JPH0744020Y2 - ウエーハ容器におけるウエーハ支持板 - Google Patents
ウエーハ容器におけるウエーハ支持板Info
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- JPH0744020Y2 JPH0744020Y2 JP1408989U JP1408989U JPH0744020Y2 JP H0744020 Y2 JPH0744020 Y2 JP H0744020Y2 JP 1408989 U JP1408989 U JP 1408989U JP 1408989 U JP1408989 U JP 1408989U JP H0744020 Y2 JPH0744020 Y2 JP H0744020Y2
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- wafers
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、容器内に収容した半導体ウエーハを損傷，汚
染から防いで安全に輸送するためにウエーハ容器に用い
られるウエーハ支持板の改良、特に半導体ウエーハ下縁
を担持するウエーハ容器用支持板に関するものである。
染から防いで安全に輸送するためにウエーハ容器に用い
られるウエーハ支持板の改良、特に半導体ウエーハ下縁
を担持するウエーハ容器用支持板に関するものである。
一般に、半導体単結晶柱体をスライスした薄板状のウエ
ーハは、各種電子機器類での集積回路を作るためにユー
ザーに向けて大量に輸送，保管する場合が多く、高価で
薄くて脆いIC用ウエーハを損傷，汚染から守るために取
扱上、運搬用の密閉容器内に、多数枚を安全に配列保持
収容することが知られている。
ーハは、各種電子機器類での集積回路を作るためにユー
ザーに向けて大量に輸送，保管する場合が多く、高価で
薄くて脆いIC用ウエーハを損傷，汚染から守るために取
扱上、運搬用の密閉容器内に、多数枚を安全に配列保持
収容することが知られている。
従来、この輸送用容器内では、各ウエーハを互いに接触
しないように一定間隔をおいて個別に収容するのに、弾
性片を持った支持板などにより弾性的に保持して、輸送
中の振動によるウエーハの破損やウエーハの支持部材と
のガタつき摩擦接触によって生ずる微粉によって、ウエ
ーハＷが汚染されるのを防止している（特公昭56−4706
7号，特開昭52−118390号，特開昭60−193877号公報な
ど）。
しないように一定間隔をおいて個別に収容するのに、弾
性片を持った支持板などにより弾性的に保持して、輸送
中の振動によるウエーハの破損やウエーハの支持部材と
のガタつき摩擦接触によって生ずる微粉によって、ウエ
ーハＷが汚染されるのを防止している（特公昭56−4706
7号，特開昭52−118390号，特開昭60−193877号公報な
ど）。
ところが、従来の弾性部材のウエーハ支持板では、輸送
中の振動によってウエーハと絶えず滑りながら接触し微
粉を生ずるため、或いは蓋体開閉時の取扱いによる摩擦
接触で微粉発生となるためウエーハの汚染防止という点
では完全なものではなく、しかも容器まで軟質材料を用
いる必要性が生じ、材料選択の自由度も少なく剛性の点
も問題が生じるし、作業取扱上の厳格さを要求され、多
量処理に対応できないこととなりやすい。
中の振動によってウエーハと絶えず滑りながら接触し微
粉を生ずるため、或いは蓋体開閉時の取扱いによる摩擦
接触で微粉発生となるためウエーハの汚染防止という点
では完全なものではなく、しかも容器まで軟質材料を用
いる必要性が生じ、材料選択の自由度も少なく剛性の点
も問題が生じるし、作業取扱上の厳格さを要求され、多
量処理に対応できないこととなりやすい。
また全体として助骨状を呈する多数の弾性片がウエーハ
を個別に支持するものであるため、それぞれは隣接する
弾性片と所定の間隔を保って独立していることが必要
で、これが狭すぎると成形時の金型の強度が維持しにく
くなり、また広すぎると容器内側にある各リブの位置に
対する寸法上の僅かな誤差や、収容するウエーハの厚さ
ムラ等により、ウエーハの下縁がこの間隙にはまり込ん
でしまい、ウエーハの安全な支持ができず、取扱上煩雑
となるなどの欠点があり、殊にウエーハの大きさの相違
