WO2011062051A1

WO2011062051A1 - 搬送装置及び真空装置

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Publication number: WO2011062051A1
Application number: PCT/JP2010/069413
Authority: WO
Inventors: 展史南
Original assignee: 株式会社アルバック
Priority date: 2009-11-20
Filing date: 2010-11-01
Publication date: 2011-05-26
Also published as: TWI537109B; KR20120068044A; KR101408489B1; JP5150608B2; TW201139080A; JP2011104757A; CN102725110A; US20120288347A1; CN102725110B

Abstract

　本発明は、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。本発明の搬送装置（５０）は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構（２０）と、リンク機構（２０）の動作先端部において第３の左アーム（３Ｌ）、第３の右アーム（３Ｒ）を介して連結され基板（１０）を載置するための載置部（５）とを備える。載置部（５）の基板搬送方向下流側の部位に、リンク機構（２０）の動作に伴い、基板（１０）の側部と当接して基板（１０）をリンク機構（２０）に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構（７）が設けられ、載置部（５）の基板搬送方向上流側の部位に、リンク機構（２０）の動作に伴い、基板（１０）の側部と当接して基板（１０）を基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構（９）が設けられている。

Description

搬送装置及び真空装置

　本発明は、例えば基板等の搬送物を搬送する搬送装置に関し、特に、半導体製造装置等の複数のプロセスチャンバを備えた真空装置に好適な搬送装置に関する。

　半導体製造等の分野においては、従来から図１９及び図２０に示すような基板搬送装置２０１が用いられている。
　この基板搬送装置２０１は、駆動部２０２と、この駆動部２０２に連結され複数のアームからなるアーム部２０３と、このアーム部２０３の先端に連結されたエンドエフェクタ２０４とを有しており、エンドエフェクタ２０４の上面で基板Ｗの裏面を支持し、複数のプロセスチャンバ（図示せず）間で基板Ｗの受け渡しを行なうように構成されている。

　エンドエフェクタ２０４は、一般には、セラミックスやステンレス鋼などで製作されている。したがって、アーム部２０３を高速で伸縮動作や旋回動作させるとエンドエフェクタ２０４も高速で動作するので、基板Ｗに加わる加速度の影響で基板Ｗがエンドエフェクタ２０４上で滑ってしまい、基板Ｗを正しい位置に搬送できない問題がある。
　加えて、従来技術では、基板Ｗがエンドエフェクタ２０４上を滑る際に発生するダストが、基板Ｗの表面を汚染してしまう問題がある。

　そこで、図２０に示すように、エンドエフェクタ２０４の上面に複数の保持部２０５を設け、基板Ｗ裏面の所定箇所で接触することも提案されている。
　この保持部２０５は一般にゴムやエラストマー等の樹脂系弾性材料で形成されているので、基板Ｗの裏面の滑りを抑制し、滑り止めパッドとして機能している。これにより、エンドエフェクタ２０４の上面において基板Ｗは滑ることなく安定した搬送姿勢で保持される（例えば特許文献１参照）。

　ここで、エラストマー等の樹脂系弾性材料で形成された保持部２０５は、基板Ｗや周囲の雰囲気温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合には、効率よく基板Ｗの滑りは抑制されるが、当該温度が高い（例えば３００～５００℃）場合には、保持部２０５が熱による変質や変形で、基板Ｗの滑りを抑制できなくなる問題がある。

　一方、当該温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合でも、基板Ｗが保持部２０５の粘着力で貼り付き、エンドエフェクタ２０４から基板Ｗが適正に離れなくなることがある。例えば、プロセスチャンバ内のステージに基板Ｗを受け渡す際、保持部２０５から基板Ｗが離れず割れてしまう問題や、正しい位置に基板Ｗが搬送できない問題がある。

　さらに、原理的に保持部２０５と基板Ｗ間の摩擦力により基板Ｗの滑りを抑制しているので、双方の物質で決まる最大静止摩擦力を超えるような加速度が基板Ｗに加わると、基板Ｗはエンドエフェクタ２０４上で滑ってしまう。従って、搬送装置２０１の動作速度は保持部２０５と基板Ｗ間の最大静止摩擦力を超えて大きくすることができないという問題がある。

特開２００２－３５３２９１号公報

　本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図ることにある。
　また、本発明の他の目的は、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供することにある。

　上記目的を達成するためになされた本発明は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、前記載置部の基板搬送方向下流側の部位に、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構が設けられ、前記下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで保持するように構成されている搬送装置である。
　本発明では、前記載置部の基板搬送方向上流側の部位に、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構が設けられている場合にも効果的である。
　本発明では、前記下流側付勢機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記下流側付勢機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の下流側付勢部が設けられている場合にも効果的である。
　本発明では、前記下流側付勢機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記下流側付勢機構には、前記リンク方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の下流側付勢部が設けられている場合にも効果的である。
　本発明では、前記下流側付勢部は、二つ設けられ、各下流側付勢部に設けられた把持部が、第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている場合にも効果的である。
　本発明では、前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた場合にも効果的である。
　本発明では、前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられ回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材を有し、帯状の一体的な弾性部材からなる帯状付勢手段が、当該一対の隣接リンク部材に架け渡されて設けられている場合にも効果的である。
　本発明では、前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた駆動支持部と、当該駆動支持部によって駆動される従動機構部とを備え、前記従動機構部は、前記駆動支持部と係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部と、当該従動部に連結され当該従動部の長溝状摺動部内における前記駆動支持部の移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部とを有する場合にも効果的である。
　本発明では、前記上流側付勢機構は、前記駆動リンク部に極性の異なる複数の駆動用磁石が設けられるとともに、前記従動機構部には単一の極性の従動用磁石が設けられ、前記駆動リンク部と前記従動機構部との相対的な位置関係によって前記複数の駆動用磁石のそれぞれと前記従動用磁石とが近接又は離間するように構成されている場合にも効果的である。
　また、本発明は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部と、前記載置部の基板搬送方向上流側の部位に設けられ、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向下流側へ付勢する上流側付勢機構と、前記載置部の基板搬送方向下流側の部位に設けられ、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向上流側に位置する前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構とを備え、前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けたカム駆動面と、当該一対のカム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な一対の従動ローラと、当該一対の従動ローラの移動に応じて前記基板搬送方向に直線的に移動する付勢部とを有する従動機構部を備え、前記リンク機構が伸びた状態において、前記従動機構部の付勢部が当該搬送物の側部に当接せず、かつ、前記リンク機構が縮んだ状態では、当該従動機構部の付勢部が当該搬送物の側部に当接するように、前記従動機構部の付勢部の移動距離が設定され、前記上流側付勢機構及び前記下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで保持するように構成されている搬送装置である。
　本発明では、前記下流側付勢機構は、前記上流側付勢機構の従動機構部の移動に応じて前記基板搬送方向に移動するように設けられた一対の駆動部材と、当該一対の駆動部材の前記基板搬送方向下流側の端部にそれぞれ設けられたカム駆動面と、前記一対の駆動部材のカム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な把持部を有する従動係止部材とを備え、前記従動係止部材は、前記一対の駆動部材の当該基板搬送方向下流側への移動に伴い、前記把持部がそれぞれ当該基板搬送方向上流側へ回転移動して起立するように構成されるとともに、前記リンク機構が伸びた状態において、前記従動係止部材の把持部が当該搬送物の側部に当接せず、かつ、前記リンク機構が縮んだ状態では、前記従動係止部材の把持部が当該搬送物の側部に当接するように、前記従動係止部材の付勢部の移動距離が設定されている場合にも効果的である。
　また、本発明は、真空槽と、上述したいずれかの搬送装置とを有し、上述した搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置である。

　本発明にあっては、載置部の基板搬送方向下流側の部位に、リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構を設け、下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで機械的に保持するようにしたことから、載置部上面での搬送物の滑りを抑制して（原理的には滑りなしで）、搬送物の高速搬送を実現することができる。

　また、付勢手段を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００～５００℃）場合であっても熱変質や変形なしに搬送物の滑りを抑制することができる。
　さらに、搬送物を把持する部分には摺動する部分がないので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。

　一方、本発明において、載置部の基板搬送方向上流側の部位に、リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、搬送物の側部と当接して搬送物を基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構が設けられている場合には、搬送物を基板搬送方向の両側から同時に把持することができるので、搬送物の滑りが発生せず、ダストも発生しない搬送装置を提供することができる。

