TW201540444A - 吸盤、機械手及機器人 - Google Patents

Abstract

吸盤，包括：盤部，用來藉由吸附而保持目標物件且具有第一連接端部及第二連接端部；第一固定部及第二固定部，設於與盤部分離的位置以跨過盤部而彼此相對來固定盤部；第一支承部，具有大於盤部及第一固定部之間的分離距離的延伸長度，第一支承部將第一連接端部與第一固定部連接；以及第二支承部，具有大於盤部及第二固定部之間的分離距離的延伸長度，第二支承部將第二連接端部與第二固定部連接。

Description

吸盤、機械手及機器人

揭露於此的實施例係涉及一種吸盤、機械手及機器人。

於相關技術中，已知用於搬運例如晶圓或玻璃基板的薄基板的基板搬運裝置。

舉例而言，基板搬運裝置包括機械臂。基板搬運裝置藉由機械臂在水平方向或其他方向中移動機械臂來搬運基板，並藉由設於機械臂的尖部的機械手來保持基板。

在搬運基板的過程中，必須可靠地保持基板且防止基板的位置偏移。因此，提出機器人，包括在機械手設有真空吸引型吸盤，且藉由透過吸盤的吸附來保持基板(舉例而言，參照日本專利申請公開第2007-53313號)。

然而，在上述相關技術中，可靠地保持彎曲的基板，有空間被進一步地改善。

這是因為，舉例而言，當上述的基板搬運裝置被用於半導體製程中時，基板經過例如成膜過程等的熱處理過程 且在熱影響下有時會彎曲。

這是常見的問題，其可能係由於熱影響和基板的厚度減小、基板的尺寸增大及基板的材料而造成。

有鑒於上述情況，揭露於此的實施例提供一種吸盤、機械手及機器人，其能藉由吸附而可靠保持彎曲的基板。

根據本揭露的一個態樣，提供一種吸盤。其包括：盤部，用來藉由吸附而保持目標物件且具有周緣部，周緣部設有第一連接端部及第二連接端部，第一連接端部及第二連接端部被定位成跨過盤部的中心而彼此相對，第一連接端部、第二連接端部及中心係排列在直線上；第一固定部及第二固定部，設於與盤部分離的位置以跨過盤部而彼此相對且被建構來固定盤部。吸盤復包括：第一支承部，具有大於盤部及第一固定部之間的分離距離的延伸長度，第一支承部被建構來將第一連接端部與第一固定部連接；及第二支承部，具有大於盤部及第二固定部之間的分離距離的延伸長度，第二支承部被建構來將第二連接端部與第二固定部連接。

以揭露於此的實施例的態樣，有可能藉由吸附而可靠地保持彎曲的基板。

1‧‧‧機器人

2‧‧‧基台

3‧‧‧升降部

4‧‧‧第一關節部

5‧‧‧第一臂

6‧‧‧第二關節部

7‧‧‧第二臂

8‧‧‧第三關節部

10‧‧‧手

11‧‧‧板支承部

12‧‧‧板

12a‧‧‧進氣孔

12b‧‧‧孔部

12c‧‧‧環狀壁部

12d‧‧‧通孔

13、13’、13A、13B‧‧‧吸盤

13a‧‧‧盤部

13aa‧‧‧接觸部

13ab‧‧‧主面部

13ac‧‧‧進氣孔

13b‧‧‧固定部

13ba‧‧‧通孔

13bb‧‧‧開口銷部

13c‧‧‧支承部

14‧‧‧真空路徑

15‧‧‧密封部件

20‧‧‧控制裝置

30‧‧‧上位裝置

C‧‧‧位於規定位置的晶圓的中心

CC‧‧‧同一圓周

SC‧‧‧連結部件

W‧‧‧晶圓

ax-c‧‧‧中心線

d‧‧‧分離距離

圖1是根據實施例的機器人的立體圖。

圖2是手的示意俯視圖。

圖3A是吸盤的示意俯視圖。

圖3B是沿著圖3A的A-A′線的示意剖視圖。

圖4A及圖4B是顯示吸盤的附接結構的示意剖視圖。

圖5A及圖5B是顯示固定部的修改範例的示意剖視圖。

圖6A是顯示吸盤的配置範例的示意俯視圖。

圖6B是顯示吸盤的移動的示意俯視圖。

圖7是根據第一修改範例的吸盤的示意俯視圖。

圖8是根據第二修改範例的吸盤的示意俯視圖。

以下，參照圖式來詳細地說明揭露於此的吸盤、機械手以及機器人的實施例。本揭露不限於以下所示的實施例。

在以下中，作為舉例，機器人是搬運作為被搬運物的晶圓的基板搬運用機器人的情況來進行說明。對晶圓標示的參考符號為“W”。在以下中，將構成機械結構且能彼此相對運動的各剛性元件參照作為“連桿”。，有時將“連桿”參照作為“臂”。另外，將機械手參照作為“手”。

