JPH07307381A - 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ - Google Patents

半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ

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JPH07307381A
JPH07307381A JP6335813A JP33581394A JPH07307381A JP H07307381 A JPH07307381 A JP H07307381A JP 6335813 A JP6335813 A JP 6335813A JP 33581394 A JP33581394 A JP 33581394A JP H07307381 A JPH07307381 A JP H07307381A
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wafer
package
substrate
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wafer carrier
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JP6335813A
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Barry Gregerson
グレガーソン バリー
Larry Dressen
ドレッセン ラリー
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Empak Inc
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Empak Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】移送途上において収納されているウエハー基板
の変位がなく且つ内部が汚染することのないパッケージ
を提供すること。 【構成】頂部部材１４の内側にバー部材１５４が水平方
向に延在し、前記バー部材１５４と直交してバー部材１
５６が下方へ向けて延びる。可撓性のウエハー支持バネ
１５２ａ〜１５２ｎがバー部材１５６の下部から水平に
延び、ウエハーの周縁に接触して撓曲する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パッケージに関し、よ
り詳細には、複数のウエハー、ディスク若しくは基板を
貯蔵し且つ輸送するための２分割体からなり、特に、収
納されるウエハー等を、その移送中において、内部で変
位しないように構成したパッケージに関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】従来
技術のパッケージは、収納されたウエハー基板の周辺に
対して摺動するウエハー押え部材を備え、これにより摩
滅作用を生じさせる結果、ウエハー基板の周縁部近傍に
おいて剥離した小粒子を脱落させ、しかも基板用パッケ
ージの清浄な内部に粒子による汚染物を侵入させてい
た。
【０００３】本発明は、上記従来技術の不都合を克服す
るものであり、ウエハー基板等に柔軟に係合する押え用
アーム部材を備えたパッケージを提供することにある。
該押え用アーム部材は、ウエハー支持バネを有する弾性
力に富む合成樹脂体で構成される。
【０００４】従って、本発明の目的は、移送途上で収納
されたウエハー基板等が変位することのないパッケージ
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、複数のウエハー、ディスク若しくは基
板を収納するパッケージであって、前記パッケージは、
パッケージ用底部部材と、前記パッケージ用底部部材の
内部に設置される着脱自在なウエハーキャリヤと、前記
パッケージ用底部部材と係合して前記ウエハーキャリヤ
を該パッケージ用底部部材内で直接または間接的に位置
決めするパッケージ用頂部部材と、からなり、前記パッ
ケージ用頂部部材は前記ウエハーキャリヤ内に収納され
るウエハー、ディスク若しくは基板の縁部と係合する凹
溝を備えた一対の押え用アーム部材を有し、前記押え用
アーム部材は複数個一連に並設され且つ弾性を有する合
成樹脂材で形成されていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】パッケージ用底部部材に位置決めされたウエハ
ーキャリヤには等間隔で複数のウエハーが収納される。
パッケージ用頂部部材を前記パッケージ用底部部材に被
蓋すると、押え用アーム部材の凹溝に前記ウエハーの周
縁部が係合し、該押え用アーム部材の弾性力によって該
周縁部が緩く押圧される。従って、パッケージ移送中
に、その内部のウエハーが変位することが回避される。
しかも、ウエハーに対する摩滅作用もないために、パッ
ケージ内部が汚染されることもない。
【０００７】
【実施例】図１は、基板若しくはウエハーを貯蔵し且つ
輸送するための本発明によるパッケージ１０の斜視図で
ある。このパッケージは、図２に示すウエハーキャリヤ
１６を包含して輸送し、あるいは貯蔵するために係合す
る底部部材１２と頂部部材１４とを具備する。
【０００８】底部部材１２は、側面１８、２０、２２お
よび２４と、平らな面２６ａ、２６ｂ、２６ｃおよび２
６ｄを含み且つそれらの間に丸みのついた垂直なコーナ
ー部を有するテーピング用の連続した垂直部材２６と、
平らな面２６ａ内に配置されたラッチ用凹部２８および
これに対応して平らな面２６ｃ内に配置されたラッチ用
凹部３０とを備える。側面１８から把持用凹部３２が引
っ込んでおり、これに対応して、図３に示すように、側
面２２から同様な把持用凹部３３が引っ込んでいる。側
面２０には、ウエハーキャリヤ１６を案内するための位
置決め用凹部案内部材３４が引っ込んで形成されてお
り、これは壁部材２０ａ、２０ｂと、この壁部材２０
ａ、２０ｂの間に設けられた壁部材３４ａと、これらの
壁部材２０ａ、２０ｂおよび３４ａと交わる水平な平面
部材３４ｂとを含む。また、図３に示すように、連続し
たリップ部材３６が、連続した垂直部材２６の上部に位
置し、後で詳述する頂部部材１４の対応するリップと係
合するようになっている。上側の平坦な底部表面３９お
よび４１は、それらの間にあって下方に延びた端部４０
ａおよび４０ｂを有する円筒部４０を形成し、図３に示
すように、側面２０と２４の間の下部に位置している。
また、ウエハーキャリヤ１６を収容するために、溝部４
２および４４が側面１８および２２と平行に且つ下側の
平坦な底部３８と円筒部４０の長さ方向の縁部に沿って
配置されている。側面１８〜２４の交差部と平坦な底部
３８の下側各コーナー部には、それぞれ積層用のコーナ
ー凹部部材４５ａ、４５ｂが設けられている。
【０００９】頂部部材１４は、側面４６、４８、５０お
よび５２と、これらの側面から下方に延びて平面５４ａ
〜５４ｄを含み且つそれらの間に丸みのついた垂直なコ
ーナー部を有するテーピング用の連続した垂直リップ部
材５４と、側面４６および５０の上部に各側面４６、５
０と平行に位置してウエハーキャリヤ１６の上部領域に
係合する溝部５６および５８と、各溝部５６および５８
に隣接し且つ各側面４６および５０の上部に沿った平面
部材５３および５５と、側面４６〜５２の各交差部から
上方に延びて各溝部５６および５８の両端に位置する積
層用脚部６０ａ〜６０ｄと、溝部５６および５８と側面
４８および５２の上部との間に形成された平面６２と、
この平面６２から上方に延びた端部６４ａ、６４ｂを含
む隆起した円筒部６４とを備える。平面６２から下方に
はウエハー支持バネが延び、ウエハー基板をウエハーキ
ャリヤ１６に緩く固定するようになっている。これにつ
いては、特に図１０〜図１２を参照して後で詳細に説明
する。連続した垂直リップ部材５４は、底部部材１２の
連続したリップ部材３６に被嵌して基板用パッケージ１
０を封止する。図６および図９に示すように、頂部部材
１４はキャッチ部材７０および７２を備える一方、底部
部材１２は把持用凹部３２および３３に隣接したラッチ
部材７４および７６を備え、ウエハーキャリヤ１６を収
納した底部部材１２に頂部部材１４を係合させるように
なっている。
【００１０】図２はウエハーキャリヤ１６の斜視図であ
る。このキャリヤ１６は、対向する側面８０および８２
と、側面８０の一端部に沿って垂直方向および外方向に
延びた支持バー８４と、側面８２の一端部に沿って垂直
方向および外方向に延びた支持バー８６と、支持バー８
４と８６の間にあってこれらの支持バーから引っ込んだ
Ｈ形状の部材８８および分割されたロッド部９０と、側
面８０と８２の後部の間にあってこれらの後部に接合す
るとともに垂直方向に配設された平面部材９２と、各側
面８０および８２の底部に沿って延びた底縁部９４およ
び９６と、側面８０の上端部に沿って且つ支持バー８４
の上部と平面部材９２の上側外部との間に位置する平面
状の頂縁部９８と、側面８２の上端部に沿って且つ支持
バー８６の上部と平面部材９２の上側外部との間に延び
た同様な平面状の頂縁部１００とを備える。
【００１１】平面状の頂縁部９８と側面８０の下部との
間には、その距離においてリブ１０２ａ〜１０２ｎおよ
びそれらと交互に配設されたウエハーポケット１０４ａ
〜１０４ｎが垂直方向に延び、側面８０の下部近くで湾
曲断面を形成して側面８０の下部と交わっている。同様
に、平面状の頂縁部１００と側面８２の下部との間に
は、その距離においてリブ１０６ａ〜１０６ｎおよびそ
れらと交互に配設されたウエハーポケット１０８ａ〜１
０８ｎが垂直方向に延び、側面８２の下部近くで湾曲断
面を形成して側面８２の下部と交わっている。また、図
１３および図１４に示すように、丸みのついたウエハー
ポケット背部１０９ａ〜１０９ｎおよび１１９ａ〜１１
９ｎが、寸法において安定性を与えると共に、ウエハー
ポケットと同様に延びて湾曲断面を形成し、それぞれ側
面８０および８２の下部と交わっている。平面状の頂縁
部９８および１００は、各々の外側端部近傍において垂
直方向に向いた位置決め用穴部１１０ａ、１１０ｂとピ
ン１１１ａ、１１１ｂを含む。さらに、ウエハーキャリ
ヤ１６はそれぞれ支持バー８４および８６に配設された
ロボット用ハンドルスロット１１２および１１３を備え
ると共に平面部材９２の頂縁部と側面８０および８２の
上部に隣接してウエハーキャリヤ１６の後部に配設され
たロボット用ハンドルスロット１１６および１１８を備
える。側面８０および８２の上部には、ロボット用タブ
部材１２１ａおよび１２１ｂが位置する。
【００１２】図３は底部部材１２の平面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。ラッチ凹部２８はラッチ
部材７４を含み、図１にも示すように、角度のついた中
央の支持部材１２０ａと、その両側の角度のついた支持
部材１２０ｂおよび１２０ｃとが、ラッチ凹部２８の下
側の最内部領域に対し所定の角度をもってラッチ部材７
４の中間部から延びている。ラッチ部材７４は、角度の
ついた支持部材１２０ａによりラッチ表面７４ａと７４
ｂに分割されている。これに対応して、角度のついたラ
ッチ支持部材１２２ａ〜１２２ｃが、同様にラッチ部材
７６の下側から把持用凹部３３の上方に位置するラッチ
凹部３０へ延びている。ラッチ部材７６は、角度のつい
た支持部材１２２ａによりラッチ表面７６ａと７６ｂに
分割されている。
【００１３】把持用凹部３２は、垂直方向に整合して向
かい合う壁部１２４および１２６と、この壁部１２４と
１２６の間に位置する垂直壁部１２８と、底部部材１２
の中心に向かって傾斜するとともに壁部１２４〜１２８
と交わる傾斜壁部１３０とを含む。把持用凹部３３は、
同様に整合して向かい合う壁部１３２および１３４と、
この壁部１３２と１３４の間に位置する垂直壁部１３６
と、これらの壁部１３２〜１３６と交わる傾斜壁部１３
８とを含む。上記の壁部１２８および１３６と溝部４２
および４４の内側部材との間に位置決め用のリブ１４０
および１４２が延び、構造を補助する役割を果たしてい
る。
【００１４】図４は底部部材１２の底面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。
【００１５】図５は底部部材１２の端面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。この図では、特に側面２
０における位置決め用凹部案内部材３４が示されてい
る。さらに、連続したリップ部材３６の輪郭部が３６ａ
および３６ｂで示されており、各輪郭部において、連続
したリップ部材３６はラッチ部材７４および７６に隣接
した領域を通っている。リップ部材３６の輪郭部３６ａ
および３６ｂは、図１７に示すように、パッケージの頂
部における連続した平面リム５９の水平方向下側に封止
する。
【００１６】図６は頂部部材１４の底面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。可撓性のウエハー支持バ
ネの列１５０および１５２が平面６２から下方に延び、
ウエハーキャリヤ１６に支持されたウエハー基板を緩く
抑える。可撓性のウエハー支持バネ列１５０および１５
２は、それぞれ複数のウエハー支持バネ１５０ａ〜１５
０ｎおよび１５２ａ〜１５２ｎを含む。キャッチ部材７
０および７２は、それぞれ平面５４ａおよび５４ｃ上に
位置している。キャッチ部材７０は傾斜したキャッチ部
７０ａおよび７０ｂを含み、キャッチ部材７２は傾斜し
たキャッチ部７２ａおよび７２ｂを含む。この頂部部材
１４のキャッチ部材７０および７２は、図１７に示すよ
うに、それぞれ底部部材１２のラッチ部材７４および７
６に係合する。
【００１７】図７は頂部部材１４の平面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。
【００１８】図８は係合前の基板用パッケージ１０の部
分断面切欠分解側面図で、参照符号は全て前述の部材に
対応する。
【００１９】図９は係合前の基板用パッケージ１０の部
分断面切欠分解端面図で、参照符号は全て前述の部材に
対応する。底部部材１２は、図３の９−９線に沿う断面
図で示されている。
【００２０】図１０は、ウエハー支持バネ列１５２にお
けるウエハー支持バネ１５２ａ〜１５２ｎを示す。ここ
で、バネの歯部１５２ａについて説明する。平面６２か
ら長手方向のバー部材１５４が水平に延びると共に、こ
の長手方向のバー部材１５４から、垂直方向に向いたバ
ー部材１５６が下方に延びている。図１１に示すよう
に、可撓性のウエハー支持バネ１５２ａは、垂直バー部
材１５６の下部から水平方向に延びている。この可撓性
ウエハー支持バネ１５２ａは、傾斜した立上がり壁部１
５８および１６０を含み、２本のバーを連結した連接部
材を形成している。図１２に示すように、上記の傾斜し
た立上がり壁部１５８と１６０の間で、Ｖ溝１６２が角
度のついた端部１６４および１６６まで可撓性のバネ歯
部１５２ａの下側に沿って延びている。可撓性のウエハ
ー支持バネ１５２ａ〜１５２ｎは柔軟で、基板用パッケ
ージ１０に収納されている上記の傾斜した立上がり壁１
５８と１６０の間のＶ溝１６２内でウエハー基板の周縁
部に係合するような所定の可撓性を有する。これらのウ
エハー支持バネは、ウエハー若しくは基板に接触して屈
曲する。
【００２１】図１１はウエハー支持バネ列１５２の図１
０における１１−１１線に沿った側面図で、参照符号は
全て前述の部材に対応する。
【００２２】図１２はウエハー支持バネ列１５２の図１
１における１２−１２線に沿った底面図である。
【００２３】図１３はウエハーキャリヤ１６の平面図
で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
【００２４】図１４は、歯部１０６ｎとウエハーポケッ
ト１０８ｎとを含む分割リブ部分の、図１３における１
４−１４線に沿う断面図である。リブ１０６ｎおよびウ
エハーポケット１０８ｎの先端部は円滑で、丸みを有す
る。
【００２５】図１５はウエハーキャリヤ１６の切欠側面
図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。作用および効果 図１６および図１７は、動作モードを最もよく示してい
る。
【００２６】図１６は、パッケージ１０内に係合させた
基板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎの切欠側面図
で、参照符号は全て前述の部材に対応する。頂部部材１
４と底部部材１２は、全体が断面図で示されている。ウ
エハーキャリヤ１６は、傾斜した壁部１３８の上方にお
けるラッチ部材７６を表すために切り欠かれている。底
部部材のラッチ凹部３０は、頂部部材の連続した垂直リ
ップ部材５４に対してシールする。ロボット式ウエハー
キャリヤは、輸送且つ貯蔵用および／または加工用とす
ることができるとともに、ポリエチレン、テフロン（登
録商標）、その他同様な材料の適当な重合体からなるも
のとすることができる。
【００２７】図１７は、ウエハーキャリヤ１６内の基板
若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎに対してそれぞれ
互いに係合した頂部部材１４と底部部材１２の断面図
で、参照符号は全て前述の部材に対応する。図示のキャ
ッチ部材７０および７２はそれぞれラッチ部材７４およ
び７６と摩擦係合し、これにより、連続したリップ部材
の輪郭部３６ａ、３６ｂは連続した平面リム５９に密着
し、キャッチ部材７０および７２とラッチ部材７４およ
び７６の領域において、頂部部材１４と底部部材１２を
封止する。図面には、頂部部材１４に対するウエハーキ
ャリヤ１６と、ウエハーキャリヤ１６、頂部部材１４お
よび底部部材１２の間に係合した基板若しくはウエハー
１７０ａ〜１７０ｎに対する底部部材１２との、相互の
固定状態および相互の係合関係が示されている。基板若
しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎは、複数のリブ１０
６ａ〜１０６ｎと向かい合うリブ１０２ａ〜１０２ｎと
の間に係合し、これにより、各基板若しくはウエハーが
各分割歯の対の中央に位置するように運動を規制する。
【００２８】基板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎ
を収納したウエハーキャリヤ１６は、初めに底部部材１
２内に設置され、底縁部９４および９６を底部部材１２
の溝部４２および４４に静置する。次いで、頂部部材１
４を基板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎを収納し
たキャリヤ１６の上に位置させる。頂部部材１４の連続
した垂直リップ部材５４は、図１に示すように、連続し
たリップ部材３６の上に整合する。次いで、可撓性のウ
エハー支持バネ１５０ａ〜１５０ｎおよび１５２ａ〜１
５２ｎが接線方向に位置して、基板若しくはウエハー１
７０ａ〜１７０ｎの外周に柔軟に係合し、さらに、傾斜
したキャッチ部７０ａ、７０ｂおよび７２ａ、７２ｂが
部分的にラッチ部材７４および７６に対して係合する。
頂部部材１４は、複数のウエハー支持バネ１５０ａ〜１
