) | 接点装置 | |
JP4764865B2 (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP2009124063A (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP4461325B2 (ja) | ウエハ搬送容器 | |
WO2014136247A1 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5767096B2 (ja) | 薄板収納容器 | |
JP2008135434A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2014034401A (ja) | Icタグホルダー付き溶着パレット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20091202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091202 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100129 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120112 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150120 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4908172 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |