KR100460309B1

KR100460309B1 - 박판지지용기

Info

Publication number: KR100460309B1
Application number: KR10-1999-7009139A
Authority: KR
Inventors: 야수노리 오카; 유끼히로 효부
Original assignee: 미라이얼 가부시키가이샤; 미츠비시 스미토모 실리콘 주식회사
Priority date: 1998-02-06
Filing date: 1998-02-06
Publication date: 2004-12-04
Also published as: KR20010006061A; EP1004524B1; EP1004524A1; TW469605B; JP3538204B2; WO1999039994A1; EP1004524A4

Abstract

본 발명은 용기본체(2)와, 용기본체(2)에서 반도체 웨이퍼를 양쪽에서 지지하는 박판지지부(3)를 구비하는 박판지지용기(1)이다. 덮개체(4)와, 덮개체(4)를 쉽게 착탈할 수 있는 간이착탈기구(31)를 구비하며, 상기 간이착탈기구(31)는, 덮개체(4)의 주변부에 설치되어 있는 덮개체 걸림부(32)와 용기본체(2)쪽에 설치되고, 덮개체 걸림부(32)가 고정되어 덮개체(4)를 용기본체(2)에 고정시키는 피고정부(28)와, 덮개체 걸림부(32)를 피고정부(28)로부터 분리시키는 암(34)과, 상기 암(34)으로 덮개체 걸림부(32)를 분리시킬 때 덮개체(4)를 용기본체(2)에서 약간 들어올리는 리프팅 기구로 구성되었다. 박판지지부(3), 탑 플랜지(5), 이동식 핸들(6)은 착탈이 자유롭게 설치되었다. 박판지지부(3)에는 V자형 홈(38)을 설치하였다. 적층하기 쉽게 하기 위해, 족부(18)와 족부수부(30)를 설치하였다. 이로서 덮개체(4)의 설치 및 분리 작업, 및 전체의 세정작업을 용이하게 한다.

Description

박판지지용기{Sheet support container}

종래의 간이착탈형 덮개 설치용기로서, 예를 들어 일본국 실용신안공개 평6-13114호공보에 기재된 「밀폐용기의 걸쇠(latch) 구조」가 공지되어 있다.

이 밀폐용기(51)는 도 2에서 도 4에 나타난 바와 같이, 용기본체(容器本體) (container body)(52)와, 이 용기본체(52)의 상부의 개구(開口)를 막는 덮개체(蓋體)(cover body)(53)로 개략적으로 구성되어 있다. 덮개체(53)에서 마주보는 2개의 측벽에는 아래쪽으로 매달아서 형성된 걸쇠편(54)이 설치되어 있다. 이 걸쇠편(54)에는, 그 중앙에 설치된 조작구(55)와, 이 조작구(55)의 양쪽에 설치된 걸쇠구멍(56)을 갖고 있다. 용기본체(52)에는 걸쇠편(54)의 걸쇠구멍(56)에 고정되는 걸쇠도구(57)가 설치되어 있다. 이 걸쇠도구(57)에는, 걸쇠편(54)이 접하면서 바깥쪽으로 넓어지는 경사면(57A)이 설치되어 있다.

상기 구성에 있어서, 덮개체(53)를 용기본체(52)에 설치하여 위쪽에서 누르면, 걸쇠편(54)이 경사면(57A)에 접하면서 넓어지고, 각 걸쇠도구(57)가 각 걸쇠구멍(56)에 고정된다. 이것에 의해, 덮개체(53)가 용기본체(52)에 장착되고, 서로 고정된다.

덮개체(53)를 용기본체(52)에서 분리할 때는, 각 걸쇠편(54)을 구부린다. 즉, 2개의 걸쇠편(54)의 각 조작구(55)를 작업자가 손으로 잡아서 서로 떼어내는 방향(도 4에서는 오른쪽 방향)으로 각 걸쇠편(54)을 구부리고, 걸쇠편(54)의 걸쇠구멍(56)을 걸쇠도구(57)에서 빼내어, 덮개체(53)를 용기본체(52)로부터 분리한다.

또한, 용기본체(52)내에는, 그 안쪽에 수납된 복수장의 반도체 웨이퍼를 일정간격을 두어 지지하는 박판지지부(도시하지 않음)가 용기본체(52)의 안쪽면에 일체적으로 설치되기도 하고, 별체의 웨이퍼 케리어가 수납되기도 한다.

그런데, 덮개체(53)를 용기본체(52)로부터 분리할 때는, 전술한 바와 같이 2개의 걸쇠편(54)을 서로 떼어내는 방향으로 구부려서, 걸쇠편(54)의 걸쇠구멍(56)을 걸쇠도구(57)로부터 떼어내지 않으면 안된다.

그렇지만, 2개의 걸쇠편(54)을 서로 떼어내는 방향으로 구부린 상태에서, 덮개체(53)를 위쪽으로 잡아올리는 동작에 있어서는, 걸쇠편(54)을 떼어내는 동작과, 덮개체(53)를 잡아올리는 동작을 동시에 실시하지 않으면 안되기 때문에, 작업성이 나쁘다.

또한, 이러한 동작의 복잡성 때문에, 반송장치에 의한 자동화도 곤란하다.

더욱이, 밀폐용기는 사용후에는 세정할 필요가 있지만, 박판지지부가 용기본체(52)에 일체적으로 설치되어 있는 경우, 밀폐용기의 세정은 반드시 용이한 것은 아니다. 즉, 박판지지부는 박판이 들어가는 가는 홈이 다수 있을 뿐 아니라, 밀폐용기의 내부에 있기 때문에, 이 가는 홈의 속까지 확실하게 세정하는 것이 용이하지 않다. 이것은 웨이퍼 케리어의 경우에도 동일하다.

본 발명은 이상의 문제점을 감안한 것으로, 덮개체의 설치 및 분리 작업을 용이하게 함과 동시에 세정작업을 용이하게 한 박판지지용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

발명의 개시

제1발명에 따른 박판지지용기(sheet support container)는, 내부에 박판을 복수개 수납하는 용기본체와, 이 용기본체의 마주보는 측벽에 각각 설치되고 내부에 수납된 박판을 양쪽에서 지지하는 박판지지부를 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 용기본체를 막는 덮개체와, 이 덮개체를 상기 용기본체에 대해 용이하게 착탈할 수 있는 간이착탈기구(simple detaching mechanism)를 구비하고, 상기 간이착탈기구가, 상기 덮개체의 주변부에 설치되어 있는 걸쇠용 고정부와, 상기 용기본체 쪽에서 상기 걸쇠용 고정부에 마주하여 설치되고 이 걸쇠용 고정부가 고정되어 덮개체가 용기본체에 고정되는 피고정부(fitted portion)와, 상기 덮개체 쪽의 걸쇠용 고정부에 일체적으로 설치되고 눌러 내려서 걸쇠용 고정부를 상기 피고정부에서 분리시키는 암(arm)과, 이 암(arm)으로 걸쇠용 고정부를 피고정부에서 분리시킬 때 상기 덮개체를 상기 용기본체에서 약간 잡아올리는 리프팅 기구(lifting mechanism)로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해 덮개체를 용기본체에 설치할 때는, 용기본체를 세로로 두어 개구를 위쪽으로 향하게 하고, 그 개구를 덮개체로 막아서, 이 덮개체를 위에서 누른다. 이것에 의해, 간이착탈기구의 걸쇠용 고정부가 피고정부에 고정되어 덮개체가 용기본체에 고정된다. 덮개체를 용기본체로부터 분리할 때는, 암을 아래쪽으로 밀어내린다. 이에 의해, 걸쇠용 고정부가 피고정부에서 분리되어 덮개체의 용기본체에 대한 걸쇠가 풀리고, 리프팅 기구에 의해 덮개체가 용기본체로부터 약간 들어 올려진다. 그 결과, 덮개체가 용기본체로부터 분리된다. 그 후, 덮개체를 작업자가 손으로 집어올리기도 하고 반송장치가 자동적으로 덮개체를 올리기도 한다.