５０ｎおよび１５２ａ〜１５２ｎによって基板若しくは
ウエハー１７０ａ〜１７０ｎに対し僅かに下向きの圧力
を及ぼすように位置決めされ、さらに、頂部部材１４
は、基板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎの上方に
整合した際に、ラッチ部材７４ａ、７４ｂおよび７６
ａ、７６ｂが完全にキャッチ部７０および７２と係合す
るまで、図のように上方向に移動する。基板若しくはウ
エハー１７０ａ〜１７０ｎの上部は、Ｖ溝１６２内の傾
斜した立上がり壁１５８と１６０との間に位置して、基
板若しくはウエハーの上部の横方向間隔を互いに均等に
させる。角度のついた端部１６４と１６６の間のＶ溝１
６２は、上側の基板若しくはウエハー周面を捕捉するよ
うに働く。
【００２９】頂部部材１４は、キャッチ部材７０および
７２がラッチ部材７４および７６に摩擦係合した際に、
ウエハーキャリヤ１６と係合してこれを頂部部材１４と
底部部材１２との間に固定保持する。詳細には、平面部
材５３および５５がウエハーキャリヤ１６の平面状の頂
縁部９８および１００に接触してこれに均一な下方向の
圧力を加える。この下方向の圧力は、ウエハーキャリヤ
１６の構造を介して、底部部材１２の溝部４２および４
４に着座したウエハーキャリヤの底縁部９４および９６
に伝達され、さらには溝部４２および４４、すなわち、
底部部材１２まで伝達される。
【００３０】可撓性ウエハー支持バネ１５０ａ〜１５０
ｎおよび１５２ａ〜１５２ｎは、それぞれ接線方向で基
板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎの各々の外周に
対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ１６の内部および
係合した頂部部材１４と底部部材１２の内部に、基板若
しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎをその移動が最小に
なるように着座させる。
【００３１】ウエハーキャリヤ１６と、基板若しくはウ
エハー１７０ａ〜１７０ｎは、頂部部材１４およびその
構成要素により所定位置に保持される。バネ作用によ
り、ウエハーキャリヤ１６内に基板若しくはウエハーが
固定されるとともに、底部部材１２には頂部部材１４に
向かう上向きの圧力が与えられ、キャッチ部とラッチ部
とが互いに係合を解除した時、基板若しくはウエハーに
対するウエハー支持バネ１５０ａ〜１５０ｎおよび１５
２ａ〜１５２ｎの作用により、頂部部材１４が上方向に
弾発されるようにする。
【００３２】図１８は、ウエハーキャリヤ１６を底部部
材１２に対して一つの位置においてのみ適切に方向づけ
且つ整合させ得ることを示している。位置決め用凹部案
内部材３４が、その唯一の適切な方向への設定を可能に
する。ウエハーキャリヤ１６のＨ形状の部材８８が、こ
の位置決め用凹部案内部材３４に係合する。垂直な支持
バー８４および８６は、位置決め用凹部案内部材３４の
周辺に位置する。同時に、ウエハーキャリヤ１６の平面
部材９２が側面２４に隣接する。ウエハーキャリヤ１６
をその縦軸線を中心としていずれかの方向に１８０°回
転させると、ウエハーキャリヤ１６の平面部材９２は、
位置決め用凹部案内部材３４により占められた領域に嵌
合してウエハーキャリヤ１６を底部部材１２内に嵌合さ
せる。勿論、分割したロッド部９０の下で且つ垂直な支
持バー８４と８６の間に位置するＨ形状の部材８８の部
分は、位置決め用凹部案内部材３４によって収容され
る。
【００３３】頂部部材１４は、その端部のいずれかを底
部部材１２のいずれか一方の端部に隣接させるように置
くことができる。
【００３４】上側リップは下側リップに、ラッチ部はキ
ャッチ部にそれぞれ係合し、さらにウエハーキャリヤと
底部部材１２と頂部部材１４との間の、基板若しくはウ
エハー１７０ａ〜１７０ｎの周囲の相互係合関係が生ず
る。この相互係合関係は、特に、パッケージが相乗的組
み合わせによってウエハーの汚染を減少させ且つ除去す
ることの反映であり、さらに、基板若しくはウエハーの
貯蔵および輸送を可能にするとともに、それぞれ頂部部
材１４および底部部材１２をテーピングするために整合
した外周部を与え、輸送および貯蔵を確実にする。頂部
部材１４は、ウエハー支持バネ１５０ａ〜１５０ｎおよ
び１５２ａ〜１５２ｎが分割リブ１０２ａ〜１０２ｎお
よび１０６ａ〜１０６ｎの中心線上でウエハーキャリヤ
１６内の基板若しくはウエハー１７０ａ〜１７０ｎと整
合する前に、底部部材１２とほぼ整合することができ
る。
【００３５】また、ラッチ部が合致することにより、容
器がテーピングされるだけでなく、ポリエステル、ポリ
エチレン若しくはマイラーフイルム等の適当な種類のフ
イルムで収縮ラップされあるいは袋詰めされることを可
能にし、さらに、構造的に一体性を有する汚染防止密閉
容器を形成することが、特に重要である。これはまた、
容器のコストを低減させるとともに、内部に支持された
ウエハーの構造的一体性を保持する。頂部部材と底部部
材に対し、ウエハーキャリヤが各構成要素と係合して、
基板若しくはウエハーを基板用パッケージ全体に摩擦係
合させるようになる。
【００３６】図１９は、互いに積層された同様な基板用
パッケージ１０の側面図で、参照符号は全て前述の部材
に対応する。同様な複数のパッケージは、底部部材１２
の積層用コーナー凹部部材４５ａ〜４５ｄと、上側に位
置する別の基板用パッケージ１０の頂部部材１４におけ
る積層用脚部６０ａ〜６０ｄとの係合により、積層する
ことができる。他の実施例 図２０は、基板若しくはウエハーを貯蔵し且つ輸送する
ための本発明によるパッケージ２１０の斜視図である。
このパッケージは、図２１に示すウエハーキャリヤ２１
６を包含して輸送しあるいは貯蔵するために係合する底
部部材２１２と頂部部材２１４とを具備する。
【００３７】底部部材２１２は、側面２１８、２２０、
２２２および２２４と、平らな面２２６ａ、２２６ｂ、
２２６ｃおよび２２６ｄを含み且つそれらの間に丸みの
ついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の連続し
た垂直部材２２６と、平らな面２２６ａ内に配置された
ラッチ用凹部２２８およびこれに対応して平らな面２２
６ｃ内に配置されたラッチ用凹部２３０とを備える。側
面２１８から把持用凹部２３２が引込み形成されてお
