KR100995529B1 - 박판수납용기용 훅 및 박판수납용기 - Google Patents
박판수납용기용 훅 및 박판수납용기 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100995529B1 KR100995529B1 KR1020087013414A KR20087013414A KR100995529B1 KR 100995529 B1 KR100995529 B1 KR 100995529B1 KR 1020087013414 A KR1020087013414 A KR 1020087013414A KR 20087013414 A KR20087013414 A KR 20087013414A KR 100995529 B1 KR100995529 B1 KR 100995529B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- container
- hook
- thin plate
- storage container
- plate storage
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D45/00—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members
- B65D45/02—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members for applying axial pressure to engage closure with sealing surface
- B65D45/16—Clips, hooks, or clamps which are removable, or which remain connected either with the closure or with the container when the container is open, e.g. C-shaped
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D2585/00—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials
- B65D2585/68—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form
- B65D2585/86—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form for electrical components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/0801—Multiple
- Y10T292/0825—Hooked end
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/0911—Hooked end
- Y10T292/0921—Multiple head
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/0911—Hooked end
- Y10T292/0921—Multiple head
- Y10T292/0922—Operating means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
Abstract
박판수납용기용 훅5를 용이하게 설치하여 하측 용기부2와 상측 용기부3을 용이하게 고정시킨다. 판자 모양의 본체부25와, 상측 용기부3의 결합판15에 걸기 위한 홈부26A가 형성되는 상측 훅부26과, 하측 용기부2의 결합판7에 걸기 위한 홈부27A가 형성되는 하측 훅부27과, 상기 상측 훅부26 및 하측 훅부27의 좌우방향의 중간위치를 각각 잘라내어 형성된 스프링 부착부28과, 각 스프링 부착부28에 걸쳐서 부착된 판스프링29와, 이 판스프링29의 도중에 형성되고 하측 용기부2측 및 상측 용기부3측의 각 결합판7, 15에 각각 형성된 홈8에 결합하여 위치결정 하여 지지하는 결합용 돌기30을 구비하도록 구성한다. 상기 상측 훅부26과 하측 훅부27은 상하대칭으로 형성된다. 또한 상측 훅부26 및 하측 훅부27은 각각 좌우대칭으로 형성된다.
Description
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등의 박판(薄板)을 수납하여 반송 및 보관하기 위한 박판수납용기에 사용하는 박판수납용기용 훅(薄板收納容器用hook) 및 그 박판수납용기용 훅을 사용한 박판수납용기(薄板收納容器)에 관한 것이다.
소수(少數)의 박판을 수납하여 반송, 보관 등을 하는 박판수납용기가 일반적으로 알려져 있다. 이러한 박판수납용기에서는, 수납하는 박판의 매수가 적을 경우에, 전체적으로 소형이 되고 본체부와 뚜껑부의 사이는 점착 테이프에 의하여 고정된다.
[해결하고자 하는 과제]
그런데, 상기의 박판수납용기와 같이, 본체부와 뚜껑부의 사이를 점착 테이프로 고정하는 경우에, 점착면이 여러 곳에 접착되기 때문에, 본체부와 뚜껑부의 사이에 정확하게 위치결정을 하여 부착하여야만 한다. 이 때문에 점착 테이프를 붙이는 작업에 시간이 걸려 작업성이 나쁘게 된다. 또한 쓰레기도 발생한다고 하는 문제가 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
본 발명은, 상기의 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 하측 용기부와 상측 용기부를 용이하게 고정할 수 있는 박판수납용기용 훅 및 박판수납용기를 제공하는 것이다. 이를 위하여, 제1의 발명은, 대략 전체 형상을 구성하는 판자 모양의 본체부와, 당해 본체부의 상단에 형성되고 상측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 상측 훅부와, 상기 본체부의 하단에 형성되고 하측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 하측 훅부와, 상기 상측 훅부 및 하측 훅부의 좌우방향의 중간위치를 각각 잘라내어 형성된 스프링 부착부와, 당해 각 스프링 부착부에 걸쳐서 부착된 판스프링과, 당해 판스프링의 도중에 형성되고 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판에 각각 형성된 홈에 결합하여 위치결정 하여 지지하는 결합용 돌기를 구비하고, 상기 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의하여, 상측 용기부와 하측 용기부를 맞춘 상태에서, 상측 용기부의 결합판과 하측 용기부의 결합판에 상측 훅부의 홈부와 하측 훅부의 홈부가 각각 결합하여 박판수납용기용 훅을 걸 수 있다. 이 때에, 각 스프링 부착부의 판스프링의 결합용 돌기가, 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판의 홈에 결합하여 상기 박판수납용기용 훅을 각 결합판에 위치결정 하여 지지한다. 이에 따라 상기 박판수납용기용 훅으로 상측 용기부와 하측 용기부가 고정된다.