제2발명에 따른 박판지지용기는, 상기 용기본체의 아래쪽에 설치되고 용기본체를 세로로 둔 상태에서 안정하게 지지하는 족부(足部)(leg)와, 상기 덮개체의 위쪽면에 설치되고 상기 족부가 고정되는 족부 수부(足部受部)(leg receiving portion)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 박판지지용기를 세로로 두면, 용기본체의 족부가 용기를 놓아둔 면에 밀착되어 박판지지용기가 안정하게 지지된다. 박판지지용기를 복수단으로 적층하면, 용기본체의 족부가 덮개체의 위쪽면에 설치된 족부 수부에 고정된다. 이에 의해, 복수의 박판지지용기가 안정하게 적층된다.

제3발명에 따른 박판지지용기는, 내부에 박판을 복수개 수납하는 용기본체와, 이 용기본체 내의 마주보는 측벽에 각각 설치되고 내부에 수납된 박판을 양쪽에서 지지하는 박판지지부를 구비하여 이루어진 박판지지용기에 있어서, 상기 박판지지부가 용기본체에 대해 착탈이 자유롭게 설치된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 용기본체에 착탈이 자유롭게 설치된 박판지지부를 분리함으로써, 박판지지부 및 용기본체를 용이하게 또한 세심한 곳까지 충분히 세정할 수 있다.

또한, 박판지지부로서, 박판을 지지하는 매수나 배열간격, 마주보는 2개의 박판지지부의 간격 등을 적절하게 변경한 복수 종류의 박판지지부를 준비해 두고, 박판의 크기, 수납매수 등에 따라 박판지지부를 선택하고, 사용한다. 이것에 의해, 각종 사용사양에 용이하게 또한 신속하게 대응할 수 있다.

제4발명에 따른 박판지지용기는, 상기 박판지지부가, 병렬로 일정간격을 두어 여러장 설치되고 각 박판을 1매씩 간격을 두어 지지하는 치판부(齒板部)와, 각 치판부를 병렬로 일정간격을 두어 설치한 상태에서 적어도 가장 안쪽과 입구쪽을 일체적으로 지지하는 지지판부와, 가장 안쪽의 지지판부와 상기 박판의 밀착면에 형성되고 상기 용기본체를 세로로 두었을 때 박판을 가장 안쪽부분에서 각 치판부 사이의 중앙으로 안내하여 지지하는 V자형 홈을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 박판은, 박판지지부의 각 치판부의 사이에 삽입된다. 박판지지용기를 가로로 두어서 그 개구를 옆을 향하게 하였을 때는, 박판은 각 치판부에 놓여 지지된다. 박판지지용기를 세로로 두었을 때는, 박판은 주로 가장 안쪽의 지지판부에 놓여 지지된다. 이 때, 박판이 놓인 지지판부에는 V자형 홈이 설치되어 있기 때문에, 박판은 V자형 홈의 경사면으로 안내되어 홈의 하부로 떨어지고, 가장 안쪽부분에 있어서 각 치판부 사이의 중앙에서 지지된다. 박판의 상부는 각 치판부의 상부에서 지지된다. 이에 의해, 박판끼리의 간섭을 방지할 수 있다.

제5발명에 따른 박판지지용기는, 상기 박판이 원형상으로 형성됨과 함께 상기 치판부가 원형상의 박판의 주변을 따라 원호상으로 둥글게 형성되고, 박판의 주변을 따라 서로 약간 겹쳐지는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 원형상의 박판이 각 박판지지부의 각 치판부의 사이에 삽입되면, 치판부는 원형상의 박판의 주변을 따라 서로 약간 겹쳐지는 상태로 박판을 지지한다. 이것에 의해, 치판부와 박판과의 중첩된 면적이 작아지고, 박판의 표면에 대한 악영향을 해소할 수 있다. 예를 들어, 각 치판부를 구성하는 합성수지는 미량의 가스를 발생하지만, 치판부와 박판과의 겹쳐지는 면적이 작기 때문에, 발생한 가스가 박판의 표면에 접촉하는 기회가 감소한다. 이것에 의해, 상기 가스가 박판의 표면에 미치는 악영향을 최소한 억제하게 된다.

또한, 각 치판부끼리가 겹쳐지는 면적도 감소하기 때문에, 이에 따라 각 치판부의 표면에 설치하는 진애(塵埃) 등이 감소함과 동시에, 각 치판부의 세정이 용이해진다.

제6발명에 따른 박판지지용기는, 상기 박판지지부가, 크기 정밀도가 높게 마무리되는 성형성으로 우수한 합성수지에 의해 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 크기 정밀도가 높은 박판지지부에 의해 박판을 확실하게 지지함과 동시에, 서로 이웃하는 박판 상호간의 간섭을 방지한다. 박판지지부를 구성하는 합성수지로서는, 고순도의 PBT(폴리부틸렌테레프탈레이트)나, PEEK(폴리에테르에테르케톤)나, PBN(폴리부틸렌나프탈레이트) 등이 이용된다.

제7발명에 따른 박판지지용기는, 상기 용기본체에, 반송장치의 암에 의해 파지되는 탑 플랜지(top flange)와, 이동용 핸들(portable handle)을 각각 착탈이 자유롭게 설치하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 박판지지용기의 사용시에는 탑 플랜지와 이동용 핸들을 설치하여, 반송장치로의 자동반송에 제공하기도 하고, 작업자가 박판지지용기를 운반할 때 사용하기도 한다. 박판지지용기의 반송시에는, 탑 플랜지와 이동용 핸들을 분리하여, 박판지지용기를 소형화하여 포장한다.

제8발명에 따른 박판지지용기는, 상기 핸들을 용기본체의 세로방향과 가로방향의 중간위치의 방향으로 기울여서 설치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 작업자가 핸들을 손으로 잡아서, 박판지지용기를 세로에서 가로로 둘 때, 또는 가로에서 세로로 둘 때, 극단적으로 손목을 돌릴 필요가 없어지고, 작업성이 향상된다.

제9발명에 따른 박판지지용기는, 상기 용기본체 또는 덮개체에, 안쪽과 바깥쪽 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에, 진애 등의 통과를 제한하는 필터를 착탈이 자유롭게 설치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 예를 들어 비행기를 사용한 반송 등에 의해 박판지지용기의 반송시에 기압이 크게 변화하는 경우, 상기 필터에 의해 박판지지용기의 안쪽과 바깥쪽 사이에 공기의 출입이 허용되어 항상 동일한 기압으로 유지된다. 즉, 박판지지용기내로의 진애 등의 침입을 방지하여 내부의 청정상태를 유지한 채로, 용기내압을 최적의 상태로 조정한다. 이것에 의해, 덮개체가 쉽게 분리되지 않는 것을 방지한다.

또한, 필터는 착탈이 자유롭게 설치되기 때문에, 박판지지용기의 세정시에는 필터를 분리하여 효율적으로 세정작업을 실시할 수 있다.

본 발명은 반도체 웨이퍼, 기억 디스크, 액정 유리 기판 등의 박판을 수납, 보관, 운송하는 박판지지용기에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기(1)를 나타내는 사시도이다.

도 2는 종래의 밀폐용기를 나타내는 측면도이다.

도 3은 종래의 밀폐용기의 덮개체를 나타내는 측면도이다.

도 4는 종래의 밀폐용기의 덮개체를 고정하는 기구를 나타내는 요부 단면도이다.

도 5는 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 덮개체를 분리한 상태로 나타낸 사시도이다.

도 6은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 덮개체 및 박판지지부를 분리한 상태로 나타낸 사시도이다.

도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 나타내는 정면도이다.

도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 용기본체를 나타내는 배면도이다.

도 9는 본 발명의 실시형태에 따른 용기본체를 나타내는 측면도이다.

도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 용기본체를 나타내는 평면도이다.

도 11은 본 발명의 실시형태에 따른 용기본체를 나타내는 정면단면도이다.

도 12는 본 발명의 실시형태에 따른 덮개체를 나타내는 평면도이다.

도 13은 간이착탈기구를 나타내는 부분 평면도이다.

도 14는 간이착탈기구를 나타내는 측면도이다.

도 15는 간이착탈기구를 나타내는 평면도이다.

도 16은 박판지지부를 나타내는 정면도이다.

도 17은 박판지지부를 나타내는 측면도이다.

도 18은 박판지지부를 나타내는 측면단면도이다.

