JP3370680B2 - ウェハー輸送用のウェハークッション - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本出願は1995年６月６日に出願されたウェハー輸送用
のウェハークッションという名称の特許出願第08/471,6
41号と一部継続出願である。

発明の背景 この発明は、半導体ウェハーやそれと類似した物体を
輸送するための容器及びパッケージに関する。

半導体ウェハーはその処理において多くの工程をとお
る。ウェハーに対しては、様々な機械の中で、また様々
な場所においていろんな処理が行われる。必要な処理を
行うために、ウェハーを一つの場所から別の場所へと輸
送して、ある期間にわたって貯蔵する必要がある。ウェ
ハーを処理し、貯蔵し、輸送するために、従来から多く
のタイプの運搬及び輸送用装置が開発されてきている。

輸送用装置の重要な構成部材は、衝撃や振動、擦過な
どによる機械的な損傷からウェハーを保護するためにウ
ェハーにクッションを与えるための部材である。こうし
た輸送用容器やクッション部材については、米国特許第
4,043,451号、第4,171,740号、第4,248,346号、4,555,0
24号、第4,574,950号、第4,557,382号、第4,718,549
号、第4,773,488号、第4,817,779号、第4,966,284号、
第5,046,617号、第5,253,755号、第5,255,797号、第5,2
73,159号に開示されているように、すでに周知のもので
ある。これらの運搬及び輸送用の装置では、ウェハーと
係合しクッションを与えてウェハーを機械的な損傷から
保護するための様々な部材がカバーの上に設けられてい
る。しかし、これらの容器は、ウェハーが存在すること
による輸送用装置のカバーの本来的な屈曲に適応できる
ようにはなっていない。

運搬及び輸送用の装置に望ましい特徴は、汚染物質が
入り込まないようにハーメチックシールあるいはハーメ
チックシールに近い特性を有する上部カバーを有してい
ることである。

ポリプロピレンやHytrel（登録商標）などのような、
より屈曲性を有するプラスチックをカバーに使用すれば
シーリングはより良好になるが、しかし上部カバーの屈
曲性が大きくなると個々のウェハーに対する係合が不均
一で一定しないようになる。これは、上部カバーがたわ
む、すなわち上部カバーの中心部分が端部近辺における
よりも外側へ大きく屈曲するからである。

これまでカバーの屈曲に関する問題の方策としては、
外側リブを追加したり、上部カバーの構造を変更した
り、より堅固な材料を使用したりすることによって上部
カバーのたわみを防止することが行われてきた。

発明の概要 この発明は、半導体ウェハーなどの物体を安全に貯蔵
するための輸送用容器である。この輸送用容器は、シー
ルされた状態で二つの端壁へ連結されている二つの側壁
を有しており、ウェハーを収容する一般に四角形の領域
を内部に形成している。上部カバーと底部カバーが取り
外し可能な状態で容器へ取り付けられて、輸送や貯蔵を
行うときにウェハーを保護するとともに、処理を行うと
きにはウェハーへアクセスできるようになっている。ウ
ェハーは、カバーの屈曲に適応するためのクッション部
材によってキャリヤの中で定位置に保持されていて、ウ
ェハーが損傷を受けないようになっている。また、ウェ
ハーは所定の位置にロックされており、ウェハーがキャ
リヤを擦ってウェハー収容部分に粒子を発生して汚染し
ないようになっている。カバーの屈曲に適応するための
クッション部材は、カバーの屈曲を利用することによっ
て、ウェハー収容部分の中でウェハーを支持し、懸架す
るようになっている。このクッション部材は上部カバー
内の構造体を有しており、容器内部へ延びる複数のウェ
ハー係合部を有している。ウェハー係合部の各々は、キ
ャリヤの中心線に対して凸状の弓形に配置された端部を
有している。この弓形は、輸送用装置のカバーの最初の
弓形によって形成してもよいし、輸送用装置のカバーか
ら延びる弓形のフィンによって形成してもよい。クッシ
ョン部材はウェハーと係合すると圧縮して、ウェハーを
上部カバーから離間しつつ固定するような構造を有して
いる。クッション部材はフィンの長手方向に沿って設け
られた連続したウェハー係合端部を有していてもよい
し、各々が個々にウェハーと係合するウェハー係合タブ
あるいはフィンガに分離されていてもよい。底部カバー
にも、ウェハーと係合して底部カバーからウェハーを離
間するクッション部材が設けられている。底部カバーに
設けられたクッション部材の構造は、外側へ屈曲してウ
ェハーをロックすることによって、ウェハーが輸送用装
置の中で回転しないようにする設計になっている。

この発明の目的は、上部カバーにおいてほぼハーメチ
ックシールに近いシールを有し、またカバーの屈曲に適
応するためのクッション部材を有する輸送用容器であっ
て、容器のカバーの屈曲性を利用して半導体ウェハーを
安全に貯蔵し輸送することによって、ウェハーの損傷あ
るいは汚染の可能性を最小限に抑える輸送用容器を提供
することにある。

この発明の特徴は、側壁及び端壁と、上壁を形成する
取り外し可能な上部カバーと、底壁を形成する取り外し
可能な底部カバーとを有する容器である。ウェハー分離
用のリブが側壁に配置されており、ウェハーを互いに離
間した状態で保持するようになっている。

この発明の別の特徴は、上部カバーに設けられたクッ
ション部材である。このクッション部材は複数のフィン
を有している。フィンは上部カバーに沿って長手方向に
配置されており、ウェハー収容部分の中へ半径方向に延
びている。

この発明の別の特徴は、各フィンがその長手方向に沿
って設けられた連続したウェハー係合端部を有している
ことである。

この発明の別の特徴は、各フィンが、分離した状態で
延びている複数のクッション用タブの列からなってお
り、隣接するタブの各対の間にはスロットが設けられ
て、不連続なウェハー係合端部を形成しており、このウ
ェハー係合端部はキャリヤの中心線に対してほぼ凸状の
弓形になっている。クッション用タブの各々がウェハー
係合端部を有している。

この発明の別の特徴は、上部カバーに設けられた各フ
ィンの構造である。この構造は、ウェハー係合部におい
てウェハーの半径方向に弾性的にへこむように設計され
ている。

この発明の別の特徴は、ウェハー係合端部を有する、
底部カバーに設けられた第２のクッション部材である。
この底部カバーに設けられたクッション部材は、ウェハ
ーを支持しウェハーを底部カバーから離間する一方で、
ウェハーの重量による底部カバーの屈曲に適応するよう
になっている。

この発明の別の特徴は、上部カバーあるいは底部カバ
ーのクッション部材がフィンあるいは係合部材の列など
の構造を有していることであり、この構造は容器の端部
においてより圧縮しやすいように、そして容器の中央部
分で圧縮しにくいように設計されており、輸送用装置の
カバーの屈曲に適応し、これを利用するようになってい
る。

この発明の別の特徴は、上部カバーの上にフィンを配
置することによって、ウェハーのクッション効果を最大
限に大きくしていることである。上部カバーの中央部分
に沿って上部フィンが配置されている。

この発明の別の特徴は、フィンがカバーと一体に形成
されていて、製造コストを最小限に抑えていることであ
る。

この発明の別の特徴は、ウェハーと係合したときに、
タブの間のスロットによって各タブが個々に屈曲できる
ようになっており、一つのタブの屈曲が他のタブがそれ
ぞれのウェハーに対して行う整列や係合に影響を及ぼさ
ないようにできることである。

この発明の別の特徴は、各フィンがカバーの内側を長
手方向に延びるビードの形を有していることである。

この発明の別の特徴は、フィンあるいは係合部の端部
がポイント、ビード、あるいは平坦な面からなる形状を
有していることである。

この発明の別の特徴は、ウェハー係合端部がキャリヤ
の中心線から半径方向に或る距離だけ離間していること
である。この半径方向距離は、フィンの中央部分から、
端壁と隣接するフィン部分まで徐々に増大している。

この発明の別の特徴は、底部カバーに設けられたクッ
ション部材が底部カバーに沿って長手方向に延びる一対
のフィンの形を有していることである。底部カバーに設
けられた各フィンの構造は、弾性的に屈曲することによ
ってウェハーを所定の位置にロックしウェハーの回転を
制限するように設計されている。

この発明の別の特徴は、底部カバーに設けられたクッ
ション部材のウェハー係合端部がキャリヤの中心線の方
へ向いた凸状の弓形を有していることである。

図面の簡単な説明 図１はプラスチック製の輸送用容器の斜視図である。

図２は、三つの主要な部材を示すために分解した状態
で示した輸送用容器の斜視図である。

図３は、図１で３−３線で表されている破断線におけ
る輸送用容器の断面図であり、図３において鎖線で表さ
れている中心線における断面であり、特にタブと正面視
を示している。

図3Aは、図１で３−３線で表されている破断線におけ
る輸送用容器の断面図であり、特に上部カバーにおける
フィンの半径方向の整列状態を示している。

図４は図２のほぼ４−４線に沿う拡大詳細断面図であ
る。

図５は図14のほぼ５−５線に沿う断面図である。

図5Aは図14のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェ
ハークッション部材の別の実施の形態を示している。

図5Bは図14のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェ
ハークッション部材の別の実施の形態を示している。

図5Cは図14のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェ
ハークッション部材の別の実施の形態を示している。

図5Dは図14のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェ
ハークッション部材の別の実施の形態を示している。

図６は図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
る。

図6Aは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
り、フィンのビード形状を示している。

図6Bは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
り、ナイフ形状を有するウェハー係合端部を有してい
る。

図6Cは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
り、平坦なウェハー係合端部を示している。

図6Dは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
り、丸いウェハー係合端部を示している。

図７は図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であ
り、屈曲してウェハーと係合しているタブを示してい
る。

図８は図２のほぼ８−８線に沿う断面図である。

図９は図８のほぼ９−９線に沿う拡大詳細断面図であ
る。

図10は上部カバーに設けられたウェハークッション部
材がウェハーと係合して、半径方向に押しつぶされた状
態を示す斜視図である。

図11は図5Dのほぼ11−11線から見た斜視図である。

図12は、底部カバーに設けられたウェハークッション
部材がウェハーと係合して、外側へ屈曲している状態を
示す斜視図である。

図13はウェハーが水平に向いた状態で受け入れる入口
を側部に有する輸送用容器の正面図である。

図14は上部カバーの斜視図である。

好ましい実施の形態の詳細な説明 図１及び図２を参照するとわかるように、輸送用の容
器は参照番号15によって全体を示されており、ウェハー
キャリヤ16と、上部カバー17と、底部カバー18とを有し
ている。

ウェハーキャリヤ16はポリカーボネートのようなほぼ
剛性で透明なプラスチック材料から成形されていること
が好ましいが、ウェハーキャリヤはそれに匹敵する、あ
るいは同等な他のプラスチックから成形されていてもよ
い。上部カバー17と底部カバー18はともに、デュポン
（DuPont）の登録商標であるHytrelという商標で知られ
ている熱可塑性エラストマなどのかなり硬い、しかし弾
性的で屈曲性を有するプラスチック材料から成形されて
いる。底部カバー18は容器15の底壁を形成している。Hy
trel熱可塑性エラストマは、そのすべてのグレードにお
いて、ブロックコポリマであり、ポリブチレンテレフタ
レートからなる硬い（結晶性の）部分と、長鎖ポリエー
テルグリコールをベースとした軟らかい（アモルファス
性の）部分からなっている。上部カバー及び底部カバー
に使用されるある特定の材料は、45から55から63の範囲
のデュロメータＤの硬さを有する。この材料は弾性を有
しており、表面に粘着部分を有していて、把持性ができ
る限り大きくなり、材料のクリープが最小限に抑えら
れ、大きな摩耗耐久性を有するようになっている。さら
に、上部カバー及び底部カバーの硬いが、しかし弾性的
で屈曲性を有する材料は、多くの工業化学薬品や油、溶
剤による劣化に対して耐久性を有している。

ウェハーキャリヤ16は周囲を囲む四つの壁、すなわち
側壁19、20と、端壁21、22を有している。側壁19、20と
端壁21、22は互いに一体に成形されており、プラスチッ
ク性のウェハーキャリヤ15は一部材になっている。側壁
及び端壁の上端19.1、20.1、21.1、22.1は互いにほぼ直
線的に配置されており、一つの平面内に位置していて、
キャリヤの上部開口部23を形成している。上部開口部23
は、ウェハーキャリヤ15の中へウェハーＷを装填したり
ウェハーキャリヤ15からのウェハーを取り出したりする
のを容易にしている。ウェハーＷは、半導体製造あるい
はディスクプラッタ（disk platter）などの磁気メモリ
蓄積システムにおいて使用されているタイプのものであ
る。

図２及び図３を参照するとわかるように、側壁19、20
は一体に形成された直立状の多数の歯あるいはリブ24、
25を有している。リブ24、25は、その間に半導体ウェハ
ーＷを互いに離間した状態で受容し保持するためのポケ
ットあるいはスロット25.1を形成している。側壁19、20
を形成する透明のポリカーボネートは、目で容易にウェ
ハーの存在や場所を知ることができるようにしている。
側壁19、20は丸いオフセット部26、27も有している。オ
フセット部26、27はその中に収納されるウェハーＷの形
状にほぼ適合した形状を有している。オフセット部は、
ウェハーＷを互いに離間した状態で、また互いに静止し
た状態で保持するためのウェハー分離用の脚28、29も有
している。

側壁19、20は下方へ延びる平行なフットパネル30、31
も有している。フットパネル30、31は側壁19、20の下端
32、33をそれぞれ形成している。

端壁21、22は両方ともほぼ平坦あるいは平面状であ
る。端壁21、22は側壁19、20の下端32、33とほぼ同じ平
面内の下端34、35を有している。側壁と端壁の相互に連
結された下端32、33、34、35は互いに協働して、フット
パネル30、31の間にキャリヤの底部開口部36を形成して
おり、キャリヤ16の底部からウェハーＷにアクセスでき
るようになっている。

側壁19、20は外側へ突き出したタブ37、38を有してい
る。タブ37、38は側壁の上端19.1、20.1と一体に成形さ
れている。タブ37は細長い形状を有しており、図１に示
されているように側壁の両端の間のほぼ中央を側壁に沿
って長手方向に延びている。側壁19は下側にタブ39を有
し、側壁20も下側にタブ（図示しない）を有している。
これらの下側タブは側壁の下端32、33から、さらに詳し
くはそのフットパネル30、31から外側へ突き出してい
る。側壁20の下側タブは側壁19のタブ39と鏡像の関係に
ある。

側壁の上端19.1、20.1と、端壁の上端21.1、22.1は、
側壁19、20と端壁21、22に、拡張されかつ外側に広がる
上側のリム部41、42及びリム部43、44をそれぞれ形成し
ている。拡張された上側のリム部41〜44は互いに連結さ
れており、キャリヤ16の全周のまわり、すなわち側壁と
端壁の両方に沿って延びるリム部を形成している。周辺
部を延びるリム部41〜44はほぼ一つの平面内に位置して
いる。

側壁19、20と端壁21、22には、拡張されかつ外側に広
がる下側のリム部45、46、47、48もそれぞれ形成されて
いる。下側のリム部45〜48は互いに連結されており、キ
ャリヤ16の全周のまわりに下側リム部を形成している。
これらの下側リム部はほぼ一つの平面内に位置してい
る。

フットパネル30、31の各々にはインデックス用ノッチ
49が形成されている。このノッチは処理機械のインデッ
クス用のリブあるいは媒体と協働して、この処理機械の
中でウェハーキャリヤ16を正確に位置付けする。側壁1
9、20のフットパネル30、31に設けられた二つの下側の
リム部45、46は部分50において上方へ外れており、イン
デックス用ノッチ49の上を通過している。図２に示され
ている部分50の形状は、インデックス用ノッチ49の上を
通過し下側のリム部45、46のほぼ長さ全体にわたって延
びる弓形によって形成されている。

端壁21、22のすべての部分はほぼ均一な高さであり、
側壁19、20と同じ高さであることがわかろう。端壁22は
広い間隔で離間された一対のサポートバー51、52を有し
ている。サポートバー51、52は端壁22と一体に形成され
ており、端壁22の上端22.1及び下端35に近いところへ延
びている。サポートバー51は同じ平面内に位置する外側
端部53を有している。外側端部53は処理機械の平面上に
位置しており、ウェハーキャリヤ及びウェハーをその処
理機械の他の装置に対して正確に位置付けできるように
なっている。端壁22はそれと一体に形成されているイン
デックス用クロスバー54も有している。インデックス用
クロスバーは“Ｈバー”とも称されるものであり、サポ
ートバー51、52と直角に延びている。インデックス用ク
ロスバー54は、処理機械の中でその位置付け用機構と協
働することによってウェハーキャリヤ16を処理機械の中
で正確に位置付けする。図面においてはクロスバー54は
サポートバー51、52まで完全に延びているように描かれ
ているが、サポートバーの間で端壁22の一部にしか延び
ていないようになっていてもよい。

両方の端壁21、22とも側壁19、20の高さと等しい完全
な高さを有していることに特に注目されたい。側壁と同
様に端壁21、22は拡張された上側及び下側のリム部を有
している。これらのリム部はキャリヤ16の全周のまわり
を延びている。特に、端壁22はパネル部55、56を有して
いる。パネル部55、56は、それぞれインデックス用クロ
スバー54から、拡張された上側のリム部44まで上へ延び
ており、インデックス用クロスバー54から、拡張された
下側のリム部48まで下へ延びている。パネル部55、56の
両方とも、端壁22と一体に形成されているサポートバー
51、52の間のスペース全体を満たしている。

上部カバー17及び底部カバー18は、キャリヤの上部及
び下部へ押し当てられてそれぞれ上部開口部23及び底部
開口部36を閉じると、キャリヤに対してほぼハーメチッ
クシールに近いシールを実現する。こうして、ウェハー
Ｗが貯蔵されているキャリヤの開口した内部57に空気や
湿気、汚染粒子が出入りしないようになる。さらに、上
部カバー17と底部カバー18の両方ともがかなり硬い、し
かし弾性的で屈曲性を有するプラスチック材料から形
成、あるいは成形されているために、これら上部カバー
17及び底部カバー18はそこから取り外すときに若干屈曲
する。従って、まず、カバーの一つのコーナをキャリヤ
から持ち上げ、次にカバーの残りをキャリヤから順々に
外すことによってカバーをキャリヤから引き剥す。

上部カバー17は部分円筒形状を有する保持部あるいは
パネル58を有している。パネル58は容器15の中に収容さ
れるウェハーＷの端部の形状とほぼ同じ曲率を有してい
る。容器のある実施の形態においては、ウェハーは約８
インチ（20.3cm）の直径を有し、パネル58の曲率はこう
した寸法のパネルの端部の曲率とほぼ同じである。容器
15は、容器を適当な寸法に製造することによって、６イ
ンチ（15cm）、12インチ（30cm）、あるいはそれ以上の
ウェハーにも適用できる。部分円筒形状を有するパネル
58は凸状の内側表面59を有しており、内側表面59はウェ
ハーキャリヤの開口した内部57に対向している。

上部カバー17はほぼ平坦で平面状の側端部61、62、6
3、64も有している。キャリヤの側壁19、20に隣接する
側端部61、62はカバーに弾性を与えており、キャリヤの
端壁21、22に隣接する端部63、64よりもかなり広くなっ
ている。側端部61〜64はキャリヤの上端19.1、20.1、2
1.1、22.1の上に直接載っており、キャリヤと上部カバ
ーとの間のほぼハーメチックシールに近いシールの維持
に寄与している。

次に図５を参照するとわかるように、上部カバー17の
屈曲に適応するためのクッション部材130は多数のフィ
ン131を有している。各フィンは不連続なウェハー係合
端部104を有している。ウェハー係合端部104は、部分円
筒形状を有する内側表面59に沿って長手方向に延びる弾
性的で屈曲性を有するタブ102の列100からなっている。
図５に示されているように、列100は上部カバー17に沿
って長手方向にまたパネル５の長手方向に延びており、
ウェハーＷの各々の上へウェハー係合端部104で係合し
ている。列100は互いに離間している。中央の列100は上
部カバーの中央に取り付けられている。列100の間隔
は、ウェハーＷの層に適応している。タブ102の列100の
各々は二つの端部106と中央部分108を有している。各列
100はほぼ直線的であり、内側表面59に沿ってパネル58
へ取り付けられている。各列100の外側端部は全体が参
照番号103によって表されており、その形状は隣接する
タブ102のウェハー係合端部104によって形成されてい
る。

図3Aを参照するとわかるように、各フィン131は容器1
5の開口した内部57の中心線134の方へ向けて半径方向に
突き出していて、ウェハーＷ（アウトラインが示されて
いる）と係合している。各フィン131は各ウェハーＷと
係合し、構造的に屈曲してウェハーを支持し、各ウェハ
ーとパネル58の間を離間した状態に維持する（図７及び
図10も参照されたい）。図５のタブ102で示されている
ように、フィン131は弾性的に屈曲できて曲がり（図７
を参照のこと）、あるいはあまり屈曲せずにウェハーＷ
と係合したところでタブの軸Ａに沿って軸方向に圧縮さ
れる（図10を参照のこと）ことを理解されたい。タブ10
2は即座に元の形状を取り戻し、ウェハーＷとの接触を
維持し、上部カバー17の屈曲に適応して、輸送及び貯蔵
のときにウェハーにクッションを与える。