り、これに対応して、図２２に示すように、側面２２２
から同様な把持用凹部２３３が引込み形成されている。
側面２２０には、ウエハーキャリヤ２１６を案内するた
めの位置決め用凹部案内部材２３４が引込み形成されて
おり、これは、壁部材２２０ａ、２２０ｂと、この壁部
材２２０ａと２２０ｂの間に設けられた壁部材２３４ａ
と、これら壁部材２２０ａ、２２０ｂおよび２３４ａと
交わる水平な平面部材２３４ｂとを含む。また、図２２
に示すように、連続したリップ部材２３６が、連続した
垂直部材２２６の上部に位置し、後で詳述する頂部部材
２１４の対応するリップと係合するようになっている。
上側の平坦な底部表面２３９および２４１は、それらの
間にあって下方に延びた端部２４０ａおよび２４０ｂを
有する円筒部２４０を形成し、図２２に示すように、側
面２２０と２２４の間の下部に位置している。また、ウ
エハーキャリヤ２１６を収容するために、溝部２４２お
よび２４４が側面２１８および２２２と平行に且つ下側
の平坦な底部２３８と円筒部２４０の長さ方向の縁部に
沿って配置されている。側面２１８〜２２４の交差部と
平坦な底部２３８の下側各コーナー部には、それぞれ積
層用のコーナー凹部部材２４５ａ、２４５ｂが設けられ
ている。
【００３８】頂部部材２１４は、側面２４６、２４８、
２５０および２５２と、これらの側面から下方に延びて
平面２５４ａ〜２５４ｄを含み且つそれらの間に丸みの
ついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の連続し
た垂直リップ部材２５４と、側面２４６および２５０の
上部に各側面２４６、２５０と平行に位置してウエハー
キャリヤ２１６の上部領域に係合する溝部２５６および
２５８と、各溝部２５６および２５８に隣接し且つ各側
面２４６および２５０の上部に沿った平面部材２５３お
よび２５５と、側面２４６〜２５２の各交差部から上方
に延びて各溝部２５６および２５８の両端に位置する積
層用脚部２６０ａ〜２６０ｄと、溝部２５６および２５
８と側面２４８および２５２の上部との間に形成された
弧状の円筒部２６４と、この弧状円筒部２６４の両端か
ら下方に延びた円筒端部２６４ａ、２６４ｂとを備え
る。側面２４８および２５２の上部から水平方向に整合
した平面２６２および２６３が延び、それぞれ円筒端部
２６４ａ、２６４ｂと交わっている。平面の下側から下
方に向かって水平方向に整合したウエハー支持バネの列
が延び、ウエハー基板をウエハーキャリヤ２１６に緩く
固定するようになっている。これについては、特に、図
２９〜図３１を参照して後で詳細に説明する。連続した
垂直リップ部材２５４は、底部部材２１２の連続したリ
ップ部材２３６に被嵌して基板パッケージ２１０を封止
する。図２５および図２８に示すように、頂部部材２１
４はキャッチ部材２７０および２７２を備える一方、底
部部材２１２は把持用凹部２３２および２３３に隣接し
たラッチ部材２７４および２７６を備え、ウエハーキャ
リヤ２１６を収納した底部部材２１２に頂部部材２１４
を係合させるようになっている。
【００３９】図２１は、ウエハーキャリヤ２１６の斜視
図である。このキャリヤ２１６は、対向する側面２８０
および２８２と、側面２８０の一端部に沿って垂直方向
および外方向に延びた支持バー２８４と、側面２８２の
一端部に沿って垂直方向および外方向に延びた支持バー
２８６と、支持バー２８４と２８６の間にあってこれら
の支持バーから引っ込んだＨ形状の部材２８８および分
割されたロッド部２９０と、側面２８０と２８２の後部
の間にあってこれらの後部に接合するとともに垂直方向
に配設された平面部材２９２と、各側面２８０および２
８２の底部に沿って延びた底縁部２９４および２９６
と、側面２８０の上端部に沿って且つ支持バー２８４の
上部と平面部材２９２の上側外部との間に位置する平面
状の頂縁部２９８と、側面２８２の上端部に沿って且つ
支持バー２８６の上部と平面部材２９２の上側外部との
間に延びた同様な平面状の頂縁部３００とを備える。
【００４０】平面状の頂縁部２９８と側面２８０の下部
との間には、その距離においてリブ３０２ａ〜３０２ｎ
およびそれらと交互に配設されたウエハーポケット３０
４ａ〜３０４ｎが垂直方向に延び、側面２８０の下部近
くで湾曲断面を形成して側面２８０の下部と交わってい
る。同様に、平面状の頂縁部３００と側面２８２の下部
との間には、その距離においてリブ３０２ａ〜３０２ｎ
およびそれらと交互に配設されたウエハーポケット３０
８ａ〜３０８ｎが垂直方向に延び、側面２８２の下部近
くで湾曲断面を形成して側面２８２の下部と交わってい
る。また、図３２および図３４に示すように、丸みのつ
いたウエハーポケット背部３０９ａ〜３０９ｎおよび３
１９ａ〜３１９ｎが、寸法において安定性を与えるとと
もにウエハーポケットと同様に延びて湾曲断面を形成
し、それぞれ側面２８０および２８２の下部と交わって
いる。平面状の頂縁部２９８および３００は、各々の外
側端部近傍において垂直方向に向いた位置決め用穴部３
１０ａ、３１０ｂとピン３１１ａ、３１１ｂを含む。さ
らに、ウエハーキャリヤ２１６は、それぞれ支持バー２
８４および２８６に配設されたロボット用ハンドルスロ
ット３１２および３１３を備えるとともに、平面部材２
９２の頂縁部と側面２８０および２８２の上部に隣接し
てウエハーキャリヤ２１６の後部に配設されたロボット
用ハンドルスロット３１６および３１８を備える。側面
２８０および２８２の上部には、ロボット用タブ部材３
２１ａおよび３２１ｂが位置する。
【００４１】図２２は底部部材２１２の平面図で、参照
符号は全て前述の部材に対応する。ラッチ凹部２２８は
ラッチ部材２７４を含み、図２０にも示すように、角度
のついた中央の支持部材３２０ａと、その両側の角度の
ついた支持部材３２０ｂおよび３２０ｃとが、ラッチ凹
部２２８の下側の最内部領域に対し所定の角度をもって
ラッチ部材２７４の中間部から延びている。ラッチ部材
２７４は、角度のついた支持部材３２０ａによりラッチ
表面２７４ａと２７４ｂに分割されている。これに対応
して、角度のついたラッチ支持部材３２２ａ〜３２２ｃ
が、同様にラッチ部材２７６の下側から把持用凹部２３
３の上方に位置するラッチ凹部２３０へ延びている。ラ
ッチ部材２７６は、角度のついた支持部材３２２ａによ
りラッチ表面２７６ａと２７６ｂに分割されている。
【００４２】把持用凹部２３２は、垂直方向に整合して
向かい合う壁部３２４および３２６と、この壁部３２４