首先，使用圖1來說明根據實施例的機器人1的結構。圖1是根據實施例的機器人1的立體圖。

在圖1中，為了使說明容易理解，圖示了包含將垂直向上作為正方向、垂直向下作為負方向的Z軸的三維正交坐標系。因此，沿XY平面的方向是指“水平方向”。在以下的說明中使用的其他圖式中有時也示出正交坐標系。

在以下中，為了方便說明，假設機器人1的旋轉位置與指尖的方位為圖1所示的狀態來說明機器人1的各部件之間的位置關係。

另外，在以下中，有時情況會是，只對多個部件中的一些標示參考符號而省略對剩餘部件標示參考符號。此時，假設標示了參考符號的部件與剩餘部件為相同。

如圖1所示，機器人1包括基台2、升/降單元3、第一關節單元4、第一臂5、第二關節單元6、第二臂7、第三關節單元8與手10。第一臂5和第二臂7構成臂單元。

基台2作為機器人1的基單元且固定至地表面或壁表面。在某些情況，基單元透過其上表面固定至另一個裝置。安裝升/降單元3使得其能相對於基台2在垂直方向(Z軸方向)中滑動(參照圖1中的雙箭頭a0)。升/降單元3將機器人1的臂單元沿著垂直方向升降移動。

第一關節單元4是繞軸線a1的旋轉關節。第一臂5透過第一關節單元4而可旋轉地連接至升/降單元3(參照圖1中的繞軸線a1的雙箭頭)。

第二關節單元6是繞軸線a2的旋轉關節。第二臂7透過第二關節單元6而可旋轉地連接至第一臂5(參照圖1 中的繞軸線a2的雙箭頭)。

第三關節單元8是繞軸線a3的旋轉關節。手10透過第三關節單元8而可旋轉地連接至第二臂7(參照圖1中的繞軸線a3的雙箭頭)。

機器人1裝備有例如馬達等的驅動源(圖未示)，第一關節單元4、第二關節單元6以及第三關節單元8分別通過驅動源的操作來進行旋轉。

手10是真空吸附並保持晶圓W的末端執行器。參照圖2之後的圖，在後面敘述關於手10的詳細結構。在圖1中，圖示了機器人1具有一個手10的情況。但，不限定手10的數目。

例如，可以重疊關係繞軸線a3來安裝多個手10，使得手10能獨立地繞軸線a3旋轉的。

機器人1利用升/降單元3的升降操作和各臂5、7以及手10的旋轉操作的組合來搬運晶圓W。藉由來自透過通信網路而連接至機器人1以能彼此通信的控制裝置20的指示來執行這些操作。

控制裝置20是控制機器人1的操作的控制器。例如，控制裝置20對上述的驅動源的操作進行指示。響應於自控制裝置20傳遞來的指示，機器人1將驅動源旋轉任意的角度，藉此將臂單元進行旋轉。

根據預先儲存於控制裝置20的教學資料來執行操作控制。然而，控制裝置20以能相互通信的方式連接至上位裝置30的情況中，可從上位裝置30獲取教學資料。

接著，參照圖2來說明手10的結構。圖2是手10的示意俯視圖。在圖2中，由雙點劃線表示出現於預定位置的晶圓W。以下，對出現於預定位置的晶圓W的中心標注參考符號“C”。

如圖2所示，手10透過第三關節單元8而安裝於第二臂7的尖部以繞軸線a3旋轉。手10包括板支承部11、板12、吸盤13與真空路徑14。

板支承部11連接至第三關節單元8且建構來對板12進行支承。板12是作為手10的基部的元件且係由陶瓷等形成。在圖2中，例示了尖部具有分岔形狀的板12。但，板12的形狀不限定於此。

吸盤13是真空吸附並將晶圓W保持於手10上的元件。在本實施例中，三個吸盤13係安裝於圖2所示的位置且被建構來在三個點處藉由吸附來保持晶圓W。吸盤13的數目不限定於此，例如，也可以設為3個以上。參照圖3A之後的附圖詳細說明吸盤13的結構。

