WO2007122934A1 - 薄板収納容器用フック及び薄板収納容器 - Google Patents

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WO2007122934A1
WO2007122934A1 PCT/JP2007/055480 JP2007055480W WO2007122934A1 WO 2007122934 A1 WO2007122934 A1 WO 2007122934A1 JP 2007055480 W JP2007055480 W JP 2007055480W WO 2007122934 A1 WO2007122934 A1 WO 2007122934A1
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Seiji Yoshiyama
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Miraial Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a thin plate storage container hook used for a thin plate storage container for storing, transporting and storing a thin plate such as a semiconductor wafer, and a thin plate storage container using the thin plate storage container hook. is there.
  • Thin plate containers that store, transport, and store a small number of thin plates are generally known.
  • the number of thin plates to be stored is small, the overall size is reduced, and the body portion and the lid portion are fixed with an adhesive tape.
  • the present invention has been made in view of the above points, and provides a thin plate container hook and a thin plate container that can easily fix a lower container part and an upper container part.
  • the first invention comprises a plate-like main body part that constitutes an almost entire shape, an upper hook part that is provided at the upper end of the main body part and forms a groove part to be hooked on the locking plate of the upper container part, A lower hook portion that is provided at the lower end of the main body portion and forms a groove portion to be hooked on a locking plate of the lower container portion, and an intermediate position in the left-right direction of the upper hook portion and the lower hook portion are cut out.
  • the panel mounting portion formed in this manner, the plate panel spanning and mounting on each panel mounting portion, and the locking plates on the lower and upper container portions provided in the middle of the plate panel
  • the upper hook part and the lower hook part are formed symmetrically in the vertical direction.
  • the upper hook portion and the lower hook portion are symmetrically formed.
  • the upper hook portion and the lower container portion are engaged with the upper hook portion groove plate and the lower hook portion in the state where the upper container portion and the lower container portion are combined.
  • the thin plate storage container hooks are hooked with the respective groove portions.
  • the locking projections of the plate panel of each panel mounting portion are fitted into the notches of the respective locking plates on the lower container side and the upper container side, and the thin plate storage container hooks are Position and support the locking plate. Accordingly, the upper container portion and the lower container portion are fixed by the thin plate container hook.
  • the thin plate container hook is It is not necessary to match the left and right, and can be easily installed.
  • the thin plate container hook is attached to the upper and lower locking plates by grasping the concave portion by hand.
  • the second invention is a lower container part that stores a plurality of thin plates side by side, an upper container part that covers the upper side of the lower container part, and the upper container part that covers the lower container part. And a thin plate storage container hook for fixing between them, and the lower container part and the upper container part have the same shape and can be switched upside down.
  • the upper container portion is provided with a locking plate for locking the thin plate storage container hook, and the thin plate storage container hook is formed on a plate-like main body portion that constitutes a substantially entire shape and on the upper end of the main body portion.
  • An upper hook portion that forms a groove for hooking on the locking plate of the upper container portion and a lower hook portion that is provided at the lower end of the main body portion and hooks on the locking plate of the lower container portion.
  • Side hook portion, upper hook portion and lower hook portion A panel mounting portion formed by cutting out the intermediate positions in the left and right directions, a panel panel mounted over each panel mounting portion, and the lower container portion provided in the middle of the panel panel A locking projection that fits into a notch formed on each of the locking plates on the side and the upper container portion side and supports positioning, and the upper hook portion and the lower hook portion are vertically symmetrical And the upper hook portion and the lower hook portion are formed symmetrically.
  • the thin plate container hook is It is not necessary to match the left and right, and can be easily installed.
  • left and right concave portions for grasping by hand are provided at both the left and right end portions of the central portion of the main body portion of the thin plate container hook according to the second invention.
  • the concave portion is grasped by hand, and the thin plate container hook is attached to the upper and lower locking plates.
  • the thin plate storage container hook is formed symmetrically in the vertical and horizontal directions, it is not necessary to align the top, bottom, left and right, so that the thin plate storage container hook can be easily attached, The container part and the upper container part can be easily fixed.
  • FIG. 1 is a front view showing a thin plate container hook according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partially cutaway front view showing a thin plate container according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a front cross-sectional view showing a thin plate container according to an embodiment of the present invention with a part broken away.
  • FIG. 4 is a side view showing the thin plate container according to the embodiment of the present invention with a part broken away.
  • FIG. 5 is a plan view showing a thin plate container according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a plan view showing the thin plate container according to the embodiment of the present invention with the upper container part removed.