　また、本発明において、下流側付勢機構には、カム方式の駆動部と、当該カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の下流側付勢部が設けられている場合には、カム機構の摺動部を搬送物である基板の下側に配置できるため、例えば摺動部で発生したダストによる基板表面の汚染を防止することができる。

　さらに、本発明において、下流側付勢機構には、リンク方式の駆動部と、当該リンク方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の下流側付勢部が設けられている場合には、リンク機構の摺動部を搬送物である基板に対して離間した位置に配置できるため、例えば摺動部で発生したダストによる基板表面の汚染を防止することができる。

　さらにまた、本発明において、下流側付勢部が二つ設けられ、各下流側付勢部に設けられた把持部が、第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている場合には、二つの把持部によってバランス良く基板を付勢して保持（把持）することができる。

　さらにまた、本発明において、上流側付勢機構が、リンク機構の駆動リンク部に設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えている場合には、カムとローラによって動力を伝達するので、簡素な構成で小型の搬送装置を提供することができるとともに、搬送物を把持する部分には摺動する部分が無いので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。

　本発明において、上流側付勢機構が、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられ回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材を有し、帯状の一体的な弾性部材からなる帯状付勢手段が、当該一対の隣接リンク部材に架け渡されて設けられている場合には、搬送物を把持する近傍には摺動する部分がなくなるので、搬送物を汚染するダストの発生を極限まで低減することができる。

　本発明において、上流側付勢機構が、リンク機構の駆動リンク部に設けられた駆動支持部と、当該駆動支持部によって駆動される従動機構部とを備え、従動機構部は、駆動支持部と係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部と、当該従動部に連結され当該従動部の長溝状摺動部内における前記駆動支持部の移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部とを有する場合には、スライド機構によって動力を伝達するので、簡素な構成で小型の搬送装置を提供することができるとともに、搬送物を把持する部分には摺動する部分が無いので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。

　本発明において、上流側付勢機構は、駆動リンク部に極性の異なる複数の駆動用磁石が設けられるとともに、従動機構部には単一の極性の従動用磁石が設けられ、駆動リンク部と従動機構部との相対的な位置関係によって複数の駆動用磁石のそれぞれと従動用磁石とが近接又は離間するように構成されている場合には、駆動リンク部から従動機構部に対する駆動力を非接触で伝達することができるので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。

本発明に係る搬送装置の概要の構成を模式的に示す平面図（ａ）：本発明における上流側付勢機構の従動機構部の例を示す構成図、（ｂ）：同上流側付勢機構の全体を示す構成図（ａ）（ｂ）：同上流側付勢機構の動作原理及び構成を詳細に説明する図同下流側付勢機構及び上流側付勢機構を示す平面図（ａ）：同下流側付勢機構の要部を示す平面図、（ｂ）：同下流側付勢機構の要部を示す部分断面図（ａ）：同下流側付勢機構の要部を示す平面図、（ｂ）：同下流側付勢機構の要部を示す部分断面図（ａ）～（ｃ）：本例における搬送装置の動作を示す説明図本発明の他の例における上流側付勢機構及び下流側付勢機構を示す平面図（ａ）（ｂ）：同下流側付勢機構の要部を示す平面図本発明における上流側付勢機構の他の例を示す図上流側付勢機構の他の例の要部を示す部分断面側面図上流側付勢機構の更なる他の例の要部を示す構成図上流側付勢機構の更なる他の例の要部を示す構成図（ａ）（ｂ）：上流側付勢機構の更なる他の例の要部の構成及び動作を示す図（ａ）：本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の全体を示す構成図、（ｂ）：図１５（ａ）のＡ－Ａ線断面図同例の動作原理及び構成を詳細に説明する図（ａ）（ｂ）：本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の構成及び動作を示す図（ａ）（ｂ）：本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の構成及び動作を示す図従来技術に係る搬送装置の概略構成図従来技術に係る搬送装置の要部概略構成図

１Ｌ…第１の左アーム、１Ｒ…第１の右アーム、２Ｌ…第２の左アーム、２Ｒ…第２の右アーム、３Ｌ…第３の左アーム（駆動リンク部）、３Ｒ…第３の右アーム（駆動リンク部）、４…動力伝達機構、５…載置部、６…従動機構部、６ａ…付勢部、７…下流側付勢機構、８Ａ…搬送室、８Ｂ…処理室、９…上流側付勢機構、１０…基板（搬送物）、２０…リンク機構、３１Ｌ、３１Ｒ…カム駆動面、５０…搬送装置、７３０…把持部

　以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
　図１は、本発明に係る搬送装置の概要の構成を模式的に示す平面図である。
　図１に示すように、本発明の搬送装置５０は、例えば真空処理槽内において搬送物である基板１０の搬送を行う所謂フロッグレック方式のもので、以下に説明するリンク機構２０を駆動するための鉛直方向に同心状に配設した第１及び第２の駆動軸１１、１２を有している。

　これら各駆動軸１１、１２は、独立した第１及び第２の駆動源Ｍ１、Ｍ２からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達されるように構成されている。
　第１の駆動軸１１には第１の左アーム１Ｌの一方の端部（基端部）が固定され、第２の駆動軸１２には、第１の右アーム１Ｒの一方の端部（基端部）が固定されている。

　第１の左アーム１Ｌの他方の端部（先端部）には、第２の左アーム２Ｌの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
　第１の右アーム１Ｒの他方の端部（先端部）には、第２の右アーム２Ｒの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。

　本実施の形態では、これら第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒは、直線状に形成され、同一の支点間距離を有するように構成されている。
　第２の左アーム２Ｌは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の左アーム３Ｌの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｌで固定されている。
　第２の右アーム２Ｒは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の右アーム３Ｒの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｒで固定されている。

　ここで、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒは、駆動リンク部を構成するもので、ほぼ「く」字状に形成されており、それぞれの屈曲部分の凸部がリンク外方側に向けられて配置されている。
　また、第３の左アーム３Ｌの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の表面に設けられた支軸２３Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。

　一方、第３の右アーム３Ｒの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の例えば表面側に設けられた支軸２３Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
　本実施の形態においては、第２の左アーム２Ｌの支軸２１Ｌから第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌの支点間距離と第２の右アーム２Ｒの支軸２１Ｒから第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒの支点間距離は、同一の距離を有するように構成されている。

　また、動力伝達機構４は、例えば矩形薄型箱形状のハウジング内に互いに噛み合う一対の歯車を有している（図示せず）。
　これらの歯車は同一の歯数を有し、それぞれの回転軸が、上述した支軸２３Ｌ、２３Ｒに固定され、これにより、姿勢制御機構として作用すべく逆方向に同一速度で回転するように構成されている。

　これら支軸２３Ｌ、２３Ｒは、基板の搬送方向に対して直交する方向に近接して配置されている。
　本発明の場合、特に限定されることはないが、バランスよく搬送物を保持する観点からは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向（矢印Ｐ方向）に対して直交する位置に支軸２３Ｌ、２３Ｒを配置するように構成することが好ましい。

　動力伝達機構４の基板搬送方向下流側には、所謂エンドエフェクタである載置部５が設けられている。
　この載置部５は、所定の間隔をおいて設けた支持部材５Ｌ、５Ｒを有している。
　一方、本発明では、支持部材５Ｌ、５Ｒの基板搬送方向下流側の端部において基板１０を把持するための下流側付勢機構７が設けられている。

　この下流側付勢機構７は、後述するように、リンク機構２０を構成する第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの動作に伴い、載置部５の基板搬送方向下流側の部位において、それぞれ基板１０の側部と当接して基板１０をリンク機構２０に向かう方向（基板搬送方向上流側）へ付勢するように構成されている（符号ｆ１、ｆ２で示す）。

　さらに、本発明では、載置部５の基板搬送方向上流側の部位に、上流側付勢機構９が設けられている。
　この上流側付勢機構９は、以下に説明するように、リンク機構２０の第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０を基板搬送方向へ付勢するように構成されている（符号Ｆで示す）。

　図２（ａ）は、本発明における上流側付勢機構の従動機構部の例を示す構成図、図２（ｂ）は、同上流側付勢機構の全体を示す構成図、図３（ａ）（ｂ）は、上流側付勢機構の動作原理及び構成を詳細に説明する図。
　なお、図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）においては、後述する図４に示すように、従動機構部６の本体部６０に下流側付勢機構７の基部７１が取付固定されているが、ここでは便宜上、下流側付勢機構７についての説明を省略する。

