JPH06155366A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH06155366A JPH06155366A JP30384292A JP30384292A JPH06155366A JP H06155366 A JPH06155366 A JP H06155366A JP 30384292 A JP30384292 A JP 30384292A JP 30384292 A JP30384292 A JP 30384292A JP H06155366 A JPH06155366 A JP H06155366A
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- JP
- Japan
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- arm
- hand
- semiconductor wafer
- light
- gripping
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、搬送ア−ムに沿って長い配線を設け
ることなく、把持部の駆動手段に給電できるようにした
搬送装置を提供することを目的とする。 【構成】本発明は搬送ア−ム１１と、この搬送ア−ム１
１の先端部に設けられ半導体ウエハ５を把持する把持部
１４を有したハンド１２と、このハンド１２に設けられ
前記把持部１４を駆動するソレノイド１９と、前記ハン
ド１２に設けられ光を受光することにより、該光エネル
ギ−を電気エネルギ−に変換して前記ソレノイド１９に
供給する太陽電池２０とを具備してなる。
ることなく、把持部の駆動手段に給電できるようにした
搬送装置を提供することを目的とする。 【構成】本発明は搬送ア−ム１１と、この搬送ア−ム１
１の先端部に設けられ半導体ウエハ５を把持する把持部
１４を有したハンド１２と、このハンド１２に設けられ
前記把持部１４を駆動するソレノイド１９と、前記ハン
ド１２に設けられ光を受光することにより、該光エネル
ギ−を電気エネルギ−に変換して前記ソレノイド１９に
供給する太陽電池２０とを具備してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば、半導体ウエ
ハを把持し搬送する搬送装置（以下、ロボットという）
に係わり、特に、給電構造の改良に関する。
ハを把持し搬送する搬送装置（以下、ロボットという）
に係わり、特に、給電構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のロボットは搬送ア−ムを備え、
この搬送ア−ムの先端部に半導体ウエハを把持するため
の把持部を有したハンド（把持手段）を設けている。上
記把持部は駆動手段により駆動され、この駆動手段は配
線を介して給電装置に接続されている。
この搬送ア−ムの先端部に半導体ウエハを把持するため
の把持部を有したハンド（把持手段）を設けている。上
記把持部は駆動手段により駆動され、この駆動手段は配
線を介して給電装置に接続されている。
【０００３】しかして、半導体ウエハを把持する場合に
は、給電装置から配線を介して駆動手段に給電され、こ
の駆動手段により把持部が駆動されて半導体ウエハが把
持される。ところで、上記配線はカ−ルされた状態でロ
ボットの搬送ア−ムの外側に支持部を介して取り付けら
れたり、あるいは、搬送ア−ムの内側に設けられてい
る。
は、給電装置から配線を介して駆動手段に給電され、こ
の駆動手段により把持部が駆動されて半導体ウエハが把
持される。ところで、上記配線はカ−ルされた状態でロ
ボットの搬送ア−ムの外側に支持部を介して取り付けら
れたり、あるいは、搬送ア−ムの内側に設けられてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、配線を
搬送ア−ムの外側に設けた場合には、配線が支持部と摩
擦して損傷したり、塵埃を発生するといった問題があっ
た。
搬送ア−ムの外側に設けた場合には、配線が支持部と摩
擦して損傷したり、塵埃を発生するといった問題があっ
た。
【０００５】また、配線を搬送ア−ムの内側に設けた場
合には、搬送ア−ムが薄片状のものであると、配線スペ
−スが無いため、搬送ア−ムの屈曲部で損傷してしまう
虞があった。そこで、本発明は、搬送ア−ムに沿って配
線を設けることなく、把持部の駆動手段に給電できるよ
うにした搬送装置を提供することを目的とする。
合には、搬送ア−ムが薄片状のものであると、配線スペ
−スが無いため、搬送ア−ムの屈曲部で損傷してしまう
虞があった。そこで、本発明は、搬送ア−ムに沿って配
線を設けることなく、把持部の駆動手段に給電できるよ
うにした搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、搬送ア−ムと、この搬送ア
−ムの先端部に設けられ被把持物を把持する把持部を有
した把持手段と、この把持手段に設けられ前記把持部を
駆動する駆動手段と、前記把持手段に設けられ光を受光
することにより、該光エネルギ−を電気エネルギ−に変
換して前記駆動手段に供給する光電変換手段とを具備し
てなる。
するためになされたもので、搬送ア−ムと、この搬送ア
−ムの先端部に設けられ被把持物を把持する把持部を有
した把持手段と、この把持手段に設けられ前記把持部を
駆動する駆動手段と、前記把持手段に設けられ光を受光
することにより、該光エネルギ−を電気エネルギ−に変
換して前記駆動手段に供給する光電変換手段とを具備し
てなる。
【０００７】
【作用】前記駆動手段および光電変換手段を把持手段に
設け、この光電変換手段により光を受光して光エネルギ
−を電気エネルギ−に変換して前記駆動手段に供給する
ことにより、搬送ア−ムに沿って長い配線を設けること
なく、駆動手段に電流を供給できるようにした。
設け、この光電変換手段により光を受光して光エネルギ
−を電気エネルギ−に変換して前記駆動手段に供給する
ことにより、搬送ア−ムに沿って長い配線を設けること
なく、駆動手段に電流を供給できるようにした。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図１〜図７に示す一実施例を
参照して説明する。
参照して説明する。
【０００９】図６は半導体ウエハの処理装置を示すもの
で、図中１はロ−ドロック室である。このロ−ドロック
室１には中間室２が隣接され、さらに、この中間室２に
は処理室３が隣接されている。
で、図中１はロ−ドロック室である。このロ−ドロック
室１には中間室２が隣接され、さらに、この中間室２に
は処理室３が隣接されている。
【００１０】上記中間室２内にはロボット１０が設けら
れ、このロボット１０によってロ−ドロック室１内の棚
９と、処理室２内のチャック４との間の半導体ウエハ
（被把持物）５の搬送が行なわれる。上記ロ−ドロック
室１には、外部に通じる第１のゲ−トバルブ６と、上記
中間室２に通じる第２のゲ−トバルブ７が設けられてい
る。上記ロ−ドロック室１と外部との間の半導体ウエハ
５の搬送は、第２のゲ−トバルブ７を閉じ、第１のゲ−
トバルブ６を開放して行われる。
れ、このロボット１０によってロ−ドロック室１内の棚
９と、処理室２内のチャック４との間の半導体ウエハ
（被把持物）５の搬送が行なわれる。上記ロ−ドロック
室１には、外部に通じる第１のゲ−トバルブ６と、上記
中間室２に通じる第２のゲ−トバルブ７が設けられてい
る。上記ロ−ドロック室１と外部との間の半導体ウエハ
５の搬送は、第２のゲ−トバルブ７を閉じ、第１のゲ−
トバルブ６を開放して行われる。
【００１１】上記ロ−ドロック室１の棚９は少なくとも
２段設けられ、未処理の半導体ウエハと処理済の半導体
ウエハとを少なくとも１枚ずつ収納できるようになって
いる。
２段設けられ、未処理の半導体ウエハと処理済の半導体
ウエハとを少なくとも１枚ずつ収納できるようになって
いる。
【００１２】上記ロ−ドロック室１と処理室３との間の
半導体ウエハ５の搬送は、第１のゲ−トバルブ６を閉
じ、ロ−ドロック室１内を中間室２および処理室３の圧
力あるいは所定のガス雰囲気と等しくした後、第２およ
び第３のゲ−トバルブ７，８を開いて行われる。上記の
ように、本発明のロボット１０は上記したように、外部
から遮断された室内で使用されるものである。ところ
で、上記ロボット１０は図１に示すように構成されてい
る。すなわち、図中１１は搬送ア−ムで、この搬送ア−