するものを収容する場合には、安定した担持が不可能
で、各種サイズに対応した支持板を生産しなければなら
ず、ウエーハ汚染防止の精度の低下を惹起するおそれが
あって、不経済かつコスト割り高となるなど問題があっ
た。
を個別に支持するものであるため、それぞれは隣接する
弾性片と所定の間隔を保って独立していることが必要
で、これが狭すぎると成形時の金型の強度が維持しにく
くなり、また広すぎると容器内側にある各リブの位置に
対する寸法上の僅かな誤差や、収容するウエーハの厚さ
ムラ等により、ウエーハの下縁がこの間隙にはまり込ん
でしまい、ウエーハの安全な支持ができず、取扱上煩雑
となるなどの欠点があり、殊にウエーハの大きさの相違
するものを収容する場合には、安定した担持が不可能
で、各種サイズに対応した支持板を生産しなければなら
ず、ウエーハ汚染防止の精度の低下を惹起するおそれが
あって、不経済かつコスト割り高となるなど問題があっ
た。
本考案では、これら従来の諸問題を解決しようとするも
ので、ウエーハの安定した担持が可能で、ウエーハの精
度を著しく向上でき、しかも各サイズにも対応でき、担
持させる取扱操作も簡便であって、かつ支持板成形を容
易で安価にできるウエーハ容器におけるウエーハ支持板
を提供することを目的としたものである。
ので、ウエーハの安定した担持が可能で、ウエーハの精
度を著しく向上でき、しかも各サイズにも対応でき、担
持させる取扱操作も簡便であって、かつ支持板成形を容
易で安価にできるウエーハ容器におけるウエーハ支持板
を提供することを目的としたものである。
本考案は、IC用ウエーハの多数枚を収容する容器内に備
えられ、各ウエーハをそれぞれ一定間隔をおいて配列担
持しうるウエーハ支持板10であって、支枠部11の両側に
ある立上り部２に続いて水平状部3,3をそれぞれ対向し
て備え、該水平状部3,3間の中間部を下方に弓なりに弯
曲した弯曲部４を備え、一方の立上り部２から他方の立
上り部２に至る方向に延在形成したスリット７によって
短冊状にした弾性片１をウェーハの配列方向に複数並列
形成すると共に、各弾性片１の水平状部３と弯曲部４と
の境界位置に、互いに対面する内側面が斜面で略Ｖ字状
となる一組の山形のウエーハ係止用突壁5,51を間隔をお
いて対設し、かつ前記スリット７を挟んで対面している
該ウエーハ係止用突壁5,51の外側面はそれぞれ前記スリ
ット７に沿って屈曲もしくは屈折形成したものである。
えられ、各ウエーハをそれぞれ一定間隔をおいて配列担
持しうるウエーハ支持板10であって、支枠部11の両側に
ある立上り部２に続いて水平状部3,3をそれぞれ対向し
て備え、該水平状部3,3間の中間部を下方に弓なりに弯
曲した弯曲部４を備え、一方の立上り部２から他方の立
上り部２に至る方向に延在形成したスリット７によって
短冊状にした弾性片１をウェーハの配列方向に複数並列
形成すると共に、各弾性片１の水平状部３と弯曲部４と
の境界位置に、互いに対面する内側面が斜面で略Ｖ字状
となる一組の山形のウエーハ係止用突壁5,51を間隔をお
いて対設し、かつ前記スリット７を挟んで対面している
該ウエーハ係止用突壁5,51の外側面はそれぞれ前記スリ
ット７に沿って屈曲もしくは屈折形成したものである。
本考案のウエーハ支持板は、ウエーハ容器の底部に嵌装
され、多数のウエーハＷを容体ＡのリブD,D間に沿って
個別に挿入する際、その下縁が容体底部にあるウエーハ
支持板10において、ウエーハの配列方向に複数並列形成
した短冊状の弾性片１上のそれぞれの弯曲部４に挿入か
れ、一組のウエーハ係止用突壁5,51間及び一組の係止片
6,6間に保持され、スリット７にはまり込む恐れがな
く、突壁5,51の間に常に間違いなく収めることができ、
前記ウエーハＷのサイズが代わっても前記弯曲部４で座
りが良く担持され、緩衝性も良好となって、容器内での
保持維持が適確で安定した状態で収容でき、しかもウエ
ーハＷは隙間をおいて、それぞれ個別に支持されるた
め、互いに接触することなくウエーハＷの輸送中におけ
る振動にも充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に
高められ、かつ、ウエーハが弾性片１から外れて他の部
品と接触し微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく
用いられるし、閉蓋などの取扱も簡便安全で多量作業に
適し、その上容器の材料選択の自由度も大幅に広がり生
産性を著しく良好にできるものである。
され、多数のウエーハＷを容体ＡのリブD,D間に沿って
個別に挿入する際、その下縁が容体底部にあるウエーハ
支持板10において、ウエーハの配列方向に複数並列形成
した短冊状の弾性片１上のそれぞれの弯曲部４に挿入か
れ、一組のウエーハ係止用突壁5,51間及び一組の係止片
6,6間に保持され、スリット７にはまり込む恐れがな
く、突壁5,51の間に常に間違いなく収めることができ、
前記ウエーハＷのサイズが代わっても前記弯曲部４で座
りが良く担持され、緩衝性も良好となって、容器内での
保持維持が適確で安定した状態で収容でき、しかもウエ
ーハＷは隙間をおいて、それぞれ個別に支持されるた
め、互いに接触することなくウエーハＷの輸送中におけ
る振動にも充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に
高められ、かつ、ウエーハが弾性片１から外れて他の部
品と接触し微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく
用いられるし、閉蓋などの取扱も簡便安全で多量作業に
適し、その上容器の材料選択の自由度も大幅に広がり生
産性を著しく良好にできるものである。
本考案の詳細を第１〜10図に示す実施例に基づいて説明
すると、ウエーハ容器は第10図に示すように容体Ａと上
蓋Ｂとから構成され、それぞれの開口周縁には互いに係
合閉止するための段部Ｃが形成されている。この容体Ａ
は内側部にウエーハＷの配列方向に多数のリブＤが互い
に対向突設されていて、それぞれの隣接するリブD,D間
に各ウエーブＷを個別に、その左右両側縁において支持
し得るようになっていると共に、容体Ａの底部に短冊状
の弾性片１が多数あるウエーハ支持板10が着脱自在に備
えられている。上蓋Ｂの内面部には一対の弾性部材又は
剛性部材Ｅがあって、各ウエーハＷの上縁は上蓋Ｂと底
部のウエーハ支持板10にある弾性片１との間で弾性的に
保持し、輸送中の振動に備えている。
すると、ウエーハ容器は第10図に示すように容体Ａと上
蓋Ｂとから構成され、それぞれの開口周縁には互いに係
合閉止するための段部Ｃが形成されている。この容体Ａ
は内側部にウエーハＷの配列方向に多数のリブＤが互い
に対向突設されていて、それぞれの隣接するリブD,D間
に各ウエーブＷを個別に、その左右両側縁において支持
し得るようになっていると共に、容体Ａの底部に短冊状
の弾性片１が多数あるウエーハ支持板10が着脱自在に備
えられている。上蓋Ｂの内面部には一対の弾性部材又は
剛性部材Ｅがあって、各ウエーハＷの上縁は上蓋Ｂと底
部のウエーハ支持板10にある弾性片１との間で弾性的に
保持し、輸送中の振動に備えている。
各ウエーハＷをそれぞれ一定間隔をおいて配列担持しう
る前記ウエーハ支持板10は、支枠部11を設け、該支枠部
11のウエーハ配列に沿って延び、両側部位にある立上り
部２に続いて水平状部3,3をそれぞれ対向して備え、該
水平状部3,3間の中間部を下方に弓なりに弯曲した弯曲
部４を備え、一方の立ち上り部から他方の立ち上り部に
至る延在方向に形成したスリット７によって短冊状にし
た弾性片１をウエーハの配列方向に複数並列形成すると
共に、該弾性片１の水平状部３と弯曲部４との境界位置
に、互いに対面する内側面が斜面で略Ｖ字状となる一組
の山形のウエーハ係止用突壁5,51を間隔をおいて対設
し、かつ前記スリット７を挟んで対面している該ウエー
ハ係止用突壁5,51の外側面は、それぞれ前記スリット７
に沿って屈曲もしくは屈折形成してある。
る前記ウエーハ支持板10は、支枠部11を設け、該支枠部
11のウエーハ配列に沿って延び、両側部位にある立上り
部２に続いて水平状部3,3をそれぞれ対向して備え、該
水平状部3,3間の中間部を下方に弓なりに弯曲した弯曲
部４を備え、一方の立ち上り部から他方の立ち上り部に
至る延在方向に形成したスリット７によって短冊状にし
た弾性片１をウエーハの配列方向に複数並列形成すると
共に、該弾性片１の水平状部３と弯曲部４との境界位置
に、互いに対面する内側面が斜面で略Ｖ字状となる一組
の山形のウエーハ係止用突壁5,51を間隔をおいて対設