　図２（ｂ）に示すように、本例においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒはその先端部がそれぞれ半円形状に形成され、各先端部の基板搬送方向下流側の部分に、円弧状のカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒが設けられている。そして、これら第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒと、図２（ａ）に示す従動機構部６とを有して上流側付勢機構９が構成されている。

　ここで、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの例えば上面側をそれぞれ段状に切り欠くことによって、基板搬送方向下流側方向に関して凸となる円弧状に形成されている。
　そして、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、各先端部側の変位量（支軸２３Ｌと内側当接面３１Ｌ１間の距離、支軸２３Ｒと内側当接面３１Ｒ１間の距離）ｒ１が、各基端部側の変位量（支軸２３Ｌと外側当接面３１Ｌ０間の距離、支軸２３Ｒと外側当接面３１Ｒ０間の距離）ｒ０より小さくなるように構成されている（ｒ１＜ｒ０）。

　なお、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように形成されている。
　一方、本例の従動機構部６は、好ましくはステンレス等の金属部材から構成されるもので、直線棒状の本体部６０を有している。

　従動機構部６の本体部６０の一端部には、例えば台形形状の支持部材６１が取り付けられ、この支持部材６１の台形底辺の両端部には、例えば同一の径を有する真円形の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒがそれぞれ設けられている。
　ここで、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒは、例えば、本体部６０の延びる方向の直線に対して線対称となるように配置され、当該本体部６０を含む平面に対して直交する方向の支軸６３Ｌ、６３Ｒを中心として回転するように構成されている。

　従動機構部６の本体部６０の他端部には、例えば凸状（ここではピン形状）の付勢部６ａが取り付けられている。この付勢部６ａの先端部は、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
　また、従動機構部６の本体部６０の中腹部と上述した支持部材６１との間には、当該本体部６０の周囲に圧縮コイルばね６４が装着されている。この圧縮コイルばね６４は、その先端部分が支持部材６１に固定されている。

　そして、本例では、図２（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒをそれぞれ当接させた状態で、例えば載置部５の表面に設けたガイド部材６５によって案内されることにより、従動機構部６の本体部６０が第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に直線移動するように構成されている。

　この場合、従動機構部６の本体部６０に装着された圧縮コイルばね６４は、その付勢部６ａ側の先端部分がガイド部材６５に当接して係止され、その弾性力によって従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに対して押圧するようになっている。

　次に、図３（ａ）（ｂ）を用いて、上流側付勢機構の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　本例では、リンク機構２０が伸びた状態において、図３（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。
　一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図３（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。

　このような構成において、リンク機構２０が伸びた状態において、図３（ａ）に示すように、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さ（ここでは、付勢部６ａの先端部から従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの内側当接面３１Ｌ１、３１Ｒ１までの距離）を設定するとともに、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｌ、３０Ｒの角度、上記カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの変位量ｒ１を設定して、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒの各内側当接面３１Ｌ１、３１Ｒ１と基板１０の側部との距離を定めこれを距離Ｄとする。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態では、図３（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が１８０度より小さくなり、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに沿ってそれぞれ外側当接面３１Ｌ０、３１Ｒ０側に移動し、これにより、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒと各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒ間の距離が大きくなる（ｒ０＞ｒ１）。

　この場合、本例では、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒと各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの接触部分と各支軸２３Ｌ、２３Ｒを結ぶ直線の基板搬送方向に対する角度が、リンク機構２０が伸びた状態に比べてリンク機構２０が縮んだ状態の方が小さいため（θ０＜θ１　）、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの縮み方向への回転に伴い、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒの接触端部と搬送すべき基板１０の側部との距離が小さくなる（ｒ０・ｃｏｓθ０＞ｒ１・ｃｏｓθ１、すなわち、ｄ＜Ｄ）。

　その結果、従動機構部６の基板搬送方向下流側の部分（付勢部６ａ）が、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、基板搬送方向への力Ｆが作用する。
　本例では、上記動作の際に圧縮コイルばね６４の搬送方向下流側の部分がガイド部材６５に当接して圧縮されるため、圧縮コイルばね６４の弾性力によって従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに押し付けられて密着し、これにより従動機構部６がガイド部材６５に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動する。

　図４は、本例における下流側付勢機構及び上流側付勢機構を示す平面図、図５（ａ）は、同下流側付勢機構の要部を示す平面図、図５（ｂ）は、同下流側付勢機構の要部を示す部分断面図、図６（ａ）は、同下流側付勢機構の要部を示す平面図、図６（ｂ）は、同下流側付勢機構の要部を示す部分断面図である。

　図４に示すように、本例では、載置部５の基板搬送方向下流側の部位に左下流側付勢部７０Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒを有する下流側付勢機構７が設けられている。
　ここで、下流側付勢機構７は、上述した従動機構部６の本体部６０に取付固定された、基板搬送方向（矢印Ｐ方向）と直交する方向に延びる直線棒状の基部７１を有している。

　この基部７１は、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの間隔とほぼ等しい長さを有し、左支持部材５Ｌには、基板搬送方向に延びる直線棒状の左駆動部材７１Ｌが取付固定され、右支持部材５Ｒには、基板搬送方向に延びる直線棒状の左駆動部材７１Ｒが取付固定されている。
　本例の場合、これら左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、それぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒに沿ってそれぞれの下側に配置されている。

　また、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
　そして、載置部５の左右の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、左下流側付勢部７０Ｌ、右下流側付勢部７０Ｒが設けられている。本例では、上述した基部７１、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒによって駆動機構が構成され、リンク機構２０の動作に伴い、左下流側付勢部７０Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒをそれぞれ駆動するように構成されている。
　ここで、左下流側付勢部７０Ｌと右下流側付勢部７０Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成され、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。

　以下、図４、図５（ａ）（ｂ）及び図６（ａ）（ｂ）を用い、適宜右下流側付勢部７０Ｒを例にとって本発明における下流側付勢機構の構成及び動作を説明する。
　図５（ａ）（ｂ）に示すように、本例の右下流側付勢部７０Ｒは、支持部材５Ｒの下部に取り付けた例えば箱状の保持部５１を有している。
　この保持部５１の底部５１ａ上には、上述した右駆動部材７１Ｒが、水平方向に向けて支持されるようになっている。

　そして、保持部５１の両側に設けられた側壁部５１ｂには、基板搬送方向に対して直角方向に延び且つ水平方向に向けられた支軸７２Ｒが回転可能に支持されている。
　この支軸７２Ｒには、右下流側付勢部７０Ｒを構成する右クランプ係止部材７３Ｒが取付固定されている。

　この右クランプ係止部材７３Ｒは、ほぼ「Ｌ」字状に形成され、鉛直上方に延びる把持部７３０と、支軸７２Ｒに対して基板搬送方向下流側に延びるカム従動部７３１とから構成される。
　ここで、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０は、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから先端部分が上方に突出するように構成されている。
　そして、カム従動部７３１より長さ即ち支点間距離が長くなるように形成され、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから先端部分が上方に突出するように構成されている。

　本例においては、図５（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の基板搬送方向下流側の部分には、弾性部材である例えば引張コイルばね７５の一端部が取り付けられ、さらに、この引張コイルばね７５の他端部は、支持部材５Ｒ上の基板搬送方向下流側の位置に設けられた取付部材７６に取り付けられている。
　そして、図５（ｂ）に示すように、引張コイルばね７５が、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０を基板搬送方向下流側に引っ張るように構成されている。

　また、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０には、基板搬送方向に対して所定の角度（例えば搬送すべき基板１０の内方側に４５°程度）傾斜させた例えば平面形状の把持面７３２が設けられている。
　なお、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。

　一方、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１は、支軸７２Ｒに対して若干下方に向けて形成され、支軸７２Ｒの直下の部分とカム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０（及び以下に説明するカム駆動面７１１）に対して接触するように構成されている。
　そして、カム従動部７３１は、その先端部の形状がアール形状に形成されている。

　本例の場合、このカム駆動面７１１は、凹部状に形成され、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の下面７３４に対してはまり合う凹曲面形状に形成されている。
　なお、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１と駆動部材７１Ｒの上面７１０とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。

