KR101258419B1 - 낱장 수납 용기 및 그것에 사용하는 완충 지지 부재 - Google Patents

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Abstract

매우 얇은 박판 웨이퍼를 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있음과 아울러 용이하게 출납할 수 있도록 하기 위한 것으로서, 내부에 1장의 박판 웨이퍼4A를 수납하는 용기 본체2와, 당해 용기 본체2에 부착되는 뚜껑3을 구비한 낱장 수납 용기1이다. 용기 본체2 측에 위치하여 뚜껑3을 저면 측에서 지지하는 저면 지지부재35와, 뚜껑3 측에 위치하여 상측 표면 측에서 지지하는 표면 지지부재36을 구비한다. 저면 지지부재35는, 박판 웨이퍼4A의 중앙부분을 지지하는 중앙 지지부37과, 외주부분을 지지하는 외주 지지부38과, 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부39와, 상기 중앙 지지부37과 외주 지지부38을 일체적으로 결합하는 환상판부40을 구비한다. 표면 지지부재36은, 박판 웨이퍼4A를 상측으로부터 덮는 원반부43과, 상기 저면 지지부재35와 함께 상기 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하는 접촉부44, 45를 구비한다.

Description

낱장 수납 용기 및 그것에 사용하는 완충 지지 부재{SINGLE THIN PLATE STORAGE CONTAINER AND SHOCK-ABSORBING SUPPORT MEMBERS USED THEREIN}
도1은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 완충 지지 부재를 나타내는 요부 단면도이다.
도2는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기를 단면상태로 나타내는 사시도이다.
도3은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기를 후크 측에서 나타내는 사시도이다.
도4는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기를 힌지 측에서 나타내는 사시도이다.
도5는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체를 나타내는 사시도이다.
도6은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체의 요부를 나타내는 정면도이다.
도7은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체를 이면(裏面)으로부터 나타내는 사시도이다.
도8은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체에 반도체 웨이퍼를 재치한 상태를 나타내는 사시도이다.
도9는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체에 반도체 웨이퍼를 재치한 상태를 단면상태로 나타내는 사시도이다.
도10은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 용기 본체의 요부를 나타내는 확대 사시도이다.
도11은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 힌지를 정면 측에서 나타내는 사시도이다.
도12는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 힌지를 이면 측에서 나타내는 사시도이다.
도13은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 후크를 정면 측에서 나타내는 사시도이다.
도14는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 후크를 이면 측에서 나타내는 사시도이다.
도15는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 뚜껑을 상측으로부터 나타내는 사시도이다.
도16은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 뚜껑을 하측으로부터 나타내는 사시도이다.
도17은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 리테이너를 상측으로부터 나타내는 사시도이다.
도18은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 리테이너를 하측으로부터 나타내는 사시도이다.
도19는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 저면 지지부재를 상측으로부터 나타내는 사시도이다.
도20은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 저면 지지부재를 하측으로부터 나타내는 사시도이다.
도21은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 저면 지지부재을 나타내는 평면도이다.
도22는, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 저면 지지부재를 나타내는 저면도이다.
도23은, 본 발명 실시예에 관한 낱장 수납 용기의 표면 지지부재를 하측으로부터 나타내는 사시도이다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 기억 디스크, 액정 글래스 기판 등의 박판(薄板)을 수납하여 보관, 수송, 제조공정 등에 있어서 사용되는 낱장 수납 용기 및 그것에 사용하는 완충 지지 부재에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 박판을 수납하여 보관, 수송 등 하기 위한 낱 장 수납 용기는 일반적으로 알려져 있다. 이 낱장 수납 용기의 일례로서는 특표평5-508747호 공보에 기재된 로봇용 패키지가 있다. 이 로봇용 패키지에서는, 웨이퍼를 수납하는 컴파트먼트(compartment)를 구비하고 있다. 웨이퍼는, 이 컴파트먼트 내에 삽입되어서 보관, 수송 등이 이루어진다.
또한 얕은 접시모양의 용기 본체와 뚜껑으로 구성된 낱장 수납 용기도 있다.
그런데, 상술한 바와 같은 로봇용 패키지의 경우에는, 웨이퍼를 컴파트먼트에 대하여 출납하는 것이 용이하지 않아 작업성이 나쁘다. 이에 대하여 얕은 접시모양의 용기 본체와 뚜껑으로 구성된 낱장 수납 용기의 경우에는, 상기 로봇용 패키지보다 웨이퍼의 출납이 용이하게 되지만, 이 경우에도 웨이퍼를 상방으로부터 꺼낼 필요가 있다. 접시모양의 용기 본체의 경우에, 수납된 웨이퍼의 주위에 용기 본체의 벽부가 있기 때문에 반송장치의 진공 핀셋을 옆으로부터 삽입할 수는 없다. 이 때문에 웨이퍼를 상방으로부터 꺼낼 필요가 있어, 그 작업성이 나쁘다고 하는 문제점이 있다.
또한 웨이퍼가 얇아서 대형화 하면, 강도(强度)의 문제점으로부터 웨이퍼의 가장자리 만을 지지하여 상방으로 들어 올리는 것이 용이하지 않아, 이 점에서도 작업성이 나쁘다고 하는 문제가 있다.
특히, 매우 얇은 실리콘 웨이퍼를 취급하는 수납 용기의 경우에는, 출납 작업 뿐만 아니라 낱장 수납 용기 내에서의 지지방법도 문제가 된다. 즉 실리콘 웨이퍼의 두께가 25∼400μm 정도로 대단히 얇기 때문에, 강도가 약해져서 종이와 같이 용이하게 휘어버려 단순하게 실리콘 웨이퍼의 가장자리를 지지하면, 실리콘 웨이퍼가 크게 휘어버려 실리콘 웨이퍼의 파손이나, 실리콘 웨이퍼의 표면에 형성된 미세회로가 손상되는 등의 문제가 있다.
이러한 매우 얇은 실리콘 웨이퍼의 경우에는, 보통 그 양면을 보호 필름으로 커버하여 취급된다. 이 보호 필름은, 웨이퍼의 강도를 보강함과 아울러 취급을 쉽게 하고 있다. 그러나 이 경우에도, 실리콘 웨이퍼의 가장자리를 지지하면, 상기한 바와 같이 실리콘 웨이퍼가 크게 휘어버려 실리콘 웨이퍼의 표면에 형성된 회로가 파손되는 등의 문제가 발생해버린다.
본 발명은, 상기의 점에 감안하여 이루어진 것으로서, 상술한 바와 같은 매우 얇은 실리콘 웨이퍼(Thin Wafer)를 안전하고, 기밀성을 유지하여 확실하게 지지할 수 있음과 아울러 용이하게 출납할 수 있는 낱장 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 용이하게 휠 수 있는 매우 얇은 1장의 박판(薄板)을 내부에 수납하는 용기 본체(容器本體)와, 당해 용기 본체에 부착되는 뚜껑을 구비하는 낱장 수납 용기에 있어서, 상기 용기 본체 측에 위치하여 상기 박판을 저면 측으로부터 면(面)으로 지지하는 저면 지지부재와, 상기 뚜껑 측에 위치하여 상기 박판을 상측 표면 측으로부터면(面), 선(線) 또는 점(点)으로 지지하는 표면 지지부재를 구비하고, 상기 뚜껑을 닫음으로써 상기 저면 지지부재가 상기 박판을 그 저면 측에서 접촉하여 지지하고 또한 상기 표면 지지부재가 상기 박판을 그 상측 표면 측에서 접촉하여 지지하는 것을 특징으로 한다.
상기 저면 지지부재가, 상기 박판의 중앙부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 중앙 지지부와, 상기 박판의 외주부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 외주 지지부와, 상기 박판의 가장자리에 접촉하여 당해 박판을 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부와, 상기 중앙 지지부와 외주 지지부를 일체적으로 결합하는 환상판부를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 표면 지지부재가, 상기 저면 지지부재에 재치된 상기 박판의 표면에 접촉하여 당해 저면 지지부재와 함께 협지하도록 하여 지지하는 접촉부와, 상기 뚜껑 측에 설치되어서 당해 접촉부를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 접촉부가, 상기 저면 지지부재의 외주 지지부에 대향하여 설치되어 당해 외주 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지하는 가장자리 접촉부와, 상기 저면 지지부재의 중앙 지지부에 대향하여 설치되어 당해 중앙 지지부와 함께 상기 박 판을 협지하도록 하여 지지하는 중간 접촉부로 구성되는 것이 바람직하다.
이에 따라 상기 저면 지지부재와 상기 표면 지지부재로 매우 얇은 실리콘 웨이퍼 등의 박판을 그 상하로부터 협지하도록 하여 지지한다.
구체적으로는, 상기 탄성 지지부에 의하여 탄성적으로 지지된 가장자리 접촉부가 상기 저면 지지부재의 외주 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지한다. 또한 탄성 지지부에 의하여 탄성적으로 지지된 중간 접촉부가 상기 저면 지지부재의 중앙 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지한다.
본 발명의 낱장 수납 용기 및 그것에 사용하는 완충 지지 부재에 의하면, 저면 지지부재가 상기 박판을 저면 측에서 지지하고, 표면 지지부재가 상기 박판을 표면 측에서 지지하기 때문에 매우 얇은 실리콘 웨이퍼 등의 박판을 안전하게, 기밀성을 유지하여 확실하게 지지할 수 있다.
