JPH09237817A - ウエハの分離搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハを損傷することなく一枚ずつ分離して
搬出方向へ確実に搬送することができるようにする。 【解決手段】 支持台２６上に多数枚のウエハ２７を積
層状態で支持する。支持台２６の上昇により、最上部に
位置する１枚のウエハ２７を水面１２１付近に配置す
る。最上部のウエハ２７の上面に対し水を噴射すること
により、最上部のウエハ２７を他のウエハ２７から分離
して搬出方向へ搬送する。ストッパ７７は、最上部のウ
エハ２７の搬出方向への搬送のみを許容して、他のウエ
ハ２７の搬出方向への移動を阻止する。支持台２６を傾
動機構７６により傾動させることにより、支持台２６上
のウエハ２７の傾きを調整して、最上部のウエハ２７が
ストッパ７７に干渉しないようにかつ、他のウエハ２７
の搬出方向への移動がストッパ７７によって阻止され得
るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数枚積み重ねら
れた半導体ウエハ等のウエハを、一枚ずつ分離して搬送
するウエハの分離搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハ等は、シリコン等
の脆性材料よりなるインゴットを、例えばワイヤソーに
より所定厚さに切断加工して形成される。この切断方法
の一例について簡単に説明すると、図１２（ａ）に示す
ように、インゴット１００は円柱状をなし、その上面に
はカーボン１０１及び絶縁板１０２を含む支持板１０３
が貼着固定されている。インゴット１００は、この支持
板１０３においてワイヤソー（図示せず）の加工部に装
着される。そして、図１２（ｂ）に示すように、インゴ
ット１００が下降されながら、そのインゴット１００が
ワイヤソーのワイヤ１０４と砥粒を含むスラリとにより
切断加工されて、多数枚のウエハ２７が同時に形成され
る。

【０００３】図１３（ａ）に示すように、切断加工後に
おいてもウエハ２７は支持板１０３に貼着された状態で
ある。このため、切断加工後にウエハ２７は所定の剥離
手段によって支持板１０３から同時に剥離され、図１３
（ｂ）に示すように、多数枚積層された状態となる。し
かし、後工程の作業性を考慮すると、積層された状態の
ウエハ２７を一枚ずつ分離する必要があるが、ウエハ２
７は非常に薄くかつ破損し易いものであるため、これを
一枚一枚分離するのは困難な作業である。

【０００４】そのため、例えば特開平５−６３０５８号
公報に示すようなウエハの分離搬送装置が従来より知ら
れている。図１４に示すように、この分離搬送装置は、
積層された多数枚のウエハ２７を支持した状態で上昇さ
せる送り装置１０６と、それらウエハ群の最上部に位置
するウエハ２７を流体の噴射により他のウエハ２７から
分離して搬送するノズル系１０７と、最上部のウエハ２
７の移動のみを許容してそれ以外のウエハ２７の移動を
規制するストッパ１０８とを備えている。ノズル系１０
７は、最上部のウエハ２７を他のウエハ２７から分離す
るための分離用ノズル１０９と、分離されたウエハ２７
を搬送するための搬送用ノズル１１０とを有している。

【０００５】そして、ウエハ２７を分離する際には、送
り装置１０６によりウエハ群が上昇されて、最上部のウ
エハ２７がノズル系１０７と対向配置される。この状態
で、分離用ノズル１０９から最上部に位置する２枚のウ
エハ２７の間に向けて流体が噴射されて、最上部のウエ
ハ２７が持ち上げられるとともに、搬送用ノズル１１０
から噴射された流体によってそのウエハ２７がストッパ
１０８の上縁を通って搬送される。このとき、最上部の
ウエハ２７以外のウエハ２７は、ストッパ１０８により
移動を規制されるので、最上部のウエハ２７のみを１枚
ずつ分離して確実に搬送することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図１２
（ｂ）に示すように、インゴット１００の切断加工は、
支持板１０３とは反対側の部位を切断開始位置として、
支持板１０３に向かう方向に行われる。しかし、このよ
うに切断加工を行った場合には、例えば図１３（ａ）に
示すように、インゴット１００の切断開始側と終了側、
或いはワイヤ走行方向におけるワイヤ入口側と出口側等
では、切断開始側或いはワイヤ入口側ほどワイヤソーの
ワイヤ１０４によって大きく削り取られる。そして、切
断加工後に得られるウエハ２７は、切断開始側或いはワ
イヤ入口側から切断終了側或いはワイヤ出口側に向かっ
てその厚さが徐々に大きくなる傾向にある。このような
ウエハ２７の厚さの違いは、ウエハ２７単体では問題に
ならない程度のものであるが、図１３（ｂ）に示すよう
に、ウエハ２７を多数枚積層した場合には、その違いが
積算されて、最上部のウエハ２７が水平面に対して傾い
た状態となってしまう。尚、実際には、ウエハ２７の厚
さの違いは非常に小さいものであるが、この図１３にお
いては、理解を容易にするため誇張して描いてある。

【０００７】従って、このようなウエハ２７を前述した
従来の分離搬送装置における送り装置１０６上に載置し
た場合、図１５に示すように、最上部のウエハ２７がス
トッパ１０８の上縁に対して傾いた状態となることがあ
る。このような状態で、ウエハ２７の分離動作が開始さ
れると、最上部のウエハ２７がストッパ１０８に干渉し
て円滑に搬送されなくなるばかりか、ウエハ２７がスト
ッパ１０８の上縁に対して傾いた状態で衝突して破損す
るおそれも生じる。しかも、分離用ノズル１０９から噴
射された流体が、最上部に位置する上下２枚のウエハ２
７の間に進入せず、分離用ノズル１０９による分離動作
を確実に行い得なくなるという問題があった。

【０００８】又、図１６に示すように、ウエハ２７を送
り装置１０６上に載置したとき、最上部のウエハ２７が
搬送方向に向かって次第に高くなるように傾くこともあ
る。このような状態で、ウエハ２７の分離動作が開始さ
れると、図１６に２点鎖線で示すように、最上部のウエ
ハ２７だけでなくその下に位置するウエハ２７もストッ
パ１０８の上縁を通って搬送されてしまうおそれが生
じ、ウエハ２７を１枚ずつ分離して確実に搬送すること
が困難になるという問題もあった。