ム１１の先端部には把持手段としてのハンド１２が取り
付けられている。上記ハンド１２には半導体ウエハ５を
把持する把持部１４が設けられている。
半導体ウエハ５の搬送は、第１のゲ−トバルブ６を閉
じ、ロ−ドロック室１内を中間室２および処理室３の圧
力あるいは所定のガス雰囲気と等しくした後、第２およ
び第３のゲ−トバルブ７，８を開いて行われる。上記の
ように、本発明のロボット１０は上記したように、外部
から遮断された室内で使用されるものである。ところ
で、上記ロボット１０は図１に示すように構成されてい
る。すなわち、図中１１は搬送ア−ムで、この搬送ア−
ム１１の先端部には把持手段としてのハンド１２が取り
付けられている。上記ハンド１２には半導体ウエハ５を
把持する把持部１４が設けられている。
【００１３】上記把持部１４は上記ハンド１２の先端部
に形成された図５にも示すような突起部１５，１５と、
これら突起部１５，１５に上記半導体ウエハ５をバネ力
によって押圧する押えア−ム１６とによって構成されて
いる。
に形成された図５にも示すような突起部１５，１５と、
これら突起部１５，１５に上記半導体ウエハ５をバネ力
によって押圧する押えア−ム１６とによって構成されて
いる。
【００１４】上記押えア−ム１６の先端部には図３にも
示すように、チップ１７が着脱自在に装着され、このチ
ップ１７を介して上記半導体ウエハ５を押圧する。さら
に、この押えア−ム１６には磁性体でできた吸着片１８
が固着されている。上記ハンド１２には駆動手段として
のソレノイド１９が設けられ、このソレノイド１９は上
記押えア−ム１６の吸着片１８に離間対向されている。
示すように、チップ１７が着脱自在に装着され、このチ
ップ１７を介して上記半導体ウエハ５を押圧する。さら
に、この押えア−ム１６には磁性体でできた吸着片１８
が固着されている。上記ハンド１２には駆動手段として
のソレノイド１９が設けられ、このソレノイド１９は上
記押えア−ム１６の吸着片１８に離間対向されている。
【００１５】また、上記ハンド１２には光電変換手段と
しての太陽電池２０が取り付けられている。この太陽電
池２０は上記ソレノイド１９に電気的に接続され、電流
を供給するようになっている。
しての太陽電池２０が取り付けられている。この太陽電
池２０は上記ソレノイド１９に電気的に接続され、電流
を供給するようになっている。
【００１６】なお、上記ロボット１０が設置されている
中間室２、また、ハンド１２が出入されるロ−ドロック
室１および処理室３内は比較的暗く、ハンド１２に取り
付けられている太陽電池２０がソレノイド１９などのア
クチュエ−タを作動させのに必要な電流を発生させるこ
とのない明るさに設定されている。
中間室２、また、ハンド１２が出入されるロ−ドロック
室１および処理室３内は比較的暗く、ハンド１２に取り
付けられている太陽電池２０がソレノイド１９などのア
クチュエ−タを作動させのに必要な電流を発生させるこ
とのない明るさに設定されている。
【００１７】一方、ロ−ドロック室１と処理室３には、
図７に示すように、上記棚９及びチャック４に対するウ
エハ授受位置に置かれたハンド１２の太陽電池２０に対
し、ソレノイド１９を作動させるに必要な光を照射する
ための第１および第２の光源２１，２２が配設されてい
る。
図７に示すように、上記棚９及びチャック４に対するウ
エハ授受位置に置かれたハンド１２の太陽電池２０に対
し、ソレノイド１９を作動させるに必要な光を照射する
ための第１および第２の光源２１，２２が配設されてい
る。
【００１８】また、上記搬送ア−ム１１は、第１および
第２の駆動ア−ム２５，２６を介して図示しない駆動モ
−タに接続され、この駆動モ−タの駆動により、進退お
よび旋回されるようになっている。
第２の駆動ア−ム２５，２６を介して図示しない駆動モ
−タに接続され、この駆動モ−タの駆動により、進退お
よび旋回されるようになっている。
【００１９】しかして、ロ−ドロック室１内の半導体ウ
エハ５を処理室３内に搬送する場合には、第２および第
３のゲ−トバルブ７，８が開放され、駆動モ−タの駆動
により、第１および第２の駆動ア−ム２５，２６を介し
て搬送ア−ム１１が前進され、図６に二点鎖線で示すよ
うにロ−ドロック室１内に繰り出される。
エハ５を処理室３内に搬送する場合には、第２および第
３のゲ−トバルブ７，８が開放され、駆動モ−タの駆動
により、第１および第２の駆動ア−ム２５，２６を介し
て搬送ア−ム１１が前進され、図６に二点鎖線で示すよ
うにロ−ドロック室１内に繰り出される。
【００２０】このとき、第１の光源２１から光が照射さ
れ、この光が太陽電池２０により受光されて光電変換さ
れてソレノイド１９に電流が流される。これにより、ソ
レノイド１９が励磁され、図４に示すように、押えア−
ム１６の吸着板１８が吸着され、チップ１７が半導体ウ
エハ５を押圧すべき位置から離間される。
れ、この光が太陽電池２０により受光されて光電変換さ
れてソレノイド１９に電流が流される。これにより、ソ
レノイド１９が励磁され、図４に示すように、押えア−
ム１６の吸着板１８が吸着され、チップ１７が半導体ウ
エハ５を押圧すべき位置から離間される。
【００２１】この状態から、ハンド１２が上昇して棚９
上の半導体ウエハ５を持ち上げ、ついで、第１の光源２
１が消灯される。これにより、ソレノイド１９が消磁さ
れ、図３に示すように押えア−ム１６はそのバネ力によ
り復帰し、先端部のチップ１７により半導体ウエハ５を
押圧してハンド１２の突起部１５，１５に圧接させて挟
圧保持する。
上の半導体ウエハ５を持ち上げ、ついで、第１の光源２
１が消灯される。これにより、ソレノイド１９が消磁さ
れ、図３に示すように押えア−ム１６はそのバネ力によ
り復帰し、先端部のチップ１７により半導体ウエハ５を
押圧してハンド１２の突起部１５，１５に圧接させて挟
圧保持する。
【００２２】このようにして半導体ウエハ５を挟圧保持
したのち、駆動モ−タの駆動により、搬送ア−ム１２は
ロッドロック室１から後退されるとともに旋回されて処
理室３へと送り込まれる。このとき、半導体ウエハ５は
チャック４の上方に位置され、次いで、第２の光源２２
が点灯される。この第２の光源２２の点灯により、ソレ
ノイド１９が励磁され、押えア−ム１６の吸着体１８が
吸着されて図４に示すように、チップ１７が半導体ウエ
ハ５から離間し、挟圧保持が解除される。しかるのち、
搬送ア−ム１２を下降させて半導体ウエハ５をチャック
４上に載置し、搬送ア−ム１２を処理室３から退出させ
て中間室２に戻すとともに、第３のゲ−トバルブ８を閉
塞して処理室３内で半導体ウエハ５の処理を行うことに
なる。
したのち、駆動モ−タの駆動により、搬送ア−ム１２は
ロッドロック室１から後退されるとともに旋回されて処
理室３へと送り込まれる。このとき、半導体ウエハ５は
チャック４の上方に位置され、次いで、第２の光源２２
が点灯される。この第２の光源２２の点灯により、ソレ
ノイド１９が励磁され、押えア−ム１６の吸着体１８が
吸着されて図４に示すように、チップ１７が半導体ウエ
ハ５から離間し、挟圧保持が解除される。しかるのち、
搬送ア−ム１２を下降させて半導体ウエハ５をチャック
４上に載置し、搬送ア−ム１２を処理室３から退出させ
て中間室２に戻すとともに、第３のゲ−トバルブ８を閉
塞して処理室３内で半導体ウエハ５の処理を行うことに
なる。
【００２３】上述したように、第１および第２の光源２
１，２２から光を照射し、この光を太陽電池２０により
光電変換させてソレノイド１９を動作させるため、従来
のように、搬送ア−ム１１に沿って長い電気配線を設け
る必要がなく、配線の損傷や、塵埃が発生するといった
虞もない。
１，２２から光を照射し、この光を太陽電池２０により
光電変換させてソレノイド１９を動作させるため、従来
のように、搬送ア−ム１１に沿って長い電気配線を設け
る必要がなく、配線の損傷や、塵埃が発生するといった
虞もない。
【００２４】なお、上記第１および第２の光源２１，２
２には各室内の温度に与える熱的影響等を配慮して種々
のランプを用いることができるが、ランプの代わりに開
閉可能な窓を設けて外部の光を利用しても良い。
２には各室内の温度に与える熱的影響等を配慮して種々
のランプを用いることができるが、ランプの代わりに開
閉可能な窓を設けて外部の光を利用しても良い。
【００２５】また、上記第１および第２の光源２１，２
２の光量を可変にして点灯及び消灯時に光量を漸増また
は、漸減させたり、あるいは、窓の開閉を緩やかに行っ
たりすることにより、チップ１７の移動を緩やかにして
チップ１７の当接による衝撃を緩和して、塵埃の発生を
より一層確実に防止して周辺のクリ−ン度を良好に維持
するようにしても良い。なお、本発明は上記一実施例に
限られるものではなく、図８〜図１３に示すようなもの
であってもよい。
２の光量を可変にして点灯及び消灯時に光量を漸増また
は、漸減させたり、あるいは、窓の開閉を緩やかに行っ
たりすることにより、チップ１７の移動を緩やかにして
チップ１７の当接による衝撃を緩和して、塵埃の発生を
より一層確実に防止して周辺のクリ−ン度を良好に維持
するようにしても良い。なお、本発明は上記一実施例に
限られるものではなく、図８〜図１３に示すようなもの
であってもよい。
【００２６】すなわち、この実施例では、ハンド３１の
上面部に第１および第２の太陽電池３２，３３が配設さ
れ、これら第１および第２の太陽電池３２，３３間には
駆動手段としてのＤＣモ−タ３４が設けられている。
上面部に第１および第２の太陽電池３２，３３が配設さ
れ、これら第１および第２の太陽電池３２，３３間には
駆動手段としてのＤＣモ−タ３４が設けられている。
【００２７】上記ＤＣモ−タ３４のモ−タ軸３５の外周
面には図１０に示すように雄ねじ部３６が形成され、こ
の雄ねじ部３６が形成されたモ−タ軸３５には内周面に
雌ねじ部３７が形成された操作管３８が螺着されてい
る。上記モ−タ軸３５と操作管３８との間にはベロ−ズ
３９が設けられ、その両端は気密的に固着されている。
上記操作管３８の先端部にはチップ４０が取り付けら
れ、その中央部にはバネ部４１が形成されている。上記
ＤＣモ−タ３４は図１３に示すように、第１および第２
の太陽電池３２，３３に電気的に接続されている。
面には図１０に示すように雄ねじ部３６が形成され、こ
の雄ねじ部３６が形成されたモ−タ軸３５には内周面に
雌ねじ部３７が形成された操作管３８が螺着されてい
る。上記モ−タ軸３５と操作管３８との間にはベロ−ズ
３９が設けられ、その両端は気密的に固着されている。
上記操作管３８の先端部にはチップ４０が取り付けら
れ、その中央部にはバネ部４１が形成されている。上記
ＤＣモ−タ３４は図１３に示すように、第１および第２
の太陽電池３２，３３に電気的に接続されている。
【００２８】しかして、第１の太陽電池３２に対応して
設けた図示しない光源により、第１の太陽電池３２に光
を照射すると、ＤＣモ−タ３４に電流が流れ、モ−タ軸
３５が所定方向に回転する。このモ−タ軸３５の回転に
より、操作管３８が前進され図１０に示すように、ベロ
−ズ３９の移動側のフランジ３９ａがハンド３１の一部
に当接するとともに、更に、若干のバネ力でチップ４０
の先端が半導体ウエハ５を押圧し保持する。
設けた図示しない光源により、第１の太陽電池３２に光
を照射すると、ＤＣモ−タ３４に電流が流れ、モ−タ軸
３５が所定方向に回転する。このモ−タ軸３５の回転に
より、操作管３８が前進され図１０に示すように、ベロ
−ズ３９の移動側のフランジ３９ａがハンド３１の一部
に当接するとともに、更に、若干のバネ力でチップ４０
の先端が半導体ウエハ５を押圧し保持する。
【００２９】また、第２の太陽電池３３に対応して設け
た図示しない別の光源により、第２の太陽電池３３に光
を照射すると、ＤＣモ−タ３４に正負逆の電流が流れ、
モ−タ軸３５が逆方向へ回転し、図１１に示すように、
操作管３８が後退され、チップ４０が半導体ウエハ５か
ら離れ押圧保持が解除される。なお、太陽電池３２，３
３の片方のみに光を照射した場合、光を照射しない方の
太陽電池は、抵抗値が高いために、接続したままでも問
題ない。また、第１および第２の太陽電池３２，３３に
対し、光の強度に差がある光を同時に当てた場合には、
両者の差に相当する電流が流れる。
た図示しない別の光源により、第２の太陽電池３３に光
を照射すると、ＤＣモ−タ３４に正負逆の電流が流れ、
モ−タ軸３５が逆方向へ回転し、図１１に示すように、
操作管３８が後退され、チップ４０が半導体ウエハ５か
ら離れ押圧保持が解除される。なお、太陽電池３２，３
３の片方のみに光を照射した場合、光を照射しない方の
太陽電池は、抵抗値が高いために、接続したままでも問
題ない。また、第１および第２の太陽電池３２，３３に
対し、光の強度に差がある光を同時に当てた場合には、
両者の差に相当する電流が流れる。
【００３０】さらに、この実施例では、ハンド３１の同
一平面に２枚の太陽電池３２、３３を装着し片方ずつ交
互に光を照射するようにしたが、太陽電池を複数枚にし
てもよく、また、ハンド３１の裏面に太陽電池を設置し
てもよい。また、太陽電池３２と太陽電池３３に対して
は、光源を別々に設けるか、または、向きを変化可能に
構成し、各々に選択的に光を当てるようにしても良い。
一平面に２枚の太陽電池３２、３３を装着し片方ずつ交
互に光を照射するようにしたが、太陽電池を複数枚にし
てもよく、また、ハンド３１の裏面に太陽電池を設置し
てもよい。また、太陽電池３２と太陽電池３３に対して
は、光源を別々に設けるか、または、向きを変化可能に
構成し、各々に選択的に光を当てるようにしても良い。
【００３１】
【発明の効果】本発明は以上説明したようによれば、搬
送ア−ムと、この搬送ア−ムの先端部に設けられ被把持
物を把持する把持部を有した把持手段と、この把持手段
に設けられ前記把持部を動作させる駆動手段と、前記把
持手段に設けられ光を受光することにより、該光エネル
ギ−を電気エネルギ−に変換して前記駆動手段に供給す
る光電変換手段とを具備してなるから、従来のように、
電気配線をカ−ルさせて搬送ア−ムの外側に配置した
り、あるいは、搬送ア−ムの内側に配置した場合のよう
に、配線が損傷を受けたり、その部分から塵埃を発生す
るといったことがなく、確実に給電できるとともに、ク
リ−ン度も良好に維持できるという効果を奏する。
送ア−ムと、この搬送ア−ムの先端部に設けられ被把持
物を把持する把持部を有した把持手段と、この把持手段
に設けられ前記把持部を動作させる駆動手段と、前記把
持手段に設けられ光を受光することにより、該光エネル
ギ−を電気エネルギ−に変換して前記駆動手段に供給す
る光電変換手段とを具備してなるから、従来のように、
電気配線をカ−ルさせて搬送ア−ムの外側に配置した
り、あるいは、搬送ア−ムの内側に配置した場合のよう
に、配線が損傷を受けたり、その部分から塵埃を発生す
るといったことがなく、確実に給電できるとともに、ク
リ−ン度も良好に維持できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるロボットの搬送ア−ム
に取り付けられたハンドを示す平面図。
に取り付けられたハンドを示す平面図。
【図２】図１中イ−イ線に沿って示す断面図。
【図３】図１中Ａ部を拡大して示す平面図。
【図４】図１中Ａ部の動作説明図。
【図５】図１中ロ−ロ線に沿って示す断面図。
【図６】図１のロボットを備える半導体ウエハの処理装
置を示す平面図。
置を示す平面図。
【図７】図６の半導体ウエハの処理装置を示す側面図。
【図８】本発明の他の実施例であるロボットの搬送ア−
ムに取り付けられたハンドを示す平面図。
ムに取り付けられたハンドを示す平面図。
【図９】図８中ハ−ハ線に沿って示す断面図。
【図１０】図８中ニ−ニ線に沿って示す駆動部の断面
図。
図。
【図１１】図１０の駆動部の動作を示す断面図。
【図１２】図８中ホ−ホ線に沿って示す断面図。
【図１３】図１０の駆動部と太陽電池との接続を示す配
線図。
線図。
１１…搬送ア−ム、５…半導体ウエハ（被把持物）、１
４…把持部、１２，３１…ハンド（把持手段）、１９…
ソレノイド（駆動手段）、３４…ＤＣモ−タ（駆動手
段）、２０，３２，３３…太陽電池（光電変換手段）。
４…把持部、１２，３１…ハンド（把持手段）、１９…
ソレノイド（駆動手段）、３４…ＤＣモ−タ（駆動手
段）、２０，３２，３３…太陽電池（光電変換手段）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｓ 8418−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送ア−ムと、 この搬送ア−ムの先端部に設けられ被把持物を把持する
把持部を有した把持手段と、 この把持手段に設けられ前記把持部を駆動する駆動手段
と、 前記把持手段に設けられ光を受光することにより、該光
エネルギ−を電気エネルギ−に変換して前記駆動手段に
供給する光電変換手段と、を具備してなることを特徴と
する搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30384292A JP3290215B2 (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30384292A JP3290215B2 (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155366A true JPH06155366A (ja) | 1994-06-03 |
| JP3290215B2 JP3290215B2 (ja) | 2002-06-10 |
Family
ID=17925965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30384292A Expired - Lifetime JP3290215B2 (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3290215B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11116046A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Mecs Corp | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
| JP2002264065A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ウエハ搬送ロボット |
| JP2002531942A (ja) | 1998-12-02 | 2002-09-24 | ニューポート・コーポレーション | 試料を保持するロボットアーム端部エフェクタ |
| US8177048B2 (en) | 2008-08-07 | 2012-05-15 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Vacuum processing apparatus |
| JP2017005169A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | ウエハ搬送用ハンド |
-
1992
- 1992-11-13 JP JP30384292A patent/JP3290215B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11116046A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Mecs Corp | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
| JP2002531942A (ja) | 1998-12-02 | 2002-09-24 | ニューポート・コーポレーション | 試料を保持するロボットアーム端部エフェクタ |
| US6898487B2 (en) | 1998-12-02 | 2005-05-24 | Newport Corporation | Specimen sensing and edge gripping end effector |
| JP2002264065A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ウエハ搬送ロボット |
| US8177048B2 (en) | 2008-08-07 | 2012-05-15 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Vacuum processing apparatus |
| JP2017005169A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | ウエハ搬送用ハンド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3290215B2 (ja) | 2002-06-10 |
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