TWI537109B - 搬送裝置及真空裝置 - Google Patents

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TWI537109B
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Description

搬送裝置及真空裝置
本發明，例如係有關於將基板等之搬送物作搬送之搬送裝置，特別是有關於適合使用在半導體製造裝置等之具備有複數之製程腔的真空裝置中之搬送裝置。
在半導體製造等之領域中，從先前技術起，便使用有如同圖19以及圖20中所示一般之基板搬送裝置201。
此基板搬送裝置201，係具備有驅動部202、和被與此驅動部202作連結且由複數之臂所成的臂部203、和被連結於此臂部203之前端處的末端作用器(end effector)204，並藉由末端作用器204之上面來將基板W之背面作支持，而構成為在複數之製程腔(未圖示)之間來進行基板W之授受。
末端作用器204，一般而言，係藉由陶瓷或者是不鏽鋼等來製作。故而，若是使臂部203以高速來進行伸縮動作或者是旋轉動作，則由於末端作用器204亦會以高速來動作，因此，受到被施加於基板W處之加速度的影響，基板W會在末端作用器204上滑動，而有著無法將基板W搬送至正確的位置處之問題。
再加上，在先前技術中，亦會有著當基板W在末端作用器204上滑動時所產生的塵埃會對於基板W之表面造成污染的問題。
因此，如圖20中所示一般，亦提案有：在末端作用器204之上面設置複數之保持部205，並在基板W背面之特定場所作接觸。
此保持部205，由於一般係藉由橡膠或者是彈性體等之樹脂系彈性材料所形成，因此，係對於基板W之背面的滑動作抑制，並作為止滑墊來起作用。藉由此，在末端作用器204之上面，基板W係並不會產生滑動，並以安定之搬送姿勢而被作保持(例如參考專利文獻1)。
於此，藉由彈性體等之樹脂系彈性材料所形成的保持部205，當基板W或者是周圍之氛圍溫度較低(例如200℃以下)的情況時，係能夠有效率地對於基板W之滑動作抑制，但是，當該溫度為高(例如300～500℃)的情況時，會有著保持部205由於熱而導致變質或者是變形並成為無法對於基板W之滑動作抑制的問題。
另一方面，當該溫度為較低(例如200℃以下)的情況時，亦會有著基板W由於保持部205之黏著力而作貼附，並成為無法使基板W從末端作用器204來適當地分離的事態。例如，當將基板W遞交至製程腔內之平台上時，會有著基板W並不會從保持部205而分離並造成碎裂的問題、或者是無法將基板W搬送至正確之位置處的問題。
進而，原理上，由於係藉由保持部205與基板W之間的摩擦力來對於基板W之滑動作抑制，因此，若是在基板W處被施加有超過由雙方之物質所決定的最大靜止摩擦力之加速度，則基板W會在末端作用器204上滑動。故而，係有著無法使搬送裝置201之動作速度增大至超過保持部205與基板W之間的最大靜止摩擦力之程度的問題。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕日本特開2002-353291號公報
本發明，係為了解決此種先前技術之課題而進行者，其目的係在於：不論當搬送物或者是周圍之氣體氛圍溫度較低的環境下、或者是該溫度為高的環境下，均能夠將搬送物確實地作保持，並謀求高速搬送。
又，本發明之其他目的，係在於提供一種能夠將搬送物之搬送時的塵埃盡可能地減少的技術。
為了達成上述目的，本發明，係為一種搬送裝置，其特徵為，係具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物，在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，係被設置有伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓之下流側推壓機構，並構成 為經由以前述下流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
在本發明中，當於前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，係被設置有伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向來作推壓之上流側推壓機構的情況時，亦為有效。
在本發明中，當在前述下流側推壓機構處，係被設置有凸輪方式之驅動部、在前述下流側推壓機構處，係被設置有經由前述凸輪方式之驅動部而被作驅動的凸輪方式之下流側推壓部的情況時，亦為有效。
在本發明中，當在前述下流側推壓機構處，係被設置有連桿方式之驅動部、在前述下流側推壓機構處，係被設置有與前述連桿方式之驅動部相卡合並被作驅動的連桿方式之下流側推壓部的情況時，亦為有效。
在本發明中，當前述下流側推壓部，係被設置有2個，被設置在各下流側推壓部處之把持部，係以相對於通過第1以及第2驅動軸之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作配置的情況時，亦為有效。
在本發明中，當前述上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處；和連動機構部，係具備有與該凸輪驅動面相抵接並可作連動的連動滾輪，並且具備有因應於該連動滾輪之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部的情況時，亦為有效。
在本發明中，當前述上流側推壓機構，係具備有被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處並且旋轉方向係互為相反方向的一對之相鄰接的連桿構件，在該一對之鄰接連桿構件處，係被跨架設置有由帶狀之一體性的彈性構件所成之帶狀推壓手段的情況時，亦為有效。
在本發明中，當前述上流側推壓機構，係具備有：被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處的驅動支持部、和經由該驅動支持部而被作驅動之連動機構部，前述連動機構部，係具備有：具有能夠與前述驅動支持部相互卡合滑動的長溝狀滑動部之連動部、和被與該連動部相連結，並且因應於在該連動部之長溝狀滑動部內的前述驅動支持部之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部的情況時，亦為有效。
在本發明中，當前述上流側推壓機構，係在前述驅動連桿部處，被設置有極性相異的複數之驅動用磁石，並且，在前述連動機構部處，係被設置有單一極性之連動用磁石，而構成為：經由前述驅動連桿部與前述連動機構部之間的相對性之位置關係，前述複數之驅動用磁石的各個與前述連動用磁石係作近接或者是分離的情況時，亦為有效。
又，本發明，係為一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向位置於該基板搬送方向上流側之前述連桿機構之方向來作推壓，前述上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係分別被設置在被設置於前述連桿機構之驅動連桿部處的一對之相鄰接的連桿構件處；和一對之連動滾輪，係與該一對之凸輪驅動面相抵接並可作連動；和連動機構部，係具備有因應於該一對之連動滾輪之移動而在前述基板搬送方向作直線移動之推壓部，以在前述連桿機構作了伸長的狀態下而前述連動機構部之推壓部並不會與該搬送物之側部相抵接、且在前述連桿機構作了縮起的狀態下該連動機構部之推壓部會與該搬送物之側部作抵接的方式，來設定前述連動機構部之推壓部的移動距離，經由由以前述上流側推壓機構以及前述下流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
在本發明中，當前述下流側推壓機構，係具備有：一對之驅動構件，係以因應於前述上流側推壓機構之連動機構部的移動而在前述基板搬送方向上作移動的方式而被作設置；和凸輪驅動面，係分別被設置在該一對之驅動構件的前述基板搬送方向下流側之端部處；和連動卡止構件，係具備有分別與前述一對之驅動構件的凸輪驅動面相抵接並可連動的把持部，前述連動卡止構件，係構成為：伴隨著前述一對之驅動構件的朝向該基板搬送方向下流側之移動，而使前述把持部從分別傾斜了的狀態來朝向該基板搬送方向上流側作旋轉移動並起立，並且，以在前述連桿機構作了伸長的狀態下而前述連動卡止構件之把持部並不會與該搬送物之側部相抵接、且在前述連桿機構作了縮起的狀態下該連動卡止構件之把持部會與該搬送物之側部作抵接的方式，來設定前述連動卡止構件之把持部的移動距離的情況時，亦為有效。
又，本發明，係為一種真空裝置，其係具備有真空槽、和上述之任一者的搬送裝置，並構成為使上述之搬送裝置的載置部對於前述真空槽內而作搬入以及搬出。
在本發明中，由於係在載置部之基板搬送方向下流側的部位處，設置有伴隨著連桿機構之動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓之下流側推壓機構，並構成為經由以下流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並機械性地作保持，因此，在載置部上面之搬送物的滑動係被作抑制(原理上，係不會產生滑動)，而能夠實現搬送物之高速搬送。
又，藉由將亦包含有推壓手段之全部的構件藉由金屬來製作，不僅是在搬送物或者是周圍之氛圍溫度為較低的環境下，就算是在搬送時之溫度為高(例如300～500℃)的情況時，亦能夠不產生熱變質或者是變形地而對於搬送物之滑動作抑制。
進而，由於在將搬送物作把持的部分處，係並不存在有作滑動之部分，因此，係能夠將會對搬送物造成污染之塵埃的產生降低。
另一方面，在本發明中，當於載置部之基板搬送方向上流側的部位處，設置有伴隨著連桿機構之驅動連桿部的動作而與搬送物之側部作抵接並將搬送物朝向基板搬送方向來作推壓之上流側推壓機構的情況時，由於係能夠從基板搬送方向之兩側來同時地將搬送物作把持，因此，係能夠提供一種不會發生搬送物之滑動且亦不會產生塵埃之搬送裝置。
又，在本發明中，當在下流側推壓機構處，係被設置有凸輪方式之驅動部、和經由該凸輪方式之驅動部而被作驅動的凸輪方式之下流側推壓部的情況時，由於係能夠將凸輪機構之滑動部配置在身為搬送物之基板的下側處，因此，例如係能夠防止由於在滑動部處所產生了的塵埃所導致的基板表面之污染。
進而，在本發明中，當在下流側推壓機構處，係被設置有連桿方式之驅動部、和與該連桿方式之驅動部相卡合並被作驅動的連桿方式之下流側推壓部的情況時，由於係能夠將連桿機構之滑動部配置在相對於身為搬送物之基板而相分離了的位置處，因此，例如係能夠防止由於在滑動部處所產生了的塵埃所導致的基板表面之污染。
更進而，在本發明中，當下流側推壓部，係被設置有2個，被設置在各下流側推壓部處之把持部，係以相對於通過第1以及第2驅動軸之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作配置的情況時，係能夠經由2個的把持部，來以良好平衡而對於基板作推壓保持(把持)。
又更進而，在本發明中，當上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係被設置在連桿機構之驅動連桿部處；和連動機構部，係具備有與該凸輪驅動面相抵接並可作連動的連動滾輪，並且具備有因應於該連動滾輪之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部的情況時，由於係經由凸輪與滾輪來傳導動力，因此，係能夠藉由簡單的構成來提供小型的搬送裝置，並且，由於在將搬送物作把持的部分處，係並不存在有作滑動的部分，因此，係能夠將會對於搬送物造成污染的塵埃之產生降低。
在本發明中，當上流側推壓機構，係具備有被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處並且旋轉方向係互為相反方向的一對之相鄰接的連桿構件，在該一對之鄰接連桿構件處，係被跨架設置有由帶狀之一體性的彈性構件所成之帶狀推壓手段的情況時，由於在將搬送物作把持的近旁處，係成為不存在有作滑動之部分，因此，係能夠將會對於搬送物造成污染的塵埃之產生降低至極限。
在本發明中，當上流側推壓機構，係具備有：被設置在連桿機構之驅動連桿部處的驅動支持部、和經由該驅動支持部而被作驅動之連動機構部，連動機構部，係具備有：具有能夠與驅動支持部相互卡合滑動的長溝狀滑動部之連動部、和被與該連動部相連結，並且因應於在該連動部之長溝狀滑動部內的前述驅動支持部之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部的情況時，由於係經由滑動機構來傳導動力，因此，係能夠藉由簡單的構成來提供小型的搬送裝置，並且，由於在將搬送物作把持的部分處，係並不存在有作滑動的部分，因此，係能夠將會對於搬送物造成污染的塵埃之產生降低。
在本發明中，當上流側推壓機構，係在驅動連桿部處，被設置有極性相異的複數之驅動用磁石，並且，在連動機構部處，係被設置有單一極性之連動用磁石，而構成為：經由驅動連桿部與連動機構部之間的相對性之位置關係，複數之驅動用磁石的各個與連動用磁石係作近接或者是分離的情況時，由於係能夠從驅動連桿部來對於連動機構部而將驅動力藉由非接觸來作傳導，因此，係能夠將會對於搬送物造成污染的塵埃之產生降低。
以下，參考圖面，針對本發明之理想實施型態作詳細說明。
圖1，係為對於本發明之搬送裝置的概要構成作模式性展示之平面圖。
如圖1中所示一般，本發明之搬送裝置50，例如係為在真空處理槽內而進行身為搬送物之基板10的搬送之所謂的蛙腿方式者，並具備有用以驅動以下所說明之連桿機構20的在鉛直方向上而配設為同心狀之第1以及第2驅動軸11、12。
此些之各驅動軸11、12，係構成為從相互獨立之第1以及第2驅動源M1、M2而分別被傳導有順時針方向或者是反時針方向之旋轉動力。
在第1驅動軸11處，係被固定有第1左臂1L之其中一方的端部(基端部)，在第2驅動軸12處，係被固定有第1右臂1R之其中一方的端部(基端部)。
在第1左臂1L之另外一方的端部(前端部)處，係以支軸21L為中心並能夠在水平方向上自由旋轉地而安裝有第2左臂2L的其中一方之端部(基端部)。
在第1右臂1R之另外一方的端部(前端部)處，係以支軸21R為中心並能夠在水平方向上自由旋轉地而安裝有第2右臂2R的其中一方之端部(基端部)。
在本實施形態中，此些之第1左臂1L以及第1右臂1R，係被形成為直線狀，並被構成為具備有相同之支點間距離。
第2左臂2L，係被形成為直線狀，在其之另外一方的端部(前端部)處，係藉由固定螺絲22L而固定有第3左臂3L的其中一方之端部(基端部)。
第2右臂2R，係被形成為直線狀，在其之另外一方的端部(前端部)處，係藉由固定螺絲22R而固定有第3右臂3R的其中一方之端部(基端部)。
於此，第3左臂3L、第3右臂3R，係為構成驅動連桿部者，而被形成為略「ㄑ」字狀，並將個別的屈曲部分之凸部朝向連桿外方側地來作配置。
又，第3左臂3L之另外一方的端部(前端部)，係以將被設置在後述之動力傳導機構4的表面上之支軸23L為中心而能夠在水平方向上自由旋轉的方式，而被作安裝。
另一方面，第3右臂3R之另外一方的端部(前端部)處，係以將被設置在後述之動力傳導機構4的例如表面側之支軸23R為中心而能夠在水平方向上自由旋轉的方式，而被作安裝。
在本實施形態中，從第2左臂2L之支軸21L起乃至第3左臂3L之支軸23L的支點間距離，與從第2右臂2R之支軸21R起乃至第3右臂3R之支軸23R的支點間距離，係被構成為具備有相同之距離。
又，動力傳導機構4，例如係在矩形薄型箱形狀之殼體內而具備有相互咬合之一對的齒輪(未圖示)。
此些之齒輪，係具備有相同之齒數，其之各別的旋轉軸，係被固定在上述之支軸23L、23R處，藉由此，而構成為以作為姿勢控制機構來起作用的方式而在反方向上以相同之速度來作旋轉。
此些之支軸23L、23R，係在對於基板之搬送方向而作正交的方向上而被作近接配置。
於本發明之情況，雖並未特別作限定，但是，從以良好平衡性來將搬送物作保持的觀點來看，係以在相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而對於基板搬送方向(箭頭P方向)來作正交的位置處，來配置支軸23L、23R為理想。
在動力傳導機構4之基板搬送方向下流側處，係被設置有身為所謂的末端作用器之載置部5。
此載置部5，係具備有以特定之間隔而作了設置的支持構件5L、5R。
另一方面，在本發明中，係在支持構件5L、5R之基板搬送方向下流側的端部處，設置用以將基板10作把持之下流側推壓機構7。
此下流側推壓機構7，係如同後述一般，構成為伴隨著構成連桿機構20之第3左臂3L以及第3右臂3R之動作，而在載置部5之基板搬送方向下流側的部位處，分別與基板10之側部作抵接，並將基板10朝向連桿機構20之方向(基板搬送方向上流側)來作推壓(藉由符號f1、f2來作展示)。
進而，在本發明中，係在載置部5之基板搬送方向上流側的部位處，設置有上流側推壓機構9。
此上流側推壓機構9，係如同以下所說明一般，構成為伴隨著構成連桿機構20之第3左臂3L以及第3右臂3R之動作，而與基板10之側部作抵接，並將基板10朝向基板搬送方向來作推壓(藉由符號F來作展示)。
圖2(a)，係為對於在本發明中之上流側推壓機構的連動機構部之例作展示的構成圖，圖2(b)，係為對該上流側推壓機構之全體作展示的構成圖，圖3(a)、(b)，係為對於上流側推壓機構之動作原理以及構成作詳細說明的圖。