図５を参照するとわかるように、タブ102はほぼ四角
形であり、容器の内部57の中へ延びる方向に幅を有して
いる。各タブ102は列100に沿って延びる方向に長さを有
しており、隣接するタブ102からはスロット105によって
離間されている。列100に沿った各タブ102の長さはスロ
ット105によって限定されており（図４も参照のこ
と）、各タブがウェハー係合端部104の接触部132で一つ
のウェハーと係合できるように設定されている。スロッ
ト105が設けられているために、各タブ102は隣接するタ
ブ102とは独立にウェハーＷと係合することができる。
ウェハー係合端部104はカバー58から離間されており、
容器15の中に収容されているウェハーＷと係合しクッシ
ョンを与える。

続けて図５を参照する。パネル58からウェハー係合端
部104まで測ったタブ102の幅は、列100に沿って順々に
増減する。中央部分108におけるタブ102は、一般に端部
106に設けられたタブ102よりも広い。列の中央部分108
のタブ102は約0.1インチ（0.254cm）の幅である。端部1
06に設けられたタブ102は約0.05インチ（0.127cm）の幅
である。これらの値は列の中央部分108と端部106に沿っ
たタブの相対的な幅の例を示すためのものであり、この
発明の範囲を制限するものではない。

続けて図５を参照する。例の中央部分108に沿って配
置されたタブ102をもっと広くして、上部カバー17が、
容器15の中のウェハーの重量とウェハーＷを押し付ける
タブ102の拘束力で屈曲し曲がるようにすることが可能
である。列の中央部分108に広いタブ102が配置されてい
るために、独立したウェハー係合端部104によって各ウ
ェハーＷとの接触を維持しつつ、上部カバー17が屈曲可
能になる。ある条件のもとでは、タブ102の幅を列100に
沿って中央部分108から各端部106まで非直線的に増大さ
せることが必要かもしれない。

図3Aを参照するとわかるように、容器15の中心線134
に対する各フィン131の外側端部103の形状は、上部カバ
ー17が屈曲するとき各ウェハーＷの接触を維持するため
に非常に重要である。各フィン131は半径150のまわりに
対称に形成されている。各フィン131に沿った外側端部1
03は、容器15の中心線134に対して凸状の弓形を形成し
ている。この弓形は半径距離136によって限定されてい
る。半径距離136は、容器15の中心線134から各フィン13
1のウェハー係合端部104までの距離である。ウェハーは
容器15の中心線に位置合わせされることに留意すべきで
ある。従って、ウェハーの半径は容器15の中心線134と
位置合わせされる。半径距離136は各フィンの中央部分1
08（図５参照）に近接する箇所から、各フィン131の各
端部106（図５参照）に隣接する大きな半径距離136のと
ころまで徐々に増大する。

図５に示されているように、上部カバー17の屈曲に適
応するためのクッション部材130は外側端部103を有して
いる。外側端部103の形状は、列100に沿った隣接するタ
ブ102のウェハー係合端部104によって限定されている。
タブ102は図５に示されているような一般的なフィンに
似たベースを有している。

図5Aを参照するとわかるように、上部カバー17の屈曲
に適応するためのクッション部材130は、容器15の中心
線134に対するパネル58の凸状の弓形を有しており、こ
の凸状の弓形は列100の外側端部103に沿って形成されて
いる。この実施の形態においては、各タブ102はほぼ同
じ幅を有している。タブ102は、図５に示されている一
般的なフィンに似たベースが設けられておらず、それぞ
れがパネル59から延びている。図5A、図5B、図5Cにおけ
る点線はウェハーと係合したときのパネル58の部分を示
している。

図５及び図5Aを参照するとわかるように、各タブ102
は列100に沿った隣接するタブ102とは、スロット105に
よって離間されている。スロット105と、それと隣接す
るタブのウェハー係合端部104は、各列100に沿った不連
続な弓形の外側端部103を形成している。

図3Aを参照する。タブ102からなる複数の列100は内側
表面59に沿って上部カバー17を横切るように配置されて
いる。一つの列100が側壁19、20の間で内側表面59に沿
って中央に配置されている。タブ102の列100は、中央の
列100と、上部カバー17の側端部61、62の間にも配置さ
れている。図６及び図７に示されているように、フィン
131を上部カバー17と一体に成形することによって製造
コストを最小限に抑えている。

図５に示されているように、対応するタブの一組が参
照番号102によって表されている。対応するタブ102の各
組は、特定のウェハーＷと係合しこれにクッションを与
える。列100の各々におけるタブ102の相対的な幅は、様
々に異なる形を有する上部カバー17や、上部カバー17の
様々な屈曲量に適応するために、列によって異なってい
る。パネル58に沿って中央に配置されている列100は、
中央の列100と側端部61、62との間に配置されている列1
00の対応するタブよりも短くなっており、ウェハーＷの
半径や円筒形状の内側表面59の半径における違いに適応
できるようになっている。

図5B及び図5Cを参照する。上部カバー17の屈曲に適応
するためのクッション部材130は、パネル58の内側表面5
9から延びる連続したストリップ138からなる複数のフィ
ン131を有している。連続したストリップ138は、容器15
の中心線134（図3Aを参照のこと）から半径方向距離136
だけ離間したウェハー係合端部104を有しており、上述
したように凸状の弓形を有している。この凸状の弓形
は、ウェハーＷがクッション部材に当接しそれを外側へ
押し付けることによる上部カバー17の屈曲に適応するこ
とができる。図5Bに示されているように、パネル58はフ
ィン131のベースに沿って円筒形状を有している。この
円筒形状は、容器15の中心線134にほぼ平行である（図3
A参照）。フィン131の幅は中央部分108から端部106まで
徐々に減少していて、容器15の中心線134（図3Aを参照
のこと）に対して、外側端部103の凸状の弓形を形成し
ている。

図5Cに示されているように、上部カバー17の屈曲に適
応するためのクッション部材130は、第１の屈曲してい
ない状態においては容器15の中心線134（図3A参照）に
対して凸状の弓形を有するように形成されたパネル58を
有している。図5Cにアウトラインで示したように、容器
15にウェハーＷが装填されて第２の屈曲した状態にある
ときには、パネル58は中心線134（図3A参照）にほぼ平
行である。

図5Dを参照する。上部カバー17の屈曲に適応するため
のクッション部材130は、中心線134（この図面には示さ
れていない）とほぼ平行に形成されたフィン131及びパ
ネル58を有している。この実施の形態においては、上部
カバー17の屈曲には、中央部分108から端部106までフィ
ン131の構造を変えることによって適応している。この
実施の形態においては、フィン131の圧縮性は、フィン1
31の構造あるいは厚みを変えることによって変更するこ
とができる。クッション部材130を上部カバー17の屈曲
に適応させるためにパネル58の厚みも変えている。パネ
ル58の厚みは、各フィン131の中央部分108に隣接すると
ころから、各フィン131のそれぞれの端部106に隣接する
厚みの薄いところまで徐々に小さくなっている。

