JP4965380B2 - 処理治具用の収納ケース - Google Patents
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Description
容器本体の底板の内面前端部に、リングフレーム出し入れ用の凹部を切り欠き、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
蓋体を断面皿形に形成して弾性を付与し、この蓋体の内面中央部に、リングフレームの前部を位置決め挟持する線条の突部を上下方向に複数配列形成するとともに、蓋体の内面両側部には、リングフレームの前部両側に圧接する膨出部をそれぞれ一体形成し、蓋体の周縁部には、容器本体の前部外周面に係止する係止部を形成したことを特徴としている。
すると、容器本体10の挿入溝21にリングフレーム2が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片20にリングフレーム2の両側部が下方から略水平に支持され、ストッパ22の傾斜面23にリングフレーム2が案内されて接触・停止し、これらにより、容器本体10内にリングフレーム2が適切に位置決め収納されることとなる。
2 リングフレーム
10 容器本体
14 側壁
20 支持片
21 挿入溝
22 ストッパ
23 傾斜面
24 突起
24A 突起
25 傾斜面
30 蓋体
31 突部
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 前後部がそれぞれ開口した箱形の容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを水平に支持する一対の支持片と、容器本体の開口した前部を着脱自在に開閉する蓋体とを備えた処理治具用の収納ケースであって、
容器本体の底板の内面前端部に、リングフレーム出し入れ用の凹部を切り欠き、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
蓋体を断面皿形に形成して弾性を付与し、この蓋体の内面中央部に、リングフレームの前部を位置決め挟持する線条の突部を上下方向に複数配列形成するとともに、蓋体の内面両側部には、リングフレームの前部両側に圧接する膨出部をそれぞれ一体形成し、蓋体の周縁部には、容器本体の前部外周面に係止する係止部を形成したことを特徴とする処理治具用の収納ケース。 - 支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成した請求項1記載の処理治具用の収納ケース。
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- 2007-08-09 JP JP2007207404A patent/JP4965380B2/ja active Active
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