真空路徑14是從各吸盤13延伸至真空源(圖未示)的抽氣路線。舉例而言，如圖2所示，真空路徑14形成在板12內。當晶圓W放置於吸盤13上時，真空源透過真空路徑14實施抽真空並導致吸盤13藉由吸附來保持晶圓W。只要真空路徑14讓真空源能實施抽氣，真空路徑14可以形成在任何位置。

產生在晶圓W中的彎曲的形狀的範例包括晶圓W從中心C逐漸地隆起的所謂的“圓頂形”、晶圓W從中心C 逐漸地凹下的所謂的“碗形”和晶圓W具有圓頂形及碗形混合的“隨機形”。但是，實際上，可充分假設，對應於各吸盤13，“圓頂形”及“碗形”發生在晶圓W的局部區域。由此而言，例舉具有“圓頂形”及“碗形”的晶圓W的彎曲的情況來說明各吸盤13的特性。

也就是說，可以說是晶圓W呈具有在徑向方向中延伸的撓曲方向的彎曲形狀。在本實施例中，即使晶圓W彎曲，使吸盤13符合晶圓W，以藉由真空吸附來可靠地保持晶圓W。

接著，詳細說明各吸盤13的結構。在以下的說明中，於顯示在圖2中的吸盤13之中，只有被虛線圓P1包圍的吸盤13將作為主要範例。

圖3A是吸盤13的示意俯視圖。圖3B是沿著圖3A的A-A′線的示意剖視圖。。如圖3A及圖3B所示，吸盤13包括盤部13a、一對固定部13b及一對支承部13c。為了以易於理解的方式來敘述這些各部位，在俯視圖中觀看的支承部13c係以陰影圖樣來來表示(參照圖3A)。

吸盤13可以使用樹脂等各種材料來形成。例如，吸盤13的材料較佳具有撓性以使吸盤13可以符合彎曲的晶圓W。

由於有吸盤13在高溫狀態中接觸晶圓W的可能性，較佳地，吸盤13具有優異的耐熱性。作為範例，聚醯亞胺樹脂等可適用於作為吸盤13的材料。在本實施例中，假設吸盤13係透過使用聚醯亞胺樹脂來單件式成模。

盤部13a是藉由吸附來保持目標物件的部分。盤部13a包括接觸部13aa、主表面部13ab、抽氣孔13ac及周緣部13ad。如之後說明，盤部13a還包括設置在周緣部13ad中之支承部13c連接至其的連接端部13ae。接觸部13aa是與目標物件，例如晶圓W，接觸的部分。主表面部13ab是作為吸盤13的所謂的基板的部分。主表面部13ab的外周被接觸部13aa所包圍。雖然，在圖3A中，例示了實質圓形的主表面部13ab，主面部13ab的形狀並不限定於此。關於這一點，在圖7中示出了修改的範例，在後面進行敘述。

在主表面部13ab的中央區域上形成有抽氣孔13ac。抽氣孔13ac使被接觸部13aa包圍的空間透過後面敘述的密封件15(參照圖4A或者圖4B)而與真空源相通。

固定部13b安裝在與盤部13a分離的位置以跨過該盤部13a彼此面對。固定部13b是用於固定盤部13a的一對部分。各固定部13b具有在其中插有例如螺栓或螺釘的緊固件SC(後面敘述)的通孔13ba。雖然顯示在圖3A中的固定部13b具有實質圓形，固定部13b的形狀並不限於此。

支承部13c成對安裝且建構來將存在於盤部13a的中心軸線ax-c上的連接端部13ae與固定部13b互連。各支承部13c具有大於盤部13a及各固定部13b之間的分離距離d的“延伸長度”。使用於此的術語“延伸長度”是指沿著各支承部13c從一端至另一端的外形的形狀的長度。

舉例而言，圖3A顯示“延伸長度”大於分離距離d 的範例。如圖3A所示，安裝各支承部13c以圍繞並沿著盤部13a的外周。各支承部13c的一端連接至連接端部13ae中的一者。各支承部13c的另一端連接至位於其他連接端部13ae的一側的固定部13b。