另外，在圖2(a)、(b)以及圖3(a)、(b)中，係如同後述之圖4中所示一般，在連動機構部6之本體部60處，安裝固定有下流側推壓機構7之基部71，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構7之說明省略。
如圖2(b)中所示一般，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R，係將其之前端部分別形成為半圓形狀，在各前端部之基板搬送方向下流側的部分處，係被設置有圓弧狀之凸輪驅動面31L、31R。而，係成為以具備有此些之第3左臂3L以及第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R、和圖2(a)中所示之連動機構部6的方式，來構成上流側推壓機構9。
於此，第3左臂3L與第3右臂3R之凸輪驅動面31L、31R，係經由將第3左臂3L與第3右臂3R之例如上面側分別作階段狀之切缺，而形成相對於基板搬送方向下流側方向而成為凸狀的圓弧狀。
而，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R之各凸輪驅動面31L、31R，係以使各前端部側之位移量(支軸23L與內側抵接面31L1之間的距離、支軸23R與內側抵接面31R1之間的距離)r1成為較各基端部側之位移量(支軸23L與外側抵接面31L0之間的距離、支軸23R與外側抵接面31R0之間的距離)r0而更小的方式，來構成之(r1＜r0)。
另外，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R之各凸輪驅動面31L、31R，係以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作形成。
另一方面，本例之連動機構部6，較理想，係為由不鏽鋼等之金屬構件所構成者，並具備有直線棒狀之本體部60。
在連動機構部6之本體部60的其中一端部處，例如係被安裝有例如梯形形狀之支持構件61，在此支持構件61之梯形底邊的兩端部處，係分別被設置有例如具備有相同之直徑的正圓形之連動滾輪62L、62R。
於此，連動滾輪62L、62R，例如，係以相對於本體部60所延伸之方向的直線而成為線對稱的方式來作配置，並構成為以將對於包含有該本體部60之平面而正交的方向之支軸63L、63R為中心地來作旋轉。
連動機構部6之本體部60的另外一端部，例如係被安裝有凸狀(於此係為銷狀)之推壓部6a。此推壓部6a之前端部，係亦可施加有用以防止塵埃之發生的例如由PTFE(聚四氯乙烯樹脂)等之耐熱性樹脂之材料所成的塗布。
又，在連動機構部6之本體部60的中腹部與上述之支持構件61之間，係於該本體部60之周圍而被裝著有壓縮線圈彈簧64。此壓縮線圈彈簧64，其之前端部份係被固定在支持構件61處。
而，在本例中，係如圖2(b)中所示一般，而構成為：在使連動機構部6之連動滾輪62L、62R分別抵接在第3左臂3L與第3右臂3R之凸輪驅動面31L、31R處的狀態下，藉由以例如被設置在載置部5之表面處的導引構件65來作導引，來使連動機構部6之本體部60通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上作直線移動。
於此情況，被裝著在連動機構部6之本體部60處的壓縮線圈彈簧64，其之推壓部6a側的前端部份係與導引構件65作抵接並被作卡止，並成為經由其之彈性力來將連動機構部6之連動滾輪62L、62R對於第3左臂3L與第3右臂3R之凸輪驅動面31L、31R來作推壓。
接著，使用圖3(a)、(b)，對於上流側推壓機構之動作原理以及構成作詳細說明。
在本例中，於連桿機構20作了伸展的狀態下，係如圖3(a)中所示一般，設定為第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R間所成的角度會成為例如較180度而更大。
另一方面，於連桿機構20作了縮起的狀態下，係如圖3(b)中所示一般，設定為第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R間所成的角度會成為例如較180度而更小。
在此種構成中，於連桿機構20作了伸展的狀態下，如圖3(a)中所示一般，連動機構部6之基板搬送方向下流側的推壓部6a，係以不會與應搬送的基板10之側部作接觸的方式，來設定連動機構部6之長度(於此，係為從推壓部6a之前端部起直到連動滾輪62L、62R之凸輪驅動面31L、31R的內側抵接面31L1、31R1處為止的距離)，並且，對於第3左臂3L以及第3右臂3R之安裝面30L、30R的角度、上述凸輪驅動面31L、31R之位移量r1作設定，而制訂出連動滾輪62L、62R之各內側抵接面31L1、31R1與基板10之側部間的距離，並將此設為距離D。
另一方面，在連桿機構20作了縮起的狀態下，如圖3(b)中所示一般，第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R所成的角度，係成為較180度更小，連動機構部6之連動滾輪62L、62R，係沿著第3左臂3L以及第3右臂3R之凸輪驅動面31L、31R而分別朝向外側抵接面31L0、31R0側移動，藉由此，第3左臂3L與第3右臂3R之支軸23L、23R與各凸輪驅動面31L、31R之間的距離係變大(r0＞r1)。
於此情況，在本例中，將連動機構部6之連動滾輪62L、62R與各凸輪驅動面31L、31R之接觸部分和各支軸23L、23R作連結的直線之相對於基板搬送方向的角度，相較於連桿機構20作了伸展的狀態，由於連桿機構20作了縮起的狀態時之角度係為較小(θ0＜θ1)，因此，伴隨著第3左臂3L以及第3右臂3R之朝向縮起方向的旋轉，連動機構部6係朝向基板搬送方向下流側而移動，連動滾輪62L、62R之接觸端部與應搬送基板10之側部間的距離係變小(r0‧cosθ0＞r1‧cosθ1，亦即是，d＜D)。
其結果，連動機構部6之基板搬送方向下流側的部分(推壓部6a)，係與應搬送基板10之側部相接觸，並對於基板10之側部而作用有朝向基板搬送方向之力F。
於本例中，在上述動作時，由於壓縮線圈彈簧64之搬送方向下流側的部分係與導引構件65作抵接並被作壓縮，因此，經由壓縮彈簧線圈64之彈性力，連動機構部6之連動滾輪62L、62R係被朝向對於第3左臂3L與第3右臂3R之各凸輪驅動面31L、31R作推壓並相密著，藉由此，連動機構部6係沿著導引構件65而確實地以高精確度來朝向基板搬送方向下流側移動。
圖4，係為對於本例中之下流側推壓機構以及上流側推壓機構作展示的平面圖，圖5(a)，係為對於同下流側推壓機構的重要部分作展示之平面圖，圖5(b)，係為對同下流側推壓機構之重要部分作展示的部分剖面圖，圖6(a)，係為對於同下流側推壓機構的重要部分作展示之平面圖，圖6(b)，係為對同下流側推壓機構之重要部分作展示的部分剖面圖。
如圖4中所示一般，在本例中，在載置部5之基板搬送方向下流側的部位處，係被設置有下流側推壓機構7，該下流側推壓機構7，係具備有左下流側推壓機構70L以及右下流側推壓機構70R。
於此，下流側推壓機構7，係具備有直線棒狀之基部71，該基部71，係被安裝固定在上述之連動機構部6的本體部60處，並沿著與基板搬送方向(箭頭P方向)相正交的方向而延伸。
此基部71，係具備有與載置部5之支持構件5L、5R之間隔略相等的長度，在左支持構件5L處，係被安裝固定有在基板搬送方向上延伸之直線棒狀的左驅動構件71L，在右支持構件5R處，係被安裝固定有在基板搬送方向上延伸之直線棒狀的右驅動構件71R。
於本例之情況，此些之左驅動構件71L以及右驅動構件71R，係分別沿著支持構件5L、5R而被配置在各別之下側處。
又，左驅動構件71L以及右驅動構件71R，係以相對於上述之通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
而，在載置部5之左右的支持構件5L、5R之前端部份處，係設置有左下流側推壓部70L、右下流側推壓部70R。於本例中，係經由上述之基部71、左驅動構件71L以及右驅動構件71R來構成驅動機構，並構成為伴隨著連桿機構20之動作來將左下流側推壓部70L以及右下流側推壓部70R分別作驅動。
於此，左下流側推壓部70L以及右下流側推壓部70R，係構成為藉由相同之機構來動作，並以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
以下，使用圖4、圖5(a)(b)以及圖6(a)(b)，來適當以右下流側推壓部70R作為例子而對於本發明中之下流側推壓機構的構成以及動作作說明。
如圖5(a)(b)中所示一般，本例之右下流側推壓部70R，係具備有被安裝在支持構件5R之下部處的例如箱狀之保持部51。
在此保持部51之底部51a上，上述之右驅動構件71R，係成為朝向水平方向而被作支持。
