JPH10321713A - 半導体ウェハ包装容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】スムーズに開閉することができ、収容されてい
る半導体ウェハを破損したり汚染することがない包装容
器を提供する。 【解決手段】第１分割容器11の周壁部11a 端縁には、左
右開閉方向に直交する平面部が形成されており、同平面
部内には上下方向に長い挿脱孔11f が形成されている。
更に端縁中央からは左右開閉方向に矩形状の突片11g が
延設され、突片11g の先端近傍には複数の係着孔11h が
上下方向に並んで形成されている。底板側の第２分割容
器12は周壁部の端縁中央から左右開閉方向に、第１分割
容器11の挿脱孔11f に挿脱可能な突出部12e が延設され
ている。更に、第２分割容器12の周壁部には、第１分割
容器11の係着孔11h に対応する部位に、係着孔11h に係
着する複数の係着突起12f が突設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハを破
損、汚染させることなく保管し、安全に輸送するための
半導体ウェハ包装容器に関し、特に同容器をスムーズに
開閉することができ、収容されている半導体ウェハを開
閉時に破損させたり汚染させたりすることがない半導体
ウェハの包装容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハの包装容器は、通常、複数
の半導体ウェハを収容するウェハキャリア、ウェハキャ
リアを収納保持する容器本体、蓋体、ウェハリテーナ等
から構成されている。そして、前記ウェハキャリア及び
容器本体の一般的な材質としては、ポリプロピレンが使
われており、蓋体はポリプロピレン又はポリカーボネー
トから構成されている。また、前記ウェハリテーナには
ポリエチレン又は熱可塑性エラストマー等が使われる。

【０００３】前記半導体ウェハはシリコン等の単結晶を
薄くスライスして製造されるものであり、脆性が高い上
に汚染による物性への影響が大きいため、包装時はもと
より輸送中や以降の各種処理工程において、その破損や
汚染を防止するために最大限の努力が払われなければな
らない。従って、前記半導体ウェハ包装容器は、外部か
らの衝撃によるウェハの破損を防ぐばかりでなく、容器
内におけるウェハリテーナとの摩擦などで発生するパー
ティクルによる汚染、或いは容器の内外圧力差や変形に
よる外気の侵入による汚染を避ける必要があり、そのた
めには容器収容時のウェハの固定性を確保すると共にウ
ェハリテーナ等との接触摩擦を避けること、更には容器
本体及び蓋体からなる容器の強靱性、耐衝撃性及び気密
性を確保すること等が厳しく要求される。

【０００４】従来は、半導体ウェハの最大径がせいぜい
８インチであったがため、ウェハキャリアへのウェハ収
容や同キャリアからのウェハ取出しを専ら人手に頼って
いたが、ウェハ径の大型化に伴う様々な課題が発生し、
それらの課題に対する検討がなされてきている。具体的
には、１２インチ（３００ｍｍ）の最大径をもつ半導体
ウェハの実用化が決まっており、その大型化に向けてウ
ェハの製造元、輸送関連分野、デバイスメーカなど半導
体ウェハを取扱う多様な分野において、それぞれのウェ
ハ取扱い仕様等の標準化がなされている。

【０００５】前述のウェハ包装容器にあっても当然に標
準化が検討され、既に、その基本的な部分での国際的な
標準化がＳＥＭＩ(Semiconductor Equipment and Mater
ialInternational)規格により決定された。その規格化
の基本理念は半導体ウェハの大型化に伴う多様な処理工
程における全自動化に適切に対応することにある。すな
わち、従来は人手に頼っていた部分、例えばデバイスメ
ーカにおける洗浄、プリント、切断等の多様な工程内の
処理も標準化されており、各工程における半導体ウェハ
の取扱いをロボットに全て任せて完全な自動化を図ろう
とすることから、ウェハ包装容器にあっても前記自動化
に適合させる必要に迫られる。因みに、デバイスメーカ
に搬入された半導体ウェハは、デバイスの各種処理工程
において全て水平姿勢で取り扱われることが基本となっ
ている。

【０００６】従来、半導体ウェハ用として開発された包
装容器を大別すると縦置タイプと横置タイプの２タイプ
に分けられる。すなわち、縦置タイプのウェハ包装容器
は、ウェハキャリアに収容された半導体ウェハを垂直に
立てて支持収納し、その姿勢を維持した状態で容器本体
を載置台等に載置するに適した収納構造を有するタイプ
であり、横置タイプのウェハ包装容器は、ウェハキャリ
アに収容された半導体ウェハを水平に支持し、その姿勢
を維持した状態で容器本体を載置台等に載置するに適し
た収納構造を有するタイプである。ここで、前記ウェハ
キャリアの仕様は上記ＳＥＭＩ規格により標準化され、
その基本構造は共通化されている。

