JP3538204B2 - 薄板支持容器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【技術分野】

この発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラ
ス基板等の薄板を収納、保管、輸送する薄板支持容器に
関するものである。

【背景技術】

従来の簡易着脱型蓋付き容器として、例えば実公平６
−13114号公報記載の「密閉容器の係止構造」が知られ
ている。 この密閉容器51は、図２から図４に示すように、容器
本体52と、この容器本体52の上部開口を塞ぐ蓋体53とか
ら概略構成されている。蓋体53の対向する２つの側壁に
は、下方へ垂下して形成された係止片54が設けられてい
る。この係止片54には、その中央に設けられた操作口55
と、この操作口55の両側に設けられた係止孔56とを有し
ている。容器本体52には、係止片54の係止孔56に嵌合す
る係止具57が設けられている。この係止具57には、係止
片54が摺接して外方へ押し広げられる傾斜面57Aが設け
られている。 前記構成において、蓋体53を容器本体52に取り付けて
上方から押下すると、係止片54が傾斜面57Aに摺接して
押し広げられ、各係止具57が各係止孔56に嵌合する。こ
れにより、蓋体53が容器本体52に装着され、互いに固定
される。 蓋体53を容器本体52から取り外すときは、各係止片54
を曲げる。即ち、２つの係止片54の各操作口55を作業者
が手で持って互いに引き離す方向（図４中の右方向）に
各係止片54を曲げ、係止片54の係止孔56を係止具57から
外して、蓋体53を容器本体52から取り外す。 また、容器本体52内には、その内側に収納された複数
枚の半導体ウエハを一定間隔をおいて支持する薄板支持
部（図示せず）が、容器本体52の内側面に一体的に設け
られたり、別体のウエハキャリアがが収納されたりす
る。

【発明の開示】 【発明が解決しようとする課題】

ところで、蓋体53を容器本体52から取り外すときは、
前述のように、２つの係止片54を互いに引き離す方向に
曲げて、係止片54の係止孔56を係止具57から外さなけれ
ばならない。 ところが、２つの係止片54を互いに引き離す方向に曲
げた状態で、蓋体53を上方に持ち上げる動作において
は、係止片54を引き離す動作と、蓋体53を持ち上げる動
作とを同時に行わなければならず、作業性が悪い。 また、係る動作の複雑さから、搬送装置による自動化
も困難であった。 さらに、密閉容器は使用後に洗浄する必要があるが、
薄板支持部が容器本体52に一体的に設けられている場
合、密閉容器の洗浄は必ずしも容易ではなかった。即
ち、薄板支持部は、薄板が入り込む細い溝が多数ある上
に、密閉容器の内部にあるため、この細い溝の奥まで確
実に洗浄するのは容易ではなかった。これは、ウエハキ
ャリアの場合も同様である。 本発明は以上の問題点に鑑みなされたもので、蓋体の
取り付け及び取り外し作業を容易にすると共に洗浄作業
を容易にした薄板支持容器を提供することを目的とす
る。

【課題を解決するための手段】

第１の発明に係る薄板支持容器は、内部に薄板を複数
枚収納する容器本体と、この容器本体内の対向する側壁
にそれぞれ設けられ、内部に収納された薄板を両側から
支持する薄板支持部とを備えてなる薄板支持容器におい
て、前記薄板支持部が、前記容器本体側の下部支持用突
起に着脱自在に嵌合して当該薄板支持部の下部を支持す
る下部支持穴部と、前記容器本体側の上部支持用突起に
着脱自在に嵌合して当該薄板支持部の上部を支持する上
部支持穴部とを備えて、容器本体に対して着脱自在に設
けられたことを特徴とする。 前記構成により、容器本体に着脱自在に設けられた薄
板支持部を取り外すことにより、薄板支持部及び容器本
体を、容易にかつ細部に至るまで十分に洗浄することが
できる。 また、薄板支持部として、薄板を支持する枚数や配列
間隔、対向する２つの薄板支持部の間隔等を適宜変更し
た複数種類の薄板支持部を準備しておき、薄板の大き
さ、収納枚数等に合わせて薄板支持部を選択し、使用す
る。これにより、各種の使用態様に容易にかつ迅速に対
応することができる。 第２の発明に係る薄板支持容器は、前記薄板支持部
が、並列に一定間隔をおいて多数枚配設され、各薄板を
１枚ずつ隔てて支持する歯板部と、各歯板部を並列に一
定間隔をおいて配設された状態で少なくとも最奥側と入
口側を一体的に支持する支持板部と、最奥側の支持板部
の前記薄板への当接面に形成され、前記容器本体を縦置
きにしたときに薄板を最奥部で各歯板部間の中央に案内
して支持するＶ字型溝とを備えて構成されたことを特徴
とする。 前記構成により、薄板は、薄板支持部の各歯板部の間
に挿入される。薄板支持容器を横置きにしてその開口を
横に向けたときには、薄板は各歯板部に載置して支持さ
れる。薄板支持容器を縦置きにしたときには、薄板は主
に最奥側の支持板部に載置して支持される。このとき、
薄板が載置される支持板部にはＶ字型溝が設けられてい
るため、薄板はＶ字型溝の斜面に案内されて溝底部に落
ち込み、最奥部において各歯板部間の中央で支持され
る。薄板の上部は、各歯板部の上部で支持される。これ
により、薄板同士の干渉を防止できる。 第３の発明に係る薄板支持容器は、前記薄板が円形状
に形成されると共に、前記歯板部が円形状の薄板の周縁
に沿って円弧状に湾曲して形成され、薄板の周縁に沿っ
て互いに僅かに重なり合うことを特徴とする。 前記構成により、円形状の薄板が各薄板支持部の各歯
板部の間に挿入されると、歯板部は円形状の薄板の周縁
に沿って互いに僅かに重なり合う状態で薄板を支持す
る。これにより、歯板部と薄板との重なる面積が小さく
なり、薄板の表面に対する悪影響を解消できる。例え
ば、各歯板部を構成する合成樹脂は微量のガスを発生す
るが、歯板部と薄板との重なる面積が小さいため、発生
したガスが薄板の表面に接触する機会が減少する。これ
により、前記ガスが薄板の表面に及ぼす悪影響を最小限
に抑えている。 また、各歯板部同士が重なる面積も減少するため、そ
れに応じて各歯板部の表面に付着する塵埃等が減少する
と共に、各歯板部の洗浄が容易になる。 第４の発明に係る薄板支持容器は、前記薄板支持部
が、高い寸法精度に仕上げられる成形性に優れた合成樹
脂によって構成されたことを特徴とする。 前記構成により、高い寸法精度の薄板支持部によって
薄板を確実に支持すると共に、隣り合う薄板相互の干渉
を防止する。薄板支持部を構成する合成樹脂としては、
高純度のPBT（ポリブチレンテレフタレート）やPEEK
（ポリエーテルエーテルケトン）やPBN（ポリブチレン
ナフタレート）等が用いられる。 第５の発明に係る薄板支持容器は、前記容器本体に、
搬送装置の腕部によって把持されるトップフランジと、
持ち運び用ハンドルとをそれぞれ着脱自在に取り付けた
ことを特徴とする。 前記構成により、薄板支持容器の使用時にはトップフ
ランジと持ち運び用ハンドルを取り付けて、搬送装置で
の自動搬送に供したり、作業者が薄板支持容器を持ち運
ぶときに使用したりする。薄板支持容器の搬送時には、
トップフランジと持ち運び用ハンドルを取り外して、薄
板支持容器をコンパクトに梱包する。 第６の発明に係る薄板支持容器は、前記ハンドルを容
器本体の縦方向と横方向の中間位置の方向に傾斜させて
取り付けたことを特徴とする。 前記構成により、作業者がハンドルを手で持って、薄
板支持容器を縦置きから横置きに、または横置きから縦
置きに置き換えるときに、極端に手首を回す必要が無く
なり、作業性が向上する。 第７の発明に係る薄板支持容器は、前記容器本体又は
蓋体に、内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外
部気圧と一致させると共に塵埃等の通過を制限するフィ
ルタを着脱自在に取り付けたことを特徴とする。 前記構成により、例えば飛行機を使った搬送等により
薄板支持容器の搬送時に気圧が大きく変化した場合、前
記フィルタによって薄板支持容器の内外側間で空気の出
し入れが許容されて常に同じ気圧に維持される。即ち、
薄板支持容器内への塵埃等の浸入を防止して内部の清浄
状態を保ったまま、容器内圧を最適状態に調整する。こ
れにより、蓋体が外れにくくなるのを防止する。 また、フィルタは着脱自在に取り付けられているた
め、薄板支持容器の洗浄時にはフィルタを取り外して、
効率的に洗浄作業を行うことができる。