図10を参照するとわかるように、上部カバー17のフィ
ン131は軸方向に圧縮して、ウェハー係合部132において
ウェハーＷと係合する。

図11に示されているように、フィン131の厚みは、フ
ィン131の中央部分108に沿った厚いところから、フィン
131のそれぞれの端部106に沿った薄いところまで変化し
ている。フィン131の長手方向に沿ったフィン131の圧縮
性は、構造を変形Ｉビームに変更したり材料を段階的に
取り除くことによって変えることができる。フィン131
に沿った圧縮性を変えることによる、上部カバー17の屈
曲に対する構造的な適応は、フィン131が連続したスト
リップ138であるかタブ102の列100であるかに関係なく
おこなうことができる。

図６を参照する。フィン131の断面はテーパ状の形状
を有している。このフィンはパネル58の内側表面59に隣
接するところは厚く、内側表面59から離れると薄くなっ
ている。フィン131は、中心線134（図3A参照）から延び
ている容器15の半径150に沿って内側へ向いている。

図6Aを参照する。フィン131は断面がビード形状140を
有している。ビード形状140は半径150（図3A参照）に沿
って対称になっている。ビード形状140は曲面142として
示されているウェハー係合端部104を有している。

図6Bを参照する。フィン131は、ウェハー係合端部104
に鋭いナイフエッジ144を有している。

図6Cを参照する。ウェハー係合端部104はフィン131の
端部に設けられた平坦な表面146である。表面146は半径
150（図3A参照）に沿って容器15の中の方へ半径方向内
側を向いている。フィン131は半径150（図3A参照）のま
わりに対称であり、平坦な表面146は一般に半径150（図
3A参照）に直角であり、フィン131がウェハーの半径方
向で押しつぶされるのに適応し、ウェハーＷと弾性的に
継合して支持する。

図6Dを参照する。ウェハー係合部材104は、パネル58
の内側表面59から離間した丸い端部142として示されて
いる。フィン131は半径150（図3A参照）のまわりに対称
に形成されている。

上部カバー17はパネル58に形成された多数の変形部あ
るいは積み重ね用オフセット65も有しており、容器を積
み重ねやすくなっている。

上部カバー17は上部カバーの全周にわたって延びる拡
張された上部カバーリム部も有している、さらに詳しく
説明すると、上部カバーは内側へ突き出した拡張された
上部カバーリム部66、67と、拡張された上部カバーリム
部68、69を有している。上部カバーリム部66、67は上部
カバーの側端部61、62に沿って延びている。上部カバー
リム部68、69は端部63、64に沿って延びている。上部カ
バー17をキャリヤ16に取り付けたとき、リム部66〜69は
キャリヤ16のリム部41〜44とほぼハーメチックシールに
近いシール状態で係合し、これを取り囲む。上部カバー
17のリム部66〜69と、キャリヤのリム部41〜44はスナッ
プフィットして、上部カバー17をキャリヤ16の上へ固定
する。相互に係合したカバーのリム部66〜69とキャリヤ
16のリム部41〜44は、上部カバー17をキャリヤ16の上へ
固定するための唯一の手段を提供している。すなわち、
上部カバー17をキャリヤ16の上に保持するために他のラ
ッチ装置は用いられていない。

上部カバー17は一対のタブ70、71も有している。タブ
70、71はリム部67から外側へ延びており、リム部67及び
上部カバーの端部に隣接する側端部62に沿って長手方向
に延びている。タブ70、71はキャリヤ16に設けられた隣
接するタブ38に対して位置がずれている。タブ70、71は
キャリヤ16の上で上部カバー18を閉じる動作を完了する
のに有用である。上部カバーを取り付ける最終段階にお
いてタブ70、71をキャリヤのタブ38の方へ手で絞って、
底部カバーの取り付けの完了を確認し、スナップフィッ
トが完了したことを確認する。上部カバー17は、対称に
配置されたリム部66も有している。

容器16を使用する技術者は上部カバー17を取り付けた
り取り外したりするのに様々な手順を工夫するであろう
が、まず上部カバー17を側壁及び端壁の上端の上へ設置
するとよいことがわかっている。上部カバーの二つのコ
ーナを、人の手のひらか、あるいは手の付け根を用いて
側壁及び端壁のリム部の上へまず押さえつける。次に、
上部カバーのリム部66〜69全体が、隣接するキャリヤの
リム部41〜44の上でスナップフィットを完了するまで、
上部カバーの側端部61、62をキャリヤの側壁のリム部4
1、42の上へ順々に押さえつける。

上部カバー17を取り外すには、隣接するリム部67、69
などのコーナ部分を持ち上げて隣接するキャリヤのリム
部42、44から外し、上部カバーのコーナ部分を上方へ屈
曲させる。上部カバーがキャリヤのすべてのリム部41〜
44から自在になるまで上部カバーを持ち上げることによ
って、リム部を順々に分離する。

キャリヤ16及び上部カバー17を形成する材料は摩耗や
傷に対して高い耐久性を有しており、従って、カバーを
キャリヤから持ち上げたりキャリヤの上に取り付けたり
するときの粒子の発生は最小限に抑えられる。

底部カバー18は側端部72と端部73を有している。側端
部72と端部73はそれぞれキャリヤの下端32、33及び下端
34、35の下に位置し、キャリヤの端壁及び側壁の下端と
係合して、底部カバー18とキャリヤ16との間におけるほ
ぼハーメチックシールに近いシールの実現に寄与する。

底部カバー18は底部円筒状パネル75も有している。部
分円筒状パネル75は、ウェハー収容部分である内部57の
底部を形成する内側表面76を有している。底部カバー18
の内側表面76には、ウェハーを支持しウェハーを底部円
筒状パネル75から離間させるためにクッション部材130
が設けられている。

図3Aを参照する。底部カバー18の屈曲に適応するため
の第２のクッション部材130.1は、底部カバー18の長手
方向に延びる底部フィン148を有している。図10に示さ
れている実施の形態においては、底部カバー18には二つ
の底部フィン148が設けられている。底部フィン148は、
ウェハーが係合したときに外側へ屈曲してウェハーＷを
支持し、ウェハーが回転しないようにする形状を有して
いる（図12参照）。底部カバー18の各底部フィン148は
ウェハー係合端部114を有している。ウェハー係合端部1
14は容器15の中心線134から半径距離136だけ離間してい
る。これとは違って、底部カバー18の各底部フィン148
は上部カバー17のフィン131と同様な形状であってもよ
い。底部カバー18の底部フィン148は上部カバー17のフ
ィン131と同様な形状のウェハー係合端部114を有してい
てもよい。底部フィン148のウェハー係合端部114は、前
述したように平坦な表面146（図12参照）を有していて
もよいし、ナイフエッジ形状（図示しない）でもよい
し、丸い端部142（図3A参照）であってもよい。

続けて図3Aを参照すると、底部カバー18の底部フィン
148は連続したストリップ149でもよいし、図８に示され
ているように弾性的に屈曲可能なタブ117からなる不連
続な列110でもよい。底部カバー18の第２のクッション
部材130.1は、図８においては複数のフィン148として描
かれている。フィン148は、弾性的に屈曲可能なタブ117
の列100を形成する不連続なウェハー係合端部114を有し
ている。底部カバー18のタブ117は上部カバー17のタブ1
02とほぼ同じである。続けて図８を参照すると、底部カ
バー18の各フィン148は二つの端部116と中央部分118を
有している。各フィン148は、上述したように底部カバ
ー18の屈曲に適応するために中心線134（図3A参照）に
対して凸状の弓形を有するウェハー係合端部114を有し
ている。