および３２６の間に位置する垂直壁部３２８と、底部部
材２１２の中心に向かって傾斜するとともに壁部３２４
〜３２８と交わる傾斜壁部３３０とを含む。把持用凹部
３３３は、同様に整合して向かい合う壁部３３２および
３３４と、この壁部３３２と３３４の間に位置する垂直
壁部３３６と、これらの壁部３３２〜３３６と交わる傾
斜壁部３３８とを含む。上記の壁部３２８および３３６
と溝部２４２および２４４の内側部材との間に位置決め
用リブ３４０および３４２が延び、構造を補助する役割
を果たしている。
【００４３】図２３は底部部材２１２の底面図で、参照
符号は全て前述の部材に対応する。
【００４４】図２４は底部部材２１２の端面図で、参照
符号は全て前述の部材に対応する。この図では、特に側
面２２０における位置決め用凹部案内部材２３４が示さ
れている。さらに、連続したリップ部材２３６の輪郭部
が２３６ａおよび２３６ｂで示されており、各輪郭部に
おいて、連続したリップ部材２３６はラッチ部材２７４
および２７６に隣接した領域を通っている。リップ部材
２３６の輪郭部２３６ａおよび２３６ｂは、図３６に示
すように、パッケージの頂部における連続した平面リム
２５９の水平方向下側に封止する。
【００４５】図２５は頂部部材２１４の底面図で、参照
符号は全て前述の部材に対応する。可撓性のウエハー支
持バネの列３５０および３５２が、図２８にも示すよう
に弧状円筒部２６４と溝部２５６および２５８との間に
ある半径の小さい表面３５１および３５３から水平方向
に延び、ウエハーキャリヤ２１６に支持されたウエハー
基板を緩く抑える。可撓性のウエハー支持バネ列３５０
および３５２は、それぞれ複数のウエハー支持バネ３５
０ａ〜３５０ｎおよび３５２ａ〜３５２ｎを含む。これ
については、後で図２９、図３０および図３１を参照し
て説明する。キャッチ部材２７０および２７２は、それ
ぞれ平面２５４ａおよび２５４ｃ上に位置している。キ
ャッチ部材２７０は傾斜したキャッチ部２７０ａおよび
２７０ｂを含み、キャッチ部材２７２は傾斜したキャッ
チ部２７２ａおよび２７２ｂを含む。この頂部部材２１
４のキャッチ部材２７０および２７２は、図２６に示す
ように、それぞれ底部部材２１２のラッチ部材２７４お
よび２７６に係合する。壁２４８および２５２の内面に
は、補強用の突起２７６ａ〜２７６ｄが垂直方向に整合
して設置されている。
【００４６】図２６は頂部部材２１４の平面図で、参照
符号は全て前述の部材に対応する。
【００４７】図２７は係合前の基板用パッケージ２１０
の部分断面切欠分解側面図で、参照符号は全て前述の部
材に対応する。
【００４８】図２８は係合前の基板用パッケージ２１０
の部分断面切欠分解端面図で、参照符号は全て前述の部
材に対応する。底部部材２１２は、図２２の２８−２８
線に沿う断面図で示されている。
【００４９】図２９は、ウエハー支持バネ列３５２にお
けるウエハー支持バネ３５２ａ〜３５２ｎの、図２８の
２９−２９線に沿う端面図である。ここで、バネの歯部
３５２ａについて説明する。可撓性のウエハー支持バネ
３５２ａは、図３１に示すように半径の小さい表面３５
６から水平方向に延びている。この可撓性ウエハー支持
バネ３５２ａは、傾斜した立上がり壁部３５８および３
６０を含む。図３０にも示すように、上記の傾斜した立
上がり壁部３５８と３６０の間でＶ溝３６２が可撓性の
バネ歯部３５２ａの下側に沿って延びている。可撓性の
ウエハー支持バネ３５２ａ〜３５２ｎは柔軟で、基板用
パッケージ２１０に収納されている上記の傾斜した立上
がり壁３５８と３６０の間のＶ溝３６２内でウエハー基
板の周縁部に係合するような所定の可撓性を有する。こ
れらのウエハー支持バネは、ウエハー若しくは基板に接
触して屈曲する。
【００５０】図３０は、図２９のウエハー支持バネ列３
５２の図３１における３０−３０線に沿った側面図で、
参照符号は全て前述の部材に対応する。
【００５１】図３１は、図３０のウエハー支持バネ列３
５２の底面図である。
【００５２】図３２はウエハーキャリヤ２１６の平面図
で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
【００５３】図３３は、歯部３０６ｎとウエハーポケッ
ト３０８ｎとを含む分割リブ部分の、図３２における３
３−３３線に沿う断面図である。リブ３０２ｎおよびウ
エハーポケット３０８ｎの先端部は円滑で、丸みを有す
る。
【００５４】図３４はウエハーキャリヤ２１６の切欠側
面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。作用および効果 図３５および図３６は、動作モードを最もよく示してい
る。
【００５５】図３５は、パッケージ２１０内に係合させ
た基板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎの切欠側面
図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。頂部部材
２１４と底部部材２１２は、全体が断面図で示されてい
る。ウエハーキャリヤ２１６は、傾斜した壁部３３８の
上方におけるラッチ部材２７６を表すために切り欠かれ
ている。底部部材のラッチ凹部２３０は、頂部部材の連
続した垂直リップ部材２５４に対してシールする。ロボ
ット式ウエハーキャリヤは輸送且つ貯蔵用および／また
は加工用とすることができるとともに、ポリエチレン、
テフロン（登録商標）、その他同様な材料の適当な重合
体からなるものとすることができる。
【００５６】図３６は、ウエハーキャリヤ２１６内の基
板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎに対してそれぞ
れ互いに係合した頂部部材２１４と底部部材２１２の断
面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。図示の
キャッチ部材２７０および２７２はそれぞれラッチ部材
２７４および２７６と摩擦係合し、これにより、連続し
たリップ部材の輪郭部２３６ａ、２３６ｂは連続した平
面リム２５９に密着し、キャッチ部材２７０および２７
２とラッチ部材２７４および２７６の領域において、頂
部部材２１４と底部部材２１２を封止する。図面には、
頂部部材２１４に対するウエハーキャリヤ２１６と、ウ
エハーキャリヤ２１６、頂部部材２１４および底部部材
２１２の間に係合した基板若しくはウエハー３７０ａ〜
３７０ｎに対する底部部材２１２との、相互の固定状態