  • FIG. 7 is an enlarged front view of the main part showing the upper end of the lower container part of the thin plate container according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an enlarged plan view of the main part showing the upper end of the lower container part of the thin plate container according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a side view showing a thin plate container hook according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view showing a thin plate container hook according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 13 is a side view showing the thin plate container hook according to the embodiment of the present invention attached to the locking plate.
  • FIG. 14 is an enlarged view of a main part showing portions of a plate panel and a locking plate of the thin plate container hook according to the embodiment of the present invention.
  • the thin plate storage container of the present invention is a container for storing a thin plate such as a semiconductor wafer, a magnetic recording medium disk, an optical recording medium disk, and the like for transportation and storage.
  • a semiconductor wafer is collected.
  • a thin plate container to be stored will be described as an example.
  • the thin plate storage container 1 is mainly composed of a lower container portion 2, an upper container portion 3, a wafer carrier 4, and a thin plate storage container hook 5, as shown in FIGS.
  • the thin plate storage container 1 is mainly composed of a lower container portion 2, an upper container portion 3, a wafer carrier 4, and a thin plate storage container hook 5, as shown in FIGS.
  • the lower container portion 2 is a container for storing a plurality of semiconductor wafers W side by side.
  • the lower container part 2 is composed of a deep bottom container having a substantially rectangular planar shape.
  • a bulging portion 2A bulging outward is formed on the upper portion of the lower container portion 2.
  • the bulging portion 2A is provided over the entire circumference of the upper portion of the lower container portion 2.
  • a locking plate 7 (see FIGS. 13 and 14) is provided at the lower end of the bulging portion 2A on the short side (the left and right sides in FIG. 6) of the lower container portion 2.
  • the locking plate 7 is made of a plate material extending downward from the lower end portion of the bulging portion 2A, and is fitted to a lower hook portion 27 of a thin plate container hook 5 described later.
  • a notch 8 (see FIG. 14) that fits into the locking projection 30 of the thin plate container hook 5 is provided at the center of the locking plate 7.
  • the notch 8 is formed in an arcuate concave shape so that the locking protrusion 30 of the thin plate container hook 5 can be smoothly fitted.
  • the locking projection 30 of the thin plate container hook 5 is fitted into the notch 8, so that the thin plate container hook 5 is positioned and supported.
  • the edge of the notch 8 is also curved in an arc shape, and the locking projection 30 slides the locking plate 7 so that it fits smoothly into the notch 8 and can be pulled out smoothly. It can be done.
  • the fitting protrusions 10 and the fitting grooves 11 are composed of convex portions and concave portions having the same shape so as to be fitted to each other.
  • the fitting recess 18 and the fitting projection 17 of the upper container portion 3 described later having the same shape as the fitting projection 10 and the fitting recess 11 are fitted into the fitting projection of the lower container portion 2.
  • the strip 10 and the mating recess 11 are fitted to each other, and the lower container 2 is covered with the upper container 3 positioned and supported.
  • the bottom of the lower container portion 2 is fitted with a wafer carrier 4 to be described later.
  • Wafer carrier support grooves 13 for supporting the wafer carrier 4 by fitting the foot portions 22 are formed.
  • the wafer carrier support grooves 13 are respectively provided at two positions on the bottom of the lower container part 2 in accordance with the fitting feet 22 of the wafer carrier 4.
  • the upper container part 3 is a container for covering the upper side of the lower container part 2 in which the semiconductor wafer W is stored. Similar to the lower container part 2, the upper container part 3 is composed of a deep-bottomed container having a substantially rectangular plane shape. As shown in FIGS. 2 to 6, a bulging portion 3 ⁇ / b> A bulging outward is formed at the lower portion of the upper container portion 3. The bulging portion 3A is provided over the entire circumference of the lower portion of the upper container portion 3. A locking plate 15 (see FIG. 13) is provided at the upper end portion of the bulging portion 3A on the short side of the upper container portion 3.
  • the locking plate 15 is made of a plate material extending upward from the upper end portion of the bulging portion 3A, and is fitted to an upper hook portion 26 of a thin plate container hook 5 described later.
  • a notch (not shown) that fits into the locking projection 30 of the thin plate container hook 5 is provided. This notch is configured in the same manner as the notch 8 of the locking plate 7 of the lower container part 2.
  • the lower end portion of the upper container part 3 is provided with a fitting protrusion 17 on the left half in the longitudinal direction on the long side and a fitting groove 18 on the right half, respectively. Yes.