而，在被設置於保持部51之兩側的側壁部51b處，在相對於基板搬送方向而成直角之方向上作延伸並且被朝向了水平方向之支軸72R，係可旋轉地被作支持。
在此支軸72R處，係被安裝固定有構成右下流側推壓部70R之右夾鉗卡止構件73R。
此右夾鉗卡止構件73R，係被形成為略「L」字狀，並由朝向鉛直上方延伸之把持部730、和相對於支軸72R而朝向基板搬送方向下流側延伸之凸輪連動部731，所構成之。
於此，右夾鉗卡止構件73R之把持部730，係被構成為從被設置在支持構件5R處之開口部74R起而使前端部份朝向上方來突出。
而且，係被形成為較凸輪連動部731更長，亦即是以使支點間距離變長的方式而被形成，並被構成為從被設置在支持構件5R處之開口部74R起而使前端部份朝向上方來突出。
在本例中，如圖5(b)中所示一般，在右夾鉗卡止構件73R之把持部730的基板搬送方向下流側之部分處，係被安裝有身為彈性構件之例如拉張線圈彈簧75的其中一端部，進而，此拉張線圈彈簧75之另外一端部，係被安裝在被設置於支持構件5R上之基板搬送方向下流側的位置處之安裝構件76上。
而，如圖5(b)中所示一般，拉張線圈彈簧75，係被構成為將右夾鉗卡止構件73R之把持部730朝向基板搬送方向下流側來作拉張。
又，在右夾鉗卡止構件73R之把持部730處，係被設置有例如平面形狀之把持面732，該把持面732，係相對於基板搬送方向而作了特定之角度(例如朝向應搬送基板10之內方側約45°左右)的傾斜。
又，在右夾鉗卡止構件73R之把持面732處，係亦可施加有用以防止塵埃之發生的例如由PTFE等之耐熱性樹脂之材料所成的塗布。
另一方面，右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731，係相對於支軸72R而若干朝向下方地被形成，並構成為使支軸72R之正下方的部分和凸輪連動部731之下面734對於驅動構件71R之上面710(以及以下所說明之凸輪驅動面711)來作接觸。
而，凸輪連動部731，其之前端部的形狀，係被形成為R形狀。
於本例之情況，此凸輪驅動面711，係被形成為凹部狀，並被形成為相對於右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731的下面734來作嵌合的凹曲面形狀。
另外，在右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731與驅動構件71R之上面710相接觸的部分處，係亦可施加有用以防止塵埃之發生的例如由PTFE等之耐熱性樹脂之材料所成的塗布。
另一方面，左下流側推壓部70L，係為與上述之右下流側推壓部70R相同之構成，並如圖4中所示一般，具備有以相對於在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式來作了配置的支軸72L、和左夾鉗卡止構件73L、以及開口部74L，在左夾鉗卡止構件73L處，係被設置有把持部730、凸輪連動部731以及把持面732。
又，驅動構件71L，係具備有與上述之驅動構件71R相同之構成，雖並未圖示，但是，於其之上面，係被形成有相對於左夾鉗卡止構件73L之凸輪連動部731的下面734來作嵌合的凹曲面形狀之凸輪驅動面711。
接著，使用圖4、圖5(a)、(b)及圖6(a)、(b)，對於下流側推壓機構之動作原理以及構成作詳細說明。
於本例之情況，在連桿機構20作了伸展的狀態下，如同上述一般，係以使連動機構部6之基板搬送方向下流側的推壓部6a並不與應搬送基板10之側部相接觸的方式，來設定連動機構部6之長度。
在此狀態下，被固定在連動機構部6之本體部60處的基部71，係位置在基板搬送方向上流側之特定位置處，藉由此，左驅動構件71L以及右驅動構件71R，亦係位置在基板搬送方向上流側之特定位置處。
因此，在此種位置關係下，例如，如圖5(a)(b)中所示一般，係以使被設置在右驅動構件71R處之凸輪驅動面711的底部份、和右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731，成為相關於基板搬送方向而相重疊之位置的方式，來對於右驅動構件71R之長度、右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731之長度、右驅動構件71R之凸輪驅動面711的長度、位置以及形狀作設定。
在此狀態下，由於右夾鉗卡止構件73R之把持部730係經由拉張線圈彈簧而被朝向基板搬送方向作拉張，因此，右夾鉗卡止構件73R之把持部730係以支軸72R作為中心並朝向倒下至基板搬送方向之方向作旋轉，藉由此，右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731係被推壓至右驅動構件71R之凸輪驅動面711的底部份處，右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731係抵接於右驅動構件71R之凸輪驅動面711的底部份處並成為靜止狀態。
而後，如圖5(a)中所示一般，在此狀態下，係以使右夾鉗卡止構件73R之把持面732相對於基板10之緣部而作分離的方式，來對於支軸72R之位置、右夾鉗卡止構件73R之把持部730的長度以及形狀、還有把持面732之位置以及形狀作設定。
另一方面，若是從此狀態起來使第3左臂3L以及第3右臂3R朝向使連桿機構20縮起的方向來作旋轉，則與連動機構部6之本體部60一同地，基部71與左驅動構件71L以及右驅動構件71R，係朝向基板搬送方向(箭頭P方向)而移動。
藉由此，如圖6(a)(b)中所示一般，右夾鉗卡止構件73R之凸輪連動部731係從右驅動構件71R之凸輪驅動面711而脫出，凸輪連動部731之下面734，係與驅動構件71R之上面710相抵接，藉由此，右夾鉗卡止構件73R之把持部730，係以支軸72R作為中心並朝向與基板搬送方向相反方向(亦即是作起立的方向)來旋轉。
而，於本例中，如圖4中所示一般，在連桿機構20縮起了的狀態下，係如圖6(a)中所示一般，對於經由連動機構部6之推壓部6a而被朝向基板搬送方向作推壓並作移動的基板10之緣部，以使右夾鉗卡止構件73R之把持面732作抵接的方式，來對於上述支軸72R之位置、右夾鉗卡止構件73R之把持部730的長度以及形狀、還有把持面732之位置以及形狀作設定。
於此情況，針對左下流側推壓部70L，亦與右下流側推壓部70R同樣的，以使左夾鉗卡止構件73L之把持面732與基板10之緣部作抵接的方式，來對於驅動構件71之凸輪驅動面711，而對支軸72L之位置、左夾鉗卡止構件73L之把持部730的長度以及形狀、還有把持面732之位置以及形狀作設定。
於本發明之情況，雖並未特別限定，但是，較理想，係以相對於左驅動構件71L以及右驅動構件71R之移動距離、亦即是相對於連動機構部6之移動距離，而使左夾鉗卡止構件73L之把持部730以及右夾鉗卡止構件73R之把持部730的移動距離(衝程)成為較小的方式，來作設定。
若依據具備有此種構成之本例，則在連桿機構20縮起了的狀態下，如圖4中所示一般，係從連動機構部6之推壓部6a起而作用有基板搬送方向之力F，並且，在從左下流側推壓部70L之左夾鉗卡止構件73L以及右下流側推壓部70R之右夾鉗卡止構件73R起而朝向連桿機構20之方向上，作用有朝向基板10內方向之力f1、f2，藉由此，對於該基板10，關於基板搬送方向，係從上流側以及下流側而作用有推壓力，並在載置部5上而將基板10確實地作保持(把持)。
在此連桿機構20之縮起狀態下，藉由使第1左臂1L以及第1右臂1R朝向相同方向旋轉，係能夠在將基板10作了保持的狀態下來進行旋轉動作。
另外，連動機構部6之推壓部6a、和左夾鉗卡止構件73L之把持面732以及右夾鉗卡止構件73R之把持面732，其之與基板10之緣部作接觸的時序，係可設為與連桿機構20完全縮起的狀態為同時，亦可設為緊接在連桿機構20之完全縮起之前，係可因應於本發明所被作適用之搬送裝置以及真空裝置的大小或者是配置構成，來適宜作變更。
但是，從以良好精確度來將基板10作把持的觀點來看，係以構成為在連動機構部6之推壓部6a與基板10之緣部作了接觸之後，再使左夾鉗卡止構件73L之把持面732以及右夾鉗卡止構件73R之把持面732與基板10之緣部作接觸為理想。
特別是，在本例中，由於左下流側推壓部70L(左夾鉗卡止構件73L之把持面732)，以及右下流側推壓部70R(右夾鉗卡止構件73R之把持面732)，係以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作配置，因此，係能夠以良好平衡而對於基板10作推壓並作保持(把持)。
