JPS6233436A - 輸送用ウエ−ハケ−ス - Google Patents
輸送用ウエ−ハケ−スInfo
- Publication number
- JPS6233436A JPS6233436A JP17352485A JP17352485A JPS6233436A JP S6233436 A JPS6233436 A JP S6233436A JP 17352485 A JP17352485 A JP 17352485A JP 17352485 A JP17352485 A JP 17352485A JP S6233436 A JPS6233436 A JP S6233436A
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- Japan
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- wafers
- lid
- cap
- wafer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体ウェーハを損壊・汚染することなく安
全に輸送するためのウェーハケースの改良に関するもの
である。
全に輸送するためのウェーハケースの改良に関するもの
である。
来 とその４ 点
近年コンピュータを始め各種電子装置等において、集積
回路の利用が急増するに伴い、半導体ウェーハの需要が
著しく増大した結果、ウェーハを大量に輸送する必要が
生じた。輸送にあたっては、高価なウェーハに対する充
分な損壊・汚染防止策をたてることを必要とするが、従
来のウェーハケースはこれらの防止策が不充分で、輸送
中にウエ−ハが振動して損壊したり、塵埃等に汚染され
たりすることが多かった。
回路の利用が急増するに伴い、半導体ウェーハの需要が
著しく増大した結果、ウェーハを大量に輸送する必要が
生じた。輸送にあたっては、高価なウェーハに対する充
分な損壊・汚染防止策をたてることを必要とするが、従
来のウェーハケースはこれらの防止策が不充分で、輸送
中にウエ−ハが振動して損壊したり、塵埃等に汚染され
たりすることが多かった。
問題点を解決するための手
本発明は輸送中のウェーハの損壊・汚染の危険が少なく
取扱いが簡単で、しかも低コストのウェーハケースを提
供しようとするもので、これは輸送中の半導体ウェーハ
を損壊・汚染から保護するウェーハケースであって、ウ
ェーハを担持する箱状の本体、ウェーハを保護するおさ
え板および蓋を有し； 該本体側壁は上半部がそれぞれ直立し下半部が内方にわ
ん曲し、内側表面にウェーハを離隔させる隔置リブを有
し、また上縁には折り返した補強リブをもち、後方の補
強リブに少なくとも左右２個の蓋係止用凹部を、前方の
補強リブに少なくとも１個の蓋固定用凹部を備え； 該おさえ板は本体側壁に平行する両辺が櫛状弾性片を形
成し、内面中央に２条の平行支持片を有し； 該蓋は周囲に縁をもち、後方の縁に該本体の蓋係止用凹
部に係合する少なくとも２個の係止突片を、前方の縁に
該本体の蓋固定用凹部に嵌合する少なくとも１個の枠状
突片をそれぞれ備え、上面に透明または半透明の窓をも
っことを特徴とする輸送用ウェーハケースである。
取扱いが簡単で、しかも低コストのウェーハケースを提
供しようとするもので、これは輸送中の半導体ウェーハ
を損壊・汚染から保護するウェーハケースであって、ウ
ェーハを担持する箱状の本体、ウェーハを保護するおさ
え板および蓋を有し； 該本体側壁は上半部がそれぞれ直立し下半部が内方にわ
ん曲し、内側表面にウェーハを離隔させる隔置リブを有
し、また上縁には折り返した補強リブをもち、後方の補
強リブに少なくとも左右２個の蓋係止用凹部を、前方の
補強リブに少なくとも１個の蓋固定用凹部を備え； 該おさえ板は本体側壁に平行する両辺が櫛状弾性片を形
成し、内面中央に２条の平行支持片を有し； 該蓋は周囲に縁をもち、後方の縁に該本体の蓋係止用凹
部に係合する少なくとも２個の係止突片を、前方の縁に
該本体の蓋固定用凹部に嵌合する少なくとも１個の枠状
突片をそれぞれ備え、上面に透明または半透明の窓をも
っことを特徴とする輸送用ウェーハケースである。
以下図面にしたがって本発明のウェーハケースの構成を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
本体より蓋とおさえ板をもち上げ、かつおさえ板を裏返
して示した第１図、本体におさえ板を嵌合した第２図、
第２図のＡ−Ａ線に沿って縦断した第３図において、本
体上の左右の側壁４．５は上半部が直立し下半部が内方