도 19는 박판지지부를 나타내는 평면도이다.

도 20은 박판지지부를 나타내는 저면도이다.

도 21은 박판지지부를 나타내는 배면도이다.

도 22는 박판지지부의 V자형 홈을 나타내는 단면도이다.

도 23은 박판지지부의 중간의 지지판부를 나타내는 단면도이다.

도 24는 박판지지부의 입구쪽의 지지판부를 나타내는 단면도이다.

도 25는 탑 플랜지를 나타내는 평면도이다.

도 26은 탑 플랜지를 나타내는 측면도이다.

도 27은 탑 플랜지를 나타내는 정면도이다.

도 28은 탑 플랜지를 나타내는 저면도이다.

도 29는 이동용 핸들을 나타내는 정면도이다.

도 30은 이동용 핸들을 나타내는 우측면도이다.

도 31은 이동용 핸들을 나타내는 좌측면도이다.

도 32는 이동용 핸들을 나타내는 평면도이다.

도 33은 이동용 핸들을 나타내는 배면도이다.

도 34는 필터를 나타내는 사시도이다.

도 35는 필터를 나타내는 단면도이다.

도 36은 필터가 설치된 개구를 나타내는 평면도이다.

발명을 실시하기 위한 바람직한 실시형태

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부한 도면을 기초로 하여 설명한다. 본 발명의 박판지지용기는, 반도체 웨이퍼, 기억디스크, 액정유리기판 등의 기판을 수납, 보관, 운송하는 용기에 이용하기에 바람직한 용기이다. 본 실시형태는, 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판지지용기를 예로 설명한다.

본 실시형태에 따른 박판지지용기(1)는, 도 1 및 도 5에서 도 12에 나타낸 바와 같이, 내부에 반도체 웨이퍼(도시하지 않음)를 복수장 수납하는 용기본체(2)와, 이 용기본체(2)내의 마주보는 측벽에 각각 설치되고 내부에 수납된 반도체 웨이퍼를 양쪽에서 지지하는 2개의 박판지지부(3)와, 용기본체(2)의 개구(2F)를 막는 덮개체(4)와, 반송장치(도시하지 않음)의 암으로 파지(把持)되는 탑 플랜지(5)와, 작업자가 손으로 박판지지용기(1)를 이동할 때 잡는 이동용 핸들(6)과, 박판지지용기(1)의 내압을 조정하는 필터(7)(도 34 참조)로 구성되어 있다.

용기본체(2)는 도 1, 도 5 및 도 6에 나타난 바와 같이, 전체가 거의 입방체상으로 형성되어 있다. 이 용기본체(2)는 세로로 둔 상태(도 1, 도 5, 도 6의 상태)이고, 주위의 벽이 되는 4장의 측벽부(2A, 2B, 2C, 2D)와 저판부(2E)(도 10 참조)로 구성되고, 그 상부에 개구(2F)가 설치되어 있다. 각 측벽부(2A, 2B, 2C, 2D)에는 보강(補强)용 세로홈(9)이 다수 설치되어 있다. 이 용기본체(2)는 반도체 웨이퍼의 제조라인 등에 있어서 웨이퍼 반송용 로보트(도시되지 않음)에 대향하여 설치될 때는 가로로 놓는다. 이 가로로 둔 상태에서 저부가 되는 측벽부(2A)의 바깥쪽에는 박판지지용기(1)의 위치결정수단(11)(도 7 참조)이 설치되어 있다. 가로로둔 상태로 천정부가 되는 측벽부(2B)의 바깥쪽에는 탑 플랜지(5)가 착탈이 자유롭게 설치되어 있다. 가로로 둔 상태에서 횡벽부가 되는 측벽부(2C, 2D)의 바깥쪽에는 이동용 핸들(6)이 착탈이 자유롭게 설치되어 있다.

측벽부(2A)는 도 7에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 이 측벽부(2A)에는, 그 전면에 위치결정수단(11)이 설치되어 있다. 이 위치결정수단(11)은 주로 3개의 고정홈(12)에 의해 구성되어 있다. 각 고정홈(12)은, 용기본체(2)의 세로방향에 정합하는 제1고정홈(12A)과, 용기본체(2)의 세로방향에 대해서 동일한 각도(거의 60도)만큼 기울어진 제2 및 제3고정홈(12B, 12C)으로 구성되어 있다. 이러한 3개의 고정홈(12)은 규격에 맞게 정밀한 크기 정밀도로 마무리되어 있다. 이 위치결정수단(11)의 각 고정홈(12A, 12B, 12C)이 설치대 쪽의 결합돌기(도시되지 않음)에서 고정함으로써, 박판지지용기(1)가 정확한 위치에 설치되어, 웨이퍼 반송용 로보트로 반도체 웨이퍼가 출입되도록 되어 있다.

측벽부(2B)는 도 8에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 이 측벽부(2B)의 중앙부에는, 탑 플랜지(5)를 착탈이 자유롭게 설치하기 위한 플랜지 설치판(14)이 설치되어 있다. 이 플랜지 설치판(14)은 플랜지 고정홈(15)에 설치되어 있다. 플랜지 고정홈(15)은, 측벽부(2B) 내에서, 양쪽에 위치하는 2개의 세로홈(9)의 중간위치에, 아래쪽으로부터 상단 부근까지 움푹 패이게 형성되어 있다. 플랜지 설치판(14)은, 이 플랜지 고정홈(15)의 상부에 있어서, 그 양쪽 주변부에서 안쪽으로 연장된 2장의 판재에 의해 구성되어 있다. 이 2장의 플랜지 설치판(14)에 탑 플랜지(5)가 도 8에서의 아래쪽으로부터 삽입되어 설치되도록 되어 있다.

측벽부(2C, 2D)는 도 9에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 또한, 측벽부 (2C, 2D)는 대칭이기 때문에, 도 9에는 측벽부(2D)만을 나타내고 있다. 이 측벽부 (2D)에는 이동용 핸들(6)을 착탈이 자유롭게 설치하기 위한 핸들 설치판(16)이 설치되어 있다. 이 핸들 설치판(16)은, 측벽부(2D)에 설치된 4장의 판재(16A, 16B, 16C, 16D)에 의해 구성되어 있다. 판재(16A)는 측벽부(2D)에 설치된 3개의 세로홈(9) 중, 도면에서 왼쪽의 세로홈(9)의 오른쪽 주변부에서 안쪽(왼쪽)으로 연장되어 형성되어 있다. 이 판재(16A)는 가장 하부에 위치되어 있다. 판재(16B, 16C)는, 중앙의 세로홈(9)의 양쪽 주변부로부터 안쪽으로 연장하여 형성되어 있다. 2개의 판재(16B, 16C) 중 왼쪽의 판재(16B)는 오른쪽 판재(16C)보다도 아래쪽에 위치되어 있다. 판재(16D)는 오른쪽의 세로홈(9)의 왼쪽 주변부에서 안쪽으로 연장하여 형성되어 있다. 이 판재(16D)는, 다른 판재(16A, 16B, 16C) 중 가장 위쪽에 위치되어 설치되어 있다. 이것에 의해, 4개의 판재(16A, 16B, 16C, 16D)는, 45도의 각도로 오른쪽 상방향으로 배열되어 있다. 이동용 핸들(6)은 각 판재(16A, 16B, 16C, 16D)에서 용기본체(2)에 대해 45도 기울어진 상태이며, 착탈이 자유롭게 설치되도록 되어 있다.

측벽부(2C)에도 상기 구성과 대칭구성을 갖는 핸들 설치판이 설치되어 있다.

저판부(2E)에는, 도 10 및 도 11에 나타난 바와 같이, 족부(18)가 설치되어 있다. 이 족부(18)는 저판부(2E)의 4개의 모퉁이 부근의 4곳을 아래쪽으로 사각형상으로 돌출시켜 형성되어 있다. 용기본체(2)를 세로로 두었을 때, 이 4곳의 족부에 의해 용기본체(2)가 안정하게 지지되도록 되어 있다.