또한 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성되기 때문에, 박판수납용기용 훅은 그 상하좌우를 맞출 필요가 없어져 용이하게 부착할 수 있다.
상기 제1의 발명에 관한 본체부의 상하방향 중앙부의 좌우방향 양단부에는, 손으로 잡기 위한 좌우대칭의 오목부를 형성하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하여, 오목부를 손으로 잡아 상기 박판수납용기용 훅을 상하의 결합판에 부착한다.
제2의 발명은, 박판을 복수 매 나란하게 수납하는 하측 용기부와, 당해 하측 용기부의 상측에 덮혀지는 상측 용기부와, 상기 하측 용기부에 상기 상측 용기부를 덮은 상태에서 이들 사이를 고정시키는 박판수납용기용 훅을 구비하고, 상기 하측 용기부와 상측 용기부가 같은 형상을 구비하여 상하를 교체할 수 있음과 아울러 이들 하측 용기부 및 상측 용기부에 상기 박판수납용기용 훅이 결합하는 결합판을 각각 구비하고, 상기 박판수납용기용 훅이, 대략 전체 형상을 구성하는 판자 모양의 본체부와, 당해 본체부의 상단에 형성되고 상기 상측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 상측 훅부와, 상기 본체부의 하단에 형성되고 상기 하측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 하측 훅부와, 상기 상측 훅부 및 하측 훅부의 좌우방향의 중간위치를 각각 잘라내어 형성된 스프링 부착부와, 당해 각 스프링 부착부에 걸쳐서 부착된 판스프링과, 당해 판스프링의 도중에 형성되고 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판에 각각 형성된 홈에 결합하여 위치결정 하여 지지하는 결합용 돌기를 구비하고, 상기 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의하여, 하측 용기부에 박판을 복수 매 수납하고, 이 하측 용기부에 상측 용기부를 덮고, 각 결합판에 상기 박판수납용기용 훅의 상측 훅부 및 하측 훅부를 각각 걸어 박판수납용기용 훅을 부착한다. 이 때에, 각 스프링 부착부의 판스프링의 결합용 돌기가, 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판의 홈에 결합하여 상기 박판수납용기용 훅을 각 결합판에 위치결정 하여 지지한다. 이에 따라 상기 박판수납용기용 훅으로 상측 용기부와 하측 용기부가 고정된다.
또한 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성되기 때문에, 박판수납용기용 훅은, 그 상하좌우를 맞출 필요가 없어져 용이하게 부착할 수 있다.
상기 제2의 발명에 관한 박판수납용기용 훅의 본체부의 상하방향 중앙부의 좌우방향 양단부에는, 손으로 잡기 위한 좌우대칭의 오목부를 형성하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하여 오목부를 손으로 잡고, 상기 박판수납용기용 훅을 상하의 결합판에 부착한다.
[발명의 효과]
하측 용기부 및 상측 용기부의 각 결합판에 박판수납용기용 훅을 부착하면, 판스프링의 결합용 돌기가 각 결합판의 홈에 결합하여 박판수납용기용 훅을 각 결합판에 위치결정 하여 지지하고, 이 박판수납용기용 훅이 하측 용기부와 상측 용기부를 고정하기 때문에, 하측 용기부와 상측 용기부를 용이하게 고정할 수 있게 된다.
