JPH0729640Y2 - ウェーハ容器の底部緩衝板 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体ウェーハを損傷、汚染から防いで安全
に輸送するためのウェーハ容器の改良、とくには半導体
ウェーハを下縁において支持するウェーハ容器の底部緩
衝板の改良に関するものである。

（従来の技術とその問題点） 半導体単結晶棒をスライスしたウェーハは集積回路を作
るためにユーザーに向けて大量に輸送する場合が多く、
このとき高価だが薄くて脆いウェーハを損傷、汚染から
守るために十分な配慮が必要とされる。

従来、この輸送用容器としては、例えば第５図に示すよ
うな、上蓋51と容体52（同図ａ）、または上蓋51と容体
52と内箱53（同図ｂ）とからなる直方体状をしたものが
知られていて、容体52または内箱53の、それぞれの幅方
向の両内側壁には、ウェーハＷの配列方向に多数のリブ
54…が互いに対向して設けられ、それぞれの隣接するリ
ブ54間に各ウェーハＷを、その周縁部Waにおいて個別に
収容すると共に、それぞれの上縁Wbを上蓋51の下面に設
けた弾性部材55、56などにより弾性的に保持して、輸送
中の振動によるウェーハＷの破損を防止している（特公
昭56-47067号、実開昭52−148043号各公報参照）。

また上蓋51と容体52のそれぞれの開口周縁には帯状段部
57、58を設けて、ここで両者を嵌合閉止させ、さらにこ
の嵌合側面に粘着テープ59を貼りめぐらせることによっ
て、輸送中の振動や気圧の変動により上蓋が開いて外気
が器内に侵入し、ウェーハＷが汚染されるのを防止して
いる（特開昭60−193877号、同62-33436号、実開昭62-8
7443号各公報など）。

一方、輸送中の振動による破損の一層確実な防止と、ウ
ェーハＷと各保持部材とが摩擦して微粉を発生し、ウェ
ーハＷが汚染されるのを防止するために、容体52または
内箱53の底部凹陥部60に、第６図に示す構造の底部緩衝
板61（同図ａ）または62（同図ｂおよびｃ）を嵌着し
て、これによりウェーハＷの下縁Wcを下方より弾発的に
支持する構造の提案もなされている（特開昭60−173826
号、実開昭62-99575号各公報）。

しかし、前者の底部緩衝板61では、その上面に植設され
ている２条の櫛状弾性片63、63が輸送中の振動によって
ウェーハＷと絶えず滑りながら接触し微粉を生ずるた
め、ウェーハＷの汚染防止とい点では完全なものではな
く、また後者の全体として肋骨状を呈する多数の弾性片
64…の各々の中央部に、Ｖ字状の係止部65…を備えてい
る底部緩衝板62では、各弾性片64…がウェーハＷを個別
に支持するものであるため、それぞれは隣接する弾性片
64と所定の間隙66を保って独立していることが必要で、
これが狭すぎると成形時の金型の強度が維持しにくくな
り、また広すぎると各リブ54…の位置に対する底部凹陥
部60の寸法上の僅かな誤差や、収容するウェーハＷの厚
さムラ等により、ウェーハＷの下縁Wcがこの間隙66には
まり込んでしまい、ウェーハの支持という本来の目的が
達成できないという問題があった。

（問題点を解決するための手段） そこで、本考案者らは、両側壁部に各ウェーハを、個別
に収容する互いに対称の多数のひだを備えると共に、凹
状の底部に各ウェーハを下方より弾性的に支持する底部
緩衝板を有する容体と、その上部開口縁を被覆し、内部
下面に各ウェーハの上縁を弾性的に抑止する弾性部材を
備えた上蓋とからなるウェーハ容器における底部緩衝板
の構造について、上記の問題を解決すべく検討を進めた
結果本考案に到達したもので、この底部緩衝板が、長方
形の枠体と、ウェーハ配列方向の両側枠間に支架された
多数の弾性片と、各弾性片上にあってそれぞれのウェー
ハの下縁を係止する係止部とから構成され、それぞれの
係止部は各弾性片の両側に設けられた２つの側壁からな
り、２つの側壁の全体としての側面はＭ字状を呈し、そ
の一方の側壁は隣接する弾性片上の係止部の他方の側壁
と側面の一部が互いに重なり合う位置に隣接して設けら
れているものとしたことを、その要旨とするものであ
る。

つぎに、本考案の詳細を第１〜第４図に示した実施例に
基づいて説明する。

まず、第１図は本考案になる底部緩衝版を装着し得るウ
ェーハ容器の一実施態様を示すものである。このウェー
ハ容器１は上蓋２と容体３とから構成され、それぞれの
開口周縁には互いに係合閉止するための帯状段部４、５
が形成されている。