【０００７】図７は従来の縦置タイプの半導体ウェハ包
装容器の分解斜視図を示し、符号１は容器本体、２は蓋
体、３は前記容器本体１と蓋体２の内部に収納されるウ
ェハキャリア、４は蓋体２の裏面中央部に取り付けられ
るウェハリテーナ、５は前記容器本体の開口側周縁に取
り付けられ、蓋体２により容器本体１の開口が閉塞され
たとき密閉シールするガスケット、６は蓋体２と一体に
成形され、蓋体２を被せたとき容器本体１に係着するク
ランプである。この縦置タイプの包装容器の構造は、ウ
ェハキャリア３の円弧状内周壁に並列して形成されてい
る支持溝内に複数枚の半導体ウェハを収容支持させ、こ
の状態で容器本体１の内部に収納し、蓋体２を被せてク
ランプ６により容器本体を閉塞する。蓋体２の裏面中央
部には前記支持溝と同一形態をもつ複数の支持溝が形成
されたウェハリテーナ４が取り付けられており、蓋体２
を被せクランプ６を係着させて容器本体を閉塞すると
き、ウェハキャリア３の支持溝内に収容支持された複数
枚の半導体ウェハの対向する各周縁を前記ウェハリテー
ナ４の各支持溝に収容すると同時に押圧して、容器内に
おける半導体ウェハをガタツキのないように、しっかり
と支持する。

【０００８】この縦置タイプの半導体ウェハ包装容器を
開放するときには、容器本体１と蓋体２を係着している
クランプ６を外して蓋体２を取り外す。このとき縦置タ
イプの半導体ウェハ包装容器は、通常、前記蓋体２と半
導体ウェハとの間に介在されているウェハリテーナ４の
反力により、クランプ６を外すと同時に前記蓋体２が浮
き上がり、その蓋体２を持ち上げて容器本体を開放する
ことができる。一方、容器本体を閉塞するときには、前
記蓋体２を前記リテーナ４の反力に抗して容器本体１を
強く押し下げて、前記クランプ６を容器本体１及び蓋体
２に係着させる。

【０００９】上記縦置タイプの半導体ウェハ包装容器
は、既述したとおり輸送時には半導体ウェハを垂直に立
てた状態で支持輸送でき有利であるが、容器本体１の内
部からウェハキャリア３を取り出すには、垂直姿勢を保
持させたまま容器本体１の直上に向けてウェハキャリア
３を移動させる必要がある。更に、容器本体１から垂直
上方に取り出されたウェハキャリア３は、その場で垂直
姿勢から水平姿勢へと姿勢を変換してから、同キャリア
３に収容した半導体ウェハをロボットにより一枚ずつ水
平方向に取り出すことになる。

【００１０】一方、図８は、本件出願と同一の出願人に
より先に特願平９−３６２２５号として提案された横置
タイプの代表的な形態を有する半導体ウェハ包装容器の
斜視図を示す。この包装容器では容器本体７が第１分割
容器８と第２分割容器９とから構成され、横置したとき
の天板部８ａの全体と底板部９ａの全体をそれぞれ第１
及び第２分割容器８，９に振り分け、周壁部８ｂ，９ｂ
をその周面に沿って同図に符号Ａで示すように第１及び
第２の各分割容器８，９として上下に分割している。

【００１１】この横置タイプの半導体ウェハ包装容器は
半導体ウェハを水平に収容支持し、更に、同容器の第１
及び第２分割容器８，９は互いに水平方向に移動して開
閉されるものである。そのため、容器本体７に対するウ
ェハキャリアの脱着に際して、例えば容器本体７を半導
体ウェハが水平姿勢で支持される横置姿勢の状態で天板
部側の第１分割容器８を底板部側の第２分割容器９に対
して離間方向に水平移動させたのち、前記ウェハキャリ
アを僅かに水平方向に移動させるだけで、同一姿勢のま
ま垂直上方に移動が可能となる。従って、かかる包装容
器を大型半導体ウェハの運搬に使用した場合にも、以降
の処理工程のための水平姿勢に改めて変換させる必要が
なく、姿勢変換の工程をなくすことができると共に、半
導体ウェハの損傷や汚染のおそれも少なくなる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
ウェハは上述したように外気の侵入による汚染を回避す
るため極めて高い気密性が要求され、更には容器収納時
のウェハの固定性を確保するために、縦置タイプの包装
容器にあっては容器本体１と蓋体２とがガスケットを介
してその開口が互いに密嵌するように構成している。そ
のため、上述した従来の半導体ウェハ包装容器は容器本
体を開放するために前記蓋体２を持ち上げた際に、容器
本体１やウェハキャリア３等までもが前記蓋体２と一緒
に持ち上げられてしまい、容器本体をスムーズに開放す
ることができない。更には持ち上げられた本体部分１が
落下して収容されている半導体ウェハに衝撃を与えるこ
ともある。また、容器本体１が前記蓋体２と一緒に持ち
上がらないまでも、前記蓋体２を上方に真っ直ぐ持ち上
げることができず、傾斜して持ち上げられることとな
り、同蓋体２の裏面に取り付けられたウェハリテーナ４
が半導体ウェハに接触してしまい、半導体ウェハが損傷
するといった不都合も生じる。