続けて図3Aを参照する。底部カバー18の屈曲に適応す
るための第２のクッション部材130.1は、前述した上部
カバー17の屈曲に適応するためのクッション部材130と
類似した構造に形成されている。容器15の中心線134か
ら底部カバー18上の底部フィン148のウェハー係合端部1
14までの距離である半径距離136は、中央部分118からそ
れぞれの端部116（図８参照）まで徐々に減少してい
る。この徐々に変化する半径距離136は、底部カバー18
に対する底部フィン148の弓形、あるいは容器15の中心
線134に対する底部円筒状パネル75の弓形によって形成
されている。図5Dに示されている上部カバー17に関して
前述したように、底部カバー18は底部円筒状パネル75を
有している。底部円筒状パネル75の厚みは、各底部フィ
ン148の中央部分118に隣接するところから、底部パネル
18の底部フィン148の各端部116に隣接する底部円筒状パ
ネルの部分まで徐々に減少している。

続けて図3Aを参照する。底部カバー18の屈曲に適応す
るための第２のクッション部材130.1は、フィン131の圧
縮性を中央部分118に隣接する非常に圧縮性の高い設計
から、各端部116に隣接する圧縮性の小さい設計まで変
化させる構造も底部カバー18の底部フィン148上に有し
ている。底部カバー18の底部フィン148は、上部カバー1
7のフィン131と協働して、輸送及び貯蔵を行うときに、
容器15内のウェハーをウェハー係合端部104、114の間に
懸架する。その一方で、すべてのウェハーＷにわたって
均一な保持力を加え、上部カバー17と底部カバー18のど
ちらかか、あるいは両方の曲げあるいは屈曲を可能にし
ている。

図3Aを参照するとわかるように、底部カバー18がキャ
リヤ16に取り付けられるとき、底部カバー18上に設けら
れた各フィン148のウェハー係合端部114は各ウェハーＷ
と係合し、ウェハーを側壁19、20に沿って載置位置から
上へ持ち上げる。ウェハーＷは、底部カバー18の底部フ
ィン148と上部カバー17のフィン131との間に懸架され
る。

図８を参照する。底部カバー18の屈曲に適応するため
の第２のクッション部材130.1は、底部カバー18をキャ
リヤ16へ取り付けるときに底部カバー18の屈曲に抗する
ための補強構造も底部カバー18上に有している。底部円
筒状パネル75の厚みは、各フィン148の中央部分18に隣
接するところから、底部カバー18上の各フィン148の各
端部116に隣接するところまで変化している。これとは
違って、底部カバー18は外側のパネル75上に複数の支持
用リブ112を有していてもよい。支持用リブ112は底部カ
バー18から下方へ、そして容器15から外側へ延びてい
る。各支持用リブ112は底部カバー18上のフィン148と平
行である。このリブ112は底部カバーを補強しており、
ウェハーＷが容器15の中に挿入されてカバーの屈曲に適
応するためのクッション部材130と係合するときの曲げ
あるいは屈曲を小さくする。

図12を参照する。各底部フィン148は底部パネル75か
らほぼ垂直方向に形成されている外側壁面152を有して
いる。また、各底部フィン148は垂直方向の外側壁面152
に対して鋭角の関係に形成された内側壁面154も有して
いる。二つの底部フィン148上の内側壁面154は互いに対
向している。底部フィン148上のウェハー係合端部114
は、外側壁面152と内側壁面154の間を延びており、ウェ
ハーと係合する。底部フィン148のこの構造のために、
ウェハー係合部132が底部フィン148を外側壁面152越し
に外側へ屈曲させることが可能になる。この外側への屈
曲によってウェハーＷがロックされ、容器15内での回転
が防止され、その一方でウェハーＷを底部パネル75から
離間させ、底部カバー18の屈曲に適応している。

底部カバー18は底部カバーの全周まわりを延びるリム
部も有している。さらに詳しく説明すると、底部カバー
は、底部カバーの側端部72に沿って延びていてキャリヤ
の側壁19、20のリム部45、46を取り囲んでいる拡張され
たリム部78、79を有している。底部カバーは、底部カバ
ーの端部73に沿って延びていてキャリヤ16の端壁の拡張
されたリム部47、48を取り囲んでいる拡張されたリム部
80、81も有している。リム部78、79、80、81はほぼ一つ
の平面内に位置しており、ウェハーキャリヤのリム部4
5、46、47、48をスナップフィットでほぼハーメチック
シール状態で取り囲んでいて、ウェハーキャリヤの底部
カバーを保持している。底部カバーのリム部78〜81と、
ウェハーキャリヤのリム部45〜48は、底部カバーをウェ
ハーキャリヤの上に保持するための唯一の部材である。
すなわち、底部カバーをキャリヤの上に保持するのに、
補助的なラッチ装置は必要としない。

キャリヤ16と上部カバー17及び底部カバー18との間の
ほぼハーメチックシールに近いシールによって、容器15
への空気や他のガス、湿気、粒子の出入りが防止され、
また大気圧が変化したときにキャリヤが膨張したり収縮
したすることが防止される。

底部カバー18は一対の細長いタブ82、83も有してい
る。タブ82、83は側端部72の一つに沿って長手方向に延
びており、底部カバーのリム部79に隣接している。タブ
82、83はウェハーキャリヤの下側の側端部の上に設けら
れた隣接するタブ40に対して、位置がずれてはいるがこ
れと隣接している。従って、タブ83、40の両方と同時に
係合して、絞りやすいようになっており、底部カバーを
キャリヤの上へ取り付けるときにスナップフィットの完
了を確かめやすくなっている。通常は、底部カバー18は
底部カバー18を支持テーブルの上へ置いてキャリヤへ取
り付ける。次に、キャリヤ16を底部カバーの上へ置いて
押し、キャリヤ16と底部カバー18をスナップフィットで
一体に固定する。ウェハーがすでにキャリヤの中に入っ
ているときには、ウェハーを底部カバー18によって側壁
19、20のオフセット部26、27から持ち上げる。底部カバ
ー18は、タブ82、83と対向するように側端部72の上に対
称に配置された一対のタブも有している。

底部カバー18をウェハーキャリヤから取り外すとき
に、上部カバーに関連した前述したようにして、底部カ
バーの一つのコーナ部を曲げる。こうして、底部カバー
18をウェハーキャリヤの拡張された下側のリム部45〜48
から徐々に外すことによって、底部カバーを取り外す。
底部カバーのリム部78〜81はウェハーキャリヤのリム部
45〜48と係合してこれを取り囲み、底部カバー18とウェ
ハーキャリヤの間にほぼハーメチックシールに近いシー
ルを形成することによって、空気や湿気、粒子がウェハ
ーキャリヤの内部57に出入りしないようにする。底部カ
バーのリム部78〜81はほぼ一つの平面内に位置している
が、底部カバーの側端部に沿って延びるリム部78、79の
部分78.1、79.1は底部カバーのリム部の残りが形成する
平面から外れ、リム部45、46の部分50の形状と合致して
いる。リム部45、46の部分50は、ウェハーキャリヤ上の
リム部の平面から外れ、ウェハーキャリヤのフットパネ
ル30、31の中のインデックス用ノッチ49の上を通過して
いる。