  • These fitting ridges 17 and fitting ridges 18 are configured in the same shape as the fitting ridges 10 and the fitting ridges 11 of the lower container part 2.
  • the fitting ridges 17 and the fitting ridges 18 and the fitting ridges 10 and the fitting ridges 11 of the lower container part 2 are fitted together, and the lower container part 2 is fitted to the upper container.
  • Part 3 is adapted to be covered while being positioned and supported.
  • a wafer carrier support groove 13 that supports the wafer carrier 4 by fitting the fitting foot portion 22 of the wafer carrier 4 is formed at the bottom of the upper container portion 3.
  • the wafer carrier support groove 13 is provided at two positions on the bottom of the upper container part 3 according to the fitting foot part 22 of the wafer carrier 4.
  • the lower container part 2 and the upper container part 3 are configured in the same shape, and the wafer carrier 4 can be accommodated even if the upper and lower sides are interchanged and the shift is on the lower side. .
  • the wafer carrier 4 mainly includes a groove plate portion 21 and a fitting foot portion 22.
  • the groove plate portion 21 includes a plurality of support grooves 21A, and the semiconductor wafer W is fitted and supported in each support groove 21A.
  • the groove plate portions 21 are opposed to each other symmetrically. It is designed to support both sides of the semiconductor wafer W.
  • the fitting foot portion 22 is provided at the lower end portion of each groove plate portion 21 so as to extend downward.
  • Each fitting foot 22 is a member for supporting the entire wafer carrier 4. Further, each fitting foot 22 is fitted into each wafer carrier support groove 13 in a state where the wafer carrier 4 is stored in the lower container part 2, so that the wafer carrier 4 is placed in the lower container part 2. This is a member for positioning and supporting at an accurate position.
  • each fitting foot portion 22 is also fitted to the upper container portion 3. In a state where the wafer carrier 4 is stored in the upper container portion 3 disposed on the lower side, each fitting foot portion 22 is fitted into each wafer carrier support groove 13 to Position and support at an accurate position in the upper container part 3.
  • the thin plate container hook 5 is a member for fixing the lower container part 2 in a state where the upper container part 3 is covered.
  • the thin plate container hook 5 includes a main body portion 25, an upper hook portion 26, a lower hook portion 27, a panel mounting portion 28, and a plate panel. 29 and a locking projection 30.
  • the main body 25 is a plate-like member that constitutes substantially the entire shape of the thin plate container hook 5.
  • the main body 25 is made of a synthetic resin having elasticity. Specifically, it is made of a synthetic resin material having a strength capable of reliably supporting the lower container part 2 with the upper container part 3 covered. Select the type of synthetic resin according to the size and weight of the lower container part 2 and upper container part 3.
  • the left and right ends of the central portion of the main body portion 25 are provided with symmetrical left and right concave portions 25A for gripping by hand.
  • the upper hook portion 26 is a portion that is provided at the upper end of the main body portion 25 and forms a groove portion 26A for hooking on the locking plate 15 of the upper container portion 3.
  • the groove 26A is formed to match the shape of the upper end of the locking plate 15.
  • the lower hook portion 27 is a portion that is provided at the lower end of the main body portion 25 and forms a groove portion 27A that is hooked on the locking plate 7 of the lower container portion 2.
  • the groove 27A is formed to match the shape of the lower end of the locking plate 7.
  • the panel attaching portion 28 is a notch for spanning the plate panel 29.
  • the panel attaching portion 28 cuts the center positions in the left-right direction of the upper hook portion 26 and the lower hook portion 27, respectively. It is formed with a notch.
  • one panel attaching portion 28 is provided for each of the upper hook portion 26 and the lower hook portion 27.
  • two or more panel attaching portions 28 may be provided depending on the number of plate panels 29 to be attached.
  • the plate panel 29 is a member for inertially contacting the locking plates 7 and 15.
  • the panel panel 29 is mounted over the panel mounting portion 28.
  • the locking projection 30 is fitted into a notch 8 formed in each of the locking plates 7 and 15 on the lower container portion 2 side and the upper container portion 3 side to hook the thin plate container This is the part for positioning and supporting 5.
  • This locking projection 30 is formed in the middle (center position) of the plate panel 29 so as to protrude in a V shape toward the notch 8 side of each locking plate 7, 15.
  • the V-shaped locking projection 30 is fitted into the arcuate cutout 8 to position and support the thin plate container hook 5.
