JP2000061876A

JP2000061876A - 基板搬送ロボット

Info

Publication number: JP2000061876A
Application number: JP23620098A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Takematsu; 忠武松; Muneyoshi Nishitsuji; 宗芳西辻
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1998-08-24
Filing date: 1998-08-24
Publication date: 2000-02-29

Abstract

(57)【要約】【課題】信頼性が高く、電気配線が不要な基板搬送ロボ
ットを提供する。【解決手段】２本の腕部材２１a、２１bの一端に磁石７
a、７bを設け、その間の反発力によって、支点部材２２
a、２２bを中心として腕部材２１a、２１bを回動できる
ように構成しておく。磁石７a、７b間に磁気シールド部
材を挿入し、各磁石と磁気シールド部材の間に生じる磁
気吸着力によって腕部材２１a、２１bの他端間を開か
せ、その状態で基板２９を腕部材２１a、２１b間に配置
した後、磁気シールド部材を抜去し、磁気反発力を回復
させ、基板２９を腕部材２１a、２１bによって挟持させ
る。基板２９を保持した状態で移動させられるので、高
速搬送が可能である。また、電気配線が不要なので、信
頼性が高い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置にか
かり、特に、真空雰囲気中で基板を高速に搬送できる基
板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、真空雰囲気中で半導体ウェハや
液晶用ガラス基板等の基板を搬送するためには、基板搬
送ロボットが用いられている。図１０(ａ)〜(ｃ)を参照
し、符号１０１は従来技術の基板搬送ロボットであり、
回転軸１１５と、接続板１１１と、載置部１１４と、２
本のロボットアーム１１２a、１１２bとを有している。

【０００３】回転軸１１５は、二重構造になっており、
その外側部分と内側部分は、同一方向にも、逆方向に
も、それぞれ独立に回転できるように構成されている。
２本のロボットアーム１１２a、１１２bのうち、一方の
一端は外側部分に取り付けられており、他方の一端は内
側部分に取り付けられている。

【０００４】また、各ロボットアーム１１２a、１１２b
の、回転軸１１５側とは反対側の端部には、１枚の接続
板１１１が取り付けられ、その接続板１１１には、載置
部１１４が水平に固定されている。

【０００５】各ロボットアーム１１２a、１１２bは屈伸
可能に構成されており、回転軸１１５が回転し、ロボッ
トアーム１１２a、１１２b間の成す角度が大きくなる
と、ロボットアーム１１２a、１１２bが折り畳まれ、逆
に、ロボットアーム１１２a、１１２b間の成す角度が小
さくなると、ロボットアーム１１２a、１１２bが伸び、
載置部１１４が水平面内で移動されるように構成されて
いる。

【０００６】回転軸１１５の内側部分と外側部分を独立
に回転させることで、各ロボットアーム１１２a、１１
２bの向き及び間隔は、自在に変えられるので、従っ
て、載置部１１４を所望位置に搬送できるように構成さ
れている。

【０００７】但し、この載置部１１４は、回転軸１１５
を中心とする放射方向に向けられており、移動する際に
は、その放射方向を維持するように、ロボットアーム１
１２a、１１２bと水平板１１１とが成す角度が規制され
るように構成されている。

【０００８】この基板搬送ロボット１０１は、真空雰囲
気におかれた搬送室１４１内に配置されている。搬送室
１４１の壁面には、搬出入口１４２が形成されている。

【０００９】この載置部１１４上には、図示しない窪み
が形成されており、その窪みに基板１２９を載置し、回
転軸１１５を所定方向に回転させ、図１０(ａ)に示すよ
うに、ロボットアーム１１２a、１１２bを折り畳むと、
基板１２９は、回転軸１１５に引き寄せられる。その状
態から、真空雰囲気を維持したまま搬出入口１４２を開
け、回転軸１１５を回転させ、ロボットアーム１１２
a、１１２bを伸ばすと、基板１２９は回転軸１１５から
遠ざけられる。同図(ｂ)は、ロボットアーム１１２a、
１１２bが伸びているところを示しており、基板１２９
は搬出入口１４２を通過中である。