【発明の効果】

以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれ
ば、次のような効果を奏する。 （１） 蓋体に簡易着脱機構を設けたので、極めて容易
に蓋体を容器本体に対して着脱することができるように
なる。しかも、この蓋体の着脱は、手動、自動を問わ
ず、容易になる。 （２） 容器本体に足部を、蓋体に足部受け部を設けた
ので、複数の薄板支持容器１を安定して積層することが
できる。 （３） 薄板支持部を容器本体に着脱自在に設けたの
で、この薄板支持部を取り外すことにより、容器本体及
び薄板支持部を、容易にかつ細部に至るまで十分に洗浄
することができる。また、薄板支持部として、薄板を支
持する枚数や配列間隔、対向する２つの薄板支持部の間
隔等を適宜変更した複数種類の薄板支持部を準備してお
くこと、薄板の大きさ、収納枚数等に合わせて、各種の
使用態様に容易にかつ迅速に対応することができる。 （４） 薄板支持部の支持板部にＶ字型溝を設けたの
で、半導体ウエハが各歯板部の間の中央で支持され、薄
板同士の干渉を確実に防止することができる。 （５） 歯板部を薄板に合わせて円弧状に形成したの
で、歯板部と薄板とが互いに僅かに重なる面積が小さく
なり、薄板の表面に対する悪影響を解消することができ
る。 （６） 薄板支持部の寸法精度を高く維持できるので、
薄板を確実に支持すると共に、搬送時等において、隣り
合う薄板相互の干渉を防止することができる。 （７） トップフランジと持ち運び用ハンドルとを着脱
自在に設けたので、薄板支持容器の搬送時にこれらを取
り外すことで、嵩張らずに小さく梱包することができ、
搬送作業の効率化を図ることができる。 （８） 持ち運び用ハンドルを容器本体の縦方向と横方
向の中間位置の方向に傾斜させて取り付けたので、作業
者がこの持ち運び用ハンドルを手で持って、薄板支持容
器を縦置きから横置きに、また横置きから縦置きに置き
換えるときに、極端に手首を回す必要が無くなり、作業
者に負担をかけずに、作業がしやすくなる。 （９） 薄板支持容器にフィルタを設けたので、薄板支
持容器の搬送時に気圧が大きく変化しても、フィルタに
よって薄板支持容器の内圧を最適状態に調整することが
できる。この結果、蓋体が外れにくくなるのを防止す
る。 （10） フィルタは着脱自在に取り付けられているた
め、薄板支持容器の洗浄時にはフィルタを取り外して、
効率的に洗浄作業を行うことができる。 産業上の利用可能性 以上のように、本発明に係る薄板支持容器１は、塵埃
等の発生を絶対的に抑制する必要のある半導体ウエア
や、ハードメモリーディスク（磁気ディスク）や、コン
パクトディスク（CD）の基体等を搬送するキャリアに用
いて有用である。また、これらの製造行程での移送用の
キャリアに用いて有用である。