  • the locking projection 30 may be provided with a force 2 or more, which is provided on the plate panel 29 alone. When emphasizing the prevention of lateral displacement of the thin container hook 5, increase the number of locking protrusions 30.
  • the upper hook portion 26 and the lower hook portion 27 are formed symmetrically in the vertical direction. Further, the upper hook portion 26 and the lower hook portion 27 are formed symmetrically. As a result, the thin plate storage container hook 5 is inserted and attached to the locking plates 7 and 15 on the lower container part 2 side and the upper container part 3 side in any direction regardless of whether it is up, down, left or right. I am able to do that.
  • the thin plate container 1 configured as described above is used as follows.
  • the lower container part 2, the upper container part 3 and the wafer carrier 4 are prepared, and the semiconductor wafer W is stored in the wafer carrier 4.
  • the wafer carrier 4 is accommodated in either the lower container part 2 or the upper container part 3, and the fitting feet 22 of the wafer carrier 4 are fitted into the wafer carrier support grooves 13.
  • the latch plate 7 of the lower container part 2 and the latch plate 15 of the upper container part 3 are used for a thin plate container.
  • Attach hook 5 Specifically, holding the concave portion 25A of the thin plate container hook 5 by hand, the upper hook portion 26 is on the upper locking plate 7 or 15, and the lower hook portion 27 is on the lower locking plate 15 or 7 And the thin plate container hook 5 is slid to the center position of the locking plates 7 and 15.
  • the locking projection 30 of the plate panel 29 is fitted into the notch 8 while sliding the locking plates 7 and 15, and the thin plate container hook 5 is positioned and supported. At this time, it is not necessary to align the upper and lower left and right sides of the thin plate storage container hook 5 when fitting the thin plate storage container hook 5 to the locking plates 7 and 15, and the upper hook portion 26 of the thin plate storage container hook 5 and The lower hook portion 27 only needs to be appropriately fitted to one of the locking plates 7 and 15 of the lower container portion 2 and the upper container portion 3.
  • the upper container part 3 or the lower container part 2 on the upper side is removed, and the internal wafer carrier 4 is taken out. Then, the semiconductor wafers W and W in the wafer carrier 4 are appropriately taken out and processed.
  • the thin plate container 1 has the following effects.
  • the locking protrusions 30 of the plate panel 29 are connected to the locking plates 7 and 15, respectively.
  • the thin plate storage container hooks 5 are positioned and supported on the respective locking plates 7 and 15 by being fitted into the notches 8 of 15, and the thin plate storage container hooks 5 are connected to the lower container portion 2 and the upper container portion. Therefore, the lower container part 2 and the upper container part 3 can be easily fixed.