또한 박판수납용기용 훅이 상하, 좌우대칭으로 형성되어 그 상하좌우를 맞출 필요가 없어지기 때문에, 상기 박판수납용기용 훅을 용이하게 부착할 수 있어 하측 용기부와 상측 용기부를 용이하게 고정할 수 있다.
도1은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기용 훅을 나타내는 정면도이다.
도2는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 일부 잘라내어 나타내는 정면도이다.
도3은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 일부 잘라내어 나타내는 정면 단면도이다.
도4는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 일부 잘라내어 나타내는 측면도이다.
도5는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 나타내는 평면도이다.
도6은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 그 상측 용기부를 떼어낸 상태에서 나타내는 평면도이다.
도7은, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 하측 용기부의 상단부를 나타내는 요부 확대 정면도이다.
도8은, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 하측 용기부의 상단부를 나타내는 요부 확대 평면도이다.
도9는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기용 훅을 나타내는 측면도이다.
도10은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기용 훅을 나타내는 평면도이다.
도11은, 도1의 A-A선의 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도12는, 도1의 B-B선의 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도13은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기용 훅을 결합판에 부착한 상태로 나타내는 측면도이다.
도14는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기용 훅의 판스프링 및 결합판의 부분을 나타내는 요부 확대도이다.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
1 : 박판수납용기 2 : 하측 용기부
2A : 돌출부 3 : 상측 용기부
3A : 돌출부 4 : 웨이퍼 캐리어
5 : 박판수납용기용 훅 7 : 결합판
8 : 홈 10 : 결합 볼록부
11 : 결합 오목부 13 : 웨이퍼 캐리어 지지홈
15 : 결합판 17 : 결합 볼록부
18 : 결합 오목부 21 : 홈판부
22 : 결합 다리부 25 : 본체부
26 : 상측 훅부 27 : 하측 훅부
28 : 스프링 부착부 29 : 판스프링
30 : 결합용 돌기 W : 반도체 웨이퍼
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다. 본 발명의 박판수납용기는, 반도체 웨이퍼, 자기기록 매체 디스크(磁氣記錄媒體disc), 광기록 매체 디스크(光記錄媒體disc) 등의 박판을 수납하여 반송, 보관에 제공하게 하기 위한 용기이다. 본 실시예에서는 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판수납용기를 예로 들어 설명한다.
박판수납용기1은, 도2∼6에 나타나 있는 바와 같이 주로, 하측 용기부2와, 상측 용기부3과, 웨이퍼 캐리어4와, 박판수납용기용 훅5로 구성되어 있다.
상기 하측 용기부2는, 반도체 웨이퍼W를 내부에 복수 매 나란하게 수납하기 위한 용기이다. 이 하측 용기부2는, 평면 형상이 대략 직사각형이고 밑바닥이 깊은 용기로 구성되어 있다. 이 하측 용기부2의 상부에는 외측으로 부풀어 커지는 돌출부2A가 형성되어 있다. 이 돌출부2A는, 상기 하측 용기부2의 상부의 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있다. 상기 하측 용기부2의 단변측(短邊側)(도6에서 좌우 양측)의 돌출부2A의 하단부에는 결합판7(도13, 14 참조)이 구비되어 있다. 이 결합판7은, 돌출부2A의 하단부에서 상방으로 연장되는 판재로 구성되고, 후술하는 박판수납용기용 훅5의 하측 훅부27에 결합하도록 되어 있다. 결합판7의 중앙부에는, 박판수납용기용 훅5의 결합용 돌기30에 결합하는 홈8(도14 참조)이 형성되어 있다. 이 홈8은, 박판수납용기용 훅5의 결합용 돌기30이 원활하게 결합하도록, 원호 모양의 오목 형상으로 형성되어 있다. 이에 따라 박판수납용기용 훅5의 결합용 돌기30이 홈8에 결합함으로써, 박판수납용기용 훅5가 위치결정하여 지지되도록 되어 있다. 또한 홈8의 테두리부도 원호 모양으로 만곡하여 형성되어, 결합용 돌기30이 결합판7을 슬라이드 하여 홈8에 원활하게 결합하고 또한 원활하게 빼내는 것이 가능하도록 되어 있다.