【発明を実施するための最良の形態】

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明す
る。本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディ
スク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送する
容器に用いて好適な容器である。本実施形態では、半導
体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。 本実施形態に係る薄板支持容器１は、図１及び図５か
ら図12に示すように、内部に半導体ウエハ（図示せず）
を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対
向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された半導
体ウエハを両側から支持する２つの薄板支持部３と、容
器本体２の開口2Fを塞ぐ蓋体４と、搬送装置（図示せ
ず）の腕部で把持されるトップフランジ５と、作業者が
手で薄板支持容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハ
ンドル６と、薄板支持容器１の内圧を調整するフィルタ
７（図34参照）とから構成されている。 容器本体２は、図１、図５及び図６に示すように、全
体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は
縦置き状態（図1,5,6の状態）で、周囲の壁となる４枚
の側壁部2A,2B,2C,2Dと底板部2E（図10参照）とから構
成され、その上部に開口2Fが設けられている。各側壁部
2A,2B,2C,2Dには、補強用の縦溝９が多数設けられてい
る。この容器本体２は、半導体ウエハの製造ライン等に
おいてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据
え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状
態で底部となる側壁部2Aの外側には、薄板支持容器１の
位置決め手段11（図７参照）が設けられている。横置き
状態で天井部となる側壁部2Bの外側にはトップフランジ
５が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁
部となる側壁部2C,2Dの外側には持ち運び用ハンドル６
が着脱自在に取り付けられている。 側壁部2Aは図７に示すように構成されている。この側
壁部2Aには、その全面に位置決め手段11が設けられてい
る。この位置決め手段11は主に３本の嵌合溝12によって
構成されている。各嵌合溝12は、容器本体２の縦方向に
整合する第１嵌合溝12Aと、容器本体２の縦方向に対し
て同じ角度（ほぼ60度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌
合溝12B,12Cとから構成されている。これら３本の嵌合
溝12は規格に合わせて精密な寸法精度で仕上げされてい
る。この位置決め手段11の各嵌合溝12A,12B,12Cが載置
台側の嵌合突起（図示せず）に嵌合することによって、
薄板支持容器１が正確な位置に設置されて、ウエハ搬送
用ロボットで半導体ウエハが出し入れされるようになっ
ている。 側壁部2Bは図８に示すように構成されている。この側
壁部2Bの中央部には、トップフランジ５を着脱自在に取
り付けるためのフランジ取付板14が設けられている。こ
のフランジ取付板14はフランジ嵌合溝15に設けられてい
る。フランジ嵌合溝15は、側壁部2Bのうち、両側に位置
する２本の縦溝９の中間位置に、底部から上端近傍まで
窪ませて形成されている。フランジ取付板14は、このフ
ランジ嵌合溝15の上部において、その両側縁部から内側
に延びた２枚の板材によって構成されている。この２枚
のフランジ取付け板14はトップフランジ５が図８中の下
側から挿入されて取り付けられるようになっている。 側壁部2C,2Dは図９に示すように構成されている。な
お、側壁部2C,2Dは対称であるため、図９には側壁部2D
のみを示している。この側壁部2Dには、持ち運び用ハン
ドル６を着脱自在に取り付けるためのハンドル取付板16
が設けられている。このハンドル取付板16は、側壁部2D
に設けられた４枚の板材16A,16B,16C,16Dによって構成
されている。板材16Aは、側壁部2Dに設けられた３本の
縦溝９のうち、図中の左側の縦溝９の右側縁部から内側
（左側）に延ばして形成されている。この板材16Aは最
も下部に位置している。板材16B,16Cは、中央の縦溝９
の両側縁部から内側に延ばして形成されている。２つの
板材16B,16Cのうち、左側の板材16Bは右側の板材16Cよ
りも下部に位置している。板材16Dは、右側の縦溝９の
左側縁部から内側に延ばして形成されている。この板材
16Dは、他の板材16A,16B,16Cのうち最も上部に位置して
設けられている。これにより、４つの板材16A,16B,16C,
16Dは、45度の角度で右上方向に配列されている。持ち
運び用ハンドル６は各板材16A,16B,16C,16Dに、容器本
体２に対して45度傾斜した状態で、着脱自在に取り付け
られるようになっている。 側壁部2Cにも前記構成と対称の構成を有するハンドル
取付板が設けられている。 底板部2Eには、図10及び図11に示すように、足部18が
設けられている。この足部18は、底板部2Eの四隅近傍の
４カ所を下方に四角形状に突出させて形成されている。
容器本体２を縦置きにしたときに、この４カ所の足部18
によって容器本体２が安定して支持されるようになって
いる。 容器本体２の側壁部2C,2Dの内側には、着脱自在に取
り付けられる薄板支持部３を支持する支持台21が設けら
れている。この支持台21は、下側台部21Aと上側台部21B
とから構成されている。下側台部21Aは、側壁部2C,2Dを