し、かつ前記スリット７を挟んで対面している該ウエー
ハ係止用突壁5,51の外側面は、それぞれ前記スリット７
に沿って屈曲もしくは屈折形成してある。
この場合、ウエーハ支持板10としては、ウエーハ容体Ａ
の内底部に嵌挿しうる長方形の支枠部11と、該支枠部1
1,11間に立上り部2,2を介して支架された多数の短冊状
の弾性片１とを合成樹脂材料で一体成形されたものであ
って、該弾性片１の中間部位にあって各ウエーハＷの下
縁を受け止める弓なりに弯曲した弯曲部４をその底面を
支枠部11より上方位置に配置し、該弯曲部４の中央位置
に対向する内側面が斜面で略Ｖ字状となり、ウエーハＷ
を係止する一組の山形係止片6,6を対向突設し、これを
中央として幅方向の両側に山形のウエーハ係止用突壁5,
51をそれぞれ対向して三点支持で或いはウエーハの径が
大きい場合には、係止片6,6を除く二点支持となるよう
にし、このウエーハ係止用突壁5,51の一組によって形成
される対称側面が第5,6図のように略Ｖ字状になる斜面
からなってウエーハＷを常時中心位置に配置できるよう
にしている。
の内底部に嵌挿しうる長方形の支枠部11と、該支枠部1
1,11間に立上り部2,2を介して支架された多数の短冊状
の弾性片１とを合成樹脂材料で一体成形されたものであ
って、該弾性片１の中間部位にあって各ウエーハＷの下
縁を受け止める弓なりに弯曲した弯曲部４をその底面を
支枠部11より上方位置に配置し、該弯曲部４の中央位置
に対向する内側面が斜面で略Ｖ字状となり、ウエーハＷ
を係止する一組の山形係止片6,6を対向突設し、これを
中央として幅方向の両側に山形のウエーハ係止用突壁5,
51をそれぞれ対向して三点支持で或いはウエーハの径が
大きい場合には、係止片6,6を除く二点支持となるよう
にし、このウエーハ係止用突壁5,51の一組によって形成
される対称側面が第5,6図のように略Ｖ字状になる斜面
からなってウエーハＷを常時中心位置に配置できるよう
にしている。
そして、ウエーハ係止用突壁5,51のある互いに隣接する
弾性片1,1間のスリット７は、直線状のスリットと、ウ
エーハ係止用突壁5,51を設けた位置でＺ字状又はＳ字状
の屈曲若しくは屈折したスリットとからなり、一方の立
ち上り部２から他方の立ち上り部に至る方向に形成し、
このスリット７を挟んで対面している、一組の対向する
突壁5,51は対称の位置の両側に相対して設けられ、また
弾性片１の一方の突壁５が、これに隣接する弾性片１の
他方の突壁51と側面から見て重複する位置に互いに隣接
して設けられていて、即ち、スリット７を挟んで対面し
ている突壁5,51の外側面をそれぞれスリット７に沿って
屈曲もしくは屈折配備し、スリット７にウエーハＷが落
入することがないようにし、各突壁5,51が弾性片１の両
側位置でそれぞれ平面千鳥状を呈するように配設されて
いる。
弾性片1,1間のスリット７は、直線状のスリットと、ウ
エーハ係止用突壁5,51を設けた位置でＺ字状又はＳ字状
の屈曲若しくは屈折したスリットとからなり、一方の立
ち上り部２から他方の立ち上り部に至る方向に形成し、
このスリット７を挟んで対面している、一組の対向する
突壁5,51は対称の位置の両側に相対して設けられ、また
弾性片１の一方の突壁５が、これに隣接する弾性片１の
他方の突壁51と側面から見て重複する位置に互いに隣接
して設けられていて、即ち、スリット７を挟んで対面し
ている突壁5,51の外側面をそれぞれスリット７に沿って
屈曲もしくは屈折配備し、スリット７にウエーハＷが落
入することがないようにし、各突壁5,51が弾性片１の両
側位置でそれぞれ平面千鳥状を呈するように配設されて
いる。
また、前記弾性片１は、その中間部を支枠部11の上方で
下方に弓なりに弯曲して、略ウエーハ下縁に沿う凹状の
弯曲部４を形成してあるが、周囲に外側壁のあるケース
状の底板と、外側壁の中位まで多数のスリット７を所定
間隔で形成して立上り部２のある弾性片１を備えたもの
として使用してもよい。さらに前記弯曲部４の略中央位
置に突設された山形係止片6,6は間隔をおいて対向側面
が略Ｖ字状となるように対向突設して一組備えてある
が、複数組設けたりすることが選んでできる。この場合
弯曲部４は係止片６の存在で、ウエーハの重みによって
弾性片１が末広がり状になるのを防止できるし、中間部
に設けられているので、ウエーハを嵌合しやすくなじみ