용기본체(2)의 측벽부(2C, 2D)의 안쪽에는, 착탈이 자유롭게 설치된 박판지지부(3)를 지지하는 지지대(21)가 설치되어 있다. 이 지지대(21)는, 하측 지지대부(21A)와 상측 지지대부(21B)로 구성되어 있다. 하측 지지대부(21A)는 측벽부(2C, 2D)를 3곳의 위치에서 저판부(2E)로부터 대좌상으로 융기시켜 형성되어 있다. 상측 지지대부(21B)는, 측벽부(2C, 2D)를 3곳의 위치에서 하측 지지대부(21A)로부터 대좌상으로 올려서 형성되어 있다. 각 박판지지부(3)는, 하측 지지대부 (21A)의 3곳의 설치면(22A) 및 상측 지지대부(21B)의 3곳의 설치면(22B)에 각각 설치되도록 되어 있다. 더욱이, 3곳의 하측 지지대부(21A)의 각 설치면(22A)에는 하부지지용 돌기(23)가 각각 한개씩 설치되어 있다. 이 하부지지용 돌기(23)는 박판지지부(3)의 후술하는 하부지지 혈부(穴部)(39)에 고정되어 박판지지부(3)의 하부를 지지하는 것이다.

각 측벽부(2C, 2D)의 3곳의 상측 지지대부(21B)의 각 설치면(22B)에는 상부 지지용 돌기(24)가 설치되어 있다. 이 상부 지지용 돌기(24)는, 양쪽의 상측 지지대부(21B)에 한개씩, 중앙의 상측 지지대부(21B)에 2개가 각각 설치되어 있다. 이 상부 지지용 돌기(24)는, 박판지지부(3)의 후술하는 상부 지지혈부(40)에 고정되어 박판지지부(3)의 상부를 지지하는 것이다. 또한, 중앙의 상측 지지대부(21B)에는, 2개의 상부 지지용 돌기(24)의 중간 위치에 걸림부(25)가 설치되어 있다. 이 걸림부(25)는, 상부 지지혈부(40)에 걸려서 누락을 방지하고 있다. 즉, 2개의 상부 지지용 돌기(24)에 상부 지지혈부(40)를 고정시킨 상태에서, 걸림부(25)가 이 상부 지지혈부(40)의 상단부에 걸려서 이 상부 지지혈부(40)를 고정하고, 누락을 방지하도록 되어 있다.

이것에 의해, 각 박판지지부(3)는 합계 7개의 지지용 돌기(23, 24)와 걸림부 (25)로 지지대(21)에 확실하게 지지되어 있다.

용기본체(2)의 상단부에는, 덮개체(4)를 고정시키기 위한 덮개체 수용 단부(27)가 설치되어 있다. 이 덮개체 수용 단부(27)는 용기본체(2)의 상단부를 덮개체(4) 크기까지 넓혀서 형성되어 있다. 이것에 의해, 덮개체(4)는, 덮개체 수용 단부(27)의 수직판부(27A)의 안쪽에서 결합되고 수평판부(27B)에 밀접하는 것으로, 덮개체 수용 단부(27)에 설치되도록 되어 있다. 더욱이, 수평판부(27B)에는, 그 전체 주위에 환상(環狀)의 홈(27C)이 설치되고, 덮개체(4)의 아래쪽면에 설치되었던 가스켓(gasket)(도시되지 않음)이 고정되어 박판지지용기(1)의 내부를 밀봉하도록 되어 있다. 수직판부(27A)의 안쪽면에는, 후술하는 간이착탈기구(31)의 덮개체 걸림부(32)가 고정되고 덮개체(4)를 용기본체(2)쪽에 고정하는 피고정부(28)가 설치되어 있다. 이 피고정부(28)는, 수직판부(27A)를 사각형상으로 움뚝 파서 형성시키고, 그 안쪽 상단부에 덮개체 걸림부(32)가 고정되도록 되어 있다.

덮개체(4)는 도 1 및 도 12에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 또한 도 12는, 후술할 간이착탈기구(31)를 설치하지 않은 상태의 용기본체(2)를 나타내는 평면도이다.

덮개체(4)는, 그 주변부 전영역에 입상벽(立上壁)(4A)을 구비하여 위쪽으로 열린 쟁반모양으로 형성되어 있다. 덮개체(4)의 중앙부는, 내부에 수납된 반도체 웨이퍼의 상부에 접촉되지 않도록, 원통상으로 이루어져 형성되어 있다. 더욱이,덮개체(4)의 상측면에는 용기본체(2)의 저부에 설치된 족부(18)가 고정되는 족부수부(30)가 각각 4곳에 설치되어 있다.

또한, 덮개체(4)의 네모서리에는, 도 13에서 도 15에 나타난 바와 같이, 덮개체(4)를 용기본체(2)에 대해 착탈이 자유롭게 고정하는 간이착탈기구(31)가 설치되어 있다. 이 간이착탈기구(31)는 주로 덮개체(4)의 주변부로부터 돌출한 상태로 설치된 걸쇠용 고정부로서의 덮개체 걸림부(32)와, 용기본체(2)의 덮개체 수용 단부(27)의 수직판부(27A)에 덮개체 걸림부(32)와 마주보게 설치된 상기 피고정부(28)와, 덮개체(4)쪽의 덮개체 걸림부(32)에 일체적으로 설치되고, 눌러서 덮개체 걸림부(32)를 피고정부(28)에서 이탈시키는 암(34)과, 이 암(34)으로 덮개체 걸림부(32)를 피고정부(28)로부터 이탈시킬 때 덮개체(4)를 용기본체(2)에서 약간 들어올려서 이동시키는 리프트 기구(도시되지 않음)로 구성되어 있다.

덮개체 걸림부(32)는, 덮개(4)에 탄상적으로 지지되어 있다. 구체적으로는 도 14 및 도 15에 나타난 바와 같이, 덮개체 걸림부(32)는 덮개체(4)에 고정된 고정판부(32A)의 한쪽 말단으로부터 입상하여 형성된 세움판부(32B)에서 바깥쪽을 향해 형성되어 있다. 고정판부(32A) 및 세움판부(32B)는 탄성을 갖는 합성수지로 일체적으로 형성되어 있고, 세움판부(32B)가 탄성적으로 휘는 것이며, 덮개체 걸림부(32)가 덮개체(4)에 탄성적으로 지지되어 있다. 고정판부(32A)의 덮개체(4)로의 고정은 비스멈춤, 접착제 또는 용착에 의해 실시된다. 암(34)은 세워서 판부(32B)의 상단부에서 수평방향으로 연장된 상태로 일체적으로 설치되어 있다. 이것에 의해, 암(34)을 아래쪽으로 눌러내려서, 세움판부(32B)가 휘어져 덮개체 걸림부(32)가 피고정부(28)에서 벗어나도록 되어 있다. 이 덮개체 걸림부(32), 암(34), 고정판부(32A) 및 세움판부(32B)로 이루어진 부재는, 덮개체(4)의 네모서리에 2개씩 설치되어 있다. 덮개체(4)의 입상벽(4A)에는, 그 네모서리 부분을 2곳을 잘라서 제거한 절결부(4B)가 설치되어 있고, 이 각 절결부(4B)에 상기 부재가 2개씩 설치되어 있다. 그리고, 2개의 암(34)은, 그 선단부가 누름용판(32C)에서 일체적으로 고정되고, 누르기 쉽도록 되어 있다. 이 누름용판(32C)의 각 암(34)으로의 고정은, 상기 고정판부(32A)의 덮개체(4)로의 고정과 같이, 비스멈춤, 접착제 또는 용착에 의해 실시한다.

또한, 리프팅 기구는 탄력을 가져 덮개체(4)를 용기본체(2)로부터 약간 들어올릴 수 있는 상기 가스켓에 의해 구성되어 있다.

이것에 의해, 덮개체(4)를 용기본체(2)로부터 용이하게 분리할 수 있도록 되어 있다.

박판지지부(3)는 용기본체(2)내의 지지대(21)에 대해 착탈이 자유롭게 설치되어 있다. 이 박판지지부(3)의 구체적 구성은 도 16에서 도 24에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 박판지지부(3)는 주로, 병렬로 일정간격을 두어 여러장 설치되어 각 반도체 웨이퍼를 1장씩 간격을 두어 지지하는 치판부(36)와, 각 치판부(36)가 병렬로 일정간격을 두어 설치된 상태로 이것을 3곳의 위치에서 일체적으로 지지하는 지지판부(37)와, 가장 안쪽의 지지판부(37A)의 안쪽면(반도체 웨이퍼로의 접면)에 형성된 V자형 홈(38)으로 구성되어 있다.

