JPH0378231B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、テーブルに平面状に置かれた板状
体をその上面に接触することなくつかむためのグ
リツプ装置に関するものである。

（従来技術とその問題点） 従来テーブルに平面状に置かれた板状体をつか
むためには、電磁石や吸着盤を用いて板状体の上
面を磁着あるいは吸着すればよい。しかしながら
上面に特殊な表面処理を施した例えばウエハなど
にあつては、その上面に傷を付けてはならず、ほ
こりも付着させてはならない関係上、電磁石や吸
着盤を用いることはできない。そこで無接触で板
状体を吸着するためにエジエクターを応用した吹
出し用パツドを用いることも考えられるが、空気
吹き出しの際にほこりを飛散させることになり、
また板状体の把持力にも問題がある。

（発明の目的） この発明は前述事情に鑑みなされたものであつ
て、先端がくさび形の爪を用いて板状体の上面に
接触することなく板状体をつかむようにしたグリ
ツプ装置を提供せんとするものである。

（発明の総括的説明） グリツプ装置本体の円周上に略等間隔を有して
少なくとも３個の移動体を設けるとともに、これ
ら移動体は垂直中心軸に対して直角方向に接近遠
隔移動可能とし、さらにこれら各移動体の下部に
先端くさび形の爪を水平軸支するとともに、これ
ら各爪の自重による下方への回動をストツパによ
り拘束したものであつて、前記爪により板状体を
すくい上げるようにしたグリツプ装置である。

（実施例） この実施例では水平多関節形のクリーンロボツ
トにグリツプ装置を装着したものとし、しかも板
状体はウエハとして説明するが、この発明をこの
実施の形態に限定するものではない。

Ｒは、ベース１と、ベース１に対して上下動可
能の昇降体２と、昇降体２に対して垂直軸支した
第１水平腕３と、第１水平腕３の先端に垂直軸支
した第２水平腕４と、第２水平腕４の先端に取付
けたグリツプ装置Ｇとよりなるクリーンロボツト
である。

Ｓは、ウエハＷを載せるテーブル５の回転装置
である。テーブル５の上面には大きさの異なるウ
エハを所定位置に載せ得るように円形の穴５ａが
多数形成されている。これら穴５ａは、その外周
部の深さがウエハＷの厚さより若干小で、また中
央部ほど深い。しかも穴５ａの直径はウエハＷの
直径より若干大きく設定されている。

以下グリツプ装置Ｇについて説明する。

１１は、グリツプ装置本体であり、腕４先端下
部に固設されている。この実施例本体１１は旋盤
のチヤツク装置の回転体が利用されている。

１２は、本体１１の円周上に等間隔を有して設
けられ、垂直中心軸に対して直角方向に接近遠隔
可能の実施例では３個の移動体である。移動体１
２は、前記旋盤のチヤツク装置の爪が利用されて
いる。各移動体１２の先端部には爪支持部材１２
ａが固設されている。

１３は、本体１１の一側部に取付けた電動機で
あり、この電動機１３の駆動により全移動体１２
が同時に同速度で前記接近あるいは遠隔可能であ
る。また本体１１と移動体１２との間には図示し
ない位置検出器が装着されており、移動体１２を
任意位置に位置決め可能である。

１４は、各移動体１２の両側部および底部を囲
むごとく本体１１上部から外周部にわたつて本体
１１に突設した受箱である。これら受箱１４は、
移動体１２の移動の際、本体１１との間での摩擦
により発生するほこりがクリーンルームのダウン
フローエアに伴ない下方のウエハＷ上に落下しな
いように受止めるためのものである。

１５は、各部材１２ａの下端部に水平軸支１５
ａされ、前記本体１１の垂直中心軸に対して接近
遠隔回動自在の爪であり、先端くさび形に形成さ
れている。各爪１５先端近辺の上面にはウエハＷ
の当部材１５ｂが突設されている。

１６は、各部材１２ａに突設され、各爪１５の
自重による下方への回動を拘束するストツパであ
る。これらストツパ１６により、爪１５は水平面
に対して実施例では約40度以上傾かないようにな
されている。

１７は、末端部を各爪１５先端近辺や各受箱１
４に配管した吸引ホースであり、爪１５とテーブ
ル５との間の摩擦により発生したほこりや受箱１
４内のほこりを図示しないポンプにより吸引し、
クリーンルーム外へ放出するためのものである。

そしてテーブル５の穴５ａに載せられたウエハ
Ｗをすくい上げる場合は、グリツプ装置Ｇを所望
のウエハＷ上方に位置決めし、移動体１２を遠隔
位置決めした後、下降させ、爪１５の水平面に対
する傾斜角が約30〜35度となるところで停止させ
る。この状態が第７図イの状態であり、爪１５先
端部は穴５ａの外側テーブル５上に当接し、かつ
爪の重力のみがテーブル５上に作用している。

そこで全移動体１２を同時に同速度で接近移動
させていくと、爪１５先端がテーブル５上面を滑
り、第７図ロのように穴５ａとウエハＷとのすき
間にはいる。さらには第７図ハ実線のように、さ
らにはまた第７図ハ２点鎖線のように、爪１５先
端部がウエハＷ下部に侵入し、ウエハＷをすくい
上げる。このとき部材１５ｂの作用によりウエハ
Ｗがすべての爪１５上に確実に載る。

そしてグリツプ装置Ｇを上昇させると、第７図
ニのように爪１５はストツパ１６により下方への
回動が拘束され、ウエハＷは３本の爪１５により
つかまれたことになる。

前述説明は実施例であり、例えば板状体Ｗがリ
ング状であつて、その内周側からすくい上げる場
合は、各爪１５を反対向きに水平軸支１５ａし、
各移動体１２を遠隔移動させればよい。また爪１
５は３本に限らず、それ以上であつてもよい。さ
らには移動体１２を垂直中心軸に対して直角方向
に接近遠隔させるための機構は、旋盤のチヤツク
装置のような歯車機構のみならず、カム機構やリ
ンク機構を用いたものでもよい。

（発明の効果） この発明は前述したとおりであるから、爪１５
を板状体Ｗの上面に接触させることなく板状体Ｗ
をすくい上げることができる。よつてこの発明は
上面に傷やほこりなど特に注意力をはらう必要の
あるウエハなどの搬送装置に実施して有効であ
る。

【図面の簡単な説明】

図はいずれもこの発明の一実施例を示し、第１
図はグリツプ装置の平面図、第２図は右側面図、
第３図は第１図の−断面矢視図、第４図は第
１図の−断面矢視図、第５図はクリーンロボ
ツトの全体概略図、第６図はテーブルの平面図、
第７図イ〜ニは作用説明図である。 Ｇ……グリツプ装置、１１……グリツプ装置本
体、１２……移動体、１５……爪、１５ａ……水
平軸、１５ｂ……当部材、１６……ストツパ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ グリツプ装置本体と、このグリツプ装置本体
   の円周上に略等間隔を有して設けられ、しかも垂
   直中心軸に対して直角方向に接近遠隔移動可能の
   少なくとも３個の移動体と、これら各移動体下部
   に水平軸支され、前記垂直中心軸に対して接近遠
   隔回動自在の先端くさび形の爪と、これら各爪の
   自重による下方への回動を拘束するストツパとを
   備えてなる、グリツプ装置。