がよく、成形時に弾性片が凹状に変形しても可撓部があ
るので段差になじみやすくなる。
下方に弓なりに弯曲して、略ウエーハ下縁に沿う凹状の
弯曲部４を形成してあるが、周囲に外側壁のあるケース
状の底板と、外側壁の中位まで多数のスリット７を所定
間隔で形成して立上り部２のある弾性片１を備えたもの
として使用してもよい。さらに前記弯曲部４の略中央位
置に突設された山形係止片6,6は間隔をおいて対向側面
が略Ｖ字状となるように対向突設して一組備えてある
が、複数組設けたりすることが選んでできる。この場合
弯曲部４は係止片６の存在で、ウエーハの重みによって
弾性片１が末広がり状になるのを防止できるし、中間部
に設けられているので、ウエーハを嵌合しやすくなじみ
がよく、成形時に弾性片が凹状に変形しても可撓部があ
るので段差になじみやすくなる。
図中、12は脚片で支持板10と容体Ａの内底面との間に隙
間をあけてウエーハＷを空間部に保持しやすくしてあ
り、周囲に部分的に設けて容体Ａ内に嵌合しやすくして
あるが、全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにし
てもよい。13は切欠部で弾性片１の側面で、前記係止用
突壁5,51の位置に設けられている。
間をあけてウエーハＷを空間部に保持しやすくしてあ
り、周囲に部分的に設けて容体Ａ内に嵌合しやすくして
あるが、全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにし
てもよい。13は切欠部で弾性片１の側面で、前記係止用
突壁5,51の位置に設けられている。
F,F1は蓋係止用凹部、Ｇは蓋固定用フック、Ｈは蓋止用
舌片である。
舌片である。
なお、前記ウエーハ支持板10が適用されるウエーハ容器
としては、上蓋Ｂと容体Ａと内枠（図示せず）とからな
る容器でもよく、上蓋Ｂに装着される弾性部材Ｅについ
ても可撓板状のものや、異型板状のものなど各種の形状
のものが用いられ、またこれらによるウエーハＷの上縁
の支持手段についても各ウエーハを個別に係止するよう
にしたものでも、全体を一様に押圧支持するようにした
ものでも任意に採用することができる。
としては、上蓋Ｂと容体Ａと内枠（図示せず）とからな
る容器でもよく、上蓋Ｂに装着される弾性部材Ｅについ
ても可撓板状のものや、異型板状のものなど各種の形状
のものが用いられ、またこれらによるウエーハＷの上縁
の支持手段についても各ウエーハを個別に係止するよう
にしたものでも、全体を一様に押圧支持するようにした
ものでも任意に採用することができる。
また、この容器は内外圧（空気圧差および内外応力）の
変化に対応できるように適所にリブを備えた強靭な構造
体とし、その製作には内容物が透視可能なポリエチレ
ン、ポリプロピレン，アクリル樹脂などのプラスチック
からなる剛性の高い合成樹脂材質のものがウエーハ支持
板10と同様に採用される。
変化に対応できるように適所にリブを備えた強靭な構造
体とし、その製作には内容物が透視可能なポリエチレ
ン、ポリプロピレン，アクリル樹脂などのプラスチック
からなる剛性の高い合成樹脂材質のものがウエーハ支持
板10と同様に採用される。
本考案は、支枠部11の両側にある立上り部２に続いて水
平状部3,3をそれぞれ対向して備え、該水平状部3,3間の
中間部を下方に弓なりに弯曲した弯曲部４を備え、一方
の立ち上り部２から他方の立ち上り部２に至る延在方向
に形成したスリット７によって短冊状にした弾性片１を
ウエーハの配列方向に複数並列形成すると共に、各弾性
片１の水平状部３と弯曲部４との境界位置に、互いに対
面する内側面が斜面で略Ｖ字状となる一組の山形のウエ
ーハ係止用突壁5,51を間隔をおいて対設し、かつ前記ス
リット７を挟んで対面している該ウエーハ係止用突壁5,
51の外側面はそれぞれ前記スリット７に沿って屈曲もし
くは屈折形成したことにより、弾性片の緩衝性を著しく
良好にし、ウエーハの容器へ挿入が迅速かつ容易で単純
作業での多量処理を安全に行うことが可能となり、挿入
時および挿入後の輸送中または保管中において、ウエー
ハが容器内の支持板の弾性係止片から外れて他の部品と
接触して微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく、