【００１３】更に、縦置タイプの半導体ウェハ包装容器
ではウェハリテーナ４の反力を大きくし、クランプ６を
外した時点で蓋体２を容器本体１から完全に離脱させる
ようにして、容器本体１が一緒に持ち上げられるの防ぐ
こともできる。しかしながら、前記反力を大きくした場
合には、容器本体１を閉塞する際に、前記蓋体２を容器
本体１に対して強く押し付けなくてはならず、また、容
器本体１から蓋体２を取り外すため前記クランプ６を開
放する際に、前記反力のため同クランプ６の係着力が大
きくなり過ぎ、作業者の手に過大な負担がかかることに
なる。更に、前記反力により蓋体２を浮き上がらせよう
としても、その蓋体２の持ち上がる方向が規定されない
ため、蓋体２が斜めに浮き上がってしまい、同蓋体２の
内面に取り付けられたウェハリテーナ４により半導体ウ
ェハを損傷する懸念もある。

【００１４】一方、横置タイプの包装容器にあっても第
１分割容器８と第２分割容器９とを開放するためには、
天板側の第１分割容器８を底板側の第２分割容器９に対
して水平に離間させるべく引っ張る。このとき、第１及
び第２分割容器８，９の開口はガスケットを介して互い
に密嵌されており、更に引っ張り方向は重力方向に直交
する水平方向であるため、テーブルとの間の摩擦抵抗が
低い場合には残された底板の第２分割容器９が天板側の
第１分割容器８に引きずられて移動してしまう懸念があ
る。

【００１５】本発明はかかる課題を解決すべくなされた
ものであり、その具体的な目的は半導体ウェハ包装容器
の一方を引きずることなくスムーズに開閉することがで
き、しかもその開閉時に内部に収容されている半導体ウ
ェハを破損させたり汚染させることがない半導体ウェハ
の包装容器を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明の主
要な構成である係着手段により互いに係着して閉塞され
る２つの閉塞部材を有し、略円形をなす複数の半導体ウ
ェハを並列して収容支持する合成樹脂製の半導体ウェハ
包装容器であって、前記閉塞部材の一方には同閉塞部材
の開閉方向に延設された突出部が一体に形成され、他方
の閉塞部材には前記突出部が挿脱される挿脱開口部が形
成されてなることを特徴とする半導体ウェハ包装容器に
より達成される。

【００１７】前記挿通孔は開閉方向に直交する平面内に
形成されていることが好ましく、更には、前記他方の閉
塞部材の前記挿脱開口部を含む平面に連続して、前記一
方の閉塞部材に設けられた前記突出部の延設寸法以上の
寸法位置に前記平面と平行な略平面からなる段部が形成
されていることが好ましい。

【００１８】更に、前記係着手段は、前記突出部を有す
る前記一方の閉塞部材に同突出部と直交する方向に突設
された係着突起と、他方の閉塞部材の前記係着突起に対
応する部位に突出し係着孔を有する突片とからなること
が好ましく、或いは、前記係着手段は前記閉塞部材とは
別体のクランプであってもよい。

【００１９】好ましくは、２つの前記閉塞部材は蓋体及
び容器本体であり、前記半導体ウェハは縦置状態で収容
されている。この半導体ウェハ包装容器は、例えば前記
半導体ウェハがウェハキャリアにより垂直方向に並列し
て支持された状態で内部に収容されており、前記蓋体の
内面にはウェハリテーナが取り付けられている。前記容
器本体に前記半導体ウェハを支持したウェハキャリアを
収容して、同容器本体の開口を前記蓋体で閉塞する。こ
のとき、前記蓋体の挿脱開口部に前記容器本体の突出部
を挿通し、前記蓋体を前記容器本体に向けて押しつけ
る。このとき、前記蓋体は前記挿脱開口部と突出部とに
より前記容器本体に向けて方向が規制されながら案内さ
れ、蓋体が徒に傾斜することがないため、同蓋体の内面
に取り付けられたウェハリテーナで半導体ウェハを損傷
させることがない。