および相互の係合関係が示されている。基板若しくはウ
エハー３７０ａ〜３７０ｎは、複数のリブ３０６ａ〜３
０６ｎと向かい合うリブ３０２ａ〜３０２ｎとの間に係
合し、これにより、各基板若しくはウエハーが各分割歯
の対の中央に位置するように運動を規制する。
【００５７】基板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎ
を収納したウエハーキャリヤ２１６は、初めに底部部材
２１２内に設置され、底縁部２９４および２９６を底部
部材２１２の溝部２４２および２４６に静置する。次い
で、頂部部材２１４を基板若しくはウエハー３７０ａ〜
３７０ｎを収納したキャリヤ２１６の上に位置させる。
頂部部材２１４の連続した垂直リップ部材２５４は、図
２０に示すように、連続したリップ部材２３６上に整合
する。次いで、可撓性のウエハー支持バネ３５０ａ〜３
５０ｎおよび３５２ａ〜３５２ｎが接線方向に位置し
て、基板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎの外周に
柔軟に係合し、さらに、傾斜したキャッチ部２７０ａ、
２７０ｂおよび２７２ａ、２７２ｂが部分的にラッチ部
材２７４および２７６に対して係合する。頂部部材２１
４は、複数のウエハー支持バネ３５０ａ〜３５０ｎおよ
び３５２ａ〜３５２ｎによって基板若しくはウエハー３
７０ａ〜３７０ｎに対し僅かに下向きの圧力を及ぼすよ
うに位置決めされ、さらに、頂部部材２１４は、基板若
しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎの上方に整合した際
に、ラッチ部材２７４ａ、２７４ｂおよび２７６ａ、２
７６ｂが完全にキャッチ部２７０および２７２と係合す
るまで、図のように上方向に移動する。基板若しくはウ
エハー３７０ａ〜３７０ｎの上部は、Ｖ溝３６２内の傾
斜した立上がり壁３５８と３６０との間に位置して基板
若しくはウエハーの上部の横方向間隔を互いに均等にさ
せる。角度のついた端部３６４と３６６の間のＶ溝３６
２は、上側の基板若しくはウエハー周面を捕捉するよう
に働く。
【００５８】頂部部材２１４は、キャッチ部材２７０お
よび２７２がラッチ部材２７４および２７６に摩擦係合
した際、ウエハーキャリヤ２１６と係合してこれを頂部
部材２１４と底部部材２１２との間に固定保持する。詳
細には平面部材２５３および２５５がウエハーキャリヤ
２１６の平面状の頂縁部２９８および３００に接触し
て、これに均一な下方向の圧力を加える。この下方向の
圧力は、ウエハーキャリヤ２１６の構造を介して、底部
部材２１２の溝部２４２および２４４に着座したウエハ
ーキャリヤの底縁部２９４および２９６に伝達され、さ
らには溝部２４２および２４４、すなわち、底部部材２
１２まで伝達される。
【００５９】可撓性ウエハー支持バネ３５０ａ〜３５０
ｎおよび３５２ａ〜３５２ｎは、それぞれ接線方向で基
板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎの各々の外周に
対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ２１６の内部およ
び係合した頂部部材２１４と底部部材２１２の内部に、
基板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎをその移動が
最小になるように着座させる。ウエハーキャリヤ２１６
と、基板若しくはウエハー３７０ａ〜３７０ｎは、頂部
部材２１４およびその構成要素により所定位置に保持さ
れる。バネ作用により、ウエハーキャリヤ２１６内に基
板若しくはウエハーが固定されると共に、底部部材２１
２には頂部部材２１４に向かう上向きの圧力が与えら
れ、キャッチ部とラッチ部とが互いに係合を解除した
時、基板若しくはウエハーに対するウエハー支持バネ３
５０ａ〜３５０ｎおよび３５２ａ〜３５２ｎの作用によ
り、頂部部材２１４が上方向に弾発されるようにする。
【００６０】図３７は、２つの接点にてウエハー、ディ
スク若しくは基板に係合する心合せ用Ｖ溝を備えた連接
式片持ち水平アームの略図である。ウエハー、ディスク
若しくは基板は、Ｖ溝の両側でＶ溝内に支持され、ウエ
ハー、ディスク若しくは基板の縁に対するＶ溝の作用に
よりセンタリングされる。
【００６１】図３８は、ウエハーキャリヤ２１６を底部
部材２１２に対して一つの位置においてのみ適切に方向
付け且つ整列させ得ることを示している。位置決め用凹
部案内部材２３４が、その唯一の適切な方向への設定を
可能にする。ウエハーキャリヤ２１６のＨ形状の部材２
８８が、この位置決め用凹部案内部材２３４に係合す
る。垂直な支持バー２８４および２８６は、位置決め用
凹部案内部材２３４の周辺に位置する。同時に、ウエハ
ーキャリヤ２１６の平面部材２９２が側面２２４に隣接
する。ウエハーキャリヤ２１６をその縦軸線を中心とし
ていずれかの方向に１８０°回転させると、ウエハーキ
ャリヤ２１６の平面部材２９２は、位置決め用凹部案内
部材２３４により占められた領域に嵌合してウエハーキ
ャリヤ２１６を底部部材２１２内に嵌合させる。勿論、
分割したロッド部２９０の下で且つ垂直な支持バー２８
４と２８６の間に位置するＨ形状の部材２８８の部分
は、位置決め用凹部案内部材２３４により収容される。
【００６２】頂部部材２１４は、その端部のいずれかを
底部部材２１２のいずれか一方の端部に隣接させるよう
に置くことができる。
【００６３】上側リップは下側リップに、ラッチ部はキ
ャッチ部にそれぞれ係合し、さらにウエハーキャリヤと
底部部材２１２と頂部部材２１４との間の、基板若しく
はウエハー３７０ａ〜３７０ｎの周囲の相互係合関係が
生ずる。この相互係合関係は、特に、パッケージが相乗
的組み合わせによってウエハーの汚染を減少させ且つ除
去することの反映であり、さらに、基板若しくはウエハ
ーの貯蔵および輸送を可能にするとともに、それぞれ頂
部部材２１４および底部部材２１２をテーピングするた
めに整合した外周部を与え、輸送および貯蔵を確実にす
る。頂部部材２１４は、ウエハー支持バネ３５０ａ〜３
５０ｎおよび３５２ａ〜３５２ｎが分割リブ３０２ａ〜
３０２ｎおよび３０６ａ〜３０６ｎの中心線上でウエハ
ーキャリヤ２１６内の基板若しくはウエハー３７０ａ〜
３７０ｎと整合する前に、底部部材２１２とほぼ整合す
ることができる。
【００６４】また、ラッチ部が合致することにより、容
