JPH11116046A - ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド - Google Patents
ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンドInfo
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- JPH11116046A JPH11116046A JP9287093A JP28709397A JPH11116046A JP H11116046 A JPH11116046 A JP H11116046A JP 9287093 A JP9287093 A JP 9287093A JP 28709397 A JP28709397 A JP 28709397A JP H11116046 A JPH11116046 A JP H11116046A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 傷やゴミの付着を極力するなくするようにウ
ェハを支持することのできる搬送ロボットにおけるロボ
ットハンドを提供すること。 【解決手段】 ハンド３は、ウェハＷの外周面を把持す
るハンド把持部３０と、ハンド把持部３０に連接される
ハンド元部４０とを有して構成されている。ハンド把持
部３０は、固定クランプ３１と、固定クランプ３１に対
して移動可能に配設される可動クランプ３２とを有し、
固定クランプ３１の上面にウェハガイド３３が配置さ
れ、可動クランプ３２の上面にウェハガイド３４が配置
されている。ハンド元部４０は、筐体部４１と、筐体部
４１内に配置され可動クランプ３２に接続するシリンダ
４２と、可動クランプ３２の移動を案内するリニアガイ
ド４３を有し、シリンダ４２の駆動により可動クランプ
３２が移動されて、固定クランプ３１と可動クランプ３
２とでウェハＷを把持する。
ェハを支持することのできる搬送ロボットにおけるロボ
ットハンドを提供すること。 【解決手段】 ハンド３は、ウェハＷの外周面を把持す
るハンド把持部３０と、ハンド把持部３０に連接される
ハンド元部４０とを有して構成されている。ハンド把持
部３０は、固定クランプ３１と、固定クランプ３１に対
して移動可能に配設される可動クランプ３２とを有し、
固定クランプ３１の上面にウェハガイド３３が配置さ
れ、可動クランプ３２の上面にウェハガイド３４が配置
されている。ハンド元部４０は、筐体部４１と、筐体部
４１内に配置され可動クランプ３２に接続するシリンダ
４２と、可動クランプ３２の移動を案内するリニアガイ
ド４３を有し、シリンダ４２の駆動により可動クランプ
３２が移動されて、固定クランプ３１と可動クランプ３
２とでウェハＷを把持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハ
（以下、ウェハという）を把持して搬送する搬送ロボッ
トのロボットハンドに関する。
（以下、ウェハという）を把持して搬送する搬送ロボッ
トのロボットハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハは集積回路のチップとして
幅広く使用され、ゴミや塵埃を極度に嫌うため一般にク
リーンルーム内で処理製造されるとともに多種の工程間
を搬送される。ウェハの搬送はクリーンルーム内に設置
された搬送ロボットにより行なわれ、ロボットの先端部
に回動可能に装着されたロボットハンドにより支持され
て搬送される。従来のロボットハンド５０は、図６〜７
に示すように、フォーク状のハンド部５１とハンド部５
１の元部に配置され、図示しないロボットのアーム体に
回動可能に接続されるハンド支持部５２とを有してい
る。ハンド部５１にはウェハを吸着するための吸着部５
１ａが形成され、吸着部５１ａは図示しないロボット機
台に配置された真空装置に接続されている。
幅広く使用され、ゴミや塵埃を極度に嫌うため一般にク
リーンルーム内で処理製造されるとともに多種の工程間
を搬送される。ウェハの搬送はクリーンルーム内に設置
された搬送ロボットにより行なわれ、ロボットの先端部
に回動可能に装着されたロボットハンドにより支持され
て搬送される。従来のロボットハンド５０は、図６〜７
に示すように、フォーク状のハンド部５１とハンド部５
１の元部に配置され、図示しないロボットのアーム体に
回動可能に接続されるハンド支持部５２とを有してい
る。ハンド部５１にはウェハを吸着するための吸着部５
１ａが形成され、吸着部５１ａは図示しないロボット機
台に配置された真空装置に接続されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ロボットハン
ド５０がウェハを吸着する際、主にウェハの裏面側を当