しかもウエーハのサイズ相違でも十分安定した状態で対
応でき、この各弾性片が所定の間隙を保持して独立に機
能するため、ウエーハの輸送中または取扱い中における
振動への対応性に優れ、即ち各ウエーハの寸法誤差をも
吸収しうるし、弾性支持が柔軟で大きな衝撃に対しても
安全でウエーハの損傷を防ぎ、容器との接触によって生
ずる微粉発生も少なくウエーハの汚染が可及的に減少で
き、容器製作の際の材料選択の自由度も大きくなり、ま
たウエーハ支持板としての成形時の金型に構造的な無理
がないため、成形も容易で経済性に生産することが可能
であり、ウエーハの容器内における安定した担持によっ
てウエーハの精度を著しく向上でき、しかも各サイズに
も対応でき、担持させる取扱操作も簡便である実用上の
効果がある。
平状部3,3をそれぞれ対向して備え、該水平状部3,3間の
中間部を下方に弓なりに弯曲した弯曲部４を備え、一方
の立ち上り部２から他方の立ち上り部２に至る延在方向
に形成したスリット７によって短冊状にした弾性片１を
ウエーハの配列方向に複数並列形成すると共に、各弾性
片１の水平状部３と弯曲部４との境界位置に、互いに対
面する内側面が斜面で略Ｖ字状となる一組の山形のウエ
ーハ係止用突壁5,51を間隔をおいて対設し、かつ前記ス
リット７を挟んで対面している該ウエーハ係止用突壁5,
51の外側面はそれぞれ前記スリット７に沿って屈曲もし
くは屈折形成したことにより、弾性片の緩衝性を著しく
良好にし、ウエーハの容器へ挿入が迅速かつ容易で単純
作業での多量処理を安全に行うことが可能となり、挿入
時および挿入後の輸送中または保管中において、ウエー
ハが容器内の支持板の弾性係止片から外れて他の部品と
接触して微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく、
しかもウエーハのサイズ相違でも十分安定した状態で対
応でき、この各弾性片が所定の間隙を保持して独立に機
能するため、ウエーハの輸送中または取扱い中における
振動への対応性に優れ、即ち各ウエーハの寸法誤差をも
吸収しうるし、弾性支持が柔軟で大きな衝撃に対しても
安全でウエーハの損傷を防ぎ、容器との接触によって生
ずる微粉発生も少なくウエーハの汚染が可及的に減少で
き、容器製作の際の材料選択の自由度も大きくなり、ま
たウエーハ支持板としての成形時の金型に構造的な無理
がないため、成形も容易で経済性に生産することが可能
であり、ウエーハの容器内における安定した担持によっ
てウエーハの精度を著しく向上でき、しかも各サイズに
も対応でき、担持させる取扱操作も簡便である実用上の
効果がある。
第１図は平面図、第２図は一部切断側面図、第３図は底
面図、第４図は第１図Ｉ−Ｉ線における拡大縦断面図、
第５図は第１図II−II線の一部の拡大断面図、第６図は
第１図III−III線の一部の拡大断面図、第７図は使用状
態の切断側面図、第８図はその切断正面図、第９図は閉
塞状態の平面図、第10図は展開分離斜面図である。 １……弾性片、２……立上り部、３……水平状部、４…
…弯曲部、5,51……ウエーハ係止用突壁、６……係止
片、７……スリット、10……ウエーハ支持板、11……支
枠体、12……脚片、13……切欠部、Ａ……容体、Ｂ……
上蓋。
面図、第４図は第１図Ｉ−Ｉ線における拡大縦断面図、
第５図は第１図II−II線の一部の拡大断面図、第６図は
第１図III−III線の一部の拡大断面図、第７図は使用状
態の切断側面図、第８図はその切断正面図、第９図は閉
塞状態の平面図、第10図は展開分離斜面図である。 １……弾性片、２……立上り部、３……水平状部、４…
…弯曲部、5,51……ウエーハ係止用突壁、６……係止
片、７……スリット、10……ウエーハ支持板、11……支
枠体、12……脚片、13……切欠部、Ａ……容体、Ｂ……
上蓋。
Claims (4)
- 【請求項１】IC用ウエーハの多数枚を収容する容器内に
備えられ、各ウエーハをそれぞれ一定間隔をおいて配列
担持しうるウエーハ支持板（10）であって、支枠部（1
1）の両側にある立上り部（２）に続いて水平状部
（３）（３）をそれぞれ対向して備え、該水平状部
（３）（３）間の中間部を下方に弓なりに弯曲した弯曲
部（４）を備え、一方の立上り部（２）から他方の立上
り部（２）に至る方向に延在形成したスリット（７）に
よって短冊状にした弾性片（１）をウェーハの配列方向
