KR950034661A - 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일 및 기판용 카세트 - Google Patents

기판용 카세트에 있어서의 사이드레일 및 기판용 카세트 Download PDF

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KR950034661A
KR950034661A KR1019950011239A KR19950011239A KR950034661A KR 950034661 A KR950034661 A KR 950034661A KR 1019950011239 A KR1019950011239 A KR 1019950011239A KR 19950011239 A KR19950011239 A KR 19950011239A KR 950034661 A KR950034661 A KR 950034661A
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Abstract

형상의 왜곡, 치수의 오차가 없고, 원활하게 기판을 넣고 뺄수 있는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일 및 기판용 카세트를 제공하는 것이다.
기판용 카세트에 있어서의 사이드레일(1)은 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위하여 측벽면에 형성된 리브(22) 및 리브간에 형성된 간막이홈(23)을 구비한 격벽판(20)과 리브(22)를 피복하는 리브피복부(12) 및 리브피 복부간에 간막이홈을 피복하는 홈피복부(13)를 구비한 격벽판 피복용의 커버부재(10)를 포함하여 구성되고, 4각형상으로 형성된 기판용 카세트를 구성하고 있는 측벽을 폐쇄한다.
기판용 카세트(2)는 창부(43a, 43b)를 구비하여 서로 대향하는 측벽(41a,41b)을 결합하는 끝벽등의 결합수단(65)과 측벽(41a,41b)의 창부(43a,43b)를 폐쇄하는 사이드레일을 구비하여 형성한다.

Description

기판용 카세트에 있어서의 사이드레일 및 기판용 카세트
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일의 구성요소를 나타내는 분해 사시도, 제2도는 본 발명에 관한 기판용 카세트를 도시하며, 제1도에 도시한 사이드레일을 편입하여 구성한 기판용 카세트의 사시도, 제3도는 본 발명에 관한 기판용 카세트의 구성요소를 도시하는 분해 사시도, 제4도는 제2도에 도시한 기판용 카세트의 한쪽의 사이드 레일을 제거한 상태를 도시하는 사시도, 제5도는 제2도에 도시한 기판용 카세트로 부터 사이드레일을 제거한 상태를 도사하는 사시도, 제6도는 기판용 카세트를 구성하고 있는 측벽을 외부측에서 본 측벽의 정면도, 제7도는 기판용 카세트를 구성하고 잇는 측벽을 안쪽에서 본 측벽의 정면도, 제8도는 기판용 카세트의 구성요소인 끝벽을 도시하는 사시도, 제9도는 기판용 카세트의 측면도, 제10도는 기판용 카세트의 평면도.

Claims (26)