상기 하측 용기부2의 상단부에는, 장변측(長邊側)(도6에서 상하 양측)의 길이방향의 일측 반정도(도3에서 우측 반정도)에 결합 볼록부10이, 타측 반정도(도3에서 좌측 반정도)에 결합 오목부11이 각각 형성되어 있다. 또한 이들 결합 볼록부10과 결합 오목부11은, 장변에 각각 2개가 형성되어 있다. 이들 결합 볼록부10과 결합 오목부11은, 도7, 8에 나타나 있는 바와 같이 서로 결합하도록, 같은 형상의 볼록부와 오목부로 구성되어 있다. 이에 따라 이 결합 볼록부10 및 결합 오목부11과 같은 형상의, 후술하는 상측 용기부3의 결합 오목부18 및 결합 볼록부17이, 상기 하측 용기부2의 결합 볼록부10과 결합 오목부11에 각각 결합하여 하측 용기부2에 상측 용기부3이 위치결정 하여 지지된 상태로 덮혀지게 되어 있다.
상기 하측 용기부2의 바닥에는, 도3에 나타나 있는 바와 같이 후술하는 웨이퍼 캐리어4의 결합 다리부22가 결합하여 웨이퍼 캐리어4를 지지하는 웨이퍼 캐리어 지지홈13이 형성되어 있다. 이 웨이퍼 캐리어 지지홈13은, 웨이퍼 캐리어4의 결합 다리부22를 따라 상기 하측 용기부2의 바닥의 2곳의 위치에 각각 형성되어 있다.
상측 용기부3은, 반도체 웨이퍼W가 수납된 상기 하측 용기부2의 상측에 덮기 위한 용기이다. 이 상측 용기부3은, 상기 하측 용기부2와 마찬가지로, 평면 형상이 대략 직사각형이고 밑바닥이 깊은(즉, 뒤집으면 천장이 높은) 용기로 구성되어 있다. 이 상측 용기부3의 하부에는, 도2∼6에 나타나 있는 바와 같이 외측으로 부풀어 커지는 돌출부3A가 형성되어 있다. 이 돌출부3A는, 상측 용기부3의 하부의 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있다. 상측 용 기부3의 단변측의 돌출부3A의 상단부에는 결합판15(도13 참조)가 구비되어 있다. 이 결합판15는, 돌출부3A의 하단부로부터 상방으로 연장되는 판재로 구성되고, 후술하는 박판수납용기용 훅5의 상측 훅부26에 결합하도록 되어 있다. 결합판15의 중앙부에는, 박판수납용기용 훅5의 결합용 돌기30에 결합하는 홈(도면에는 나타내지 않는다)이 형성되어 있다. 이 홈은, 하측 용기부2의 결합판7의 홈8과 같이 구성되어 있다.
상측 용기부3의 하단부에는, 도3에 나타나 있는 바와 같이 장변측의 길이방향의 좌측 반정도에 결합 볼록부17이, 우측 반정도에 결합 오목부18이 각각 형성되어 있다. 이들 결합 볼록부17과 결합 오목부18은, 상기 하측 용기부2의 결합 볼록부10 및 결합 오목부11과 같은 형상으로 구성되어 있다. 이에 따라 이 결합 볼록부17 및 결합 오목부18과 하측 용기부2의 결합 오목부11 및 결합 볼록부10이 각각 결합하여 상기 하측 용기부2에 상측 용기부3이 위치결정 하여 지지된 상태로 덮혀지게 되어 있다.
상측 용기부3의 바닥(즉, 천장)에는, 웨이퍼 캐리어4의 결합 다리부22가 결합하여 웨이퍼 캐리어4를 지지하는 웨이퍼 캐리어 지지홈13이 형성되어 있다. 이 웨이퍼 캐리어 지지홈13은, 웨이퍼 캐리어4의 결합 다리부22를 따라 상측 용기부3의 바닥의 2곳의 위치에 각각 형성되어 있다.
이에 따라 하측 용기부2와 상측 용기부3은 같은 형상으로 구성되어, 상하를 뒤집어서 어느 것을 하측으로 하여도 웨이퍼 캐리어4를 수납할 수 있도록 되어 있다.