に複数並列形成すると共に、各弾性片（１）の水平状部
（３）と弯曲部（４）との境界位置に、互いに対面する
内側面が斜面で略Ｖ字状となる一組の山形のウエーハ係
止用突壁（５）（51）を間隔をおいて対設し、かつ前記
スリット（７）を挟んで対面している該ウエーハ係止用
突壁（５）（51）の外側面はそれぞれ前記スリット
（７）に沿って屈曲もしくは屈折形成したことを特徴と
するウエーハ容器におけるウエーハ支持板。 - 【請求項２】前記弾性片（１）の弯曲部（４）の略中央
位置に、対向する内側面が斜面で略Ｖ字状となるように
一組の山形係止片（６）（６）を間隔をおいて対向突設
した請求項１記載のウエーハ支持板。 - 【請求項３】前記ウエーハ支持板（10）が、ウエーハ容
器内底部に嵌挿しうる支枠部（11）と、該支枠部（11）
のウェーハの配列に沿って延びる両側部位に立上り部
（２）（２）を介して支架された多数の弾性片（１）と
を合成樹脂材料で一体成形されたものであって、前記弾
性片（１）の弓なりに弯曲した弯曲部（４）の底面を支
枠部（11）より上方位置に配列した請求項１又は２記載
のウエーハ支持板。 - 【請求項４】前記ウエーハ支持板（10）において、互い
に隣接する弾性片（１）（１）間のスリット（７）が、
直線状のスリットと、ウエーハ係止用突壁（５）（51）
を設けた位置でＺ字状又はＳ字状の屈曲若しくは屈折し
たスリットである請求項１又は２記載のウエーハ支持
板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1408989U JPH0744020Y2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | ウエーハ容器におけるウエーハ支持板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1408989U JPH0744020Y2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | ウエーハ容器におけるウエーハ支持板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106831U JPH02106831U (ja) | 1990-08-24 |
| JPH0744020Y2 true JPH0744020Y2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=31224973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1408989U Expired - Lifetime JPH0744020Y2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | ウエーハ容器におけるウエーハ支持板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744020Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6267245B1 (en) * | 1998-07-10 | 2001-07-31 | Fluoroware, Inc. | Cushioned wafer container |
| TWI554455B (zh) | 2010-03-11 | 2016-10-21 | 恩特葛瑞斯股份有限公司 | 晶圓載運器 |
| JP5441797B2 (ja) * | 2010-04-05 | 2014-03-12 | 信越ポリマー株式会社 | リテーナ及び基板収納容器 |
| KR102354123B1 (ko) | 2017-04-05 | 2022-01-21 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP1408989U patent/JPH0744020Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02106831U (ja) | 1990-08-24 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |