JPH0378232B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、テーブルに平面状に置かれた板状
体をその上面に接触することなくつかむためのグ
リツプ装置に関するものである。

（従来技術とその問題点） 従来テーブルに平面状に置かれた板状体をつか
むためには、電磁石や吸着盤を用いて板状体の上
面を磁着あるいは吸着すればよい。しかしながら
上面に特殊な表面処理を施した例えばウエハなど
にあつては、その上面に傷を付けてはならず、ほ
こりも付着させてはならない関係上、電磁石や吸
着盤を用いることはできない。そこで無接触で板
状体を吸着するためにエジエクターを応用した吹
出し用パツドを用いることも考えられるが、空気
吹き出しの際にほこりを飛散させることになり、
また板状体の把持力にも問題がある。

（発明の目的） この発明は前述事情に鑑みなされたものであつ
て、先端がくさび形の爪を用いて板状体の上面に
接触することなく板状体をつかむようにしたグリ
ツプ装置を提供せんとするものである。

（発明の総括的説明） グリツプ装置本体の円周上に略等間隔を有して
少なくとも３本のロツドを水平軸により吊下する
とともに、これらロツドは垂直中心軸に対して接
近遠隔回動可能とし、さらにこれら各ロツドの下
端部に先端くさび形の爪を前記水平軸と平行な軸
により支承するとともに、これら各爪の自重によ
る下方への回動をストツパにより拘束したもので
あつて、前記爪により板状体をすくい上げるよう
にしたグリツプ装置である。

（実施例） この実施例ではグリツプ装置を水平多関節クリ
ーンロボツトに装着したものとし、また板状体は
ウエハとして説明するが、この発明をこの実施の
形態に限定するものではない。

Ｒは、ベース１と、ベース１に対して上下動可
能の昇降体２と、昇降体２に対して垂直軸支した
第１水平腕３と、第１水平腕３の先端に垂直軸支
した第２水平腕４と、第２水平腕４の先端に取付
けたグリツプ装置Ｇとよりなるクリーンロボツト
である。

Ｓは、ウエハＷを載せるテーブル５の回転装置
である。テーブル５の上面には大きさの異なるウ
エハを所定位置に載せ得るように円形の穴５ａが
複数形成されている。これら穴５ａの深さは、そ
の外周部がウエハＷの厚さより若干小で、また中
央部ほど深い。しかも穴５ａの直径は、ウエハＷ
の直径より若干大に設定されている。

以下グリツプ装置Ｇについて説明する。

１１は、グリツプ装置本体であり、腕４先端下
部に固設される。

１２は、本体１１の円周上に略等間隔を有して
その上端が水平軸支１２ａされ、しかも垂直中心
軸に対して接近遠隔回動自在の実施例では３本の
ロツドである。

１３は、全ロツド１２を同時に前記接近遠隔回
動させるための装置である。Ｍはその電動機であ
り、本体１１に下向きに取付けられている。本体
１１の中央下部には上下方向のガイド棒１３ａが
固設され、その下端には支持板１３ｂが固設され
ている。またガイド棒１３ａには上下移動体１３
ｃが支承され、電動機Ｍの出力軸に連結されたボ
ールスクリユー１３ｄを介して移動可能である。

また本体１１と移動体１３ｃ，および支持板１
３ｂと移動体１３ｃとの間には略同断面積の可撓
性ジヤバラ１３ｅが設けられ、両ジヤバラ１３ｅ
の空間は、移動体１３ｃの貫通孔１３ｆにより連
通されている。しかもその空間は、本体１１の貫
通孔１１ａにより図示しないがロボツトＲの腕
４，３、昇降体２、ベース１に連通されている。
これによりボールスクリユー１３ｄや、ガイド棒
１３ａと移動体１３ｃとの間の摩擦により発生す
るほこりが外部に飛散しないようになされてい
る。

さらに移動体１３ｃにはリンク１３ｇが軸支１
３ｈされ、支持板１３ｂにはリンク１３ｉが軸支
１３ｊされ、ロツド１２中間部にはリンク１３ｋ
が軸支１３されている。そしてリンク１３ｇ，
１３ｉ，１３ｋの先端部は一個所で軸支１３ｍさ
れている。

