JPS59199477A

JPS59199477A - ウエハ−ボツクス

Info

Publication number: JPS59199477A
Application number: JP58072701A
Authority: JP
Inventors: 公江　清彦; 山口　順; 昇久保; 浩松本; 杉本　衛; 福村　圭司
Original assignee: Kurashiki Spinning Co Ltd; Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Kurashiki Spinning Co Ltd; Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1983-04-25
Filing date: 1983-04-25
Publication date: 1984-11-12
Also published as: EP0123284B1; EP0123284A1; DE3462653D1; US4574950A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 γ）技術分野本発明は多数枚の半導体単結晶ウェハーとくに化合物半
導体単結晶ウェハーを収納するウェハーボックスに関す
る。

（イ）従来技術半導体単結晶ウェハーは清浄に保たねばならないので容
器内に収納して保管され、又輸送されている。

従来半Ｓ体単結晶ウェハーとしてはシリコーンウェハー
がよく知られているが、該シリコーンウェハーは一般に
円形形状をとり、又その寸法も標準化されているので、
該シリコーンウニノλ−を収納する容器の形状や寸法に
ついての標準化が可能であり、多数枚のウエノ１−を収
納する容器として例えは第７図に示すようなウェハ−ボ
ックスが知られている。

即ち、上方が開口された直方体のウエノ・−ボックス本
体の長手方向の両側面に多数の半円状の細い切溝を等間
隔に設けるとともに、その底面に弾力性のある溝付支持
部材を配設している。

ウェハーは上記切溝に沿って挿入され、その側部が該切
溝によって保持されるとともに、その下部は上記溝付支
持部材によって支持される。又その上部は該ウェハーボ
ックス本体を被蓋する蓋の下面に設けられた弾力性のあ
る溝付支持部材によって支持されるよう構成されている
。

即ち、上記の如く形状や寸法が標準化されているシリコ
ーンウェハーにおいては例示したウェハ−ボックスは汎
用性があり、又シリコーンウニ／＼−はある程度強度が
あるので該ウェハーボックスにおけるウェハー支持方法
を用いても、ウエノ＼−の収納時や取出時あるいは輸送
時においてウエノλ−が破損する等のトラブルが発生す
ることがなく実用性のあるものであった。

さて、近時半導体単結晶ウェハーとして各種の化合物半
導体単結晶ウニＩ・−が開発されてきているが、これら
の化合物半導体単結晶ウェハーは一般に機械的強度が弱
くシリコーンウェハーに比して極めて割れ易いという欠
点かある。

又、結晶の成分が異るので結晶成長の方法、条件も異り
、又多様なデバイスの製造のために利用されるからイン
ゴットからウェハーに切り出す条件も異る等のため寸法
が標準化されておらず多様な形状、寸法のものかつくら
れている。

更に、化合物半導体単結晶ウェハーはシリコーンウェハ
ーと同等乃至それ以上の清浄度が要求される。従ってそ
の保管に当っては容器内に収納されねばならないか、割
れ易い、寸法、形状が多様である等の理由から従来のシ
リコーンウエノ＼−用つエバーボックスでは対応し難く
なった。

即ち、ウエノ＼−の形状、寸法番こ応じて異るウェハー
ボックスを用し）る必要力≦ある＋ｉ力）りでなく、従
来のウニ／”１−ボックス番と対応する形状、寸法を有
する化合物半導体単結晶ウエノ・−であっても収納時、
取出時あるいは輸送時１こおし）で破損するという事故
が発生することカダ判明した。

このため該化合物半導体単結晶ウエノ＼−（ま従来知ら
れている多数枚収納用ウェハ−ボックスを用いることな
く１枚ずつ薄し）皿型のウェハ−ボックスに収納して保
管し、又人手（こよって運搬する等極めて非能率的な手
段によってし）るの力Ｓ現状である。

（つ）　　目　　　　　　的本考案は、多数枚のウエノλ−をその形状や寸法に応じ
て収納することかでき、力）つとくシこ１又納すべきウ
エノ＼−が化合物半導体結晶ウエノλ−である場合にお
いても、収納時、取出時および輸送時。

（とくに郵送時）におし１で該ウニ／Ｓ−を破（員せし
めることのないウェハ−ボックスを提供−１−ることを
目的とするものである。

（１）構　成本考案になるウェハーボックスは基本的に下記のように
構成される。

即ち、直方体からなるウェハ−ボックス本体の少なくと
も一側の内側面に多数の竪溝を設けて収納されるウェハ
ーの一方の側部を保持するとともに、他の側部は当該ウ
エノ１−の寸法に対応する位置に着脱自在に差込まれた
少なくとも一面に多数の竪溝を有する固定板の竪溝によ
って保持する。