【００２０】更に、前記蓋体を前記容器本体に向けてウ
ェハリテーナの反力に抗して押し付けるが、このとき、
前記蓋体の段部を手の平で押圧しながら同蓋体の前記突
片を前記容器本体の周壁部に向けて押しつけて、同突片
の係着孔に前記容器本体の係着突起を係着させ、前記蓋
体で前記容器本体の開口を閉塞する。前記段部は前記容
器本体の突出部の延設寸法以上の寸法位置に形成されて
いるため、同段部を手の平で押し下げる際に前記突出部
が手に当たることはなく、閉塞操作の邪魔になることは
ない。なお、この閉塞作業の観点から、前記段部の幅は
手の平を載せることができるよう、約２ｃｍ以上である
ことが望ましく、更に、前記突片の先端から前記段部ま
での距離は、同段部に手の平を載せ指先が前記突片の先
端にかかるような長さであることが望ましい。

【００２１】閉塞状態にある前記半導体ウェハ様相容器
では、容器本体と蓋体とが、上下開閉方向の突出部及び
挿脱開口部の係着と、前記開閉方向に勅許鵜する方向の
係着突起及び係着孔との、２方向の係着により閉塞され
ているため、容器本体と蓋体とのガタツキが紡糸され
る。

【００２２】一方、前記蓋体を前記容器本体から取り外
す際には、先ず前記係着手段を解除する。このとき前記
蓋体は前記ウェハリテーナの反力により僅かに浮き上が
るが、その浮き上がり方向は前記容器本体の突出部と前
記蓋体の挿脱開口部とにより直上方向に規制されるた
め、蓋体が斜めに持ち上がって内部に収容されている半
導体ウェハに接触し損傷させるおそれがない。更に、前
記蓋体を取り外す際には、同蓋体の挿脱開口部に挿通し
ている前記容器本体の突出部の頂部を作業者の指で押し
下げながら、前記蓋体を持ち上げればよく、それにより
前記容器本体が前記蓋体につられて持ち上がるのを防ぐ
ことができると共に、密嵌している前記蓋体と前記容器
本体とを容易に離反させることができる。

【００２３】更に、２つの前記閉塞部材は、前記半導体
ウェハを横置したときの天板部及び底板部のそれぞれを
第１及び第２分割天板部と第１及び第２分割底板部に分
割し、その対角線上で対向する前記第１分割天板部及び
第２分割底板部がそれぞれ隣り合う前記第２分割天板部
及び第１分割底板部よりも全体の１／２を超える大きな
面積を有し、上下に対向する第１分割天板部及び第１分
割底板部と第２分割天板部及び第２分割底板部とが左右
に分割された第１及び第２分割周壁部により連結されて
なる第１分割容器及び第２分割容器とすることもでき
る。

【００２４】この横置タイプの半導体ウェハ包装容器で
は、例えば前記半導体ウェハをウェハキャリアにより水
平方向に並べて支持させている。同ウェハキャリアを前
記包装容器に収容するには、先ず同ウェハキャリアを前
記第２分割容器の内壁に形成されたキャリア保持部に係
着固定し、その後、前記第１分割容器と前記第２分割容
器とを前記係着部材により係着して閉塞する。このと
き、前記第１分割容器に形成された挿脱開口部に、第２
分割容器の突出部を挿通するため、前記第１分割容器と
第２分割容器とは互いに向けて水平に案内されて近接
し、両者が傾斜することがなく、これら分割容器が半導
体ウェハに接触することはない。

【００２５】一方、前記横置タイプの半導体ウェハ包装
容器を開放する場合には、前記係着部材を外した後、第
１分割容器を水平方向に引っ張って第２分割容器から取
り外す。このように横置タイプの包装容器では重力の作
用する垂直方向ではなく、水平方向に引っ張られるた
め、残される第２分割容器は縦置タイプの包装容器以上
に相手方の第１分割容器に引きずられやすい。しかしな
がら、本発明では第１分割容器を外す際に、前記第２分
割容器の突出部の頂部を指で押さえながら前記第１分割
容器を水平方向に引き離すことができるため、前記第２
分割容器が第１分割容器に引きずられて移動することは
なく、第１分割容器を円滑に取り外すことができる。ま
た、本発明は前記第１分割容器の移動方向も前記突出部
と挿脱開口部とにより水平方向に規制されるため、第１
及び第２分割容器が互いに傾斜して半導体ウェハに接触
することはなく、また作業者が誤って半導体ウェハに触
れることもないため、半導体ウェハの損傷や汚染を防止
できる。

【００２６】更に、横置タイプの半導体包装容器は、上
述のように第１分割容器を取り外せば、前記ウェハキャ
リアを同一姿勢のまま垂直上方に移動が可能となり、以
降の処理工程のための水平姿勢に改めて変換させる必要
がない。そのため、姿勢変換に伴う半導体ウェハの汚染
や損傷の危険が回避され、また姿勢変換の工程も削除で
き、作業効率も向上する。

