JP6325906B2 - 液中ウェーハ単離方法及び液中ウェーハ単離装置 - Google Patents
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Description
上述した液中ウェーハ単離装置2を用い、図8の手順に従って、太陽電池製造用のシリコン多結晶ウェーハを単離した。ウェーハとしては、156mm角、厚さ120μmの略四角形のウェーハを使用した。図8(c)及び図8(d)の工程では、水と空気を混合した剥離流体ジェットを流体噴射デバイスから噴射した。流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度θ1と、流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度θ2については、表1の通りとした。ウェーハの吸着ミスや割れなどの不具合が生じたものの枚数をカウントし、不具合発生率を求め、評価した。
上述した液中ウェーハ単離装置2を用い、流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度θ1と、流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度θ2を表1の通りに変えた以外は、実施例1と同様にして、太陽電池製造用のシリコン多結晶ウェーハを単離した。ウェーハとしては、156mm角、厚さ120μmの略四角形のウェーハを使用した。ウェーハの吸着ミスや割れなどの不具合が生じたものの枚数をカウントし、不具合発生率を求め、評価した。比較例1〜3において、ウェーハを単離した結果を表1に示す。
Claims (11)
- 液中に浸漬された状態の多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体の最上層のウェーハを複数の吸着パッドにより吸着し、前記最上層のウェーハの一端部の下面と隣接する下側のウェーハの上面との間隙を空けて流体を吹き込み、前記最上層のウェーハを水平方向で傾斜させ、前記傾斜させた最上層のウェーハを、その傾斜の延長線上に沿って変位させて液中から前記最上層のウェーハを取出せしめるウェーハ単離方法であり、前記複数の吸着パッドの各々の吸着面を同一方向に傾斜せしめて固定し、前記傾斜を維持した状態で前記最上層のウェーハを前記複数の吸着パッドにより吸着せしめて前記最上層のウェーハを波打ち形状とすることにより、前記最上層のウェーハの一端部の下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に間隙が形成されるようにし、ウェーハ周縁部近傍に設けた流体噴射デバイスにより前記間隙に流体が吹き込まれるようにしてなることを特徴とする液中ウェーハ単離方法。
- 前記複数の吸着パッドが、前記最上層のウェーハ上面のうち、少なくとも前記流体噴射デバイスによる流体吹き込み側のウェーハ端部近傍と前記流体噴射デバイスによる流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着せしめてなり、且つ前記流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度が、前記流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度よりも大とされてなることを特徴とする請求項1記載の液中ウェーハ単離方法。
- 前記流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度をxとすると、前記流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度がx/2以下とされてなることを特徴とする請求項2記載の液中ウェーハ単離方法。
- 前記傾斜した複数の吸着パッドの各々の一端部がウェーハ表面に接触した状態で吸着を開始することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の液中ウェーハ単離方法。
- ロボットアームと、
前記ロボットアームにより支持され、液中に浸漬された状態の多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体の最上層のウェーハを吸着する複数の吸着パッドと、
前記最上層のウェーハの一端部の下面と隣接する下側のウェーハの上面との間隙を空けて流体を吹き込むための流体噴射デバイスと、を含み、
前記最上層のウェーハを水平方向で傾斜させ、前記傾斜させた最上層のウェーハを、その傾斜の延長線上に沿って変位させて液中から前記最上層のウェーハを取出せしめる液中ウェーハ単離装置であり、
前記複数の吸着パッドの吸着面が、各々独立して同一方向に傾斜可能とされてなり、
前記複数の吸着パッドの各々の吸着面を同一方向に傾斜せしめて固定し、前記傾斜を維持した状態で前記最上層のウェーハを前記複数の吸着パッドにより吸着せしめて前記最上層のウェーハを波打ち形状とすることにより、前記最上層のウェーハの一端部の下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に間隙が形成されるようにし、ウェーハ周縁部近傍に設けた流体噴射デバイスにより前記間隙に流体が吹き込まれるようにしてなることを特徴とする液中ウェーハ単離装置。 - 前記複数の吸着パッドの吸着面が、各々独立して昇降可能とされてなることを特徴とする請求項5記載の液中ウェーハ単離装置。
- 前記複数の吸着パッドが、前記最上層のウェーハ上面のうち、少なくとも前記流体噴射デバイスによる流体吹き込み側のウェーハ端部近傍と前記流体噴射デバイスによる流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着せしめてなり、且つ前記流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度が、前記流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度よりも大とされてなることを特徴とする請求項5又は6記載の液中ウェーハ単離装置。
- 前記流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度をxとすると、前記流体吹き込みの反対側のウェーハ端部近傍を吸着する吸着パッドの傾斜角度がx/2以下とされてなることを特徴とする請求項7記載の液中ウェーハ単離装置。
- 前記ロボットアームが、前記傾斜した複数の吸着パッドの各々の一端部がウェーハ表面に接触した状態を検知するセンサーをさらに支持してなることを特徴とする請求項5〜8いずれか1項記載の液中ウェーハ単離装置。
- 前記ロボットアームが、複数のソケット部を有する支持板を支持してなり、前記支持板に前記複数の吸着パッドが設けられてなり、
前記複数の吸着パッドが、吸着パッド本体と、前記吸着パッド本体に設けられたボールスタッド部とをそれぞれ有し、前記ボールスタッド部が前記ソケット部に球面接触せしめられ、前記各々の吸着面が傾斜した状態で前記ボールスタッド部を固定可能とされてなり、前記各々の吸着面の傾斜を維持できるようにしたことを特徴とする請求項5〜9いずれか1項記載の液中ウェーハ単離装置。 - 前記流体噴射デバイスの噴射口の傾きが、前記流体噴射デバイスによる流体吹き込み側のウェーハ端部近傍を吸着する前記吸着パッドの吸着面の傾きと同期せしめられてなることを特徴とする請求項5〜10いずれか1項記載の液中ウェーハ単離装置。
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