上記内側面と固定板との間隔は、該内側面と対向しない
両面に設けられた多くの竪溝に対する固定板の差込位置
を変えることにより調節する。

又、上記内側面と固定板との間のウニ／Ｓ−ボックス本
体の底部及び上部に緩衝材を配設し、当該ウェハーの下
部及び上部を保持する。

該緩衝材は当該ウエノ１−の寸法に応じてその厚みや幅
を変え、その厚みは被蓋されたとき該緩衝材が軽く圧縮
される程度とする。

又上記固定板も被蓋されたとき該蓋体の内面に軽く接触
する程度のものを用いる。

以下実施例により本考案を詳しく説明する。

第１図はウェハーボックス本体の斜視図、第２図は蓋の
斜視図である。

オ）実施例第１図において、１は直方体状（箱形）のプラスチック
製ウェハーボックス本体で、底板部２、長手方向の側板
部３，３、前後の端板部４，４により三面が囲まれ、」
１方は開［コされている。ウェハーはこの開口部５から
ウェハーボックス本体１内に収納される。

長手方向の側板部３，３の内面には、等間隔て三角柱形
状の竪支持材６．６．・・・・・が多数平行に並設され
ており、又端板部４，４の内面にも三角柱形状の竪支持
材７，７．・・・・・が平行に並設されている。

上記竪支持部材６，７は別部材で作って側板部又は端板
部の内面に接着してもよいが、射出成型技術によれはつ
、エバーボックス本体１と一体的に成形することかでき
る。

８は差込固定板で、ウェハーボックス本体１の高さにほ
ぼ等しい高さを有する平板からなりその両端は上記竪支
持材７，７．・・・・・によって構成される固定板差込
溝１２内に挿入されるべく三角柱形状をなしている。又
この差込固定板８の少なくとも片面には上記竪支持材６
，６．・・旧・と同形状の竪支持材９，９．・・・・が
竪支持材６，６．・・川と同じピッチで設けられている
。

ウェハーは上記竪支持材６，６．・・・・・によって構
成されるウェハー差込溝１０と差込固定板８を固定板差
込溝１２内に挿入してウェハーボックス本体１にセット
とした上記溝１０に対向する位置に生じる竪支持材９，
９．・・・・・によって構成されるウェハー差込溝１１
に差込まれ、当該ウェハーの両側部が保持される。

次ニウエハーをウェハーボックス内に収納した状態につ
いて説明する。

第３図において１５は円形状のウェハーで、一つのウェ
ハー差込溝１０と１１とに一枚のウェハー１５が立てて
差込まれ竪支持材６，９によって支持されている。

ウェハー１５の上下にはポリウレタンフォーム等の軟質
発泡体からなる緩衝材１６．１７が配設されている。該
緩衝材１６．１７は直方体形状で、」二記竪支持材６．
９の先端間間隔とほぼ等しい短辺と、上記両側の竪支持
材７，７の先端間間隔とほぼ等しい長辺を有している。

又その厚みはウェハーボックス本体１の高さからウェハ
ー１５の高さを減じた値とほぼ等しい値で適宜按分すれ
ばよい。

上記の如く緩衝材１６．１７の大きさは収納すべきウェ
ハー１５によって変るが、寸法の異なった緩衝材１６．
１７の作成は極めて簡単で問題とするに足りない。

なお容器内の清浄度を保つため、使用する緩衝材によっ
てはビニール袋等で封着したものを用いるのが好ましい
。

１３はウェハーボックス本体１の開口部５を閉塞する蓋
体で、図示しない固定手段でウェハ−ボックス本体１の
上縁部に密着して固定される。

なお蓋体１３−の内面は平面状をなし、ウェハーボック
ス本体１に被蓋した際、該平面により上記緩衝材１６お
よび差込固定板８を軽く下方に圧するようにしている。

さて本発明になるウェハーボックスは上述の如く構成さ
れているので、第４図に示す如く収納す−べきウェハー
１５の寸法が大きくなっても差込固定板８の固定板差込
溝１２に対する差込位置を変えることにより同一のウェ
ハーボックスを使用することができ第３図に示すと同様
のウェハ一枚数を収納することができる。

なお第５図および第６図は変形実施例を示すものてあｅ
〕、第５図は差込固定板８を２個用いた例、第６図は差
込固定板８の両面にウェハー差込溝１１を設けた例であ
る。

これらの変形実施例ではウェハーボックス本体１の両側
板部３，３にウェハー差込溝１０を設けておくことが必
要となるが、何れの実施例を採用するかは当業者が適宜
決定すべき事項である。

（力）効　果本発明によれは、差込固定板８の差込位置を適宜変更し
、又上下の緩衝材の寸法を適宜変更することにより、ウ
ェハーボックス本体より大きくならない限りにおいて、
どのような形状、寸法のウェハーであっても同じウェハ
ーボックスに収納することかできる。

又、収納すべきウェハーがＧａＡｓ　、　ＧａＰ　、　
ＩｎＰ　。

ＩｎＳｂ　、　ＩｎＡｓ　、　ＧａＳｂ　　などの化合
物半導体単結晶ウェハーであっても、これを破損させる
ことかない。

なお、実施例では円型ウェハーを図示したが、とくにウ
ェハーボックスへの収納時あるいは取出時に破損し易い
のは従来のシリコーンウェハーには見られなかった角形
ウェハーであるが、このような角形ウェハーについても
破損防止の効果を充分挙げることができた。

試験例（１）本発明のウェハーホックスに５０±１胴ρのＧａ
Ａｓの鏡面ウェハー２５枚を装入した。これを兵庫県伊
月市と東京の間を３０回往復郵送した。ワレや汚れなど
は全くなかった。

（２）　　４０ｍ±１１のＩｎＰノ鏡面鏡面ウェハ−２
企験をした。これもワレ、汚れなど全くなかった。

（３）４０Ｘ４５ｍのＧａＡｓ矩Ｙ：、鏡面ウェハーｉ
ｎ−”）イても同様の試験をし、ワレ、汚れなどの発生
のない事を確めた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハーホックスの実施例を示す斜視
図。第２図は蓋の斜視図。第３図はウェハーホックスの縦断面図（ウェハー小）０第４図はウェハーボックスの縦断面図（ウェハー大）。第５図はウェハーボックスの変形実施例を示す斜視図。第６図はウェハーボックスの変形実施例を示す斜視図。第７図は従来例のシリコンウェハーに対するウェハーボ
ックスの一部縦断斜視図。１・・・・ウェハーボックス２・・・・底　板　部３・・・・・・側　板　部４・・・・・端　板　部５・・・・・開　ロ　部６、７・・・竪支持材８・・・・・・差込み固定板９・・・・竪支持材１０、１１　　・・・・ウェハー差込溝１２・・・・固
定板差込溝１３・・・蓋１５−・・・ウェハー１６、’１７・・、緩　衝　材発　　明　　者　　　　　　公　　江　　清　　度山　
　口　　　　　順久　　保　　　　　昇第３図第４図第１頁の続き０発　明　者　福村圭司寝屋川市下木田町１４番５号倉敷紡績株式会社技術研究所内 ■出　願　人　倉敷紡績株式会社倉敷市本町７番１号手続補正書哨発）特許庁長官若　杉　和　夫　　殿特願昭５８−７２７０１、発明の名称ウェハーボックス３補正をする者事件との関係　特許出願人倉敷紡績株式会社４代　理　人 ■５３７住　所　大阪市東成区中道３丁１狙５番１６罵旬°日束
ビル７０４　　雷０６　（９７４）　６３２１明細書の
「発明の詳細な説明」の欄６、補正の内容（１）明細書第２頁第２０行目「シリコーン」とあるの
を「シリコン」と訂正する。（２）明細書第３頁第１行目「シリコーン」とあるのを
「シリコン」と訂正する。（３）同書第３頁第３行目「シリコーン」とあるのを「
シリコン」と訂正する。（４）同書第３頁第１９行目「シリコーン」とあるのを
「シリコン」と訂正する。（５）同書第３頁第２０行目「シリコーン」とあるのを
「シリコン」と訂正する。（６）同書第４頁第９行目「シリコーン」とあるのを「
シリコン」と訂正する。（７）同書第４頁第１６行目「シリコーン」とあるのを
「シリコン−１と訂正する。（８）同書第４頁第２０行目「シリコーン」とあるのを
「シリコン」と訂正する。（９）同書第１１頁第１４行目「シリコーン」とあるの
を「シリコン」と訂正する。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくとも一方の側の側板部３の内面に複数のウ
ェハー差込溝１０を上下方向に設けるとともに、両側の
端板部４の内面に複数の固定板差込溝１２を上下方向に
設けた７敦開口部５を有する直方体状のウェハーボック
ス本体１と、少なくとも一面に複数のウェハー差込溝１１を上下方向
に有しかつ両端がウェハーボックス本体１の固定板差込
溝１２に着脱自在に差込まれるべき形状を有する差込固
定板８と、ウェハーボックス本体１の側板部３と差込固
定板８との間に収められウェハー１５を上下から支持す
る緩衝材１６．１７と、ウェハーボックス本体１の開口部５を被蓋しかつウェハ
ーボックス本体１との固定手段を有する蓋１３とよりなることを特徴とするウェハーボックス。
（２）　　緩ｉ材１６　、１７がプラスチックフィルム
製の袋内に封着された軟質発泡体である特許請求の範囲
第（１）項記載のウェハーボックス。
（３）緩衝Ｕ１６．１７がシリコンゴムである特許請求
の範囲第（１）項記載のウェハーホックス。
（４）緩衝材１６．１７が溝を有するプラスチック板で
ある特許請求の範囲第（１）項記載のウェハーボックス
。