接して吸着するため、ウェハに何らかの原因で傷がつい
たりゴミが付着する可能性が生じてしまう。特に、ウェ
ハの搬送システムに表面検査システムが取り込まれるよ
うになると、傷やゴミの付着によりウェハがＮＧとして
処理されるため、ウェハ搬送時において、予め傷やゴミ
の付着を極力避けるようにする必要がある。また、ウェ
ハの需要の増大によって、搬送されるウェハが従来より
大型化されると、カセットに収納されるウェハがその中
央部で自重によって撓みやすくなり、撓んだウェハの裏
面を吸着して搬送すると吸着不良や搬送不良が起きやす
くなる。
ド５０がウェハを吸着する際、主にウェハの裏面側を当
接して吸着するため、ウェハに何らかの原因で傷がつい
たりゴミが付着する可能性が生じてしまう。特に、ウェ
ハの搬送システムに表面検査システムが取り込まれるよ
うになると、傷やゴミの付着によりウェハがＮＧとして
処理されるため、ウェハ搬送時において、予め傷やゴミ
の付着を極力避けるようにする必要がある。また、ウェ
ハの需要の増大によって、搬送されるウェハが従来より
大型化されると、カセットに収納されるウェハがその中
央部で自重によって撓みやすくなり、撓んだウェハの裏
面を吸着して搬送すると吸着不良や搬送不良が起きやす
くなる。
【０００４】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、ウェハを搬送する際に、傷やゴミの付着しにくい
状態でウェハを支持することのできる搬送ロボットにお
けるロボットハンドを提供することを目的とする。
あり、ウェハを搬送する際に、傷やゴミの付着しにくい
状態でウェハを支持することのできる搬送ロボットにお
けるロボットハンドを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
ワークの立直装置では、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。すなわち、機台に回動
可能に配設されるアーム体に接続され、ウェハを把持し
て搬送するウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド
であって、前記ウェハの外周面を把持する把持部を有し
て構成されることを特徴とするものである。
ワークの立直装置では、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。すなわち、機台に回動
可能に配設されるアーム体に接続され、ウェハを把持し
て搬送するウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド
であって、前記ウェハの外周面を把持する把持部を有し
て構成されることを特徴とするものである。
【０００６】またこのロボットハンドは、機台に回動可
能に配設されるアーム体に接続され、ウェハを把持して
搬送するウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンドで
あって、前記ウェハの外周面を把持する把持部と、前記
把持部に連接され前記把持部の駆動部を有する元部と、
を有し、前記把持部が、前記元部に支持された固定クラ
ンプと、前記元部に移動可能に支持された可動クランプ
と、を有し、前記元部に、前記可動クランプを移動する
駆動手段と、前記可動クランプの移動を案内する案内手
段と、を有して構成されることを特徴とするものであ
る。
能に配設されるアーム体に接続され、ウェハを把持して
搬送するウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンドで
あって、前記ウェハの外周面を把持する把持部と、前記
把持部に連接され前記把持部の駆動部を有する元部と、
を有し、前記把持部が、前記元部に支持された固定クラ
ンプと、前記元部に移動可能に支持された可動クランプ
と、を有し、前記元部に、前記可動クランプを移動する
駆動手段と、前記可動クランプの移動を案内する案内手
段と、を有して構成されることを特徴とするものであ
る。
【０００７】また好ましくは、前記固定クランプ及び前
記可動クランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部
が形成され、前記把持ガイド部の把持面が凹状に形成さ
れていることを特徴とするであればよい。
記可動クランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部
が形成され、前記把持ガイド部の把持面が凹状に形成さ
れていることを特徴とするであればよい。
【０００８】さらに、前記固定クランプ及び前記可動ク
ランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面に上方から下方に対して
