JPH0826380A - 基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセット - Google Patents

基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセット

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JPH0826380A
JPH0826380A JP12566695A JP12566695A JPH0826380A JP H0826380 A JPH0826380 A JP H0826380A JP 12566695 A JP12566695 A JP 12566695A JP 12566695 A JP12566695 A JP 12566695A JP H0826380 A JPH0826380 A JP H0826380A
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rib
substrate cassette
groove
partition
substrate
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Toshio Ishikawa
俊雄 石川
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Abstract

(57)【要約】 【目 的】形状の歪み、寸法誤差がなく、円滑に基板を
出し入れできる基板用カセットにおけるサイドレール及
び基板用カセットを提供することにある。 【構 成】基板用カセットにおけるサイドレール１は、
複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリ
ブ２２及びリブ間に形成した仕切り溝２３を備えた仕切
板２０と、リブ２２を被覆するリブ被覆部１２及びリブ
被覆部間に形成され仕切り溝２３を被覆する溝被覆部１
３を備えた仕切板被覆用のカバー部材１０を含んで構成
され、方形状に形成した基板用カセットを構成している
側壁を閉塞する。基板用カセット２は、窓部４３ａ，４
３ｂを備えた相対向する側壁４１ａ，４１ｂと、側壁４
１ａ，４１ｂを結合する端壁等の結合手段６５と、側壁
４１ａ，４１ｂの窓部４３ａ，４３ｂを閉塞するサイド
レールを具備して構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハー、磁気
ディスク、液晶表示用ガラス基板等の基板を収容する、
基板用カセットにおけるサイドレール（基板用カセット
を構成する側壁又はこの側壁の一部をいい、カバー単体
又はカバーユニットを構成する場合の両者を含む。）及
び基板用カセットに関するものであり、特に基板を収容
するカセットにおける基板との接触部の交換を可能とし
た、基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カ
セットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】（発明の背景）一般に基板の加工工程
は、シリコンウエハーを例にとると、各種薬液による洗
浄、薄膜の剥離、感光剤の除去等を行うウエット工程
と、各種薄膜の形成、パターンの描画、感光剤の塗布等
を行うドライ工程とに大別される。基板用カセットは、
一般にウエハーバスケット、ウエハーキャリヤーと称呼
され、ウエット工程用としてはテトラフルオロエチレン
−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）等のフッ素樹脂を用いたもの、又ドライ工程用とし
てはポリプロピレン等の樹脂を用いたものが知られてい
る。
【０００３】（従来技術）基板を基板用カセットに収納
しオーブン等で一括熱処理をするため、あるいはフォト
マスク、液品表示用のガラス基板を収納するため、金属
板、プラスチック板を機械加工することにより又は射出
成形法により、相対向するサイドレール（側壁）を製作
し、このサイドレール（側壁）を２枚対向させ、結合手
段（端壁あるいは固定棒）で固定組立を図り基板用カセ
ットを形成したものや（実開昭６１−１９３０８１
号）、カセット全体を樹脂で射出成形法により一体成形
したもの（特開昭５２−１３７７０号）が提案されてい
る。
【０００４】通例この種のカセットは、上述の通り相対
向するサイドレール（側壁）を固定棒（結合手段）で固
定し、この固定棒側を下にして（ウエハーが水平になる
ようにして）各種ドライ工程用の機器にセットし基板の
出し入れを行っている。機器に適合する為の要件とし
て、カセットの主要寸法はＳＥＭＩ−ＳＴＡＮＤＡＲＤ
として規定され、広く一般的に使用されている。ＳＥＭ
Ｉ−ＳＴＡＮＤＡＲＤは、ドライ工程における各種機器
への適合を主目的に規定されているが、現在一般的に使
用されているカセットは、ウエット処理との共用を主目
的に設計、製作され、これをそのままドライ工程用に転
用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
基板用カセットは、主にウエット処理との共用を目的に
設計製作され、ドライ処理を主目的として設計製作され
ていない。このため、次に述べる乃至の問題点が指
摘されている。 カセット全体を樹脂で射出成形法により一体成形をし
たものにあっては、樹脂収縮の不安定さに起因する形状
の歪み、寸法の誤差が生じ易い。このため、装置にセッ
トされた時の位置精度が不安定であるとともにカセット
内に収納された基板の水平度、間隔の寸法安定性を得る
ことが難しく、カセットより基板をフォーク等を用い機
械的に出し入れする際の不具合が生じる。この点、基板
の寸法が大きくなる程、これを収納するカセット寸法も
大きくなるので、射出成形法を用いた樹脂カセットで
は、寸法、形状に比例して不安定さが増大する。また、
大型基板を収納しかつ基板が水平になるように装置にセ
ットした時には、樹脂の弾性により基板の数が少量の場
合と多量の場合とで基板の総重量が異なるため、カセッ
ト下部にかかる加重に変化が生じ、カセット底部より各
基板迄の距離に誤差が生じて装置トラブルを惹起し易
い。 この問題を回避するため、カセットのサイドレール
（側壁の一部）をアルミニウム等の金属によって形成し
たものが用いられているが、基板との接触により発生す
る微細金属粉による基板への汚染が基板上に作成される
電子素子等に悪影響を与えるため使用範囲が限定され
る。更に、カセットの側壁表面にフッソ樹脂等の樹脂を
コーティングしたものも提案されているが、経時的に発
生するコーティング樹脂の微細な剥離、あるいはコーテ
ィング溶液に含まれる不純物及び揮発成分の基板への影
響を払拭出来ない。 又、カセットのサイドレール全体を樹脂で製作した場
合、樹脂中に含まれる特に有機系成分の気体（アウター
ガス）の発生が起こり、かつ発生するアウターガスの総
量も多いため、例えば表面上にＬＳＩを製造するシリコ
ンウエハーの場合には、ウエハー表面を親水性より疎水
性に変質させたり、シリコン表面に形成された酸化膜に
影響を与え、絶縁特性の劣化を引き起こしたりする（こ
の点、一部の工程においては、カセットを減圧下でセッ
トし基板の出し入れを行うが、この場合には、アウタ−
ガスの総量は増大し、基板に対し悪影響を与える）。 更に、カセットのサイドレール（側壁）全体を樹脂で
製作した場合には、静電気の帯電電圧が多くなり、静電
気の放電によっては基板上の薄膜が破壊し、浮遊する微
小粒子（パ−ティクル）を吸着する等の悪影響を基板に
与える。帯電静電気量を減少させる為に、樹脂中に界面
活性剤等の帯電防止剤あるいはカ−ボン粉末、カ−ボン
繊維、セラミックス等の導電性物質を混入するが、界面
活性剤は気化成分の基板への付着を誘発したり、導電性
物質には、これらに含まれる金属不純物の基板への影響
が生じる。 一般的に、パ−ティクルと呼ばれる微細粉末は、基板
上に形成される回路を遮断したり表面に形成される薄膜
に欠陥を与えたりして製品歩留りを減少させる。単位体
積あたりのパ−ティクル数は、粒径の小さいもの程絶対
量が多く、樹脂の基板との摩擦による表面の摩耗に起因
するパ−ティクルの発生量は樹脂カセットの使用頻度に
比例し増大する。この問題を回避する為には、極力不純
物が少なく耐摩耗特性の良い樹脂を使用し、短期間でカ
セットを交換することが望ましい。しかしながら、これ
等の樹脂は一般的に高価であり、短期間での交換は大幅
なコストアップの要因となるので、現実性に乏しい。ま
た、これ等の樹脂は一般的に射出成形が難しく、特にカ
セットのような複雑な形状の物を成形する場合、高精度
の寸法、形状の安定化が難しい。
【０００６】本発明は、このような従来の問題点を解消
するためになされたものであり、形状の歪み、寸法誤差
がなく、円滑に基板を出し入れできる基板用カセットに
おけるサイドレール及び基板用カセットを提供すること
にある。
【０００７】本発明の他の目的は、基板との接触によっ
て発生するパーティクルが少なくかつ重金属による基板
への汚染を回避できる素材を自由に選別使用することが
可能な基板用カセットきおけるサイドレール及び基板用
カセットを提供することにある。
【０００８】本発明のもう一つ他の目的は、アウターガ
スの発生を少量に抑え、基板への悪影響を防止できる基
板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセット
を提供することにある。
【０００９】本発明の更に他の目的は、静電気の帯電電
圧を少なくし、周辺装置への静電気による悪影響（例え
ば、装置の誤動作）を防止できる基板用カセットにおけ
るサイドレール及び基板用カセットを提供することにあ
る。
【００１０】本発明の更にもう一つ他の目的は、樹脂と
基板との摩擦による微細な樹脂粉末の発生を極力抑え、
安価に製造できる基板用カセットにおけるサイドレール
及び基板用カセットを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る基板用カセ
ットにおけるサイドレールは、方形状に形成した基板用
カセットを構成している側壁を閉塞するサイドレールで
あって、複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形
成したリブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕
切板と、前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆
部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備え
た前記仕切板被覆用のカバー部材を含んで構成されてい
る。
【００１２】また基板用カセットにおけるサイドレール
は、相対向する側壁と、該側壁を結合する端壁等の結合
手段を備え、前記側壁と結合手段とで方形状に形成した
基板用カセットの前記側壁に設けた窓部を閉塞するサイ
ドレールとして形成し、このサイドレールが、複数の基
板を隔離して収容するため側壁面に形成したリブと、該
リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板と、前記リブ
を被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形成され前
記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備え、前記リブ被覆部
と溝被覆部が樹脂部材により一体的に形成されている前
記仕切板被覆用のカバー部材とを含み、前記仕切板とカ
バー部材とでカバーユニットを構成すると効果的であ
る。
【００１３】上記仕切板とカバー部材は、着脱自在に形
成するとよい。
【００１４】上記仕切板とカバー部材は、上端部に配設
する固定手段により取付け固定されていることが好まし
い。
【００１５】基板用カセットにおけるサイドレールは、
複数の基板を隔離して収容するためのリブと、該リブ間
に形成した仕切り溝を備えた側壁を有する基板用カセッ
トの内側壁面に被着するサイドレールとして形成し、前
記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形成
され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えたカバー単
体として構成してもよい。
【００１６】また、基板用カセットにおけるサイドレー
ルは、相対向する側壁と、該側壁を結合する端壁等の結
合手段と、複数の基板を隔離して収容するため前記側壁
に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備
え、前記側壁と結合手段とで方形状に形成される基板用
カセットに被着するサイドレールとして形成し、このサ
イドレールが、前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リ
ブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部
を備え、前記リブ被覆部と溝被覆部を樹脂部材により一
体成形し、前記側壁に被着して基板用カセットの内側壁
面を形成するカバー単体として構成してもよい。
【００１７】また、基板用カセットにおけるサイドレー
ルは、耐摩耗性、耐熱性を考慮し、複数の基板を隔離し
て収容するため側壁面に形成したリブと、該リブ間に形
成した仕切り溝を備え、前記リブを平板部の一側面より
突設して形成し、前記仕切り溝を前記リブに連設して形
成するとよい。
【００１８】更に、基板用カセットにおけるサイドレー
ルは、複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成
したリブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備え、前記
リブが平板部の一側面より突設して形成されるととも
に、前記仕切り溝が前記リブに連設して形成され、かつ
その両側に基板用カセットの窓部に形成されたガイドに
より案内される耳部が形成されていると効果的である。
【００１９】そして、上記耳部には、取付ビスが挿通す
る取付孔を形成するとともに、この取付孔に連通してＯ
リングを収容する凹所を形成し、かつ上記取付孔を囲成
して段部をそれぞれ形成するとよい。
【００２０】本発明に係る基板用カセットは、窓部を備
えた相対向する側壁と、該側壁を結合する端壁等の結合
手段と、前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールを具備
し、前記サイドレールが、複数の基板を隔離して収容す
るため前記側壁に形成したリブと、該リブ間に形成した
仕切り溝を備えた仕切板と、前記リブを被覆するリブ被
覆部と、該リブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆
する溝被覆部を備えた前記仕切板被覆用のカバー部材を
含んで構成されている。
【００２１】本発明に係る基板用カセットは、窓部が形
成された相対向する側壁と、該側壁を結合する端壁等の
結合手段と、前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールを
具備し、前記側壁が、前記サイドレールを取付ける前記
窓部が形成された枠体を含んで構成され、この枠体の内
側であって前記窓部の左右両側には、前記サイドレール
の着設を案内するガイドが上下方向に走行して形成さ
れ、前記サイドレールが、複数の基板を隔離して収容す
るため側壁面に形成したリブと、該リブ間に形成した仕
切り溝を備え、前記リブが平板部の一側面より突設して
形成されるとともに、前記仕切り溝が前記リブに連設し
て形成され、かつその両側に前記枠体に形成された前記
ガイドにより案内される耳部が形成されていてもよい。
【００２２】また、上記ガイドには、上記サイドレール
を取付ける有底のねじ孔が螺刻して形成されているとよ
い。
【００２３】
【作 用】基板用カセットにおけるサイドレールが、方
形状に形成した基板用カセットを構成している側壁を閉
塞するため、複数の基板を隔離して収容するため側壁面
に形成したリブ及びリブ間に形成した仕切り溝を備えた
仕切板と、リブを被覆するリブ被覆部及びリブ被覆部間
に形成され仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えた仕切板
被覆用のカバー部材を有するときには、カバー部材の基
体側に帯電した静電気は仕切板に放電され、しかもカバ
ー部材に生じるそりは仕切板により強制される。また基
板用カセットにおけるサイドレールが、複数の基板を隔
離して収容するためのリブと、リブ間に形成した仕切り
溝を備えた側壁を有する基板用カセットの内側壁面に被
着するため、リブを被覆するリブ被覆部と、リブ被覆部
間に形成され仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えたカバ
ー単体として構成されるときには、サイドレールの素材
を選別使用し、基板との接触によって発生するパーティ
クルが少なくかつ重金属による基板への汚染が回避され
る。又、カバー単体のみを樹脂で製作することによりア
ウターガスの発生を少量に抑えられる。また、基板用カ
セットが、窓部を備えた相対向する側壁と、側壁を結合
する端壁等の結合手段と、側壁の窓部を閉塞するサイド
レールを具備し、サイドレールが、複数の基板を隔離し
て収容するため側壁に形成したリブ及びリブ間に形成し
た仕切り溝を備えた仕切板と、リブを被覆するリブ被覆
部及びリブ被覆部間に形成され仕切り溝を被覆する溝被
覆部を備えた仕切板被覆用のカバー部材とを含んで構成
されるときには、サイドレールのみを加工性の優れた素
材を選別して製作することにより、カセット全体の形状
は安定化する。そして、サイドレールの耳部に穿設した
取付孔に連続して形成された、Ｏリング収容用の凹所を
具備し、サイドレールを基板用カセットの側壁に取付け
るときにこの凹所に収容されるＯリングによってサイド
レールと取付ビスの隙間が封じられる。更に、取付ビス
によってサイドレールをカセットの側壁に取付けるとき
に、サイドレールの耳部に形成された段部が側壁に接触
しサイドレールの耳部全面が基板用カセットの側壁に接
触しないため、前記サイドレールと側壁との間に隙間が
生じる。また側壁と結合手段は真空中でのろう付によっ
て固着されいるため結合部分には隙間が生じない。
【００２４】
【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１は本発明に係る基板用カセット
におけるサイドレールの構成要素を示す分解斜視図、図
２は本発明に係る基板用カセットを示し、図１に示すサ
イドレールを組み込んで構成した基板用カセットの斜視
図、図１１は図１に示すサイドレールの構成要素である
カバー部材の要部拡大斜視図、図１２は図１に示すサイ
ドレールの構成要素である仕切板の要部拡大斜視図、図
１３は図１に示すサイドレールの構成要素である仕切板
にカバー部材を被覆した状態を示す要部拡大斜視図、図
１４は図１に示すサイドレールの構成要素であるカバー
部材の正面図である。
【００２５】（基板用カセットにおけるサイドレールの
説明）先ず、本発明に係る基板用カセットにおけるサイ
ドレールを図面に基づいて説明する。上図において、サ
イドレール１は、カバー部材１０と仕切板２０を備え、
このカバー部材１０と仕切板２０とでカバーユニット３
を構成し、方形状に形成された基板用カセット２の側壁
４１ａ，４１ｂを閉塞する。
【００２６】このうち、前記仕切板２０は、複数の基板
８０，８０，・・・・（図９，図１０参照）を隔離して収容
するため側壁面に形成されたリブ２２と、このリブ２２
間に形成された仕切り溝２３を備えている。前記リブ２
２は仕切板２０の平板部２１の一側面より突設して形成
され、又前記仕切り溝２３は前記リブ２２に連設して形
成されている。実施例では、この仕切板２０はアルミニ
ウム材により形成されている。又前記リブ２２の上方は
前記カバー部材１０への装着が容易となるよう傾斜面２
２ａとして形成されている。前記平板部２１の上端面の
左右両側には後述する取付ビス３３ａ，３３ｂ用の雌ね
じ部２５ａ，２５ｂが形成され、又前記平板部２１の両
側端面の中央には、基板用カセット２の側壁４１ａ，４
１ｂに前記仕切板２０を取付けるために用いる取付ビス
４６ａ（図２参照）が挿通する貫通孔２４が穿設してあ
る（図１，図１８乃至図２０参照）。尚、前記仕切板２
０の材質は、アルミニウム材に限らず、樹脂又は剛性の
ある金属であればよいこと勿論である。材質を選定する
ことにより、仕切板２０を精度よく簡単に製作できる。
【００２７】一方、前記カバー部材１０は、前記リブ２
２を被覆するリブ被覆部１２と、このリブ被覆部１２間
に形成され前記仕切り溝２３を被覆する溝被覆部１３を
備えている。前記リブ被覆部１２はカバー部材１０の基
体１１の一側面より突設して形成され、又前記溝被覆部
１３は前記リブ被覆部１２間に連設して形成されてい
る。前記リブ被覆部１２と溝被覆部１３は樹脂部材によ
り一体的に形成されている。又前記リブ被覆部１２の上
方は前記仕切板２０の傾斜面２２ａに対応した形状の傾
斜面１２ａとして形成されている。前記基体１１の上端
面の左右両側における前記仕切板２０の雌ねじ部２５
ａ，２５ｂに対応した位置に切欠１５ａ，１５ｂが形成
され、又前記基体１１の両側端面の中央における前記仕
切板２０の貫通孔２４に対応した位置にビス取付孔１４
が穿設してある。なお、前記カバー部材１０の厚さは0.
8 〜 1.2mm、好ましくは1.0mm 程度で均一な厚さに形成
するとよい。また、前記カバー部材１０に用いる樹脂と
しては、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキ
ルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ），ポリエーテルエ
ーテルケトン（ＰＥＥＫ）が適当である（図１４乃至図
１７参照）。
【００２８】又前記カバー部材１０と仕切板２０の上端
部には、前記カバー部材１０と前記仕切板２０とを一体
的に取付け固定する固定手段３０が配備される。前記固
定手段３０は、前記仕切板２０と前記カバー部材１０の
各上端部に配設した取付孔３２ａ，３２ｂを有する押え
板３１と、該押え板３１の取付孔３２ａ，３２ｂに挿通
し、前記仕切板２０と前記カバー部材１０とを固定する
取付ビス３３ａ，３３ｂより構成されている。
【００２９】かくして、前記カバー部材１０と仕切板２
０は、着脱自在に形成され、前記カバー部材１０を前記
仕切板２０に被覆し、前記カバー部材１０と仕切板２０
の上端部に配設した前記固定手段３０により一体的に取
付け固定することにより、前記カバー部材１０にそりが
生じる場合があってもそりは前記仕切板２０により強制
される。また、サイドレール１に基板を収容していると
きには、カバー部材１０が仕切板２０から分離すること
はなく、前記固定手段３０を取り外すことで前記カバー
部材１０を交換できる。
【００３０】本実施例によれば、基板用カセットにおけ
るサイドレール１が、複数の基板を隔離するためのリブ
２２及びこのリブ２２間に形成された仕切り溝２３を備
えた仕切板２０と、リブ２２を被覆するリブ被覆部１２
及び仕切り溝２３を被覆する溝被覆部１３を備えたカバ
ー部材１０を含んで構成されるので、カバー部材１０の
基体１１側に帯電した静電気は仕切板２０に放電され、
周辺装置への静電気による悪影響を防止できる。
【００３１】又前記カバー部材１０と仕切板２０は、後
述のように樹脂部材により一体的に形成してもよく、こ
の場合にはカバーユニット３の製作は一層容易に行なえ
る。
【００３２】尚、固定手段は、図２１及び図２２に示す
ように、カバー部材２１０の頂面に形成された下向き凸
の凸条２１５と、仕切板２２０の頂面に形成され前記カ
バー部材２１０の凸条２１５に嵌入して凹凸結合する凹
溝２２５と、前記カバー部材２１０の凸条２１５と前記
仕切板２２０の凹溝２２５とを凹凸結合したときに形成
される前記カバー部材２１０の下向き凸の凸条２１５に
嵌入する棒状部材２５０とで構成してもよい。符号２１
１は基体、２１２はリブ被覆部、２１３は溝被覆部、２
１４はビス取付孔、２２２はリブ、２２３は仕切り溝、
２２４は貫通孔である。この例によれば、仕切板２２０
の凹溝２２５にカバー部材２１０の凸条２１５を嵌入
し、前記凸条２１５に棒状部材２５０を嵌入するワンタ
ッチの作業でカバー部材２１０を前記仕切板２２０に固
定できる。
【００３３】次に、基板用カセットにおけるサイドレー
ルの他の例を図２３及び図２４に示す。図２３は基板用
カセットにおけるサイドレールの構成を示す分解斜視
図、図２４は図２３に示すサイドレールを組み込んだ状
態の基板用カセットの斜視図である。先ず、サイドレー
ル１０１を組み込んで構成した基板用カセット１０２に
ついて説明すると、基板用カセット１０２は、相対向す
る側壁１４１ａ，１４１ｂと、該側壁１４１ａ，１４１
ｂを結合する端壁等の結合手段１６０，１６５と、複数
の基板を隔離して収容するため前記側壁１４１ａ，１４
１ｂに形成され前記側壁１４１ａ，１４１ｂの一部を構
成するリブ１４２と、該リブ間に形成された仕切り溝１
４３とを備えてなり、前記側壁１４１ａ，１４１ｂと前
記結合手段１６０，１６５とで方形状に形成されてい
る。そして、基板用カセット１０２に組み込むサイドレ
ール１０１は、前記リブ１４２を被覆するリブ被覆部１
１２と、このリブ被覆部１１２間に形成され前記仕切り
溝１４３を被覆する溝被覆部１１３とを備え、カバー単
体１１０を構成して、前記基板用カセット１０２の前記
側壁１４１ａ，１４１ｂに被着する。
【００３４】カバー単体１１０として構成された前記サ
イドレール１０１は、図１に示すカバー部材１０と同形
状を有しており、基体１１１の一面に前記リブ被覆部１
１２が突設され、該リブ被覆部１１２間に連設して前記
溝被覆部１１３が形成され、前記リブ被覆部１１２と溝
被覆部１１３を樹脂部材により一体的に形成して構成さ
れている。又前記リブ被覆部１１２の上面は前記側壁１
４１ａ，１４１ｂに形成したリブ１４２の傾斜面に対応
した傾斜面１１２ａとして形成され、基体１１１の上端
面の左右両側には前記基板用カセット１０２の頂面に設
けた雌ねじ部に対応した切欠１１５ａ，１１５ｂが形成
されている。かくして、前記サイドレール１を構成する
カバー単体１１０は、前記基板用カセット１０２の側壁
１４１ａ，１４１ｂの内側壁面に被着され、両者は固定
手段１３０により一体的に取付け固定される。前記固定
手段１３０を取り外すことでカバー単体１１０を基板用
カセット１０２から取り外すことができる。尚、前記固
定手段１３０は、図１に示すものと同様のものであり、
前記基板用カセット１０２と前記カバー単体１１０の各
上端部に配設された取付孔１３２ａ，１３２ｂを有する
押え板１３１と、該押え板１３１の取付孔１３２ａ，１
３２ｂに挿通し、前記基板用カセット１０２と前記カバ
ー単体１１０とを固定する取付ビス１３３ａ，１３３ｂ
より構成される。符号１４７はピン、１４８はピン止
孔、１４９はストッパ、１５０ｂはストッパ保持部、１
５１は脚片、１５２は切欠である。
【００３５】本実施例によれば、基板用カセットにおけ
るサイドレール１０１が、リブ１４２を被覆するリブ被
覆部１１２とリブ被覆部１１２間に形成され仕切り溝１
４３を被覆する溝被覆部１１３とを備えたカバー単体１
１０として構成されるので、カバー単体１１０の素材を
選別使用し、基板との接触によって発生するパーティク
ルが少なくかつ重金属による基板への汚染を回避でき
る。また、カバー単体１１０のみを樹脂で製作すること
によりアウターガスの発生を少量に押えられ、基板への
悪影響を防止できる。
【００３６】（基板用カセットの説明）次に、本発明に
係る基板用カセットについて説明する。基板用カセット
２は上述のサイドレール１を主要部として構成され、窓
部４３ａ，４３ｂを備えた相対向する側壁４１ａ，４１
ｂと、該側壁４１ａ，４１ｂを結合する端壁等の結合手
段６０，６５を備えてなり、前記窓部４３ａ，４３ｂは
前記サイドレール１により閉塞される。
【００３７】前記側壁４１ａ，４１ｂは、前記サイドレ
ール１を取付ける前記窓部４３ａ，４３ｂを備えた枠体
４２ａ，４２ｂを含んで構成されている。又前記枠体４
２ａ，４２ｂは、その上半部に上方が開放した窓部４３
ａ，４３ｂを備えており、前記枠体４２ａ，４２ｂにお
ける窓部４３ａ，４３ｂを囲成する部位には前記サイド
レールを嵌込む取付段部４４ａ，４４ｂが形成されてい
る。又この取付段部４４ａ，４４ｂの両側端の中央には
前記サイドレール１取付け用の取付孔４５ａ，４５ｂが
穿設されている（図６参照）。前記サイドレール１を前
記側壁４１ａ，４１ｂに取付ける場合には、一体化した
前記カバー部材１０と仕切板２０を前記窓部４３ａ，４
３ｂに嵌込み、取付ビス４６ａ（図２及び図３参照）を
仕切板２０に設けた貫通孔２４及びカバー部材１０に設
けたビス取付孔１４に挿通し、更に前記窓部４３ａ，４
３ｂに設けた取付孔４５ａ，４５ｂで螺合し固定する。
又前記サイドレール１は、取付ビス４６ａの螺合を解く
ことにより、枠体４２ａ，４２ｂから取り外すことがで
きる。又前記枠体４２ａ，４２ｂにおける前記窓部４３
ａ，４３ｂの下方の内側面側には、基板８０を収容した
際に基板８０を所定位置に止める棒状のストッパ４９を
保持するためストッパ保持部５０ａ，５０ｂが形成され
ている（図７，図９参照）。そして前記枠体４２ａの頂
面には基板用カセット２を積み重ねたときに寄与するピ
ン４７が、また枠体４２ｂの頂面にはピン止孔４８が形
成されている。更に前記枠体４２ａ，４２ｂは、底面に
カセット位置決め用の切欠５２が形成された脚片５１を
備えている。このような構成とすることで、基板用カセ
ット２をセットする場合にステージの所定位置に精度よ
くセットでき、また収納された基板８０は高精度で等間
隔に配列できる。なお、前記枠体４２ａ，４２ｂは、樹
脂又は剛性のある金属により形成できるため、枠体４２
ａ，４２ｂを精度よく簡単に製作できる。
【００３８】前記結合手段６０，６５は、相対向する側
壁４１ａ，４１ｂの一端側を固定する端壁６０と、前記
側壁４１ａ，４１ｂの他端側を固定する固定棒６５とよ
り構成される。前記端壁６０は、上端側６１を断面コ字
形に折り曲げ形成した平板に複数の取付ビス用貫通孔６
２を穿設して形成される（図８参照）。
【００３９】本実施例によれば、基板用カセット２は、
側壁１４１ａ，１４１ｂの窓部４３ａ，４３ｂを閉塞す
るサイドレール１を具備し、このサイドレール１が、複
数の基板を隔離するためのリブ２２及びこのリブ２２間
に形成された仕切り溝２３を備えた仕切板２０と、リブ
２２を被覆するリブ被覆部１２及び仕切り溝２３を被覆
する溝被覆部１３を備えたカバー部材１０を含んで構成
されるので、サイドレール１のみを加工性の優れた素材
を選別して製作することにより、基板用カセット２全体
の形状寸法の安定化が図れ、円滑に基板の出し入れを行
なえる基板用カセットを提供できる。また、基板用カセ
ット２が大型化した場合にも形状の歪み、寸法誤差のな
いものを提供できる。
【００４０】続いて、基板用カセットにおけるサイドレ
ールのもう一つ他の例と、このサイドレールを組み込ん
で構成した基板用カセットを図２５乃至図３５に示す。
【００４１】図２５に示す実施例では、サイドレール３
０１は、耐摩耗性、耐熱性を考慮し、カバー部材と仕切
板を樹脂部材により一体成形しており、このサイドレー
ル３０１が図２８に示す基板用カセット３０２の側壁３
４１ａ，３４１ｂを閉塞している。
【００４２】サイドレールを樹脂部材により一体成形す
る場合，素材としては、耐摩耗性の点からはポリエーテ
ルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）をアロイ化しさらにカー
ボンファイバー等によって表面抵抗をおとし静電気の耐
電を極力排除し、かつ耐熱性の高い樹脂を用いることが
好ましく、半導体の処理工程、例えば拡散、ＣＶＤ、イ
オンインプランテーション後の熱いウエハーの挿入若し
くはフォトレジストのベーキングの工程等の諸々のプロ
セスに、このサイドレールを一貫してそのまま用いるこ
とが可能となる。
【００４３】前記サイドレール３０１は、複数の基板を
隔離して収容するため側壁面に形成したリブ３２２と、
このリブ３２２間に形成した仕切り溝３２３を備えてい
る。前記リブ３２２は平板部３２１の一側面より突設し
て形成され、前記仕切り溝３２３は前記リブ３２２に連
設して形成されている。
【００４４】又前記サイドレール３０１の左右両側に
は、後述の基板用カセット３０２に形成されたガイド３
４４ａ，３４４ｂにより案内され装着される耳部３１０
ａ，３１０ｂが形成されている。この耳部３１０ａ，３
１０ｂの図２５における上下方向には、取付ビス３４６
ａ，３４６ｂ（図３０参照）が挿通する取付孔３１５
ａ，３１５ｂと、この取付孔３１５ａ，３１５ｂに連通
してＯリング３４７ａ，３４７ｂ（図２７及び図３０参
照）を収容する凹所３３３，３３４が形成されている。
又前記取付孔３１５ａ，３１５ｂを囲成して段部３１４
ａ，３１４ｂがそれぞれ形成されている。この段部３１
４ａ，３１４ｂは、取付ビス３４６ａ，３４６ｂにより
サイドレール３０１を基板用カセット３０２の側壁に取
付けるときに、前記サイドレール３０１と基板用カセッ
ト３０２の側壁との間に若干の隙間を生じさせて前記サ
イドレール３０１の耳部３１０ａ，３１０ｂ全面が基板
用カセット３０２の側壁に接触することを回避し、かつ
後述のように側壁３４１ａ，３４１ｂと結合手段３６
０，３６５は真空中でのろう付によって固定されている
ので結合部分に隙間をなくして、カセットをスピンドラ
イによって乾燥させる際の水抜けを容易にするととも
に、赤外線を利用しての乾燥を短時間で行えるように配
慮している。
【００４５】次に図２８に、図２５に示すサイドレール
３０１を組み込んで構成した基板用カセットを示す。こ
の基板用カセット３０２は、前述の実施例と同様に、窓
部３４３ａ，３４３ｂが形成された相対向する側壁３４
１ａ，３４１ｂと、該側壁３４１ａ，３４１ｂを結合す
る端壁等の結合手段３６０，３６５を具備しており、前
記窓部３４３ａ，３４３ｂは前記サイドレール３０１に
よって閉塞される（図２８乃至図３０参照）。
【００４６】前記側壁３４１ａ，３４１ｂは、前記サイ
ドレール３０１を取付ける前記窓部３４３ａ，３４３ｂ
が形成された枠体３４２ａ，３４２ｂを含んで構成さ
れ、この枠体３４２ａ，３４２ｂの内側であって前記窓
部３４３ａ，３４３ｂの左右両側には、前記サイドレー
ル３０１の着設を案内するガイド３４４ａ，３４４ｂが
上下方向に走行して形成されている。又このガイド３４
４ａ，３４４ｂには前記サイドレール３０１を取付ける
有底のねじ孔３４５ａ，３４５ｂが螺刻して形成してあ
る（図３２参照；ねじ孔３４５ｂはねじ孔３４５ａと同
位置に形成されているが図面上は隠れてあらわれな
い）。
【００４７】前記サイドレール３０１を前記側壁３４１
ａ，３４１ｂに取付ける場合、サイドレール３０１を前
記窓部３４３ａ，３４３ｂの上方開口部３０３よりガイ
ド３４４ａ，３４４ｂに沿って挿入し（図３１参照）、
取付ビス３４６ａ，３４６ｂをＯリング３４７ａ，３４
７ｂを介してサイドレール３０１に設けた凹所３３３．
３３４に挿通し、前記窓部３４３ａ，３４３ｂに設けた
有底のねじ孔３４５ａ，３４５ｂで螺合し固定する。
【００４８】前記枠体３４２ａ（３４２ｂ）の頂面に
は、基板洗浄装置の挟持手段（図示せず）によって挟持
されるフランジ３４８ａ（３４８ｂ）が形成されてい
る。又前記枠体３４２ａ（３４２ｂ）の前記窓部３４３
ａ（３４３ｂ）より下方はやや内側に折曲され、その途
中に、基板用カセット３０２に収容した基板を所定位置
に止めるストッパ３５１を取付ける有底の取付孔３５６
ａ，３５６ｂが螺刻して形成されている（図３０及び図
３２参照；取付孔３５６ａは取付穴３５６ｂと同位置に
形成されているが隠れて図面上はあらわれない）。そし
て前記枠体３４２ａ（３４２ｂ）の底部は、前記枠体の
ガイド３４４ａ（３４４ｂ）の走行面と平行に形成さ
れ、その底面にカセット位置決め用の切欠３５０を設け
た脚片３４９ａ（３４９ｂ）を形成している。
【００４９】このような形状をした前記枠体３４２ａ，
３４２ｂは、押出成形によって得られる長尺部材を所定
長に裁断することにより容易に形成される。この場合、
前記枠体３４２ａ，３４２ｂをアルミニウムで形成する
ことにより基板用カセットを精度よく形成できしかも軽
量化を図ることができる。
【００５０】前記ストッパ３５１は、複数の基板を等間
隔に収容するための欠所３５４を備えた樹脂性の棒状部
材と、両端に貫通孔３５３を備えた芯材３５２とから形
成されている（図３３参照）。このストッパ３５１は、
取付ビス３５５ａ，３５５ｂを前記貫通孔３５３に挿通
し、有底の前記取付孔３５６ａ，３５６ｂに取付けられ
る。
【００５１】又前記結合手段３６０，３６５は、相対向
する側壁３４１ａ，３４１ｂの一端側を固定する端壁３
６０と、前記側壁３４１ａ，３４１ｂの他端側を固定す
る固定板３６５とより構成されている。この端壁３６０
と前記固定板３６５は、前記枠体３４２ａ，３４２ｂと
同様に、押出成形によって得られるアルミニウム製の長
尺部材を所定長に裁断することにより容易に形成され
る。
【００５２】前記端壁３６０の内側面側には、前記側壁
３４１ａ，３４１ｂを固定するため断面略Ｌ字形の突片
３６１ａ，３６１ｂが形成され、また外側面側には作業
ロボットの操作手により掴まれる掴持部３６２ａ，３６
２ｂが形成されている（図２８、図２９及び図３４参
照）。
【００５３】前記固定板３６５の外側面中央には位置決
め用の凸条部３６６が形成されている（図２８、図３０
及び図３５参照）。
【００５４】尚、前記枠体３４２ａ，３４２ｂと前記結
合手段３６０，３６５との結合を強固にするため、前記
枠体３４２ａ，３４２ｂの内壁面には、前記端壁３６０
の突片３６１ａ，３６１ｂの先端が嵌入する第１の凹陥
部３６３ａ，３６３ｂと前記固定板３６５の両端部が嵌
入する第２の凹陥部３６７ａ，３６７ｂがそれぞれ形成
されている（図３０及び図３２参照）。
【００５５】かくして、基板用カセット３０２を製作す
る場合、枠体３４２、端壁３６０、固定板３６５の３つ
の型を用意すればよく、前記端壁３６０の突片３６１
ａ，３６１ｂを前記側壁３４１ａ，３４１ｂの第１の凹
陥部３６３ａ，３６３ｂに嵌入するとともに、前記固定
板３６５の両端を前記側壁３４１ａ，３４１ｂの第２の
凹陥部３６７ａ，３６７ｂに嵌入し、それぞれの結合部
分を真空中でろう付け（例えばニッケルろう付け）する
ことにより、側壁３４１ａ，３４１ｂは結合手段３６
０，３６５に固定される。このように、側壁３４１ａ，
３４１ｂと結合手段３６０，３６５とを、真空ろう付け
によって固定することにより結合部分には隙間がなく、
このためカセットを分解することなく自動カセット洗浄
機による純水洗浄が可能となる（イオンが存在しない D
e Ionized Water （D.I.水）による洗浄が可能とな
る）。
【００５６】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で次の効果を奏する。 本発明に係る基板用カセットにおけるサイドレール
は、複数の基板を隔離するためのリブ及びこのリブ間に
形成された仕切り溝を備えた仕切板と、リブを被覆する
リブ被覆部及び仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えたカ
バー部材を含んで構成されているため、カバー部材の基
体側に帯電した静電気は仕切板に放電され、周辺装置へ
の静電気による悪影響を防止することができる。また、
カバー部材にそりが生じる場合にもそりは仕切板に強制
され、基板を精度よく収容できる 。 又本発明に係る基板用カセットにおけるサイドレール
は、リブを被覆するリブ被覆部とリブ被覆部間に形成さ
れ仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えたカバー単体とし
て構成できるため、サイドレールの素材を選別使用し基
板との接触によって発生するパーティクルが少なくかつ
重金属による基板への汚染を回避できるサイドレールを
提供できる。また、カバー単体のみを樹脂で製作できる
ためアウターガスの発生が少量に押えられ、基板への悪
影響を防止できる。 更に本発明に係る基板用カセットは、側壁の窓部を閉
塞するサイドレールを具備し、このサイドレールが、複
数の基板を隔離するためのリブとこのリブ間に形成され
た仕切り溝とを備えた仕切板と、リブを被覆するリブ被
覆部と仕切り溝を被覆する溝被覆部とを備えたカバー部
材を含んで構成できるため、サイドレールのみを加工性
の優れた素材を選別して製作し、カセット全体の形状寸
法の安定化が図れるので、円滑に基板の出し入れが行な
える基板用カセットを提供できる。また、カセットが大
型化する場合にも、形状の歪み・寸法誤差のない基板用
カセットを提供できる。 サイドレールの耳部に穿設した取付孔に連続して形成
された、Ｏリング収容用の凹所を具備し、サイドレール
を基板用カセットの側壁に取付けるときにこの凹所に収
容されるＯリングによってサイドレールと取付ビスの隙
間が封じられ、取付ビスが挿通する取付孔への浸水が阻
止されるので、カセットを分解することなく純水による
洗浄が可能となる。 取付ビスによってサイドレールをカセットの側壁に取
付けるときに、サイドレールの耳部に形成された段部が
側壁に接触しサイドレールの耳部全面が基板用カセット
の側壁に接触しない構成に形成され、前記サイドレール
と側壁との間に隙間が生じるため、かつ側壁と結合手段
は真空中でのろう付によって固着されているので結合部
分に隙間がないため、カセットをスピンドライによって
乾燥させる際に水抜けが容易に行われ、赤外乾燥を利用
しての乾燥も短時間で済ませることができる。
【図面の簡単な説明】
【図 １】本発明に係る基板用カセットにおけるサイド
レールの構成要素を示す分解斜視図である。
【図 ２】本発明に係る基板用カセットを示し、図１に
示すサイドレールを組み込んで構成した基板用カセット
の斜視図である。
【図 ３】本発明に係る基板用カセットの構成要素を示
す分解斜視図である。
【図 ４】図２に示す基板用カセットの一方のサイドレ
ールを取り外した状態を示す斜視図である。
【図 ５】図２に示す基板用カセットからサイドレール
を取り外した状態を示す斜視図である。
【図 ６】基板用カセットを構成している側壁を外側か
らみた側壁の正面図である。
【図 ７】基板用カセットを構成している側壁を内側か
らみた側壁の正面図である。
【図 ８】基板用カセットの構成要素である端壁を示す
斜視図である。
【図 ９】基板用カセットの側面図である。
【図１０】基板用カセットの平面図である。
【図１１】図１に示すサイドレールの構成要素であるカ
バー部材の要部拡大斜視図である。
【図１２】図１に示すサイドレールの構成要素である仕
切板の要部拡大斜視図である。
【図１３】図１に示すサイドレールの構成要素である仕
切板にカバー部材を被覆した状態を示す要部拡大斜視図
である。
【図１４】図１に示すサイドレールの構成要素であるカ
バー部材の正面図である。
【図１５】カバー部材の平面図である。
【図１６】図１４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１７】図１４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図１８】サイドレールの構成要素である仕切板の正面
図である。
【図１９】仕切板の平面図である。
【図２０】仕切板の左側面図である。
【図２１】サイドレールの固定手段の変形例を示す分解
斜視図である。
【図２２】図２１におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図２３】本発明に係る基板用カセットにおけるサイド
レールの他の例を示す分解斜視図である。
【図２４】図２３に示すサイドレールを一方の側壁の組
み込んで構成して基板用カセットの斜視図である。
【図２５】本発明に係る基板用カセットにおけるサイド
レールのもう一つ他の例を示す斜視図である。
【図２６】図２５に示すサイドレールの裏面側を示す斜
視図である。
【図２７】図２５に示すサイドレールの要部断面拡大略
図である。
【図２８】本発明に係る基板用カセットの他の例を示
し、図２５に示すサイドレールを組み込んで構成した基
板用カセットの斜視図である。
【図２９】図２８に示す基板用カセットを端壁側から見
た斜視図である。
【図３０】図２８に示す基板用カセットの構成要素を示
す分解斜視図である。
【図３１】基板用カセットに形成されるサイドレール挿
入用の開口部の要部拡大斜視図である。
【図３２】基板用カセットの構成要素である枠体を示す
斜視図である。
【図３３】基板用カセットの構成要素であるストッパを
示す斜視図である。
【図３４】基板用カセットの構成要素である端壁を示す
斜視図である。
【図３５】基板用カセットの構成要素である固定板を示
す斜視図である。
【符合の説明】
１ サイドレール ２ 基板用カセット ３ カバーユニット １０ カバー部材 １１ 基体 １２ リブ被覆部 １３ 溝被覆部 １４ ビス取付孔 ２０ 仕切板 ２１ 平板部 ２２ リブ ２３ 仕切り溝 ２４ 貫通孔 ３０ 固定手段 ３１ 押え板 ３２ａ ビス取付孔 ３２ｂ ビス取付孔 ３３ａ 取付ビス ３３ｂ 取付ビス ４１ａ 側壁 ４１ｂ 側壁 ４２ａ 枠体 ４２ｂ 枠体 ４３ａ 窓部 ４３ｂ 窓部 ４５ａ 取付孔 ４５ｂ 取付孔 ５１ 脚片 ５２ 切欠 ６０ 端壁 ６５ 固定棒 ８０ 基板 １０１ サイドレール １０２ 基板用カセット １１０ カバー単体 １１１ 平板部 １１２ リブ被覆部 １１３ 溝被覆部 １３０ 固定手段 １３１ 押え板 １４１ａ 側壁 １４１ｂ 側壁 ２１０ カバー部材 ２１５ 凸条 ２２０ 仕切板 ２２５ 凹溝 ２５０ 棒状部材 ３０１ サイドレール ３０２ 基板用カセット ３１０ａ 耳部 ３１０ｂ 耳部 ３１４ａ 段部 ３１４ｂ 段部 ３１５ａ 取付孔 ３１５ｂ 取付孔 ３２２ リブ ３２３ 仕切り溝 ３３３ 凹所 ３３４ 凹所 ３４１ａ 側壁 ３４１ｂ 側壁 ３４２ａ 枠体 ３４２ｂ 枠体 ３４３ａ 窓部 ３４３ｂ 窓部 ３４４ａ ガイド ３４４ｂ ガイド ３４５ａ ねじ孔 ３４５ｂ ねじ孔 ３４６ａ 取付ビス ３４６ｂ 取付ビス ３４７ａ Ｏリング ３４７ｂ Ｏリング ３４８ａ フランジ ３４８ｂ フランジ ３４９ａ 脚片 ３４９ｂ 脚片 ３５０ 切欠 ３５１ ストッパ ３５２ 芯材 ３５３ 貫通孔 ３５５ａ 取付ビス ３５５ｂ 取付ビス ３５６ａ 取付孔 ３５６ｂ 取付孔 ３６０ 端壁 ３６１ａ 突片 ３６１ｂ 突片 ３６２ａ 掴持部 ３６２ｂ 掴持部 ３６３ａ 第１の凹陥部 ３６３ｂ 第１の凹陥部 ３６５ 固定板 ３６６ 凸条部 ３６７ａ 第２の凹陥部 ３６７ｂ 第２の凹陥部

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】方形状に形成した基板用カセットを構成し
    ている側壁を閉塞するサイドレールであって、 複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリ
    ブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板と、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形
    成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えた前記仕
    切板被覆用のカバー部材を含んで構成されている基板用
    カセットにおけるサイドレール。
  2. 【請求項２】相対向する側壁と、該側壁を結合する端壁
    等の結合手段を備え、前記側壁と結合手段とで方形状に
    形成した基板用カセットの前記側壁に設けた窓部を閉塞
    するサイドレールであって、 前記サイドレールが、 複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリ
    ブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板と、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形
    成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備え、前記リ
    ブ被覆部と溝被覆部が樹脂部材により一体的に形成され
    ている前記仕切板被覆用のカバー部材とを含み、 前記仕切板とカバー部材とでカバーユニットを構成して
    いる基板用カセットにおけるサイドレール。
  3. 【請求項３】前記仕切板とカバー部材が、着脱自在に形
    成されている請求項１又は２記載の基板用カセットにお
    けるサイドレール。
  4. 【請求項４】前記仕切板とカバー部材が、樹脂部材によ
    り一体成形されている請求項１又は２記載の基板用カセ
    ットにおけるサイドレール。
  5. 【請求項５】前記仕切板とカバー部材が、上端部に配設
    した固定手段により一体的に取付け固定されている請求
    項１乃至３いずれか一項記載の基板用カセットにおける
    サイドレール。
  6. 【請求項６】前記固定手段が、 前記仕切板と前記カバー部材の各上端部に配設した取付
    孔を有する押え板と、 該押え板の取付孔に挿通し、前記仕切板と前記カバー部
    材とを固定する取付ビスとから構成されている請求項５
    記載の基板用カセットにおけるサイドレール。
  7. 【請求項７】前記固定手段が、 前記カバー部材の頂面に形成された下向き凸の凸条と、 前記仕切板の頂面に形成され前記カバー部材の凸条に嵌
    入して凹凸結合する凹溝と、 前記カバー部材の凸条と前記仕切板の凹溝とを凹凸結合
    したときに形成される前記カバー部材の下向き凸の凸条
    に嵌入する棒状部材とから構成されている請求項５記載
    の基板用カセットにおけるサイドレール。
  8. 【請求項８】前記仕切板が、樹脂又は剛性のある金属に
    より形成されている請求項１、２、３、５、６、７いず
    れか一項記載の基板用カセットにおけるサイドレール。
  9. 【請求項９】複数の基板を隔離して収容するためのリブ
    と、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた側壁を有する
    基板用カセットの内側壁面に被着するサイドレールであ
    って、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、 該リブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被
    覆部を備え、 カバー単体を構成している基板用カセットにおけるサイ
    ドレール。
  10. 【請求項１０】相対向する側壁と、該側壁を結合する端
    壁等の結合手段と、複数の基板を隔離して収容するため
    前記側壁に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り
    溝を備え、前記側壁と結合手段とで方形状に形成される
    基板用カセットに被着するサイドレールであって、 前記サイドレールが、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、 該リブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被
    覆部を備え、 前記リブ被覆部と溝被覆部を樹脂部材により一体成形
    し、前記側壁に被着して基板用カセットの内側壁面を形
    成する基板用カセットにおけるサイドレール。
  11. 【請求項１１】相対向する側壁と、該側壁を結合する端
    壁等の結合手段と、複数の基板を隔離して収容するため
    前記側壁に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り
    溝を備え、前記側壁と結合手段とで方形状に形成される
    基板用カセットの前記側壁に被着するサイドレールであ
    って、 前記サイドレールが、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、 該リブ被覆部間に形成され前記仕切り溝を被覆する溝被
    覆部を備え、 前記リブ被覆部と溝被覆部とを樹脂部材により一体的に
    形成し、前記リブと仕切り溝を備え前記側壁の一部を構
    成する仕切板を被覆するカバー単体を構成している基板
    用カセットにおけるサイドレール。
  12. 【請求項１２】窓部を備えた相対向する側壁と、 該側壁を結合する端壁等の結合手段と、 前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールを具備し、 前記サイドレールが、 複数の基板を隔離して収容するため前記側壁に形成した
    リブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板
    と、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形
    成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備えた前記仕
    切板被覆用のカバー部材とを含んで構成されている基板
    用カセット。
  13. 【請求項１３】窓部を備えた相対向する側壁と、 該側壁を結合する端壁等の結合手段と、 前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールを具備し、 前記サイドレールが、 複数の基板を隔離して収容するため前記側壁に形成した
    リブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備えた仕切板
    と、 前記リブを被覆するリブ被覆部と、該リブ被覆部間に形
    成され前記仕切り溝を被覆する溝被覆部を備え、前記リ
    ブ被覆部と溝被覆部を樹脂部材により一体的に形成した
    前記仕切板被覆用のカバー部材を含んで構成されている
    基板用カセット。
  14. 【請求項１４】前記側壁が、前記サイドレールを取付け
    る窓部を備えた枠体を含んで構成されている請求項１２
    又は１３記載の基板用カセット。
  15. 【請求項１５】前記枠体が、底面にカセット位置決め用
    の切欠が形成された脚片を備えている請求項１２乃至１
    ４いずれか一項記載の基板用カセット。
  16. 【請求項１６】前記枠体が、樹脂又は剛性のある金属に
    より形成されている請求項１４又は１５記載の基板用カ
    セット。
  17. 【請求項１７】方形状に形成した基板用カセットを構成
    している側壁を閉塞するサイドレールであって、 複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリ
    ブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備え、前記リブが
    平板部の一側面より突設して形成され、前記仕切り溝が
    前記リブに連設して形成されている基板用カセットにお
    けるサイドレール。
  18. 【請求項１８】窓部が形成された相対向する側壁と、該
    側壁を結合する端壁等の結合手段を備え、前記側壁と結
    合手段とで方形状に形成した基板用カセットの前記窓部
    を閉塞するサイドレールであって、 前記サイドレールが、 複数の基板を隔離して収容するため側壁面に形成したリ
    ブと、該リブ間に形成した仕切り溝を備え、前記リブが
    平板部の一側面より突設して形成されるとともに、前記
    仕切り溝が前記リブに連設して形成され、かつその両側
    に基板用カセットの前記窓部に形成されたガイドにより
    案内される耳部が形成されている基板用カセットにおけ
    るサイドレール。
  19. 【請求項１９】前記耳部には、取付ビスが挿通する取付
    孔が形成されているとともに、該取付孔に連通してＯリ
    ングを収容する凹所が形成され、かつ前記取付孔を囲成
    して段部がそれぞれ形成されている請求項１８記載の基
    板用カセットにおけるサイドレール。
  20. 【請求項２０】窓部が形成された相対向する側壁と、 該側壁を結合する端壁等の結合手段と、 前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールを具備し、 前記側壁が、前記サイドレールを取付ける前記窓部が形
    成された枠体を含んで構成され、この枠体の内側であっ
    て前記窓部の左右両側には、前記サイドレールの着設を
    案内するガイドが上下方向に走行して形成され、 前記サイドレールが、複数の基板を隔離して収容するた
    め側壁面に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り
    溝を備え、前記リブが平板部の一側面より突設して形成
    されるとともに、前記仕切り溝が前記リブに連設して形
    成され、かつその両側に前記枠体に形成された前記ガイ
    ドにより案内される耳部が形成されている基板用カセッ
    ト。
  21. 【請求項２１】窓部が形成された相対向する側壁と、 該側壁を結合する端壁等の結合手段と、 前記側壁の窓部を閉塞するサイドレールと収容する基板
    を所定位置に止めるストッパを具備し、 前記側壁が、前記サイドレールを取付ける前記窓部が形
    成された枠体を含んで構成され、この枠体の内側であっ
    て前記窓部の左右両側には、前記サイドレールの着設を
    案内するガイドが上下方向に走行して形成され、 前記サイドレールが、複数の基板を隔離して収容するた
    め側壁面に形成したリブと、該リブ間に形成した仕切り
    溝を備え、前記リブが平板部の一側面より突設して形成
    されるとともに、前記仕切り溝が前記リブに連設して形
    成され、かつその両側に前記枠体に形成された前記ガイ
    ドにより案内される耳部が形成されている基板用カセッ
    ト。
  22. 【請求項２２】前記ガイドには、前記サイドレールを取
    付ける有底のねじ孔が螺刻して形成されている請求項２
    ０記載の基板用カセット。
  23. 【請求項２３】前記枠体の頂面にはフランジが形成さ
    れ、前記枠体の前記窓部より下方はやや内側に折曲さ
    れ、その途中に前記ストッパを取付ける有底の取付孔が
    螺刻して形成され、そして前記枠体の底部は、前記枠体
    のガイドの走行面と平行に形成され、その底面にカセッ
    ト位置決め用の切欠を設けた脚片を形成している請求項
    ２１記載の基板用カセット。
  24. 【請求項２４】前記結合手段が、相対向する側壁の一端
    側を固定する端壁と、前記側壁の他端側を固定する固定
    板とより構成され、前記端壁の内側面側には、前記側壁
    を固定するため断面略Ｌ字形の突片が形成され、また前
    記端壁面の外側面側には掴持部が形成されている請求項
    ２０記載の基板用カセット。
  25. 【請求項２５】前記枠体の内壁面には、前記端壁の突片
    の先端が嵌入する第１の凹陥部と前記固定板の両端部が
    嵌入する第２の凹陥部がそれぞれ形成されている請求項
    ２４記載の基板用カセット。
  26. 【請求項２６】前記枠体と前記端壁と前記固定板が、押
    出成形によって得られるアルミニウム製の長尺部材を所
    定長に裁断することにより形成されるている請求項２４
    記載の基板用カセット。
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