【００１０】そして、ロボットアーム１１２a、１１２b
が完全に伸びきった状態になると、同図(ｃ)に示すよう
に、図面右方でこの搬送室に隣接する室内に基板１２９
が搬出される。

【００１１】このように、ロボットアーム１１２a、１
１２bの伸縮及び回転によって、基板１２９が水平に搬
送されるため、大型の基板１２９も移動させることがで
き、また、基板１２９と他の部材とは摺動しないことか
ら、基板１２９に傷が付かず、パーティクルが発生しな
いようになっている。

【００１２】しかしながら上記基板搬送ロボット１０１
では、基板１２９が保持されておらず、載置部１１４上
に乗せた状態で移動させるため、高速に移動させようと
すると、基板１２９が載置部１１４上で位置ズレたり、
載置部１１４上から脱落するという不都合がある。

【００１３】大気中で基板１２９を搬送する場合であれ
ば、真空チャックによって基板１２９を載置部１１４表
面に吸着すればよいが、真空雰囲気中では真空チャック
は使用できない。そのため、従来の基板搬送ロボット１
０１では、位置ズレや脱落を防止するために、載置部１
１４上に摩擦係数の高いゴムや樹脂を配置し、摩擦力を
高める等の対策が試みられているが、ゴムや樹脂は温度
上昇によって焼損や劣化するため、高温に加熱された基
板１２９を搬送することができないという問題がある。

【００１４】また、静電チャックやソレノイドによっ
て、電気的な保持機構を構成しようとすると、保持機構
に電力を供給する電気配線が劣化しやすく、基板搬送ロ
ボット１０１の信頼性を低下させてしまう。また、その
電気配線がロボットアーム１１２a、１１２bの回転方向
を制限してしまい、搬送の自由度が低下するという問題
がある。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の不都合を解決するために創作されたものであり、その
目的は、信頼性が高く、電気配線が不要な基板搬送ロボ
ットを提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、２本の腕部材が支点部材を
中心に回動できるように取り付けられ、前記腕部材の間
に基板を配置し、前記腕部材で前記基板を挟めるように
構成された基板保持装置であって、前記各腕部材には、
磁石が同一磁極を対向して設けられ、前記磁石間の反発
力によって、前記腕部材で前記基板を挟み、保持できる
ように構成されたことを特徴とする。

【００１７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の基
板保持装置であって、前記各腕部材の支点部材は近接配
置され、前記支点部材で互いに接触されていることを特
徴とする。

【００１８】請求項３記載の発明は、請求項２記載の基
板保持装置であって、前記２本の腕部材の前記支点部材
には、セグメントギアが形成されていることを特徴とす
る。

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求
項３のいずれか１項記載の基板保持装置と、載置部とを
有する基板搬送ロボットであって、前記載置部上に載置
された基板を前記基板保持装置によって保持し、前記基
板を前記載置部と前記基板保持装置と一緒に移動できる
ように構成されたことを特徴とする。

【００２０】請求項５記載の発明は、請求項４記載の基
板搬送ロボットと、前記基板搬送ロボットが内部に配置
された搬送室と、前記搬送室に接続された真空槽とを有
する真空処理装置であって、前記真空槽内には磁気シー
ルド部材が配置されたことを特徴とする。

【００２１】請求項６記載の発明は、２本の腕部材が支
点部材を中心に回動できるように取り付けられ、前記腕
部材の間に基板を配置し、前記腕部材で前記基板を挟め
るように構成された基板保持装置であって、前記腕部材
にはバネ部材が設けられ、前記バネ部材の復元力によっ
て前記基板を挟み、保持できるように構成されたことを
特徴とする。

【００２２】請求項７記載の発明は、請求項６記載の基
板保持装置であって、前記各腕部材には被押圧部材が設
けられ、該被押圧部材が押圧され、その間の間隔を変化
させることで、前記基板の保持を解除できるように構成
されたことを特徴とする。

【００２３】本発明は上記のように構成されており、２
本の腕部材が支点部材を中心に回動できるように取り付
けられた基板保持装置、その基板保持装置が設けられた
基板搬送ロボット、及び、その基板搬送ロボットが搬送
室内に配置された真空処理装置である。

【００２４】本発明の基板保持装置では、その腕部材の
一端に磁石がそれぞれ設けられている。それらの磁石は
近接して配置されており、磁石間に生じる反発力によっ
て、磁石間が開かれるようになっている。

【００２５】このような基板保持装置では、磁石間に磁
気シールド部材を挿入すると、磁気シールド部材表面
に、各磁石の対向する面の磁極とは逆極性の磁極が誘起
される。従って、磁石同士が同一磁極を対向させて配置
されている場合にも、各磁石と磁気シールド部材の間に
磁気吸着力が発現し、磁石が磁気シールド部材に吸着さ
れる。その際、腕部材は支点部材を中心に所定角度回動
し、磁石が設けられた端部とは反対側の端部が開かれ、
その間に基板を配置することが可能になる。

【００２６】そして、磁気シールド部材を磁石間から抜
去すると、反発力が回復し、腕部材は元の状態に戻ろう
とする。その際、腕部材間に基板が配置されているの
で、支点部材を中心とする回動動作によって基板が挟ま
れ、基板が保持される。

【００２７】このように、基板が基板保持装置によって
保持されるので、高速に移動させても載置部上で位置ズ
レしたり、脱落することはない。

【００２８】磁石の反発力に替え、バネ部材の復元力を
利用することもできる。この場合、腕部材に被押圧部材
を設け、搬送室や真空槽に設けた押圧部材により、腕部
材間を開かせることができる。また、支点部材を中心と
し、腕部材同士をセグメントギアによって接続させてお
くと、腕部材同士の動作が連動し、基板の載置が容易に
なる。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の真空処理装置を、本発明
の基板保持装置及び本発明の基板搬送ロボットと共に説
明する。図１(ａ)〜(ｃ)を参照し、符号１は本発明の基
板搬送ロボットの一例であり、回転軸１５と、接続板１
１と、載置部１４と、２本のロボットアーム１２a、１
２bとを有している。

【００３０】回転軸１５は、二重構造になっており、回
転軸１５の外側部分と内側部分は、同一方向にも、逆方
向にも、それぞれ独立に回転できるように構成されてい
る。この基板搬送ロボット１では、上記の搬送ロボット
１０１と同様に、ロボットアーム１２a、１２bのうち、
一方の一端が、外側部分に取り付けられ、他方の一端が
内側部分に取り付けられている。

【００３１】従って、回転軸１５の内側部分と外側部分
を独立に回転させることで、各ロボットアーム１２a、
１２bを、それぞれ所望方向に水平回転させられるよう
に構成されている。

【００３２】また、各ロボットアーム１２a、１２bの、
回転軸１５側とは反対側の端部には、１枚の接続板１１
が共通に取り付けられており、その接続板１１には、載
置部１４が水平に固定されている。

【００３３】載置部１４は、回転軸１５を中心とする放
射方向に向けられており、その移動の際には、放射方向
を維持するように、ロボットアーム１２a、１２bと接続
板１１とが成す角度が規制されるように構成されてい
る。

【００３４】そして、各ロボットアーム１２a、１２bは
屈伸可能に構成されており、回転軸１５が回転し、ロボ
ットアーム１２a、１２b間の成す角度が大きくなると、
ロボットアーム１２a、１２bが折り畳まれ、逆に、ロボ
ットアーム１２a、１２b間の成す角度が小さくなると、
ロボットアーム１２a、１２bが伸び、その結果、載置部
１４が水平移動されるように構成されている。

【００３５】この基板搬送ロボット１では、接続板１１
上に、図２に示す基板保持装置２が配置されている。そ
の基板保持装置２は、２本の腕部材２１a、２１bを有し
ており、各腕部材２１a、２１bの一端は載置部１４側に
向けられ、他端は回転軸１５側に向けられている。

【００３６】各腕部材２１a、２１bは、「く」字形形状
にされており、背中合わせに隣接して配置されている。

【００３７】接続板１１には、円柱状の支点部材２２
a、２２bが設けられており、各腕部材２１a、２１bの中
央付近の屈曲部Ａに開けられた孔が、支点部材２２a、
２２bにそれぞれはめ込まれている。

【００３８】各腕部材２１a、２１bは、支点部材２２
a、２２bを中心に回動可能に取り付けられており、この
支点部材２２a、２２bによって、腕部材２１a、２１bが
接続板１１に取り付けられていることになる。

【００３９】屈曲部分Ａの拡大図を図３(ａ)に示す。支
点部材２２a、２２bは近接して配置されており、各腕部
材２１a、２１bの、支点部材２２a、２２b間に位置する
側面には、セグメントギア２４a、２４bがそれぞれ形成
されている。

【００４０】それらセグメントギア２４a、２４bの歯及
び歯溝は噛み合わされており、従って、腕部材２１a、
２１bは、いずれか一方が所定角度だけ回動する場合に
は、他方はそれとは逆方向に、同じ角度だけ回動するよ
うになっている。

【００４１】各腕部材２１a、２１bの載置部１４側の先
端部Ｂは、図３(ｂ)に示すように突起２５が形成されて
おり、他方、回転軸１５側の先端部Ｃには、図４に示す
ように、磁石(永久磁石)７a、７bが固定されている。

【００４２】この基板搬送ロボット１は、図５に示す真
空処理装置４０の搬送室４１内に配置されている。この
搬送室４１の側壁には、基板搬出入口４２が設けられて
おり、基板搬出入口４２付近の天井には、磁気シールド
部材８が固定されている。

【００４３】磁気シールド部材８は、基板保持装置２上
の磁石７a、７bと略同一高さに配置されており、各腕部
材２１a、２１bが伸縮し、載置部１４が水平移動し、搬
送室４１から隣接する真空槽内に挿入されると、磁気シ
ールド部材８が磁石７a、７b間に挿入されるように構成
されている。

【００４４】図１(ａ)は、その状態の基板搬送ロボット
１を示しており、ロボットアーム１２a、１２bが伸び、
載置部１４が、搬送室４１に隣接する図示しない搬出入
室内に突き出されている。

【００４５】この状態では、磁石７a、７b間に磁気シー
ルド部材８が位置し、磁石７a、７bと磁気シールド部材
８とは近接している。磁気シールド部材８は、磁性鋼、
ケイ素鋼、パーマロイ鋼、又はセンダスト鋼等の磁性体
材料で構成されており、従って、その表面には、磁石７
a、７bの近接する面とは逆極性の磁極が誘起される。

【００４６】磁石７a、７bは、同一極性の磁極を互いに
対向させているが、磁石７a、７b間に磁気シールド部材
８が挿入された状態では、各磁石７a、７bの極性に拘わ
らず、磁気シールド部材８表面には、磁石７a、７bの対
向する部分とは逆極性の磁極が誘起され、その結果、各
磁石７a、７bと磁気シールド部材８との間に磁気吸引力
が発現し、磁石７a、７bが磁気シールド部材８に吸着さ
れる。

【００４７】磁石７a、７bが磁気シールド部材８に吸着
される際、磁石７a、７bの動きに伴い、腕部材２１a、
２１bが支点部材２２a、２２bを中心に所定角度だけ回
動し、各腕部材２１a、２１b先端の突起２５間の距離は
逆に大きくなる。

【００４８】磁石７a、７bの吸着後は、腕部材２１a、
２１bは、載置部１４上から退避した状態になってお
り、次いで、図示しない基板昇降機構を動作させると、
基板２９を載置部１４の所定位置上に載置することがで
きる。