  1. 4각형상으로 형성된 기판용 카세트를 구성하고 있는 측벽을 폐쇄하는 사이드레일로서, 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위한 측벽면에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비한 격벽판과, 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되어 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비한 상기 격벽판 피복용의 커버부재를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  2. 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단을 구비하고, 상기 측벽과 결합수단으로 4각형상으로 형성된 기판용 카세트의 상기 측벽에 설치된 창부를 폐쇄하는 사이드레일로서, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위하여 측벽면에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비한 격벽판과, 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되어 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비하고, 상기 리브피복부와 홈피복부가 수지부재에 의해 일체적으로 형성되어 있는 상기 격벽판 피복용의 커버부재를 포함하고, 상기 격벽판과 커버주재로 커버유니트를 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  3. 제1항에 또는 제2항에 있어서, 상기 격벽판과 커버부재가 착탈이 자유롭게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  4. 제1항에 또는 제2항에 있어서, 상기 격벽판과 커버부재가 수지부재에 의해 일체성형되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 1항에 있어서, 상기 격벽판과 커버부재가 상단부에 배열 설치한 고정수단에 의해 일체적으로 부착고정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  6. 제5항에 있어서, 상기 고정수단이 상기 격벽판과 상기 커버부재의 각 상단부에 배열설치한 부착구멍을 가진 가압판과, 이 가압판의 부착구멍에 삽통되고, 상기 격벽판과 상기 커버부재를 고정하는 부착비스로 구성 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  7. 제5항에 있어서, 상기 고정수단이 상기 커버부재의 정상면에 형성된 하향 블록의 블록조와, 상기 격벽판의 정상면에 형성되고, 상기 커버부재의 볼록조에 끼워넣어 요철결합하는 오목홈과, 상기 커버부재의 볼록조와 상기 격벽판의 오목홈과 요철결합했을 때에 형성되는 상기 커버부재의 하향 볼록의 볼록조에 끼워넣는 봉형상부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  8. 제1,2,3,4,5,6,7항 중 어느 1항에 있어서, 상기 격벽판이 수지 또는 강성이 있는 금속에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  9. 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위한 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비한 측벽을 가진 기판용 카세트의 안쪽 벽면에 피착하는 사이드레일로서, 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되고 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비하고, 커버단체를 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  10. 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 상기 측벽에 형성된 리브와, 이 리브 사이에 형성된간막이 홈을 구비하고, 상기 측벽과 결합수단으로 4각형상으로 형성되는 기판용 카세트에 피착하는 사이드레일로서, 상기 사이드레일이 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되고 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비하며, 상기 리브피복부와 홈 피복부를 수지부재에 의해 일체성형하고, 상기 측벽에 피착하여 기판용 카세트의 안쪽 벽면을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  11. 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 상기 측벽에 형성된 리브와, 이 리브 사이에 형성된간막이 홈을 구비하고, 상기 측벽과 결합수단으로 4각형상으로 형성되는 기판용 카세트에 피착하는 사이드레일로서, 상기 사이드레일이 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 상기 리브피복부간에 형성되어 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비하고, 상기 리브피복부와 홈피복부를 수지부재에 의해 일체적을 형성하며, 상기 리브와 간막이홈을 구비하고 상기 측벽과의 일부를 구성하는 격벽판을 피복하는 커버단체를 구성하고 있는 것을 특징으로 하고 있는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  12. 창부를 구비한 서로 대향하는 측벽과, 이측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 상기 측벽의 창부를 폐쇄하는 사이드레일을 구비하고, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위한 상기 측벽에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이 홈을 구비한 격벽판과, 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되어 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비한 상기 격벽판 피복영의 커버부재를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  13. 차부를 구비한 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 상기 측벽의 차우를 폐쇄하는 사이드레일을 구비하고, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위하여 상기 측벽에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이 홈을 구비한 격벽판과, 상기 리브를 피복하는 리브피복부와, 이 리브피복부간에 형성되어 상기 간막이홈을 피복하는 홈피복부를 구비하고, 상기 리브피복부와 홈피복부를 수지부재에 의해 일체적으로 형성한 상기 격벽판 피복용의 커버부재를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  14. 제12항 또는 13항에 있어서, 상기 측벽이 상기 사이드레일을 부착하는 창부를 구비한 틀체를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  15. 제12항 내지 14항 중 어느 1항에 있어서, 상기 틀체가 바닥면에 카세트 위치결정용의 절결이 형성된 다리편을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 틀체가 수지 또는 강성이 있는 금속에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  17. 4각형상으로 형성된 기판용 카세트를 구성하고 있는 측벽을 폐쇄하는 사이드레일로서, 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 측벽면에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비하고, 상기 리브가 평판부의 한측면으로 부터 돌출설치하여 형성되고, 상기 간막이홈이 상기 리브에 연이어 설치하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일