  • the thin plate storage container hook 5 is formed vertically and horizontally symmetrically, it is not necessary to match the top, bottom, left and right, so that the thin plate storage container hook can be easily attached and the lower container portion And the upper container part can be easily fixed.

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Abstract

　薄板収納容器用フック５を容易に取り付け、下側容器部２と上側容器部３とを容易に固定する。板状の本体部２５と、上側容器部３の係止板１５に引っ掛けるための溝部２６Ａを形成する上側フック部２６と、下側容器部２の係止板７に引っ掛けるための溝部２７Ａを形成する下側フック部２７と、前記上側フック部２６及び下側フック部２７の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部２８と、各バネ取付け部２８に掛け渡して取り付けられた板バネ２９と、この板バネ２９の途中に設けられ下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５にそれぞれ形成された切り欠き８に嵌合して位置決め支持する係止用突起３０とを備えて構成した。前記上側フック部２６と下側フック部２７とは、上下対称に形成した。また、上側フック部２６及び下側フック部２７はそれぞれ左右対称に形成した。

Description

明 細 書
薄板収納容器用フック及び薄板収納容器
技術分野
[0001] この発明は、半導体ウェハなどの薄板を収納して、搬送及び保管するための薄板 収納容器に用いる薄板収納容器用フック及びその薄板収納容器用フックを用いた薄 板収納容器に関するものである。
背景技術
[0002] 少数の薄板を収納して搬送、保管等する薄板収納容器は一般に知られて 、る。こ のような薄板収納容器では、収納する薄板の枚数が少ない場合、全体に小型となり、 本体部と蓋体部との間は、粘着テープで固定される。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] ところで、上述の薄板収納容器のように、本体部と蓋体部との間を粘着テープで固 定する場合、粘着面がいろんなところに接着してしまうため、本体部と蓋体部との間 に正確に位置決めして貼り付けなければならない。このため、粘着テープを張る作業 に時間がかかり、作業性が悪い。さらに、ゴミも発生するという問題がある。
課題を解決するための手段
[0004] 本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、下側容器部と上側容器部とを容易 に固定することができる薄板収納容器用フック及び薄板収納容器を提供するもので ある。このため、第 1の発明は、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体 部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側 フック部と、前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための 溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中 間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたパネ取付け部と、当該各パネ取付け部に掛 け渡して取り付けられた板パネと、当該板パネの途中に設けられ前記下側容器部側 及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め 支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成 されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成された ことを特徴とする。
[0005] 前記構成により、上側容器部と下側容器部とが合わさった状態で、上側容器部の 係止板と下側容器部の係止板とに、上側フック部の溝部と下側フック部の溝部とがそ れぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けられる。このとき、各パネ取付け部 の板パネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り 欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これ により、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
[0006] また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック 部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フック は、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
[0007] 前記第 1の発明にかかる、本体部の上下方向中央部の左右方向両端部には、手で 掴むための左右対称の凹部を設けることが望まし 、。
[0008] 前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止 板に取り付ける。
[0009] 第 2の発明は、薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、当該下側容器部の上 側に被せられる上側容器部と、前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態で これらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、前記下側容器部と上側容器 部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及 び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、前 記薄板収納容器用フックが、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部 の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上 側フック部と、前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛ける ための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方 向の中間位置をそれぞれ切り欠 ヽて形成されたパネ取付け部と、当該各パネ取付け 部に掛け渡して取り付けられた板パネと、当該板パネの途中に設けられ前記下側容 器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位 置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称 に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成 されたことを特徴とする。