【０００９】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、ウエハを損傷することなく一枚ずつ分離し
て搬出方向へ確実に搬送することができるウエハの分離
搬送装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、多数枚のウエハを積
層状態で支持するとともに、それらのウエハ群を積層状
態のまま上昇させる支持手段と、所定の分離位置に上昇
配置された最上部のウエハの上面に対し流体を噴射し
て、最上部のウエハを他のウエハから分離させる分離手
段と、その分離されたウエハを液流を利用して搬出方向
へ搬送する搬送手段と、前記最上部のウエハの搬出方向
への搬送のみを許容して、他のウエハの搬出方向への移
動を阻止するストッパとを備えたウエハの分離搬送装置
において、前記最上部のウエハがストッパに干渉しない
ようにかつ、他のウエハの搬出方向への移動がストッパ
によって阻止され得るように、前記ウエハ群の傾きを調
整するための傾き調整手段を設けたものである。

【００１１】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記ストッパは、前記最上部のウエハの搬出方向
への搬送を許容するための上縁を有し、前記傾き調整手
段は、最上部のウエハがストッパの上縁に対してほぼ平
行になるように傾きを調整するものである。

【００１２】請求項３に記載の発明では、請求項２にお
いて、前記ストッパの上縁は水平面に対してほぼ平行に
設けられ、前記傾き調整手段は、最上部のウエハが水平
面に対してほぼ平行になるように傾きを調整するもので
ある。

【００１３】請求項４に記載の発明では、請求項１〜３
のいずれかにおいて、前記傾き調整手段は、ウエハ群を
積層支持する支持面と、その支持面の水平面に対する傾
斜角度を調整するために、同支持面を傾動させる傾動機
構と、最上部のウエハの上面に対向配置され、そのウエ
ハの上面の傾きを検出する検出手段と、その検出手段に
よる検出結果に基づき前記傾動機構を制御する制御手段
とを含むものである。

【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項１〜３
のいずれかにおいて、前記傾き調整手段は、積層された
ウエハ群を傾動自在に支持する傾動支持体と、最上部の
ウエハの上面に対向配置され、そのウエハの上面に接触
して同ウエハが水平面に対して所定角度になるように規
制する規制手段とを含むものである。

【００１５】請求項６に記載の発明では、請求項１〜５
のいずれかにおいて、前記分離手段は、最上部のウエハ
に直接接触して同ウエハを移動させる分離押出手段と、
前記ウエハの始動後に同ウエハの上面に対し、その中心
から偏倚した位置に斜上方から流体を噴射して、ウエハ
を一方向に回転させて他のウエハから分離させる回転手
段とを含むものである。

【００１６】請求項７に記載の発明では、請求項１〜６
のいずれかにおいて、前記支持手段はウエハ群を液中に
おいて積層支持しており、その支持手段によってウエハ
群が上昇されるとき、ウエハの搬送方向の下流側の斜上
方からウエハ上面に対して液体を噴射して、ウエハの浮
き上がりを防止する押さえ手段を設けたものである。

【００１７】請求項８に記載の発明では、請求項１〜７
のいずれかにおいて、前記支持手段の搬送方向の下流に
は、搬送手段により搬送されるウエハを案内するための
シュータを配置し、そのシュータの搬送方向の下流に
は、搬送されるウエハを一枚ずつ区分して収納するため
の複数の収納棚を有するカセットを配置したものであ
る。

【００１８】従って、請求項１〜８の発明は次のような
作用を奏する。請求項１の発明によれば、支持手段によ
り多数枚のウエハが積層状態で支持される。この状態
で、支持手段によりウエハ群が上昇されて、最上部のウ
エハが所定の分離位置に配置される。このとき、最上部
のウエハがストッパに干渉しないようにかつ、他のウエ
ハの搬出方向への移動がストッパによって阻止され得る
ように、傾き調整手段によってウエハ群の傾きが調整さ
れる。このため、最上部のウエハの上面に分離手段によ
って流体が噴射されたとき、その最上部のウエハは他の
ウエハから分離されるとともに、ストッパに干渉するこ
となく液流により搬出方向へ円滑に搬送され、他のウエ
ハはストッパによって搬出方向への移動を確実に阻止さ
れる。

【００１９】請求項２の発明によれば、傾き調整手段に
よって、最上部のウエハがストッパの上縁に対してほぼ
平行になるように傾き調整が行われるので、最上部のウ
エハはストッパの上縁に干渉することなく、その上縁を
通して円滑に搬送される。

【００２０】請求項３の発明によれば、傾き調整手段に
よって、最上部のウエハが水平面に対してほぼ平行にな
るように傾き調整が行われるので、最上部のウエハは、
水平面に対してほぼ平行なストッパの上縁に干渉するこ
となく、その上縁を通してより円滑に搬送される。

【００２１】請求項４の発明によれば、検出手段により
最上部のウエハの上面の傾きが検出されると、その検出
結果に基づき傾動機構が制御されて、支持面の水平面に
対する傾斜角度が調整される。その結果、支持面上に積
層支持されたウエハ群の傾きが正確に調整される。

【００２２】請求項５の発明によれば、ウエハ群は傾動
支持体によって傾動自在に支持されているので、その傾
きを容易に変更可能である。このため、最上部のウエハ
の上面が規制手段に接触するのに伴い、そのウエハは水
平面に対して所定角度になるように傾きを容易に変更さ
れる。

【００２３】請求項６の発明によれば、支持手段により
ウエハ群が上昇されて、最上部のウエハが所定の分離位
置に配置されると、そのウエハが分離押出手段により移
動される。その後、ウエハの上面に対し斜上方から流体
が噴射されることにより、そのウエハが一方向に回転さ
れながら他のウエハから分離される。

【００２４】請求項７の発明によれば、支持手段によっ
てウエハ群が上昇されるとき、ウエハ上面に対して液体
が噴射されることにより、ウエハが液中で浮き上がるこ
とが防止される。

【００２５】請求項８の発明によれば、分離された一枚
のウエハは、シュータに沿って案内搬送された後、カセ
ットの各収納棚に個別に収納される。

【００２６】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、この発明の第１実施形態を、図
１〜図７に基づいて詳細に説明する。

【００２７】図１及び図２に示すように、水槽１１は上
面を開口した箱型に形成され、その内部には清浄水１２
が貯留されている。液位調整手段としての仕切板１３は
水槽１１内の一側寄りに配設され、この仕切板１３によ
り水槽１１内の一側にオーバフロー室１４が区画形成さ
れている。この仕切板１３の上端を通って、水槽１１内
の水１２がオーバフロー室１４内にオーバフローし、水
槽１１内の水位１２１が一定に保たれる。

【００２８】複数の水供給口１６は前記水槽１１の底部
に形成され、これらの水供給口１６から水槽１１内に清
浄水１２が供給される。水排出口１７はオーバフロー室
１４の底部に形成され、この水排出口１７を通してオー
バフロー室１４内の水１２が外部に排出される。なお、
前記水槽１１の底部にはドレン口１５１及びドレンバル
ブ１５２が設けられている。

【００２９】各一対（合計４本）のガイドロッド１８，
１９は前記水槽１１内に所定間隔をおいて立設されてい
る。そして、後述するウエハ２７の搬出方向（オーバフ
ロー室１４へ向かう方向）側に位置する一対のガイドロ
ッド１９は、その上端が水位１２１よりもわずかに下方
に位置するように、搬出方向と反対側に位置する他の一
対のガイドロッド１８よりも短く形成されている。

【００３０】第１昇降装置２０は前記ガイドロッド１
８，１９に対応して水槽１１の外側に配設され、昇降板
２１、ねじ２２及びねじ２２を回転させるためのサーボ
モータ（図示せず）を備えている。取付板２３は水槽１
１内の水中に配置されるように、一対の吊下ロッド２４
を介して昇降板２１の下面に吊設され、軸受２５を介し
てガイドロッド１８に摺動可能に嵌挿されている。第１
〜第４パルスモータ５２１〜５２４はそれぞれ取付板２
３の下面に固着され、それらの駆動軸であるねじ５３に
は雌ねじ５４が螺着されている。モータ５２１〜５２４
は、水１２の侵入を防ぐために、カバー５５で覆われて
いる。昇降体５６は雌ねじ５４に固定され、それらの上
面には球面軸受５６１がそれぞれ形成されている。支持
台２６はその下面に形成された球体５７が球面軸受５６
１に嵌合することにより、昇降体５６上に４点において
支持されている。そして、各パルスモータ５２１〜５２
４が駆動されることにより、ねじ５３の作用により昇降
体５６が昇降される。その結果、支持台２６が傾動され
て、その上面に形成された支持面２６１の水平面に対す
る傾斜角度が調整される。この第１実施形態では、パル
スモータ５２１〜５２４、ねじ５３、雌ねじ５４及び昇
降体５６により、支持面２６１の傾動機構７６が構成さ
れている。

【００３１】シリコン等の脆性材料よりなり、円板状を
なす多数枚のウエハ２７は、前記水槽１１内の水中にお
いて各ガイドロッド１８，１９間に位置するように、支
持台２６の支持面２６１上に積層状態で支持される。そ
して、第１昇降装置２０のサーボモータが駆動されるこ
とにより、ねじ２２の作用により昇降板２１、吊下ロッ
ド２４及び取付板２３を介して支持台２６が昇降され
る。そして、支持台２６の上昇により多数枚のウエハ２
７がガイドロッド１８，１９に沿って所定量ずつ上昇さ
れ、最上部に位置する一枚のウエハ２７が分離位置であ
る水位１２１付近に配置される。この第１実施形態で
は、ガイドロッド１８，１９、第１昇降装置２０、吊下
ロッド２４、取付板２３及び支持台２６により支持手段
が構成されている。

【００３２】検出手段としての第１〜第４センサ２８１
〜２８４は最上部のウエハ２７の上面と対向するよう
に、前記水槽１１内に配設され、前記第１〜第４パルス
モータ５２１〜５２４と１対１で対応している。これら
センサ２８１〜２８４は一水平面上に配設されている。
そして、最上部のウエハ２７が水位１２１付近まで上昇
されて、その上面が少なくとも１つのセンサ２８１〜２
８４に接触したとき、接触したセンサ２８１〜２８４か
らオン信号が出力されて、制御手段としての制御装置５
８に入力される。制御装置５８は、センサ２８１〜２８
４からのオン信号を入力すると、第１昇降装置２０のサ
ーボモータを停止させて、支持台２６の上昇動作を停止
させる。

【００３３】その後、制御装置５８は、全てのセンサ２
８１〜２８４をオンさせるべく、オンしていないセンサ
２８１〜２８４に対応するパルスモータ５２１〜５２４
をそれぞれ駆動して、昇降体５６を上昇させる。その結
果、支持台２６が傾動されて、最上部のウエハ２７が水
平面に対して平行になるように、積層されたウエハ群の
傾きが調整される。つまり、第１〜第４センサ２８１〜
２８４は、最上部のウエハ２７の最上昇位置を検出する
とともに、同ウエハ２７の上面の水平面に対する傾きを
検出するためのものであり、制御装置５８は、これらの
センサ２８１〜２８４による検出結果に基づき、第１昇
降装置２０及び各パルスモータ５２１〜５２４を制御す
る。この第１実施形態では、支持台２６、傾動機構７
６、センサ２８１〜２８４及び制御装置５８により、傾
き調整手段が構成されている。

【００３４】尚、第１〜第４センサ２８１〜２８４は、
ウエハ群の傾き調整の終了後、図示しない昇降機構によ
り、ウエハ２７の検出位置から退避位置に上昇されて、
最上部のウエハ２７から離間する。

【００３５】次に、水位１２１付近まで上昇された最上
部のウエハ２７を搬送する動作の初期において、同ウエ
ハ２７を機械的に搬出方向へ一時的に移動させる分離押
出手段２９について、図４〜図７に従って説明する。

【００３６】図４〜図６に示すように、一方のガイドロ
ッド１８にはブラケット３０を介して支持ピン３２が取
り付けられ、その支持ピン３２には一方向クラッチ３３
を介して円筒状をなす回転カム３４が支持されている。
支持ピン３２の上部には支持レバー３５の基端部が水平
方向に回動可能に支持されている。支持レバー３５はば
ね３７により下方へ押圧付勢されている。支持レバー３
５には支持アーム３８が固定され、その支持アーム３８
の先端部には薄い板ばねよりなる接触子４０が取り付け
られている。