【００２７】少なくとも前記第２分割底板部が全底板部
から構成されてなることが好ましく、天板部は第１及び
第２分割容器の両者に振り分けられていてもよい。前記
第２分割底板部が全底板部から構成されており、第１分
割容器には底板部がない場合には、同第１分割容器に載
置面との間で全く摩擦抵抗は生じないため、第１分割容
器の取り外しがより容易になる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図示実施例に基づいて具体的に説明する。図１は本
発明の第１実施例による半導体ウェハ包装容器の外観斜
視図であり、図２及び図３は同包装容器の閉塞部材を２
分割したときのそれぞれの斜視図である。なお、本実施
例の包装容器は横置タイプであり、ウェハキャリア、ウ
ェハリテーナ及びガスケットは上述した従来の横置タイ
プの半導体ウェハ包装容器と同様であるため、その詳細
な説明は省略し、本発明の特徴部である閉塞部材を中心
に説明する。

【００２９】図１〜図３において半導体ウェハ包装容器
１０は略円盤形状をなしている。同包装容器１０の周壁
部は相対する一部の部位が矩形状に膨出し、この膨出し
た部位で周壁部が縦に切断され、２つの左右周壁部１１
ａ，１２ａに分割されている。左周壁部１１ａは天板部
１１ｂに、右周壁部１２ａは底板部１２ｂにそれぞれ連
結されて、左右方向に開閉する２つの閉塞部材をなす第
１分割容器１１と第２分割容器１２とを構成している。
更に第１及び第２分割容器１１，１２はそれぞれ周壁部
１１ａ，１２ａの内面にウェハリテーナ１１ｃ，１２ｃ
が形成されている。

【００３０】底板側の第２分割容器１２は、第１分割容
器１１との突き合わせ開口周縁に凹溝１２ｄが形成され
ており、同凹溝１２ｄには図示せぬ環状のガスケットが
嵌着されている。一方、天板側の前記第１分割容器１１
には、開口周縁の外側部分に同開口の端縁から前記凹溝
１２ｄの深さと略同一寸法の位置にリブ１１ｄが形成さ
れており、第１分割容器１１の開口周縁を前記第２分割
容器１２の凹溝１２ｄに嵌入したとき、同第１分割容器
１１の前記リブ１１ｄが前記第２分割容器１２の開口周
縁に当接する。

【００３１】更に、天板側の前記第１分割容器１１の膨
出した周壁部１１ａ端縁には、第１及び第２分割容器１
１，１２の左右開閉方向に直交する平面部１１ｅが形成
されており、同平面部１１ｅ内には上下方向に長い挿脱
孔１１ｆが形成されている。更に前記周壁部１１ａ端縁
の中央からは左右開閉方向に矩形状の突片１１ｇが延設
され、同突片１１ｇの先端近傍には複数の係着孔１１ｈ
が上下方向に並んで形成されている。

【００３２】底板側の第２分割容器１２は膨出した周壁
部１２ａの端縁中央から同容器１２の左右開閉方向に、
前記第１分割容器１１の挿脱孔１１ｆに挿脱可能な突出
部１２ｅが延設されている。更に、第２分割容器の周壁
部１２ａには、前記第１分割容器１１の突片１１ｇに形
成された係着孔１１ｈに対応する部位に、前記係着孔１
１ｈに係着可能な複数の係着突起１２ｆが突設されてい
る。

【００３３】これら第１分割容器１１と第２分割容器１
２とに半導体ウェハを収容して半導体ウェハ包装容器１
０を閉塞するには、先ず、底板側の第２分割容器１２に
半導体ウェハを並列支持したウェハキャリアを収容し、
その後、天板側の第１分割容器１１を前記第２分割容器
１２に向けて、同第２分割容器１２の突出部１２ｅを第
１分割容器１１の挿脱孔１１ｆに貫挿させながら、水平
にスライドさせる。第２分割容器１２の凹溝１２ｄ内に
第２分割容器１２の開口周縁を嵌合させた後、第１分割
容器１１の突片１１ｇを第２分割容器１２の周壁部１２
ａに向けて押しつけ、同突片１１ｇの係着孔１１ｈに第
２分割容器１２の前記係着突起１２ｆを係着させて、第
１及び第２分割容器１１，１２を閉塞する。

【００３４】本件発明では、第１分割容器１１を第２分
割容器に向けてスライドさせる際に、前記第２分割容器
１２の突出部１２ｅを第１分割容器１１の挿脱孔１１ｆ
に貫挿させる。そのため、第２分割容器１２に対する第
１分割容器１１のスライド方向は、前記挿脱孔１１ｆと
突出部１２ｅとにより上下方向のずれが規制され、第１
分割容器１１が傾斜して内部の半導体ウェハに接触する
ことはない。

【００３５】更に、閉塞状態にある前記半導体ウェハ包
装容器１０では、第１分割容器１１と第２分割容器１２
とが、左右開閉方向の突出部１２ｅ及び挿脱孔１１ｆの
係止と、前記開閉方向に直交する方向の係着突起１２ｆ
及び係着孔１１ｈの係着との、２方向の係着により閉塞
されているため、第１分割容器１１と第２分割容器１２
とのガタつきが防止される。

【００３６】上記半導体ウェハ包装容器１０を開放する
には、先ず、第１分割容器１１の突片１１ｇを外側へ開
き、第２分割容器１２の係着突起１２ｆを前記突片１１
ｇの係着孔１１ｈから外す。その後、前記第２分割容器
１２の突出部１２ｅの頂部を手のひら又は指で押さえな
がら、前記第１分割容器１１の突片１１ｇ先端に手をか
けて同第１分割容器１１を水平方向に移動させ、前記第
２分割容器１２から引き離す。このように、半導体ウェ
ハ包装容器１０の開放に際して、左右開閉方向に延設さ
れた突出部１２ｅを上述のように利用でき、更には、天
板側の第１分割容器１１には底板部分がなく、同容器１
０の載置面との間に摩擦抵抗が生じることがないため、
第１分割容器１１を引っ張ったときに同第１分割容器１
１により第２分割容器１２が引きずられて移動すること
はなく、第１分割容器１１を円滑に取り外すことができ
る。また、前記第１分割容器１１の移動方向が第２分割
容器１２の前記突出部１２ｅと第１分割容器１１の挿脱
孔１１ｆとにより上下方向のずれが規制されるため、第
１及び第２分割容器１１，１２が互いに傾斜して、そら
ら容器１１，１２の内部に形成されたウェハリテーナ１
１ｃ，１２ｃが異常な姿勢で半導体ウェハに接触し、こ
すれることはなく、また作業者が誤って半導体ウェハに
触れることもないため、半導体ウェハの損傷や汚染を防
止できる。

【００３７】更に、横置タイプの半導体包装容器１０
は、上述のように第１分割容器１１を取り外せば、ウェ
ハキャリアを同一姿勢のまま上方に移動が可能となり、
以降の処理工程のための水平姿勢に改めて変換させる必
要がない。そのため、姿勢変換に伴う半導体ウェハの汚
染や損傷の危険が回避され、また姿勢変換の工程も削除
でき、作業効率も向上する。

【００３８】図４は本発明の第２実施例による縦置タイ
プの半導体包装容器２０の斜視図であり、図５は同包装
容器２０の閉塞部材の断面図、図６は同包装容器の側面
図である。前記半導体包装容器２０の閉塞部材は下側容
器２１と上蓋２２とからなり、前記下側容器２１には半
導体ウェハＷを縦方向に並列状態で支持するウェハキャ
リア２３が収容される。同下側容器２１の開口上縁には
凹溝２１ａが形成されており、同凹溝２１ａ内には図示
せぬガスケットが嵌入されている。一方、前記下側容器
２１を上方から閉塞する上蓋２２は、その開口縁が前記
下側容器２１の開口上縁に形成された凹溝２１ａを覆う
ようにして同開口上縁に当接する水平部２２ａが形成さ
れている。更に前記下側容器２１及び上蓋２２の内面に
は別部材からなるウェハリテーナ２４が固着されてい
る。

【００３９】前記下側容器２１の左右壁部２１ｂ，２１
ｂの上縁中央からは本包装容器２０の開閉方向上方に突
出部２１ｃが突設されている。更に、前記左右壁部２１
ｂ，２１ｂの前記突出部２１ｃの下方からは、開閉方向
と直交する水平方向に係着突起２１ｄが突設されてい
る。

【００４０】一方、上蓋２２の水平部２２ａの前記突出
部２１ｃに対応する部位には、同突出部２１ｃが挿脱可
能な挿脱孔２２ｂが形成されている。更に、前記水平部
２２ａの端縁中央からは開閉方向下方に向けて突片２２
ｃが延設され、同突片２２ｃには前記下側容器２１の係
着突起２１ｄに対応する部位に係着孔２２ｄが形成され
ている。また、同上蓋２２は前記水平部２２ａに連続し
て、前記下側容器２１の突出部２１ｃの突出高さよりも
上方に、前記水平部２２ａと平行な略平面からなる段部
２２ｅが形成されている。同段部２２ｅは上蓋２２を閉
塞する際に作業者が手の平を載せる部位であるため、同
段部２２ｅの幅寸法は少なくとも２ｃｍは必要となる。
また容器開閉作業の際に作業者は前記段部２２ｅに手の
平を載せた状態で同突片２２ｃの先端に指をかけるた
め、前記突片２２ｃの延設寸法は５〜８ｃｍ程度である
ことが望ましい。但し、この延設寸法は例示にすぎず、
適宜変更が可能である。