웨이퍼 캐리어4는 주로 홈판부21과 결합 다리부22를 구비하도록 구성되어 있다. 홈판부21은 복수의 지지홈21A를 구비하도록 구성되어, 각 지지홈21A에 반도체 웨이퍼W가 결합하여 지지되도록 되어 있다. 홈판부21은 좌우대칭으로 서로 대향하여 형성되어 반도체 웨이퍼W를 양측으로부터 지지하도록 되어 있다. 결합 다리부22는, 각 홈판부21의 하단부에 형성되고 하방으로 연장되도록 되어 있다. 각 결합 다리부22는 웨이퍼 캐리어4 전체를 지지하기 위한 부재이다. 또한 각 결합 다리부22는, 웨이퍼 캐리어4가 상기 하측 용기부2에 수납된 상태에서, 각 웨이퍼 캐리어 지지홈13에 결합하여 웨이퍼 캐리어4를 상기 하측 용기부2 내의 정확한 위치에 위치결정하여 지지하기 위한 부재이다. 또한 각 결합 다리부22는 상측 용기부3에도 결합한다. 웨이퍼 캐리어4가 하측에 설치된 상측 용기부3에 수납된 상태에서, 각 결합 다리부22가 각 웨이퍼 캐리어 지지홈13에 각각 결합하여 웨이퍼 캐리어4를 상측 용기부3 내의 정확한 위치에 위치결정 하여 지지한다.
박판수납용기용 훅5는, 상기 하측 용기부2에 상기 상측 용기부3을 덮은 상태에서 이들 사이를 고정하기 위한 부재이다.
상기 박판수납용기용 훅5는, 도1, 9∼12에 나타나 있는 바와 같이, 본체부25와, 상측 훅부26과, 하측 훅부27과, 스프링 부착부28과, 판스프링29와, 결합용 돌기30으로 구성되어 있다.
본체부25는, 박판수납용기용 훅5의 대략 전체 형상을 구성하는 판자 모양의 부재이다. 이 본체부25는, 탄성을 구비하는 합성수지로 구성되어 있다. 구체적으로는, 하측 용기부2에 상측 용기부3을 덮은 상태에서, 이들을 확실하게 지지할 수 있는 강도를 구비하고 휠 수 있는 합성수지재료로 구성되어 있다. 하측 용기부2 및 상측 용기부3의 크기, 중량에 따라 합성수지의 종류를 선택한다. 본체부25의 상하방향 중앙부의 좌우방향 양단부에는, 손으로 잡기 위한 좌우대칭의 오목부25A가 형성되어 있다.
상측 훅부26은, 본체부25의 상단에 형성되어 상측 용기부3의 결합판15에 걸기 위한 홈부26A가 형성되는 부분이다. 홈부26A는 결합판15의 상단부 형상에 맞게 형성되어 있다.
하측 훅부27은, 본체부25의 하단에 형성되어 하측 용기부2의 결합판7에 걸기 위한 홈부27A가 형성되는 부분이다. 홈부27A는 결합판7의 하단부 형상에 맞게 형성되어 있다.
스프링 부착부28은, 판스프링29를 걸치기 위한 홈이다. 이 스프링 부착부28은, 상측 훅부26 및 하측 훅부27의 좌우방향의 중앙위치를 각각 잘라내어 형성되어 있다. 이 스프링 부착부28은, 본 실시예에서는 상측 훅부26 및 하측 훅부27에 각각 1개씩 형성하였지만, 부착되는 판스프링29의 수에 따라 2 이상 형성하는 경우도 있다.
판스프링29는, 결합판7, 15에 탄성적으로 접촉하기 위한 부재이다. 이 판스프링29는, 스프링 부착부28에 걸쳐서 부착되어 있다.