【００３７】図７に示すように、前記回転カム３４の上
端面には水平な第１カム面３４１と、該カム面３４１よ
りも低い水平な第２カム面３４２と、該カム面３４２に
続く傾斜状の第３カム面３４３とが全周に６個繰り返し
形成されている。そして、支持レバー３５の基端下面に
形成された作動突起３５１が前記第１カム面３４１に対
応した状態では、前記接触子４０が最上部のウエハ２７
よりも上方に保持される。又、支持レバー３５が約１０
度反時計回り方向へ回動されると、作動突起３５１が第
２カム面３４２に落ち込んで、接触子４０が前記最上部
のウエハ２７より低い位置に保持される。さらに、作動
突起３５１が第３カム面３４３により持ち上げられる
と、接触子４０が前記最上部のウエハ２７より高い位置
に離間される。

【００３８】前記支持レバー３５は、図４に示すよう
に、常に所定角度（この第１実施形態ではほぼ６０度）
の範囲で往復回動される。すなわち、支持レバー３５が
ウエハ２７を機械的に初期移動させる回転動作時には回
転カム３４が一方向クラッチ３３により所定位置に停止
された状態で、作動突起３５１がばね３７の押圧力によ
りあるいはそれに抗して第１〜第３カム面３４１〜３４
３を順次移動し、接触子４０によるウエハ２７の機械的
な始動を行う。始動完了後に支持レバー３５を原位置へ
復帰する回転動作時には該レバー３５の作動突起３５１
が第１カム面３４１と第３カム面３４３との境界に形成
された係止面３４４に係止された状態で該レバー３５が
退避位置に逆回動される。このため、一方向クラッチ３
３の非接続状態により回転カム３４は所定角度（ほぼ６
０度）回動され、次にウエハ２７を機械的に始動させる
回転動作に備えられる。

【００３９】前記接触子４０は薄い板ばねにより構成さ
れているので、機械的にウエハ２７を始動させる場合に
は、図６に二点鎖線で示すように円弧状に湾曲される。
図４に示すように、前記ガイドロッド１８の他方にはブ
ラケット４１を介してシリンダ４６の基端部が回動可能
に支持されている。このシリンダ４６の往復動ロッド４
８の先端部は支持レバー３５に連結されている。従っ
て、図４に示す実線の位置に支持アーム３８が配置さ
れ、接触子４０がウエハ２７から離れた状態で、シリン
ダ４６が作動されてロッド４８により支持レバー３５が
支持ピン３２を中心に反時計回り方向へ回動される。す
ると、支持アーム３８が同方向へ回動されて接触子４０
がウエハ２７に向かって移動され、ウエハ２７が機械的
に始動される。

【００４０】図１及び図２に示すように、ウエハ２７の
浮き上がりを防止する押さえ手段としての第１水噴射ノ
ズル５９はガイドロッド１９間の上方に配設され、この
第１水噴射ノズル５９により、最上部のウエハ２７の上
面ほぼ中央に対し、搬出方向下流側の斜上方から水が噴
射されて、各ウエハ２７の浮き上がりが防止される。

【００４１】ウエハ２７の回転手段及び搬送手段として
の第２水噴射ノズル６０は前記ガイドロッド１８間の上
方に配設され、前記第１水噴射ノズル５９からの押さえ
用水の噴射を中断した状態で、この第２水噴射ノズル６
０により、水面位置のウエハ２７の上面に対し、搬出方
向上流側の斜上方から水が噴射される。このとき、図２
に示すように、第２水噴射ノズル６０からの水は、ウエ
ハ２７の上面に対し、その中心から横方向に偏倚した位
置に向けて噴射され、その水流により最上部のウエハ２
７に図２の時計方向への回転力と搬出方向への推進力が
付与されて、そのウエハ２７が下部２枚目以降のウエハ
２７から分離されて搬送される。この実施形態では、前
記分離押出手段２９と回転手段としての第２水噴射ノズ
ル６０とにより、最上部のウエハを分離する分離手段７
５が構成されている。

【００４２】仕切壁７４は水槽１１をその中央において
区画している。シュータ６２は前記水中で水面１２１の
近傍に位置するように、前記仕切壁７４の上端に固定さ
れ、搬出方向下流側に向かって所定角度（第１実施形態
では水平面に対し２度程度）で下降傾斜している。そし
て、搬送位置から搬送される一枚のウエハ２７が、この
シュータ６２に沿って搬出方向に案内誘導される。従っ
て、このシュータ６２も搬送手段を構成している。そし
て、第１昇降装置２０側の水供給口１６から水槽１１内
に供給された水１２がシュータ６２上を搬出方向に流れ
る。この水流が搬送流となり、ウエハ２７の搬送作用が
促進される。

【００４３】前記シュータ６２の搬出方向上流側の縁部
はウエハ２７の形状に沿った円弧状をなしており、その
上縁６２１は、前記ガイドロッド１９の上端と面一でか
つ水平面に対してほぼ平行となっている。本実施形態に
おいて、この上縁６２１及びガイドロッド１９はストッ
パ７７を構成している。このストッパ７７は、前記最上
部のウエハ２７の搬出方向への搬送のみを許容して、他
のウエハ２７の搬出方向への移動を阻止するためのもの
であり、最上部のウエハ２７のみが、シュータ６２の上
縁６２１を通って搬出方向へ搬送されるようになってい
る。

【００４４】第５センサ６３は前記シュータ６２の搬出
方向下流側の端部の中央に配設され、ウエハ２７の始端
部がシュータ６２上まで搬送されたとき、この第５セン
サ６３から制御装置５８へ検出信号が出力される。そし
て、この第５センサ６３からの検出信号に基づき、制御
装置５８は第１昇降装置２０を下降動作させて、支持台
２６上のウエハ２７を所定量下降させる。

【００４５】第２昇降装置６４はシュータ６２の下流側
に位置するように、水槽１１の外側方向に傾斜状態で配
設され、昇降板６５，ねじ６６及びそのねじ６６を回転
させるための図示しないサーボモータを備えている。支
持板６７は水中に配置されるように、一対の吊下ロッド
６８及び取付板６９を介して昇降板６５の下面に吊設さ
れている。そして、この支持板６７は、その上面が搬出
方向に向かって次第に低くなるように、水平面に対して
所定角度で傾斜されている。

【００４６】前面を開口した箱型のカセット７０は前記
支持板６７上に着脱可能に支持され、その後面には透孔
７１が形成されている。複数の収納棚７２はカセット７
０内に上下方向へ所定間隔おきに配設され、シュータ６
２上から搬送されるウエハ２７を、この収納棚７２上へ
一枚ずつ区分して収納するようになっている。そして、
カセット７０の収納棚７２上にウエハ２７が一枚ずつ収
納されるごとに、サーボモータの回転に基づくねじ６６
の作用により第２昇降装置６４が下降動作され、それに
よりカセット７０が所定量ずつ下降されて、空の収納棚
７２がシュータ６２と対応する高さ位置に配置される。
前記収納棚７２は水平でも良いが、入り口側が高く内奥
が低くなるように傾斜させて、収納されたウエハ２７が
水の浮力や動圧力等により外部に誤って出るのを阻止す
るようにしても良い。

【００４７】一対の第６センサ７３は前記水槽１１内に
おいて仕切板１３上に所定間隔をおいて配設され、ウエ
ハ２７を格納する高さ位置の収納棚７２に対向配置され
る。そして、シュータ６２から搬送されるウエハ２７が
収納棚７２上の所定位置に収納されたとき、これらの第
６センサ７３から制御装置５８へ検出信号が出力され
る。この検出信号に基づき、制御装置５８は、第２噴射
ノズル６０からの水の噴射を停止させるとともに、第２
昇降装置６４を下降動作させる。

【００４８】次に、前記のように構成されたウエハの分
離搬送装置の動作を説明する。さて、図１２（ｂ）に示
すように、シリコン等の脆性材料よりなるインゴット１
００は、ワイヤソーのワイヤ１０４により、同時に多数
枚のウエハ２７に切断される。切断加工後に、ウエハ２
７は支持板１０３から同時に剥離されて、図１３（ｂ）
に示すように、多数枚積層された状態となる。

【００４９】そして、この第１実施形態のウエハの分離
搬送装置においては、装置の運転に先立って、ワイヤソ
ー等により切断加工された多数枚のウエハ２７が、積層
状態のまま支持台２６上に支持されて、水槽１１の液体
１２中に沈められる。又、空のカセット７０が上昇位置
にある支持板６７上に支持されて、最下段の収納棚７２
がシュータ６２と対向する。

【００５０】このとき、例えば図３（ａ）に示すよう
に、支持台２６上のウエハ群における最上部のウエハ２
７が、シュータ６２の上縁６２１（言い換えれば水平
面）に対して傾いた状態であったとする。このような状
態で、装置の運転が開始されると、第１昇降装置２０の
上昇動作により、支持台２６上のウエハ２７が上昇され
る。そして、図３（ｂ）に示すように、最上部のウエハ
２７が水位１２１付近まで上昇されて、その上面が少な
くとも１つのセンサ２８１〜２８４に接触すると、支持
台２６の上昇動作が停止される。続いて、図３（ｃ）に
示すように、オンしていないセンサ２８１〜２８４に対
応するパルスモータ５２１〜５２４の駆動により、支持
台２６が傾動されて、全てのセンサ２８１〜２８４がオ
ンするように、言い換えれば最上部のウエハ２７が水平
面に対して平行になるように、積層されたウエハ群の傾
きが正確に調整される。その結果、最上部のウエハ２７
はシュータ６２の上縁６２１に対して平行となり、水位
１２１付近においてストッパ７７に干渉しない位置に配
置される。又、最上部のウエハ２７以外のウエハ２７
は、搬出方向への移動がストッパ７７によって阻止され
得るように、そのストッパ７７と係合する位置に配置さ
れる。尚、上記ウエハ２７の上昇時及び傾き調整時に
は、第１噴射ノズル５９から最上部のウエハ２７の上面
に水が噴射されて、各ウエハ２７の浮き上がりが防止さ
れる。

【００５１】前記のように、最上部のウエハ２７が水平
面に対して平行になるのに伴い、第１〜第４センサ２８
１〜２８４がオンすると、パルスモータ５２１〜５２４
の駆動が停止されるとともに、センサ２８１〜２８４が
検出位置から退避位置に上昇されて、最上部のウエハ２
７から離間する。又、第１水噴射ノズル５９からの水の
噴射が中断されるとともに、図４において分離押出手段
２９のシリンダ４６が作動されて、支持レバー３５及び
支持アーム３８が支持ピン３２を中心に反時計回り方向
へ回動されて接触子４０により最上部のウエハ２７が機
械的な始動力を付与されて、搬出方向（図４の右方向）
へ移動される。

【００５２】この始動力を付与された最上部のウエハ２
７に対し、第２水噴射ノズル６０から水が噴射される。
このとき、噴射ノズル６０からの水は、搬出方向と反対
側の斜上方からウエハ２７の上面に対し、その中心より
偏倚した位置に向けて噴射される。従って、この噴射水
の水流により、最上部の一枚のウエハ２７に回転力と推
進力が付与されて、そのウエハ２７が２枚目以下のウエ
ハ２７から確実に分離される。更に、水槽１１内に配設
された超音波発振器６１によって発生される縦波の作用
により、分離が促進される。

【００５３】加えて、最上部のウエハ２７が分離されて
搬送方向に移動され始めると、分離のための噴射水が最
上部のウエハ２７とその下部のウエハ２７との間に進入
する。このため、分離動作がいっそう促進される。

【００５４】前記最上部のウエハ２７は、噴射ノズル６
０からの水の噴射に伴って発生される水流の推進力と、
シュータ６２上を流れる水供給口１６からの水流とによ
り、図１及び図２に矢印で示す搬出方向へシュータ６２
を介して搬送される。そして、ウエハ２７の始端部が第
５センサ６３にさしかかると、その第５センサ６３から
検出信号が出力される。この検出信号に基づき、第１昇
降装置２０が下降することにより、支持台２６上のウエ
ハ２７が所定量下降する。

【００５５】さらに、前記ウエハ２７は水流の推進力等
により、シュータ６２上から搬出方向に搬送され、カセ
ット７０内の１つの収納棚７２上に収納される。そし
て、ウエハ２７の搬送に際しては、シュータ６２が搬送
方向下流側に向かって下降傾斜しているため、その搬送
を円滑に行うことができる。この時、カセット７０をシ
ュータ６２以上に同方向に傾斜させた場合には、搬送さ
れてきたウエハ２７はカセット７０内に更にスムーズに
収納される。