【００４１】前記上蓋２２で前記下側容器２１を閉塞す
るには、同下側容器２１の突出部２１ｃを前記上蓋２２
の挿脱孔２２ｂに挿通させて、前記突片２２ｃを指で外
側に開きながら前記上蓋２２の段部２２ｅを手の平で押
し下げる。その後、前記上蓋２２の水平部２２ａが前記
下側容器２１の開口上縁に当接した後、突片２２ｃを下
側容器２１の左右壁部２１ｂに向けて押しつけ、同突片
２２ｃの係着孔２２ｄに前記下側容器２１の係着突起２
１ｄを係着させて、下側容器２１と上蓋２２とを閉塞す
る。

【００４２】本件発明では、下側容器２１に上蓋２２を
被せる際に、同下側容器２１の突出部２１ｃを上蓋２２
の挿脱孔２２ｂに貫挿させる。そのため、上蓋２２の押
し下げの方向が、前記挿脱孔２２ｂと突出部２１ｃとに
より水平方向のずれが規制され、上蓋２２が傾斜して同
蓋体２２の内側に取り付けられたウェハリテーナ２４が
内部の半導体ウェハＷに異常な姿勢で接触することはな
い。

【００４３】更に、閉塞状態にある前記半導体ウェハ包
装容器２０では、下側容器２１と上蓋２２とが、突出部
２１ｃ及び挿脱孔２２ｂによる上下の開閉方向の係着
と、前記係着突起２１ｄ及び係着孔２２ｄによる水平方
向の係着との、２方向の係着により閉塞されているた
め、下側容器２１と上蓋２２とのガタつきが抑制され
る。

【００４４】また、上蓋２２を押し下げる際に、上述の
ように突出部２１ｃの突出高さよりも上方に形成されて
いる段部２２ｅを利用し、同段部２２ｅを手の平で押し
下げることができるため、閉塞作業を行いやすく、また
前記突出部２１ｃが邪魔になることもない。

【００４５】上記半導体ウェハ包装容器２０を開放する
には、先ず、上蓋２２の突片２２ｃを外側へ開き、下側
容器２１の係着突起２１ｄを前記突片２２ｃの係着孔２
２ｄから外す。その後、前記下側容器２１の突出部２１
ｃの頂部を指で押さえながら、前記上蓋２２の突片２２
ｃ先端に手をかけて同上蓋２２を上方へと持ち上げ、前
記下側容器２１から引き離す。このように、半導体ウェ
ハ包装容器２０は開放に際して、上下開閉方向に延設さ
れた突出部２１ｃを上述のように利用することで、上蓋
２２を持ち上げたときに同上蓋２２により下側容器２１
も一緒に持ち上げられてしまうことがなく、上蓋２２を
円滑に取り外すことができる。また、前記上蓋２２の持
ち上げ方向が前記下側容器２１の突出部２１ｃと上蓋２
２の挿脱孔２２ｂとにより水平方向のずれが規制される
ため、上蓋２２が傾斜してその内面に取り付けられたウ
ェハリテーナ２４が内部の半導体ウェハＷに異常な姿勢
で接触したり、同リテーナ２４により半導体ウェハＷを
こすったりすることはなく、また作業者が誤って半導体
ウェハＷに触れることもないため、半導体ウェハＷの損
傷や汚染が防止される。

【００４６】また、縦置タイプの半導体ウェハ包装容器
２０では上蓋２２の内面にウェハリテーナ２４が取り付
けるられているため、下側容器２１の係着突起２１ｄを
上蓋２２の係着孔２２ｄから外したときに、上蓋２２が
前記ウェハリテーナ２４の反力により浮き上がる。この
ときも、上蓋２２の浮き上がり方向が前記突出部２１ｃ
と挿脱孔２２ｂとにより上下方向に規制され、水平方向
にずれることがないため、上蓋２２が斜めに浮き上がっ
て同上蓋２２の内面に取り付けられたウェハリテーナ２
４により半導体ウェハＷを損傷するおそれもなくなる。

【００４７】なお、本発明の突出部として例えば図７に
示すように一対の突出部３０を使用することもできる。
その場合には、相手方の突片３１の左右端部から、同突
出部３０を挿脱させるための挿脱スリット３１ａ，３１
ａを形成する。更に、上述の第１及び第２実施例ではい
ずれも、２つの閉塞部材を係着するための係着手段を同
閉塞部材と一体に形成しているが、閉塞部材とは別体の
例えばクランプ等を係着手段として使用することもでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例である横置タイプの半導体
ウェハ包装容器の外観斜視図である。