상기 지지판부(37)는, 각 치판부(36)의 가장 안쪽(도 16의 최하부)과 중간과입구쪽(도 16 중 최상부)의 3곳의 위치에 설치되고, 각 치판부(36)를 일체적으로 지지하고 있다. V자형 홈(38)은 도 22에 나타난 바와 같이, V자형의 저부에 의해 구성되고, 용기본체(2)를 세로로 두었을 때 반도체 웨이퍼를 V자형 홈(38)의 경사면으로 안내하고 홈저부에 떨어뜨려서, 가장 안쪽부분에 있어서 각 치판부(36)의 중앙에서 지지되도록 되어 있다. 반도체 웨이퍼의 상부는, 각 치판부(36)의 상부에서 지지된다. 이것에 의해, 서로 이웃하는 반도체 웨이퍼 끼리의 간섭을 방지하고 있다. 중간의 지지판부(37B)의 위치에서는, 도 23에 나타난 바와 같이, 평탄한 저부를 갖고 있다. 더욱이, 각 치판부(36) 중, 입구쪽의 지지판부(37C) 부근에서는, 도 24에 나타난 바와 같이, 박판지지용기(1)를 가로로 두었을 때 반도체 웨이퍼를 수평상태로 지지하는 지지단부(37D)가 형성되어 있다. 이 지지단부(37D)는 수평상태이고 약간 아래쪽으로 기울어져(예를 들어 1도 정도의 경사) 형성되고, 거기에 놓인 반도체 웨이퍼와 최소한의 면적으로 접촉하도록 되어 있다.

또한, 각 치판부(36)의 표면(반도체 웨이퍼쪽의 면)은, 이 원형상의 반도체 웨이퍼의 주변을 따라 원호상으로 둥글게 형성되어 있다. 이것에 의해, 치판부(36)는, 반도체 웨이퍼의 주변을 따라 약간 중첩된 상태로 지지되고, 반도체 웨이퍼의 표면에 대한 악영향을 최소한 억제하고 있다. 구체적으로는, 각 치판부(36)를 구성하는 합성수지는 미량의 가스를 발생하지만, 치판부(36)와 반도체 웨이퍼와의 겹쳐진 면적이 작기 때문에, 발생한 가스가 반도체 웨이퍼의 표면에 접촉하는 기회가 감소한다. 이것에 의해, 상기 가스가 반도체 웨이퍼의 표면에 미치는 악영향을 최소한으로 억제할 수 있다.

또한, 각 치판부(36)끼리 중첩된 면적도 감소하기 때문에, 그것에 따라 각 치판부(36)의 표면에 부착되는 진애 등이 감소함과 동시에, 각 치판부(36)의 세정이 용이하게 된다.

박판지지부(3)의 이면에는, 지지대(21)의 하부 지지용 돌기(23)와 고정되어 이 박판지지부(3)의 하부를 지지하는 하부 지지혈부(39)와, 상부 지지용 돌기(24)와 고정되어 이 박판지지부(3)의 상부를 지지하는 상부 지지혈부(40)가 설치되어 있다. 하부 지지혈부(39)는, 박판지지부(3)의 하단부의 양말단과 중앙의 위치에 각각 설치되어 있다. 이러한 3개의 하부 지지혈부(39)는 모두 동일한 원형 혈상(穴狀)으로 형성되어 있다. 상부 지지혈부(40)는 박판지지부(3)의 상단부의 양말단과 중앙의 위치에 각각 설치되어 있다. 이러한 3개의 상부 지지혈부(40) 중, 양쪽의 상부 지지혈부(40A, 40B)는 원형 혈상으로 형성되어 있지만, 중앙의 상부 지지혈부(40C)는 타원형상으로 형성되고, 2개의 상부 지지용 돌기(24)가 동시에 고정될 수 있도록 되어 있다. 또한, 상부 지지혈부(40C)의 상단 주변부에서는 걸림부(25)가 걸려 지지판부(37)가 각 지지용 돌기(23, 24)로 떨어지지 않도록 고정되도록 되어 있다.

이 박판지지부(3)는 크기 정밀도가 높게 마무리할 수 있는 성형성에 우수한 합성수지에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 고순도의 PBT에 의해 구성되어 있다. 용기본체(2) 등의 다른 부재는 싼값의 폴리카보네이트 등에 의해 구성되어 있다.

탑 플랜지(5)는, 박판지지용기(1)를 반송장치로 반송시킬 때, 이 반송장치의암으로 잡히는 부분이다. 이 탑 플랜지(5)는 도 25에서 도 28에 나타난 바와 같이, 반송장치의 암으로 잡기 위한 판부(5A)와, 암의 일부가 고정되는 고정혈(5B)과, 용기본체(2)의 플랜지 설치판(14)에 고정되어 탑 플랜지(5)를 용기본체(2)에 설치하는 고정판부(5C)로 구성되어 있다. 고정판부(5C)의 전후 단부(도 25의 상하단부)에는, 이 고정판부(5C)를 판부(5A)에 고정시키기 위한 접속판부(5D)가 각각 설치되어 있다. 고정판부(5C)는, 접속판부(5D)의 양쪽으로부터 돌출된 부분을 갖고, 이 부분이 용기본체(2)의 각 플랜지 설치판(14)의 안쪽(플랜지 설치판(14)과 플랜지 고정홈(15)과의 사이)에 삽입되도록 되어 있다. 또한, 고정판부(5C)의 돌출부분의 선단부(도 25 중의 상단부)에는, 걸림부(5E)가 설치되어 있다. 이 걸림부(5E)는 플랜지 설치판(14)의 선단 주변부(도 8 중의 상단 주변부)에 걸려서 탑 플랜지(5)가 떨어지는 것을 방지하고 있다. 또한, 플랜지 설치판(14)에 설치된 탑 플랜지(5)는 걸림부(5E)를 플랜지 설치판(14)에서 꺼낼 뿐으로, 탑 플랜지(5)를 플랜지 설치판(14)으로부터 용이하게 꺼낼 수 있도록 되어 있다.

이동용 핸들(6)은, 작업자가 박판지지용기(1)를 손으로 잡을 때 잡는 핸들이다. 이 이동용 핸들(6)은, 도 29에서 도 33에 나타난 바와 같이, 용기본체(2)의 4개의 판재(16A, 16B, 16C, 16D)에 각각 고정되는 4개의 고정편(6A, 6B, 6C, 6D)을 갖는 고정판(6E)과, 4개의 고정편(6A, 6B, 6C, 6D) 중 바깥쪽의 2개(6A, 6D)에 각각 설치된 걸림부(6F)와, 손으로 잡는 손잡이(6G)로 구성되어 있다. 각 고정편(6A, 6B, 6C, 6D)은 고정판(6E)에 대해 45도 기울여져 형성되어 있다. 이것에 의해, 45도의 각도로 오른쪽 상방향으로 배열된 용기본체(2)의 4개의 판재(16A, 16B, 16C,16D)에, 상기 4개의 고정편(6A, 6B, 6C, 6D)이 평행하게 삽입된 것이고, 이동용 핸들(6)이 용기본체(2)에 대해 45도 기울어진 상태로 설치되도록 되어 있다. 이 때, 걸림부(6F)는 바깥쪽의 판재(16A, 16D)의 선단 주변부에 걸리고, 또한 바깥쪽 고정편(6A, 6D)의 주머니상으로 닫힌 기단(基端)이 판재(16A, 16D)의 기단 주변부에 고정되는 것으로, 핸들 설치판(16)이 용기본체(2)에 고정되도록 되어 있다. 또한, 핸들 설치판(16)을 용기본체(2)에서 분리할 때는, 걸림부(6F)를 바깥쪽의 판재(16A, 16D)의 선단 주변부에서 떼어서 핸들 설치판(16)을 미는 것뿐으로, 각 고정편(6A, 6B, 6C, 6D)이 판재(16A, 16B, 16C, 16D)로부터 떨어져서, 핸들 설치판(16)을 용기본체(2)에서 용이하게 분리할 수 있도록 되어 있다.

