JPH01256144A - ウェハーキャリア収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェハー用キャリアを収納するウェハー
キャリア収納容器（以下キャリアケースという）に関す
る。

〔従来の技術〕

半導体集積回路を製造する工程において、半導体集積回
路を形成するウェハーは一般的にウェハーキャリアに収
納されて運用される。このウェハーキャリアに収納され
た状態では、ウェハーは外界の雰囲気に直接さらされて
いる。このような状態でウェハーキャリアを保管すると
、雰囲気中に浮遊している微小塵埃がウェハー表面に付
着し、品質上好ましくない。そこでこれらの塵埃の付着
を防ぐためのキャリア自体をほぼ密閉できるキャリアケ
ースに収納し、保管あるいは移動するようにしている。

従来、この種のキャリアケースは、第５図に示されてい
るように蓋があり、蓋はキャリアケースの比較的上面部
に近い側面部に設けられた蝶番構造により開閉できるよ
うになっているものが一般的である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のキャリアケースをウェハー処理を行う装
置に設定する場合に、その中からキャリアを取り出すた
めに、蓋を開ける機構もしくは装置が必要であり、ロボ
ットハンドや真空吸盤などを利用する手法が用いられて
いる。このため、蓋を開けるためだけにかなり複雑な機
構が必要となり装置価格的にも高価になるという欠点が
ある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェハーキャリア収納容器は、半導体ウェハー
を収納するためのウェハーキャリアを収納する部分とウ
ェハーキャリアをおおう蓋および蓋を開閉するための回
転軸構造を有するキャリア収納容器において、前記回転
軸構造をこの容器の底面部に近い側面部に有することを
特徴とする。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は該実
施例の上面を望む斜視図である。実線は蓋が閉じている
状態二点鎖線は蓋が開いた状態をそれぞれ表わしている
。第３図（Ａ）及び（Ｂ）は回転軸構造を示す模式的断
面図である。

側面部には２つの回転軸５があり、２つの回転軸の間隔
より十分に広い平担な置台にキャリアケースを置いた場
合は底面部の両側にある接触部８が置台と接し、蓋３は
閉じたままである。また、支持部７あるいはキャリアケ
ースの側面ヲハンドリングすれば、蓋３は閉じたままで
持ち運ぶことができる。一方、このようなキャリアケー
スを回転軸５の間隔より狭い凸状部を有する置台６に置
いた場合は接触部８にはなにも接しないため、蓋３の平
衡状態がくずれ、回転軸５を回転中心にして蓋３は自然
に開くようになる。

第４図は本発明の第２の実施例の断面図である。

この実施例では側面部に回転軸５を１か所設け、片側面
の蓋３が開くようにしたものである。この実施例は上記
第１の実施例のように蓋が開いたとき、キャリアのほぼ
全体が露出するのに対し、キャリアの一部が露出する形
になっている。従ってキャリアをキャリアケースの側方
から取り出すようなキャリア取出装置を利用する場合に
都合がよいという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明はキャリアケースの側面部
に蓋を開けるための回転軸構造を設け、凸状の置台の上
に単純に置くことにより、キャリアケースの蓋を開ける
ことができるようになり、専用の蓋開は機構もしくは蓋
開は装置、あるいはロボットハンドなどによる蓋開は動
作を省くことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例のそれぞれ断面図、第２
図は該実施例の斜視図、第３図は本発明の回転軸の構造
を示す断面図、第４図は第２の実施例の断面図、第５図
は従来例の断面図である。 １・・・・・・ウェハー、２・・川・キャリア、３・・
川・蓋、４・・・・・・キャリア収納部、５・旧・・回
転軸、６・・団・キャリアケースの置台、７・・印・支
持部、８・・団・置台との接触部、９・・・・・・キャ
リアケース。 代理人　弁理士　　内　原　　　音 第３　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体ウェハーを収納するためのウェハーキャリアを
   収納する部分とウェハーキャリアをおおう蓋および蓋を
   開閉するための回転軸構造を有するキャリア収納容器に
   おいて、前記回転軸構造をこの容器の底面部に近い側面
   部に有することを特徴とするウェハーキャリア収納容器
   。