更進而，在本例中，藉由相對於連動機構部6之朝向基板搬送方向的移動距離，而將左夾鉗卡止構件73L之把持部730以及右夾鉗卡止構件73R之把持部730的移動距離設為較小，係能夠相對於由連動機構部6之推壓部6a所致的對於基板10之推壓的時序，而將左夾鉗卡止構件73L之把持面732以及右夾鉗卡止構件73R之把持面732的時序以及時間在特定之範圍內作設定，藉由此，係能夠以良好精確度來將基板10作把持。
圖7(a)～(c)，係為對於在本例中之搬送裝置的動作作展示之說明圖。
於此，係以從搬送室8A來將基板10搬入至處理室8B內的情況為例來作說明。另外，搬送室8A以及處理室8B，係被與未圖示之真空排氣系作連接。又，在搬送室8A與處理室8B之間，係被連接有未圖示之閘閥，在開啟了該閘閥後，而進行搬入、搬出動作。
首先，如圖7(a)中所示一般，如同上述一般地而使連桿機構20縮起，並在將基板10作了保持的狀態下，將載置部5之前端部朝向處理室8B側。
在此狀態下，如同上述一般，係作用有從連動機構部6之推壓部6a起而朝向基板搬送方向之力，並且，係藉由從連動機構部6而來之動力，而透過基部71、左驅動構件71L以及右驅動構件71R，來從左下流側推壓部70L之左夾鉗卡止構件73L以及右下流側推壓部70R之右夾鉗卡止構件73R起來在朝向連桿機構20之方向上而作用有力，因此，在載置部5上，基板10係被作把持。
從此狀態起，來使第1左臂1L朝向順時針方向作旋轉，並且，使第1右臂1R朝向逆時針方向作旋轉，藉由此，連桿機構20之伸展動作係開始，如圖7(b)中所示一般，基板10係朝向處理室8B而直線前進。
進而，藉由使連桿機構20之伸展動作持續，如圖7(c)中所示一般，而將基板10搬入至處理室8B內。
在此狀態下，如同上述一般，連動機構部6之推壓部6a與基板10之側部、還有左下流側推壓部70L之左夾鉗卡止構件73L以及右下流側推壓部70R之右夾鉗卡止構件73R與基板10之側部，由於係成為並不作接觸的狀態，因此，經由被設置在處理室8B內之未圖示的升降機構，基板10係被作支持並作上升，藉由此，而能夠使基板10從搬送裝置50之載置部5來脫離。
另外，將連動機構部6之推壓部6a與基板10之側部、還有左下流側推壓部70L之左夾鉗卡止構件73L以及右下流側推壓部70R之右夾鉗卡止構件73R，其之與基板10之側部間的接觸作解除的時序，係可設為與連桿機構20完全伸展的狀態為同時，亦可設為緊接在連桿機構20之完全伸展之前，係可因應於本發明所被作適用之搬送裝置以及真空裝置的大小或者是配置構成，來適宜作變更。
之後，使第1左臂1L朝向逆時針方向作旋轉，並且，使第1右臂1R朝向順時針方向作旋轉，而進行連桿機構20之縮起動作，藉由此，能夠使載置部5回到搬送室8A內。
如同以上所述一般，在本例中，由於係在載置部5之左右的支持構件5L、5R之前端部份處，設置具備有左下流側推壓部70L、右下流側推壓部70R之下流側推壓機構7，並且，在連桿機構20之動作前端部處，設置經由凸輪機構來動作之上流側推壓機構9，而設為經由左夾鉗卡止構件73L以及右夾鉗卡止構件73R和連動機構部6之推壓部6a來將基板10從基板搬送方向之兩側來作挾持並機械性地作保持，因此，係將在載置部5上面之基板10的滑動作抑制(在同時性地作把持的情況時，原理上係不會產生滑動)，而能夠實現基板10之高速搬送。
又，藉由將亦包含有左下流側推壓部70L、右下流側推壓部70R以及連動機構部6之全部的構件藉由金屬來製作，不僅是在搬送物或者是周圍之氛圍溫度為較低的環境下，就算是在搬送時之溫度為高(例如300～500℃)的情況時，亦能夠不產生熱變質或者是變形地而對於基板10之滑動作抑制。
進而，由於左夾鉗卡止構件73L、右夾鉗卡止構件73R以及連動機構部6之推壓部6a，係為凸狀之構件，在將基板10作把持之部分處，係並不存在有滑動部，並且，亦幾乎沒有基板10之滑動，因此，係能夠將會對於基板10造成污染之塵埃的產生降低。
更進而，若依據本實施形態，則由於凸輪機構之滑動部係被配置在基板10之下側處，因此，能夠對於由於在此滑動部處所產生之塵埃所導致的基板10表面之污染作防止。
圖8以及圖9(a)(b)，係為對於本發明之其他例作展示者，圖8，係為對於上流側推壓機構以及下流側推壓機構作展示的平面圖，圖9(a)、(b)，係為對於同下流側推壓機構之重要部分作展示的平面圖。以下，針對與上述例相對應之部分，係附加相同之符號，並省略詳細說明。
如圖8中所示一般，在本例之下流側推壓機構8中，在載置部5之支持構件5L、5R之前端部份處，係分別設置有由連桿方式之推壓機構所成的後述之下流側推壓部81L、81R。又，係具備有用以驅動此些之下流側推壓部81L、81R的驅動構件80。
此驅動構件80，係由略「ㄈ」字狀之構件所成，並由直線棒狀之基部80a、和在基部80a之兩端部處而在與基部80a相正交的方向上分別作延伸之直線棒狀的左驅動部80L、右驅動部80R所構成。
於本例之情況，驅動構件80，係以使基部80a與基板搬送方向相正交的方式而被作配置，並構成為使連動機構部6之本體部60貫通此基部80a。而，藉由此，而以能夠使連動機構部6之本體部60與驅動構件80相對性地在基板搬送方向以及其之相反方向上作移動的方式，而作了配置構成。
又，驅動構件80之基部80a的長度，係被設定為較載置部5之支持構件5L、5R之節距更長，藉由此，當將驅動構件80裝著在搬送裝置50上的情況時，左驅動部80L、右驅動部80R係成為分別被配置在支持構件5L、5R之外側處。
於此，驅動構件80之左驅動構件80L、右驅動構件80R，係以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
驅動構件80，係構成為透過以下所說明之動力傳導機構82，而從連桿機構20之第3右臂3R來受到力。
此動力傳導機構82，係具備有直線棒狀之本體部82a，此本體部82a之其中一方的端部，係朝向與上述之驅動構件80之基部80a相正交的方向而被作安裝固定。
在此動力傳導機構82之本體部82a的另外一端部處，正圓形之連動滾輪82b，係可在水平面內自由旋轉地而被作支持。
另一方面，在第3右臂3R處，相較於圖4中所示之例的情況，凸輪驅動面31R係從第3右臂3R之前端部起朝向後端部地而將長度形成為較長。
而，係構成為：在連動機構部6之右側處，將動力傳導機構82作鄰接配置，並在使其之連動滾輪82b與凸輪驅動面31R作了抵接的狀態下，經由例如設置在載置部5之表面處的導引構件82c來被作導引，藉由此，動力傳導機構82之本體部82a，係在基板搬送方向或者是其之相反方向上作直線移動。
進而，在本例中，係採用有下述之構成：亦即是，在動力傳導機構82之本體部82a的基板搬送方向側之端部近旁處，係被固定有安裝構件82d，在此安裝構件82d處，安裝棒狀之固定銷82e，進而，將此固定銷82e之其中一端部安裝固定在驅動構件80之基部80a上，並且將固定銷82e之另外一方的端部固定在例如導引構件82c上，藉由此，動力傳導機構82之本體部82a與驅動構件80之基部80a係並不會旋轉。
另一方面，在驅動構件80之左驅動部80L的前端部處，後述之左連桿構件84L的其中一端部，係以能夠將支軸83L作為中心而在水平面內作旋轉的方式而被作支持，又，在驅動構件80之右驅動部80R的前端部處，後述之右連桿構件84R的其中一端部，係以能夠將支軸83R作為中心而在水平面內作旋轉的方式而被作支持。
又，在本體部82a處，係被安裝有例如線圈彈簧82f，線圈彈簧82f之其中一方的端部，係被固定在本體部82a處，並且，另外一方之端部，係與導引構件82c作抵接。藉由此線圈彈簧82f之力，由於係成為在本體部82a處而朝向基板搬送方向被施加有力的狀態，因此，當連桿機構20係為伸展狀態時，由後述之把持部86L、86R所進行之基板10的把持係被解除。
此些之左連桿構件84L以及右連桿構件84R，係均為由略「L」字狀之同一形狀的構件所成，在並未經由驅動構件80之左驅動部80L或者是右驅動部80R而被作支持的側之前端部處，例如R形狀之把持部86L、86R，係以在與本體部份相正交之方向上作延伸的方式而被作設置。
進而，左連桿構件84L以及右連桿構件84R，其之各別的中腹部，係能夠以被設置在載置部5之各支持構件5L、5R的前端部處之支軸85L、85R為中心而在水平面內作旋轉地而被作支持。於此，左連桿構件84L以及右連桿構件84R，其之各別的把持部86L、86R，係朝向與基板搬送方向相反之方向而被作配置。
而，藉由此種構成，左下流側推壓部81L以及右下流側推壓部81R之把持部86L、86R，係以相對於上述之通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
另外，在把持面86L、86R之與基板10的緣部作接觸之部分處，係亦可施加有用以防止塵埃之發生的例如由PTFE等之耐熱性樹脂之材料所成的塗布。
接著，使用圖8以及圖9(a)、(b)，對於本例之動作原理以及構成作詳細說明。
另外，於本例之情況，左下流側推壓部81L與右下流側推壓部81R，係以經由相同之機構來動作的方式而被構成，以下，適宜以右下流側推壓部81R為例，來對於在本發明中之連桿方式的下流側推壓部之構成以及動作作說明。
於本例中，與圖4中所示之例相同的，在連桿機構20作了伸展的狀態下，係以使連動機構部6之基板搬送方向下流側的推壓部6a並不與應搬送基板10之側部相接觸的方式，來設定連動機構部6之長度。
而，在連桿機構20作了縮起的狀態下，係以使連動機構部6朝向基板搬送方向下流側移動，並使連動機構部6之推壓部6a與應搬送基板10之側部相接觸的方式，來構成之。
本例之動力傳導機構82，係以與上述之連動機構部6共同朝向同一方向而移動的方式來構成之。
亦即是，在連桿機構20作了伸展的狀態下，例如，針對右連桿構件84R，係如圖9(a)中所示一般，以不使把持部86R與基板10之緣部作接觸的方式，來對於第3右臂之第3凸輪驅動面31R的形狀、動力傳導機構82之連動滾輪82b、本體部82a的長度、驅動構件80之基部80a還有右驅動部80R之長度、右連桿構件84R(把持部86R)之長度、支軸83R、85R之位置，分別作設定。
針對左連桿構件84L，亦同樣的，以不使把持部86L與基板10之緣部作接觸的方式，來對於驅動構件80之基部80a還有左驅動部80L之長度、左連桿構件84L(把持部86L)之長度、支軸83L、85L之位置，分別作設定。
另外，在本發明中，雖並未特別作限定，但是，例如，針對右連桿構件84R，較理想，係如圖9(a)中所示一般，構成為使把持部86R之與基板10之間的接觸部分和支持構件5R之支軸85R的節距P1，成為較支持構件5R之支軸85R與右驅動部80R之支軸83R的節距P2更小。
另一方面，針對左連桿構件84L，雖並未圖示，但是，亦同樣的，較理想，係構成為使把持部86L之與基板10之間的接觸部分和支持構件5L之支軸85L的節距，成為較支持構件5L之支軸85L與右驅動部80L之支軸83L的節距更小。
藉由此種構成，係能夠以相對於連動機構部6之朝向基板搬送方向的移動距離而使左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持部86R的移動距離成為較小的方式，來作設定。
在本例中，若是使第3左臂3L以及第3右臂3R朝向從連桿機構20作了伸展的狀態起而使連桿機構20作縮起的方向來作旋轉，則連動機構部6之本體部60係朝向基板搬送方向而移動，並且，從第3右臂3R之凸輪驅動面31R而來的力，係透過動力傳導機構82而被傳導至驅動構件80之基部80a處，藉由此，驅動構件80係朝向基板搬送方向(箭頭P方向)移動。
其結果，左連桿構件84L、右連桿構件84R，係以將支軸85L、85R作為中心並使把持部86L、86R朝向與基板搬送方向相反之方向來移動的方式，而作旋轉(參考圖9(b))。
因此，在本例中，在連桿機構20縮起了的狀態下，對於經由連動機構部6之推壓部6a而被朝向基板搬送方向作推壓並移動的基板10之緣部，以使左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持部86R作抵接的方式，來對於上述之第3右臂的第3凸輪驅動面31R之形狀、動力傳導機構82之連動滾輪82b、本體部82a之長度、驅動構件80之基部80a還有左驅動部80L以及右驅動部80R之長度、左連桿構件84L以及右連桿構件84R(把持部86L、86R)之長度、支軸83L、85L、83R、85R之位置分別作設定。
若依據具備有此種構成之本例，則在連桿機構20縮起了的狀態下，如圖8中所示一般，係從連動機構部6之推壓部6a起而作用有基板搬送方向之力F，並且，藉由從動力傳導機構82之本體部82a而來的動力，透過驅動構件80，在從左下流側推壓部81L之左連桿構件84L以及右下流側推壓部81R之右連桿構件84R起而朝向連桿機構20之方向上，作用有朝向基板10內方向之力f3、f4，藉由此，對於該基板10，關於基板搬送方向，係從上流側以及下流側而作用有推壓力，並在載置部5上而將基板10確實地作保持(把持)。
另外，連動機構部6之推壓部6a、和左連桿構件84L之把持面86L以及右連桿構件84R之把持面86R，其之與基板10作接觸的時序，係可設為與連桿機構20完全縮起的狀態為同時，亦可設為緊接在連桿機構20之完全縮起之前，係可因應於本發明所被作適用之搬送裝置以及真空裝置的大小或者是配置構成，來適宜作變更。
但是，從以良好精確度來將基板10作把持的觀點來看，係以構成為在連動機構部6之推壓部6a與基板10之緣部作了接觸之後，再使左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持面86R與基板10之緣部作接觸為理想。
進而，在本例中，由於左下流側推壓部81L之把持部86L以及右下流側推壓部81R之把持部86R，係以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作配置，因此，係能夠經由左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持部86R，來以良好平衡而對於基板10作推壓並作保持(把持)。
更進而，在本例中，藉由相對於連動機構部6之朝向基板搬送方向的移動距離，而將左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持部86R的移動距離設為較小，係能夠相對於由連動機構部6之推壓部6a所致的對於基板10之推壓的時序，而將左連桿構件84L之把持部86L以及右連桿構件84R之把持部86R的時序以及時間在特定之範圍內作設定，藉由此，係能夠以良好精確度來將基板10作把持。
再加上，若依據本例，則由於連桿機構之滑動部係被配置在相對於基板10而作了分離的位置處，因此，能夠對於由於在此滑動部處所產生之塵埃所導致的基板10表面之污染作防止。
關於其他之構成以及作用效果，由於係與上述之例相同，因此，係省略其詳細說明。
圖10～圖13，係為對於在本發明中之上流側推壓機構其他例子作展示者，以下，針對與上述之例相對應的部分，係附加共通的符號，並省略其詳細說明。
另外，在圖10～圖13所示之例中，在連動機構部6之本體部60處，係被安裝固定有例如圖4中所示之下流側推壓機構7之基部70，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構7之說明省略。
圖10，係為對於在上流側推壓機構之連動機構部處而具備有用以將該推壓部之推壓力作減少的減力構件之例作展示者。
如圖10中所示一般，在本例中，連動機構部6之推壓部6a的支持部66，係被構成為沿著本體部60之延伸方向而作移動，在此些之本體部60的前端部與推壓部6a之間的支持部66之周圍處，係被裝著有壓縮線圈彈簧(減力構件)67。而，當在推壓部6a之前端部處作用有朝向本體部60方向之力的情況時，係構成為使推壓部6a與壓縮線圈彈簧67之彈性力相對抗地而朝向本體部60之方向移動。
若是依據具備有此種構成之本例，則在將基板10作保持(把持)時，由於係能夠調整對於基板10之推壓力，因此，係有著能夠因應於各種之搬送物或者是裝置構成來使設計之自由度變大並使汎用性提高的優點。
圖11，係為對於上流側推壓機構之其他例的重要部分作展示之部分剖面側面圖，並為以使第3左臂3L和第3右臂3R位置在動力傳導機構4之下方處的方式所構成者。
如圖11中所示一般，在本例中，在第3左臂3L與第3右臂3R之前端部分處，係被配設有上述之構成的連動機構部6，並構成為使其之本體部60沿著基板搬送方向來作直線前進移動。
在連動機構部6之本體部60的前端部處，係被安裝有減力構件6b。此減力構件6b，例如係以由例如不鏽鋼等之金屬所成的板狀之彈性材料所構成，並從本體部60之前端部起朝向上方來被作配設。
而，在減力構件6b之前端部處，係被設置有例如凹部形狀之推壓部6c，此推壓部6c，係透過被設置在載置部5處之孔部5a而突出於載置部5之上，並構成為伴隨著連動機構部6之移動，而使得推壓部6c之凹面部相對於基板10之側部來作抵接或者是分離。
若依據具備有此種構成之本例，則與上述例相同的，在將基板10作保持(把持)時，係能夠調整對於基板10之推壓力。
進而，若依據本例，則例如，係可作為將美國專利6364599B1之圖22或者是圖23中所示之上側的末端作用器與下側的末端作用器之上下間隔縮小後的臂機構之下側臂的晶圓推壓機構來使用。另外，作為此臂機構之上側臂的晶圓推壓機構，係可使用前述之圖2(a)(b)以及圖3(a)(b)的構成。
圖12，係為對於在上流側推壓機構之又一其他例的重要部分作展示之構成圖，並為對於具備有用以將連動機構部之推壓部的推壓力作減少之減力構件的例子作展示者。
如圖12中所示一般，本例，係為圖10中所示之例的變形例，在連動機構部6之本體部60的前端部處，例如係被固定有在與本體部60之延伸方向相正交的方向上作延伸之直線棒狀的安裝構件67，在此安裝構件67之兩端部處，例如由不鏽鋼等之金屬所成的帶狀環狀之2個的減力推壓部6d、6e，係以從安裝構件67起朝向基板搬送方向下流側來突出的方式而被作安裝。