상기 구성의 이동용 핸들(6)은, 좌우대칭형상으로 2개 형성되고, 측벽부(2C, 2D)에 각각 설치되어 있다.

필터(7)는 박판지지용기(1)의 내압을 조정하기 위한 것이다. 이 필터(7)는 박판지지용기(1)의 용기본체(2) 또는 덮개체(4)에 설치되고, 박판지지용기(1)의 안쪽과 바깥쪽 사이에서 기체의 통과를 허용하고, 진애 등의 통과를 제한하고 있다. 이것에 의해, 내부의 청정상태를 유지한 채, 박판지지용기(1)의 내압을 최적의 상태로 조정하여, 덮개체(4)가 분리되기 어렵게 되는 것을 방지하고 있다.

필터(7)는, 구체적으로는 도 34로부터 도 36에 나타난 바와 같이 구성되어 있다. 이 필터(7)는 박판지지용기(1)의 용기본체(2) 또는 덮개체(4)의 임의의 위치로서 다른 기능 등을 손실하지 않는 위치에 설치된다.

도면에서 (42)는 박판지지용기(1) 또는 덮개체(4)에 설치된 개구이다. 이 개구(42)는 도 36에 나타난 바와 같이, 원형상으로 뚫려 형성되고, 박판지지용기(1)의 안쪽 및 바깥쪽을 연통하고 있다. 이것에 의해 박판지지용기(1)의 안쪽과 바깥쪽에서 기체의 출입을 허용하여, 내부의 기압과 외기압이 동일하게 되도록 조정된다. 이 개구(42)의 양쪽(도 36의 상하)에는, 후술하는 필터(7)의 걸림부(46)를 고정시키기 위한 절결(42A)이 설치되어 있다.

필터(7)은 개구(42)를 사이에 두어 박판지지용기(1)의 안밖에서 기체가 출입할 때, 외부의 기체 중에 포함되는 진애 등을 제거하여 기체만 통과를 허용한다. 이 필터(7)는 진애 등의 제거가 가능한 정도의 성능을 갖고, 기체를 부드럽게 통과할 수 있도록 설정되어 있다. 즉, 개구(42)를 사이에 두어 기체가 박판지지용기(1)의 안밖에서 출입될 때, 별로 큰 저항없이 용이하게 기체가 통과할 수 있는 정도의 성능으로 설정되어 있다. 이 필터(7)는 구체적으로는 도 34 및 도 35에 나타난 바와 같이, 동체(44)와 칼날부(45)와 걸림부(46)와 여과재(47)로 구성되어 있다.

동체(44)는, 원통상으로 형성되고, 그 직경을 개구(42)의 내경과 거의 동일한 크기로 설정되어 있다.

칼날부(45)는, 동체(44)의 한쪽(도면중 아래쪽)에 설치되어 있고, 동체(44)가 개구(42)에 고정된 상태에서 개구(42)의 주변부의 한쪽면에 접하도록 되어 있다. 칼날부(45)의 안쪽면에는, 환상의 가스켓(48)이 설치되어 있다. 이 가스켓(48)은 동체(44)가 개구(42)에 고정되어 칼날부(45)가 개구(42) 주변부의 한쪽면에 접하는 상태로, 이 칼날부(45)와 개구(42)의 주변부에 접하여 이러한 사이를 기체가 밀폐되도록 실링한다.

걸림부(46)는 동체(44)의 다른쪽에 서로 역방향으로 향하여 2개 설치되어 있다. 각 걸림부(46)는 단면을 쐐기상으로 형성시키고 있다. 즉, 걸림부(46) 중 칼날부(45)쪽의 면을 경사시켜 형성시키고 있다. 이것에 의해, 각 걸림부(46)을 개구(42)의 절결(42A)에 맞춘 상태에서 동체(44)를 개구(42)에 고정시켜 전체를 회동시키는 것으로, 걸림부(46)의 경사면이 개구(42)의 주변부의 다른 쪽면에 접하여 필터(7)가 박판지지용기(1)쪽에 고정되어 있다.

여과재(47)는, 동체(44)내에 장착되고, 이러한 동체(44)내를 통과하는 기체중에서 진애 등을 제거하도록 되어 있다. 즉, 박판지지용기(1)의 주위의 기체가 개구(42)를 사이에 두어 박판지지용기(1)내에 유입할 때에, 이 기체중의 진애 등을 제거하여 기체만을 통과시키도록 되어 있다. 이 여과재(47)는, 전술한 바와 같이, 진애 등을 제거하여 기체를 부드럽게 통과할 수 있는 정도의 성능으로 설정되어 있다. 즉, 개구(42)를 사이에 두어 기체가 박판지지용기(1)의 안밖쪽으로 출입할 때, 여과재(47)가 별로 큰 저항이 없이 기체가 용이하게 통과할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 여과재(47)를 기체가 용이하게 통과하여 박판지지용기(1)의 주위의 기압이 급격하게 변화해도 신속하게 대응할 수 있도록 되어 있다.

이상과 같이 구성된 박판지지용기(1)는 다음과 같이 사용된다.

반도체 웨이퍼를 용기본체(2)내에 수납할 때는, 용기본체(2)를 가로로 두어 개구(2F)로부터 웨이퍼 반송용 로보트로 반도체 웨이퍼를 삽입한다. 이 때, 반도체 웨이퍼는 박판지지부(3)의 각 치판부(36)의 사이에 삽입되어, 이 치판부(36)에 놓인다.

반도체 웨이퍼를 수납을 끝내고 반송하는 경우는, 용기본체(2)를 작업자가 수동으로 이동용 핸들(6)을 잡아서, 또는 로보트가 자동적으로 탑 플랜지(5)를 잡아서 세로로 두도록 한다. 이 때, 반도체 웨이퍼는 치판부(36)의 V자형 홈(38)에 접하여 지지된다. V자형 홈의 경사면에 위치된 반도체 웨이퍼는 이 경사면으로 안내되어 홈의 저부로 떨어지고, 각 치판부(36) 사이의 중앙에서 지지된다. 반도체 웨이퍼의 상부는, 각 치판부(36)의 상부에서 지지된다. 이것에 의해, 반도체 웨이퍼 끼리의 간섭이 확실하게 방지된다.

계속하여, 덮개체(4)가 상기 수동 또는 자동에 의해, 용기본체(2)의 덮개체 수용 단부(27)에 설치됨으로써, 용기본체(2)의 개구(2F)가 덮개체(4)로 막힌다. 계속하여, 덮개체(4)를 위에서부터 누른다. 이것에 의해, 간이착탈기구(31)의 세움판부(32B)가 휘어서 덮개체 걸림부(32)가 피고정부(28)에 고정되고, 덮개체(4)가 용기본체(2)에 고정된다. 이 상태에서, 박판지지용기(1)가 반송된다. 반송하는 경우에 포장할 때는, 탑 플랜지(5)와 이동용 핸들(6)을 분리한다. 즉, 걸림부(5E, 6F)를 떼어내고, 탑 플랜지(5) 및 이동용 핸들(6)을 밀어 분리한다. 이것에 의해, 박판지지용기(1)를 작게 포장한다. 이 때, 탑 플랜지(5)와 이동용 핸들(6)은 박판지지용기 (1)와 함께 포장한다.

한편, 박판지지용기(1)는 그 수송도중에 있어서, 주위의 기압이 변화하는 경우가 있다. 이 경우, 필터(7)가 진애 등의 진입을 억제하여 내부기압을 외부기압과 일치시킨다. 이것에 의해, 박판지지용기(1)의 내부기압과 외부기압을 항상 일치시킬 수 있다. 이 결과, 박판지지용기(1)의 덮개체(4)의 개방시에, 내부기압이 외부기압보다도 낮아져서, 개방하기 까다로워지는 현상이 해소된다.

반송중 또는 보관중에 있어서, 박판지지용기(1)를 적층하는 일이 있지만, 이 경우는, 놓는 쪽의 박판지지용기(1)의 족부(18)를, 놓이는 쪽의 박판지지용기(1)의 족부수부(30)에 고정시킨 상태로 적층한다. 이것에 의해, 복수의 박판지지용기(1)가 안정하게 적층된다.