底部カバー18は外側へ突き出しているリップ部84も有
している。リップ部84は、タブ82、83のところを除いた
底部カバーの周辺部のまわりで外側へ突き出していて、
底部カバーに強度を付加している。同様に、上部カバー
17は外側へ突き出したリップ部85を有している。リップ
部85は、タブ70、71のところを除いた上部カバーの周辺
部のまわりで上部カバーの端部から外側へ突き出してい
て、上部カバーに強度を付加している。

図13を参照する。容器15は、Ｈバー54を有するその端
壁22を処理機械のインターフェースと係合させて使用さ
れる。従って、使用時の上部カバー17は、図１に示され
ているそれと異なる方向を有していてもよい。例えば、
上部カバー17と底部カバー18を図13のように垂直方向に
配置してもよい。この方向においては、ウェハー（図示
しない）は水平方向に配置されており、上部カバー17は
機能的には側部カバー17.1である。

請求の範囲における上部や端部、底部、側部という用
語は、単にこの発明の部材の相対的な位置付けを示すた
めのものであり、これと異なる向きの容器15に対して請
求の範囲を制限するものではない。

この発明は、その精神及び本質から逸脱することな
く、他の形態によっても実現が可能である。従って、上
述した実施の形態は単に説明のためのものであり、発明
を制限することはない。この発明の範囲に関しては、上
述した実施例よりも、添付されている請求の範囲を参照
すべきである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−133533（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−173826（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−119346（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−66943（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−38052（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68