　一方、左下流側付勢部７０Ｌは、上述した右下流側付勢部７０Ｒと同一構成で、図４に示すように、基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置された支軸７２Ｌ、左クランプ係止部材７３Ｌ、開口部７４Ｌを有し、左クランプ係止部材７３Ｌには、把持部７３０、カム従動部７３１及び把持面７３２が設けられている。
　また、駆動部材７１Ｌは、上述した駆動部材７１Ｒと同一の構成を有し、図示はしないが、その上面には、左クランプ係止部材７３Ｌのカム従動部７３１の下面７３４に対してはまり合う凹曲面形状のカム駆動面７１１が形成されている。

　次に、図４、図５（ａ）（ｂ）及び図６（ａ）（ｂ）を用いて、下流側付勢機構の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　本例の場合、リンク機構２０が伸びた状態においては、上述したように、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。

　この状態では、従動機構部６の本体部６０に固定された基部７１は基板搬送方向上流側の所定位置に位置し、これにより左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒも、基板搬送方向上流側の所定位置に位置する。
　そこで、このような位置関係において、例えば、図５（ａ）（ｂ）に示すように、右駆動部材７１Ｒに設けられたカム駆動面７１１の底部分と右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１とが、基板搬送方向に関して重なる位置となるように、右駆動部材７１Ｒの長さ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の長さ、右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の長さ、位置及び形状を設定する。

　この状態では、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が引張コイルばねによって基板搬送方向に引っ張られるため、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向に倒れる方向に回転し、これにより右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部分に押し付けられ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部分に当接して静止状態となる。

　そして、図５（ａ）に示すように、この状態において、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に対して離間するように、支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
　一方、この状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０と共に基部７１と左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒが基板搬送方向（矢印Ｐ方向）へ移動する。

　これにより、図６（ａ）（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１から脱出し、カム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０に当接することにより、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が、支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向と反対方向、すなわち、起立する方向へ回転する。

　そして、本例においては、図４に示すように、リンク機構２０が縮んだ状態において、図６（ａ）に示すように、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が当接するように、上述した支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。

　この場合、左下流側付勢部７０Ｌについても、右下流側付勢部７０Ｒと同様に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２が基板１０の縁部と当接するように、駆動部材７１のカム駆動面７１１に対し、支軸７２Ｌの位置、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。

　本発明の場合、特に限定されることはないが、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒの移動距離、即ち従動機構部６の移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離（ストローク）が小さくなるように設定することが好ましい。

　このような構成を有する本例によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図４に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、左下流側付勢部７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒからリンク機構２０に向かう方向で基板１０内方への力ｆ１、ｆ２が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流側及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。

　このリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
　なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２とが基板１０の縁部に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。

　ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。

　特に、本例においては、左下流側付勢部７０Ｌ（左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２）及び右下流側付勢部７０Ｒ（右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２）が、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、バランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。

　さらにまた、本例においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２のタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。

　図７（ａ）～（ｃ）は、本例における搬送装置の動作を示す説明図である。
　ここでは、搬送室８Ａから処理室８Ｂ内に基板１０を搬入する場合を例にとって説明する。なお、搬送室８Ａ及び処理室８Ｂは、図示しない真空排気系に接続されている。また、搬送室８Ａと処理室８Ｂ間には図示しないゲートバルブが接続されており、そのゲートバルブが開いた後、搬入、搬出動作を行う。

　まず、図７（ａ）に示すように、上述した如くリンク機構２０を縮ませて基板１０を保持した状態で、載置部５の先端部を処理室８Ｂ側に向ける。
　この状態では、上述したように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力が作用するとともに、従動機構部６からの動力により、基部７１、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒを介して、左下流側付勢部７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒからリンク機構２０へ向かう方向に力が作用するため、載置部５上において基板１０が把持されている。

　この状態から第１の左アーム１Ｌを時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを反時計回り方向へ回転させることにより、リンク機構２０の伸び動作が開始され、図７（ｂ）に示すように、基板１０は処理室８Ｂに向って直進する。
　さらに、リンク機構２０の伸び動作を継続することにより、図７（ｃ）に示すように、基板１０を処理室８Ｂ内に搬入する。

　この状態では、上述したように、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部、並びに左下流側付勢部７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒと基板１０の側部とが接触しない状態となるため、処理室８Ｂに設置されている図示しない昇降機構によって基板１０を支持して上昇させることにより、基板１０を搬送装置５０の載置部５から離脱させることができる。

　なお、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部、並びに左下流側付勢部７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右下流側付勢部７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒと基板１０の側部との接触を解除するタイミングは、リンク機構２０が伸び切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が伸び切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
　その後、第１の左アーム１Ｌを反時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを時計回り方向へ回転させてリンク機構２０の縮み動作を行うことにより、載置部５を搬送室８Ａ内に戻すことができる。

　以上述べたように本例にあっては、載置部５の左右の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に左下流側付勢部７０Ｌ、右下流側付勢部７０Ｒを有する下流側付勢機構７を設けるとともに、リンク機構２０の動作先端部にカム機構によって動作する上流側付勢機構９を設け、左クランプ係止部材７３Ｌ及び右クランプ係止部材７３Ｒと、従動機構部６の付勢部６ａとによって基板１０を基板搬送方向の両側から挟んで機械的に保持するようにしたことから、載置部５上面での基板１０の滑りを抑制して（同時に把持される場合には原理的には滑りなしで）、基板１０の高速搬送を実現することができる。

　また、左下流側付勢部７０Ｌ、右下流側付勢部７０Ｒ及び従動機構部６を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００～５００℃）場合であっても熱変質や変形なしに基板１０の滑りを抑制することができる。
　さらに、左クランプ係止部材７３Ｌ、右クランプ係止部材７３Ｒ及び従動機構部６の付勢部６ａは凸状の部材であり、基板１０を把持する部分には摺動部がなく、しかも基板１０の滑りが殆どないので、基板１０を汚染するダストの発生を低減することができる。
　さらにまた、本実施の形態によれば、カム機構の摺動部が基板１０の下側に配置されているため、この摺動部で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。

　図８及び図９（ａ）（ｂ）は、本発明の他の例を示すもので、図８は、上流側付勢機構及び下流側付勢機構を示す平面図、図９（ａ）（ｂ）は、同下流側付勢機構の要部を示す平面図である。以下、上記例と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
　図８に示すように、本例の下流側付勢機構８においては、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、リンク方式の付勢機構からなる、後述の下流側付勢部８１Ｌ、８１Ｒがそれぞれ設けられている。また、これら下流側付勢部８１Ｌ、８１Ｒを駆動するための駆動部材８０を有している。

　この駆動部材８０は、ほぼ「コ」字状の部材からなり、直線棒状の基部８０ａと、基部８０ａの両端部において基部８０ａと直交する方向にそれぞれ延びる直線棒状の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒとから構成されている。
　本例の場合、駆動部材８０は、基部８０ａが基板搬送方向と直交するように配置され、この基部８０ａを従動機構部６の本体部６０が貫通するように構成されている。そして、これにより従動機構部６の本体部６０と駆動部材８０とが、相対的に基板搬送方向及びその反対方向に移動できるように配置構成されている。

　また、駆動部材８０の基部８０ａの長さは載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒのピッチより長くなるように設定され、これにより、駆動部材８０を搬送装置５０に装着した場合に、左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒがそれぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒの外側に配置されるようになっている。

　ここで、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
　駆動部材８０は、以下に説明する動力伝達機構８２を介して、リンク機構２０の第３の右アーム３Ｒから力を受けるように構成されている。

　この動力伝達機構８２は、直線棒状の本体部８２ａを有し、この本体部８２ａの一方の端部が、上述した駆動部材８０の基部８０ａと直交する方向に向けて取付固定されている。
　この動力伝達機構８２の本体部８２ａの他端部には、真円形の従動ローラ８２ｂが水平面内において回転自在に支持されている。

　一方、第３の右アーム３Ｒには、図４に示す例の場合と比べてカム駆動面３１Ｒが、第３の右アーム３Ｒの先端部から後端部に向って長さが長く形成されている。
　そして、従動機構部６の右側に動力伝達機構８２を隣接配置し、その従動ローラ８２ｂをカム駆動面３１Ｒに当接させた状態で、例えば載置部５の表面に設けたガイド部材８２ｃによって案内されることにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａが基板搬送方向又はその反対方向に直線移動するように構成されている。

　さらに、本例では、動力伝達機構８２の本体部８２ａの基板搬送方向側の端部近傍に取付部材８２ｄが固定され、この取付部材８２ｄに棒状の固定ピン８２ｅを取り付け、さらに、この固定ピン８２ｅの一端部を駆動部材８０の基部８０ａに取付固定するとともに、固定ピン８２ｅの他方の端部分を例えばガイド部材８２ｃに固定することにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａと駆動部材８０の基部８０ａとが回転しないような構成が採用されている。

　一方、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌの先端部には、後述する左リンク部材８４Ｌの一端部が支軸８３Ｌを中心として水平面内において回転可能に支持され、また、駆動部材８０の右駆動部８０Ｒの先端部には、後述する右リンク部材８４Ｒの一端部が支軸８３Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。

　また、本体部８２ａには、例えばコイルばね８２ｆが取り付けられており、コイルばね８２ｆの一方の端部は、本体部８２ａに固定されているとともに、他方の端部はガイド部材８２ｃに当接している。このコイルばね８２ｆの力により本体部８２ａには基板搬送方向へ力が加わった状態となっているので、リンク機構２０が伸び状態にあるときに後述する把持部８６Ｌ、８６Ｒによる基板１０の把持が解除される。

　これら左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、共にほぼ「Ｌ」字状の同一形状の部材からなり、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ又は右駆動部８０Ｒによって支持されない側の先端部に、例えばアール形状の把持部８６Ｌ、８６Ｒが、本体部分と直交する方向に延びるように設けられている。

　さらに、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの中腹部が、載置部５の各支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部に設けられた支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。ここで、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、基板搬送方向と反対方向に向けて配置されている。

　そして、このような構成により、左下流側付勢部８１Ｌ及び右下流側付勢部８１Ｒの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
　なお、把持部８６Ｌ、８６Ｒの基板１０の縁部とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。

　次に、図８及び図９（ａ）（ｂ）を用いて、本例の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　なお、本例の場合、左下流側付勢部８１Ｌと右下流側付勢部８１Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成されており、以下、適宜右下流側付勢部８１Ｒを例にとって本発明におけるリンク方式の下流側付勢部の構成及び動作を説明する。

　本例においては、図４に示す例と同様に、リンク機構２０が伸びた状態においては、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。
　そして、リンク機構２０が縮んだ状態では、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、従動機構部６の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触するように構成されている。

　本例の動力伝達機構８２は、上述した従動機構部６と共に同一方向へ移動するように構成されている。
　すなわち、リンク機構２０が伸びた状態においては、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図９（ａ）に示すように、把持部８６Ｒが基部１０の縁部に接触しないように、第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに右駆動部８０Ｒの長さ、右リンク部材８４Ｒ（把持部８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。

　左リンク部材８４Ｌについても、把持部８６Ｌが基部１０の縁部に接触しないように、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌの長さ、左リンク部材８４Ｌ（把持部８６Ｌ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌの位置をそれぞれ設定する。
　なお、本発明においては、特に限定されることはないが、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図９（ａ）に示すように、把持部８６Ｒの基板１０との接触部分と支持部材５Ｒの支軸８５ＲのピッチＰ１が、支持部材５Ｒの支軸８５Ｒと右駆動部８０Ｒの支軸８３ＲのピッチＰ２より小さくなるように構成することが好ましい。

　一方、左リンク部材８４Ｌについても、図示はしないが、同様に、把持部８６Ｌの基板１０との接触部分と支持部材５Ｌの支軸８５Ｌのピッチが、支持部材５Ｌの支軸８５Ｌと右駆動部８０Ｌの支軸８３Ｌのピッチより小さくなるように構成することが好ましい。
　このような構成により、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することができる。

　本例において、リンク機構２０が伸びた状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０が基板搬送方向へ移動するとともに、第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｒからの力が動力伝達機構８２を介して駆動部材８０の基部８０ａに伝達され、これにより駆動部材８０が基板搬送方向（矢印Ｐ方向）へ移動する。
　その結果、左リンク部材８４Ｌ、右リンク部材８４Ｒが、支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として把持部８６Ｌ、８６Ｒが基板搬送方向と反対方向へ移動するように回転する（図９（ｂ）参照）。

　そこで、本例においては、リンク機構２０が縮んだ状態において、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒが当接するように、上述した第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌ及び右駆動部８０Ｒの長さ、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４（把持部８６Ｌ、８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌ、８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。

　このような構成を有する本例によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図８に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、動力伝達機構８２の本体部８２ａからの動力により、駆動部材８０を介して、左下流側付勢部８１Ｌの左リンク部材８４Ｌ及び右下流側付勢部８１Ｒの右リンク部材８４Ｒからリンク機構２０に向かう方向で基板１０内方への力ｆ３、ｆ４が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。

　なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒとが基板１０に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
　ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒが基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。

　さらに、本例においては、左下流側付勢部８１Ｌの把持部８６Ｌ及び右下流側付勢部８１Ｒの把持部８６Ｒが、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒによってバランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。

　さらにまた、本例においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒのタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。
　加えて、本例によれば、リンク機構の摺動部が基板１０に対して離間した位置に配置されているため、この摺動部で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。
　その他の構成及び作用効果については上述の例と同一であるのでその詳細な説明を省略する。

　図１０～図１３は、本発明における上流側付勢機構の他の例を示すもので、以下、上述した例と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
　なお、図１０～図１３に示す例においては、従動機構部６の本体部６０に例えば図４に示す下流側付勢機構７の基部７０が取付固定されているが、ここでは便宜上下流側付勢機構７の説明を省略する。

　図１０は、上流側付勢機構の従動機構部に、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
　図１０に示すように、本例では、従動機構部６の付勢部６ａの支持部６６が本体部６０の延びる方向に沿って移動するように構成され、これら本体部６０の先端部と付勢部６ａとの間の支持部６６の周囲には、圧縮コイルばね（減勢部材）６７が装着されている。そして、付勢部６ａの先端部に本体部６０方向への力が作用した場合に圧縮コイルばね６７の弾性力に抗して付勢部６ａが本体部６０方向へ移動するように構成されている。
　このような構成を有する本例によれば、基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができるので、種々の搬送物や装置構成に応じて設計の自由度が大きくなり汎用性が高くなるというメリットがある。

　図１１は、上流側付勢機構の他の例の要部を示す部分断面側面図で、動力伝達機構４の下方に第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒが位置するように構成したものである。
　図１１に示すように、本例においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの先端部に、上述した構成の従動機構部６が配設され、その本体部６０が基板搬送方向に沿って直進移動するように構成されている。
　従動機構部６の本体部６０の先端部には、減勢部材６ｂが取り付けられている。この減勢部材６ｂは、例えばステンレス等の金属からなる板状の弾性材料から構成され、本体部６０の先端部から上方に向けて配設されている。

　そして、減勢部材６ｂの先端部には例えば凹部形状の付勢部６ｃが設けられ、この付勢部６ｃが、載置部５に設けた孔部５ａを介して載置部５上に突出して、従動機構部６の移動に伴い、基板１０の側部に対して付勢部６ｃの凹面部分が当接又は離間するように構成されている。
　このような構成を有する本例によれば、上記例同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができる。

　加えて、本例によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ付勢機構として使用することができる。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ付勢機構として前述した図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）の構成を使用することができる。

　図１２は、上流側付勢機構の更なる他の例の要部を示す構図で、従動機構部の付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
　図１２に示すように、本例は、図１０に示す例の変形例であり、従動機構部６の本体部６０の先端部に、例えば本体部６０の延びる方向と直交する方向に延びる直線棒状の取付部材６７が固定され、この取付部材６７の両端部に、例えばステンレス等の金属からなる帯状リング状の二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅが、取付部材６７から基板搬送方向下流側に突出するように取り付けられている。

　ここで、二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅは、同一の大きさ及び形状に形成され、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
　このような構成を有する本例によれば、図１０に示す例と同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができることに加え、基板搬送方向に対して線対称に配置された二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅによって基板１０を付勢するため、バランス良く基板１０を保持（把持）することができるというメリットがある。

　なお、本例では、図１１に示す例のように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒ並びに従動機構部６を動力伝達機構４の下方に位置するように構成することも可能である。
　この場合は、図１１に示す例と同様に載置部５に孔部（図示せず）を設け、この孔部を介して取付部材６８及び減勢付勢部６ｄ、６ｅを載置部５の上方に位置させ、基板１０の側部に対して減勢付勢部６ｄ、６ｅが当接又は離間するように構成するとよい。