포장을 풀어서 박판지지용기(1)를 사용할 때, 탑 플랜지(5)와 이동용 핸들(6)을 원터치로 설치한다. 박판지지용기(1)를 작업자가 취급할 때는, 이동용 핸들(6)을 작업자가 손으로 집어 박판지지용기(1)를 세로에서 가로로, 또는 가로에서 세로로 위치를 바꾸는 경우가 있다. 이 경우, 이동용 핸들(6)은 45도의 각도로 설정되어 있기 때문에, 극단적으로 손목을 돌릴 필요가 없어지고, 작업성이 향상된다.

덮개체(4)를 용기본체(2)에서 분리할 때는, 상기 수동 또는 자동에 의해 누름용 판(32C)을 아래쪽으로 눌러내린다. 이것에 의해, 암(34)을 사이에 두어 세움판부 (32B)가 휜다. 이에 따라서 덮개체 걸림부(32)가 피고정부(28)로부터 분리되어, 덮개체(4)의 용기본체(2)에 대한 걸림이 풀린다. 이것에 의해, 가스켓이 덮개체(4)를 용기본체(2)에서 약간 들어올린다. 이 결과, 덮개체(4)가 용기본체로부터 분리된다. 그 후, 덮개체(4)를 상기 수동 또는 자동에 의해 들어올려서 용기본체(2)에서 분리하고, 용기본체(2)에서 내부의 반도체 웨이퍼를 꺼낸다.

또한, 취급하는 반도체 웨이퍼의 매수나, 크기 등이 다를 때에는, 그것에 맞게 박판지지부(3)를 선택하고, 용기본체(2) 내에 지지대(21)에 설치된다. 즉, 박판지지부(3)의 하부 지지혈부(39) 및 상부 지지혈부(40)를 지지대(21)의 하부 지지용 돌기(23) 및 상부 지지용 돌기(24)에 고정시켜 설치된다. 또한, 박판지지부(3)는, 취급하는 반도체 웨이퍼의 매수나 크기 등의 조건에 따라 각종 박판지지부(3)를 미리 준비해 둔다.

또한, 박판지지부로서, 박판을 지지하는 매수나 배열간격, 마주보는 2개의 홈판지지부의 간격 등을 적절하게 변경한 복수 종류의 박판지지부를 준비하여 두고, 박판의 크기, 수납매수 등에 따라 박판지지부를 선택하고, 사용한다. 이로서, 각종 사용사양에 용이하게 또한 신속하게 대응할 수 있다.

박판지지용기(1)는, 반송작업 등의 종료후에 세정된다. 이 때는 용기본체(2)에 설치된 박판지지부(3)를 분리한다. 또한, 필터(7)도 분리한다. 그리고, 이것들이 개별적으로 세정된다. 이로서, 용기본체(2) 및 박판지지부(3)를 세심한 곳까지 용이하게 또한 충분히 세정할 수 있다. 또한, 필터(7)도 효율적으로 세정할 수 있다.

이상과 같이, 덮개체(4)에 간이착탈기구(31)를 설치하였기 때문에, 극히 용이하게 덮개체(4)를 용기본체(2)에 대해 착탈할 수 있도록 된다. 또한, 이 덮개체(4)의 착탈은 수동, 자동에 관계없이 용이하게 된다.

용기본체(2)에 족부(18)를, 덮개체(4)에 족부수부(30)를 설치하였기 때문에, 복수의 박판지지용기(1)를 안정하게 적층할 수 있다.

박판지지부(3)를 용기본체(2)에 착탈자재로 설치하였기 때문에, 이 박판지지부(3)를 분리함으로써 용기본체(2) 및 박판지지부(3)를 용이하게 또한 미세한 부분까지 충분히 세정할 수 있다.

또한, 박판지지부(3)로서, 반도체 웨이퍼를 지지하는 매수나 배열간격, 마주보는 2개의 박판지지부(3)의 간격 등을 적절히 변경한 복수 종류의 박판지지부(3)를 준비해 둠으로써, 반도체 웨이퍼의 크기, 수납 매수 등에 따라 각종 사용사양에 용이하게 또한 신속하게 대응할 수 있다.

박판지지부(3)의 지지판부(37)에 V자형 홈(38)을 설치하였기 때문에, 반도체 웨이퍼가 V자형 홈(38)에 놓이면, 이 반도체 웨이퍼는 V자형 홈(38)의 경사면으로 안내되어 홈의 저부로 떨어진다. 이로서, 가장 안쪽에 있어서 반도체 웨이퍼가 각 치판부(36)의 사이의 중앙에서 지지되고, 반도체 웨이퍼 끼리의 간섭을 확실하게 방지할 수 있다.

치판부(36)를 반도체 웨이퍼에 맞게 원호상으로 형성하였기 때문에, 치판부 (36)와 반도체 웨이퍼가 서로 약간 겹쳐지는 면적이 작아지고, 박판의 표면에 대한 악영향을 해소할 수 있다.

박판지지부(3)의 치수 정밀도를 높게 유지할 수 있기 때문에, 반도체 웨이퍼를 확실하게 지지함과 동시에, 반송시 등에 있어서, 이웃하는 반도체 웨이퍼 상호의 간섭을 방지할 수 있다.

탑 플랜지(5)와 이동용 핸들(6)을 착탈이 자유롭게 설치할 수 있기 때문에, 박판지지용기(1)의 반송시에 이것들을 분리함으로써, 힘들이지 않고 작게 포장할 수 있고, 반송작업의 효율화를 도모할 수 있다.

이동용 핸들(6)을 용기본체(2)의 세로방향과 가로방향의 중간위치의 방향,즉 45도로 기울여서 설치하였기 때문에, 작업자가 이 이동용 핸들(6)을 손으로 잡아서, 박판지지용기(1)를 세로에서 가로로, 또는 가로에서 세로로 바꾸어 둘 때, 극단적으로 손목을 돌릴 필요가 없어진다. 이 결과, 작업자에게 부담을 주지 않고, 작업성이 향상된다.

박판지지용기(1)의 필터(7)를 설치하였기 때문에, 박판지지용기(1)의 반송시에 기압이 크게 변해도, 필터(7)에 의해 박판지지용기(1)의 내압을 가장 적절한 상태로 조정할 수 있다. 그 결과, 덮개체(4)가 분리되기 어렵게 되는 것을 방지할 수 있다.

필터(7)는 착탈이 자유롭게 설치되기 때문에, 박판지지용기(1)의 세정시에는 필터(7)를 분리하여, 효율적으로 세정작업을 실시할 수 있다.

상기 실시형태에서, 반도체 웨이퍼를 예로 설명하였지만, 기억디스크, 액정유리기판등의 다른 박판을 이용한 경우도, 상기 실시형태같은 작용, 효과를 나타낼 수 있다. 또한, 액정 유리기판의 경우는 사각형상으로 형성되어 있기 때문에, 박판지지부(3)의 형상을 각각 맞추어 형성한다.

상기 실시형태는 박판지지부(3)를, 덮개체(4)에 의해 내부가 밀봉되는 박판지지부(1)에 착탈이 자유롭게 설치할 수 있는 경우를 예로 설명하였지만, 반도체 웨이퍼의 제조라인등에서 액체 약품 처리나 세정 등에 이용되는 웨이퍼 케리어에 이용해도 좋다. 즉, 웨이퍼 케리어에 박판지지부(3)를 착탈이 자유롭게 설치하는 경우도, 상기 실시형태의 작용, 효과를 나타낼 수 있다.

상기 실시형태에서는, 이동용 핸들(6)은 45도로 기울여서 설치하였지만, 45도에 제한되지 않고, 이것에 가까운 각도라면, 상기 실시예와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.

상기 실시형태에서는, 치판부(36)의 입구쪽에서 지지수부(37D)가 형성되고, 그 표면이 약간 아래쪽으로 기울여져서 형성되었지만, 반도체 웨이퍼가 접촉하는 부분에 돌기상의 웨이퍼 지지부를 설치하여 반도체 웨이퍼와의 접촉면적을 최소한으로 억제할 수 있도록 해도 좋다.

상기 실시예에서는, 리프트 기구로서 가스켓을 이용하였지만, 스프링 등의 다른 탄성부재를 이용하여 리프트 기구를 구성해도 좋다.