(실시예)
이하, 본 발명 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다. 본 발명의 낱장 수납 용기는, 큰 직경의 반도체 웨이퍼 등의 박판을 수납하여 보관, 수송 등 하기 위한 용기이다. 본 발명의 낱장 수납 용기의 특징은, 내부에 완충 지지 부재를 장착한 점에 있다. 여기에서는, 박판으로서 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명 한다. 본 발명의 낱장 수납 용기에서 취급하는 웨이퍼는, 두께가 25∼400μm 정도의 매우 얇은 박판 웨이퍼이다. 즉 웨이퍼의 가장자리를 지지하면 용이하게 휘어서 평면상태를 유지하는 것이 불능할 정도로 강도가 없고 매우 얇은 박판 웨이퍼이다. 이 때문에 박판 웨이퍼의 가장자리를 지지하면, 박판 웨이퍼가 꺾여져 손상되거나 그 표면에 형성된 미세회로가 손상되거나 한다. 이 때문에 본 실시예에 관한 낱장 수납 용기는, 상하 양면을 보호필름으로 커버된 매우 얇은 박판 웨이퍼의 상측 표면 및 하측 표면에 각각 접촉하여 박판 웨이퍼를 면(面)으로 지지하도록 한 것이다. 이하에서는, 우선 낱장 수납 용기를 설명하고 나서, 그 내부에 장착하는 완충 지지 부재를 설명한다. 이하에서 설명하는 낱장 수납 용기는, 통상의 두께의 웨이퍼를 수납하는 낱장 수납 용기이다. 통상의 두께의 웨이퍼를 수납하는 낱장 수납 용기를 그대로 사용하면서 매우 얇은 박판 웨이퍼를 수납할 수 있는 낱장 수납 용기를 구성한다.
낱장 수납 용기1은, 도2∼4에 나타나 있는 바와 같이 주로 용기 본체2와 뚜껑3으로 구성되고, 네 구석을 둥글게 한 사각형 모양으로 형성되어 있다. 이들 용기 본체2 및 뚜껑3은, 비대전성(非帶電性)의 투명 고분자 재료(透明高分子材料)로 형성되어 있다. 비대전성으로 함으로써 진애(塵埃) 등의 흡착을 방지하고 있다. 또한 투명 고분자 재료로 함으로써 내부의 상태를 확인할 수 있도록 되어 있다. 또, 용기 본체2와 뚜껑3은, 그 양쪽 모두를 비대전성의 고분자 재료로 하는 경우 이외에, 어느 일방 만을 비대전성의 고분자 재료로 형성하더라도 좋다. 또한 양쪽 모두 투명 고분자 재료로 형성하는 경우 이외에, 뚜껑3 만을 투명 고분자 재료로 형성하더라 도 좋다. 적어도 뚜껑3을 투명 고분자 재료로 형성하면, 내부의 상태를 확인할 수 있다.
용기 본체2는, 박판으로서 1장의 반도체 웨이퍼4를 수납하기 위한 부재이다. 이 용기 본체2는, 도5∼10에 나타나 있는 바와 같이 후술하는 저면 지지부재35를 재치하는 저판부5와, 이 저판부5의 주위에 형성된 주벽부6으로 구성되어 있다.
저판부5는, 수납된 반도체 웨이퍼4를 지지하는 부분이다. 이 저판부5는, 주벽부6보다 높은 위치까지 융기시켜서 형성되어 있다. 이것은, 반도체 웨이퍼4를 저판부5의 상에 재치할 때 및 저판부5에 재치된 반도체 웨이퍼4를 꺼낼 때에 주벽부6이 장애가 되지 않도록 하기 위해서이다. 즉 반송장치의 진공 핀셋(도면에는 나타내지 않는다) 등에 의하여 지지된 반도체 웨이퍼4를 저판부5에 재치한 후에, 이 반도체 웨이퍼4와 저판부5의 사이로부터 진공 핀셋 등을 가로방향으로 빼내거나, 저판부5에 재치된 반도체 웨이퍼4의 가로방향으로부터 이 반도체 웨이퍼4의 하측에 진공 핀셋 등을 삽입하여 들어 올리거나 할 때에, 주벽부6이 장애가 되지 않도록 하기 위해서이다.
저판부5의 상측면에는, 박판지지 돌출편8과 결합편9가 설치되어 있다. 박판지지 돌출편8은, 반도체 웨이퍼4를 저판부5와의 사이에서 간격을 둔 상태에서 지지하기 위한 부재이다. 박판지지 돌출편8은, 저판부5의 가장자리에 복수 개(본 실시예에서는 8개) 설치되어 있다. 각 박판지지 돌출편8은, 저판 부5의 가장자리로부터 중심을 향하여 방사상으로 연장되어 형성되어 있다. 박판지지 돌출편8은, 저판부5의 가장자리로부터 중심을 향하여 가늘어지는 쐐기 모양으로 형성되어 있다. 또한 박판지지 돌출편8의 원주방향의 단면형상은, 반도체 웨이퍼4와의 접촉 부분을 향하여 가늘어지도록 대략 삼각형 모양으로 형성되어 있다. 박판지지 돌출편8의 단면형상을 대략 삼각형 모양으로 함으로써 반도체 웨이퍼4의 가장자리와 점접촉(点接觸) 하게 되어 있다. 또, 이 접촉부분은, 점접촉 이외에 선접촉(線接觸) 또는 면접촉(面接觸)으로 하여도 좋다. 박판지지 돌출편8의 형상, 반도체 웨이퍼4의 치수, 요구되는 강도 등을 고려한 뒤에 가능한 한 최소면적으로 접촉하도록 박판지지 돌출편8의 형상을 설정한다.
이에 따라 박판지지 돌출편8에는, 반도체 웨이퍼4에 작용하는 힘을 균일하게 하여 반도체 웨이퍼4에 균일한 지지력을 작용시키는 기능이 생긴다. 이것은, 다음과 같은 이유에 의한다. 우선, 박판지지 돌출편8은, 리테이너24와 더불어 반도체 웨이퍼4를 저판부5의 중심에 배치시키는 기능을 갖추고 있다. 즉 박판지지 돌출편8이 쐐기 모양으로 형성되어 경사져 있음으로써, 이 박판지지 돌출편8에 반도체 웨이퍼4의 가장자리가 재치되면 이 반도체 웨이퍼4에 저판부5의 중심방향으로 작용하는 힘이 작용한다. 또한 리테이너24에 의해서도 반도체 웨이퍼4에 저판부5의 중심방향으로 작용하는 힘이 작용한다. 리테이너24는, 반도체 웨이퍼4의 가장자리를 하방과 지름방향 내측으로 가압하지만, 그 중에 하방으로 가압하는 힘이, 박판지지 돌출편8의 쐐 기 모양의 경사 부분에 재치된 반도체 웨이퍼4의 가장자리에 작용함으로써 반도체 웨이퍼4를 저판부5의 중심방향으로 가압하는 힘이 발생한다. 또한 이 힘은, 반도체 웨이퍼4가 리테이너24로부터 떨어지면 약해지고, 근접하면 강하게 된다. 리테이너24 자신이 가지고 있는, 반도체 웨이퍼4를 지름방향 내측으로 가압하는 힘도 동일하다. 한편 박판지지 돌출편8과 반도체 웨이퍼4는 접촉면적이 작아서 마찰저항도 작기 때문에, 반도체 웨이퍼4는 상기 압력에 의하여 용이하게 이동할 수 있다. 이 때문에 반도체 웨이퍼4는, 그 주위에 복수 개 설치된 각 리테이너24 및 박판지지 돌출편8에 의하여 압력이 균형을 이루는 위치로 이동한다.
이 결과, 상기 리테이너24 자신과 박판지지 돌출편8 자신이 갖는 지름방향 내측으로의 압력 및 리테이너24와 박판지지 돌출편8이 협동하여 발생시키는 지름방향 내측으로의 압력에 의하여 반도체 웨이퍼4를 저판부5의 중심으로 이동시킨 곳에서 균형이 잡혀 반도체 웨이퍼4에 작용하는 힘을 균일하게 하여 반도체 웨이퍼4에 균일한 지지력이 작용한다. 이 때문에 박판지지 돌출편8에는, 리테이너24와 협동함으로써 반도체 웨이퍼4에 작용하는 힘을 균일하게 하여 반도체 웨이퍼4에 균일한 지지력을 작용시키는 기능이 발생한다.
박판지지 돌출편8은, 사각형의 저판부5의 각 변에 2개씩 설치되어 있다. 인접하는 2개의 박판지지 돌출편8의 간격은, 반송장치의 진공 핀셋 등보다 넓은 간격으로 설정되어 있다. 이에 따라 반송장치의 진공 핀셋이, 인접하는 2개의 박판지지 돌출편8의 사이를 통과하여 반도체 웨이퍼4를 출납하도록 되어 있다. 여기에서 박판지지 돌출편8은 저판부5의 가장자리에 8개 설치하고 있으나, 진공 핀셋의 출납이 방해받지 않는 범위에서 7개 이하 또는 9개 이상이라도 좋다. 또한 박판지지 돌출편8은 저판부5의 가장자리 근방에 설치되었지만, 진공 핀셋의 출납이 방해받지 않는 범위에서 저판부5의 전체면에 설치하여도 좋다.