  18. 창부가 형성된 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단을 구비하고, 상기 측벽과 결합수단으로 4각형상으로 형성된 기판용 카세트의 상기 창부를 폐쇄하는 사이드레일로서, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 측벽면에 형성된 리브와, 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비하고, 상기 리브가 평판부의 한측면으로부터 돌출설치하여 형성되는 동시에 상기 간막이홈이 상기 리브에 연설하여 형성되고, 또한 그 양측에 기판용 카세트의 상기 창부에 형성된 가이들에 의해 안내되는 귀부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  19. 제18항에 있어서, 상기 귀부에는 부착비스가 삽통하는 부착구멍이 형성되어 있는 동시에, 이 부착구멍에 연통하여 O링을 수용하는 오목장소가 형성되며, 또한 상기 부착구멍을 포위형성하여 단부가 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일.
  20. 창부가 형성된 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 상기 측벽의 창부를 폐쇄하는 사이드레일을 구비하고, 사익 측벽이 상기 사이드레일을 부착하는 상기 창부가 형성된 틀체를 포함하여 구성되고, 이 틀체의 안쪽으로서 상기 창부의 좌우양측에는 상기 사이드레일의 부착설치를 안내하는 가이드가 상향방향으로 주행하여 형성되고, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 측벽면에 형성된 리브와 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비하고, 상기 리브가 평탄부의 한측면으로 부터 돌출설치하여 형성되는 동시에, 상기 간막이홈이 상기 리브에 연설하여 형성되고, 또한 그 양측에 상기 틀체에 형성된 상기 가이드에 의해 안내되는 귀부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  21. 창부가 형성된 서로 대향하는 측벽과, 이 측벽을 결합하는 끝벽등의 결합수단과, 상기 측벽의 창부를 폐쇄하는 사이드레일과, 수용하는 기판을 소정위치에 고정시키는 스토퍼를 구비하고, 상기 측벽이 상기 사이드레일을 부착하는 상기 창부가 형성된 틀체를 포함하여 구성되고, 이 틀체의 안쪽으로, 상기 창부의 좌우양측에는 상기 사이드레일의 부착설치를 안내하는 가이드가 상향방향으로 주행하여 형성되고, 상기 사이드레일이 복수의 기판을 격리하여 수용하기 위해 측벽면에 형성된 리브와 이 리브간에 형성된 간막이홈을 구비하고, 상기 리브가 평탄부의 한측면으로 부터 돌출설치하여 형성되는 동시에, 상기 간막이홈이 상기 리브에 연설하여 형성되고, 또한 그 양측에 상기 틀체에 형성된 상기 가이드에 의해 안내되는 귀부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  22. 제20항에 있어서, 상기 사이드레일을 부착하는 바닥 있는 나사구멍이 나사새김하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  23. 제21항에 있어서, 상기 틀체의 정상면에는 플랜지가 형성되고, 상기 틀체의 상기 창부에서 아래쪽은 약간 안쪽으로 절곡되고, 그 중도에 상기 스토퍼를 부착하는 바닥이 있는 부착구멍이 나사새김하여 형성되며, 그리고 상기 틀체의 바닥부는 상기 틀체의 가이드 주행면과 평행으로 형성되고, 그 바닥면에 카세트 위치결정용의 절결을 설치한 다리편을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  24. 제20항에 있어서, 상기 결합수단인 서로 대향하는 측벽의 한쪽 끝측을 고정하는 끝벽과, 상기 측벽의 다른 끝측을 고정하는 고정판에 의해 구성되고, 상기 끝벽의 안쪽면측에는 상기 측벽을 고정하기 위해 단면이 대략L자형의 돌기편이 형성되고, 또 상기 끝벽면의 외측면측에는 잡기부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  25. 제24항에 있어서, 상기 틀체의 내벽면에는 상기 끝벽 돌기편의 선단이 끼워지는 제1의 오목함몰부와 상기 고정판의 양끝부가 끼워지는 제2의 오목함몰부가 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
  26. 제24항에 있어서, 상기 틀체와 상기 끝벽과 상기 고정판이 압출성형에 의해 얻어지는 알루미늄제의 장척부재를 소정길이로 재단함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950011239A 1994-05-10 1995-05-09 기판용 카세트에 있어서의 사이드레일 및 기판용 카세트 KR950034661A (ko)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3423512B2 (ja) * 1995-11-27 2003-07-07 信越ポリマー株式会社 精密基板用カセットの製造方法および精密基板用カセット
DE19637875C2 (de) 1996-04-17 1999-07-22 Steag Micro Tech Gmbh Anlage zur Naßbehandlung von Substraten
US6039186A (en) * 1997-04-16 2000-03-21 Fluoroware, Inc. Composite transport carrier
JP3538204B2 (ja) * 1998-02-06 2004-06-14 三菱住友シリコン株式会社 薄板支持容器
US6871741B2 (en) 1998-05-28 2005-03-29 Entegris, Inc. Composite substrate carrier
DE102005028112A1 (de) * 2005-06-13 2006-12-21 Schmid Technology Systems Gmbh Verfahren zur Positionierung und Lageerhaltung von Substraten, insbesondere von dünnen Siliziumwafern nach dem Drahtsägen zu deren Vereinzelung
KR102217674B1 (ko) * 2013-11-29 2021-02-22 삼성디스플레이 주식회사 패널 이송용 트레이
CN106829147B (zh) * 2017-01-17 2018-05-29 武汉华星光电技术有限公司 一种显示面板周转篮具及其使用方法
CN113182244B (zh) * 2021-03-29 2022-10-18 江苏亚电科技有限公司 光伏硅片清洗方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3923156A (en) * 1974-04-29 1975-12-02 Fluoroware Inc Wafer basket
JPS59199477A (ja) * 1983-04-25 1984-11-12 住友電気工業株式会社 ウエハ−ボツクス
US4949848A (en) * 1988-04-29 1990-08-21 Fluoroware, Inc. Wafer carrier
US5042671A (en) * 1989-09-20 1991-08-27 International Business Machines Corporation Versatile product carrier

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