於此，2個的減力推壓部6d、6e，係被形成為相同之大小以及形狀，並以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
若依據具備有此種構成之本例，則與圖10中所示之例相同的，由於係能夠調整在將基板10作保持(把持)時的 對於基板10之推壓力，並且係進而能夠經由相對於基板搬送方向而被線對稱地作了配置之2個的減力推壓部6d、6e來對於基板10作推壓，因此，係有著能夠以良好平衡來將基板10作保持(把持)之優點。
另外，在本例中，亦可如同在圖11中所示之例一般，以使第3左臂3L和第3右臂3R還有連動機構部6位置在動力傳導機構4之下方處的方式來作構成。
於此情況，只要與圖11中所示之例相同的，在載置部5處設置孔部(未圖示)，並透過此孔部來使安裝構件68以及減力推壓部6d、6e位置在載置部5之上方，而構成為使減力推壓部6d、6e相對於基板10之側部而作抵接或者是分離即可。
若依據此種本例，則例如，係可作為將美國專利6364599B1之圖22或者是圖23中所示之上側的末端作用器與下側的末端作用器之上下間隔縮小後的臂機構之下側臂的晶圓推壓機構來使用。另外，作為此臂機構之上側臂的晶圓推壓機構，係可直接使用前述之圖12的構成。
圖13，係為對於上流側推壓機構的又一其他例子之重要部分作展示的構成圖。
在上述之圖2(b)所示之例中，第3左臂3L以及第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R，係構成為使其之各前端部側的位移量r1成為較各基端部側的位移量r0更小(r1<r0)。
但是，在例如於圖7(a)~(c)中所示一般之具備有複數之處理室8B的搬送裝置中，依存於處理室8B之內部構成，基板10之遞交位置係並非一定為相同，從驅動軸11、12之中心軸起直到各處理室8B之遞交位置為止的距離，係為相異。
於此，當與遞交位置之間的距離、亦即是遞交距離為短的情況時，在將基板10作遞交時之基板10的邊緣與推壓部6a之間隔係變小，可以想見到，會有推壓部6a碰到基板10之邊緣並產生塵埃之發生或者是基板之偏移的問題之可能性。
作為避免此問題之方法，例如，係亦可如圖13中所示一般，將第3左臂3L與第3右臂3R之各凸輪驅動面31L、31R的前端部側之形狀，如同圖中之斜線部分所示一般地設為涵蓋特定之角度而位移量為一定之形狀，亦即是，例如形成為與各凸輪驅動面31L、31R之前端部側的位移量r1相同半徑之圓弧形狀。
若依據此種構成，則當連動滾輪62L、62R在圖中之以斜線所示的半徑r1之範圍內而與各凸輪驅動面31L、31R相接時，連動機構部6之本體部60，由於係並不會在基板搬送方向上做直線運動，因此，不論是在遞交距離為短的情況或者是為長的情況，均能夠保持為在將基板10作遞交時之基板10的邊緣與推壓部6a不會相互接觸的間隔，而能夠避免塵埃發生或者是基板偏移之問題。
圖14(a)(b)，係為對於上流側推壓機構的又一其他例子作展示的構成圖。以下，針對與上述例相對應之部分，係附加相同之符號，並省略詳細說明。
另外，在本例中，在第3右臂3R處，係被形成有上述之凸輪驅動面31R，並且在載置部5處安裝有例如於圖8中所示一般之下流側推壓機構8，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構8之說明省略。
如圖14(a)(b)中所示一般，在本例中，作為上流側推壓機構9A，係在第3左臂3L之載置部5側的安裝面30L、和第3右臂3R之載置部5側的安裝面30R處，將一連串之由彈性體所成的上流側推壓構件6A以跨架的方式來作安裝。
此上流側推壓構件6A，較理想，例如係由不鏽鋼等之金屬材料所構成，其之各個的端部，例如係經由螺絲等來被固定在第3左臂3L以及第3右臂3R處。而後，藉由此，而以使其成為從第3左臂3L之載置部5側的安裝面30L和第3右臂3R之載置部5側的安裝面30R起來朝向基板搬送方向下流側而成為凸部形狀的方式，來對於其之長度作設定。
進而，於本發明之情況，從對於在真空中之塵埃的發生作防止之觀點來看，較理想，係以並不使上流側推壓構件6A與動力傳導機構4之表面以及載置部5之表面作接觸的方式，來對於上流側推壓構件6A之材料作選擇或者是對於上流側推壓構件6A之形狀以及配置作設定。
從此種觀點來看，作為上流側推壓構件6A之形狀，係以形成為特定寬幅之帶狀(皮帶狀)為更理想。
又，上流側推壓構件6A之安裝位置，較理想，係在從載置部5之表面起而朝向上方作了分離的位置處，以使上流側推壓構件6A之基板搬送方向下流側的部分與基板10之側部確實地作接觸的方式來作設定。
使用圖14(a)、(b)，對於本發明之動作原理以及構成作詳細說明。
如圖14(a)(b)中所示一般，在本例中，係構成為：於連桿機構20作了伸展以及作了縮起的狀態下，第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R，係分別相對於基板搬送方向而成為傾斜了的狀態。
於此，於連桿機構20作了伸展的狀態下，係如圖14(a)中所示一般，設定為第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R間所成的角度會成為例如較180度而更大。
又，於本發明之情況，雖並未特別限定，但是，在第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R處的上流側推壓構件6A之固定部310L、310R之間的距離，例如，係設為較第3左臂3L以及第3右臂3R之前端部側的支軸23L、23R之間的距離而更大之距離D。
另一方面，於連桿機構20作了縮起的狀態下，係如圖14(b)中所示一般，設定為第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R間所成的角度會成為例如較180度而更小。
在此種構成中，於連桿機構20作了伸展的狀態下，係如圖14(a)中所示一般，對於被跨架在第3左臂3L與第3右臂3R之間的上流側推壓構件6A之兩端部近旁，係分別作用有朝向內側方向而作捲入之力(動量)T。其結果，上流側推壓構件6A，係成為以相較於正圓而被朝向基板搬送方向作了擠壓的形狀來靜止了的狀態。
而後，在此狀態下，係以使上流側推壓構件6A之基板搬送方向下流側的推壓部6a並不與應搬送基板10之側部作接觸的方式，而對於上流側推壓構件6A之形狀、大小、材質作設定，並且，對於第3左臂3L以及第3右臂3R之安裝面30L、30R之角度、上流側推壓構件6A之固定位置(固定部310L、310R間距離)作設定。
另一方面，在連桿機構20作了縮起的狀態下，如圖14(b)中所示一般，由於第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R處之上流側推壓構件6A的固定部310L、310R間之距離d，相較於連桿機構20作了伸展的狀態，係成為較小(D＞d)，並且第3左臂3L之安裝面30L與第3右臂3R之安裝面30R所成的角度係成為較180度更小，因此，對於跨架在第3左臂3L以及第3右臂3R之間的上流側推壓構件6A之兩端部近旁，係分別作用有朝向基板搬送方向下流側而推出之力(動量)t。
其結果，上流側推壓構件6A之基板搬送方向下流側的部分(推壓部6a)，係與應搬送基板10之側部相接觸，並能夠對於基板10之側部而作用朝向基板搬送方向之力F。
在以上所述之本例中，經由將上流側推壓構件6A設為帶狀之構件，由於在將基板10作把持之近旁處，係成為並沒有滑動部，因此，係能夠將會對於基板10造成污染之塵埃的產生降低至極限。
關於其他之構成以及作用效果，由於係與上述之例相同，因此，係省略其詳細說明。
圖15(a)，係為對於在本發明中之上流側推壓機構的又一其他例子的全體作展示之構成圖，圖15(b)，係為圖15(a)之A-A線剖面圖。以下，針對與上述例相對應之部分，係附加相同之符號，並省略詳細說明。
另外，在本例中，在連動機構部6之本體部160處，係被安裝固定有例如圖4中所示之下流側推壓機構7之基部70，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構7之說明省略。
如圖15(a)中所示一般，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R，係將其之前端部分別形成為半圓形狀，第3左臂3L以及第3右臂3R之表側面130L、130R處，係分別被設置有凸狀之驅動支持部131L、131R(以下，單純稱作「驅動凸部」)，並構成為經由此些之驅動凸部131L、131R與連動機構部6B來構成由滑動機構所致之上流側推壓機構9B。
