JPS62295840A

JPS62295840A - グリツプ装置

Info

Publication number: JPS62295840A
Application number: JP13967286A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yoshihara; 健吉原; Shigeji Fukui; 福井　茂次; Keiji Kato; 圭司加藤
Original assignee: Shin Meiva Industry Ltd
Current assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Priority date: 1986-06-16
Filing date: 1986-06-16
Publication date: 1987-12-23
Also published as: JPH0378232B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、テーブルに平面状に置かれた板状体をその
上面に接触することなくつかむためのグリップ装置に関
するものである。

（従来技術とその問題点）従来テーブルに平面状に置かれた板状体をつかむために
は、電磁石や吸着盤を用いて板状体の上面を磁着あるい
は吸着すればよい。しかしながら上面に特殊な表面処理
を施した例えばウェハなどにあっては、その上面に傷を
付けてはならず、はこりも付着させてはならない関係上
、電磁石や吸着盤を用いることはできない。そこで無接
触で板状体を吸着する几めにエジェクターを応用した吹
出し用バッドを用いることも考えられるが、空気吹き出
しの際にほこりを飛散させることになり、また板状体の
把持力にも問題がある。

（発明の目的）この発明は前述事情に鑑みなされたものであって、先端
がくさび形の爪を用いて板状体の上面に接触することな
く板状体をつかむようにしたグリップ装置を提供せんと
するものである。

（発明の詳細な説明）グリップ装置本体の円周上に略等間隔を有して少々くと
も３本のロッドを水平軸により吊下するとともに、これ
らロッドは垂直中心軸に対して接近遠隔回動可能とし、
さらにこれら各ロッドの下端部に先端くさび形の爪を前
記水平軸と平行な軸によυ支承するとともに、これら各
爪の自重による下方への回動をストッパにより拘束した
ものであって、前記爪により板状体をすくい上げるよう
にしたグリップ装置である。

（実施例）この実施例ではグリップ装置を水平多関節クリーンロボ
ットに装着したものとし、また板状体はウェハとして説
明するが、この発明をこの実施の形態に限定するもので
はない。

Ｒは、ベース１と、ベース１に対して上下動可能の昇降
体２と、昇降体２に対して垂直軸支した第１水平腕３と
、第１水平腕３の先端に垂直軸支した第２水平腕４と、
第２水平腕４の先端に取付けたグリップ装置Ｇとよりな
るクリーンロボットである。

Ｓは、ウェハＷを載せるテーブル５の回転装置である。

テーブル５の上面には大きさの異なるウェハを所定位置
に載せ得るように円形の穴５ａが複数形成されている。

これら穴５ａの深さは、その外周部がウェハＷの厚さよ
ジ若干小で、また中央部はど深い。しかも穴５ａの直径
は、ウェハＷの直径より若干大に設定されている。

以下グリップ装置Ｇについて説明する。

１１は、グリップ装置本体であり、腕４先端下部に固設
される。

１２は、本体１１の円周上に略等間隔を有してその上端
が水平軸支１２ａされ、しかも垂直中心軸に対して接近
遠隔回動自在の実施例では３本のロッドである。

１３は、全ロッド１２を同時に前記接近遠隔回動させる
ための装置である。Ｍはその電動機であり、本体１１に
下向きに取付けられている。本体１１の中央下部には上
下方向のガイド棒１３ａが固設され、その下端には支持
板１８ｂが固設されている。またガイド棒１３ａには上
下移動体１３Ｃが支承され、電動機Ｍの出力軸に連結さ
れたボールスクリューｌａｄを介して移動可能である。

また本体１１と移動体１３ｃ、および支持板１３ｂと移
動体１３ｃとの間には略同断面積の可撓性ジャバラ１３
ｅが設けられ、両ジャバラ１８ｅの空間は、移動体１８
ｃの貫通孔１３ｆにより連通されている。しかもその空
間は、本体１１の貫通孔１１ａにより図示しないがロポ
ッ）Ｒの腕４．３、昇降体２、ベース１に連通されてい
る。これによりボールスクリュー１３ｄや、ガイド棒１
３ａと移動体１３ｃとの間の摩擦により発生するほこり
が外部に飛散しないようになされている。