にわん曲し、さらに垂下して底板６に結合する。側壁４
の内側表面には離隔した内方へ突出する一連の隔置リブ
４．１を具備し、該隔置リブは他方の側壁５の内方へ突
出する同じ隔置リブ５．１と対応する。該隔置リブは相
互に充分離隔し、一連のウェーハをその溝の間に挿入す
るのを可能にし、これにょリウエーハは前後方向に担持
され相互に接触することはない。
して示した第１図、本体におさえ板を嵌合した第２図、
第２図のＡ−Ａ線に沿って縦断した第３図において、本
体上の左右の側壁４．５は上半部が直立し下半部が内方
にわん曲し、さらに垂下して底板６に結合する。側壁４
の内側表面には離隔した内方へ突出する一連の隔置リブ
４．１を具備し、該隔置リブは他方の側壁５の内方へ突
出する同じ隔置リブ５．１と対応する。該隔置リブは相
互に充分離隔し、一連のウェーハをその溝の間に挿入す
るのを可能にし、これにょリウエーハは前後方向に担持
され相互に接触することはない。
また第３図より明らかなように、側壁の下半部は担持す
るウェーハとほぼ等しい半径で内方にわん曲しウェーハ
７に接する。本体上の上縁は折り返して補強リブ１０を
形成し、後方の補強リブには蓋係止用凹部１１を、前方
の補強リブには蓋固定用四部１２をそれぞれ備えている
。また左右の補強リブのうち少なくとも一つの上面、た
とえば側壁４の上面前後に突起１３をもち、挿入された
ウェーハの移し替えのときのガイドとなり、さらに該上
面にウェーハを担持する隔置リブの間の溝を示す目盛１
４および数字１５を刻設する。ウェーハがすべての溝に
担持されているときは本体の溝の総数がらウェーハ数は
容易に知ることができるが、一部の溝に担持されている
ときでも刻設した数字と目盛によりその数を知ることが
できるし、またウェーハに損壊・汚染等が生じたときで
も、そのウェーハを指定することができ、以後の処理に
便利である。
るウェーハとほぼ等しい半径で内方にわん曲しウェーハ
７に接する。本体上の上縁は折り返して補強リブ１０を
形成し、後方の補強リブには蓋係止用凹部１１を、前方
の補強リブには蓋固定用四部１２をそれぞれ備えている
。また左右の補強リブのうち少なくとも一つの上面、た
とえば側壁４の上面前後に突起１３をもち、挿入された
ウェーハの移し替えのときのガイドとなり、さらに該上
面にウェーハを担持する隔置リブの間の溝を示す目盛１
４および数字１５を刻設する。ウェーハがすべての溝に
担持されているときは本体の溝の総数がらウェーハ数は
容易に知ることができるが、一部の溝に担持されている
ときでも刻設した数字と目盛によりその数を知ることが
できるし、またウェーハに損壊・汚染等が生じたときで
も、そのウェーハを指定することができ、以後の処理に
便利である。
本体よの前壁８と後壁９は直立し、それらの下縁８．１
．９．１は少なくとも底板６の横幅より広いので。
．９．１は少なくとも底板６の横幅より広いので。
ウェーハケースの安定な自立に役立つ。
おさえ板−？−は長方形をなし１本体側壁に平行する両
辺が櫛状弾性片１６を形成し、内面中央に２条の平行支
持片１７を有し、第２図、第３図に明らかなように、本
体上部に嵌合してウェーハを上から４点で弾性的におさ
えかつ支持し、ウェーハの振動を防ぐとともに外力を分
散してその損壊を防止する。櫛状弾性片の頭部１６．１
は第４図に拡大して示すようにＶ形ないしＵ形にへこん
でおり、ウェーハはこの頭部にやわらかくかつ確実に支
持されるとともに、刃状の先端をもつ平行支持片１７と
協力してウェーハをおさえ支持する力を分散させ、外部
からの衝撃または振動に対しウェーハを保護する。おさ
え板の着脱はガイド１８に沿って正しく垂直に行なわれ
るので、ウェーハに無理なカが加わるようなことはない
。
辺が櫛状弾性片１６を形成し、内面中央に２条の平行支
持片１７を有し、第２図、第３図に明らかなように、本
体上部に嵌合してウェーハを上から４点で弾性的におさ
えかつ支持し、ウェーハの振動を防ぐとともに外力を分
散してその損壊を防止する。櫛状弾性片の頭部１６．１
は第４図に拡大して示すようにＶ形ないしＵ形にへこん
でおり、ウェーハはこの頭部にやわらかくかつ確実に支
持されるとともに、刃状の先端をもつ平行支持片１７と
協力してウェーハをおさえ支持する力を分散させ、外部
からの衝撃または振動に対しウェーハを保護する。おさ
え板の着脱はガイド１８に沿って正しく垂直に行なわれ
るので、ウェーハに無理なカが加わるようなことはない
。
蓋＾は本体上に嵌合させるが、蓋を補強する縁１９を有
し、後方の縁に蓋を本体に係止する係止突片２０を備え
、本体１の蓋係止用凹部１１に係合して蓋の開閉着脱を