内方に向かう傾斜面が形成されることを特徴とするもの
であってもよい。
ランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面に上方から下方に対して
内方に向かう傾斜面が形成されることを特徴とするもの
であってもよい。
【０００９】さらに好ましくは、前記可動クランプが前
記固定クランプより、前記元部から延設されて配置され
ることを特徴とするものであればなおよい。
記固定クランプより、前記元部から延設されて配置され
ることを特徴とするものであればなおよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１１】図１は、本形態のロボットハンド（以下、
ハンドという）３が取り付けられているロボット１の平
面を示すものであり、ハンド３は、機台５上を回動可能
なアーム体７の先端部に、アーム体７に対して回動可能
に配置されている。アーム体７は２個のアームからなり
その節点部で屈伸可能に形成されている。
ハンドという）３が取り付けられているロボット１の平
面を示すものであり、ハンド３は、機台５上を回動可能
なアーム体７の先端部に、アーム体７に対して回動可能
に配置されている。アーム体７は２個のアームからなり
その節点部で屈伸可能に形成されている。
【００１２】ハンド３は、図２〜３に示すように、ウェ
ハＷを把持するハンド把持部３０とハンド把持部３０に
連接されたハンド元部４０とを有して構成されている。
ハンド把持部３０は、ハンド元部４０に並設して固着さ
れた２個のアーム部３１ａ・３１ａを有する固定クラン
プ３１と、固定クランプ３１のアーム部３１ａ・３１ａ
間に配置され、前記固定クランプ３１の先端より延設さ
れ長尺状のアーム部３２ａを有する可動クランプ３２と
を有している。固定クランプ３１には２個のアーム部３
１ａ・３１ａの上面を懸架するようにウェハガイド３３
が固着配置され、可動クランプ３２にはアーム部３２ａ
の先端部上面に固定クランプ３１のウェハガイド３３に
対向するようにウェハガイド３４が固着配置されてい
る。
ハＷを把持するハンド把持部３０とハンド把持部３０に
連接されたハンド元部４０とを有して構成されている。
ハンド把持部３０は、ハンド元部４０に並設して固着さ
れた２個のアーム部３１ａ・３１ａを有する固定クラン
プ３１と、固定クランプ３１のアーム部３１ａ・３１ａ
間に配置され、前記固定クランプ３１の先端より延設さ
れ長尺状のアーム部３２ａを有する可動クランプ３２と
を有している。固定クランプ３１には２個のアーム部３
１ａ・３１ａの上面を懸架するようにウェハガイド３３
が固着配置され、可動クランプ３２にはアーム部３２ａ
の先端部上面に固定クランプ３１のウェハガイド３３に
対向するようにウェハガイド３４が固着配置されてい
る。
【００１３】そして、可動クランプ３２は、固定クラン
プ３１のウェハガイド３３に対してウェハガイド３４が
接近離隔するように可動され、そのためウェハＷを把持
したり把持解除したりする。
プ３１のウェハガイド３３に対してウェハガイド３４が
接近離隔するように可動され、そのためウェハＷを把持
したり把持解除したりする。
【００１４】ハンド元部４０は、固定クランプ３１のア
ーム部３１ａ・３１ａをその底面で支持する筐体部４１
と、筐体部４１内で筐体部４１に支持され可動クランプ
３２のアーム部３２ａに連結されるシリンダ４２と、可
動クランプ３２の直線移動を行なう２本のリニアガイド
４３と、を有して構成されている。可動クランプ３２は
アーム部３２ａの元部に筐体部４１の内部に配置するよ
うにＬ型のブラケット３６を上方に向かうように立設
し、ブラケット３６の上部に前述のシリンダ４２のピス
トンが連結されている。また、筐体部４１内に配置され
る可動クランプ３２のアーム部３２ａの元部下面には可
動クランプ３２と平行に２個のリニアガイド４３の可動
部４３ａが固着され、それぞれの可動部４３ａが摺動で
きるように固定部４３ｂが筐体部４１の底面に固着され
ている。
ーム部３１ａ・３１ａをその底面で支持する筐体部４１
と、筐体部４１内で筐体部４１に支持され可動クランプ
３２のアーム部３２ａに連結されるシリンダ４２と、可
動クランプ３２の直線移動を行なう２本のリニアガイド
４３と、を有して構成されている。可動クランプ３２は
アーム部３２ａの元部に筐体部４１の内部に配置するよ
うにＬ型のブラケット３６を上方に向かうように立設
し、ブラケット３６の上部に前述のシリンダ４２のピス
トンが連結されている。また、筐体部４１内に配置され
る可動クランプ３２のアーム部３２ａの元部下面には可
動クランプ３２と平行に２個のリニアガイド４３の可動
部４３ａが固着され、それぞれの可動部４３ａが摺動で
きるように固定部４３ｂが筐体部４１の底面に固着され
ている。
【００１５】また、固定クランプ３１のウェハガイド３
３と可動クランプ３２のウェハガイド３４は、図４に示
すように、同一高さに位置され、それぞれの側面断面に
おける中央部が内側に向かって凹部３３ａ・３４ａを有
し、ウェハＷの把持する際、落下しにくいように形成さ
れている。なお、凹部３３ａ・３４ａにはウェハＷの外
周面を傷つけないように樹脂の膜あるいは樹脂材を貼付
するようにしてもよい。
３と可動クランプ３２のウェハガイド３４は、図４に示
すように、同一高さに位置され、それぞれの側面断面に
おける中央部が内側に向かって凹部３３ａ・３４ａを有
し、ウェハＷの把持する際、落下しにくいように形成さ
れている。なお、凹部３３ａ・３４ａにはウェハＷの外
周面を傷つけないように樹脂の膜あるいは樹脂材を貼付
するようにしてもよい。
【００１６】図５は、ウェハガイド３３・３４の把持面
の別の形態を示すものであり、ウェハＷの外周面を把持
できるように、ウェハガイド３３・３４の上面から下方
に内方に向かう傾斜面３８が形成されている。この場
合、傾斜面３８でウェハＷの外周面を把持してもよくま
た、傾斜面３８の下部に角面３８ａを形成し、角面３８
ａでウェハＷの外周面を把持するようにしてもよい。こ
の形態によれば、ウェハＷの外周面に圧力をかけること
がないため、ウェハＷに傷をつけたり、またストレスを
生じさせることない。この形態においても樹脂の膜ある
いは樹脂材を貼付するようにしてもよい。
の別の形態を示すものであり、ウェハＷの外周面を把持
できるように、ウェハガイド３３・３４の上面から下方
に内方に向かう傾斜面３８が形成されている。この場
合、傾斜面３８でウェハＷの外周面を把持してもよくま
た、傾斜面３８の下部に角面３８ａを形成し、角面３８
ａでウェハＷの外周面を把持するようにしてもよい。こ
の形態によれば、ウェハＷの外周面に圧力をかけること
がないため、ウェハＷに傷をつけたり、またストレスを
生じさせることない。この形態においても樹脂の膜ある
いは樹脂材を貼付するようにしてもよい。
【００１７】なお、ハンド３のアーム体７との回動可能
な接続、及びアーム体３２の駆動構成は、従来通りであ
る。
な接続、及びアーム体３２の駆動構成は、従来通りであ
る。
【００１８】次に上記のように構成されたハンド３の作
用を説明する。ロボット１がハンド３を機台５に対して
所定方向に回転させ、図示しないカセットに収納された
ウェハＷに対向する位置まで移動した後、アーム体７を
伸張することによって、ウェハＷの下方に持っていく。
この状態では可動クランプ３２はハンド元部４０内に配
置されたシリンダ４２によって伸張され、ウェハＷのウ
ェハガイド３３・３４の凹部３３ａ・３４ａ間がウェハ
Ｗの外形より大きくなるように開いている。そして、ハ
ンド３を上昇させた後、ハンド３の可動クランプ３２が
ウェハＷの外周面に向かって移動し、ウェハガイド３３
の凹部３３ａとウェハガイド３４の凹部３４ａがウェハ
Ｗの外周面の位置に達すると、シリンダ４２を作動させ
て可動クランプ３２を固定クランプ３１側に移動させ
る。ウェハガイド３３・３４の凹部３３ａ・３４ａがウ
ェハＷの外周面を把持すると可動クランプ３２は停止す
る。その後、可動クランプ３２の停止が確認されると、
アーム体７を屈曲させカセットからウェハＷを取り出
し、次工程までウェハＷを搬送する。
用を説明する。ロボット１がハンド３を機台５に対して
所定方向に回転させ、図示しないカセットに収納された
ウェハＷに対向する位置まで移動した後、アーム体７を
伸張することによって、ウェハＷの下方に持っていく。
この状態では可動クランプ３２はハンド元部４０内に配
置されたシリンダ４２によって伸張され、ウェハＷのウ
ェハガイド３３・３４の凹部３３ａ・３４ａ間がウェハ
Ｗの外形より大きくなるように開いている。そして、ハ
ンド３を上昇させた後、ハンド３の可動クランプ３２が
ウェハＷの外周面に向かって移動し、ウェハガイド３３
の凹部３３ａとウェハガイド３４の凹部３４ａがウェハ
Ｗの外周面の位置に達すると、シリンダ４２を作動させ
て可動クランプ３２を固定クランプ３１側に移動させ
る。ウェハガイド３３・３４の凹部３３ａ・３４ａがウ
ェハＷの外周面を把持すると可動クランプ３２は停止す
る。その後、可動クランプ３２の停止が確認されると、
アーム体７を屈曲させカセットからウェハＷを取り出
し、次工程までウェハＷを搬送する。
【００１９】次工程においては、ハンド３が所定の位置
にウェハＷを載置させると、再びシリンダ４２を作用
し、可動クランプ３２を、ウェハＷの把持解除する方向
に移動する。
にウェハＷを載置させると、再びシリンダ４２を作用
し、可動クランプ３２を、ウェハＷの把持解除する方向
に移動する。
【００２０】従って、上記ハンド３はウェハＷの外周面
を常に把持したり把持解除したりするため、ウェハＷの
裏面やおもて面の表面に接することがなくウェハＷに傷
をつけたりゴミを付着させることがない。さらに、ハン
ド３をアーム体７に対して水平状態から垂直状態に反転
するように構成すれば、ウェハＷを垂直状態で搬送する
ことも可能となる。
を常に把持したり把持解除したりするため、ウェハＷの
裏面やおもて面の表面に接することがなくウェハＷに傷
をつけたりゴミを付着させることがない。さらに、ハン
ド３をアーム体７に対して水平状態から垂直状態に反転
するように構成すれば、ウェハＷを垂直状態で搬送する
ことも可能となる。
【００２１】なお、本発明のハンド３の構成は、ウェハ
Ｗの外周面を把持可能に構成するものであれば上記の形
態に限らず他の構成でもよい。例えば、可動クランプ３
２のアーム部３２ａをハンド元部４０に固定させ、ウェ
ハガイド３４を固定された可動クランプ３２のアーム部
３２ａに移動可能に配置させるようにしてもよい。
Ｗの外周面を把持可能に構成するものであれば上記の形
態に限らず他の構成でもよい。例えば、可動クランプ３
２のアーム部３２ａをハンド元部４０に固定させ、ウェ
ハガイド３４を固定された可動クランプ３２のアーム部
３２ａに移動可能に配置させるようにしてもよい。
【００２２】さらに、短尺状の固定クランプ３１を可動
させ、長尺状の可動クランプ３２をハンド元部４０に固
定させるように構成してもよい。
させ、長尺状の可動クランプ３２をハンド元部４０に固
定させるように構成してもよい。
【００２３】また、可動クランプ３２を移動させる駆動
手段はシリンダ４２に限らず、カム手段を配設して可動
クランプ３２を移動させるように構成してもよい。
手段はシリンダ４２に限らず、カム手段を配設して可動
クランプ３２を移動させるように構成してもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、ウェハ搬送ロボットに
おけるロボットハンドは、機台に回動可能に配設される
アーム体に接続され、ウェハを把持して搬送するもので
あり、前記ウェハの外周面を把持する把持部を有して構
成されている。従って、従来のように、ウェハの裏面に
接触させて吸着することがないため、傷やゴミの付着の
発生を極めて少なくすることができるとともに、ウェハ
を垂直状態で搬送することも可能となる。
おけるロボットハンドは、機台に回動可能に配設される
アーム体に接続され、ウェハを把持して搬送するもので
あり、前記ウェハの外周面を把持する把持部を有して構
成されている。従って、従来のように、ウェハの裏面に
接触させて吸着することがないため、傷やゴミの付着の
発生を極めて少なくすることができるとともに、ウェハ
を垂直状態で搬送することも可能となる。
【００２５】また、このウェハ搬送ロボットにおけるロ
ボットハンドは、機台に回動可能に配設されるアーム体
に接続され、ウェハを把持して搬送するものであり、前
記ウェハの外周面を把持する把持部と、前記把持部に連
接され前記把持部の駆動部を有する元部と、を有し、前
記把持部が、前記元部に支持された固定クランプと、前
記元部に移動可能に支持された可動クランプと、を有
し、前記元部に、前記可動クランプを移動する駆動手段
と、前記可動クランプの移動を案内する案内手段と、を
有して構成されている。そして、前記可動クランプが駆
動手段によって、前記ウェハを把持する方向に移動され
ると、前記固定クランプと前記可動クランプが前記ウェ
ハの外周面を把持することができる。そのため、従来の
ように、ウェハの裏面に接触させて吸着することがない
ため、傷やゴミの付着の発生を極めて少なくすることが
できるとともに、ウェハを垂直状態で搬送することも可
能となる。
ボットハンドは、機台に回動可能に配設されるアーム体
に接続され、ウェハを把持して搬送するものであり、前
記ウェハの外周面を把持する把持部と、前記把持部に連
接され前記把持部の駆動部を有する元部と、を有し、前
記把持部が、前記元部に支持された固定クランプと、前
記元部に移動可能に支持された可動クランプと、を有
し、前記元部に、前記可動クランプを移動する駆動手段
と、前記可動クランプの移動を案内する案内手段と、を
有して構成されている。そして、前記可動クランプが駆
動手段によって、前記ウェハを把持する方向に移動され
ると、前記固定クランプと前記可動クランプが前記ウェ
ハの外周面を把持することができる。そのため、従来の
ように、ウェハの裏面に接触させて吸着することがない
ため、傷やゴミの付着の発生を極めて少なくすることが
できるとともに、ウェハを垂直状態で搬送することも可
能となる。
【００２６】さらに、前記固定クランプ及び前記可動ク
ランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面が凹状に形成されていれ
ば、前記ウェハを落下させないで確実に把持することが
できる。
ランプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面が凹状に形成されていれ
ば、前記ウェハを落下させないで確実に把持することが
できる。
【００２７】また、前記固定クランプ及び前記可動クラ
ンプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面に上方から下方に対して
内方に向かう傾斜面が形成されていれば、ウェハを把持
する際、ウェハの外周面に圧力をかけることがないた
め、ウェハの外周面を傷つけたり、ウェハにストレスを
生じさせることが少ない。
ンプに、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設さ
れ、前記把持ガイド部の把持面に上方から下方に対して
内方に向かう傾斜面が形成されていれば、ウェハを把持
する際、ウェハの外周面に圧力をかけることがないた
め、ウェハの外周面を傷つけたり、ウェハにストレスを
生じさせることが少ない。
【図１】本発明に一形態によるハンドを装着したロボッ
トを示す平面図
トを示す平面図
【図２】図１におけるハンドを示す断面図
【図３】図２のIII −III 断面図
【図４】図３における把持部の拡大図
【図５】図３におけるウェハガイド把持面の別の形態を
示す図
示す図
【図６】従来のハンドを示す平面図
【図７】従来のハンドを示す正面図
１…ロボット ３…ハンド（ロボットハンド） ５…機台 ７…アーム体 ３０…把持部 ３１…固定クランプ ３２…可動クランプ ３３…ウェハガイド ３３ａ…凹部 ３４…ウェハガイド ３４ａ…凹部 ３８…傾斜面 ４０…ハンド元部 ４１…筐体部 ４２…シリンダ（駆動手段） ４３…リニアガイド（案内手段） Ｗ…ウェハ
Claims (5)
- 【請求項１】 機台に回動可能に配設されるアーム体に
接続され、ウェハを把持して搬送するウェハ搬送ロボッ
トにおけるロボットハンドであって、 前記ウェハの外周面を把持する把持部を有して構成され
ることを特徴とするウェハ搬送ロボットにおけるロボッ
トハンド。 - 【請求項２】 機台に回動可能に配設されるアーム体に
接続され、ウェハを把持して搬送するウェハ搬送ロボッ
トにおけるロボットハンドであって、 前記ウェハの外周面を把持する把持部と、前記把持部に
連接され前記把持部の駆動部を有する元部と、を有し、 前記把持部が、前記元部に支持された固定クランプと、
前記元部に移動可能に支持された可動クランプと、を有
し、 前記元部に、前記可動クランプを移動する駆動手段と、
前記可動クランプの移動を案内する案内手段と、を有し
て構成されることを特徴とするウェハ搬送ロボットにお
けるロボットハンド。 - 【請求項３】 前記固定クランプ及び前記可動クランプ
に、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設され、前
記把持ガイド部の把持面が凹状に形成されていることを
特徴とする請求項２記載のウェハ搬送ロボットにおける
ロボットハンド。 - 【請求項４】 前記固定クランプ及び前記可動クランプ
に、前記ウェハを把持する把持ガイド部が配設され、前
記把持ガイド部の把持面に上方から下方に対して内方に
向かう傾斜面が形成されることを特徴とする請求項２記
載のウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド。 - 【請求項５】 前記可動クランプが前記固定クランプよ
り、前記元部から延設されて配置されることを特徴とす
る請求項２記載のウェハ搬送ロボットにおけるロボット
ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9287093A JPH11116046A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9287093A JPH11116046A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11116046A true JPH11116046A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=17712972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9287093A Pending JPH11116046A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11116046A (ja) |
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|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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