【００５６】このように、ウエハ２７が収納棚７２上の
所定位置に収納配置されると、第６センサ７３から検出
信号が出力される。そして、この検出信号に基づき、第
２水噴射ノズル６０からの水の噴射が停止されるととも
に、押さえ用の第１水噴射ノズル５９からの水の噴射が
再開される。それとともに、第２昇降装置６４が下降
し、カセット７０が所定量下降して、次段の空の収納棚
７２がシュータ６２と対応する高さ位置に配置される。
引き続き、第１〜第４センサ２８１〜２８４が退避位置
から検出位置に下降するとともに、第１昇降装置２０が
上昇動作に移行して、最上部のウエハ２７が第１〜第４
センサ２８１〜２８４で検出される水位１２１付近に配
置される。

【００５７】その後、前述したウエハ２７の傾き調整、
分離及び搬送の動作が繰り返し行われ、支持台２６上の
多数のウエハ２７が最上部のものから一枚ずつ順に分離
されて搬出方向に搬送され、シュータ６２上を経てカセ
ット７０の収納棚７２上へ個別に区分して収納される。
そして、カセット７０の各収納棚７２上にウエハ２７が
すべて収納されたとき、第２昇降装置６４の上昇動作に
より、カセット７０が水槽１１内の水中から水位１２１
上に上昇される。従って、カセット７０を支持板６７上
から取り外して、複数のウエハ２７をカセット７０とと
もに次工程等へ容易に移送することができる。

【００５８】前述したカセット７０へのウエハ２７の収
納は、該カセット７０を上昇しながら個別に行うように
してもよい。この場合には前述したカセット７０を下降
しながらウエハ２７を収納する方法に比較して、カセッ
ト７０の昇降行程を少なくすることができ、ウエハ２７
の搬出動作を迅速に行うことができる。なお、この場合
には水位１２１上に上昇されたウエハ２７に図示しない
噴霧器から水を噴霧してもよい。

【００５９】以上のように、この分離搬送装置において
は、多数枚のウエハ２７を支持台２６上に載置したとき
に、最上部のウエハ２７がシュータ６２の上縁６２に対
して傾いた状態となっても、最上部のウエハ２７の搬送
に先立って、その最上部のウエハ２７がストッパ７７に
干渉しないようにかつ、他のウエハ２７の搬出方向への
移動がストッパ７７によって阻止され得るように、支持
台２６上のウエハ群の傾きが調整される。このため、最
上部のウエハ２７は他のウエハ２７から一枚ずつ分離さ
れるとともに、ストッパ７７に干渉することなくシュー
タ６２の上縁６２１を通して搬出方向へ円滑に搬送さ
れ、他のウエハ２７はストッパ７７に係合して搬出方向
への移動を確実に阻止される。従って、最上部のウエハ
２７がシュータ６２の上縁６２１に衝突して破損すると
いうこともない。

【００６０】又、最上部のウエハ２７は分離押出手段２
９によりまず機械的に始動力を与えられた後、その分離
及び搬送が水中で行われるため、摩擦力と表面張力によ
り分離抵抗の大きい始動時のウエハ２７を確実に始動さ
せることができる。又、ウエハ２７の搬送移動や、噴射
水流等により、ウエハ２７が洗浄され、ウエハ２７に付
着している切断加工時のスラリー等が洗い落とされる。
そして、ウエハ２７の分離が一方向に向かう噴射水流に
より行われるため、装置の構成が簡単である。

【００６１】又、この分離搬送装置においては、ウエハ
２７の分離時以外のときは、噴射水流によりウエハ２７
を押さえるようにしたので、水中にあるウエハ２７の妄
動を防止して一枚ずつ分離することができる。しかも、
ウエハ２７を押さえるのが水流なので、ウエハ２７が傷
つくおそれもない。

【００６２】なお、カセット７０はウエハ２７を一枚収
容するごとに下降して、収容されたウエハ２７が水中に
没する。このため、ウエハ２７の表面乾燥による異物の
こびり付きを防止できる。 （第２実施形態）次に、本発明を具体化した第２実施形
態を図８に基づいて説明する。尚、ここでは、前記第１
実施形態と異なる構成の部分を中心に説明する。

【００６３】さて、図８に示すように、この第２実施形
態では、傾動機構７６の構成が前記第１実施形態とは異
なっている。即ち、この第２実施形態では、支持台２６
が第１〜第４流体バッグ７８１〜７８４を介して取付板
２３上に支持されている。各流体バッグ７８１〜７８４
内には図示しない供給装置よりエア等の気体や水等の液
体が配管７９を介して供給されるようになっている。そ
して、制御装置５８によって各流体バッグ７８１〜７８
４内への流体の供給量が制御されることにより、支持台
２６が傾動されて、支持面２６１の水平面に対する傾斜
角度が調整される。従って、この第２実施形態において
も、前記第１実施形態と同様な作用効果が得られる。 （第３実施形態）次に本発明を具体化した第３実施形態
を図９及び図１０に基づいて説明する。尚、ここでは、
前記第１実施形態と異なる構成の部分を中心に説明す
る。

【００６４】さて、図９に示すように、この第３実施形
態では、傾き調整手段の構成が前記第１実施形態とは異
なっている。即ち、この第３実施形態では、支持台２６
が下面を開放された箱型形状をなし、取付板２３上に載
置されている。支持台２６と取付板２３との間には１つ
の流体バッグ８０が配置され、その内部には図示しない
供給装置よりエア等の気体や水等の液体が配管８１を介
して供給されるようになっている。この第３実施形態で
は、支持台２６及び流体バッグ８０により、積層された
ウエハ群を傾動自在に支持する傾動支持体８２が構成さ
れ、この傾動支持体８２及び第１〜第４センサ２８１〜
２８４により傾き調整手段が構成されている。尚、この
第３実施形態では、第１〜第４センサ２８１〜２８４
は、最上部のウエハ２７の上面に接触して同ウエハ２７
が水平面に対して平行になるように規制する規制手段を
構成している。

【００６５】次に、この第３実施形態の動作を図１０に
従って説明する。さて、図１０（ａ）に示すように、多
数枚のウエハ２７が支持台２６上に積層支持された状態
で、装置の運転が開始されると、第１昇降装置２０の上
昇動作により、支持台２６上のウエハ２７が上昇する。
そして、図１０（ｂ）に示すように、最上部のウエハ２
７が水位１２１付近まで上昇して、その上面が少なくと
も１つのセンサ２８１〜２８４に接触すると、支持台２
６の上昇動作が停止される。続いて、図１０（ｃ）に示
すように、制御装置５８の制御により、全てのセンサ２
８１〜２８４がオンするまで、流体バッグ８０に対する
流体の供給が行われる。即ち、支持台２６上のウエハ２
７は流体バッグ８０によって傾動自在に支持されている
ので、その傾きを容易に変更可能であるとともに、最上
部のウエハ２７はセンサ２８１〜２８４に接触すること
により、水平面に対して平行になるように規制される。
このため、流体バッグ８０への流体の供給によって同バ
ッグ８０が膨張するのに伴い、最上部のウエハ２７の上
面が全てのセンサ２８１〜２８４に接触するように、言
い換えれば最上部のウエハ２７が水平面に対して平行に
なるように、支持台２６上のウエハ２７の傾きが容易に
変更される。その結果、最上部のウエハ２７はシュータ
６２の上縁６２１に対して平行となり、この第３実施形
態においても、前記第１及び第２実施形態と同様な作用
効果が得られる。 （第４実施形態）次に、本発明を具体化した第４実施形
態を図１１に基づいて説明する。尚、ここでは、前記第
１実施形態と異なる構成の部分を中心に説明する。

【００６６】さて、図１１に示すように、この第４実施
形態では、分離押出手段２９の構成が前記第１実施形態
とは異なっている。即ち、水槽１１には可動取付板９５
が支持軸９６により垂直面内で往復回動可能に支持され
ている。この取付板９５は水槽１１に固定した取付ケー
ス８３に支持したボールねじ８４の下端部に連結したＵ
クレビス８５に対し連結ピン８６により連結されてい
る。そして、昇降用のサーボモータ８７によりボールね
じ８４が昇降動作することによって、取付板９５が昇降
動作する。この第４実施形態では、前記可動取付板９
５、ボールねじ８４及びサーボモータ８７等により回転
子９０の昇降機構が構成されている。

【００６７】前記取付板９５には回転軸８８が軸受８９
により回転可能に支持され、該回転軸８８には回転子９
０が嵌合されている。又、前記取付板９５には回転子用
のサーボモータ９１が取り付けられ、その回転軸には駆
動プーリ９２が固定され、前記回転軸８８に固定した被
動プーリ９３と前記駆動プーリ９２との間にはベルト９
４が掛装されている。

【００６８】従って、この第４実施形態では、最上部の
ウエハ２７に機械的な始動力を付与する動作は、まず、
昇降用サーボモータ８７を起動してボールねじ８４を下
降すると、取付板９５が支持軸９６を中心に下方へ回動
され、回転子９０がウエハ２７の上面に接触される。次
に、サーボモータ９１が起動されると、駆動プーリ９
２、ベルト９４、被動プーリ９３及び回転軸８８を介し
て回転子９０が回転され、ウエハ２７は搬送方向に移動
される。次に、第２噴射ノズル６０からウエハ２７に向
かって水が噴射され、ウエハ２７は第１実施形態と同様
にして搬送される。

【００６９】この第４実施形態では、回転子９０により
ウエハ２７に始動力が付与されるので、ウエハ２７の始
動を確実に行うことができる。又、ウエハ２７を積層支
持する支持台２６が傾動機構７６によって傾動されるこ
とにより、ウエハ２７の傾きが調整されるので、その他
の作用効果は前記第１実施形態と同様である。

【００７０】この発明は、例えば次のように変更して具
体化することも可能である。 （１）前記各実施形態では４つのセンサ２８１〜２８４
が設けられていたが、これを３つのセンサとすること。
又、それに応じて、第１及び第４実施形態における傾動
機構７６のパルスモータ５２１〜５２４を３つとすると
ともに、第２実施形態における流体バッグ７８１〜７８
４を３とすること。

【００７１】（２）最上部のウエハ２７が搬出方向に向
かって次第に低くなるように水平面に対して所定角度
（１〜３度程度）で傾斜するように、ウエハ２７の傾き
を調整するように構成すること。このようにすれば、最
上部のウエハ２７がより円滑に搬送される。

【００７２】（３）第１水噴射ノズル５９を省略するこ
と。このようにしても、ウエハ２７は第１〜第４センサ
２８１〜２８４との接触により、その浮き上がりが防止
される。

【００７３】（４）水排出口１７から排出される水を濾
過して再度水供給口１６を介して水槽１１内に供給する
ように構成すること。 （５）最上部のウエハ２７を回転させることなく、分
離、搬送すること。

【００７４】（６）最上部のウエハ２７は完全に水に没
する状態、上面のみが水面から露出する状態、あるいは
ウエハの下面の高さと水面とが一致する状態の何れでも
よい。

【００７５】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ウエハを損傷することなく一枚ずつ分離し
て搬出方向へ確実に搬送することができる。

【００７６】請求項２に記載の発明によれば、最上部の
ウエハはストッパの上縁に干渉することなく、その上縁
を通して円滑に搬送される。請求項３に記載の発明によ
れば、最上部のウエハは、水平面に対してほぼ平行なス
トッパの上縁に干渉することなく、その上縁を通してよ
り円滑に搬送される。

【００７７】請求項４に記載の発明によれば、最上部の
ウエハの上面の傾きに応じて傾動機構が制御されて、支
持面の水平面に対する傾斜角度が調整され、その結果、
支持面上に積層支持されたウエハ群の傾きが正確に調整
される。

【００７８】請求項５に記載の発明によれば、最上部の
ウエハの上面が規制手段に接触するのに伴い、そのウエ
ハは水平面に対して所定角度になるように傾きを容易に
変更される。

【００７９】請求項６に記載の発明によれば、最上部の
ウエハを確実に始動させることができるとともに、その
最上部のウエハを回転させながら、一枚ずつ他のウエハ
から分離して確実に搬送できる。

【００８０】請求項７に記載の発明によれば、ウエハが
液中で浮き上がることが防止される。請求項８に記載の
発明によれば、ウエハをシュータに沿って円滑に案内搬
送することができるとともに、そのウエハをカセット内
の各収納棚に一枚ずつ区分して容易に収納することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ウエハの分離搬送装置の第１実施形態を示す
縦断面図。

【図２】 その分離搬送装置の平断面図。

【図３】 ウエハの傾き調整時における動作を示す説明
図。

【図４】 分離押出手段の一部破断平面図。

【図５】 分離押出手段の一部省略正面図。

【図６】 図５の６−６線断面図。

【図７】 回転カム及び支持レバーの分解斜視図。

【図８】 分離搬送装置の第２実施形態を示す部分断面
図。

【図９】 分離搬送装置の第３実施形態を示す部分断面
図。

【図１０】 ウエハの傾き調整時における動作を示す説
明図。

【図１１】 分離搬送装置の第４実施形態を示す部分斜
視図。

【図１２】 （ａ）は支持板に支持されたインゴットを
示す斜視図、（ｂ）はそのインゴットの切断加工動作を
示す部分斜視図。

【図１３】 （ａ）は切断加工後のウエハを示す正面
図、（ｂ）はそのウエハを支持板から剥離した状態を示
す正面図。

【図１４】 従来の分離搬送装置を示す正断面図。

【図１５】 従来の分離搬送装置において、送り装置上
にウエハを載置した状態を示す部分断面図。

【図１６】 従来の分離搬送装置において、送り装置上
にウエハを載置した状態を示す部分断面図。

【符号の説明】

１１…水槽、１２…水、１２１…水面、１８，１９…支
持手段及びストッパを構成するガイドロッド、２０…支
持手段を構成する第１昇降装置、２３…支持手段を構成
する取付板、２６…支持手段及び傾き調整手段を構成す
る支持台、２６１…支持面、２７…ウエハ、２８１〜２
８４…検出手段、規制手段及び傾き調整手段を構成する
第１〜第４センサ、２９…分離押出手段、５２１〜５２
４…傾動機構を構成する第１〜第４パルスモータ、５３
…傾動機構を構成するねじ、５４…傾動機構を構成する
雌ねじ、５６…傾動機構を構成する昇降体、５８…制御
手段としての制御装置、５９…押え手段としての第１噴
射ノズル、６０…回転手段及び搬送手段を構成する第２
水噴射ノズル、６２…ストッパ及び搬送手段を構成する
シュータ、６２１…上縁、６４…第２昇降装置、６７…
支持板、７０…カセット、７２…収納棚、７５…分離押
出手段２９と第２水噴射ノズル６０とにより構成された
分離手段、７６…傾き調整手段を構成する傾動機構、７
７…ストッパ、７８１〜７８４…傾動機構を構成する流
体バッグ、８０…傾動支持体を構成する流体バッグ、８
２…傾動支持体。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数枚のウエハを積層状態で支持すると
   ともに、それらのウエハ群を積層状態のまま上昇させる
   支持手段と、 所定の分離位置に上昇配置された最上部のウエハの上面
   に対し流体を噴射して、最上部のウエハを他のウエハか
   ら分離させる分離手段と、 その分離されたウエハを液流を利用して搬出方向へ搬送
   する搬送手段と、 前記最上部のウエハの搬出方向への搬送のみを許容し
   て、他のウエハの搬出方向への移動を阻止するストッパ
   とを備えたウエハの分離搬送装置において、 前記最上部のウエハがストッパに干渉しないようにか
   つ、他のウエハの搬出方向への移動がストッパによって
   阻止され得るように、前記ウエハ群の傾きを調整するた
   めの傾き調整手段を設けたウエハの分離搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ストッパは、前記最上部のウエハの
   搬出方向への搬送を許容するための上縁を有し、前記傾
   き調整手段は、最上部のウエハがストッパの上縁に対し
   てほぼ平行になるように傾きを調整するものである請求
   項１に記載のウエハの分離搬送装置。
3. 【請求項３】 前記ストッパの上縁は水平面に対してほ
   ぼ平行に設けられ、前記傾き調整手段は、最上部のウエ
   ハが水平面に対してほぼ平行になるように傾きを調整す
   るものである請求項２に記載のウエハの分離搬送装置。
4. 【請求項４】 前記傾き調整手段は、ウエハ群を積層支
   持する支持面と、 その支持面の水平面に対する傾斜角度を調整するため
   に、同支持面を傾動させる傾動機構と、 最上部のウエハの上面に対向配置され、そのウエハの上
   面の傾きを検出する検出手段と、 その検出手段による検出結果に基づき前記傾動機構を制
   御する制御手段とを含む請求項１〜３のいずれれかに記
   載のウエハの分離搬送装置。
5. 【請求項５】 前記傾き調整手段は、積層されたウエハ
   群を傾動自在に支持する傾動支持体と、 最上部のウエハの上面に対向配置され、そのウエハの上
   面に接触して同ウエハが水平面に対して所定角度になる
   ように規制する規制手段とを含む請求項１〜３のいずれ
   かに記載のウエハの分離搬送装置。
6. 【請求項６】 前記分離手段は、最上部のウエハに直接
   接触して同ウエハを移動させる分離押出手段と、 前記ウエハの始動後に同ウエハの上面に対し、その中心
   から偏倚した位置に斜上方から流体を噴射して、ウエハ
   を一方向に回転させて他のウエハから分離させる回転手
   段とを含む請求項１〜５のいずれかに記載のウエハの分
   離搬送装置。
7. 【請求項７】 前記支持手段はウエハ群を液中において
   積層支持しており、その支持手段によってウエハ群が上
   昇されるとき、ウエハの搬送方向の下流側の斜上方から
   ウエハ上面に対して液体を噴射して、ウエハの浮き上が
   りを防止する押さえ手段を設けた請求項１〜６のいずれ
   かに記載のウエハの分離搬送装置。
8. 【請求項８】 前記支持手段の搬送方向の下流には、搬
   送手段により搬送されるウエハを案内するためのシュー
   タを配置し、そのシュータの搬送方向の下流には、搬送
   されるウエハを一枚ずつ区分して収納するための複数の
   収納棚を有するカセットを配置した請求項１〜７のいず
   れかに記載のウエハの分離搬送装置。