【図２】上記包装容器の２分割された閉塞部材の一方の
斜視図である。

【図３】他方の閉塞部材の斜視図である。

【図４】本発明の第２実施例である縦置タイプの半導体
ウェハ包装容器の斜視図である。

【図５】上記半導体ウェハ包装容器の閉塞部材の断面図
である。

【図６】上記包装容器の側面図である。

【図７】本発明の突出部及び挿脱開口部の変形例の拡大
斜視図である。

【図８】従来の横置タイプのウェハ包装容器の一例を示
す分解斜視図である。

【図９】従来の横置タイプのウェハ包装容器の一例を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１ 容器本体 ２ 蓋体 ３ ウェハキャリア ３ａ ウェハ挿脱開口 ３ｂ ウェハ収容底部 ４ ウェハリテーナ ５ ガスケット ６ クランプ ７ 容器本体 ８ 第１分割容器 ８ａ 天板部 ８ｂ 周壁部 ９ 第２分割容器 ９ａ 底板部 ９ｂ 周壁部 １０ 半導体ウェハ包装容器 １１ 第１分割容器 １１ａ 左周壁部 １１ｂ 天板部 １１ｃ ウェハリテーナ １１ｄ リブ １１ｅ 平面部 １１ｆ 挿脱孔 １１ｇ 突片 １１ｈ 係着孔 １２ 第２分割容器 １２ａ 右周壁部 １２ｂ 底板部 １２ｃ ウェハリテーナ １２ｄ 凹溝 １２ｅ 突出部 １２ｆ 係着突起 ２０ 半導体包装容器 ２１ 下側容器 ２１ａ 凹溝 ２１ｂ 左右壁部 ２１ｃ 突出部 ２１ｄ 係着突起 ２２ 上蓋 ２２ａ 水平部 ２２ｂ 挿脱孔 ２２ｃ 突片 ２２ｄ 係着孔 ２２ｅ 段部 ２３ ウェハキャリア ２４ ウェハリテーナ ３０ 突出部 ３１ 突片 ３１ａ 挿脱スリット Ｗ 半導体ウェハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福原 聡 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内 (72)発明者 安部川 利治 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 係着手段により互いに係着して閉塞され
   る２つの閉塞部材を有し、略円形をなす複数の半導体ウ
   ェハを並列して収容支持する合成樹脂製の半導体ウェハ
   包装容器であって、 前記閉塞部材の一方には同閉塞部材の開閉方向に延設さ
   れた突出部が一体に形成され、他方の閉塞部材には前記
   突出部が挿脱される挿脱開口部が形成されてなることを
   特徴とする半導体ウェハ包装容器。
2. 【請求項２】 前記挿脱開口部は開閉方向に直交する平
   面内に形成されてなる請求項１記載の半導体ウェハ包装
   容器。
3. 【請求項３】 前記他方の閉塞部材の前記挿脱開口部を
   含む平面に連続して、前記一方の閉塞部材に設けられた
   前記突出部の延設寸法以上の寸法位置に前記平面と平行
   な略平面からなる段部が形成されてなる請求項２記載の
   半導体ウェハ包装容器。
4. 【請求項４】 前記係着手段は、前記突出部を有する前
   記一方の閉塞部材に同突出部と直交する方向に突設され
   た係着突起と、他方の閉塞部材の前記係着突起に対応す
   る部位に突出し係着孔を有する突片とからなる請求項１
   〜３のいずれかに記載の半導体ウェハ包装容器。
5. 【請求項５】 前記係着手段は前記閉塞部材とは別体の
   クランプである請求項１〜３のいずれかに記載の半導体
   ウェハ包装容器。
6. 【請求項６】 ２つの前記閉塞部材は蓋体及び容器本体
   であり、前記半導体ウェハは縦置状態で収容されてなる
   請求項１〜５のいずれかに記載の半導体ウェハ包装容
   器。
7. 【請求項７】 ２つの前記閉塞部材は、前記半導体ウェ
   ハを横置したときの天板部及び底板部のそれぞれを第１
   及び第２分割天板部と第１及び第２分割底板部に分割
   し、その対角線上で対向する前記第１分割天板部及び第
   ２分割底板部がそれぞれ隣り合う前記第２分割天板部及
   び第１分割底板部よりも全体の１／２を超える大きな面
   積を有し、上下に対向する第１分割天板部及び第１分割
   底板部と第２分割天板部及び第２分割底板部とが左右に
   分割された第１及び第２分割周壁部により連結されてな
   る第１分割容器及び第２分割容器からなる請求項１〜５
   のいずれかに記載の半導体ウェハ包装容器。
8. 【請求項８】 少なくとも前記第２分割底板部が全底板
   部から構成されてなる請求項７記載の半導体ウェハ包装
   容器。