器がテーピングされるだけでなく、ポリエステル、ポリ
エチレン若しくはマイラーフイルム等の適当な種類のフ
イルムで収縮ラップされあるいは袋詰めされることを可
能にし、さらに、構造的に一体性を有する汚染防止密閉
容器を形成することが、特に重要である。これはまた、
容器のコストを低減させるとともに、内部に支持された
ウエハーの構造的一体性を保持する。頂部部材と底部部
材に対し、ウエハーキャリヤが各構成要素と係合して、
基板若しくはウエハーを基板用パッケージ全体に摩擦係
合させるようになる。
【００６５】図３９は互いに積層された同様な基板用パ
ッケージ２１０の側面図で、参照符号は全て前述の部材
に対応する。同様な複数のパッケージは、底部部材２１
２の積層用コーナー凹部部材２４５ａ〜２４５ｄと、上
側に位置する別の基板用パッケージ２１０の頂部部材２
１４における積層用脚部２６０ａ〜２６０ｄとの係合に
より、積層することができる。
【００６６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、パッケ
ージ用頂部部材の内部に設けられた押え用アーム部材が
内部に収納されたウエハー基板等の周縁部に弾性的に緩
く係合して押え機能を発揮する。従って、パッケージの
移送途上で、ウエハー基板等が変位することが阻止され
る。しかも、ウエハー基板等に対する押え用アーム部材
の摩滅もないため、ウエハー基板の周縁部近傍において
微粒子が生じることを阻止でき、結果的に、パッケージ
内部が汚染されるのが回避される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による基板用パッケージの斜視図であ
る。
【図２】ウエハーキャリヤの斜視図である。
【図３】底部部材の平面図である。
【図４】底部部材の底面図である。
【図５】底部部材の端面図である。
【図６】頂部部材の底面図である。
【図７】頂部部材の平面図である。
【図８】基板用パッケージの部分断面切欠分解側面図で
ある。
【図９】基板用パッケージの断面切欠分解端面図であ
る。
【図１０】ウエハー支持バネの端面図である。
【図１１】ウエハー支持バネ列の側面図である。
【図１２】ウエハー支持バネの底面図である。
【図１３】ウエハーキャリヤの平面図である。
【図１４】分割リブおよびウエハーポケットの略断面図
である。
【図１５】ウエハーキャリヤの切欠図である。
【図１６】基板用パッケージにおける基板ウエハーの切
欠側面図である。
【図１７】組み立てられた基板用パッケージの断面図で
ある。
【図１８】底部部材内のウエハーキャリヤの平面図であ
る。
【図１９】積層された基板用パッケージを示す図であ
る。
【図２０】他の実施例による基板用パッケージの斜視図
である。
【図２１】ウエハーキャリヤの斜視図である。
【図２２】底部部材の平面図である。
【図２３】底部部材の底面図である。
【図２４】底部部材の端面図である。
【図２５】頂部部材の底面図である。
【図２６】頂部部材の平面図である。
【図２７】基板用パッケージの部分断面切欠分解側面図
である。
【図２８】基板用パッケージの断面切欠分解端面図であ
る。
【図２９】ウエハー支持バネの端面図である。
【図３０】ウエハー支持バネ列の側面図である。
【図３１】ウエハー支持バネの底面図である。
【図３２】ウエハーキャリヤの平面図である。
【図３３】分割リブおよびウエハーポケットの略断面図
である。
【図３４】ウエハーキャリヤの切欠図である。
【図３５】基板用パッケージにおける基板ウエハーの切
欠側面図である。
【図３６】組み立てられた基板用パッケージの断面図で
ある。
【図３７】ウエハー、ディスク若しくは基板に係合する
心合せ用Ｖ溝を備えた連接式片持ち水平アームの略図で
ある。
【図３８】底部部材内のウエハーキャリヤの平面図であ
る。
【図３９】積層された基板用パッケージを示す図であ
る。
【符号の説明】
１０、２１０…パッケージ １２、２１２…底
部部材 １４、２１４…頂部部材 １６、２１６…ウ
エハーキャリヤ ２６、２２６…垂直部材 ３２、２３２…把
持用凹部 ３４、２３４…凹部案内部材 ４０、２４０…円
筒部 ５４、２５４…リップ部材 ６０ａ〜６０ｄ、２６０ａ〜２６０ｄ…積層用脚部 ６４、２６４…円筒部 ７０、７２、２７０、２７２…キャッチ部材 ７４、７６、２７４、２７６…ラッチ部材 ８４、２８４…支持バー ９０、２９０…ロ
ッド部 １０４ａ〜１０４ｎ、３０４ａ〜３０４ｎ…ウエハーポ
ケット １５０、１５２、３５０、３５２…ウエハー支持バネ １５２ａ〜１５２ｎ、３５２ａ〜３５２ｎ…可撓性ウエ
ハー支持バネ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】複数のウエハー、ディスク若しくは基板を
    収納するパッケージであって、前記パッケージは、 パッケージ用底部部材と、前記パッケージ用底部部材の
    内部に設置される着脱自在なウエハーキャリヤと、 前記パッケージ用底部部材と係合して前記ウエハーキャ
    リヤを該パッケージ用底部部材内で直接または間接的に
    位置決めするパッケージ用頂部部材と、 からなり、前記パッケージ用頂部部材は前記ウエハーキ
    ャリヤ内に収納されるウエハー、ディスク若しくは基板
    の縁部と係合する凹溝を備えた一対の押え用アーム部材
    を有し、前記押え用アーム部材は複数個一連に並設され
    且つ弾性を有する合成樹脂材で形成されていることを特
    徴とするパッケージ。
  2. 【請求項２】請求項１記載のパッケージにおいて、前記
    一対の押え用アーム部材は前記パッケージ用頂部部材に
    対して一体的に設けられていることを特徴とするパッケ
    ージ。
  3. 【請求項３】請求項１または２記載のパッケージにおい
    て、前記押え用アーム部材に設けられる凹溝はＶ溝であ
    ることを特徴とするパッケージ。
  4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のパッケ
    ージにおいて、前記一対の押え用アーム部材はパッケー
    ジ用頂部部材に固着された水平バー部材と一体的な垂直
    バー部材から該パッケージ用頂部部材の内方へと互いに
    対向するように延在する一対且つ一連の可撓性ウエハー
    支持バネで構成されていることを特徴とするパッケー
    ジ。
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