[0010] 前記構成により、下側容器部に薄板を複数枚収納して、この下側容器部に上側容 器部を被せ、各係止板に前記薄板収納容器用フックの上側フック部及び下側フック 部をそれぞれ引っ掛けて、薄板収納容器用フックを取り付ける。このとき、各パネ取 付け部の板パネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止 板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持す る。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定され る。
[0011] また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック 部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フック は、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
[0012] 前記第 2の発明に係る、薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右 方向両端部には、手で掴むための左右対称の凹部を設けることが望ましい。
[0013] 前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止 板に取り付ける。
発明の効果
[0014] 下側容器部及び上側容器部の各係止板に、薄板収納容器用フックを取り付けると 、板パネの係止用突起が各係止板の切り欠きに嵌合して、薄板収納容器用フックを 各係止板に位置決め支持して、この薄板収納容器用フックが下側容器部と上側容器 部とを固定するため、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができるよう になる。
[0015] また、薄板収納容器用フックが、上下、左右対称に形成されて、その上下左右を合 わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることがで き、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
図面の簡単な説明
[0016] [図 1]本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す正面図である。
[図 2]本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面図である。 [図 3]本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面断面図であ る。
[図 4]本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す側面図である。
[図 5]本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す平面図である。
[図 6]本発明の実施形態に係る薄板収納容器をその上側容器部を取り外した状態で 示す平面図である。
[図 7]本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡 大正面図である。
[図 8]本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡 大平面図である。
[図 9]本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す側面図である。
[図 10]本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す平面図である。
[図 11]図 1の A— A線矢視断面図である。
[図 12]図 1の B— B線矢視断面図である。
[図 13]本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを係止板に取り付けた状態で 示す側面図である。
[図 14]本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックの板パネ及び係止板の部分 を示す要部拡大図である。
符号の説明
[0017] 1 :薄板収納容器、 2 :下側容器部、 2A:膨出部、 3 :上側容器部、 3A:膨出部、 4 : ウェハキャリア、 5 :薄板収納容器用フック、 7 :係止板、 8 :切り欠き、 10 :嵌合凸条、 1 1 :嵌合凹条、 13 :ウェハキャリア支持溝、 15 :係止板、 17 :嵌合凸条、 18 :嵌合凹条 、 21 :溝板部、 22 :嵌合足部、 25 :本体部、 26 :上側フック部、 27 :下側フック部、 28 ：バネ取付け部、 29 :板パネ、 30 :係止用突起、 W:半導体ウェハ。
発明を実施するための最良の形態
[0018] 以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容 器は、半導体ウェハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスクなどの薄板を収納 して、搬送、保管に供するための容器である。本実施形態では、半導体ウェハを収 納する薄板収納容器を例に説明する。
[0019] 薄板収納容器 1は、図 2〜6に示すように主に、下側容器部 2と、上側容器部 3と、ゥ ェハキャリア 4と、薄板収納容器用フック 5とから構成されて 、る。
[0020] 前記下側容器部 2は、半導体ウェハ Wを内部に複数枚並べて収納するための容器 である。この下側容器部 2は、平面形状がほぼ長方形の深底の容器で構成されてい る。この下側容器部 2の上部には外側へ膨らませた膨出部 2Aが形成されている。こ の膨出部 2Aは、前記下側容器部 2の上部の全周に亘つて設けられている。前記下 側容器部 2の短辺側（図 6中の左右両側）の膨出部 2Aの下端部には係止板 7 (図 13 、 14参照）が設けられている。この係止板 7は、膨出部 2Aの下端部から下方に延出 した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック 5の下側フック部 27に嵌合す るようになっている。係止板 7の中央部には、薄板収納容器用フック 5の係止用突起 3 0に嵌合する切り欠き 8 (図 14参照）が設けられている。この切り欠き 8は、薄板収納 容器用フック 5の係止用突起 30がスムーズに嵌合するように、円弧状の凹状に形成 されている。これにより、薄板収納容器用フック 5の係止用突起 30が切り欠き 8に嵌合 することで、薄板収納容器用フック 5が位置決めして支持されるようになっている。さら に、切り欠き 8の縁部も円弧状に湾曲して形成され、係止用突起 30が係止板 7をスラ イドして切り欠き 8にスムーズに嵌合すると共に、スムーズに抜き取ることができるよう になっている。
