JP5601647B2 - 基板収納容器及びサポート治具 - Google Patents
基板収納容器及びサポート治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5601647B2 JP5601647B2 JP2011059611A JP2011059611A JP5601647B2 JP 5601647 B2 JP5601647 B2 JP 5601647B2 JP 2011059611 A JP2011059611 A JP 2011059611A JP 2011059611 A JP2011059611 A JP 2011059611A JP 5601647 B2 JP5601647 B2 JP 5601647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- engagement
- plate
- engagement piece
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
特許文献2においては、容器本体側壁における凹部にサポート治具の両側部を押し込んで摩擦係合させる構成であることから、サポート治具を所定位置まで比較的大きな押し込み力をもって押し込む必要があるばかりか、支持部材を直接、通常の基板支持に用いるべく、そのサポート治具を取り外そうとする場合には、サポート治具を引き出すために比較的大きな引っ張り力が必要となって、容易に取り外すことはできない。しかも、サポート治具の保持を、凹部とサポート治具との摩擦係合に委ねていることから、長期に亘って安定した保持機能を維持するという耐久性の観点からは好ましくはない。
第2の目的は、上記基板収納装置に用いられるサポート治具を提供することにある。
前記各支持部材に、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられて該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、が備えられ、
前記サポート治具に、前記各支持部材に沿って互いに対向しつつ該各支持部材の延び方向にそれぞれ延びる一対の係合支持板部と、該一対の係合支持板部の後端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、第1係合片部と、該第1係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び延び方向にずれた状態で配置されると共に該各係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされる第2係合片部と、がそれぞれ少なくとも1箇所備えられ、
前記第1係合片部は、前記支承部の他方の板面に当接され、
前記第2係合片部は、前記サポート治具が前記進入規制部により移動規制を受けた状態の下で、前記段差面に当接しつつ前記支承部の一方の板面に当接されていることを特徴とする基板収納容器。
前記複数の第2係合片部のうちの少なくとも1つの第2係合片部が前記段差面に当接され、
前記第1係合片部が、前後方向において隣り合う前記第2係合片部間に配置されていることを特徴とする(1)に記載の基板収納容器。
上記構成によれば、第1係合片部と複数の第2係合片部とにより、支持部材に対するサポート治具(係合支持板部)の保持を的確に行うことができることになる。
前記第2係合片部に、前記段差面に沿って当接するための係合面が形成され、
前記サポート治具が、拡縮可能とされていることを特徴とする(1)に記載の基板収納容器。
上記構成によれば、段差面と係合面との当接関係によりサポート治具の前方動を規制できる一方(位置決め精度確保)、サポート治具を縮径させることにより、一対の係合支持板部を互いに近づかせ、段差面と係合面との当接関係を円滑に解除できる。
前記支持部材が、前記各側壁内面において、上下方向に所定間隔毎に複数設けられ、
前記所定間隔が、基板の撓み量を超える長さに設定されていることを特徴とする基板収納容器。
上記構成によれば、基板を持ち上げるに際し、具体的に、周囲部材との干渉を避けることができる。
(6)基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、該各支持部材が、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられ該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、を備え、前記前側開口の後方領域に進入規制部が設けられている基板収納容器において用いられるサポート治具であって、
間隔をあけた状態で、肉厚面同士を互いに対向させつつ延びる板状の一対の係合支持板部と、
前記一対の係合支持板部の端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、前記支承部の他方の板面に当接されるための第1係合片部と、該第1係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び該各係合支持板部の延び方向にずれた状態で配置されると共に、該係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされて、前記段差面に当接した状態で前記支承部の一方の板面に当接される第2係合片部と、がそれぞれ備えられていることを特徴とするサポート治具。
前記複数の第2係合片部のうちの少なくとも1つの第2係合片部が、前記段差面に当接されるためのものとして設定され、
前記第1係合片部が、前記係合支持板部の延び方向において隣り合う前記第2係合片部間に配置されていることを特徴とする(6)に記載のサポート治具。
上記構成によれば、前記(2)に記載の基板収納容器に用いられるサポート治具を提供できる。
また、サポート治具の支持部材に対する取付けに関しては、第2係合片部の撓み性を利用して、第1係合片部を支承部の他方の板面に当接させた状態の下で、第2係合片部を、段部を乗り越えて支承部の一方の板面に当接させるだけでよく、必要とする押し込み力もいつでも比較的小さなもので足り、全体を通して大きな押し込み力が要求されることはない。しかも、作業者は、第2係合片部の撓み性に基づき取付け時に節度感を感じることになり、サポート治具の確実な取付けを認識できる。サポート治具の支持部材からの取り外しに関しては、第2係合片部の撓み性を利用して、該第2係合片部と段差面との当接関係を解除できることは勿論、把持し易い一対の係合支持板部を互いに近づくようにサポート治具を縮径させるだけで、第2係合片部と段差面との当接関係を解除できることになり、サポート治具を支持部材からいつでも簡単に取り外すことができる。このため、長期に亘って、サポート治具の着脱を容易に行うことができる。
本発明(請求項4に係る発明)によれば、基板の撓み量を考慮し、周囲部材との干渉を避けつつ、その基板を持ち上げることができ、基板の取り出しを確実に行うことができる。