　このような本例によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ付勢機構として使用できるというメリットがある。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ付勢機構として前述した図１２の構成そのものを使用することができる。

　図１３は、上流側付勢機構の更なる他の例の要部を示す構成図である。
　上述した図２（ｂ）に示す例においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、各先端部側の変位量ｒ１が、各基端部側の変位量ｒ０より小さくなるように構成されている（ｒ１＜ｒ０）。

　しかし、例えば図７（ａ）～（ｃ）に示されたような処理室８Ｂを複数有する搬送装置では、処理室８Ｂの内部構成により、基板１０の受け渡し位置が必ずしも同じではなく、駆動軸１１，１２の中心軸から各処理室８Ｂの受け渡し位置までの距離が異なっている。
　ここで、受け渡し位置までの距離、即ち受け渡し距離が短い場合には、基板１０を受け渡しするときの基板１０のエッジと付勢部６ａの間隔が小さくなってしまい、基板１０のエッジに付勢部６ａが当たり、ダスト発生や基板ずれの問題が発生する可能性も考えられる。

　この問題を回避する方法として、例えば、図１３に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの先端部側の形状を、図中斜線部分で示すように所定の角度に亘って変位量が一定の形状、すなわち、例えば各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの先端部側の変位量ｒ１と同一の半径の円弧形状に形成することもできる。

　このような構成にすれば、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが図中斜線で示した半径ｒ１の範囲で各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに接しているときには、従動機構部６の本体部６０は基板搬送方向に直線運動しないので、受け渡し距離が短い場合でも長い場合でも、基板１０を受け渡しするときの基板１０のエッジと付勢部６ａを互いに接触することのない間隔に保つことができ、ダスト発生や基板ずれの問題を回避することができる。

　図１４（ａ）（ｂ）は、上流側付勢機構の更なる他の例を示す構成図である。以下、上述した例と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
　なお、本例においては、第３の右アーム３Ｒに上述したカム駆動面３１Ｒが形成されており、例えば図８に示すような下流側付勢機構８が載置部５に取り付けられているが、ここでは便宜上下流側付勢機構８についての説明を省略する。

　図１４（ａ）（ｂ）に示すように、本例においては、上流側付勢機構９Ａとして、第３の左アーム３Ｌの載置部５側の取付面３０Ｌと、第３の右アーム３Ｒの載置部５側の取付面３０Ｒとに、一連の弾性体からなる上流側付勢部材６Ａが架け渡すように取り付けられている。
　この上流側付勢部材６Ａは、好ましくは例えばステンレス等の金属材料から構成され、それぞれの端部が、例えばねじ等によって第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒに固定されている。そして、これにより、第３の左アーム３Ｌの載置部５側の取付面３０Ｌと、第３の右アーム３Ｒの載置部５側の取付面３０Ｒから基板搬送方向下流側に凸部形状となるようにその長さが設定されている。

　さらに、本発明の場合、真空中におけるダストの発生を防止する観点から、上流側付勢部材６Ａが動力伝達機構４の表面及び載置部５の表面に接触しないように、上流側付勢部材６Ａの材料を選択し、また上流側付勢部材６Ａの形状及び配置を定めることが好ましい。
　このような観点からは、上流側付勢部材６Ａの形状として、所定幅の帯状（ベルト状）に形成することがより好ましい。
　また、上流側付勢部材６Ａの取付位置は、載置部５の表面から上方に離間した位置で、上流側付勢部材６Ａの基板搬送方向下流側の部分が基板１０の側部に確実に接触するように設定することが好ましい。

　図１４（ａ）（ｂ）を用いて、本発明の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　図１４（ａ）（ｂ）に示すように、本例では、リンク機構２０が伸びた状態及び縮んだ状態においては、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒは、それぞれ基板搬送方向に対して傾斜した状態となるように構成する。

　ここで、リンク機構２０が伸びた状態においては、図１４（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。
　また、本発明の場合、特に限定されるものではないが、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒにおける上流側付勢部材６Ａの固定部３１０Ｌ、３１０Ｒ間の距離を、例えば、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの先端部側の支軸２３Ｌ、２３Ｒ間の距離より大きい距離Ｄとする。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図１４（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。
　このような構成において、リンク機構２０が伸びた状態では、図１４（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒ間に架け渡された上流側付勢部材６Ａの両端部近傍に対し、それぞれ内側方向へ巻き込む力（モーメント）Ｔが作用する。その結果、上流側付勢部材６Ａは、真円と比較して基板搬送方向につぶれた形状で静止した状態となる。

　そして、この状態において、上流側付勢部材６Ａの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、上流側付勢部材６Ａの形状、大きさ、材質を設定するとともに、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｌ、３０Ｒの角度、上流側付勢部材６Ａの固定位置（固定部３１０Ｌ、３１０Ｒ間距離）を設定する。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態では、図１４（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒにおける上流側付勢部材６Ａの固定部３１０Ｌ、３１０Ｒ間の距離ｄは、リンク機構２０が伸びた状態と比較して小さく（Ｄ＞ｄ）、しかも、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度は１８０度より小さくなるため、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒ間に架け渡された上流側付勢部材６Ａの両端部近傍に対し、それぞれ基板搬送方向下流側へ押し出す力（モーメント）ｔが作用する。
　その結果、上流側付勢部材６Ａの基板搬送方向下流側の部分（付勢部６ａ）が、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、基板搬送方向への力Ｆを作用させることができる。

　以上述べた本例にあっては、上流側付勢部材６Ａを帯状の部材とすることによって基板１０を把持する近傍には摺動部がなくなるので、基板１０を汚染するダストの発生を極限まで低減することができる。
　その他の構成及び作用効果については上述の例と同一であるのでその詳細な説明を省略する。

　図１５（ａ）は、本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の全体を示す構成図、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のＡ－Ａ線断面図である。以下、上述した例と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
　なお、本例においては、従動機構部６の本体部１６０に例えば図４に示す下流側付勢機構７の基部７０が取付固定されているが、ここでは便宜上下流側付勢機構７についての説明を省略する。

　図１５（ａ）に示すように、本例においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒはその先端部がそれぞれ半円形状に形成され、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの表側面１３０Ｌ、１３０Ｒにそれぞれ凸状の駆動支持部１３１Ｌ、１３１Ｒ（以下単に「駆動凸部」という。）が設けられ、これら駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒと従動機構部６Ｂとによってスライド機構による上流側付勢機構９Ｂが構成されている。

　本例では、駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒは、好ましくはステンレス等の金属材料からなり、第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌと、第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒから所定の距離だけ離れた位置に設けられている。この場合、駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向下流側に配置されている。

　なお、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように設けられている。
　本例の駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒは、後述する従動部６１の長孔６２と係合するもので、同一の構成を有している。

　図１５（ｂ）に示すように、各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの表側面１３０Ｌ、１３０Ｒに立設された支軸１３２Ｌ、１３２Ｒを中心として水平方向に回動自在に支持された円筒状の回転軸１３３Ｌ、１３３Ｒを有している。
　各回転軸１３３Ｌ、１３３Ｒの上部には、各回転軸１３３Ｌ、１３３Ｒより若干径の大きな例えば円板状の支持部１３４Ｌ、１３４Ｒが設けられている。

　一方、本例の従動機構部６Ｂは、好ましくはステンレス等の金属部材から構成されるもので、直線棒状の本体部１６０を有している。
　従動機構部６Ｂの本体部１６０の一端部には、例えば本体部１６０に対して直交する方向に延びる長方形平板状の従動部１６１が取り付けられている。この従動部１６１には、例えばその幅方向の中央領域に、従動部１６１の長手方向に沿って直線状に延びる長孔１６２が形成されている。

　図１５（ｂ）に示すように、従動部１６１の長孔１６２は、その幅が、上述の駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒの回転軸１３３Ｌ、１３３Ｒの直径より若干大きく、かつ、支持部１３４Ｌ、１３４Ｒの径より小さくなるように設定されている。
　また、従動部１６１の長孔１６２の長さは、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの回転に伴って移動する駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒ間の最大距離より長くなるように設定されている。