Claims (33)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェハーのための容器であって、 ａ）二つの対向する側壁と、該側壁に隣接する二つの端
   壁と、上部の開口部と、ウェハーを収容する内部ウェハ
   ー収容部分とを有する一体構造のキャリヤを有し、前記
   側壁の各々にはウェハーを互いに離間した状態で軸方向
   に整列させるためのウェハーサポートが設けられてお
   り、 ｂ）前記キャリヤの前記上部の開口部を閉じるために前
   記キャリアと取り外し可能に係合できる上部カバーを有
   し、該上部カバーは周辺部と、該周辺部に前記キャリヤ
   との係合のために設けられた少なくとも二つの対向する
   リム部と、前記リム部と一体でこれらの間に延びる保持
   部と、該保持部から延びる複数のフィンとを有し、前記
   リム部及び前記保持部は弾性的に屈曲可能な材料により
   形成されており、ウェハーを収容した前記キャリヤに前
   記上部カバーを取り付けたときに前記保持部が外側に屈
   曲するようになっており、前記フィンは一対の端部と中
   央部分とを有しており、かつ前記フィンの形状は該フィ
   ンのウェハー係合端部が容器の中心線に対して凸状の弓
   形を形成するように前記端部から中央部分にかけて変化
   していて、前記保持部の外側への屈曲に適合しつつウェ
   ハーの各々に対する保持力をバランスさせる、 容器。
2. 【請求項２】前記フィンが、前記上部カバーの内側に設
   けられており、該フィンの前記上部カバーから離間した
   部位にウェハー係合端部が設けられている請求項１記載
   の容器。
3. 【請求項３】前記フィンがタブの列からなっており、こ
   れらのタブの各々がウェハー係合端部を有している請求
   項１記載の容器。
4. 【請求項４】前記フィンが圧縮性を有し、前記中央部分
   側が前記端部の各々に隣接する側よりも大きな圧縮性を
   有している請求項１記載の容器。
5. 【請求項５】前記フィンの厚みが、該フィンの前記中央
   部分に隣接する部位における大きな厚みから、前記端部
   の各々に隣接する部位における小さな厚みまで徐々に変
   化する請求項２記載の容器。
6. 【請求項６】当該容器が中心線を有し、前記フィンが当
   該容器の中心線を通る面に沿って延びている請求項１記
   載の容器。
7. 【請求項７】前記タブの列の前記ウェハー係合端部の凸
   状の弓形が、前記ウェハー係合端部と前記保持部との間
   の距離によって規定される幅によって限定されるもので
   あり、この幅は前記中央部分において前記端部の各々に
   おけるよりも大きくなっている請求項３の容器。
8. 【請求項８】前記フィンは平坦なウェハー係合端部を有
   し、キャリヤの中のウェハーが係合したときに前記フィ
   ンがほぼ屈曲せずに圧縮する請求項１記載の容器。
9. 【請求項９】前記ウェハーがほぼ丸く、容器内の半径が
   当該容器の中心線から延びていて前記フィンの各々と交
   わっており、各フィンが半径のまわりに対称に形成され
   ていて、前記ほぼ丸いウェハーと、半径方向にほぼ屈曲
   することなく圧縮することによって係合する請求項６記
   載の容器。
10. 【請求項１０】前記キャリヤは開口底部を有し、また当
    該容器は前記開口底部を閉じるための底部カバーを有
    し、該底部カバーには該底部カバーと前記上部カバーと
    間でウェハーを係合して懸架するための複数のフィンが
    設けられている請求項１記載の容器。
11. 【請求項１１】前記底部カバーが前記フィンを互いに離
    間された一対で有し、各フィンは前記底部カバーの底壁
    に沿って長手方向に延びており、また前記フィンは各々
    ほぼ垂直方向の外側壁面と、該外側壁面に対して鋭角の
    関係に形成された内側壁面と、これら外側壁面と内側壁
    面との間に設けられたウェハー係合端部とを有してお
    り、ウェハーが係合したときに前記底部カバーの前記フ
    ィンが互いから離れるように外側へ屈曲して、ウェハー
    を支持し、ウェハーを前記底壁から離間させる請求項10
    記載の容器。
12. 【請求項１２】各フィンが外側端部を有し、この外側端
    部と前記上部カバーとの間の距離が前記フィンの幅を限
    定し、前記フィンは中央部分と２つの端部とを有し、前
    記幅が前記中央部分から前記端部まで徐々に減少してい
    る請求項３記載の容器。
13. 【請求項１３】前記フィンの前記幅が、前記中央部分か
    ら前記端部まで非直線的に減少する請求項12記載の容
    器。
14. 【請求項１４】前記側壁の間の前記上部カバーの中央に
    中央フィンが配置されている請求項２記載の容器。
15. 【請求項１５】ウェハーを貯蔵し輸送するための装置で
    あって、 ａ）内部空間を形成する二つの側壁及び二つの端壁と、
    取り外し可能な上部カバーと、底部カバーを有し、前記
    上部カバーが、前記内部空間へアクセスできるようにし
    ているキャリヤを有し、該キャリヤが、側壁を横切る方
    向に向いたウェハーを互いに離間し対向した状態で保持
    するために各側壁の上に設けられたウェハー分離用リブ
    を有し、前記上部カバーが端壁及び側壁へシールを保っ
    た状態で取り付けられ、前記底部カバーが側壁及び端壁
    へシール状態で取り付けられており、前記内部空間がシ
    ールされて、装置の外側の環境の汚染から保護されてお
    り、 ｂ）弾性的に圧縮する材料から形成され、前記上部カバ
    ーに設けられた複数のフィンを有し、各フィンが前記上
    部カバーの内側を長手方向に延びており、前記フィンが
    互いに離間されており、また各フィンが中央部分と二つ
    の端部とウェハー係合端部を有し、ウェハー係合端部が
    前記上部カバーから離間されており、各フィンのウェハ
    ー係合端部が容器の中心線から半径方向に離間されてお
    り、この半径方向の距離が各フィンの中央部分から各フ
    ィンの端部まで徐々に増加して、各フィンのウェハー係
    合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形に配置されて
    おり、ウェハーが前記キャリヤの中に係合されてクッシ
    ョンが与えられ、前記フィンが圧縮することによって、
    前記上部カバーの屈曲に適応しつつウェハーの各々に対
    する保持力をバランスさせる、 装置。
16. 【請求項１６】前記徐々に変化している半径方向距離
    が、容器の中心線に対する前記上部カバーの凸状の弓形
    によってできている請求項15記載の装置。
17. 【請求項１７】前記上部カバーからウェハー係合端部ま
    でで限定されるフィンの幅がフィンの中央部分から各端
    部まで徐々に減少しており、ウェハー係合端部が容器の
    中心線に対して凸状の弓形を有している請求項15記載の
    装置、
18. 【請求項１８】各フィンが圧縮性のタブからなる列と、
    各タブの上に設けられたウェハー係合端部とを有し、各
    タブがスロットによって隣接するタブから離間されてお
    り、前記ウェハー係合端部が前記フィンに沿って不連続
    である請求項15記載の装置。
19. 【請求項１９】前記キャリヤが開口底部を有し、前記底
    部カバーはこの開口底部を閉じるものであり、前記底部
    カバーはウェハーを支持するための複数のフィンを有し
    て、前記キャリヤにウェハーを入れたときにウェハーが
    前記上部カバーと前記上部カバーとの間に懸架される請
    求項15記載の装置。
20. 【請求項２０】各フィンが前記キャリヤの前記内部空間
    へ内側に向いており、前記上部カバーを前記キャリヤに
    取り付けたとき、前記キャリヤの中心線と平行に延びる
    請求項19記載の装置。
21. 【請求項２１】前記上部カバーが弾性的に屈曲する材料
    から形成されており、前記上部カバーの外側表面に積み
    重ね用構造が設けられている請求項15記載の装置。
22. 【請求項２２】前記上部カバーが厚みを有する弾性的に
    屈曲可能な材料から形成されており、前記上部カバーの
    厚みが各フィンの中央部分に隣接するところから、各フ
    ィンの端部まで徐々に減少して、前記上部カバーが屈曲
    に対して対抗性を有し、前記上部カバーの厚みの変化に
    よって前記キャリヤの中心線からの半径方向距離が徐々
    に変化するようになっている請求項15記載の装置。
23. 【請求項２３】前記底部カバーの各フィンのウェハー係
    合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形を有し、この
    凸状の弓形が、前記キャリヤの中心線と前記ウェハー係
    合端部との間の半径方向距離によってできており、前記
    底部カバーの各フィンが中央部分と二つの端部とを有
    し、前記中心線からの半径方向距離が各フィンの中央部
    分からその端部まで徐々に増加している請求項19記載の
    装置。
24. 【請求項２４】前記底部カバーの各フィンが前記底部カ
    バーの上でほぼ垂直方向を向いており、ウェハーと係合
    したとき前記底部カバーのフィンが外側へ屈曲してウェ
    ハーを固定し、容器の中でウェハーが回転しないように
    している請求項23記載の装置。
25. 【請求項２５】ウェハーを貯蔵し輸送するための容器で
    あって、 ａ）二つの端壁と、これらの端壁へ互いに離間した状態
    で取り付られている二つの側壁と、前記側壁及び前記端
    壁にシールを保った状態で取り付けられていて内部ウェ
    ハー収容部分を形成する底壁とを有する一体構造のキャ
    リヤを有し、 ｂ）取り外し可能な上部カバーを有し、該上部カバーは
    非装填状態の前記キャリヤに設置されたときの第１の非
    屈曲状態と、装填状態の前記キャリヤに設置されたとき
    の第２の屈曲状態とを有し、また前記上部カバーが、内
    部ウェハー収容部分の中に延びる複数列のウェハー係合
    部材を有し、各ウェハー係合部材列が各端壁に隣接する
    端部と、この端部の間の中央部分とを有し、前記上部カ
    バーが前記ウェハー係合部材列の中央部分に隣接すると
    ころで大きく屈曲し、端部に隣接したところで小さく屈
    曲するようになっており、 ｃ）各ウェハー係合部材列は前記上部カバーが第１の非
    屈曲状態では弓形を形成し、前記上部カバーが第２の屈
    曲状態ではほぼまっすぐな形状を形成する、 容器。
26. 【請求項２６】前記上部カバーは内面を有するパネルを
    備えており、前記ウェハー係合部材列の弓形が、前記パ
    ネルの形状によってつくられており、前記ウェハー係合
    部材の係合端部が前記上部カバーの前記パネル内面から
    ある幅だけ離間されており、この幅が前記係合部材列の
    各々の中央部分と端部に隣接するところでほぼ同じであ
    る請求項25記載の容器。
27. 【請求項２７】前記底壁が内面を有する取り外し可能な
    底部カバーであり、一対の列のウェハー係合部材が前記
    底部カバーの上を長手方向に延びており、その各列は前
    記底部カバーの内面から離間された係合端部を有し、こ
    の係合端部は前記底部カバーが第１の非屈曲状態におい
    て弓形を形成しており、第２の屈曲状態のときにほぼま
    っすぐな形状を形成する請求項25記載の容器。
28. 【請求項２８】前記上部カバーが内面を有しており、前
    記上部カバーの前記ウェハー係合部材列の係合端部の前
    記弓形が、前記係合端部を前記上部カバーの前記内面か
    らある幅だけ離間させることによって形成されており、
    前記幅が前記ウェハー係合部材列の中央部分から端部ま
    で徐々に減少している請求項25記載の容器。
29. 【請求項２９】前記上部カバーの上に積み重ね用構造が
    設けられており、前記上部カバーが第１の非屈曲状態と
    第２の屈曲状態にあるときに前記積み重ね用構造が容器
    に対して固定された位置を維持し、前記積み重ね用構造
    が側壁及び端壁の交差部分に隣接している請求項25記載
    の容器。
30. 【請求項３０】前記積み重ね用構造が前記上部カバーの
    上に形成された多数の積み重ね用オフセットを有し、こ
    の積み重ね用オフセットがほぼ平坦な表面を有し、各積
    み重ね用オフセットの平坦な表面が他の積み重ね用オフ
    セットの他の平坦な表面と同じ平面内にある請求項29記
    載の容器。
31. 【請求項３１】当該容器の底部に、前記積み重ね用オフ
    セットと係合するための多数の側端部が設けられてい
    て、多数の容器を積み重ねるようになっており、積み重
    ねられた容器の重量が容器の内部収容部分を形成する前
    記側壁及び端壁によって支えられる請求項29記載の容
    器。
32. 【請求項３２】前記ウェハー係合部材が複数のタブの列
    を有する請求項25記載の容器。
33. 【請求項３３】各タブが圧縮性を有しており、その圧縮
    性がタブの列に沿って変化し、容器の端部に近接するタ
    ブの圧縮性が列の中間部分側のタブの圧縮性より大きく
    なっている請求項32記載の容器。