３カ所の位置で底板部2Eから台座状に隆起させて形成さ
れている。上側台部21Bは、側壁部2C,2Dを３カ所の位置
で下側台部21Aから台座状に立ち上げて形成されてい
る。各薄板支持部３は、下側台部21Aの３カ所の載置面2
2A及び上側台部21Bの３カ所の載置面22Bにそれぞれ載置
されるようになっている。さらに、３カ所の下側台部21
Aの各載置面22Aには下部支持用突起23がそれぞれ１つず
つ設けられている。この下部支持用突起23は、薄板支持
部３の後述する下部支持穴部39に嵌合して薄板支持部３
の下部を支持するものである。 各側壁部2C,2Dの３カ所の上側台部21Bの各載置面22B
には上部支持用突起24が設けられている。この上部支持
用突起24は、両側の上側台部21Bに１つずつ、中央の上
側台部21Bに２つそれぞれ設けられている。この上部支
持用突起24は、薄板支持部３の後述する上部支持穴部40
に嵌合して薄板薄板支持部３の上部を支持するものであ
る。さらに、中央の上側台部21Bには、２つの上部支持
用突起24の中間位置に係止爪25が設けられている。この
係止爪25は、上部支持穴部40に係止して抜け落ちを防止
している。即ち、２つの上部支持用突起24に上部支持穴
部40を嵌合させた状態で、係止爪25がこの上部支持穴部
40の上端部に係止してこの上部支持穴部40を固定し、抜
け落ちを防止するようになっている。 これにより、各薄板支持部３は、合計７つの支持用突
起23,24と係止爪25とで支持台21に確実に支持されてい
る。 容器本体２の上端部には、蓋体４が嵌合するための蓋
体受け段部27が設けられている。この蓋体受け段部27は
容器本体２の上端部を、蓋体４の寸法まで広げて形成さ
れている。これにより、蓋体４は、蓋体受け段部27の垂
直板部27Aの内側に嵌合し、水平板部27Bに当接すること
で、蓋体受け段部27に取り付けられるようになってい
る。さらに、水平板部27Bには、その全周に環状溝27Cが
設けられ、蓋体４の下側面に取り付けられたガスケット
（図示せず）が嵌合して薄板支持容器１の内部を密封す
るようになっている。垂直板部27Aの内側面には、後述
する簡易着脱機構31の蓋体係止爪32が嵌合し蓋体４を容
器本体２側に固定する被嵌合部28が設けられている。こ
の被嵌合部28は、垂直板部27Aを四角形状に窪ませて形
成され、その内側上端部に蓋体係止爪32が嵌合するよう
になっている。 蓋体４は、図１及び図12に示すように構成されてい
る。なお、図12は、後述する簡易着脱機構31を設けない
状態の容器本体２を示す平面図である。 蓋体４は、その周縁部全域に立ち上げ壁4Aを備えて、
上方に開口した皿状に形成されている。蓋体４の中央部
は、内部に収納される半導体ウエアの上部に接触しない
ように、円筒状に盛り上げて形成されている。さらに、
蓋体４の上側面には、容器本体２の底部に設けられた足
部18が嵌合する足部受け部30がそれぞれ４カ所に設けら
れている。 さらに、蓋体４の四隅には、図13から図５に示すよう
に、蓋体４を容器本体２に対して着脱自在に固定する簡
易着脱機構31が設けられている。この簡易着脱機構31は
主に、蓋体４の周縁部から突出した状態で設けられた係
止用嵌合部としての蓋体係止爪32と、容器本体２の蓋体
受け段部27の垂直板部27Aに蓋体係止爪32と対向して設
けられた前記被嵌合部28と、蓋体４側の蓋体係止爪32に
一体的に取り付けられ、押し下げられることで蓋体係止
爪32を被嵌合部28から離脱させる腕部34と、この腕部34
で蓋体係止爪32を被嵌合部28から離脱させたときに蓋体
４を容器本体２から僅かに持ち上げる持上げ機構（図示
せず）とから構成されている。 蓋体係止爪32は、蓋体４に弾性的に支持されている。
具体的には図14及び図15に示すように、蓋体係止爪32
は、蓋体４に固定された固定板部32Aの一端から立ち上
げて形成された立て板部32Bに、外方へ向けて形成され
ている。固定板部32A及び立て板部32Bは弾性を有する合
成樹脂で一体的に成形されており、立て板部32Bが弾性
的に撓むことで、蓋体係止爪32が蓋体４に弾性的に支持
されている。固定板部32Aの蓋体４への固定は、ビス止
め、接着剤又は溶着によって行う。腕部34は立て板部32
Bの上端部から内側へ水平方向に延びた状態で一体的に
設けられている。これにより、腕部34を下方に押し下げ
ることで、立て板部32Bが撓んで蓋体係止爪32が被嵌合
部28から外れるようになっている。この蓋体係止爪32、
腕部34、固定板部32A及び立て板部32Bからなる部材は、
蓋体４の四隅に２つずつ設けられている。蓋体４の立ち
上げ壁4Aには、その四隅部分を２カ所だけ切り欠いて除
去した切欠き部4Bが設けられており、この各切欠き部4B
に前記部材が２つずつ設けられている。そして、２つの
腕部34は、その先端部が押圧用板32Cで一体的に固定さ
れ、押圧しやすいようになっている。この押圧用板32C
の各腕部34への固定は、前記固定板部32Aの蓋体４への
固定と同様に、ビス止め、接着剤又は溶着によって行
う。 なお、持上げ機構は、弾力を有して蓋体４を容器本体
２から僅かに持ち上げることができる前記ガスケットに
よって構成されている。 これにより、蓋体４を容器本体２から容易に取り外す
ことができるようになっている。 薄板支持部３は、容器本体２内の支持台21に対して着
脱自在に取り付けられている。この薄板支持部３の具体
的構成は図16から図24に示すように構成されている。薄
板支持部３は主に、並列に一定間隔をおいて多数枚配設
されて各半導体ウエハを１枚ずつ隔てて支持する歯板部
36と、各歯板部36が並列に一定間隔をおいて配設された
状態でこれらを３カ所の位置で一体的に支持する支持板
部37と、最奥側の支持板部37Aの内側面（半導体ウエハ
への当接面）に形成されたＶ字型溝38とから構成されて
いる。 前記支持板部37は、各歯板部36の最奥側（図16中の最
下部）と中間と入口側（図16中の最上部）の３カ所の位
置に設けられ、各歯板部36を一体的に支持している。Ｖ
字型溝38は、図22に示すようにＶ字型の底部によって構