行う。すなわち第５図（ａ）に拡大して示すように、蓋
係止用凹部１１に係止突片２０が挿入される。蓋係止用
凹部１１には受面１１．１があリ、これに鈎２０．１が
ひっかかり蓋の開閉および着脱をきわめて容易に行うこ
とができる。また蓋の前方の縁には蓋を本体に固定する
枠状突片２１を備え１本体の蓋固定用凹部１２に嵌合し
て蓋を固定する。すなわち第５図（ｂ）に拡大して示す
ように、蓋固定用凹部１２に枠状突片２１が挿入される
。凹部１２には受面１２．１がありこれに鈎２１．１が
ひっかかり蓋を本体に固定し、蓋をはずすときは枠状突
片２１の穴２１．２に指をかけわずかに引いてもちあげ
ると、鈎２１．ｌがが受面１２．１よりはずれ、容易に
蓋を開き本体より離脱させることができる。また第１図
に示すように蓋の内面の、少なくとも一つの本体側壁た
とえば側壁４の上縁に接する位置には、突起１３と嵌合
する外側へ突出させて形成した内面のへこみ２２をもつ
。このへこみのうち蓋の後側のものは長めの楕円形をな
し蓋を着脱するにあたって本体上面の突起１３と円滑に
嵌合する。さらに蓋の面には透明または半透明の窓２３
を儂え本体に担持したウェーハの担持状態のｍｓを容易
にするとともに、側壁４の上面に刻設した目盛Ｉ４およ
び数字１５に対応して目盛２４および数字２５を刻設し
、蓋をかぶせた状態でも損壊したウェーハを指定したり
、総数を容易に知ることができる。さらに第１図、第３
図に示すように、蓋の外面の中央にへこみ２６を有し、
別のウェーハケースを上に積み重ねるとき、この積み重
ねたウェーハケースの前壁・後壁の下ＪＨ，１，９，１
と底板６を利用して安定な積み重ねを行うことができる
。
し、後方の縁に蓋を本体に係止する係止突片２０を備え
、本体１の蓋係止用凹部１１に係合して蓋の開閉着脱を
行う。すなわち第５図（ａ）に拡大して示すように、蓋
係止用凹部１１に係止突片２０が挿入される。蓋係止用
凹部１１には受面１１．１があリ、これに鈎２０．１が
ひっかかり蓋の開閉および着脱をきわめて容易に行うこ
とができる。また蓋の前方の縁には蓋を本体に固定する
枠状突片２１を備え１本体の蓋固定用凹部１２に嵌合し
て蓋を固定する。すなわち第５図（ｂ）に拡大して示す
ように、蓋固定用凹部１２に枠状突片２１が挿入される
。凹部１２には受面１２．１がありこれに鈎２１．１が
ひっかかり蓋を本体に固定し、蓋をはずすときは枠状突
片２１の穴２１．２に指をかけわずかに引いてもちあげ
ると、鈎２１．ｌがが受面１２．１よりはずれ、容易に
蓋を開き本体より離脱させることができる。また第１図
に示すように蓋の内面の、少なくとも一つの本体側壁た
とえば側壁４の上縁に接する位置には、突起１３と嵌合
する外側へ突出させて形成した内面のへこみ２２をもつ
。このへこみのうち蓋の後側のものは長めの楕円形をな
し蓋を着脱するにあたって本体上面の突起１３と円滑に
嵌合する。さらに蓋の面には透明または半透明の窓２３
を儂え本体に担持したウェーハの担持状態のｍｓを容易
にするとともに、側壁４の上面に刻設した目盛Ｉ４およ
び数字１５に対応して目盛２４および数字２５を刻設し
、蓋をかぶせた状態でも損壊したウェーハを指定したり
、総数を容易に知ることができる。さらに第１図、第３
図に示すように、蓋の外面の中央にへこみ２６を有し、
別のウェーハケースを上に積み重ねるとき、この積み重
ねたウェーハケースの前壁・後壁の下ＪＨ，１，９，１
と底板６を利用して安定な積み重ねを行うことができる
。
ウェーハケースの材質はプラスチック、たとえば弗素樹
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スチックには特性改善のため、たとえば導電性を付与す
るよう特殊添加剤を加えたり、また収納したウェーハの
汚染防止のため表面処理すなわちいわゆるコーティング
技術を適用することもできる６ ２明の効果 以上述べたように本発明のウェーハケースは、おさえ板
の櫛状弾性片、平行支持片により、輸送中の振動と落下
等による圧力に対しウェーハを保護してその損壊を防ぎ
、蓋と本体によりウェーハ表面の塵埃等による汚染を防
止し、高価なウェーハを安全に輸送することを可能にす
るもので、しかも構造簡単で取り扱いやすく経済的であ
る等すぐれたものである。
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スチックには特性改善のため、たとえば導電性を付与す
るよう特殊添加剤を加えたり、また収納したウェーハの
汚染防止のため表面処理すなわちいわゆるコーティング