　このような構成により、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒを回転させると、各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒの駆動軸１３３Ｌ、１３３Ｒが、従動部１６１の長孔１６２内において係合摺動しつつその基板搬送方向上流又は下流側の開口縁部を押圧するようになっている。
　従動機構部６Ｂの本体部１６０の他端部には、凸状（例えばピン形状）の付勢部６ａが取り付けられている。この付勢部６ａの先端部は、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。

　本例では、図１５（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒを、従動機構部６Ｂの従動部１６１の長孔１６２に係合させた状態で、例えば載置部５の表側面に設けたガイド部材１６３によって案内されることにより、従動機構部６Ｂの本体部１６０が基板搬送方向又はその反対方向に直線移動するように構成されている。

　次に、図１６（ａ）（ｂ）を用いて、本例の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　以下、第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌと駆動凸部１３１Ｌの支軸１３２Ｌとの間の距離、及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒと駆動凸部１３１Ｒの支軸１３２Ｒとの間の距離をそれぞれｒとした場合を考える。

　本例では、リンク機構２０が伸びた状態において、図１６（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの先端部のなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。
　この状態において、従動機構部６Ｂの従動部１６１の長孔１６２に係合させた第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒが、当該長孔１６２内において両端部に位置するように、従動部１６１の長孔１６２の大きさ、各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒの位置を定める。

　そして、従動機構部６Ｂの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６Ｂの基準長さ（ここでは、付勢部６ａの先端部から駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒの支軸１３２Ｌ、１３２Ｒまでの距離）を設定する。
　本例では、例えば各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向に対して直交する方向で外方側に位置するように構成する（基板搬送方向に対する角度θ１）。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図１６（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの先端部のなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。
　この状態では、駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒが、それぞれ第３の左アーム３Ｌ又は第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒを中心として互いに接近する方向に回転移動している。

　ここで、基板搬送方向に対する角度θ０が、リンク機構２０が伸びた状態における基板搬送方向に対する角度θ１より絶対値で小さくなるように、例えば、各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向の垂直方向の内方側に位置するように、上述した各部材の大きさ・形状・位置を設定する。

　このような構成において、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの縮み方向へ回転させると、各駆動凸部１３１Ｌ、１３１Ｒが基板搬送方向下流側に移動して従動部１６１の長孔１６２の開口縁部を押圧し、従動機構部６Ｂが基板搬送方向下流側に移動して、付勢部６ａと搬送すべき基板１０の側部との距離が小さくなる（ｒ・ｃｏｓθ０＞ｒ・ｃｏｓθ１、すなわち、ｄ＜Ｄ）。

　その結果、従動機構部６Ｂの基板搬送方向下流側の部分（付勢部６ａの先端部）が、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、基板搬送方向への力Ｆを作用させることができる。

　図１７（ａ）（ｂ）は、本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の構成及び動作を示す図で、図１７（ａ）は、リンク機構２０が伸びた状態を示すもの、図１７（ｂ）は、リンク機構２０が縮んだ状態を示すを示すものである。
　なお、本例においては、上流側付勢機構９Ｃを構成する従動機構部６Ｃの本体部６０に例えば図４に示す下流側付勢機構７の基部７０が取付固定されているが、ここでは便宜上下流側付勢機構７の説明を省略する。

　図１７（ａ）（ｂ）に示すように、本例の上流側付勢機構９Ｃは、図１５（ａ）（ｂ）の変形例であり、従動部１６１Ａには、従動部１６１Ａの第３の右アーム３Ｒ側に対応する領域にのみ長孔１６２Ａが設けられている。
　この従動部１６１Ａは、第３の左アーム３Ｌの表側面１３０Ｌに設けた支軸３５を中心として水平方向に回動自在に支持されている。本例では、支軸３５は、上述した駆動凸部１３１Ｌと同じ位置に設けられ、これにより従動部１６１Ａが一方の端部（左側の端部）を中心として回動するように構成されている。

　従動部１６１Ａの長孔１６２Ａは、従動部１６１Ａの長手方向に沿って直線状に延びるように形成され、第３の右アーム３Ｒに設けた駆動凸部１３１Ｒ（回転軸１３３Ｒ）と係合するように構成されている。
　また、本例の従動部１６１Ａは、従動機構部６Ｃの本体部１６０と分離されている。そして、従動部１６１Ａの基板搬送方向下流側の部位には、基板搬送方向に対して直交する方向に延び所定の大きさを有する駆動当接部１６１ａが設けられている。

　一方、従動機構部６Ｃの本体部１６０の付勢部６ａと反対側の端部には、上述した従動部１６１Ａの駆動当接部１６１ａと当接する従動当接部１６０ａが設けられている。
　また、従動機構部６Ｃの本体部１６０の付勢部６ａと反対側の端部には支持部１６０ｂが設けられ、この支持部１６０ｂと上述したガイド部材１６３との間には、当該本体部１６０の周囲に圧縮コイルばね１６６が装着されている。

　このような構成において、図１７（ａ）に示す伸び状態から第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを縮み方向へ回転させると、従動部１６１Ａが支軸３５を中心として時計回り方向に回転するとともに、駆動凸部１３１Ｒが反時計回り方向に回転し、これにより従動部１６１Ａが基板搬送方向下流側に移動する。
　そして、従動部１６１Ａの駆動当接部１６１ａが従動機構部６Ｃの本体部１６０の従動当接部１６０ａに当接しこれを基板搬送方向下流側に付勢することにより、従動機構部６Ｃが圧縮コイルばね１６６の弾性力に抗して基板搬送方向下流側に移動する。

　その結果、従動機構部６Ｃの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、基板搬送方向への力Ｆを作用させることができる。
　このような構成を有する本例によれば、従動機構部６Ｃの付勢部６ａに設けられた従動当接部１６０ａを適切な力で従動部１６１Ａの駆動当接部１６１ａに押し付けて密着させることができるので、従動機構部６Ｃを例えばガイド部材１６３に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動させることができる。

　加えて、本例によれば、従動部１６１Ａと本体部１６０が分離しているので、付勢部６ａが基板１０の側部と接触する部分の近傍のみで本体部１６０をスライドさせることができ、ガイド部材１６３と本体部１６０の摺動によるダストの発生を低減させることができるというメリットがある。

　図１８（ａ）（ｂ）は、本発明における上流側付勢機構の更なる他の例の構成及び動作を示す図で、以下、上述した例と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
　なお、本例においては、上流側付勢機構９Ｄを構成する従動機構部６の本体部６０に例えば図４に示す下流側付勢機構７の基部７０が取付固定されているが、ここでは便宜上下流側付勢機構７の説明を省略する。

　図１８（ａ）（ｂ）に示すように、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒはその先端部分がそれぞれ半径ｒの半円形状に形成され、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの最先端部に、当該端部側の面が例えばＮ極となるように配置された、例えば永久磁石からなる第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒがそれぞれ設けられている。

　また、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒには、その先端部分で基板搬送方向下流側の部位に、その表面が例えばＳ極となるように配置された、例えば永久磁石からなる第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒがそれぞれ設けられている。
　本例においては、第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒと、第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒは、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対してそれぞれ線対称となるように配置されている。

　一方、従動機構部６Ｄの本体部１６０には、付勢部６ａが設けられた側の反対側の端部に例えば本体部１６０より幅広の係止部１６７ａを有する支持部材１６７が設けられ、この支持部材の先端部に、当該端部側の面（側面及び底面）が例えばＳ極となるように配置された、例えば永久磁石からなる従動用磁石１６９が設けられている。
　また、従動機構部６Ｄの本体部１６０の中腹部と上述した支持部材１６７との間には、当該本体部１６０の周囲に圧縮コイルばね１６６が装着されている。この圧縮コイルばね１６６は、その先端部分が支持部材１６７の係止部１６７ａに固定されている。

　次に、図１８（ａ）（ｂ）を用いて、本例の上流側付勢機構の動作原理及び構成を詳細に説明する。
　本例では、リンク機構２０が伸びた状態において、図１８（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図１８（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。
　さらに、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒと従動機構部６Ｄとの相対的な位置関係によって、第１及び第２の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒ、３７Ｌ、３７Ｒと、従動用磁石１６９との位置関係（近接又は離間）が変化するように設定する。

　すなわち、リンク機構２０が伸びた状態において、図１８（ａ）に示すように、従動機構部６Ｄの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触せず、かつ、従動用磁石１６９が、上述した第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒに対して近接するように、従動機構部６Ｄの本体部１６０及び支持部材１６７の長さ、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの形状、第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒの配置位置を設定する。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態では、図１８（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒに設けた第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒが、従動機構部６Ｄの従動用磁石とそれぞれ対向するように第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒの配置位置を設定する。

　このような本例においては、リンク機構２０が伸びた状態において、図１８（ａ）に示すように、従動機構部６ＤのＳ極の従動用磁石１６９が、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３ＲのＮ極の第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒに対して近接するため、それぞれの磁力によって従動用磁石１６９と第１の駆動用磁石３６Ｌ、３６Ｒとが引き合い、これにより、従動機構部６Ｄが基板搬送方向上流側に引っ張られ、従動機構部６Ｄの付勢部６ａは、搬送すべき基板１０の側部と接触しない状態となり静止する。

　一方、リンク機構２０が縮んだ状態では、図１８（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３ＲのＳ極の第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒが、従動機構部６ＤのＳ極の従動用磁石１６９とそれぞれ対向するため、それぞれの磁力によって従動用磁石１６９と第２の駆動用磁石３７Ｌ、３７Ｒとが反発し合い、これにより、従動機構部６Ｄが基板搬送方向下流側に付勢され、その結果、従動機構部６Ｄの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、基板搬送方向への力Ｆが作用する。

　このような構成を有する本例によれば、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒから従動機構部６Ｄに対する駆動力を非接触で伝達することができるので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。
　なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。

　例えば、図２（ａ）（ｂ）に示す例においては、隣接する二つのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒとこれらに対応する二つの従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを組み合わせて上流側付勢機構９のカム機構を構成するようにしたが、本発明はこれに限られず、一つのカム駆動面とこれに対応する一つの従動ローラを組み合わせて上流側付勢機構９のカム機構を構成することもでき、また三つ以上のカム駆動面とこれらに対応する三つ以上の従動ローラを組み合わせて上流側付勢機構９のカム機構を構成することもできる。

　ただし、バランス良く基板１０を保持（把持）する観点からは、上記実施の形態のように、隣接する二つのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒとこれらに対応する二つの従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを組み合わせて上流側付勢機構９のカム機構を構成することが好ましい。

　なお、上流側付勢機構９のカム機構に関し、カム駆動面の形状、従動ローラの大きさ等については、本発明を適用する搬送装置に応じて適宜変更をすることができる。
　さらに、平行リンクアーム機構のようなそれぞれ相対的に平行移動する複数の隣接リンク部にカム駆動面を形成し、当該カム駆動面に沿って上流側付勢機構９を移動させ上述した動作によって搬送物を保持するように構成することも可能である。

　一方、下流側付勢機構に関し、図４に示す例においては、左下流側付勢部７０Ｌ、右下流側付勢部７０Ｒについて、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒ（特に各把持面７３２）を、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置したが、本発明はこれに限られず、基板１０に対してリンク機構２０に向かう方向へ付勢できる限り、同直線に対して非対称となるように配置することも可能である。

　また、図４に示す例においては、カム方式の下流側付勢部を二つ設けるようにしたが（左下流側付勢部７０Ｌ、右下流側付勢部）、基板１０の形状や大きさ、また装置構成等に応じてカム式付勢部を一つ又は三つ以上設けることもできる。
　他方、図８に示す例においては、左下流側付勢部８１Ｌの把持部８６Ｌ、右下流側付勢部８１Ｒの把持部８６Ｒを、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置したが、本発明はこれに限られず、基板１０に対してリンク機構２０に向かう方向へ付勢できる限り、同直線に対して非対称となるように配置することも可能である。

　また、図８に示す例においては、リンク方式の下流側付勢部を二つ設けるようにしたが（左下流側付勢部８１Ｌ、右下流側付勢部８１Ｒ）、基板１０の形状や大きさ、また装置構成等に応じてリンク式付勢部を一つ又は三つ以上設けることもできる。
　さらにまた、上述した実施の形態においては、移動可能な付勢部を有する上流側付勢機構を設けた場合について説明したが、本発明は、上流側付勢機構の代わりに載置部上に１又は２以上の係止部を設け、当該係止部と下流側付勢機構によって搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで機械的に保持することも可能である。

　ただし、搬送物をより確実に保持し、把持の際にできる限り搬送物を載置部上で移動させずダストの発生を防止する観点からは、上述したような上流側付勢機構及び下流側付勢機構によって搬送物を挟んで保持するように構成することが好ましい。
　加えて、本発明は、例えばＳｉウェハ等の円板形状の基板のみならず、例えばガラス基板等の矩形形状の基板や、楕円形状、多角形形状等の種々の基板の搬送に用いることができるものである。

Claims

　駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、
　前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、
　前記載置部の基板搬送方向下流側の部位に、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構が設けられ、
　前記下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで保持するように構成されている搬送装置。
　前記載置部の基板搬送方向上流側の部位に、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向下流側へ付勢する上流側付勢機構が設けられている請求項１記載の搬送装置。
　前記下流側付勢機構には、カム方式の駆動部と、当該カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の下流側付勢部とが設けられている請求項１記載の搬送装置。
　前記下流側付勢機構には、リンク方式の駆動部と、当該リンク方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の下流側付勢部が設けられている請求項１記載の搬送装置。
　前記下流側付勢部は、二つ設けられ、各下流側付勢部に設けられた把持部が、第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている請求項３又は４のいずれか１項記載の搬送装置。
　前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた請求項２記載の搬送装置。
　前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられ回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材を有し、帯状の一体的な弾性部材からなる帯状付勢手段が、当該一対の隣接リンク部材に架け渡されて設けられている請求項２記載の搬送装置。
　前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた駆動支持部と、当該駆動支持部によって駆動される従動機構部とを備え、
　前記従動機構部は、前記駆動支持部と係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部と、当該従動部に連結され当該従動部の長溝状摺動部内における前記駆動支持部の移動に応じて基板搬送方向に沿って案内移動される付勢部とを有する請求項２記載の搬送装置。
　前記上流側付勢機構は、前記駆動リンク部に極性の異なる複数の駆動用磁石が設けられるとともに、
　前記従動機構部には単一の極性の従動用磁石が設けられ、
　前記駆動リンク部と前記従動機構部との相対的な位置関係によって前記複数の駆動用磁石のそれぞれと前記従動用磁石とが近接又は離間するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
　駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、
　前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部と、
　前記載置部の基板搬送方向上流側の部位に設けられ、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向下流側へ付勢する上流側付勢機構と、
　前記載置部の基板搬送方向下流側の部位に設けられ、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を当該基板搬送方向上流側に位置する前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構とを備え、
　前記上流側付勢機構は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けたカム駆動面と、当該一対のカム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な一対の従動ローラと、当該一対の従動ローラの移動に応じて前記基板搬送方向に直線的に移動する付勢部とを有する従動機構部を備え、
　前記リンク機構が伸びた状態において、前記従動機構部の付勢部が当該搬送物の側部に当接せず、かつ、前記リンク機構が縮んだ状態では、当該従動機構部の付勢部が当該搬送物の側部に当接するように、前記従動機構部の付勢部の移動距離が設定され、
　前記上流側付勢機構及び前記下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで保持するように構成されている搬送装置。
　前記下流側付勢機構は、前記上流側付勢機構の従動機構部の移動に応じて前記基板搬送方向に移動するように設けられた一対の駆動部材と、当該一対の駆動部材の前記基板搬送方向下流側の端部にそれぞれ設けられたカム駆動面と、前記一対の駆動部材のカム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な把持部を有する従動係止部材とを備え、
　前記従動係止部材は、前記一対の駆動部材の当該基板搬送方向下流側への移動に伴い、前記把持部がそれぞれ傾斜した状態から当該基板搬送方向上流側へ回転移動して起立するように構成されるとともに、
　前記リンク機構が伸びた状態において、前記従動係止部材の把持部が当該搬送物の側部に当接せず、かつ、前記リンク機構が縮んだ状態では、前記従動係止部材の把持部が当該搬送物の側部に当接するように、前記従動係止部材の把持部の移動距離が設定されている請求項１０記載の搬送装置。
　真空槽と、
　駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、前記載置部の基板搬送方向下流側の部位に、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴い、当該搬送物の側部と当接して当該搬送物を前記リンク機構に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構が設けられ、前記下流側付勢機構による付勢によって当該搬送物を基板搬送方向の両側から挟んで保持するように構成されている搬送装置と、
　前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置。