成され、容器本体２を縦置きにしたときに半導体ウエハ
を、Ｖ字型溝38の斜面で案内して溝底部に落ち込ませ
て、最奥部において各歯板部36の中央で支持するように
なっている。半導体ウエハの上部は、各歯板部36の上部
で支持される。これにより、隣り合う半導体ウエハ同士
の干渉を防止している。中間の支持板部37Bの位置で
は、図23に示すように、平坦な底部を有している。さら
に、各歯板部36のうち、入口側の支持板部37C近傍で
は、図24に示すように、薄板支持容器１を横置きにした
ときに、半導体ウエハを水平状態で支持する支持段部37
Dが形成されている。この支持段部37Dは、水平状態で僅
かに下方に傾斜（例えば１度程度傾斜）させて形成さ
れ、そこに載置される半導体ウエハと最小限の面積で接
触するようになっている。 また、各歯板部36の表面（半導体ウエハ側の面）は、
この円形状の半導体ウエハの周縁に沿って円弧状に湾曲
して形成されている。これにより、歯板部36は、半導体
ウエハの周縁に沿って僅かに重なり合った状態で支持
し、半導体ウエハの表面に対する悪影響を最小限に抑え
ている。具体的には、各歯板部36を構成する合成樹脂は
微量のガスを発生するが、歯板部36と半導体ウエハとの
重なる面積が小さいため、発生したガスが半導体ウエハ
の表面に接触する機会が減少する。これにより、前記ガ
スが半導体ウエハの表面に及ぼす悪影響を最小限に抑え
ている。 また、各歯板部36同士が重なる面積も減少するため、
それに応じて各歯板部36の表面に付着する塵埃等が減少
すると共に、各歯板部36の洗浄が容易になる。 薄板支持部３の裏面には、支持台21の下部支持用突起
23と嵌合してこの薄板支持部３の下部を支持する下部支
持穴部39と、上部支持用突起24と嵌合してこの薄板支持
部３の上部を支持する上部支持穴部40とが設けられてい
る。下部支持穴部39は、薄板支持部３の下端部の両端と
中央の位置にそれぞれ設けられている。これら３つの下
部支持穴部39はすべて同じ円形穴状に形成されている。
上部支持穴部40は、薄板支持部３の上端部の両端と中央
の位置にそれぞれ設けられている。これら３つの上部支
持穴部40のうち、両側の上部支持穴部40A,40Bは円形穴
状に形成されているが、中央の上部支持穴部40Cは楕円
形状に形成され、２つの上部支持用突起24が同時に嵌合
できるようになっている。さらに、上部支持穴部40Cの
上端縁部には係止爪25が係止して、支持板部37が各支持
用突起23,24から抜け落ちないように固定されるように
なっている。 この薄板支持部３は、高い寸法精度に仕上げられる成
形性に優れた合成樹脂によって構成されている。具体的
には、高純度のPBTによって構成されている。容器本体
２等の他の部材は、安価なポリカーボネート等によって
構成されている。 トップフランジ５は、薄板支持容器１を搬送装置で搬
送する際に、この搬送装置の腕部で掴まれる部分であ
る。このトップフランジ５は、図25から図28に示すよう
に、搬送装置の腕部で掴むための板部5Aと、腕部の一部
が嵌合する嵌合穴5Bと、容器本体２のフランジ取付板14
に嵌合してトップフランジ５を容器本体２に取り付ける
嵌合板部5Cとから構成されている。嵌合板部5Cの前後端
部（図25の上下端部）には、この嵌合板部5Cを板部5Aに
固定するための接続板部5Dがそれぞれ取り付けられてい
る。嵌合板部5Cは、接続板部5Dの両側からはみ出した部
分を有し、この部分が、容器本体２の各フランジ取付板
14の内側（フランジ取付板14とフランジ嵌合溝15との
間）に挿入されるようになっている。さらに、嵌合板部
5Cのはみ出した部分の先端部（図25中の上端部）には、
係止爪5Eが設けられている。この係止爪5Eは、フランジ
取付板14の先端縁部（図８中の上端縁部）に係止してト
ップフランジ５が抜け落ちるのを防止している。また、
フランジ取付板14に取り付けられたトップフランジ５
は、係止爪5Eをフランジ取付板14から外すだけで、トッ
プフランジ５をフランジ取付板14から容易に取り外すこ
とができるようになっている。 持ち運び用ハンドル６は、作業者が薄板支持容器１を
手で持つときに掴むハンドルである。この持ち運び用ハ
ンドル６は、図29から図33に示すように、容器本体２の
４つの板材16A,16B,16C,16Dにそれぞれ嵌合する４つの
嵌合片6A,6B,6C,6Dを有する嵌合板6Eと、４つの嵌合片6
A,6B,6C,6Dのうちの外側の２つ6A,6Dにそれぞれ設けら
れた係止爪6Fと、手で掴む取っ手部6Gとから構成されて
いる。各嵌合片6A,6B,6C,6Dは嵌合板6Eに対して45度傾
斜させて形成されている。これにより、45度の角度で右
上方向に配列された容器本体２の４つの板材16A,16B,16
C,16Dに、前記４つの嵌合片6A,6B,6C,6Dが平行に挿入さ
れることで、持ち運び用ハンドル６が、容器本体２に対
して45度傾斜した状態で、取り付けられるようになって
いる。このとき、係止爪6Fは外側の板材16A,16Dの先端
縁部に係止し、さらに外側の嵌合片6A,6Dの袋状に閉じ
た基端が板材16A,16Dの基端縁部に係止することで、ハ
ンドル取付板16が容器本体２に固定されるようになって
いる。また、ハンドル取付板16を容器本体２から取り外
すときは、係止爪6Fを外側の板材16A,16Dの先端縁部か
ら外してハンドル取付板16をずらすだけで、各嵌合片6
A,6B,6C,6Dが板材16A,16B,16C,16Dから外れて、ハンド
ル取付板16を容器本体２から容易に取り外すことができ
るようになっている。 前記構成の持ち運び用ハンドル６は、左右対称形状に
２つ形成され、側壁部2C,2Dにそれぞれ取り付けられて
いる。 フィルタ７は、薄板支持容器１の内圧を調整するため
のものである。このフィルタ７は、薄板支持容器１の容
器本体２又は蓋体４に取り付けられ、薄板支持容器１の
内外側間で気体の通過を許容し、塵埃等の通過を制限し
ている。これにより、内部の清浄状態を保ったまま、薄
板支持容器１内圧を最適状態に調整して、蓋体４が外れ