在此情況，若盤部13a具有如圖3A所示的實質圓形，較佳地安裝各支承部13c以除了連接端部13ae之外不與盤部13a接觸而實質地沿著盤部13a的半圓周來延伸。這樣，能使各支承部13c的“延伸長度”增加。藉由使該“延伸長度”增加，可以提高各支承部13c的彈性，藉此易於使吸盤13適應於晶圓W的形狀而變形。在之後還參照圖6B來敘述這一點。

較佳地支承部13c設在相同圓CC的圓周上。具體地說，如圖3A所示，安裝支承部13c以各自從位於盤部13a的中心軸線ax-c上的連接端部13ae延伸。相對於此，固定部13b配置在與中心軸線ax-c不同的中心軸線(參照圖3A中的B-B’線)上。使用在此的術語“中心軸線”係指在其中穿設有連接端部13ae及盤部13a的中心並在平行於欲藉由吸附而被保持的物件的抽氣表面的方向中延伸的直線。由於可以此方式來將支承部13c安裝接近盤部13a的外周，可將吸盤13的整體外形構成實質圓緊密形。

接著，說明吸盤13的附接結構。圖4A及圖4B是顯示吸盤13的附接結構的示意剖視圖。顯示在圖4A及圖4B中的示意截面對應於沿著圖3A的B-B’線的截面。

如圖4A所示，在板12上預先形成有與導向至真空路徑14的抽氣孔12a、對應於緊固件SC及通孔13ba的孔部12b和環形壁部12c。也就是說，根據本實施例，板12係吸盤13的固定基礎。

在吸盤13與板12之間設有密封件15。密封件15為具有實質環形的彈性體且由例如矽樹脂來製成。形成密封件15以具有當吸盤13附接於板12時存在的大於吸盤13及板12之間的間隔h2的高度h1。

如圖4A以及圖4B所示，當將抽氣孔13ac的外周、密封件15的內周及抽氣孔12a的外周彼此對齊時，吸盤13藉由將穿過通孔13ba的緊固件SC插入至孔部12b中而被附接至板12。

使用緊固件SC能將吸盤13附接至板12而無需使用粘結劑。因此，可以得到防止當晶圓W維持在高溫時粘結劑中所含的有機物的揮發並對產品造成影響的效果。如圖4A以及圖4B所示，較佳地，各緊固件SC係埋頭螺釘或者平頭螺栓，其頭部具有平坦上表面。藉由使用其具有平坦上表面的頭部的緊固件SC，可以防止緊固件SC干涉晶圓W。

由於密封件15具有大於吸盤13及板12之間的間隔h2的高度h1，密封件15呈極度擠壓狀態壓縮。這使得其能可靠地對抽氣孔13ac、12a之間的空隙進行密封，藉此確保氣密空間。

當以此方式附接吸盤13時，在支承部13c的下方會 形成空間。這是因為環形壁部12c係形成為具有大於支承部13c的實質環形的外直徑的內直徑。這能藉由使支承部13c從其一端維持自由延伸至另一端來將彈性施加至支承部13c。從而，吸盤13能輕易地變形以適應晶圓W的形狀。

雖然已例舉了使用密封件15來將盤部13a支承在板12上的情況，本揭露並不限於此。舉例而言，可藉由沿著板12的抽氣孔12a的周圍而被環形地豎立的環形支承部(圖未示)來支承盤部13a。

雖然已例舉了使用緊固件SC的附接範例，可建構固定部13b以使吸盤13能被附接至板12而無需使用緊固件SC。現在，將說明固定部13b的修改範例。

圖5A及圖5B是顯示固定部13b的修改範例的例示剖視圖。圖5A及圖5B中顯示的例示截面對應於沿著圖3A中的B-B’線的截面。在圖5A及圖5B中，以參考符號“13’”標示吸盤。

如圖5A所示，根據修改範例的吸盤13’的各固定部13b包括朝板12突起且包括具有作為倒鉤的鉗的分叉頭部的分叉銷部13bb。分叉銷部13bb較佳地具有彈性使得分叉銷部13bb能在自由狀態中向外擴張。

如圖5B所示，適應於吸盤13’的形狀，在板12上預先形成有被塑形來嚙合分叉銷部13bb的頭部的倒鉤的通孔12d。

藉由將分叉銷部13bb插入至通孔12d中來將吸盤 13’附接至板12。由於分叉銷部13bb具有彈性以在自由狀態中擴張且具有形成在其頭部中的倒鉤，能將吸盤13’緊固至板12而無需使用工具。也就是說，能輕易地將吸盤13’附接至板12。這讓最終用戶能有效地在現場實施換盤作業。