[0021] 前記下側容器部 2の上端部には、長辺側（図 6中の上下両側）の長手方向の一側 半分 (図 3中の右半分)に嵌合凸条 10が、他側半分 (図 3中の左半分)に嵌合凹条 1 1がそれぞれ設けられている。さら〖こ、これら嵌合凸条 10と嵌合凹条 11は、 2つは長 辺にそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条 10と嵌合凹条 11は、図 7、 8に示すよ うに、互いに嵌合しあえるように、同じ形状の凸部と凹部によって構成されている。こ れにより、この嵌合凸条 10及び嵌合凹条 11と同じ形状の後述する上側容器部 3の 嵌合凹条 18及び嵌合凸条 17が、前記下側容器部 2の嵌合凸条 10と嵌合凹条 11に それぞれ嵌合して、下側容器部 2に上側容器部 3が位置決め支持された状態で被せ られるようになっている。
[0022] 前記下側容器部 2の底部には、図 3に示すように、後述するウェハキャリア 4の嵌合 足部 22が嵌合してウェハキャリア 4を支持するウェハキャリア支持溝 13が形成されて いる。このウェハキャリア支持溝 13は、ウェハキャリア 4の嵌合足部 22に合わせて、 前記下側容器部 2の底部の 2箇所の位置にそれぞれ設けられている。
[0023] 上側容器部 3は、半導体ウェハ Wが収納された前記下側容器部 2の上側に被せる ための容器である。この上側容器部 3は、前記下側容器部 2と同様に、平面形状がほ ぼ長方形の深底の容器から構成されている。この上側容器部 3の下部には、図 2〜6 に示すように、外側へ膨らませた膨出部 3Aが形成されている。この膨出部 3Aは、上 側容器部 3の下部の全周に亘つて設けられて 、る。上側容器部 3の短辺側の膨出部 3Aの上端部には係止板 15 (図 13参照）が設けられている。この係止板 15は、膨出 部 3Aの上端部から上方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フッ ク 5の上側フック部 26に嵌合するようになつている。係止板 15の中央部には、薄板収 納容器用フック 5の係止用突起 30に嵌合する切り欠き (図示せず)が設けられている。 この切り欠きは、下側容器部 2の係止板 7の切り欠き 8と同様に構成されている。
[0024] 上側容器部 3の下端部には、図 3に示すように、長辺側の長手方向の左半分に嵌 合凸条 17が、右半分に嵌合凹条 18がそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条 17 と嵌合凹条 18は、前記下側容器部 2の嵌合凸条 10及び嵌合凹条 11と同じ形状に 構成されている。これにより、この嵌合凸条 17及び嵌合凹条 18と下側容器部 2の嵌 合凸条 10及び嵌合凹条 11とがそれぞれ嵌合して、前記下側容器部 2に上側容器部 3が、位置決め支持された状態で被せられるようになつている。
[0025] 上側容器部 3の底部には、ウェハキャリア 4の嵌合足部 22が嵌合してウェハキヤリ ァ 4を支持するウェハキャリア支持溝 13が形成されている。このウェハキャリア支持溝 13は、ウェハキャリア 4の嵌合足部 22に合わせて、上側容器部 3の底部の 2箇所の 位置にそれぞれ設けられて!/ヽる。
[0026] これにより、下側容器部 2と上側容器部 3とは同じ形状に構成されて、上下を入れ替 えて 、ずれを下側にしても、ウェハキャリア 4を収納できるようになって 、る。
[0027] ウェハキャリア 4は主に、溝板部 21と、嵌合足部 22とを備えて構成されている。溝 板部 21は、複数の支持溝 21Aを備えて構成され、各支持溝 21Aに半導体ウェハ W が嵌合して支持されるようになっている。溝板部 21は、左右対称に、互いに対向させ て設けられ、半導体ウェハ Wを両側力も支持するようになっている。嵌合足部 22は、 各溝板部 21の下端部に下方へ延出して設けられている。各嵌合足部 22は、ウェハ キャリア 4全体を支持するための部材である。さらに、各嵌合足部 22は、ウェハキヤリ ァ 4が前記下側容器部 2に収納された状態で、各ウェハキャリア支持溝 13に嵌合し て、ウェハキャリア 4を前記下側容器部 2内の正確な位置に位置決めして支持するた めの部材である。さらに、各嵌合足部 22は、上側容器部 3に対しても嵌合する。ゥェ ハキャリア 4が、下側に配設された上側容器部 3に収納された状態で、各嵌合足部 2 2が各ウェハキャリア支持溝 13にそれぞれ嵌合して、ウェハキャリア 4を上側容器部 3 内の正確な位置に位置決めして支持する。
[0028] 薄板収納容器用フック 5は、前記下側容器部 2に前記上側容器部 3を被せた状態 でこれらの間を固定するための部材である。
[0029] 前記薄板収納容器用フック 5は、図 1、 9〜12に示すように、本体部 25と、上側フッ ク部 26と、下側フック部 27と、パネ取付け部 28と、板パネ 29と、係止用突起 30とから 構成されている。
[0030] 本体部 25は、薄板収納容器用フック 5のほぼ全体形状を構成する板状部材である 。この本体部 25は、弾性を有する合成樹脂で構成されている。具体的には、下側容 器部 2に上側容器部 3が被せられた状態で、これらを確実に支持できる強度を備えて 橈る合成樹脂材料で構成されている。下側容器部 2及び上側容器部 3の大きさ、重 量に応じて、合成樹脂の種類を選択する。本体部 25の上下方向中央部の左右方向 両端部には、手で掴むための左右対称の凹部 25Aが設けられている。
[0031] 上側フック部 26は、本体部 25の上端に設けられ上側容器部 3の係止板 15に引つ 掛けるための溝部 26Aを形成する部分である。溝部 26Aは係止板 15の上端部形状 に合わせて形成されて 、る。
[0032] 下側フック部 27は、本体部 25の下端に設けられ下側容器部 2の係止板 7に引っ掛 けるための溝部 27Aを形成する部分である。溝部 27Aは係止板 7の下端部形状に 合わせて形成されている。
[0033] パネ取付け部 28は、板パネ 29を掛け渡すための切り欠きである。このパネ取付け 部 28は、上側フック部 26及び下側フック部 27の左右方向の中央位置をそれぞれ切 り欠いて形成されている。このパネ取付け部 28は、本実施形態では、上側フック部 2 6及び下側フック部 27にそれぞれ 1つずつ設けたが、取り付ける板パネ 29の数に応 じて 2以上設ける場合もある。
[0034] 板パネ 29は、係止板 7、 15に弹性的に当接するための部材である。この板パネ 29 は、パネ取付け部 28に掛け渡して取り付けられている。
[0035] 係止用突起 30は、下側容器部 2側及び上側容器部 3側の各係止板 7、 15にそれ ぞれ形成された切り欠き 8に嵌合して薄板収納容器用フック 5を位置決め支持するた めの部分である。この係止用突起 30は、板パネ 29の途中（中央位置）に、各係止板 7、 15の切り欠き 8側へ V字状に隆起して形成されている。この V字状の係止用突起 30力 円弧状の切り欠き 8に嵌合して薄板収納容器用フック 5を位置決め支持するよ うになつている。係止用突起 30は、板パネ 29に 1つだけ設けられている力 2以上設 ける場合もある。薄板収納容器用フック 5の横ずれ防止に重点を置く場合は、係止用 突起 30の数を増やす。