결합편9는, 각 박판지지 돌출편8에 재치된 반도체 웨이퍼4의 가장자리에 접촉하여 반도체 웨이퍼4가 옆으로 미끄러지는 것을 방지하기 위한 부재이다. 결합편9는, 박판지지 돌출편8의 단부에 설치되어 있다. 결합편9는, 박판지지 돌출편8에 재치된 반도체 웨이퍼4의 외경보다 약간 큰 원주 상의 위치에 설치되어 있다. 또한 결합편9의 접촉면은, 반도체 웨이퍼4의 가장자리를 따라 만곡(彎曲)되게 형성되어 있다. 반도체 웨이퍼4가 옆으로 미끄러지는 경우에는, 이 결합편9의 만곡한 접촉면이 반도체 웨이퍼4의 가장자리에 접촉하여 옆으로 미끄러지는 것을 방지한다. 또한 결합편9는, 저면 지지부재35가 옆으로 미끄러지거나 회전하는 것을 방지하는 기능도 구비하고 있다. 구체적으로는, 결합편9의 기부의 대좌부9A가 이 기능을 갖추고 있다. 대좌부9A는, 후술하는 저면 지지부재35의 외주 지지부38의 위치결정용 돌기38B에 접촉하여 저면 지지부재35의 위치를 결정하여 지지한다. 위치결정용 돌기38B는, 1변에 2개 씩, 4변에 합계 8개가 설치되고, 이들이 각 대좌부9A에 접촉함으로써 위치 결정되어 지지된다. 이에 따라 저면 지지부재35 가 옆으로 미끄러지는 것과 회전하는 것을 방지하고 있다.
저판부5는, 그 중앙부의 두께가 가장자리의 두께보다 두껍게 되도록 설정되어 있다. 이것은, 저판부5에 요구되는 강도를 유지하기 위한 것으로서, 요구되는 강도에 따른 두께로 설정된다. 두께의 변화와 함께 원추형상 등으로 만곡시켜서 형성하더라도 좋다. 예를 들면 중심위치의 최대두께를 5mm, 가장자리의 최소두께를 2mm로 하고 그 두께를 완만한 모양으로 변화시켜서 저판부5를 구성한다. 이 때에, 필요에 따라 두께의 변화와 함께 원추형상 등으로 만곡시켜서 형성한다. 이 구성에 의하여, 요구되는 강도를 확보한 상태에서 저판부5의 이면의 보강 리브(補强 rib)를 생략하고 요철부분을 없애서 세정하기 쉽고 물기를 털어버리기 쉬운 형상으로 하고 있다. 즉 세정효율의 향상을 도모하고 있다.
주벽부6은, 도9에 나타나 있는 바와 같이 저판부5의 가장자리로부터 하방을 향하여 형성되어 있다. 주벽부6은, 2단의 단차가 형성되어 구성되어 있다. 제1단6A의 단차의 상면에는 그 전체 둘레에 걸쳐서 시일 홈(seal groove)12가 형성되고, 이 시일 홈12에 시일재(seal材)13이 부착되어 있다. 용기 본체2에 뚜껑3을 덮음으로써 뚜껑3의 주벽부22의 제1단22A에 있어서의 단차의 하면이 시일재13에 접촉하여 이 시일재13을 누름으로써 낱장 수납 용기1 내를 기밀하게 밀봉하게 되어 있다. 이 주벽부6의 제1단6A는, 후술하는 뚜껑3의 오목모양 결합부22B에 의하여 둘러싸이는 볼록모양 결합부로 되어 있다.
제2단6B의 단차는, 후술하는 뚜껑3의 볼록 결합부22A에 결합하는 오목 결합부로 되어 있다. 제2단6B의 단차에는, 도4～도7에 나타나 있는 바와 같이 힌지 결합부15와, 후크 결합부16이 형성되어 있다. 힌지 결합부15에는, 뚜껑3을 용기 본체2에 대하여 회전 가능하게 지지하는 후술하는 힌지17이 결합된다. 이 힌지 결합부15는, 후술하는 힌지17의 결합편17A와 대략 동일한 치수로 형성된 오목부에 의하여 구성되어 있다. 이 힌지 결합부15에 힌지17의 결합편17A가 결합함으로써 단단히 결합된다.
후크 결합부16은, 후술하는 후크18이 결합하기 위한 오목부이다. 이 후크 결합부16과 후술하는 뚜껑3의 후크 결합부29의 사이에 후크18이 결합되어서 뚜껑3을 용기 본체2에 고정한다. 후크 결합부16은, 후크18과 대략 동일한 치수로 형성된 오목부에 의하여 구성되어 있다. 용기 본체2의 후크 결합부16과 뚜껑3의 후크 결합부29를 맞춤으로써 후크18과 대략 같은 형상의 오목부가 되도록 구성되어 있다. 후크 결합부16의 양쪽 측벽에는, 원기둥 모양의 결합돌기19가 형성되어 있다. 이 결합돌기19는, 후술하는 후크18의 결합 오목부18B에 결합하여 용기 본체2와 뚜껑3을 고정한다.
힌지17은, 도11 및 도12에 나타나 있는 바와 같이 2개의 결합편17A, 17B와, 각 결합편17A, 17B의 사이의 박판부17C로 구성되어 있다. 각 결합편17A, 17B는, 각 힌지 결합부15, 28에 각각 결합하여 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 연결하기 위한 부재이다. 박판부17C는, 슬라이딩 부분을 없애서 진애 등의 발생을 억제하면서 뚜껑3을 회전 가능하게 지지하기 위한 부재이다.
힌지17은, 용기 본체2에 대하여 뚜껑3이 90도～180도의 개구각이 되는 때에 뚜껑3 및 용기 본체2로부터 분리할 수 있고 또한 부착할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 뚜껑3이 용기 본체2에 대하여 90도～180도의 개구각에서, 힌지17이 용기 본체2 및 뚜껑3의 각 힌지 결합부15, 28에 대하여 착탈 가능하게 되어 있다. 이 힌지17은, 파손 등의 경우에는 새로운 힌지17로 교환한다. 즉 힌지17이 파손되는 경우 등에는, 이 힌지17 만의 교환으로 부품교환이 끝나도록 하고 있다.
후크18은, 용기 본체2의 후크 결합부16과 뚜껑3의 후크 결합부29에 각각 결합하여 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 결합하기 위한 부재이다. 후크18은, 도12 및 도13에 나타나 있는 바와 같이, 본체부18A와, 결합 오목부18B와, 손잡이부18C로 구성되어 있다. 본체부18A는, 대략 사각형 판자 모양으로 형성되어 용기 본체2의 후크 결합부16과 뚜껑3의 후크 결합부29로 형성되는 사각형의 오목부에 결합하게 되어 있다.
결합 오목부18B는, 각 후크 결합부16, 29의 각 결합돌기19, 30에 결합하여 뚜껑3을 용기 본체2 측에 고정하기 위한 부재이다. 이 결합 오목부18B는, 회전용 결합 오목부18B1과 결합용 결합 오목부18B2로 구성되어 있다. 회전용 결합 오목부18B1은, 결합돌기19, 30에 결합하여 후크18을 회전 가능하게 지지하기 위한 부분이다. 이 회전용 결합 오목부18B1은, 그 내측면 형상이 원호모양으로 형성되고 또한 그 양단부에 유도부20을 형성함으로써 결합돌기19, 30에 결합한 상태에서 빠지기 어렵게 되어 있다. 이에 따라 후크18은 용기 본체2 측에 회전 가능하게 부착되어 있다.
결합용 결합 오목부18B2는, 뚜껑3을 용기 본체2에 고정할 때에 결합돌기19, 30에 결합하고 또한 뚜껑3이 열릴 때에 결합돌기19, 30으로부터 떼어내기 위한 부분이다. 이 결합용 결합 오목부18B2는, 결합돌기19, 30에 대하여 용이하게 결합하거나 떼어낼 수 있음과 아울러 뚜껑3을 용기 본체2에 견고하게 고정할 필요가 있기 때문에, 외측면(도13의 상측면)에만 유도부20을 형성하고 있다. 내측면은 평탄면 모양으로 하여 결합돌기19, 30이 출납할 때에 장애가 되지 않도록 하고 있다. 이에 따라 뚜껑3이 용기 본체2에 대하여 열리려고 하는 방향으로 힘이 작용하면, 결합돌기19, 30을 유도부20이 외측으로부터 덮도록 지지하여 후크18이 빠지는 것을 방지한다. 또한 후크18을 결합하거나 떼어내는 경우에는, 한 쪽에만 형성되어 있는 유도부20이 결합돌기19, 30에 대하여 가벼운 장애가 되는 것으로 그치기 때문에 작은 힘으로 용이하게 결합하거나 떼어낼 수 있도록 되어 있다.
손잡이부18C는, 후크18을 결합하거나 떼어낼 때에 손가락으로 쥐는 부분이다. 이 손잡이부18C를 손가락으로 쥐고 결합용 결합 오목부18B2를 결합돌기19, 30에 결합시켜서 뚜껑3을 용기 본체2에 고정하거나, 결합용 결합 오목부18B2를 결합돌기19, 30으로부터 떼어내서 뚜껑3을 열거나 한다.
또한 후크18은, 그 손잡이부18C를 위로 향하여 부착하여도 좋고 아래로 향하여 부착하여도 좋다.
뚜껑3은, 도15 및 도16에 나타나 있는 바와 같이 용기 본체2와 대략 같은 형상으로 형성되어 있다. 이에 따라 낱장 수납 용기1을 겹쳐 쌓았을 때에, 상측의 낱장 수납 용기1의 용기 본체2가 하측의 낱장 수납 용기1의 뚜껑3에 끼워져 안정되고 또한 간결하게 적층시킬 수 있도록 되어 있다. 예를 들면 본 실시예의 낱장 수납 용기1의 일례에서는, 그 전고(全高)가 41mm인 때에 2단 적층에서는 76mm가 되었다. 이에 대하여 종래의 낱장 수납 용기에서는, 낱장 수납 용기의 전고가 49.5mm인 때에 2단 적층에서는 90mm이었다. 이에 따라 적층의 단수가 증가하면, 종래기술에 비하여 그 적층높이를 대폭적으로 저감시킬 수 있다.
뚜껑3은 구체적으로는, 상판부21과 주벽부22와 뚜껑 가이드23으로 구성되어 있다. 상판부21은, 용기 본체2의 저판부5에 재치된 반도체 웨이퍼4를 그 상측으로부터 덮는 부재이다. 상판부21은, 저판부5 와 마찬가지로 그 중앙부의 두께를 가장자리의 두께보다 두껍게 하고 있다. 이것은, 상판부21에 요구되는 강도를 유지하기 위해서이며, 요구되는 강도에 따른 두께로 설정되어 있다. 이에 따라 상판부21의 이면의 보강 리브를 생략하여 요철부분을 없애서 세정효율의 향상을 도모하고 있다.
뚜껑3의 상판부21의 내측면에는, 후술하는 리테이너24가 결합되는 리테이너 결합부(도면에는 나타내지 않는다)가 형성되어 있다. 이 리테이너 결합부는, 상판부21의 내측면에 8개 형성되어 있다. 각 리테이너 결합부는, 상판부21의 내측면 중에서 용기 본체2의 저판부5에 재치된 반도체 웨이퍼4의 가장자리와 대향하도록 형성되어 있다.
주벽부22는, 상판부21의 주위로부터 하방을 향하여 형성되어 있다. 이 주벽부22는, 용기 본체2의 주벽부6과 마찬가지로, 2단으로 단차를 형성하여 구성되어 있다. 이에 따라 뚜껑3이 용기 본체2를 덮은 상태에서 당해 용기 본체2의 저판부5와 뚜껑3의 상판부21 및 주벽부22에 의하여 반도체 웨이퍼4를 수납하는 공간이 형성되어 있다. 제1단22A는 용기 본체2의 오목모양 결합부6B에 그 하측으로부터 결합하는 볼록모양 결합부로 되어 있다. 제2단22B는, 용기 본체2의 볼록모양 결합부6A에 그 상측으로부터 결합하는 오목모양 결합부로 되어 있다.
주벽부22의 단차 중에 제1단22A의 하면에는, 그 전체 둘레에 걸쳐서 접촉면이 형성되어 있다. 이 접촉면이 용기 본체2 측의 시일재13에 접촉하여 낱장 수납 용기1 내를 기밀하게 밀봉하게 되어 있다. 제2단22B는, 그 외주면이 용기 본체2에 형성된 단차의 제2단6B의 외주면과 하나의 면이 되도록 형성되어 있다. 즉 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 닫은 상태(도1 참조)에서 이들의 결합부분이 하나의 면이 되도록 형성되어 있다. 이것은, 시일재13을 설치하지 않고 하나의 면이 되는 결합부분에 시일용 테이프를 붙이는 경우가 있기 때문이다.
뚜껑 가이드23은, 뚜껑3을 용기 본체2에 덮을 때에 이들 뚜껑3과 용기 본체2와가 서로 어긋나지 않도록 안내하기 위한 가이드이다. 이 뚜껑 가이드23은, 뚜껑3의 후크 결합부29의 양측으로부터 내측으로 돌출시켜서 형 성되고, 뚜껑3이 용기 본체2에 덮였을 때에 용기 본체2의 주벽부6에 대하여 약간의 간격을 둔 상태에서 대향하여 위치하게 되어 있다. 이에 따라 뚜껑 가이드23은, 뚜껑3이 힌지17을 중심으로 회전하여 용기 본체2에 덮였을 때에, 뚜껑3이 어긋나는 경우에 안내한다. 뚜껑3은 2개의 힌지17에 의하여 지지되어 있기 때문에 보통 어긋나는 일은 없지만, 어떠한 원인에서 뚜껑3이 용기 본체2에 대하여 어긋나는 경우에, 뚜껑 가이드23이 용기 본체2의 주벽부6에 접촉하여 안내한다. 또한 뚜껑 가이드23은 용기 본체2 측에 형성하여도 좋다. 용기 본체2 및 뚜껑3의 양측에 형성하여도 좋다.
주벽부22의 단차 중에 제1단22A의 하면에는, 그 전체 둘레에 걸쳐서 접촉면이 형성되어 있다. 이 접촉면이 용기 본체2 측의 시일재13에 접촉하여 낱장 수납 용기1 내를 기밀하게 밀봉하게 되어 있다. 제2단22B는, 그 외주면이 용기 본체2의 제2단6B의 외주면과 하나의 면이 되도록 형성되어 있다. 즉 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 닫은 상태(도2 참조)에서 이들의 결합부분이 하나의 면이 되도록 형성되어 있다. 이것은, 시일재13을 설치하지 않고 하나의 면이 되는 결합부분에 시일용 테이프를 붙이는 경우가 있기 때문이다.
뚜껑3에 있어서 용기 본체2의 힌지 결합부15에 대향하는 위치에는 힌지 결합부28이 형성되어 있다. 힌지 결합부28에는, 뚜껑3을 용기 본체2에 대하여 회전 가능하게 지지하는 힌지17이 결합된다. 이 힌지 결합부28은, 힌지 결합부15와 마찬가지로 힌지17의 결합편17A와 대략 동일한 치수로 형성 된 오목부로 구성되어 있다. 이 힌지 결합부28에, 힌지17의 결합편17A가 결합하여 단단하게 결합된다.
뚜껑3에 있어서 용기 본체2의 힌지 결합부15에 대향하는 위치에는 힌지 결합부28이 형성되어 있다. 힌지 결합부28에는, 뚜껑3을 용기 본체2에 대하여 회전할 수 있도록 지지하는 힌지17이 결합된다. 이 힌지 결합부28은, 힌지 결합부15와 마찬가지로 힌지17의 결합편17A와 대략 같은 크기로 형성된 오목부에 의하여 형성되어 있다. 이 힌지 결합부28에 힌지17의 결합편17A가 결합하여 견고하게 결합된다.
뚜껑3에 있어서 용기 본체2의 후크 결합부16에 대향하는 위치에는 후크 결합부29가 형성되어 있다. 후크 결합부29는, 용기 본체2의 후크 결합부16에 대응하는 것으로서 대략 동일한 구성으로 되어 있다. 이 후크 결합부29와 용기 본체2의 후크 결합부16이 합쳐짐으로써 후크18과 대략 동일한 치수 및 형상의 오목부를 구성한다.
후크 결합부29의 양쪽 측벽에는, 용기 본체2의 후크 결합부16의 결합돌기19와 동일한 원기둥 모양의 결합돌기30이 형성되어 있다. 이 결합돌기30은, 후술하는 후크18의 결합 오목부18B에 결합하여 용기 본체2와 뚜껑3을 고정한다.
상판부21의 상측면의 가장자리에는, 낱장 수납 용기1을 들어 나르기 위한 결합용 플랜지31이 형성되어 있다. 이 결합용 플랜지31은, 상판부21로부터 수평으로 돌출시킨 판재로 구성되어 있다. 결합용 플랜지31은, 힌지 결합부28 및 후크 결합부29가 위치하는 방향으로 대향하여 2개 형성되어 있다. 이 결합용 플랜지31은, 반송장치 측의 암부(도면에는 나타내지 않는다)의 형상에 따라, 그 형성 위치, 형상 등이 적절하게 설정된다.
리테이너24는, 저면지지부재35에 재치된 반도체 웨이퍼4의 가장자리를 지지하기 위한 부재이다. 이 리테이너24는, 탄성을 구비하는 합성수지로 형성되어 있다. 리테이너24는, 도17 및 도18에 나타나 있는 바와 같이 기부25와, 굴곡편26으로 구성되어 있다. 기부25는 뚜껑3의 상판부21의 리테이너 결합부에 결합하는 부분이다. 기부25는 대략 4각 고리 모양으로 형성되어, 그 중의 2개의 코너에 돌기25A를 형성하여 리테이너 결합부의 형상에 대응하고 있다. 이 기부25가 돌기 모양의 리테이너 결합부에 결합함으로써 리테이너24가 리테이너 결합부에 확실하게 부착된다. 리테이너 결합부는 뚜껑3에 형성된 4각 기둥 또는 유사 형상의 돌기 형상을 하고 있고, 이 돌기를 상기 4각 환상의 기부25에 결합함으로써 리테이너24를 뚜껑3에 부착할 수 있다.
굴곡편26은, 반도체 웨이퍼4에 접촉하여 지지하기 위한 부분이다. 굴곡편26은, 기부25로부터 반도체 웨이퍼4 측으로 연장하여 형성되어 있다. 굴곡편26은, 기단 편부26A, 선단 편부26B, 박판부26C로 구성되어 있다. 굴곡편26은, 탄성을 구비하는 합성수지로 형성되어 있기 때문에 기단 편부26A와 선단 편부26B도 휘어지지만, 특히 박판부26C가 잘 휨으로써 이 박판부26C를 중심으로 하여 기단 편부26A와 선단 편부26B가 휘어져 반도체 웨이퍼4를 탄 성적으로 지지하고 있다. 또한 선단 편부26B는 기단 편부26A에 대하여 경사지게 형성되어 있기 때문에 이 선단 편부26B가 반도체 웨이퍼4의 가장자리에 접촉하면, 이 선단 편부26B가 반도체 웨이퍼4를 그 지름방향 내측 및 하방으로 탄성적으로 가압하게 되어 있다.
다음에 완충 지지 부재34에 대하여 설명한다. 이 완충 지지 부재34는, 상기한 낱장 수납 용기1의 용기 본체2에 재치하는 것만으로 사용할 수 있도록 한 것이다. 완충 지지 부재34는, 저면 지지부재35와 표면 지지부재36으로 구성되어 있다.
저면 지지부재35는, 용기 본체2 측에 위치하여 박판 웨이퍼를 저면 측에서 지지하기 위한 부재이다. 이 저면 지지부재35는, 용기 본체2의 저판부5에 재치된다. 저면 지지부재35는, 도19∼22에 나타나 있는 바와 같이 박판 웨이퍼4A(도1참조)의 중앙부분을 그 저면 측에서 지지하는 중앙 지지부37과, 박판 웨이퍼4A의 외주부분을 그 저면 측에서 지지하는 외주 지지부38과, 박판 웨이퍼4A의 가장자리에 접촉하여 박판 웨이퍼4A를 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부39와, 중앙 지지부37 및 외주 지지부38의 사이에서 이들을 일체적으로 지지하는 환상판부40으로 구성되어 있다. 저면 지지부재35는 비대전성의 고분자 재료로 형성되어 있다.
중앙 지지부37은, 저면 지지부재35의 중앙부를 원반 모양으로 융기시켜서 형성되어 박판 웨이퍼4A의 중앙부를 지지한다.
외주 지지부38은, 박판 웨이퍼4A의 외주부분을 일정 폭의 간격을 두고 지지하고 있다. 이 외주 지지부38은, 단편적(斷片的)인 고리 모양으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 환상의 부재를 4개로 분할하여 구성되어 있다. 즉 외주 지지부38은, 4개의 각 지지편38A로 구성되어 있다. 각 지지편38A의 간격은, 저판부5 상의 인접하는 박판지지 돌출편8의 간격보다 넓게 설정되어 있다. 이에 따라 저면 지지부재35를 용기 본체2의 저판부5에 재치했을 때에, 외주 지지부38의 각 지지편38A의 사이에 상기 박판지지 돌출편8이 위치하게 되어 있다. 외주 지지부38의 각 지지편38A의 외측 양단부에는, 저판부5의 대좌부9A에 접촉하여 저면 지지부재35의 위치를 결정하여 옆으로 미끄러지거나 회전하는 것을 방지하는 위치결정용 돌기38B가 형성되어 있다. 이에 따라 저면 지지부재35는, 용기 본체2의 저판부5의 4변에 2개 씩 형성된 대좌부9A에 각 지지편38A의 위치결정용 돌기38B가 각각 접촉하여 저면 지지부재35를 용기 본체2에 대하여 정확하게 위치 결정되도록 되어 있다. 이와 동시에, 8개의 대좌부9A에 8개의 위치결정용 돌기38B가 각각 접촉하여 지지됨으로써 저면 지지부재35가 옆으로 미끄러지는 것과 회전하는 것이 방지되도록 되어 있다.
가장자리 지지부39는, 각 외주 지지부38의 외측에 위치하여 일체적으로 부착되어 있다. 이에 따라 가장자리 지지부39는, 외주 지지부38에 재치된 박판 웨이퍼4A를 지름방향 외측으로부터 지지하게 되어 있다. 가장자리 지지부39는, 박판 웨이퍼4A의 외경보다 약간 큰 원주 상에 설치되어 있다. 가장자리 지지부39의 접촉면은, 박판 웨이퍼4A의 가장자리를 따라 만곡하게 형 성되어 있다. 가장자리 지지부39의 평면 형상은 대략 삼각형 모양으로 형성되어, 용기 본체2의 저판부5의 네 구석에 맞게 되어 있다.
환상판부40은, 중앙 지지부37과 외주 지지부38을 일체적으로 결합하기 위한 부분이다. 이 환상판부40은, 중앙 지지부37 및 외주 지지부38보다 1단 내려서 형성되어 중앙 지지부37 및 외주 지지부38에 재치된 박판 웨이퍼4A와의 사이에 공간41(도1 참조)을 확보하고 있다. 이 공간41은, 진공 핀셋 등을 가로방향으로부터 출납하기 위한 공간이다.
저면 지지부재35의 이면에는, 저면 지지부재35를 탄성적으로 지지하기 위한 리테이너24가 설치되어 있다. 저면 지지부재35에 있어서 중앙 지지부37의 이면에 4개, 외주 지지부38의 각 지지편38A에 1개씩의 리테이너 결합부(도면에는 나타내지 않는다)가 형성되고, 이들의 리테이너 결합부에 리테이너24가 각각 부착되어 있다. 리테이너24는, 상기 뚜껑3의 내측면에 설치된 리테이너24와 같은 것이다. 저면 지지부재35가 용기 본체2의 저판부5에 재치되면, 이 리테이너24에 의하여 리테이너24의 탄성편26이 저판부5에 접촉하여 휨으로써 저면 지지부재35를 저판부5에 대하여 탄성적으로 지지하고 있다. 이에 따라 박판 웨이퍼4A는, 저면 지지부재35와 표면 지지부재36에 의하여 협지되어 있는 상태에서, 저면 지지부재35의 각 리테이너24와, 표면 지지부재36의 원반부43과, 뚜껑3의 리테이너24에 의하여 용기 본체2 및 뚜껑3에 대하여 탄성적으로 뜨게 된 상태에서 지지됨으로써 외부로부터의 충격을 흡수하게 되어 있다. 또한 박판 웨이퍼4A의 지름방향도 뚜껑3 측의 리 테이너24에 의하여 탄성적으로 지지됨으로써 외부로부터의 충격을 흡수하게 되어 있다.
표면 지지부재36은, 뚜껑3 측에 부착되어서 박판 웨이퍼4A를 그 표면 측에서 지지하기 위한 부재이다. 이 표면 지지부재36은, 도1 및 도23에 나타내는 바와 같이, 원반부43과, 가장자리 접촉부44와, 중간 접촉부45로 구성되어 있다.
원반부43은, 박판 웨이퍼4A를 그 상측으로부터 덮어서 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부이다. 이 원반부43은, 그 중앙부분이 뚜껑3의 내측면에 고정되고, 외주 측이 탄성적으로 휠 수 있는 자유단으로 되어 있다. 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45는, 탄성적으로 휠 수 있는 외주 측 중앙 외주 측에 형성되어 있다.
가장자리 접촉부44는, 박판 웨이퍼4A를 그 가장자리 측에서 지지하기 위한 부분이다. 가장자리 접촉부44는, 원반부43의 가장자리에서 하방을 향하여 형성되어 있다. 이에 따라 가장자리 접촉부44는, 저면 지지부재35의 외주 지지부38에 대향하여 형성되어 있다. 그리고 이들 가장자리 접촉부44와 외주 지지부38에 의하여 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하게 되어 있다(도1 참조).
중간 접촉부45는, 박판 웨이퍼4A를 그 중간위치에서 지지하기 위한 부분이다. 중간 접촉부45는, 원반부43의 중간위치에서 하방을 향하여 형성되어 있다. 이에 따라 중간 접촉부45는, 저면 지지부재35의 중앙 지지부37에 대향 하여 설치되어 있다. 그리고 이들 중간 접촉부45와 중앙 지지부37로 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하게 되어 있다(도1 참조).
이상과 같이 구성된 낱장 수납 용기1은, 다음과 같이 하여 사용된다.
박판 웨이퍼4A를 수납할 때에는, 반도체 웨이퍼 반송장치의 재치대(도면에는 나타내지 않는다)에 낱장 수납 용기1이 재치되어 후크18이 벗겨져서 뚜껑3이 열린다. 이 때에, 용기 본체2의 저판부5 상에는 저면 지지부재35가 재치된다. 저면 지지부재35는, 용기 본체2의 저판부5에 재치됨으로써 그 위치결정용 돌기38B가 저판부5 상의 대좌부9A에 접촉하여 정확하게 위치 결정되어서 지지된다. 또한 뚜껑3의 내측면에는 표면 지지부재36이 부착되어 있다.
이 상태에서, 반송장치의 진공 핀셋이 박판 웨이퍼4A를 지지하여 저판부5의 바로 위까지 이동된다. 계속하여 진공 핀셋이 하강하여 박판 웨이퍼4A가 저면 지지부재35의 중앙 지지부37과 외주 지지부38의 상측면에 재치된다. 이 상태에서, 박판 웨이퍼4A와 저면 지지부재35의 사이에는 진공 핀셋보다 넓은 공간41이 확보되고 또한 저판부5가 주벽부6보다 높은 위치까지 융기되어 있으므로 진공 핀셋은 박판 웨이퍼4A에 접촉하지 않고 그대로 가로방향으로 인출된다. 계속하여 뚜껑3이 닫히고 후크18이 부착된다.
이 때에, 낱장 수납 용기1 내에서는 뚜껑3의 내측면의 표면 지지부재36이 박판 웨이퍼4A의 상측면을 덮어, 표면 지지부재36의 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45가 박판 웨이퍼4A의 상측 표면에 접촉한다.
가장자리 접촉부44의 접촉 부분의 하측에는 저면 지지부재35의 외주 지지부38이 위치하고 있어, 이들 가장자리 접촉부44와 외주 지지부38로 박판 웨이퍼4A를 상하 양측면에서 지지한다. 중간 접촉부45의 접촉 부분의 하측에는 저면 지지부재35의 중앙 지지부37이 위치하고 있어, 이들 중간 접촉부45와 중앙 지지부37로 박판 웨이퍼4A를 상하 양측면에서 지지한다. 또한 이 때에, 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45는 원반부43에 의하여, 중앙 지지부37 및 외주 지지부38은 리테이너24에 의하여, 박판 웨이퍼4A의 가장자리는 뚜껑3 측의 리테이너24에 의하여 각각 탄성적으로 지지되어 있기 때문에, 박판 웨이퍼4A는 용기 본체2 및 뚜껑3에 대하여 탄성적으로 뜬 상태에서 지지됨으로써 과도한 힘이 가해지지 않고 적절한 힘으로 확실하게 지지되어 있다.
이 때에, 낱장 수납 용기1의 내부는 실재13에 의하여 밀봉되어 있다. 또 경우에 따라서는 실재13을 설치하지 않고, 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 닫은 상태에서 하나의 면이 되는 이들의 연결부분에 테이프를 감아서 밀봉하는 경우도 있다.
이 상태에서, 플랜지부31을 반송장치의 암부로 결합하여 낱장 수납 용기1을 들어 올려 반송한다.
낱장 수납 용기1 내의 박판 웨이퍼4A를 꺼낼 때는, 후크18을 벗겨 뚜껑3을 열어 진공 핀셋을 용기 본체2의 가로방향으로부터 공간41에 삽입하여 박판 웨이퍼4A의 하측에 위치시킨 상태에서 상승시켜 박판 웨이퍼4A를 들어 올려 이동시킨다.
낱장 수납 용기1을 세정할 때에는, 후크18을 용기 본체2 및 뚜껑3의 양방으로부터 떼어내고, 힌지17을 용기 본체2와 뚜껑3으로부터 빼낸다. 또한 리테이너24, 저면 지지부재35, 표면 지지부재36 및 실재13도 떼어낸다.
계속하여 이들을 개별로 세정하여 건조시킨 후에, 힌지17, 후크18 등을 부착한다.
[변형예]
상기 실시예에서는 통상의 두께의 웨이퍼를 수납할 수 있는 낱장 수납 용기를 그대로 사용하고 그 저면 지지부재35를 용기 본체2의 저판부5에 재치하였지만, 저면 지지부재35를 용기 본체2의 저판부5에 고정하더라도 좋다. 일체적으로 부착하여도 좋다. 또한 표면 지지부재36은 뚜껑3의 이면에 착탈 가능하게 부착하여도 좋고, 고정하더라도 좋다. 세정을 고려하면, 표면 지지부재36은 뚜껑3의 이면에 착탈 가능하게 부착되는 것이 바람직하지만, 세정을 고려할 필요가 없는 경우에는 고정하더라도 좋다.
상기 실시예에서는 완충 지지 부재34의 원반부43에 가장자리 접촉부44와 중간 접촉부45의 2개의 접촉부를 형성하였지만, 필요에 따라 1개 또는 3개 이상이어도 좋다. 이 경우에, 저면 지지부재35의 중앙 지지부37 및 외주 지지부38은, 접촉부에 맞추어져 대향위치에 형성된다.
또한 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45는 환상으로 형성하였지만, 단편적인 환상이라도 좋다. 또한 다른 형상이어도 좋다. 또한 가장자리 접 촉부44 및 중간 접촉부45는 웨이퍼에 선접촉(線接觸) 하고 잇지만, 점접촉(点接觸) 또는 면접촉(面接觸) 하도록 구성하더라도 좋다. 박판 웨이퍼4A를 그 상측면으로부터 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있는 배열이면 좋다. 이 경우에, 박판 웨이퍼4A를 균등하게 또는 대략 균등하게 지지할 수 있는 배열로 하는 것이 바람직하다. 이 때에, 저면 지지부재35 측의 중앙 지지부37 등도 접촉부에 맞추어져 형성된다.
이러한 경우에도, 상기 실시예와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.
또한 상기 실시예에서는 저면 지지부재35의 중앙 지지부37을 원형으로 형성하고, 외주 지지부38을 단편적인 환상으로 형성하고, 가장자리 지지부39를 단편적인 환상으로 형성하고 있지만, 박판 웨이퍼4A를 전체적으로 균등하게 지지할 수 있는 형상이라면 환상이라도 좋고, 단편적인 환상이라도 좋다. 간격을 두고 배열된 돌기 등의 다른 형상이어도 좋다. 표면 지지부재36의 형상도 고려하여 형성한다.
이 경우에도, 상기 실시예와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.
상기 실시예에서는 가장자리 접촉부44와 중간 접촉부45를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부로서 원반부43을 설치했지만, 원반 모양으로 한정될 필요는 없다. 가장자리 접촉부44와 중간 접촉부45를 탄성적으로 지지할 수 있는 구성이라면 좋고 가장자리 접촉부44와 중간 접촉부45에　맞추어 구성한다. 예를 들면 가장자리 접촉부44와 중간 접촉부45를 웨이퍼에 점접촉 하는 돌기로 구성하는 경우에는, 각 돌기를 지지하는 막대 모양 부재를 점대 칭(点對稱)이고 또한 방사상(放射狀)으로 다수 형성하는 구성이 된다.
상기 실시예에서는 저면 지지부재38 및 표면 지지부재36의 양방을 비대전성의 고분자 재료로 형성하고 있지만, 이들의 어느 일방 만을 비대전성의 고분자 재료로 형성하더라도 좋다. 진애 등을 흡착하여 박판 웨이퍼4A가 오염되어지는 것을 방지할 수 있는 태양이면 무방하다.
이상과 같이, 본 발명의 낱장 수납 용기1에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1)용기 본체2 측에 위치하여 박판 웨이퍼4A를 저면 측으로부터 면(面)으로 지지하는 저면 지지부재35와, 뚜껑3 측에 위치하여 박판 웨이퍼4A를 상측 표면 측에서 지지하는 표면 지지부재36을 구비하고 있으므로, 매우 얇은 박판 웨이퍼4A를 그 상하로부터 협지하도록 하여 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있다.
(2)저면 지지부재35가, 박판 웨이퍼4A의 중앙부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 중앙 지지부37과, 박판 웨이퍼4A의 외주부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 외주 지지부38과, 박판 웨이퍼4A의 가장자리에 접촉하여 박판 웨이퍼4A를 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부39와, 중앙 지지부37과 외주 지지부38을 일체적으로 결합하는 환상판부40을 구비하고 있으므로, 이들 중앙 지지부37, 외주 지지부38 및 가장자리 지지부 39에 의하여 박판 웨이퍼4A를 그 중앙부, 외주부 및 가장자리로부터 확실하게 지지할 수 있음과 아울러 박판 웨이퍼4A의 하측에 진공 핀셋 등의 박판 웨이퍼4A의 지지수단을 출납하기 위한 공간41을 확보할 수 있다.
(3)표면 지지부재36이, 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A의 표면에 탄성적으로 접촉하여 저면 지지부재35와 함께 상하로부터 협지하도록 하여 지지하는 접촉부44, 45를 구비하고 있으므로, 휘기 쉬운 매우 얇은 박판 웨이퍼4A를 탄성적으로 확실하게 지지할 수 있다. 또한 상기 접촉부44, 45와 함께, 뚜껑3 측에 설치되어서 접촉부44, 45를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부로서의 원반부43을 구비하고 있으므로, 박판 웨이퍼4A에 접촉된 접촉부44, 45를 원반부43이 탄성적으로 지지함으로써 휘기 쉬운 매우 얇은 박판 웨이퍼4A를 확실하게 지지할 수 있다.
(4)또한 접촉부를, 저면 지지부재35의 외주 지지부38에 대향하여 형성되고 이 외주 지지부38과 함께 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하는 가장자리 접촉부44와, 상기 저면 지지부재35의 중앙 지지부37에 대향하여 설치되어 이 중앙 지지부37과 함께 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하는 중간 접촉부45로 구성하고 있으므로, 매우 얇은 박판 웨이퍼4A를 그 가장자리와 중간부로 지지함으로써 휘기 쉬운 매우 얇은 박판 웨이퍼4A를 확실하게 지지할 수 있다.
(5)저면 지지부재35의 이면에 설치되어서 저면 지지부재35가 용기 본체2의 저판부5에 재치된 상태에서 저면 지지부재35를 탄성적으로 지지하는 리 테이너24를 구비하고 있으므로, 이 리테이너24가 직접적으로는 저면 지지부재35를, 간접적으로는 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A를 탄성적으로 지지할 수 있다.
(6)표면 지지부재36의 원반부43이, 그 중앙부분이 뚜껑3의 내측면에 고정되고, 그 외주 측을 탄성적으로 휠 수 있는 자유단으로 하여 가장자리 접촉부44 및 중간 접촉부45를 탄성적으로 지지하도록 하고 있으므로, 박판 웨이퍼4A를 탄성적으로 지지할 수 있다. 이에 따라 박판 웨이퍼4A는, 그 하측으로부터 저면 지지부재35에 의하여 탄성적으로 지지되고, 그 상측으로부터 표면 지지부재36에 의하여 탄성적으로 지지되기 때문에 박판 웨이퍼4A를 상하로부터 협지하여 용기 본체2 및 뚜껑3에 대하여 탄성적으로 뜬 상태에서 확실하게 지지할 수 있게 된다.
그 결과, 박형이며 큰 직경의 박판 웨이퍼4A를 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있게 된다.
(7)저면 지지부재35의 중앙 지지부37이 원형모양으로 형성되고, 외주 지지부38이 단편적인 환상으로 형성되고, 가장자리 지지부39가 단편적인 환상으로 형성되어 있으므로, 박판 웨이퍼4A의 하측의 중앙부 및 외주부와 가장자리를 지지할 수 있다. 그 결과, 박형이고 큰 직경의 박판 웨이퍼4A를 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있게 된다.
(8)용기 본체2에, 저면 지지부재35에 접촉하여 이 저면 지지부재35가 옆으로 미끄러지거나 회전하는 것을 방지하는 결합편9(대좌부9A)를 구비함과 아울러 저면 지지부재35에 용기 본체2의 결합편9(대좌부9A)에 접촉하여 저면 지지부재35가 옆으로 미끄러지는 것과 회전하는 것을 방지하는 위치결정용 돌기38B를 구비하고 있으므로, 저면 지지부재35가 용기 본체2에 재치되는 것 만으로 저면 지지부재35의 위치가 결정되어 지지되고 또한 위치결정용 돌기38B가 각 결합편9(대좌부9A)에 접촉함으로써 저면 지지부재35가 옆으로 미끄러지거나 회전하는 것을 방지할 수 있다.
(9)용기 본체2의 저판부5를 주벽부6보다 높은 위치까지 융기시켜서 형성하고 또한 저면 지지부재35의 공간41을 형성하고 있으므로, 진공 핀셋 등 박판 웨이퍼4A의 지지수단을, 용기 본체2의 가로방향으로부터 박판 웨이퍼4A의 하측으로 삽입할 수 있게 된다. 그 결과, 낱장 수납 용기1의 수납된 박판 웨이퍼4A를 용이하게 출납할 수 있게 된다.
(10)가장자리 지지부39가, 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A의 외경보다 약간 큰 원주 상에 복수 개 설치되어 있으므로, 박판 웨이퍼4A가 용기 본체2의 중심위치와 맞는 상태로 재치되어 있을 때에는 박판 웨이퍼4A와 결합편9는 서로 접촉하지 않고, 박판 웨이퍼4A가 어긋나려고 할 때에 결합편9가 박판 웨이퍼4A의 가장자리에 접촉하여 박판 웨이퍼4A의 어긋남을 방지할 수 있다.
(11)가장자리 지지부39의 접촉면이, 박판 웨이퍼4A의 가장자리를 따라 만곡되어 있기 때문에, 박판 웨이퍼4A가 급격하게 이동하여 결합편9와 박판 웨이퍼4A가 격렬하게 접촉하여도, 만곡한 결합편9의 접촉면이 박판 웨이퍼4A 의 가장자리에서 넓은 범위에서 접촉하여 안전하게 지지한다.
(12)뚜껑3의 내측면에, 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A의 가장자리를 지지하는 복수의 리테이너24를 구비하고 있으므로, 용기 본체2에 뚜껑3을 씌운 상태에서 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A를 그 가장자리로부터 지지하여 옆으로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
(13)리테이너24가 탄성체로 형성되고 또한 뚜껑3의 상판부21의 내측면에 리테이너24가 부착되는 리테이너 결합부를 구비하고 있으므로, 낱장 수납 용기1을 사용할 때에 리테이너24를 리테이너 결합부에 부착하고, 세정할 때에는 리테이너24를 리테이너 결합부에서 떼어냄으로써 세정 효율을 향상시키고 있다.
(14)리테이너24가, 리테이너 결합부에 결합하는 기부25와, 기부25로부터 박판 웨이퍼4A 측으로 연장하여 형성되어 박판 웨이퍼4A의 가장자리에 접촉하여 박판 웨이퍼4A를 그 지름방향 내측 및 하방으로 탄성적으로 가압하는 탄성편26으로 구성되어 있으므로, 저면 지지부재35에 재치된 박판 웨이퍼4A를, 상기 탄성편26에 의하여 그 지름방향 내측 및 하방으로 탄성적으로 또한 안정적으로 가압하여 지지할 수 있다. 또한 저면 지지부재35의 하측에 설치된 리테이너24가, 용기 본체2의 저판부5에 대하여 저면 지지부재35를 탄성적으로 지지할 수 있다.
(15)용기 본체2와 뚜껑3이 힌지17에 의하여 결합되고 후크18에 의하여 고정되어 있으므로, 뚜껑3을 용기 본체2에 용이하게 고정할 수 있음과 아 울러 용이하게 열리는 것이 가능하게 된다.
(16)용기 본체2와 뚜껑3의 사이에 실재13이 설치되고, 이들 용기 본체2와 뚜껑3이 힌지17에 의하여 결합되고 후크18에 의하여 고정된 상태에서 내부가 기밀하게 밀봉되기 때문에, 박판 웨이퍼4A가 수납된 상태에서 뚜껑3을 용기 본체2에 씌워서 고정하는 것 만으로 박판 웨이퍼4A를 용이하게 또한 확실하게 기밀상태로 지지할 수 있다.
(17)힌지17에 의하여 용기 본체2에 결합된 뚜껑3이, 90도에서부터 180도의 개구각에서 용기 본체2로부터 분리되기 때문에, 세정 작업의 경우에 뚜껑3을 용이하게 떼어내서 세정할 수 있다. 이에 따라 세정 작업성이 향상한다.
(18)용기 본체2와 뚜껑3이 대략 같은 형상으로 형성되어, 뚜껑3을 닫은 상태에서 이 뚜껑3에 상측의 낱장 수납 용기1의 용기 본체2가 삽입되어 복수 단으로 중첩할 수 있으므로, 복수의 낱장 수납 용기1을 용이하게 또한 안정하게 중첩할 수 있다. 또한 하측의 낱장 수납 용기1의 뚜껑3에 상측의 낱장 수납 용기1의 용기 본체2가 삽입되어 겹쳐 쌓을 수 있기 때문에, 그 적층 높이가 그리 높아지지 않기 때문에 간결하게 적층할 수 있다.
(19)용기 본체2와 뚜껑3이 대략 같은 형상으로 형성되어, 이들 용기 본체2와 뚜껑3을 서로 닫은 상태에서 이들 연결부분이 하나의 면이 되도록 하고 있으므로, 이 연결부분에 테이프를 감는 것만으로도 낱장 수납 용 기1 내를 밀봉할 수 있다.
(20)뚜껑3에, 용기 본체2에 대향하여 뚜껑 가이드23을 설치하고 있기 때문에, 이 뚜껑 가이드23이, 뚜껑3을 용기 본체2에 덮을 때에 이들 뚜껑3과 용기 본체2가 서로 어긋나지 않도록 안내함으로써 안전하고 또한 정확하게 뚜껑3을 닫을 수 있다. 이에 따라 뚜껑3 측의 리테이너24가 용기 본체2 측의 박판 웨이퍼4A의 가장자리에 확실하게 접촉하여 박판 웨이퍼4A를 지지할 수 있다.
(21)용기 본체2 또는 뚜껑3의 일방 또는 양방이 비대전성의 고분자 재료로 형성되어 있으므로, 진애 등을 흡착하여 박판 웨이퍼4A가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한 적어도 뚜껑3이 투명 고분자 재료로 형성되어 있으므로, 박판 웨이퍼4A가 수납된 낱장 수납 용기1의 내부 상태를 확인할 수 있다.
또한 저면 지지부재38 및 표면 지지부재36의 양방을 비대전성의 고분자 재료로 형성하고 있으므로, 진애 등을 흡착하여 박판 웨이퍼4A가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
(22)뚜껑3의 가장자리에, 운반을 위한 결합용 플랜지31이 형성되었으므로, 낱장 수납 용기1을 반송하는 경우에 반송장치의 암부에 의하여 결합용 플랜지31을 잡아 용이하게 반송할 수 있다.
(23)용기 본체2의 저판부5 또는 뚜껑3의 상판부21의 일방 또는 양방이, 그 중앙부의 두께를 가장자리의 두께보다 두껍게 형성하고 있으므로, 보강 리브를 설치할 필요가 없어 요철부분을 없앨 수 있다. 그 결과, 용기 본체2 및 뚜껑3이 세정하기 쉽고 물기가 잘 떨어지는 형상이 되므로 세정 효율의 향상을 도모할 수 있다.

Claims (35)

  1. 용이하게 휠 수 있는 얇은 1장의 박판(薄板)을 내부에 수납하는 용기 본체(容器本體)와,
    당해 용기 본체에 부착되는 뚜껑을
    구비하는 낱장 수납 용기에 있어서,
    상기 용기 본체 측에 위치하여 상기 박판을 저면 측으로부터 면(面)으로 지지하는 저면 지지부재와,
    상기 뚜껑 측에 위치하여 상기 박판을 상측 표면 측으로부터 면(面), 선(線) 또는 점(点)으로 지지하는 표면 지지부재를
    구비하고,
    상기 저면 지지부재가,
    상기 박판의 중앙부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 중앙 지지부와,
    상기 박판의 외주부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 외주 지지부와,
    상기 박판의 가장자리에 접촉하여 당해 박판을 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부와,
    상기 중앙 지지부와 외주 지지부를 일체적으로 결합하는 환상판부를
    구비하고,
    상기 표면 지지부재가,
    상기 저면 지지부재에 재치된 상기 박판의 표면에 접촉하여 당해 저면 지지부재와 함께 협지하도록 하여 지지하는 접촉부와,
    상기 뚜껑 측에 설치되어서 당해 접촉부를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부를
    구비하고,
    상기 접촉부가,
    상기 저면 지지부재의 외주 지지부에 대향하여 설치되어 당해 외주 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지하는 가장자리 접촉부와,
    상기 저면 지지부재의 중앙 지지부에 대향하여 설치되어 당해 중앙 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지하는 중간 접촉부로 구성되고,
    상기 뚜껑을 닫음으로써 상기 저면 지지부재가 상기 박판을 그 저면 측에서 접촉하여 지지하고 또한 상기 표면 지지부재가 상기 박판을 그 상측 표면 측에서 접촉하여 지지하는 것을
    특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 저면 지지부재의 이면에 설치되고, 당해 저면 지지부재가 상기 용기 본체에 재치된 상태에서 당해 저면 지지부재를 탄성적으로 지지하는 리테이너를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 표면 지지부재의 탄성 지지부가, 그 중앙부분을 상기 뚜껑의 내측면에 고정하고 그 외주 측이 탄성적으로 휠 수 있는 자유단으로 하여 상기 접촉부를 탄성적으로 지지하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 저면 지지부재의 중앙 지지부가 원형모양으로 형성되고, 상기 외주 지지부가 환상(環狀) 또는 단편적(斷片的)인 환상으로 형성되고, 상기 가장자리 지지부가 환상 또는 단편적인 환상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 용기 본체에, 상기 저면 지지부재에 접촉하여 당해 저면 지지부재가 옆으로 미끄러지는 것 및 회전하는 것을 방지하는 결합편을 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 저면 지지부재에, 상기 용기 본체의 결합편에 접촉하여 당해 저면 지지부재가 옆으로 미끄러지는 것 및 회전하는 것을 방지하는 위치결정용 돌기를 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  7. 용이하게 휠 수 있는 얇은 1장의 박판을 내부에 수납하는 용기 본체와,
    당해 용기 본체에 부착되는 뚜껑을
    구비하는 낱장 수납 용기에 있어서,
    상기 용기 본체 측에 위치하여 상기 박판을 저면 측으로부터 면으로 지지하는 저면 지지부재와,
    상기 뚜껑 측에 위치하여 상기 박판을 상측 표면 측으로부터 면, 선 또는 점으로 지지하는 표면 지지부재를
    구비하고,
    상기 용기 본체가, 상기 박판을 재치하는 저판부와, 당해 저판부의 주위에 형성된 주벽부를 구비함과 아울러 상기 저판부가 상기 주벽부보다 높은 위치까지 융기시켜서 형성되고,
    상기 뚜껑이, 상기 용기 본체의 저판부에 재치된 상기 박판을 그 상측으로부터 덮는 상판부와, 당해 상판부의 주위에 설치되어서 상기 박판을 수납하는 공간을 형성하는 주벽부를 구비하고,
    상기 뚜껑을 닫음으로써 상기 저면 지지부재가 상기 박판을 그 저면 측에서 접촉하여 지지하고 또한 상기 표면 지지부재가 상기 박판을 그 상측 표면 측에서 접촉하여 지지하는 것을
    특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 저면 지지부재가,
    상기 박판의 중앙부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 중앙 지지부와,
    상기 박판의 외주부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 외주 지지부와,
    상기 박판의 가장자리에 접촉하여 당해 박판을 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부와,
    상기 중앙 지지부와 외주 지지부를 일체적으로 결합하는 환상판부를
    구비하고,
    상기 가장자리 지지부가, 상기 박판의 외경보다 약간 큰 원주 상에 설치된 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가장자리 지지부의 접촉면이, 상기 박판의 가장자리를 따라 만곡(彎曲)된 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 뚜껑의 내측면에, 상기 저면 지지부재에 재치된 상기 박판의 가장자리를 지지하는 복수의 리테이너를 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 리테이너가 탄성체로 형성되고 또한 상기 뚜껑의 내측면에 상기 리테이너가 부착되는 리테이너 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 리테이너가,
    상기 리테이너 결합부에 결합하는 기부와,
    당해 기부에서 상기 박판 측으로 연장하여 형성되어 상기 박판의 가장자리에 접촉하여 당해 박판을 그 지름방향 내측 및 하방으로 탄성적으로 가압하는 탄성편으로
    구성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 용기 본체와 뚜껑이, 힌지에 의하여 결합되고 후크에 의하여 고정된 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 용기 본체와 뚜껑의 사이에 씰부재가 설치되고, 이들 용기 본체와 뚜껑이 상기 힌지에 의하여 결합되어서 상기 후크에 의하여 고정된 상태에서 내부가 기밀(氣密)하게 밀봉되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 힌지에 의하여 상기 용기 본체에 결합된 상기 뚜껑이, 90도로부터 180도의 범위의 개구각(開口角)에서 상기 용기 본체로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 용기 본체와 뚜껑이 같은 형상으로 형성되어, 당해 뚜껑을 닫은 상태에서 당해 뚜껑에 상측의 낱장 수납 용기의 용기 본체가 삽입되어 복수 단으로 중첩할 수 있는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 용기 본체와 뚜껑이 같은 형상으로 형성되어, 이들 용기 본체와 뚜껑을 서로 닫은 상태에서 이들 연결부분이 하나의 면(面)이 되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 뚜껑 또는 상기 용기 본체의 어느 일방 또는 양방에 상대 측에 대향하여 설치되고, 당해 뚜껑을 당해 용기 본체에 덮을 때에 이들 뚜껑과 용기 본체가 서로 어긋나지 않도록 안내하는 뚜껑 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 저면 지지부재 또는 상기 표면 지지부재의 일방 또는 양방이 비대전성(非帶電性)의 고분자 재료(高分子材料)로 형성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  20. 제10항에 있어서,
    상기 용기 본체 또는 상기 뚜껑의 일방 또는 양방이 비대전성의 고분자 재료로 형성되고 또한 적어도 상기 뚜껑이 투명 고분자 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  21. 제10항에 있어서,
    상기 뚜껑의 가장자리에 운반을 위한 결합용 플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  22. 제10항에 있어서,
    상기 용기 본체의 저판부 또는 상기 뚜껑의 상판부의 일방 또는 양방이, 그 중앙부의 두께를 가장자리의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 낱장 수납 용기.
  23. 용이하게 휠 수 있는 얇은 1장의 박판을 내부에 수납하는 용기 본체 측에 위치하여 상기 박판을 저면 측으로부터 면(面)으로 지지하는 저면 지지부재와,
    상기 용기 본체에 부착되는 뚜껑 측에 위치하여 상기 박판을 상측 표면 측으로부터 면(面), 선(線) 또는 점(点)으로 지지하는 표면 지지부재를
    구비하고,
    상기 저면 지지부재가, 상기 박판의 중앙부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 중앙 지지부와, 상기 박판의 외주부분을 그 저면 측으로부터 면으로 지지하는 외주 지지부와, 상기 박판의 가장자리에 접촉하여 당해 박판을 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부를 구비하고,
    상기 표면 지지부재가, 상기 저면 지지부재에 재치된 상기 박판의 표면에 접촉하여 당해 저면 지지부재와 함께 협지하도록 하여 지지하는 접촉부와, 상기 뚜껑 측에 설치되어서 당해 접촉부를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부를 구비하고,
    상기 접촉부가, 상기 저면 지지부재의 외주 지지부에 대향하여 설치되어 당해 외주 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지하는 가장자리 접촉부와, 상기 저면 지지부재의 중앙 지지부에 대향하여 설치되어 당해 중앙 지지부와 함께 상기 박판을 협지하도록 하여 지지하는 중간 접촉부로 구성되고,
    상기 뚜껑을 닫음으로써 상기 저면 지지부재가 상기 박판을 그 저면 측에서 접촉하여 지지하고 또한 상기 표면 지지부재가 상기 박판을 그 상측 표면 측에서 접촉하여 지지하는 것을 특징으로 하는 완충 지지 부재.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 저면 지지부재의 이면에 설치되고, 당해 저면 지지부재가 상기 용기 본체에 재치된 상태에서 당해 저면 지지부재를 탄성적으로 지지하는 리테이너를 구비하는 것을 특징으로 하는 완충 지지 부재.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 표면 지지부재의 탄성 지지부가, 그 중앙부분을 상기 뚜껑의 내측면에 고정하고 그 외주 측이 탄성적으로 휠 수 있는 자유단으로 하여 상기 접촉부를 탄성적으로 지지하는 것을 특징으로 하는 완충 지지 부재.
  26. 제23항에 있어서,
    상기 저면 지지부재의 중앙 지지부가 원형모양으로 형성되고, 상기 외주 지지부가 환상 또는 단편적인 환상으로 형성되고, 상기 가장자리 지지부가 환상 또는 단편적인 환상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 완충 지지 부재.
  27. 제23항에 있어서,
    상기 저면 지지부재에, 상기 용기 본체 측에 접촉하여 당해 저면 지지부재가 옆으로 미끄러지는 것 및 회전하는 것을 방지하는 위치결정용 돌기를 구비하는 것을 특징으로 하는 완충 지지 부재.
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