결합용 돌기30은, 하측 용기부2측 및 상측 용기부3측의 각 결합판7, 15에 각각 형성된 홈8에 결합하여 박판수납용기용 훅5를 위치결정하여 지지하 기 위한 부분이다. 이 결합용 돌기30은, 판스프링29의 도중(중앙위치)에 각 결합판7, 15의 홈8 측으로 V자 모양으로 융기하여 형성되어 있다. 이 V자 모양의 결합용 돌기30이, 원호 모양의 홈8에 결합하여 박판수납용기용 훅5를 위치결정하여 지지하도록 되어 있다. 결합용 돌기30은, 판스프링29에 1개만 형성되어 있지만, 2 이상 형성되는 경우도 있다. 박판수납용기용 훅5의 횡측의 어긋남을 방지하는 데에 중점을 두는 경우에는, 결합용 돌기30의 수를 증가시킨다.
또한 상측 훅부26과 하측 훅부27은 상하대칭으로 형성되어 있다. 또한 상측 훅부26 및 하측 훅부27은 각각 좌우대칭으로 형성되어 있다. 이에 따라 박판수납용기용 훅5는, 상하좌우를 막론하고 어느 쪽의 방향에서부터도 하측 용기부2측 및 상측 용기부3측의 각 결합판7, 15에 삽입하여 부착하는 것이 가능하게 되어 있다.
[작용]
이상과 같이 구성된 박판수납용기1은, 다음과 같이 하여 사용된다.
우선, 하측 용기부2, 상측 용기부3 및 웨이퍼 캐리어4를 준비하고, 웨이퍼 캐리어4에 반도체 웨이퍼W를 수납한다. 계속하여 웨이퍼 캐리어4를 하측 용기부2 또는 상측 용기부3의 어느 일방의 내부에 수납하고 웨이퍼 캐리어4의 결합 다리부22를 웨이퍼 캐리어 지지홈13에 결합시킨다.
계속하여 하측 용기부2 또는 상측 용기부3의 일방으로 타방을 상측으로부터 덮는다. 이에 따라 하측 용기부2의 결합 볼록부10 및 결합 오목부11 과, 상측 용기부3의 결합 오목부18 및 결합 볼록부17이 서로 결합된다.
계속하여 하측 용기부2의 결합판7과 상측 용기부3의 결합판15에 박판수납용기용 훅5를 부착한다. 구체적으로는, 박판수납용기용 훅5의 오목부25A를 손으로 잡고, 상측 훅부26을 상측의 결합판7 또는 15에, 하측 훅부27을 하측의 결합판15 또는 7에 각각 결합시키고, 박판수납용기용 훅5를 각 결합판7, 15의 중앙 위치까지 슬라이드 시킨다.
이에 따라 판스프링29의 결합용 돌기30이 결합판7, 15를 슬라이드 하면서 홈8에 결합하여 박판수납용기용 훅5를 위치결정하여 지지한다. 이 때, 박판수납용기용 훅5를 결합판7, 15에 결합시킬 때에, 박판수납용기용 훅5의 상하좌우를 맞출 필요가 없이, 박판수납용기용 훅5의 상측 훅부26 및 하측 훅부27을, 하측 용기부2 및 상측 용기부3의 결합판7, 15 중의 어느 하나에 적당하게 결합시키는 것만으로 좋다.
박판수납용기1 내로부터 반도체 웨이퍼W를 꺼내는 경우에는, 박판수납용기용 훅5를 밀어 결합용 돌기30을 홈8로부터 빼내고 박판수납용기용 훅5를 결합판7, 15로부터 빼낸다.
계속하여 상측의 상측 용기부3 또는 하측 용기부2를 떼어내고, 내부의 웨이퍼 캐리어4를 꺼낸다. 그리고 웨이퍼 캐리어4 내의 반도체 웨이퍼W를 적절하게 꺼내서 처리 등을 실시한다.
[효과]
이와 같은 구성/작용에 따라 박판수납용기1은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
하측 용기부2 및 상측 용기부3의 각 결합판7, 15에 박판수납용기용 훅5를 부착하면, 판스프링29의 결합용 돌기30이 각 결합판7, 15의 홈8에 결합하여 박판수납용기용 훅5를 각 결합판7, 15에 위치결정하여 지지하여, 이 박판수납용기용 훅5가 하측 용기부2와 상측 용기부3을 고정시키기 때문에 하측 용기부2와 상측 용기부3을 용이하게 고정시킬 수 있게 된다.