[0036] さらに、上側フック部 26と下側フック部 27とは上下対称に形成されている。また、上 側フック部 26及び下側フック部 27は、それぞれ左右対称に形成されている。これに より、薄板収納容器用フック 5は、上下左右を問わず、どちらの方向からでも、下側容 器部 2側及び上側容器部 3側の各係止板 7、 15に挿入して取り付けることができるよ うになつている。
[0037] [作用]
以上のように構成された薄板収納容器 1は、次のようにして使用される。
[0038] まず、下側容器部 2、上側容器部 3及びウェハキャリア 4を準備し、ウェハキャリア 4 に半導体ウェハ Wを収納する。次いで、ウェハキャリア 4を下側容器部 2又は上側容 器部 3のいずれか一方の内部に収納して、ウェハキャリア 4の嵌合足部 22をウェハキ ャリア支持溝 13に嵌合させる。
[0039] 次いで、下側容器部 2又は上側容器部 3の他方を一方にその上側から被せる。これ により、下側容器部 2の嵌合凸条 10及び嵌合凹条 11と上側容器部 3の嵌合凹条 18 及び嵌合凸条 17とが互いに嵌合する。
[0040] 次いで、下側容器部 2の係止板 7と上側容器部 3の係止板 15とに薄板収納容器用 フック 5を取り付ける。具体的には、薄板収納容器用フック 5の凹部 25Aを手で持って 、上側フック部 26を上側の係止板 7又は 15に、下側フック部 27を下側の係止板 15 又は 7にそれぞれ嵌合させて、薄板収納容器用フック 5を各係止板 7、 15の中央位 置までスライドさせる。
[0041] これにより、板パネ 29の係止用突起 30が係止板 7、 15をスライドしながら、切り欠き 8に嵌合して、薄板収納容器用フック 5を位置決めして支持する。このとき、薄板収納 容器用フック 5を係止板 7、 15に嵌合させる際に、薄板収納容器用フック 5の上下左 右を合わせる必要がなぐ薄板収納容器用フック 5の上側フック部 26及び下側フック 部 27を、下側容器部 2及び上側容器部 3の係止板 7、 15のいずれかに適宜嵌合さ せるだけでよい。
[0042] 薄板収納容器 1内から半導体ウェハ Wを取り出す場合は、薄板収納容器用フック 5 をずらして、係止用突起 30を切り欠き 8から外し、薄板収納容器用フック 5を係止板 7 、 15から抜き取る。
[0043] 次いで、上側の上側容器部 3又は下側容器部 2を取り外して、内部のウェハキヤリ ァ 4を取り出す。そして、ウェハキャリア 4内の半導体ウエノ、 Wを適宜取り出して処理 等を施す。
[0044] [効果]
これにより、薄板収納容器 1は次のような効果を奏する。
[0045] 下側容器部 2及び上側容器部 3の各係止板 7、 15に、薄板収納容器用フック 5を取 り付けると、板パネ 29の係止用突起 30が各係止板 7、 15の切り欠き 8に嵌合して、薄 板収納容器用フック 5を各係止板 7、 15に位置決め支持して、この薄板収納容器用 フック 5が下側容器部 2と上側容器部 3とを固定するため、下側容器部 2と上側容器 部 3とを容易〖こ固定することができるようになる。
[0046] また、薄板収納容器用フック 5が、上下、左右対称に形成されて、その上下左右を 合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることが でき、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。

Claims

請求の範囲
[1] ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形 成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形 成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠 、て 形成されたパネ取付け部と、
当該各パネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板パネと、
当該板パネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板 にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、 前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック 部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容 器用フック。
[2] 請求項 1に記載の薄板収納容器用フックにぉ 、て、
前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の 凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
[3] 薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、
当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、
前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収 納容器用フックとを備え、
前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができる と共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止す る係止板をそれぞれ設け、
前記薄板収納容器用フックが、
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部 を形成する上側フック部と、 前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部 を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠 、て 形成されたパネ取付け部と、
当該各パネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板パネと、
当該板パネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板 にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、 前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック 部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容 請求項 3に記載の薄板収納容器にお 、て、
前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手 で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
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