にくくなるのを防止している。 フィルタ７は、具体的には図34から図36に示すように
構成されている。このフィルタ７は薄板支持容器１の容
器本体２又は蓋体４の任意の位置であって、他の機能等
を損なわない位置に設けられる。 図中の42は薄板支持容器１又は蓋体４に設けられた開
口である。この開口42は、図36に示すように、円形状に
穿って形成され、薄板支持容器１の内外側を連通してい
る。これにより、薄板支持容器１の内側と外側とで気体
の出入りを許容して、内部の気圧と外気圧が同じになる
ように調整される。この開口42の両側（図36中の上下）
には、後述するフィルタ７の係止爪46を嵌め込むための
切欠42Aが設けられている。 フィルタ７は、開口42を介して薄板支持容器１の内外
側で気体が出入りする際に、外部の気体中に含まれる塵
埃等を除去して気体のみの通過を許容する。このフィル
タ７は塵埃等の除去ができる程度の性能を有し、気体を
スムーズに通すように設定されている。即ち、開口42を
介して気体が薄板支持容器１の内外側で出入りする際
に、あまり大きな抵抗にならず、容易に気体が通過し得
る程度の性能に設定されている。このフィルタ７は具体
的には、図34及び図35に示すように、筒体44と鍔部45と
係止爪46と濾材47とから構成されている。 筒体44は、円筒状に形成され、その直径を開口42の内
径とほぼ同じ大きさに設定されている。 鍔部45は、筒体44の一方（図中の下方）に設けられて
おり、筒体44が開口42に嵌合した状態で開口42の縁部の
一側面に当接するようになている。鍔部45の内側面に
は、環状のガスケット48が設けられている。このガスケ
ット48は、筒体44が開口42に嵌合して鍔部45が開口42の
縁部の一側面に当接した状態で、この鍔部45と開口42の
縁部に圧接してこれらの間を気密にシールする。 係止爪46は、筒体44の他方に互いに逆方向に向けて２
つ設けられている。各係止爪46は断面をくさび状に形成
されている。即ち、係止爪46のうち鍔部45側の面を傾斜
させて形成されている。これにより、各係止爪46を開口
42の切欠42Aに合せた状態で筒体44を開口42に嵌合して
全体を回動させることで、係止爪46の傾斜面が開口42の
縁部の他側面に圧接して、フィルタ７が薄板支持容器１
側に固定されている。 濾材47は、筒体44内に装着され、この筒体44内を通過
する気体中から塵埃等を除去するようになっている。即
ち、薄板支持容器１の周囲の気体が開口42を介して薄板
支持容器１内に流入する際に、この気体中の塵埃等を除
去して気体のみを通過させるようになっている。この濾
材47は、前述のように、塵埃等を除去して気体をスムー
ズに通し得る程度の性能に設定されている。即ち、開口
42を介して気体が薄板支持容器１の内外側で出入りする
際に、濾材47があまり大きな抵抗にならずに、気体が容
易に通過できるようになっている。そして、濾材47を気
体が容易に通過して、薄板支持容器１の周囲の気圧が急
激に変化しても迅速に対応できるようになっている。 以上のように構成された薄板支持容器１は、次のよう
にして使用される。 半導体ウエハを容器本体２内に収納するときは、容器
本体２を横置きにして開口2Fからウエハ搬送用ロボット
で半導体ウエハを挿入する。このとき、半導体ウエハは
薄板支持部３の各歯板部36の間に挿入されて、この歯板
部36に載置される。 半導体ウエハを収納し終わって、搬送する場合は、容
器本体２を、作業者が手動で持ち運び用ハンドル６を持
って、又はロボットが自動的にトップフランジ５を掴ん
で縦置きにする。このとき、半導体ウエハは歯板部36の
Ｖ字型溝38に当接して支持される。Ｖ字型溝の斜面に載
置された半導体ウエハはこの斜面に案内されて溝底部に
落ち込み、各歯板部36間の中央で支持される。半導体ウ
エハの上部は、各歯板部36の上部で支持される。これに
より、半導体ウエハ同士の干渉が確実に防止される。 次いで、蓋体４が、前記手動又は自動により、容器本
体２の蓋体受け段部27に取り付けられて、容器本体２の
開口2Fが蓋体４で塞がれる。次いで、蓋体４を上から押
さえる。これにより、簡易着脱機構31の立て板部32Bが
撓んで蓋体係止爪32が被嵌合部28に嵌合し、蓋体４が容
器本体２に固定される。この状態で、薄板支持容器１が
搬送される。搬送に際して梱包するときには、トップフ
ランジ５と持ち運び用ハンドル６を取り外す。即ち、係
止爪5E,6Fを外し、トップフランジ５及び持ち運び用ハ
ンドル６をずらして取り外す。これにより、薄板支持容
器１を小さく梱包する。このとき、トップフランジ５と
持ち運び用ハンドル６は薄板支持容器１と一緒に梱包す
る。 一方、薄板支持容器１は、その輸送途中において、周
囲の気圧が変化することがある。この場合、フィルタ７
が塵埃等の進入を抑えて内部気圧を外部気圧と一致させ
る。これにより、薄板支持容器１の内部気圧と外部気圧
とを常に一致させることができる。この結果、薄板支持
容器１の蓋体４の開放時に、内部気圧が外部気圧よりも
低くなって、開放しづらくなる現象が解消する。 搬送中又は保管中等において、薄板支持容器１を積層
することがあるが、この場合は、載置する側の薄板支持
容器１の足部18を、載置される側の薄板支持容器１の足
部受け部30に嵌合させた状態で積層する。これにより、
複数の薄板支持容器１が安定して積層される。 梱包を解いて薄板支持容器１を扱うときは、トップフ
ランジ５と持ち運び用ハンドル６をワンタッチで取り付
ける。薄板支持容器１を作業者が取り扱うときは、持ち
運び用ハンドル６を作業者が手で持って薄板支持容器１
を縦置きから横置きに、または横置きから縦置きに置き
換えることがある。この場合、持ち運び用ハンドル６は
45度の角度に設定されているため、極端に手首を回す必
要が無くなり、作業性が向上する。 蓋体４を容器本体２から取り外すときは、前記手動又
は自動により、押圧用板32Cを下方に押し下げる。これ
により、腕部34を介して立て板部32Bが撓む。これに伴
って蓋体係止爪32が被嵌合部28から外れて、蓋体４の容
器本体２に対する係止が解かれる。これにり、ガスケッ
トが蓋体４を容器本体２から僅かに持ち上げる。この結
果、蓋体４が容器本体２から外れる。その後、蓋体４
を、前記手動又は自動により、持ち上げて容器本体２か
ら取り外し、容器本体２を内部の半導体ウエハを取り出
す。 また、取り扱う半導体ウエハ枚数や大きさ等が異なる
ときには、それに合わせて薄板支持部３を選択し、容器
本体２内に支持台21に取り付ける。即ち、薄板支持部３
の下部支持穴部39及び上部支持穴部40を支持台21の下部
支持用突起23及び上部支持用突起24に嵌合して取り付け
る。なお、薄板支持部３は、取り扱う半導体ウエハ枚数
や大きさ等の条件に応じて各種の薄板支持部３を予め用
意しておく。 また、薄板支持部として、薄板を支持する枚数や配列
間隔、対向する２つの薄板支持部の間隔等を適宜変更し
た複数種類の薄板支持部を準備しておき、薄板の大き
さ、収納枚数等に合わせて薄板支持部を選択し、使用す
る。これにより、各種の使用態様に容易にかつ迅速に対
応することができる。 薄板支持容器１は、搬送作業等の終了後に洗浄され
る。このときは、容器本体２に取り付けられた薄板支持
部３を取り外す。さらに、フィルタ７も取り外す。そし
て、これらが個別に洗浄される。これにより、容器本体
２及び薄板支持部３を、細部に至るまで容易にかつ十分
に洗浄することができる。さらに、フィルタ７も効率的
に洗浄することができる。 以上のように、蓋体４に簡易着脱機構31を設けたの
で、極めて容易に蓋体４を容器本体２に対して着脱する
ことができるようになる。しかも、この蓋体４の着脱
は、手動、自動を問わず、容易になる。 容器本体２に足部18を、蓋体４に足部受け部30を設け
たので、複数の薄板支持容器１を安定して積層すること
ができる。 薄板支持部３を容器本体２に着脱自在に設けたので、
この薄板支持部３を取り外すことにより、容器本体２及
び薄板支持部３を、容易にかつ細部に至るまで十分に洗
浄することができる。 また、薄板支持部３として、半導体ウエハを支持する
枚数や配列間隔、対向する２つの薄板支持部３の間隔等
を適宜変更した複数種類の薄板支持部３を準備しておく
ことで、半導体ウエハの大きさ、収納枚数等に合わせ
て、各種の使用態様に容易にかつ迅速に対応することが
できる。 薄板支持部３の支持板部37にＶ字型溝38を設けたの
で、半導体ウエハがＶ字型溝38に載置されると、この半
導体ウエハはＶ字型溝38の斜面に案内されて溝底部に落
ち込む。これにより、最奥部において半導体ウエハが各
歯板部36の間の中央で支持され、半導体ウエハ同士の干
渉を確実に防止することができる。 歯板部36を半導体ウエハに合わせて円弧状に形成した
ので、歯板部36と半導体ウエハとが互いに僅かに重なる
面積が小さくなり、薄板の表面に対する悪影響を解消す
ることができる。 薄板支持部３の寸法精度を高く維持できるので、半導
体ウエハを確実に支持すると共に、搬送時等において、
隣り合う半導体ウエハ相互の干渉を防止することができ
る。 トップフランジ５と持ち運び用ハンドル６とを着脱自
在に設けたので、薄板支持容器１の搬送時にこれらを取
り外すことで、嵩張らずに小さく梱包することができ、
搬送作業の効率化を図ることができる。 持ち運び用ハンドル６を容器本体２の縦方向と横方向
の中間位置の方向、即ち45度に傾斜させて取り付けたの
で、作業者がこの持ち運び用ハンドル６を手で持って、
薄板支持容器１を縦置きから横置きに、または横置きか
ら縦置きに置き換えるときに、極端に手首を回す必要が
無くなる。この結果、作業者に負担をかけずに、作業性
が向上する。 薄板支持容器１のフィルタ７を設けたので、薄板支持
容器１の搬送時に気圧が大きく変化しても、フィルタ７
によって薄板支持容器１の内圧を最適状態に調整するこ
とができる。この結果、蓋体４が外れにくくなるのを防
止する。 フィルタ７は着脱自在に取り付けられているため、薄
板支持容器１の洗浄時にはフィルタ７を取り外して、効
率的に洗浄作業を行うことができる。 前記実施形態では、半導体ウエハを例に説明したが、
記憶ディスク、液晶ガラス基板等の他の薄板を用いた場
合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することがで
きる。なお、液晶ガラス基板の場合は四角形状に形成さ
れているため、薄板支持部３の形状をそれに合わせて形
成する。 前記実施形態では、薄板支持部３を、蓋体４によって
内部が密封される薄板支持容器１に着脱自在に取り付け
た場合を例に説明したが、半導体ウエハの製造ライン等
で薬液処理や洗浄等に用いられるウエハキャリアに用い
てもよい。即ち、ウエハキャリアに薄板支持部３を着脱
自在に取り付けられた場合も、前記実施形態同様の作
用、効果を奏することができる。 前記実施形態では、持ち運び用ハンドル６は45度傾斜
させて取り付けたが、45度に限らず、これに近い角度で
あれば、前記実施形態同様の作用、効果を奏することが
できる。 前記実施形態では、歯板部36の入口側に支持段部37D
が形成され、その表面が僅かに下方に傾斜されて形成さ
れたが、半導体ウエハが接触する部分に突起状のウエハ
支持部を設けて半導体ウエハとの接触面積を最小限に抑
えるようにしてもよい。 前記実施形態では、持上げ機構としてガスケットを用
いたが、スプリング等の他の弾性部材を用いて持上げ機
構を構成してもよい。 前記実施形態では、薄板支持部３の材料として高純度
のPBTを用いたが、PEEK（ポリエーテルエーテルケト
ン）やPBN（ポリブチレンナフタレート等を用いて薄板
支持部３を構成してもよい。 前記実施形態では、Ｖ字型溝38の溝底部を隣り合う２
つの歯板部36と等距離の正確な中央位置に形成したが、
正確な中央位置に限らず、中央近傍であれば前記同様の
作用、効果を奏することができる。 さらに、Ｖ字型溝38の形状も急峻なＶ字形状に限ら
ず、なだらかなＶ字形状でもよい。Ｖ字型溝38の傾斜面
も、平坦面に限らず、内側又は外側に多少湾曲させて形
成してもよい。半導体ウエハ等を溝底部まで案内できる
形状であればよい。 ［図面の簡単な説明］

【図１】 本発明の実施形態に係る薄板支持容器１を示す斜視図
である。

【図２】 従来の密閉容器を示す側面図である。

【図３】 従来の密閉容器の蓋体を示す側面図である。

【図４】 従来の密閉容器の蓋体を固定する機構を示す要部断面
図である。

【図５】 本発明の実施形態に係る薄板支持容器を蓋体を外した
状態で示す斜視図である。

【図６】 本発明の実施形態に係る薄板支持容器を蓋体及び薄板
支持部を外した状態で示す斜視図である。

【図７】 本発明の実施形態に係る容器本体を示す正面図であ
る。

【図８】 本発明の実施形態に係る容器本体を示す背面図であ
る。

【図９】 本発明の実施形態に係る容器本体を示す側面図であ
る。

【図１０】 本発明の実施形態に係る容器本体を示す平面図であ
る。

【図１１】 本発明の実施形態に係る容器本体を示す正面断面図で
ある。

【図１２】 本発明の実施形態に係る蓋体を示す平面図である。

【図１３】 簡易着脱機構を示す部分平面図である。

【図１４】 簡易着脱機構を示す側面図である。

【図１５】 簡易着脱機構を示す平面図である。

【図１６】 薄板支持部を示す正面図である。

【図１７】 薄板支持部を示す側面図である。

【図１８】 薄板支持部を示す側面断面図である。

【図１９】 薄板支持部を示す平面図である。

【図２０】 薄板支持部を示す底面図である。

【図２１】 薄板支持部を示す背面図である。

【図２２】 薄板支持部のＶ字型溝を示す断面図である。

【図２３】 薄板支持部の中間の支持板部を示す断面図である。

【図２４】 薄板支持部の入口側の支持板部を示す断面図である。

【図２５】 トップフランジを示す平面図である。

【図２６】 トップフランジを示す側面図である。

【図２７】 トップフランジを示す正面図である。

【図２８】 トップフランジを示す底面図である。

【図２９】 持ち運び用ハンドルを示す正面図である。

【図３０】 持ち運び用ハンドルを示す右側面図である。

【図３１】 持ち運び用ハンドルを示す左側面図である。

【図３２】 持ち運び用ハンドルを示す平面図である。

【図３３】 持ち運び用ハンドルを示す背面図である。

【図３４】 フィルタを示す斜視図である。

【図３５】 フィルタを示す断面図である。

【図３６】 フィルタが取り付けられる開口を示す平面図である。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−139421（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−301401（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−20042（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−303941（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−307380（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−2699（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65D 85/86 B65D 21/02 B65D 43/04 H01L 21/68 B65D 43/22 B65D 43/24

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、
   この容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内
   部に収納された薄板を両側から支持する薄板支持部とを
   備えてなる薄板支持容器において、 前記薄板支持部が、前記容器本体側の下部支持用突起に
   着脱自在に嵌合して当該薄板支持部の下部を支持する下
   部支持穴部と、前記容器本体側の上部支持用突起に着脱
   自在に嵌合して当該薄板支持部の上部を支持する上部支
   持穴部とを備えて、容器本体に対して着脱自在に設けら
   れたことを特徴とする薄板支持容器。
2. 【請求項２】請求項１に記載の薄板支容器において、 前記薄板支持部が、 並列に一定間隔をおいて多数枚配設され、各薄板を１枚
   ずつ隔てて支持する歯板部と、 各歯板部を並列に一定間隔をおいて配設された状態で少
   なくとも最奥側と入口側を一体的に支持する支持板部
   と、 最奥側の支持板部の前記薄板への当接面に形成され、前
   記容器本体を縦置きにしたときに薄板を最奥部で各歯板
   部間の中央に案内して支持するＶ字型溝と を備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器。
3. 【請求項３】請求項２に記載の薄板支持容器において、 前記薄板が円形状に形成されると共に、前記歯板部が円
   形状の薄板の周縁に沿って円弧状に湾曲して形成され、
   薄板の周縁に沿って互いに僅かに重なり合うことを特徴
   とする薄板支持容器。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板支
   持容器において、 前記薄板支持部が、高い寸法精度に仕上げられる成形性
   に優れた合成樹脂によって構成されたことを特徴とする
   薄板支持容器。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の薄板支
   持容器において、 前記容器本体に、搬送装置の腕部によって把持されるト
   ップフランジと、持ち運び用ハンドルとをそれぞれ着脱
   自在に取り付けたことを特徴とする薄板支持容器。
6. 【請求項６】請求項５に記載の薄板支持容器において、 前記ハンドルを容器本体の縦方向と横方向の中間位置の
   方向に傾斜させて取り付けたことを特徴とする薄板支持
   容器。
7. 【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載の薄板支
   持容器において、 前記容器本体又は蓋体に、内外側間で気体の通過を許容
   して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通
   過を制限するフィルタを着脱自在に取り付けたことを特
   徴とする薄板支持容器。