さらに移動体１８ｃにはリンク１３ｇが軸支１３ｈされ
、支持板１３ｂにはリンク１８ｉが軸支１３ｊされ、ロ
ッド１２中間部にはリンク１３ｋが軸支１３ｔされてい
る。そしてリンク１３ｇ、１３１．１３にの先端部は一
個所で軸支１３ｍされている。

１４は、各ロッド１２の下端部に軸１２ａと平行な軸１
４ａにより支承した爪であり、先端くさび形に形成され
ている。各爪１４先端近辺のウェハすくい面にはウェハ
Ｗの当部材１４ｂが突設されている。

１５は、各ロッド１２の下部に突設され、冬瓜１４の自
重による下方への回動を拘束するストッパである。これ
らストッパ１５により、爪１４はロッド１２に対して一
定の角度以上傾かないようになされている。

１６は、各爪１４先端近辺や、軸１１ｈ、１３ｊ、１３
ｍなどに向けて配管した吸引ホースであり、爪１４とテ
ーブル５との間の摩擦により発生したほこりなどを図示
しないポンプにより吸引するためのものである。

そしてテーブル５の穴５ａに載せられ之ウェハＷをすく
い上げる場合は、グリップ装置Ｇを所望のウェハＷ上方
に位置決めし、ロッド１２を遠隔位置に回動させた後、
下降させ、爪１４がテーブル５に当接して、爪１４の水
平面に対する傾斜角が約３０〜３５度となるところで停
止させるっこの状態が第５図（イ）の状態であり、爪１
４の重力のみがテーブル５に作用している。

そこで電動機Ｍにより移動体１３ｃを上昇させ、全ロッ
ド１２を同時に接近回動させると、爪１４先端がテーブ
ル５上面を滑り、第５図（ロ）のように穴５ａとウェハ
Ｗとのすき間にはいる。さらには第５図回実線のように
、さらにはまた第５図（ハ）２点鎖線のように、爪１４
先端部がウェハＷ下部に侵入し、ウェハＷをすくい上げ
る。このとき部材１４ｂの作用によりウエノ・Ｗのすｐ
上がりが途中で拘束されるので、ウェハＷの片寄りがな
く、ウェハＷは全型１４上に確実に載る。

そしてグリップ装置Ｇを上昇させると、第５図に）のよ
うに爪１４はストッパ１５により下方への回動が拘束さ
れ、ウニ／・Ｗは３本の爪１４によりつかまれたことに
なる。

前述説明は実施例であり、例え・ば板状体がリング状で
あって、その内周側からすくい上げる場合は、冬瓜１４
を実施例とは反対向きに軸支１４ａし、各ロッド１２を
遠隔移動させるようにすればよい。また爪１４は３本に
限らず、板状体Ｗの形状に応じてそれ以上であってもよ
い。さらにはロッド１２を回動させるための装置１３は
、実施例のようなリンク機構に限らず、カム機構などを
用いてもよい。

（発明の効果）この発明は前述したとおりであるから、爪１４を板状体
Ｗの上面に接触させることなく板状体Ｗをすくい上げる
ことができる。よってこの発明は上面に傷やほこりなど
が付かないように注意をはらう必要のあるウェハなどの
搬送装置に実施して特に有効である。

【図面の簡単な説明】

図はいずれもこの発明の一実施例を示し、第１図はグリ
ップ装置の平面図、第２図は第１図の■−■断面矢視図
、第３図はクリーンロボットの全体概略図、第４図はテ
ーブルの平面図、第５図（イ）〜に）は作用説明図であ
る。Ｇ・・・グリップ装置、１１・・グリップ装置本体、１
２・・・ロッド、１２ａ・・水平軸、１３・・・ロッド
１２を回動させる装置、１４　・爪、１４ａ・パ軸、１
４ｂ・・・当部材、１５・・ストッパ、Ｗ・・板状体。

Claims

【特許請求の範囲】

グリップ装置本体と、このグリップ装置本体の円周上に
略等間隔を有してその上端が水平軸支され、しかも垂直
中心軸に対して接近遠隔回動可能の少なくとも３本のロ
ッドと、これら各ロッド下端部に前記水平軸と平行な軸
により支承された先端くさび形の爪と、これら各爪の自
重による下方への回動を拘束するストッパとを備えてな
る、グリップ装置。