JP6667028B2 - 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 19
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 39
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 7
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 66
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Description
11 トランスファモジュール
12 プロセスモジュール
14 ロードロックモジュール
17 第1搬送装置
22 制御装置
32 第2関節部
41 第1アーム部
42 第2アーム部
44 静電ピック
51 第1ケーブル
52 第2ケーブル
61 端子基台
62,62a,62b,62c 第1端子
63,63a,63b,63c 第2端子
72 第3端子
73 第4端子
75,76 バネ
Claims (7)
- 搬送体を搬送する搬送アームと、
前記搬送アームを駆動する駆動手段と、
前記搬送アームの先端に設けられ、前記搬送体が載置されるピックと、
前記ピックに設けられた内部電極を含み、前記搬送体を前記ピックに静電吸着させる静電吸着手段と、
前記静電吸着手段を制御する制御手段と、
前記搬送体の搬送元と搬送先のそれぞれに前記ピックがあるときに前記制御手段と前記内部電極とを導通させ、前記ピックを前記搬送元から前記搬送先へ移動させる間は前記制御手段と前記内部電極との間の導通が切れるように構成された端子部と、を備え、
前記制御手段は、前記静電吸着手段を制御して、前記ピックが前記搬送元にあるときに前記搬送体を前記ピックに静電吸着させ、前記ピックが前記搬送先にあるときに前記ピックの除電を行い、前記ピックが前記搬送元から前記搬送先へ移動する間は、前記端子部により前記内部電極が電気的にフロート状態となることにより前記搬送体が前記ピックに静電吸着された状態が維持されることを特徴とする搬送装置。 - 前記搬送アームは、
少なくとも1つのアーム部と、
前記アーム部を回転自在に保持する関節部と、を備え、
前記端子部は、
前記関節部に設けられた端子基台と、
同一円周上の所定位置に配置されるように前記端子基台の一面に設けられた複数の端子と、
前記アーム部に設けられた別の端子と、
前記別の端子を前記端子基台の前記一面に当接させる付勢手段と、を有し、
前記アーム部が前記関節部を中心として回転するときに前記別の端子が前記同一円周上を周方向に移動することにより、前記複数の端子と前記別の端子との接触状態と非接触状態とが切り替わり、
前記複数の端子と前記別の端子とが接触状態にあるときに、前記制御手段と前記内部電極とが導通し、前記複数の端子と前記別の端子とが非接触状態にあるときに、前記制御手段と前記内部電極との間の導通が切れることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記付勢手段による付勢力に抗して前記別の端子を前記端子基台の前記一面から浮き上がらせることによって前記複数の端子と前記別の端子とを非接触状態とする浮上手段を有することを特徴とする請求項2記載の搬送装置。
- 前記搬送アームを一方向に進退可能に保持し、前記一方向に所定の間隔で配置された複数の端子を有する保持手段を備え、
前記搬送アームは、
別の端子と、
前記別の端子を前記保持手段において前記複数の端子が配置された面に当接させる付勢手段と、を有し、
前記一方向での前記搬送アームの進退に伴って前記別の端子が前記一方向に移動することにより、前記複数の端子と前記別の端子との接触状態と非接触状態とが切り替わり、 前記複数の端子と前記別の端子とが接触状態にあるときに、前記制御手段と前記内部電極とが導通し、前記複数の端子と前記別の端子とが非接触状態にあるときに、前記制御手段と前記内部電極との間の導通が切れることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記制御手段は、前記搬送体の搬送中は、前記ピックに静電吸着力を発生させるための電圧信号を前記複数の端子へ印加し続けることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 搬送体を搬送する搬送アームと、前記搬送アームを駆動する駆動手段と、前記搬送アームの先端に設けられ、前記搬送体が載置されるピックと、前記ピックに設けられた内部電極を含み、前記搬送体を前記ピックに静電吸着させる静電吸着手段と、前記静電吸着手段を制御する制御手段と、前記搬送体の搬送元と搬送先のそれぞれに前記ピックがあるときに前記制御手段と前記内部電極とを導通させ、前記ピックを前記搬送元から前記搬送先へ移動させる間は前記制御手段と前記内部電極との間の導通が切れるように構成された端子部と、を備える搬送装置の制御方法であって、
前記制御手段が、前記静電吸着手段を制御して、前記ピックが前記搬送元にあるときに前記搬送体を前記ピックに静電吸着させる静電吸着ステップと、
前記制御手段が、前記制御手段と前記内部電極との接続状態を制御して、前記ピックが前記搬送元から前記搬送先へ移動する間は、前記端子部により前記内部電極が電気的にフロート状態となることにより前記搬送体が前記ピックに静電吸着された状態を維持させる静電吸着維持ステップと、
前記制御手段が、前記静電吸着手段を制御して、前記ピックが前記搬送先にあるときに前記ピックの除電を行う除電ステップと、
を有することを特徴とする搬送装置の制御方法。 - 請求項1乃至5の搬送装置を用いる基板処理システムであって、前記搬送アームが減圧可能な基板搬送室内に設けられることを特徴とする基板処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019074858A JP6667028B2 (ja) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019074858A JP6667028B2 (ja) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015132614A Division JP6513508B2 (ja) | 2015-07-01 | 2015-07-01 | 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019145821A JP2019145821A (ja) | 2019-08-29 |
JP6667028B2 true JP6667028B2 (ja) | 2020-03-18 |
Family
ID=67772719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019074858A Active JP6667028B2 (ja) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6667028B2 (ja) |
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2019
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019145821A (ja) | 2019-08-29 |
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