【００４９】次に、図１(ｂ)に示すように、ロボットア
ーム１２a、１２bを折りたたむことで、載置部１４を搬
送室４１内に戻すと、磁石７a、７bは、磁気シールド部
材８から離される。

【００５０】上述したように、磁石７a、７bは、同一極
性の磁極を互いに対向させているため、磁気シールド部
材８が磁石７a、７b間に存しなくなると、磁石７a、７b
同士は同磁極が向き合い、その結果、磁石７a、７b間に
反発力が発現し、磁石７a、７b間の距離が大きくなる。
従って、突起２５間の距離は逆に小さくなり、基板２９
の端部側面と当接し、磁石７a、７b間の反発力によって
基板２９を挟持するようになる。

【００５１】この状態では、基板２９は、基板保持装置
２によって保持されており、載置部１４上では動かない
ようになっている。図１(ｃ)はロボットアーム１２a、
１２bを折り畳み、基板２９を搬送室４１内に搬入した
状態を示している。この状態で基板搬送ロボット１を回
転させ、上記基板搬出入口４２とは異なる搬出入口を開
け、反応室やエッチング室等の真空槽内に基板２９を搬
入する。

【００５２】この場合、その搬出入口近傍にも、上記の
ような磁気シールド部材８を配置しておくと、基板２９
を搬送室４１から搬出したところで、磁石７a、７b間に
磁気シールド部材８が挿入され、基板２９の保持が解除
される。

【００５３】次に、この状態で載置部１４を回転させ、
上記基板搬出入口４２とは異なる搬出入口に向ける。そ
の基板搬出入口近傍の天井にも磁気シールド部材８を固
定しておくと、搬出入口を開け、真空槽内に基板２９を
搬入する際に、基板２９の保持を解除することができ
る。

【００５４】このように、本発明の基板保持装置２、そ
の基板保持装置２を有する基板搬送ロボット１を用いる
と、基板２９の高速搬送が可能であり、搬送室４１内の
所定位置に磁気シールド部材８を配置しておくと、基板
の保持及び保持の解除を簡単に行うことができる。

【００５５】更にまた、搬送室４１内だけではなく、搬
送室４１に接続された真空槽内にも磁気シールド部材を
配置することができる。図６(ａ)〜(ｃ)の符号５０は、
上記基板搬送ロボット１が配置された搬送室４１に対
し、真空槽５１と、基板搬出入室５２とがこの順序で接
続された真空処理装置である。

【００５６】基板搬出入室５２内には、多数の基板が配
置されており、搬送室４１と真空槽５１の間と、真空槽
５１と基板搬出入室５２の間には、それぞれ搬出入口４
２、５７が設けられており、基板が搬出入口４２、５７
を介して移動でき、真空槽５１及び搬送室４１に接続さ
れた他の真空槽５１内で、各基板に対して真空処理を行
えるように構成されている。

【００５７】上記と同様に、搬送室４１の天井には磁気
シールド部材８が固定されており、更にこの真空処理装
置５０では、真空槽５１内の天井に、その磁気シールド
部材８と同一構造の磁気シールド部材５８が固定されて
いる。

【００５８】符号１７は、二重構造の回転軸１５を回転
させるモータであり、図６(ａ)は、そのモータ１７によ
って回転軸１５を回転させ、ロボットアーム１２ａ、１
２bを伸ばした状態を示している。載置部１４は、基板
搬出入室５２内に挿入されている。

【００５９】この状態では、真空槽５１天井の磁気シー
ルド部材５８が、磁石７a、７bの間に挿入されており、
磁石７a、７bと磁気シールド部材５８間に生じる磁気吸
着力によって、爪部２５間は開かれ、腕部材２１a、２
１bは載置部１４上から退避されている。基板搬出入室
５２内の図示しない基板昇降機構を用い、載置部１４上
に基板２９を載置した後、ロボットアーム１２a、１２b
を折り畳み、載置部１４を真空槽５１側に移動させる。