技術を適用することもできる６ ２明の効果 以上述べたように本発明のウェーハケースは、おさえ板
の櫛状弾性片、平行支持片により、輸送中の振動と落下
等による圧力に対しウェーハを保護してその損壊を防ぎ
、蓋と本体によりウェーハ表面の塵埃等による汚染を防
止し、高価なウェーハを安全に輸送することを可能にす
るもので、しかも構造簡単で取り扱いやすく経済的であ
る等すぐれたものである。
第１図は本発明のウェーハケースの蓋、おさえ板１本体
を離したときの斜視図を、第２図は本発明の本体におさ
え板をかぶせたときの斜視図を、第３図は第２図のＡ−
Ａ線に沿った縦断面図を、第４図は本発明のおさえ板の
部分拡大断面図を、第５図（ａ）は本発明の蓋と本体の
係止機構説明用斜視図を、第５図（ｂ）は本発明の蓋と
本体の固定機構説明用斜視図を示す。 １・・・本体、 ２・・・おさえ板、 ３・・・蓋４・
・・側壁、 ４．１・・・隔置リブ、 ５・・・側壁、
５．１・・・隔置リブ、 ６・・・底板、 ７・・・ウ
ェーハ、８・・・前壁、 ８．１・・・下縁、 ９・・
・後壁、９．１・・・下縁、 ＩＯ・・・補強リブ、１
１・・・蓋係止用凹部、 １１．１・・・受面、１２
・・・蓋固定用凹部、 １２．１・・・受面、 １３・
・・突起、Ｉ４・・・目盛、 １５・・・数字、 １６
・・・櫛状弾性片、１６．１・・・櫛状弾性片頭部、
１７・・・平行支持片、１８・・・ガイド、 １９・・
・縁、 ２ｏ・・・係止突片、２０．１・・・鈎、 ２
１・・・枠状突片、 ２１．１・・・鈎、２１．２・・
・穴、 ２２・・・へこみ、２３・・・窓、２４・・・
目盛、 ２５・・数字、 ２６・・・へこみ。 特許出願人 信越半導体株式会社 代理人・弁理士 出 本 亮 − 第２図 第４図 第５図 （ａ）
を離したときの斜視図を、第２図は本発明の本体におさ
え板をかぶせたときの斜視図を、第３図は第２図のＡ−
Ａ線に沿った縦断面図を、第４図は本発明のおさえ板の
部分拡大断面図を、第５図（ａ）は本発明の蓋と本体の
係止機構説明用斜視図を、第５図（ｂ）は本発明の蓋と
本体の固定機構説明用斜視図を示す。 １・・・本体、 ２・・・おさえ板、 ３・・・蓋４・
・・側壁、 ４．１・・・隔置リブ、 ５・・・側壁、
５．１・・・隔置リブ、 ６・・・底板、 ７・・・ウ
ェーハ、８・・・前壁、 ８．１・・・下縁、 ９・・
・後壁、９．１・・・下縁、 ＩＯ・・・補強リブ、１
１・・・蓋係止用凹部、 １１．１・・・受面、１２
・・・蓋固定用凹部、 １２．１・・・受面、 １３・
・・突起、Ｉ４・・・目盛、 １５・・・数字、 １６
・・・櫛状弾性片、１６．１・・・櫛状弾性片頭部、
１７・・・平行支持片、１８・・・ガイド、 １９・・
・縁、 ２ｏ・・・係止突片、２０．１・・・鈎、 ２
１・・・枠状突片、 ２１．１・・・鈎、２１．２・・
・穴、 ２２・・・へこみ、２３・・・窓、２４・・・
目盛、 ２５・・数字、 ２６・・・へこみ。 特許出願人 信越半導体株式会社 代理人・弁理士 出 本 亮 − 第２図 第４図 第５図 （ａ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）輸送中の半導体ウェーハを損壊・汚染から保護する
ウェーハケースであって、ウェーハを担持する箱状の本
体、ウェーハを保護するおさえ板および蓋を有し； 該本体側壁は上半部がそれぞれ直立し下半部が内方にわ
ん曲し、内側表面にウェーハを離隔させる隔置リブを有
し、また上縁には折り返した補強リブをもち、後方の補
強リブに少なくとも左右２個の蓋係止用凹部を、前方の
補強リブに少なくとも１個の蓋固定用凹部を備え； 該おさえ板は本体側壁に平行する両辺が櫛状弾性片を形
成し、内面中央に２条の平行支持片を有し； 該蓋は周囲に縁をもち、後方の縁に該本体の蓋係止用凹
部に係合する少なくとも２個の係止突片を、前方の縁に
該本体の蓋固定用凹部に嵌合する少なくとも１個の枠状
突片をそれぞれ備え、上面に透明または半透明の窓をも
つことを特徴とする輸送用ウェーハケース。 ２）左右の該補強リブのうち少なくとも一つの上面およ
び該透明または半透明の窓に、該隔置リブの間の溝を示
す目盛および数字を刻設した特許請求の範囲第１項記載