１４は、各ロツド１２の下端部に軸１２ａと平
行な軸１４ａにより支承した爪であり、先端くさ
び形に形成されている。各爪１４先端近辺のウエ
ハすくい面にはウエハＷの当部材１４ｂが突設さ
れている。

１５は、各ロツド１２の下部に突設され、各爪
１４の自重による下方への回動を拘束するストツ
パである。これらストツパ１５により、爪１４は
ロツド１２に対して一定の角度以上傾かないよう
になされている。

１６は、各爪１４先端近辺や、軸１３ｈ，１３
ｊ，１３ｍなどに向けて配管した吸引ホスであ
り、爪１４とテーブル５との間の摩擦により発生
したほこりなどを図示しないポンプにより吸引す
るためのものである。

そしてテーブル５の穴５ａに載せられたウエハ
Ｗをすくい上げる場合は、グリツプ装置Ｇを所望
のウエハＷ上方に位置決めし、ロツド１２を遠隔
位置に回動させた後、下降させ、爪１４がテーブ
ル５に当接して、爪１４の水平面に対する傾斜角
が約30〜35度となるところで停止させる。この状
態が第５図イの状態であり、爪１４の重力のみが
テーブル５に作用している。

そこで電動機Ｍにより移動体１３ｃを上昇さ
せ、全ロツド１２を同時に接近回動させると、爪
１４先端がテーブル５上面を滑り、第５図ロのよ
うに穴５ａとウエハＷとのすき間にはいる。さら
には第５図ハ実線のように、さらにはまた第５図
ハ２点鎖線のように、爪１４先端部がウエハＷ下
部に侵入し、ウエハＷをすくい上げる。このとき
部材１４ｂの作用によりウエハＷのすり上がりが
途中で拘束されるので、ウエハＷの片寄りがな
く、ウエハＷは全爪１４上に確実に載る。

そしてグリツプ装置Ｇを上昇させると、第５図
ニのように爪１４はストツパ１５により下方への
回動が拘束され、ウエハＷは３本の爪１４により
つかまれたことになる。

前述説明は実施例であり、例えば板状体がリン
グ状であつて、その内周側からすくい上げる場合
は、各爪１４を実施例とは反対向きに軸支１４ａ
し、各ロツド１２を遠隔移動させるようにすれば
よい。また爪１４は３本に限らず、板状体Ｗの形
状に応じてそれ以上であつてもよい。さらにロツ
ド１２を回動させるための装置１３は、実施例の
ようなリンク機構に限らず、カム機構などを用い
てもよい。

（発明の効果） この発明は前述したとおりであるから、爪１４
を板状体Ｗの上面に接触させることなく板状体Ｗ
をすくい上げることができる。よつてこの発明は
上面に傷やほこりなどが付かないように注意をは
らう必要のあるウエハなどの搬送装置に実施して
有効である。

【図面の簡単な説明】

図はいずれもこの発明の一実施例を示し、第１
図はグリツプ装置の平面図、第２図は第１図の
−断面矢視図、第３図はクリーンロボツトの全
体概略図、第４図はテーブルの平面図、第５図イ
〜ニは作用説明図である。 Ｇ……グリツプ装置、１１……グリツプ装置本
体、１２……ロツド、１２ａ……水平軸、１３…
…ロツド１２を回動させる装置、１４……爪、１
４ａ……軸、１４ｂ……当部材、１５……ストツ
パ、Ｗ……板状体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ グリツプ装置本体と、このグリツプ装置本体
   の円周上に略等間隔を有してその上端が水平軸支
   され、しかも垂直中心軸に対して接近遠隔回動可
   能の少なくとも３本のロツドと、これら各ロツド
   下端部に前記水平軸と平行な軸により支承された
   先端くさび形の爪と、これら各爪の自重による下
   方への回動を拘束するストツパとを備えてなる、
   グリツプ装置。