【００６０】その移動に伴い、磁気シールド部材５８は
磁石７a、７bの間から抜去され、磁石７a、７b間に発現
する反発力によって爪部２５間が閉じ、爪部２５が基板
２９側面に当接される。そして、その反発力によって、
爪部２５が基板２９側面に押しつけられ、基板２９が基
板保持装置２に保持される。

【００６１】磁気シールド部材５８は、斜めに切断され
ており、磁気シールド部材５８が磁石７a、７bから抜去
される際に、磁石７a、７bが直接対向する面積が徐々に
大きくなるように構成されている。

【００６２】その結果、磁石７a、７bに生じる反発力は
徐々に大きくなり(反対に、磁石７a、７bと磁気シール
ド部材５８間に生じる磁気吸着力は徐々に小さくな
る。)、爪部２５の基板２９に対する挟持力は徐々に大
きくなる。従って、爪部２５で基板２９を把持する際
に、基板２９には衝撃が加わらないようになっている。

【００６３】同図(ｂ)は、基板２９が基板保持装置２に
よって保持された状態で移動しているところを示してい
る。

【００６４】載置部１４が更に移動すると、基板２９は
真空槽５１内に搬入される。真空槽５１の底壁上には、
基板載置台５３が配置されており、基板２９が基板載置
台５３の直上に位置したところで、磁石７a、７b間に、
搬送室４１に設けられた磁気シールド部材８が挿入され
る(同図(ｃ))。

【００６５】従って、基板２９が基板載置台５上に静止
したところで、爪部２５間が開かれ、基板２９の保持が
解除される。基板載置台５３には、基板昇降機構５４が
配置されており、基板昇降機構５４を上昇させると、そ
の先端部分に基板２９が乗せられる。載置部１４を搬送
室４１内に移動させた後、基板昇降機構５４を降下させ
ると、基板２９は基板載置台５３上に載置される。

【００６６】そして、ゲートバルブ４９等を用いて基板
搬出入口４２、５７を閉じると、真空槽５１内で、基板
２９の真空処理を行うことができる。図７(ｄ)はその状
態の真空処理装置５０を示しており、真空槽５１内で、
スパッタリングやエッチング等の所定のプロセスを行っ
た後、基板昇降機構５４によって基板２９を持ち上げる
と共に、ゲートバルブ４９を開ける。

【００６７】次いで、載置部１４を真空槽５１内に移動
させ、基板２９の下に挿入させた後、基板昇降機構５４
を降下させると、基板２９が載置部１４上に移し替えら
れる。

【００６８】そして、載置部１４を移動させると、基板
２９は基板保持装置２によって保持された状態で移動さ
れる。図７(ｅ)は移動中の基板２９を示しており、基板
２９を載置部１４上に乗せた状態で搬送室４１内に収納
し、ゲートバルブ４９を閉じると、真空槽５１内でのプ
ロセス処理を終了させる(同図(ｆ))。

【００６９】次いで、図示しない他の真空槽との間のゲ
ートバルブを開け、その真空槽に基板２９を搬入し、更
に、基板２９に対してプロセスを行う。

【００７０】以上説明したように、磁気シールド部材
８、５８は、載置部１４上から基板２９を移し替えるの
に適した位置に配置することができる。

【００７１】なお、上記基板保持装置２では、腕部材２
１a、２１b先端には爪部２５が設けられていたが、図８
(ａ)に示す基板保持装置３のように、腕部材８１a、８
１bの先端に、突起８４a、８４bをそれぞれ設け、突起
８４a、８４bを基板２９側面に当接させるようにしても
よい。

【００７２】この場合、図８(ｂ)に示すように、基板保
持装置３が設けられた基板搬送ロボット５は、その載置
部７４先端に突起８５a、８５bを設け、その突起８５
a、８５bに、基板２９の側面に当接させるようにしても
よい。

【００７３】更にまた、本発明の基板保持装置は、磁石
を用いないものも含まれる。図９(ａ)の符号４は、その
基板保持装置を示しており、上述の基板保持装置２、３
と同様に、腕部材３１a、３１bは「く」字形形状をして
おり、その屈曲部分が、支点部材３２a、３２bによっ
て、基板搬送ロボットの接続板(ここでは図示しない。)
に取り付けられている。

【００７４】腕部材３１a、３１bの載置部側先端には、
爪部３５a、３５bが設けられており、その根本付近に
は、バネ部材３３が取り付けられている。爪部３５a、
３５b側とは逆の先端部分には、厚板から成る被押圧部
材３７a、３７bが取り付けられている。

【００７５】バネ部材３３の弾性力により、被押圧部材
３７a、３７b間は所定間隔だけ離間するようにされてお
り、バネ部材３３に引張り応力が加わらない状態では、
爪部３５a、３５b間の間隔は小さくなるようにされてい
る。

【００７６】このような基板保持装置４が設けられた基
板搬送ロボットを用いる場合、上述の磁気シールド部材
に代え、厚板から成る２個の押圧部材３８a、３８bを搬
送室や真空槽の天井に固定しておく。

【００７７】そして、基板搬送ロボットを動作させ、基
板保持装置４を、図９(ｂ)に示すように、押圧部材３８
a、３８b方向に動かすと、被押圧部材３７a、３７bと押
圧部材３８a、３８bが近づく。

【００７８】被押圧部材３７a、３７bの、押圧部材３８
a、３８bに対向する側面は、基板保持装置４の中心軸線
３０に対して傾斜が設けられており、その側面を摺動面
３９a、３９bとした場合、押圧部材３８a、３８bの側面
は摺動面３９a、３９bに当接されるようになっている。

【００７９】その状態で基板保持装置４を更に移動さ
せ、押圧部材３８a、３８bを被押圧部材３７a、３７bに
当接させると、摺動面３９a、３９bが押圧部材３８a、
３８b側面と接触し、さらに、押圧部材３８a、３８b
は、摺動面３９a、３９bと摺動しながら移動する。

【００８０】摺動面３９a、３９bの傾斜は、押圧部材３
８a、３８bが押圧されると、被押圧部材３７a、３７b間
の距離を縮める方向に形成されており、被押圧部材３７
a、３７b間に加わる力は、バネ部材３３を引き伸ばし、
爪部３５a、３５b間を開かせる。

【００８１】その状態では、載置部上から腕部材３１
a、３１bが退避されており、載置部上に基板を乗せた
後、被押圧部材３７a、３７bを押圧部材３８a、３８bか
ら離すと、バネ部材３３の復元力によって被押圧部材３
７a、３７b間の距離が元に戻り、爪部３５a、３５bが基
板側面に当接される。バネ部材３３の復元力は縮む方向
であり、載置部上の基板は爪部３５によって把持され
る。このように、磁石を用いず、バネ部材３３の復元力
によっても、基板を保持することができる。

【００８２】以上は、基板保持装置２、３、４を水平に
移動させ、基板の保持を行う場合を説明したが、水平方
向だけではなく、基板を水平方向と垂直方向に移動させ
る基板搬送ロボットも本発明に含まれる。

【００８３】例えば、基板を搬送する場合には、基板保
持装置を水平方向に移動させるが、基板の把持及びその
把持を解除する際には、基板保持装置を垂直方向に上昇
させ、磁石間に磁気シールド部材を挿入及び抜去させる
基板搬送ロボット等も本発明に含まれる。

【００８４】なお、上記各実施形態では、磁気シールド
部材及び押圧部材は搬送室や真空槽の天井に固定した
が、それらは移動できるように構成してもよい。例え
ば、基板保持装置を所定位置に静止させた後、磁気シー
ルド部材又は押圧部材を移動させ、基板を保持させ、又
は基板の保持を解除させるようにしてもよい。

【００８５】

【発明の効果】基板を保持した状態で移動させられるの
で、基板の位置ズレや脱落がない。また、電気配線が不
要であるから、基板移動の自由度や信頼性が高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】(ａ)〜(ｃ)：本発明の基板保持装置及び基板搬
送ロボットの動作を説明するための図

【図２】その部分拡大図

【図３】(ａ)：セグメントギアの拡大図 (ｂ)：爪部の拡大図

【図４】磁石部分の拡大図

【図５】本発明の一例の真空処理装置を示す図

【図６】(ａ)〜(ｃ)：本発明の他の例の真空処理装置の
真空槽に基板を搬入する際の動作を説明するための図

【図７】(ｄ)〜(ｆ)：その真空槽から基板を搬出する際
の動作を説明するための図

【図８】(ａ)：本発明の基板保持装置の他の例を示す図 (ｂ)：その基板保持装置が設けられた基板搬送ロボット
を示す図

【図９】(ａ)：本発明の基板保持装置の更に他の例を示
す図 (ｂ)、(ｃ)：その基板保持装置の動作を説明するための
拡大図

【図１０】(ａ)〜(ｃ)：従来技術の基盤搬送ロボットの
動作を説明するための図

【符号の説明】

１、５……基板搬送ロボット２、３、４……基板保持装置７a、７b……磁石８、５８……磁気シールド部材１４……載置部２１a、２１b、８１a、８１b……腕部材２２a、２２b、３２a、３２b……支点部材２４a、２４b……セグメントギア２９……基板３３……バネ部材３７a、３７b……被押圧部材４０、５０……真空処理装置４１……搬送室５１、５５……真空槽

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 ＡＦターム(参考） 3F060 AA01 AA07 AA09 EB12 EC12 GA03 GA13 GB11 GB31 3F061 AA01 BA03 BB02 BC03 BD00 BD10 BE12 BE43 BF00 DB04 DB06 5F031 CA02 CA05 GA14 GA15 GA43 GA44 GA47 GA48 NA05 NA07 NA09 PA18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】２本の腕部材が支点部材を中心に回動でき
るように取り付けられ、前記腕部材の間に基板を配置
し、前記腕部材で前記基板を挟めるように構成された基
板保持装置であって、前記各腕部材には、磁石が同一磁極を対向して設けら
れ、前記磁石間の反発力によって、前記腕部材で前記基板を
挟み、保持できるように構成されたことを特徴とする基
板保持装置。
【請求項２】前記各腕部材の支点部材は近接配置され、
前記支点部材で互いに接触されていることを特徴とする
請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】前記２本の腕部材の前記支点部材には、セ
グメントギアが形成されていることを特徴とする請求項
２記載の基板保持装置。
【請求項４】請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載
の基板保持装置と、載置部とを有する基板搬送ロボット
であって、前記載置部上に載置された基板を前記基板保持装置によ
って保持し、前記基板を前記載置部と前記基板保持装置
と一緒に移動できるように構成されたことを特徴とする
基板搬送ロボット。
【請求項５】請求項４記載の基板搬送ロボットと、前記
基板搬送ロボットが内部に配置された搬送室と、前記搬
送室に接続された真空槽とを有する真空処理装置であっ
て、前記真空槽内には磁気シールド部材が配置されたことを
特徴とする真空処理装置。
【請求項６】２本の腕部材が支点部材を中心に回動でき
るように取り付けられ、前記腕部材の間に基板を配置
し、前記腕部材で前記基板を挟めるように構成された基
板保持装置であって、前記腕部材にはバネ部材が設けられ、前記バネ部材の復
元力によって前記基板を挟み、保持できるように構成さ
れたことを特徴とする基板保持装置。
【請求項７】前記各腕部材には被押圧部材が設けられ、
該被押圧部材が押圧され、その間の間隔を変化させるこ
とで、前記基板の保持を解除できるように構成されたこ
とを特徴とする請求項６記載の基板保持装置。