本発明(請求項6に係る発明)によれば、前記請求項1に記載の基板収納容器に用いられるサポート治具を提供できる。
尚、容器本体4の底壁6には容器本体4を加工装置に位置決めするためのボトムプレート11と位置決め部材が設けられ、容器本体4の上壁7には、搬送用のロボティックフランジ12が取り付けられている。
先ず、サポート治具30を手に持ち、そのサポート治具30を、その湾曲板部32側から前側開口3を介して容器本体4内に入れ込む。そして、サポート治具30の湾曲板32側を係合支持板部31側よりやや上方位置となるように傾けた状態で、そのサポート治具30の両第2係合片部34aを容器本体4の両支持部材25上に載せ、サポート治具30を後方にスライドさせる。このスライドにより、サポート治具30の各第1係合片部33が各支持部材25の下方域に至ると、サポート治具30の係合支持板部31側を持ち上げ、各第1係合片部33の上面を各支持部材25の下面に当接させ、さらにサポート治具30をスライドさせ、両第2係合片部34bを両支持部材25の段部27上に乗り上げさせる。このとき、両第2係合片部34は、上方に撓むことになり、その両第2係合片部34bには、下方への復元力が生じることになる。
また、サポート治具30を容器本体4(支持部材25)に取付けた場合には、サポート治具30は、上下方向だけでなく前後方向Xの移動が規制されることになり、サポート治具30を高い位置精度をもって保持できる。これに伴い、サポート治具30に支持される薄板状基板2の位置精度も高まることになる。
具体的には、図13に示すように、サポート治具30における両係合支持板部31の外側端面に片持ち状の弾性片39がそれぞれ設けられ、その各弾性片39は、図14、図15に示すように、サポート治具30が支持部材25に取付けられる際、支持部材25の張出し端面25aにより係合支持板部31側に向けて撓められる。このため、弾性片39は、反発力を生じることになり、サポート治具30は、容器本体4内において、横方向にがたつくことが抑制される。
具体的には、図16に示すように、サポート治具30における係合支持板部31及び湾曲板部32に多数の抜き穴40が形成されており、その多数の抜き穴40によりサポート治具30の軽量化が図られている。勿論この場合、サポート治具30の所望の強度は確保されている。
2 基板
3 前側開口
4 容器本体
9 側壁
10 進入規制壁(進入規制部)
25 支持部材
26 支承部
27 段部
28b 突条(進入規制部)
29 段差面
30 サポート治具
31 係合支持板部
32 湾曲板部(連結板部)
33 第1係合片部
34 第2係合片部
34b 第2係合片部
34bt 第2係合片部の先端面(係合面)
36 先端段部(進入規制部)
Claims (5)
- 基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、前記両支持部材に、基板を支えて該基板の撓みを抑制するサポート治具が着脱可能に保持され、前記前側開口の後方領域に、前記サポート治具の所定位置以上の後方動を規制する進入規制部が設けられている基板収納容器において、
前記各支持部材に、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられて該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、が備えられ、
前記サポート治具に、前記各支持部材に沿って互いに対向しつつ該各支持部材の延び方向にそれぞれ延びる一対の係合支持板部と、該一対の係合支持板部の後端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、第1係合片部と、該第1係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び延び方向にずれた状態で配置されると共に該各係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされる第2係合片部と、がそれぞれ少なくとも1箇所備えられ、
前記第1係合片部は、前記支承部の他方の板面に当接され、
前記第2係合片部は、前記サポート治具が前記進入規制部により移動規制を受けた状態の下で、前記段差面に当接しつつ前記支承部の一方の板面に当接されていることを特徴とする基板収納容器。 - 前記第2係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第2係合片部のうちの少なくとも1つの第2係合片部が前記段差面に当接され、
前記第1係合片部が、前後方向において隣り合う前記第2係合片部間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記段差面が、前記前側開口から内方に向けて遠のくに従って前記支持部材の幅方向内面から該支持部材の幅方向外面に近づくように延び、
前記第2係合片部に、前記段差面に沿って当接するための係合面が形成され、
前記サポート治具が、拡縮可能とされていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、該各支持部材が、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられ該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、を備え、前記前側開口の後方領域に進入規制部が設けられている基板収納容器において用いられるサポート治具であって、
間隔をあけた状態で、肉厚面同士を互いに対向させつつ延びる板状の一対の係合支持板部と、
前記一対の係合支持板部の端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、前記支承部の他方の板面に当接されるための第1係合片部と、該第1係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び該各係合支持板部の延び方向にずれた状態で配置されると共に、該係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされて、前記段差面に当接した状態で前記支承部の一方の板面に当接される第2係合片部と、がそれぞれ備えられていることを特徴とするサポート治具。 - 前記第2係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第2係合片部のうちの少なくとも1つの第2係合片部が、前記段差面に当接されるためのものとして設定され、
前記第1係合片部が、前記係合支持板部の延び方向において隣り合う前記第2係合片部間に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のサポート治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011059611A JP5601647B2 (ja) | 2011-03-17 | 2011-03-17 | 基板収納容器及びサポート治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011059611A JP5601647B2 (ja) | 2011-03-17 | 2011-03-17 | 基板収納容器及びサポート治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012195507A JP2012195507A (ja) | 2012-10-11 |
JP5601647B2 true JP5601647B2 (ja) | 2014-10-08 |
Family
ID=47087106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011059611A Active JP5601647B2 (ja) | 2011-03-17 | 2011-03-17 | 基板収納容器及びサポート治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5601647B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7183997B2 (ja) * | 2019-08-29 | 2022-12-06 | Agc株式会社 | ガラス基板の処理方法 |
TWI735115B (zh) * | 2019-12-24 | 2021-08-01 | 力成科技股份有限公司 | 晶圓儲存裝置及晶圓承載盤 |
JP7421991B2 (ja) * | 2020-04-09 | 2024-01-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
WO2024105879A1 (ja) * | 2022-11-18 | 2024-05-23 | ミライアル株式会社 | 収納容器及びアダプター部材 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091400A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ収容カセット |
EP1373099A4 (en) * | 2001-04-01 | 2008-05-28 | Entegris Inc | FINE PLATE INSERT |
JP2004095942A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Kokusai Electric Semiconductor Service Inc | ウェーハカセット |
JP4159946B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2008-10-01 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP5144478B2 (ja) * | 2008-11-27 | 2013-02-13 | リンテック株式会社 | 半導体ウエハ収納キャリア |
JP5409343B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-02-05 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
-
2011
- 2011-03-17 JP JP2011059611A patent/JP5601647B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012195507A (ja) | 2012-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5270668B2 (ja) | リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 | |
JP4412235B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5601647B2 (ja) | 基板収納容器及びサポート治具 | |
US20140138279A1 (en) | Substrate storing container | |
TW200832600A (en) | Substrate container | |
JP4953690B2 (ja) | 収納容器 | |
KR20100084514A (ko) | 리테이너 및 기판 수납 용기 | |
US20100025288A1 (en) | Wafer container with constraints | |
US12080577B2 (en) | Substrate storage container | |
WO2017006406A1 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5409343B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP7421991B2 (ja) | 基板収納容器 | |
CN109314072B (zh) | 基板收纳容器 | |
US20220344186A1 (en) | Substrate storage container | |
JP7421996B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4459015B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2009231653A (ja) | 基板収納容器 | |
JP5767096B2 (ja) | 薄板収納容器 | |
KR101486612B1 (ko) | 기판을 탑재하는 처리 도구용의 수납 케이스 | |
JP7210835B2 (ja) | 薄板収納容器 | |
JP5084573B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2020174068A (ja) | 基板収納容器 | |
KR20230165336A (ko) | 기판 수납 용기 | |
JP2008135434A (ja) | 基板収納容器 | |
US20120204197A1 (en) | Optical disc device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130813 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140812 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140812 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5601647 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |