JPH0630371B2 - クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 - Google Patents
クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法Info
- Publication number
- JPH0630371B2 JPH0630371B2 JP10941488A JP10941488A JPH0630371B2 JP H0630371 B2 JPH0630371 B2 JP H0630371B2 JP 10941488 A JP10941488 A JP 10941488A JP 10941488 A JP10941488 A JP 10941488A JP H0630371 B2 JPH0630371 B2 JP H0630371B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- cover
- transfer
- station
- carrier
- Prior art date
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- Prevention Of Fouling (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウエハキャリアにカバーを自動装着するため
のクリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法に関す
るものである。
のクリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法に関す
るものである。
従来のウエハ搬送はボックスに入れて搬送、保管するの
が一般的であるが、ウエハをボックスに入れて搬送する
と、ウエハをボックスに出し入れするための装置、及び
空箱を保管する装置が必要となる問題点がある。
が一般的であるが、ウエハをボックスに入れて搬送する
と、ウエハをボックスに出し入れするための装置、及び
空箱を保管する装置が必要となる問題点がある。
移載の自動化のためウエハを裸で収納した状態でウエハ
キャリアの搬送を行うと、パーティクル付着の点より搬
送スピードを高くできない問題点がある。
キャリアの搬送を行うと、パーティクル付着の点より搬
送スピードを高くできない問題点がある。
すなわち、垂直層流形クリーンルームにおいては、エア
の乱れのない層流とするためには、一般的に約0.4ｍ／s
ec以下とする必要がある。ダウンフローを0.3ｍ／secと
し、搬送スピードを15.9ｍ／min（0.26ｍ／sec）とする
と合成速度は0.4ｍ／secとなり、ウエハキャリアを裸搬
送すると走行速度の最高限界は約15ｍ／minとなる。
の乱れのない層流とするためには、一般的に約0.4ｍ／s
ec以下とする必要がある。ダウンフローを0.3ｍ／secと
し、搬送スピードを15.9ｍ／min（0.26ｍ／sec）とする
と合成速度は0.4ｍ／secとなり、ウエハキャリアを裸搬
送すると走行速度の最高限界は約15ｍ／minとなる。
ウエハの処理工程間の搬送能力の点から考えると、一般
のウエハ製造ラインでは上記搬送スピードでは不充分で
ある。
のウエハ製造ラインでは上記搬送スピードでは不充分で
ある。
本発明は、ウエハキャリアの搬送にあたり、搬送車の走
行速度を上げて搬送能力の不足を回避し、かつウエハに
対するエヤの乱れを防止しパーフィクルの不着を防ぐた
めに装着するウエハキャリアのカバーを簡単かつ迅速に
自動装着するためのクリーンルーム内のウエハキャリア
の搬送方法を提供することを目的とする。
行速度を上げて搬送能力の不足を回避し、かつウエハに
対するエヤの乱れを防止しパーフィクルの不着を防ぐた
めに装着するウエハキャリアのカバーを簡単かつ迅速に
自動装着するためのクリーンルーム内のウエハキャリア
の搬送方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、ウエハキャリアを
搬送する搬送車とステーションとの間におけるウエハキ
ャリアの搬送方法において、カバーをかぶせたウエハキ
ャリアを搭載した搬送車をステーションと対向する所定
位置に停止させ、前記ウエハキャリアを移載機によって
持ち上げ、ステーションの上方まで移送するとともに、
その位置で前記カバーをステーションの上方位置に配設
したカバーハンガーにより保持し、前記ウエハキャリア
を移載機によってステーション上に載置し、ウエハに所
定の処理を施した後、ステーション上のウエハキャリア
を移載機によって持ち上げることによって前記カバーハ
ンガーに保持されているカバーをウエハキャリアにかぶ
せ、該ウエハキャリアを移載機によって搬送車の上方ま
で移送し、搬送車上に載置することを要旨とする。
搬送する搬送車とステーションとの間におけるウエハキ
ャリアの搬送方法において、カバーをかぶせたウエハキ
ャリアを搭載した搬送車をステーションと対向する所定
位置に停止させ、前記ウエハキャリアを移載機によって
持ち上げ、ステーションの上方まで移送するとともに、
その位置で前記カバーをステーションの上方位置に配設
したカバーハンガーにより保持し、前記ウエハキャリア
を移載機によってステーション上に載置し、ウエハに所
定の処理を施した後、ステーション上のウエハキャリア
を移載機によって持ち上げることによって前記カバーハ
ンガーに保持されているカバーをウエハキャリアにかぶ
せ、該ウエハキャリアを移載機によって搬送車の上方ま
で移送し、搬送車上に載置することを要旨とする。
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
第２図は、ウエハキャリアの搬送装置の大要を示し、１
は移載機、２は搬送路、３は搬送車、４はステーション
である。
は移載機、２は搬送路、３は搬送車、４はステーション
である。
第１図は本発明を実施するための設備の一例を示し、片
面支持で断面を型とする底蓋５上にウエハキャリア６
を載置する。
面支持で断面を型とする底蓋５上にウエハキャリア６
を載置する。
移載機１は、搬送路２とステーション４の間の下方に配
置し、空間スペースの有効活用を図るとともに、移載機
１の駆動機構13で発塵があってもウエハに悪影響を与え
ないようにしている。
置し、空間スペースの有効活用を図るとともに、移載機
１の駆動機構13で発塵があってもウエハに悪影響を与え
ないようにしている。
移載機１の移載円板11を、搬送車３上及びステーション
移載台４ａ上の底蓋５の内部空間５ａにを挿入自在とす
る。移載円板11の中心部は、移載機１の移載駆動軸12の
上端に固定し、駆動機構13により移載円板11を回動、及
び上下動を自在とすべく構成する。
移載台４ａ上の底蓋５の内部空間５ａにを挿入自在とす
る。移載円板11の中心部は、移載機１の移載駆動軸12の
上端に固定し、駆動機構13により移載円板11を回動、及
び上下動を自在とすべく構成する。
ウエハキャリア６の底面を除く全面を包囲可能なカバー
７を設け、カバー７の頂面より突出させた突起８ａの上
端に係止円板８を一体的に形成し、係止円板８と係止自
在なカバーハンガー９をステーション移載台４ａの上方
位置の天井14より垂下させる。なお、本実施例において
は、カバーハンガー９は、棒状又は平帯状で先端をＬ状
に折曲げてなる一対のＬ状係止金具で構成したが、他の
係止手段を適用できることは勿論である。また、係止円
板８及びカバーハンガー９の対向面に永久磁石又は電磁
石を付設し、磁気吸着方式で係止円板８をカバーハンガ
ー９により保持するように構成してもよい。
７を設け、カバー７の頂面より突出させた突起８ａの上
端に係止円板８を一体的に形成し、係止円板８と係止自
在なカバーハンガー９をステーション移載台４ａの上方
位置の天井14より垂下させる。なお、本実施例において
は、カバーハンガー９は、棒状又は平帯状で先端をＬ状
に折曲げてなる一対のＬ状係止金具で構成したが、他の
係止手段を適用できることは勿論である。また、係止円
板８及びカバーハンガー９の対向面に永久磁石又は電磁
石を付設し、磁気吸着方式で係止円板８をカバーハンガ
ー９により保持するように構成してもよい。
また、カバー７の下端部と底蓋５とは、搬送車３の走行
中に空気が入りにくい構造（嵌合構造）とし、カバー７
と底蓋５は塵のつきにくい材質（例えばステンレス、ア
ルミ等）とする。
中に空気が入りにくい構造（嵌合構造）とし、カバー７
と底蓋５は塵のつきにくい材質（例えばステンレス、ア
ルミ等）とする。
カバー７及び底蓋５は、各ステーションに１個、各搬送
車３に１個で十分である。
車３に１個で十分である。
つぎに、本発明によるウエハキャリアの搬送方法を説明
する。
する。
(1)搬送路２を走行してきた搬送車３が所定のステーシ
ョン４に到着する。
ョン４に到着する。
(2)移載装置の駆動機構１３の起動で移載駆動軸12が上
昇して、移載円板11の上面が底蓋５に接当しつつ移載円
板11が上昇する。
昇して、移載円板11の上面が底蓋５に接当しつつ移載円
板11が上昇する。
搬送路側Ａにおいては、搬送路２上のウエハキャリア６
をカバー８及び底蓋５とともに上昇させ、ステーション
側Ｂにおいては、移載待機中のウエハキャリア６を底蓋
５とともに上昇させカバーハンガー９に保持されている
カバー７内にウエハキャリア６を入れ、カバー７の下端
に底蓋５を当接させ、さらに移載円板11が上昇すること
によりカバー７はカバーハンガー９からはずれる。
をカバー８及び底蓋５とともに上昇させ、ステーション
側Ｂにおいては、移載待機中のウエハキャリア６を底蓋
５とともに上昇させカバーハンガー９に保持されている
カバー７内にウエハキャリア６を入れ、カバー７の下端
に底蓋５を当接させ、さらに移載円板11が上昇すること
によりカバー７はカバーハンガー９からはずれる。
(3)移載駆動軸12が回転して移送円板11を180度回動させ
る。
る。
搬送路側Ａから搬送されてきたウエハキャリア６はカバ
ー７、底蓋５とともにステーション側Ｂへ移動し、ステ
ーション側Ｂから搬送されてきたウエハキャリア６はカ
バー７、底蓋５とともに搬送路側Ａへ移動する。
ー７、底蓋５とともにステーション側Ｂへ移動し、ステ
ーション側Ｂから搬送されてきたウエハキャリア６はカ
バー７、底蓋５とともに搬送路側Ａへ移動する。
(4)移載駆動軸12を降下させ、移載円板11を最下方位置
とする。
とする。
ステーション側Ｂでは、カバー７がカバーハンガー９と
係止して天井４で垂下保持され、ウエハキャリア６は露
出した状態で底蓋５とともにステーション移載台４ａ上
に載置される。
係止して天井４で垂下保持され、ウエハキャリア６は露
出した状態で底蓋５とともにステーション移載台４ａ上
に載置される。
搬送路側Ａでは、カバー７をかぶせられたウエハキャリ
ア６が、底蓋５とともに搬送車３上に載置される。
ア６が、底蓋５とともに搬送車３上に載置される。
(5)搬送車３は次のステーションへ走行する。
本発明によれば、ウエハキャリアのカバーを簡単かつ迅
速に自動装着することができ、ウエハキャリアの高速搬
送が可能となり、作業能率を向上することができる。
速に自動装着することができ、ウエハキャリアの高速搬
送が可能となり、作業能率を向上することができる。
第１図は本発明の実施にあたり使用するウエハキャリア
の搬送装置の一例を示す正面図である。 第２図はウエハキャリアの搬送装置の大略を示す平面図
である。 １は移載機、３は搬送車、４はステーション、４ａはス
テーション移載台、５は底蓋、６はウエハキャリア、７
はカバー、９はカバーハンガー
の搬送装置の一例を示す正面図である。 第２図はウエハキャリアの搬送装置の大略を示す平面図
である。 １は移載機、３は搬送車、４はステーション、４ａはス
テーション移載台、５は底蓋、６はウエハキャリア、７
はカバー、９はカバーハンガー
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハキャリアを搬送する搬送車とステー
ションとの間におけるウエハキャリアの搬送方法におい
て、カバーをかぶせたウエハキャリアを搭載した搬送車
をステーションと対向する所定位置に停止させ、前記ウ
エハキャリアを移載機によって持ち上げ、ステーション
の上方まで移送するとともに、その位置で前記カバーを
ステーションの上方位置に配設したカバーハンガーによ
り保持し、前記ウエハキャリアを移載機によってステー
ション上に載置し、ウエハに所定の処理を施した後、ス
テーション上のウエハキャリアを移載機によって持ち上
げることによって前記カバーハンガーに保持されている
カバーをウエハキャリアにかぶせ、該ウエハキャリアを
移載機によって搬送車の上方まで移送し、搬送車上に載
置することを特徴とするクリーンルーム内のウエハキャ
リア搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941488A JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941488A JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01278740A JPH01278740A (ja) | 1989-11-09 |
| JPH0630371B2 true JPH0630371B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=14509642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10941488A Expired - Fee Related JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630371B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
| CN112103231B (zh) * | 2020-11-17 | 2021-03-02 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP10941488A patent/JPH0630371B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01278740A (ja) | 1989-11-09 |
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Legal Events
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