の輸送用ウェーハケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17352485A JPS6233436A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 輸送用ウエ−ハケ−ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17352485A JPS6233436A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 輸送用ウエ−ハケ−ス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233436A true JPS6233436A (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=15962119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17352485A Pending JPS6233436A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 輸送用ウエ−ハケ−ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233436A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02306645A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-20 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 検査装置のウエハロード方法および運搬ケース載置台構造 |
| US5273159A (en) * | 1992-05-26 | 1993-12-28 | Empak, Inc. | Wafer suspension box |
| WO1994025980A1 (en) * | 1993-04-27 | 1994-11-10 | Kyushu Komatsu Electronics Co., Ltd. | Container for packing semiconductor wafer |
| JPH0729842U (ja) * | 1993-11-10 | 1995-06-02 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器 |
| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
| US5704494A (en) * | 1995-06-16 | 1998-01-06 | Nihon Plast Co., Ltd. | Disc holder |
| USRE41231E1 (en) | 1995-10-13 | 2010-04-20 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| JP2014093400A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハカセットの梱包体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931238B2 (ja) * | 1975-12-17 | 1984-07-31 | 住友電気工業株式会社 | フレキシブルプリントカイロ |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP17352485A patent/JPS6233436A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931238B2 (ja) * | 1975-12-17 | 1984-07-31 | 住友電気工業株式会社 | フレキシブルプリントカイロ |
Cited By (9)
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| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
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| USRE41231E1 (en) | 1995-10-13 | 2010-04-20 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| JP2014093400A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハカセットの梱包体 |
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