상기 실시예에서는, 박판지지부(3)의 재료로서 고순도의 PBT를 이용하였지만, PEEK(폴리에테르에테르케톤)이나 PBT(폴리부틸렌나프탈레이트) 등을 이용하여 박판지지부(3)를 구성하여도 좋다.

상기 실시형태에서는, V자형 홈(38)의 홈 저부를 이웃하는 2개의 치판부(36)와 등거리의 정확한 중앙위치에서 형성하였지만, 정확한 중앙위치에 한정하지 않고 중앙근방이라면 상기와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.

더욱이, V자형 홈(38)의 형상도 경사가 급한 V자 형상으로 한정되지 않고, 완만한 V자 형상이라도 좋다. V자형 홈(38)의 경사면도 평탄면에 한정되지 않고, 안쪽 또는 바깥쪽으로 다소 둥글게 형성해도 좋다. 반도체 웨이퍼 등을 홈의 저부까지 안내할 수 있는 형상이라면 좋다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 박판지지용기에 따르면, 다음과 같은 효과를 나타낸다.

(1) 덮개체에 간이착탈기구를 설치하였기 때문에, 극히 용이하게 덮개체를 용기본체에 대해 착탈할 수 있도록 된다. 또한, 이 덮개체의 착탈은 수동, 자동에 관계없이 용이하게 된다.

(2) 용기본체에 족부를, 덮개체에 족부수부를 설치하였기 때문에, 복수의 박판지지용기(1)를 안정하게 적층할 수 있다.

(3) 박판지지부를 용기본체에 착탈이 자유롭게 설치하였기 때문에, 이 박판지지부를 분리하여 용기본체 및 박판지지부를 용이하게 또는 미세한 부분까지 충분히 세정할 수 있다. 또한, 박판지지부로서, 박판을 지지하는 매수나 배열간격, 마주보는 2개의 박판지지부의 간격 등을 적절히 변경한 복수 종류의 박판지지부를 준비해 둠으로써, 박판의 크기, 수납 매수 등에 따라, 각종 사용사양에 용이하게 또한 신속하게 대응할 수 있다.

(4) 박판지지부의 지지판부에 V자형 홈을 설치하였기 때문에, 반도체 웨이퍼가 각 치판부의 사이의 중앙에서 지지되고, 박판끼리의 간섭을 확실하게 방지할 수 있다.

(5) 치판부를 박판에 맞쳐 원호상으로 형성하였기 때문에, 치판부와 박판이 서로 겹쳐지는 면적이 작아지고, 박판의 표면에 대한 악영향을 해소할 수 있다.

(6) 박판지지부의 치수 정밀도를 높게 유지할 수 있기 때문에, 박판을 확실하게 지지함과 동시에, 반송시 등에 있어서 이웃하는 박판 끼리의 간섭을 방지할 수 있다.

(7) 탑 플랜지와 이동용 핸들을 착탈이 자유롭게 설치하였기 때문에, 박판지지용기의 반송시에 이것들을 분리함으로써 큰 힘을 들이지 않고 포장할 수 있고, 반송작업의 효율화를 도모할 수 있다.

(8) 이동용 핸들을 용기본체의 세로방향과 가로방향의 중간위치의 방향으로 기울여지도록 설치하였기 때문에, 작업자가 이 이동용 핸들을 손으로 잡아서, 박판지지용기를 세로에서 가로로, 또는 가로에서 세로로 바꾸어 둘 때, 극단적으로 손목을 돌릴 필요가 없어지고, 작업자에게 부담을 주지 않고, 쉽게 작업할 수 있다.

(9) 박판지지용기에 필터를 설치하였기 때문에, 박판지지용기의 반송시에 기압이 크게 변화해도, 필터에 의해 박판지지용기의 내압을 최적의 상태로 조정할 수 있다. 이 결과, 덮개체가 분리되기 어려워지는 것을 방지할 수 있다.

(10) 필터는 착탈이 자유롭게 설치되었기 때문에, 박판지지용기의 세정시에 필터를 떼어내서 효율적으로 세정작업을 실시할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 박판지지용기(1)는 진애 등의 발생을 절대적으로 억제할 필요가 있는 반도체 웨이퍼나, 하드 메모리 디스크(자기 디스크)나, 컴펙트 디스크(CD)의 기체 등을 반송하는 케리어에 이용되어 유용하다. 또한, 이것들의 제조행정에서의 이송용 케리어에 이용하여 유용하다.

Claims

내부에 박판을 복수개 수납하는 용기본체와, 이 용기본체의 마주보는 측벽에 각각 설치되고 내부에 수납된 박판을 양쪽에서 지지하는 박판지지부를 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 용기본체를 막는 덮개체와, 이 덮개체를 상기 용기본체에 대해 용이하게 착탈할 수 있는 간이착탈기구를 구비하고,

상기 간이착탈기구가, 상기 덮개체의 주변부에 설치되어 있는 걸쇠용 고정부와, 상기 용기본체 쪽에서 상기 걸쇠용 고정부에 마주하여 설치되고 이 걸쇠용 고정부가 고정되어 덮개체가 용기본체에 고정되는 피고정부와, 상기 덮개체 쪽의 걸쇠용 고정부에 일체적으로 설치되고 눌러 내려서 걸쇠용 고정부를 상기 피고정부에서 분리시키는 암과, 이 암으로 걸쇠용 고정부를 피고정부에서 분리시킬 때 상기 덮개체를 상기 용기본체에서 약간 잡아올리는 리프팅 기구로 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제1항에 있어서, 상기 용기본체의 아래쪽에 설치되고 용기본체를 세로로 둔 상태에서 안정하게 지지하는 족부와, 상기 덮개체의 위쪽면에 설치되고 상기 족부가 고정되는 족부 수부를 구비하는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제1항에 있어서, 상기 용기본체에, 반송장치의 암에 의해 파지되는 탑 플랜지와, 이동용 핸들을 각각 착탈이 자유롭게 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제3항에 있어서, 상기 핸들을 용기본체의 세로방향과 가로방향의 중간위치의 방향으로 기울여서 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제1항에 있어서, 상기 용기본체 또는 덮개체에, 안쪽과 바깥쪽 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에, 진애 등의 통과를 제한하는 필터를 착탈이 자유롭게 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수개 수납하는 용기본체와, 이 용기본체 내의 마주보는 측벽에 각각 설치되고 내부에 수납된 박판을 양쪽에서 지지하는 박판지지부를 구비하여 이루어진 박판지지용기에 있어서,

상기 박판지지부가 상기 박판지지부와 상기 용기본체와의 사이에 설계된 고정수단에 의해, 용기본체에 대해 착탈이 자유롭게 설치된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제6항에 있어서, 상기 박판지지부가,

병렬로 일정간격을 두어 여러장 설치되고 각 박판을 1매씩 간격을 두어 지지하는 치판부(齒板部)와,

각 치판부를 병렬로 일정간격을 두어 설치한 상태에서 적어도 가장 안쪽과 입구쪽을 일체적으로 지지하는 지지판부와,

가장 안쪽의 지지판부와 상기 박판의 밀착면에 형성되고 상기 용기본체를 세로로 두었을 때 박판을 가장 안쪽부분에서 각 치판부 사이의 중앙으로 안내하여 지지하는 V자형 홈을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제7항에 있어서, 상기 박판이 원형상으로 형성됨과 함께 상기 치판부가 원형상의 박판의 주변을 따라 원호상으로 둥글게 형성되고, 박판의 주변을 따라 서로 약간 겹쳐지는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제6항에 있어서, 상기 박판지지부가, 크기 정밀도가 높게 마무리되는 성형성으로 우수한 합성수지에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제6항에 있어서, 상기 용기본체에, 반송장치의 암에 의해 파지되는 탑 플랜지와, 이동용 핸들을 각각 착탈이 자유롭게 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제10항에 있어서, 상기 핸들을 용기본체의 세로방향과 가로방향의 중간위치의 방향으로 기울여서 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제6항에 있어서, 상기 용기본체에, 안쪽과 바깥쪽 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에, 진애 등의 통과를 제한하는 필터를 착탈이 자유롭게 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.