容体３はその断面形状が椀状をしていて、その椀側部に
相当する上部側壁６、６の内側にはウェーハＷの配列方
向に多数のひだ７…が互いに対称に設けられていて、そ
れぞれの隣接するひだ７、７間に各ウェーハＷ…を個別
に、その左右両側縁Wa、Waにおいて収容し得るようにな
っている。上蓋２の内部下面には左右一対の弾性部材
８、９があって、各ウェーハＷ…の上縁Wbを上蓋２との
間で弾性的に保持し、輸送中の振動に備えている。

一方、容体３の上部側壁６、６の下部は垂下して凹状の
底部10を形成し、ここに底部緩衝板11を着脱自在に装着
している。

第２図はこの底部緩衝板の第１の実施例を示すもので、
この底部緩衝板21は、長方形の枠体22と、ウェーハ配列
方向の両側枠22a、22a間に支架された多数の弾性片23…
と、各弾性片23…上にあって各ウェーハＷ…の下縁Wcを
係止する係止部24とから構成され、この係止部24は弾性
片23の両側に対称に設けられた１組の側壁25、26からな
っていて、同図（ｃ）に示されるように、その全体とし
ての側面はＭ字状を呈している。

また弾性片23aの一方の側壁26aは、これに隣接する弾性
片23bの他方の側壁25bと、弾性片の軸方向から見た側面
の一部が互いに重なり合う位置に隣接して設けられてい
る。

この実施例ではとくに各弾性片23の係止部24を構成する
１組の側壁25、26が、弾性片23の斜め方向の両側に対称
に設けられているので、全体としては平面千鳥状を呈し
て配設されている。

また、第３図は底部緩衝板の第２の実施例を示し、この
底部緩衝板31では、枠体32、これに対する弾性片33の配
置は前例と同じであるが、係止部34を構成する１組の側
壁35、36は各弾性片33…の両側に対向して設けられて対
を形成し、この組合せの全体としての側面がＭ字状を呈
する各対（係止部34…）が、互いに隣接する弾性片33
a、33b…との間で交互に斜め方向に、全体としては平面
千鳥状に配設されている。したがって、この実施例にお
いても弾性片33a上の側壁36aと弾性片33b上の側壁35bと
は側面の一部が互いに重なり合う位置に隣接して設けら
れている。

さらに、第４図に示した第３の実施例では、底部緩衝板
41の枠体42、弾性片43は前例と同じ構成であるが、各弾
性片の係止部44を構成する一方の側壁45が、弾性片43の
一側の中間点とその両側の対称の位置（図示せず）とに
合計奇数個（図では１個）、また他方の側壁46が、弾性
片43の他側の中間点を挟む対称の位置に合計偶数個（図
では２個）あって、この２種類の側壁45、46が各弾性片
43の両側に互いに位置をずらして配設されると共に、弾
性片43bの奇数個ある側の側壁45bと、これに隣接する弾
性片43aの偶数個ある側の側壁46aとで一組の側壁群を形
成し、この一組の側壁群がウェーハ配列方向に反復して
配列された構造をしている。

このように本考案になる底部緩衝板では、長方形の枠体
と、ウェーハ配列方向の両側枠間に支架された多数の弾
性片と、各弾性片上にあってそれぞれのウェーハの下縁
を係止する係止部とから構成され、それぞれの係止部は
各弾性片の両側に設けられた側壁からなり、両側の２つ
の側壁の側面はＭ字状を呈し、その一方の側壁は隣接す
る弾性片上の係止部の他方の側壁と側面の一部が互いに
重なり合う位置に隣接して設けられているので、多数の
ウェーハＷを容体３のひだ７に沿って個別に挿入する
際、その下縁Wcが第２図（ｃ）に示されるように弾性片
23上のそれぞれの係止部24a、24b、24c…間にはまり込
む恐れがなく、各係止部24の１組の側壁25、26の間に常
に間違いなく収めることができる。

したがって、本考案による底部緩衝板を備えたウェーハ
容器１では、容器内に挿入されたウェーハＷが、その上
縁Wbを上蓋２の内部下面に設けられた弾性部材８、９に
より、その左右両側縁Wa、Waを容体３の左右両側壁６、
６に設けられたひだ７、７…間により、その下縁Wcを上
記底部緩衝板11（または21、31、41）の係止部24（また
は34、44）により、それぞれ個別に支持されるため、ウ
ェーハＷの輸送中または取扱い中における振動に充分に
対応し、ウェーハＷが底部緩衝板の係止片から外れて他
の部品と接触し、微粉を発生したり損傷を受けたりする
恐れがない。