또한 박판수납용기용 훅5가 상하, 좌우대칭으로 형성되어 그 상하좌우를 맞출 필요가 없기 때문에, 상기 박판수납용기용 훅을 용이하게 부착할 수 있어, 하측 용기부와 상측 용기부를 용이하게 고정시킬 수 있다.
Claims (4)
- 전체 형상을 구성하는 판자 모양의 본체부(本體部)와,당해 본체부의 상단(上端)에 형성되고 상측 용기부의 결합판(結合板)에 걸기 위한 홈부가 형성되는 상측 훅부(上側 hook部)와,상기 본체부의 하단(下端)에 형성되고 하측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 하측 훅부(下側 hook部)와,상기 상측 훅부 및 하측 훅부의 좌우방향의 중간위치를 각각 잘라내어 형성된 스프링 부착부(spring 附着部)와,당해 각 스프링 부착부에 걸쳐서 부착된 판스프링(板spring)과,당해 판스프링의 도중에 형성되고 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판에 각각 형성된 홈에 결합하여 위치결정 하여 지지하는 결합용 돌기를구비하고,상기 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성된 것을특징으로 하는 박판수납용기용 훅(薄板收納容器用hook).
- 제1항에 있어서,상기 본체부의 상하방향 중앙부의 좌우방향 양단부에, 손으로 잡기 위한 좌우대칭의 오목부를 형성한 것을 특징으로 하는 박판수납용기용 훅.
- 박판을 복수 매 나란하게 수납하는 하측 용기부와,당해 하측 용기부의 상측에 덮혀지는 상측 용기부와,상기 하측 용기부에 상기 상측 용기부를 덮은 상태에서 이들 사이를 고정시키는 박판수납용기용 훅을구비하고,상기 하측 용기부와 상측 용기부가 같은 형상을 구비하여 상하를 교체할 수 있음과 아울러 이들 하측 용기부 및 상측 용기부에 상기 박판수납용기용 훅이 결합하는 결합판을 각각 구비하고,상기 박판수납용기용 훅이,전체 형상을 구성하는 판자 모양의 본체부와,당해 본체부의 상단에 형성되고 상기 상측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 상측 훅부와,상기 본체부의 하단에 형성되고 상기 하측 용기부의 결합판에 걸기 위한 홈부가 형성되는 하측 훅부와,상기 상측 훅부 및 하측 훅부의 좌우방향의 중간위치를 각각 잘라내어 형성된 스프링 부착부와,당해 각 스프링 부착부에 걸쳐서 부착된 판스프링과,당해 판스프링의 도중에 형성되고 상기 하측 용기부측 및 상측 용기부측의 각 결합판에 각각 형성된 홈에 결합하여 위치결정 하여 지지하는 결합용 돌기를구비하고,상기 상측 훅부와 하측 훅부가 상하대칭으로 형성됨과 아울러 당해 상측 훅부 및 하측 훅부가 각각 좌우대칭으로 형성된 것을특징으로 하는 박판수납용기.