就像使用緊固件SC的情況，能將吸盤13’附接至板12而無需使用粘結劑。因而能防止粘結劑中所含的有機物揮發並對產品造成影響。

回頭來說明吸盤13，將說明吸盤13的配置範例及其移動。圖6A是顯示吸盤13的配置範例的示意俯視圖。圖6B是顯示吸盤13的移動的示意俯視圖。

如圖6A所示，舉例而言，設置吸盤13使得支承部13c的一端位於其上的中心軸線ax-c實質地正交於位於預定位置的晶圓W的徑向方向。換言之，設置吸盤13使得中心軸線ax-c正交在實際上關於位於預定位置的晶圓W的中心C繪製的同心圓的切線方向中。

憑藉此配置，如圖6B所示，能輕易地將吸盤13繞實質地正交於吸盤13的徑向方向的中心軸線ax-c傾斜(參照圖6B中的箭頭601)。也就是說，能讓吸盤13輕易地適應於在徑向方向中容易以例如圓頂形或碗形的形式彎曲的晶圓W。

如上所述且如圖6B所示，吸盤13的各支承部13c具有大於盤部13a及各固定部13b之間的分離距離d的“延伸長度”(參照圖3A)。因此，吸盤13被安裝在環形壁部 12c所定義的空間中以所謂懸空狀態被安裝。

為此，支承部13c被賦予的彈性大於當在與分離距離d相同的長度下直接連接盤部13a及固定部13b時的彈性。因此，支承部13c在可輕易移動地的狀態中支承吸盤13整體。

換言之，根據本實施例，吸盤13的支承部13c被建構以使吸盤13能藉由賦予至支承部13c的彈性來輕易地繞中心軸線ax-c而被扭曲。此時吸盤13的撓性及密封件15的彈性作用產生扭力。這讓吸盤13能輕易地傾斜移動。

據此，即使晶圓W彎曲，吸盤13能輕易地適應於晶圓W。也就是說，能藉由吸附來可靠地保持晶圓W。

吸盤13的形狀並不限於目前為止所述的範例。接著，將參照圖7及圖8來說明吸盤13的修改範例。顯示在圖7中的修改範例係第一修改範例。顯示在圖8中的修改範例係第二修改範例。

根據第一修改範例，圖7是吸盤13A的示意俯視圖。根據第一修改範例，吸盤13A與上述說明的吸盤13不同的是，盤部13a係形成為實質圓角長方形且支承部13c被安裝來沿著大於盤部13a的外周的圓角周而延伸。

在此吸盤13A的情況，較佳地，安裝吸盤13A使得其長軸線沿著上述的中心軸線ax-c延伸。這讓吸盤13A在短軸線方向中能有效地適應於具有在徑向方向中延伸的彎曲方向的例如圓形或碗形的彎曲形狀的晶圓W。

具體地說，可以說所謂的晶圓W在實質正交於徑向方向的方向中具有小的彎曲量且在徑向方向中具有大的彎曲量。若使吸盤13A的短軸線方向被配置沿著徑向方向延伸，則使吸盤13A上的晶圓W的彎曲量變小。即，吸盤13A能適應於晶圓W而無需大量移動。因此，在真空吸附時不容易發生泄露。這讓其能可靠地藉由吸附來保持晶圓W。

雖然已例舉了安裝支承部13c以圍繞並沿著盤部13a的外周延伸，支承部13c可以不圍繞並沿著盤部13a的外周延伸。圖8是根據第二修改範例的吸盤13B的示意俯視圖。

即，如圖8所示，當俯視時各支承部13c也可以呈蜿蜒形狀且可將位於中心軸線ax-c上的盤部13a的連接端部13ae連接至在各個連接端部13ae的側邊(或附近)處的固定部13b。

即便在此情況，各支承部13c具有大於盤部13a及各固定部13b之間的分離距離d(參照圖3A)的“延伸長度”。因此可以得到的彈性大於當盤部13a及固定部13b以分離距離d連接時的的彈性。即，即使晶圓W彎曲，吸盤13B能輕易地適應於晶圓W且能可靠地藉由吸附來保持晶圓W。

如上所述，根據實施例的吸盤包括盤部、一對固定部及一對支承部。盤部藉由吸附來保持目標物件。將固定部安裝遠離於盤部的位置以越過盤部而彼此面對。固定部作 為用來固定盤部的固定端。