本考案の底部緩衝板が適用されるウェーハ容器は、第１
図として示した前記実施例に記載の形状のものに限定さ
れるものではなく、例えば従来例としての第５図（ｂ）
に示したように、上蓋51と容体52と内箱53からなる容器
でもよく、上蓋に装着される弾性部材についても第１図
に示した可撓板状のもの８、９の外、第５図（ａ）に示
される可撓管状のもの55や、同図（ｂ）に示される異型
板状のもの56など各種の形状のものがあり、またこれら
によるウェーハの上縁の支持手段についても各ウェーハ
を個別に係止するようにしたものでも、全体を一様に押
圧支持するようにしたものでも任意に採用することがで
きる。

また図には示していないが、この容器は内外圧の変化に
対応できるように適所にリブを備えた強靱な構造体と
し、その製作には内容物が透視可能なポリプロピレン、
アクリル樹脂などのプラスチックからなる剛性の高い材
質のものが一般に採用される。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案によれば、 ウェーハの容器への挿入が迅速かつ容易であり、挿
入時および挿入後の輸送中または保管中において、ウェ
ーハが底部緩衝板の係止部から外れて他の部品と接触し
微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがない。

底部緩衝板の各弾性片が所定の間隙を保持して独立
に機能するため、ウェーハの輸送中または取扱い中にお
ける振動への対応性に優れ、また成形時の金型に構造的
な無理がないため、成形が容易であり、かつ経済性に優
れている。

【図面の簡単な説明】

第１〜第４図はいずれも本考案の実施例に係わり、第１
図は底部緩衝板を備えたウェーハ容器の一実施態様を示
す縦断面図、第２図は底部緩衝板についての第１の実施
例で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）はウェ
ーハ挿入時の作用を示す（ａ）のＣ−Ｃ矢視線に沿う部
分拡大断面説明図であり、第３図および第４図はそれぞ
れ底部緩衝板についての第２および第３の実施例の平面
図である。第５図および第６図は従来例に係わり、第５
図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ異なる態様のウェーハ容器
の部分断面正面図、第６図は底部緩衝板で、（ａ）は第
１の従来例についての斜視図、（ｂ）、（ｃ）はそれぞ
れ第２の従来例についての平面図および側面図である。 （主要な符号の説明） Ｗ……ウェーハ、Wa……（同）側縁、Wb……（同）上
縁、Wc（同）下縁、１……ウェーハ容器、２……上蓋、
３……容体、６……側壁、７……ひだ、８、９……弾性
部材、10……底部、11、21、31、41……底部緩衝板、2
2、32、42……枠体、23、33、43……弾性片、24、34、4
4……係止部、25、26、35、36、45、46……側壁。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】両側壁部に各ウェーハを個別に収容する互
   いに対称の多数のひだを備えると共に、凹状の底部に各
   ウェーハを下方より弾性的に支持する底部緩衝板を有す
   る容体と、その上部開口縁を被覆し、内部下面に各ウェ
   ーハの上縁を弾性的に抑止する弾性部材を備えた上蓋と
   からなるウェーハ容器において、底部緩衝板が、長方形
   の枠体と、ウェーハ配列方向の両側枠間に支架された多
   数の弾性片と、各弾性片上にあってそれぞれのウェーハ
   の下縁を係止する係止部とから構成され、それぞれの係
   止部は各弾性片の両側に設けられた２つの側壁からな
   り、２つの側壁の全体としての側面はＭ字状を呈し、そ
   の一方の側壁は隣接する弾性片上の係止部の他方の側壁
   と側面の一部が互いに重なり合う位置に隣接して設けら
   れていることを特徴とするウェーハ容器の底部緩衝板。
2. 【請求項２】係止部を構成する側壁が、各弾性片の斜め
   方向の両側に対称に設けられ、各側壁が、全体として平
   面千鳥状に配設されていることを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載のウェーハ容器の底部緩衝板。
3. 【請求項３】係止部を構成する側壁が、各弾性片毎の両
   側に対向して対を形成し、各対が全体として平面千鳥状
   に配設されていることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のウェーハ容器の底部緩衝板。
4. 【請求項４】係止部を構成する側壁が、各弾性片の一側
   に奇数個、他側に偶数個それぞれ互いに位置をずらして
   配設され、弾性片の一側の奇数個の側壁とこれに隣接す
   る弾性片の他側の偶数個の側壁とで一組の側壁群を形成
   し、この一組の側壁群がウェーハ配列方向に反復して配
   列されていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
   第１項記載のウェーハ容器の底部緩衝板。