- 제3항에 있어서,상기 박판수납용기용 훅의 본체부의 상하방향 중앙부의 좌우방향 양단부에, 손으로 잡기 위한 좌우대칭의 오목부를 형성한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006095396A JP4681484B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 薄板収納容器用フック及び薄板収納容器 |
JPJP-P-2006-00095396 | 2006-03-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080082619A KR20080082619A (ko) | 2008-09-11 |
KR100995529B1 true KR100995529B1 (ko) | 2010-11-19 |
Family
ID=38557287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087013414A KR100995529B1 (ko) | 2006-03-30 | 2007-03-19 | 박판수납용기용 훅 및 박판수납용기 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7631778B2 (ko) |
JP (1) | JP4681484B2 (ko) |
KR (1) | KR100995529B1 (ko) |
TW (1) | TWI378886B (ko) |
WO (1) | WO2007122934A1 (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5268142B2 (ja) * | 2008-09-27 | 2013-08-21 | Hoya株式会社 | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 |
CA2755290A1 (en) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | Avure Technologies Ab | Pressure vessel for a high pressure press |
US8815169B2 (en) * | 2009-12-10 | 2014-08-26 | Honeywell International Inc. | Air purification apparatus and method of forming the same |
WO2013133814A1 (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | International Engine Intellectual Property Company, Llc | Spring biased cam handle to secure canisters in heating jackets |
CN104124126B (zh) * | 2013-04-26 | 2016-12-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种承载装置及等离子体加工设备 |
USD748976S1 (en) * | 2014-05-22 | 2016-02-09 | Deborah Mitchell | Container |
CN109132179B (zh) * | 2017-06-27 | 2020-07-07 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种机械自锁集样桶 |
CN112057656A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-12-11 | 王清芳 | 一种多用供应室消毒储存机 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0610690Y2 (ja) * | 1986-11-17 | 1994-03-16 | 信越ポリマー株式会社 | 輸送容器 |
JPS6437047A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-07 | Hitachi Ltd | Semiconductor device |
JPS6437047U (ko) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | ||
US5590444A (en) * | 1994-08-02 | 1997-01-07 | American Cord & Webbing Company, Inc. | Side release buckle with improved distribution of stress under loads |
JPH09270458A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Sumitomo Sitix Corp | 輸送用ウェーハ容器 |
US5921422A (en) * | 1997-09-23 | 1999-07-13 | Hewlett-Packard Company | Enclosure with spring clamps and stands covering the clamps |
JP2003318248A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-07 | Toshiba Corp | ウェハ容器 |
US20050011056A1 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-20 | Pylant James D. | Bare die tray clip |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006095396A patent/JP4681484B2/ja active Active
- 2006-04-03 US US11/395,544 patent/US7631778B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-19 KR KR1020087013414A patent/KR100995529B1/ko active IP Right Grant
- 2007-03-19 WO PCT/JP2007/055480 patent/WO2007122934A1/ja active Application Filing
- 2007-03-22 TW TW96109946A patent/TWI378886B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070228037A1 (en) | 2007-10-04 |
JP4681484B2 (ja) | 2011-05-11 |
KR20080082619A (ko) | 2008-09-11 |
WO2007122934A1 (ja) | 2007-11-01 |
TW200812872A (en) | 2008-03-16 |
TWI378886B (en) | 2012-12-11 |
JP2007269344A (ja) | 2007-10-18 |
US7631778B2 (en) | 2009-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100995529B1 (ko) | 박판수납용기용 훅 및 박판수납용기 | |
US8254742B2 (en) | Splice holder | |
JP5301731B2 (ja) | 基板収納容器 | |
MY119969A (en) | Apparatus for holding media storage disks | |
TWI317967B (en) | Reticle carrier, and method for supporting a reticle | |
JPH06236787A (ja) | フラットパック用ソケットカバー | |
KR20060050561A (ko) | 반도체 웨이퍼와 같은 디스크를 패킹하기 위한 쿠션 | |
US10475680B2 (en) | Wafer shipping box and a lower retaining member thereof | |
JPH0516986A (ja) | マイクロチツプ収納用テープ | |
DE60207554D1 (de) | Aufnahmekorb für eine ophtalmische linse | |
US7219802B2 (en) | Thin wafer insert | |
US20110259840A1 (en) | Semiconductor package magazine | |
US8286317B2 (en) | Clutching jig | |
JP2003026273A (ja) | 光学的に読み取り可能な情報ディスク用ホルダー | |
JP2008546602A (ja) | ディスクを保持するための装置 | |
US20080190794A1 (en) | Media Holding Apparatus | |
JP4793877B2 (ja) | 蓋付きケース | |
KR20160013018A (ko) | 기판수납용기 | |
WO2014136247A1 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6034089B2 (ja) | Icタグホルダー付き溶着パレット | |
US5021868A (en) | IC carrier | |
JP2022061207A (ja) | 背負いベルト取付具 | |
JP2010057782A (ja) | 茶碗類の積重ね支持具 | |
KR20190137779A (ko) | 기판 수납 용기 | |
KR101431702B1 (ko) | 케이크 고정구 및 이를 포함하는 케이크 받침대 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130911 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170913 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180913 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190910 Year of fee payment: 10 |