各支承部具有大於盤部及各固定部之間的分離距離的延伸長度。各支承部將位於中心軸線上的盤部的各連接端部與各固定部互連。

根據實施例的吸盤、設有吸盤的機械手及設有機械手的機器人，即使當基板彎曲時能可靠地藉由吸附來保持基板。

作為範例，在上述實施例中說明的分叉銷部的例子中，可將導體從板支承部取出。此能有助於防止晶圓的靜電。因此可以防止晶圓上附著有微粒子等。

在上述實施例中，實質圓角長方形作為盤部的主表面部的形狀的範列。或者，主表面部的形狀可為卵形，其包括橢圓形。

在上述實施例中，已例舉了單臂機器人進行了說明。然而，本揭露可應用於雙臂機器人或多臂機器人。

在上述實施例中，已例舉了目標物件為晶圓的範例。然而，目標物件並不限於此而可為任何薄基板。有鑒於此，不限定基板的種類。例如，基板可以是用於液晶平板顯示器的玻璃基板。

於玻璃基板的情況下，上述的徑向方向是指關於目標物件的中心虛擬繪製的同心圓的徑向方向或者從目標物件的中心徑向地延伸的方向。只要目標物件為薄工件，可以不是基板。

在上述實施例中，例舉了機器人是用於搬運晶圓等的 基板的基板搬運機器人的情況。然而，機器人可以是進行搬運作業以外的作業的機器人。例如，機器人可以是使用具有吸盤的手，一邊真空吸附薄工件一邊進行規定的組裝作業的組裝機器人等。

本發明所屬技術領域中具有通常知識者，可以理解到，各種修改、組合、次組合及替代，在附加申請專利範圍的範疇或同等範疇內，可根據設計需求及其他因素而發生。

13‧‧‧吸盤

13a‧‧‧盤部

13aa‧‧‧接觸部

13ab‧‧‧主面部

13ac‧‧‧進氣孔

13ad‧‧‧周緣部

13ae‧‧‧連接端部

13b‧‧‧固定部

13ba‧‧‧通孔

13c‧‧‧支承部

CC‧‧‧同一圓周

ax-c‧‧‧中心線

d‧‧‧分離距離

Claims (10)

1. 一種吸盤，包括：盤部，被建構來藉由吸附而保持目標物件且具有周緣部，該周緣部設有第一連接端部及第二連接端部，該第一連接端部及該第二連接端部被定位成跨過該盤部的中心而彼此相對，該第一連接端部、該第二連接端部及該中心係排列在直線上；第一固定部及第二固定部，設於與該盤部分離的位置以跨過該盤部而彼此相對且被建構來固定該盤部；第一支承部，具有大於該盤部及該第一固定部之間的分離距離的延伸長度，該第一支承部被建構來將該第一連接端部與該第一固定部連接；以及第二支承部，具有大於該盤部及該第二固定部之間的分離距離的延伸長度，該第二支承部被建構來將該第二連接端部與該第二固定部連接。
2. 如請求項1所述的吸盤，其中，該第一支承部及該第二支承部在該盤部的外側沿著該周緣部而延伸，且其中，該第一固定部被定位成相較於該第一連接端部更靠近於該第二連接端部，且該第二固定部被定位成相較於該第二連接端部更靠近於該第一連接端部。
3. 如請求項2所述的吸盤，其中，該盤部具有實質圓形，該第一支承部及該第二支承部中的各者沿著該盤部的該周緣部的一半而延伸。
4. 如請求項3所述的吸盤，其中，該第一第二支承 部及該第二支承部彼此不重合地沿著該盤部的該周緣部而延伸。
5. 如請求項2所述的吸盤，其中，該盤部具有實質卵形，該直線沿著該盤部的長軸線而延伸。
6. 如請求項1所述的吸盤，其中，在俯視圖中觀察，該第一支承部及該第二支承部與該直線多次交叉而延伸，且其中，該第一固定部被定位成更靠近於該第一連接端部，且該第二固定部被定位成更靠近於該第二連接端部。
7. 如請求項1至6中任一項所述的吸盤，其中，該盤部被設置使得該直線在實質正交於從該目標物件的中心延伸越過該盤部的徑向方向的方向中延伸。
8. 一種機械手，包括請求項1至6中任一項所述的吸盤。
9. 一種機械手，包括請求項7所述的吸盤。
10. 一種機器人，包括請求項8所述的機械手。