在本例中，驅動凸部131L、131R，較理想，係由不鏽鋼等之金屬材料所成，並被設置在從第3左臂3L之支軸23L和第3右臂3R之支軸23R而離開了特定之距離的位置處。於此情況，驅動凸部131L、131R，係被配置在較第3左臂3L以及第3右臂3R之支軸23L、23R而更靠基板搬送方向下流側處。
另外，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R之各驅動凸部131L、131R，係以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作形成。
本例之驅動凸部131L、131R，係為與後述之連動部61的長孔62作卡合者，並具備有相同之構成。
如圖15(b)中所示一般，各驅動凸部131L、131R，係具備有以立起設置在第3左臂3L以及第3右臂3R之表側面130L、130R上的支軸132L、132R作為中心並在水平方向上而自由轉動地被作支持的圓筒狀之旋轉軸133L、133R。
在各旋轉軸133L、133R之上部處，係被設置有直徑較各旋轉軸133L、133R而更若干大的例如圓板狀之支持部134L、134R。
另一方面，本例之連動機構部6B，較理想，係為由不鏽鋼等之金屬構件所構成者，並具備有直線棒狀之本體部160。
在連動機構部6B之本體部160的其中一端部處，例如係被安裝有在相對於本體部160而相正交的方向上作延伸之長方形平板狀的連動部161。在此連動部161處，例如於其之寬幅方向的中央區域處，係被形成有沿著連動部161之長度方向而直線狀地作延伸之長孔162。
如圖15(b)中所示一般，連動部161之長孔162，其之寬幅，係被設定為較上述之驅動凸部131L、131R的旋轉軸133L、133R之直徑而更若干大，並且較支持部134L、134R之直徑而更小。
又，連動部161之長孔162的長度，係被設定為較伴隨著第3左臂3L與第3右臂3R之旋轉而移動的驅動凸部131L、131R間之最大距離而更長。
藉由此種構成，若是使第3左臂3L與第3右臂3R作旋轉，則各驅動凸部131L、131R之驅動軸133L、133R，係成為一面在連動部161之長孔162內作卡合滑動，一面對於其之基板搬送方向上流或者是下流側之開口緣部作推壓。
在連動機構部6B之本體部160的另外一端部處，例如係被安裝有凸狀(例如銷形狀)之推壓部6a。此推壓部6a之前端部，係亦可施加有用以防止塵埃之發生的例如由PTFE等之耐熱性樹脂之材料所成的塗布。
在本例中，係如圖15(b)中所示一般，而構成為：在使第3左臂3L與第3右臂3R之各驅動凸部131L、131R卡合於連動機構部6B之連動部161的長孔162中的狀態下，藉由以例如被設置在載置部5之表側面處的導引構件163來作導引，來使連動機構部6B之本體部160在基板搬送方向或者是其之相反方向上作直線移動。
接著，使用圖16(a)(b)，對於本例之動作原理以及構成作詳細說明。
以下，對於將第3左臂3L之支軸23L與驅動凸部131L之支軸132L之間的距離、以及第3右臂3R之支軸23R與驅動凸部131R之支軸132R之間的距離，分別設為了r的情況，來作考慮。
在本例中，於連桿機構20作了伸展的狀態下，係如圖16(a)中所示一般，設定為使第3左臂3L以及第3右臂3R之前端部所成的角度會成為例如較180度而更大。
以在此狀態下，被卡合在連動機構部6B之連動部161的長孔162中之第3左臂3L與第3右臂3R之各驅動凸部131L、131R會在該長孔162內而位置在兩端部處的方式，來對於連動部161之長孔162的大小、各驅動凸部131L、131R之位置作設定。
而後，以連動機構部6B之基板搬送方向下流側的推壓部6a不會與應搬送基板10之側部作接觸的方式，來對於連動機構部6B之基準長度(於此，係為從推壓部6a之前端部起直到驅動凸部131L、131R之支軸132L、132R為止的距離)作設定。
在本例中，例如各驅動凸部131L、131R，係以較第3左臂3L以及第3右臂3R之支軸23L、23R而在相對於基板搬送方向而相正交的方向上來位置於更靠外方側處的方式來構成(相對於基板搬送方向之角度θ1)。
另一方面，於連桿機構20作了縮起的狀態下，係如圖16(b)中所示一般，設定為使第3左臂3L以及第3右臂3R之前端部所成的角度會成為例如較180度而更小。
於此狀態下，驅動凸部131L、131R，係分別以第3左臂3L或者是第3右臂3R之支軸23L、23R為中心而在相互接近的方向上作旋轉移動。
於此，係以使相對於基板搬送方向之角度θ0成為較在連桿機構20作了伸展的狀態下之相對於基板搬送方向的角度θ1而絕對值為更小的方式，來以例如使各驅動凸部131L、131R位置在較第3左臂3L以及第3右臂3R之支軸23L、23R而在基板搬送方向之垂直方向之內方側處的方式，而對於上述之各構件的大小、形狀、位置作設定。
在此種構成中，若是使第3左臂3L以及第3右臂3R朝向縮起方向作旋轉，則各驅動凸部131L、131R係朝向基板搬送方向下流側移動，並對於連動部161之長孔162的開口緣部作推壓，連動機構部6B係朝向基板搬送方向下流側移動，推壓部6a與應搬送基板10之側部間的距離係變小(r．cos θ0>r．cos θ1，亦即是，d<D)。
其結果，連動機構部6B之基板搬送方向下流側的部分(推壓部6a之前端部)，係與應搬送基板10之側部相接觸，並能夠對於基板10之側部而作用朝向基板搬送方向之力F。
圖17(a)(b)，係為對於本發明中之上流側推壓機構的又一其他例之構成以及動作作展示之圖，圖17(a)，係為對於連桿機構20之伸展了的狀態作展示者，圖17(b)，係為對於連桿機構20之縮起了的狀態作展示者。
另外，在本例中，在構成上流側推壓機構9C之連動機構部6C之本體部160處，係被安裝固定有例如圖4中所示之下流側推壓機構7之基部71，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構7之說明省略。
如圖17(a)(b)中所示一般，本例之上流側推壓機構9C，係為圖15(a)(b)之變形例，在連動部161A處， 係僅在連動部161A之與第3右臂3R側相對應的區域處，被設置有長孔162A。
此連動部161A，係以被設置在第3左臂3L之表側面130L處的支軸35為中心，而可在水平方向上自由旋轉地被作支持。在本例中，支軸35，係被設置在與上述之驅動凸部131L相同的位置處，藉由此，而構成為使連動部161A以其中一方之端部(左側之端部)作為中心地來作轉動。
連動部161A之長孔162A，係以沿著連動部161A之長度方向而作直線狀延伸的方式而被形成，並構成為與被設置在第3右臂3R處之驅動凸部131R(旋轉軸133R)作卡合。
又，本例之連動部161A，係被與連動機構部6C之本體部160作分離。而，在連動部161A之基板搬送方向下流側的部位處，係被設置有在相對於基板搬送方向而相正交之方向上作延伸並具備有特定之大小的驅動抵接部161a。
另一方面，在連動機構部6C之本體部160的與推壓部6a相反側之端部處，係被設置有與上述之連動部161A的驅動抵接部161a作抵接之連動抵接部160a。
又，在連動機構部6C之本體部160的與推壓部6a相反側的端部處，係被設置有支持部160b，在此支持部160b與上述之導引構件163之間，係於該本體部160之周圍而被裝著有壓縮線圈彈簧166。
在此種構成中，若是從圖17(a)中所示之伸展狀態起來使第3左臂3L以及第3右臂3R朝向縮起方向來作旋轉， 則連動部161A係以支軸35為中心並在順時針方向上旋轉，並且，驅動凸部131R係在逆時針方向上旋轉，藉由此，連動部161A係朝向基板搬送方向下流側而移動。
而，藉由連動部161A之驅動抵接部161a與連動機構部6C之本體部160的連動抵接部160a作抵接，並將此朝向基板搬送方向下流側作推壓，連動機構部6C係與壓縮線圈彈簧166之彈性力相抗衡並朝向基板搬送方向下流側移動。
其結果，連動機構部6C之基板搬送方向下流側的推壓部6a，係與應搬送基板10之側部相接觸，並能夠對於基板10之側部而作用朝向基板搬送方向之力F。
若依據具備此種構成之本例，則由於係能夠將被設置在連動機構部6C之推壓部6a處的連動抵接部160a以適當之力來推壓至連動部161A之驅動抵接部161a上並使其作密著，因此，能夠使連動機構部6C例如沿著導引構件163來確實地以高精確度而朝向基板搬送方向下流側移動。
進而，若依據本例，則由於連動部161A與本體部160係相分離，因此，僅有在推壓部6a與基板10之側部相接觸的部分之近旁處，能夠使本體部160作滑動，而有著能夠將由於導引構件163與本體部160之滑動所導致的塵埃之產生降低的優點。
圖18(a)(b)，係為對於在本發明中之上流側推壓機構的又一其他例之構成以及動作作展示之圖，以下，針對與上述之例相對應的部分，係附加共通的符號，並省略其詳細說明。
另外，在本例中，在構成上流側推壓機構9D之連動機構部6D之本體部60處，係被安裝固定有例如圖4中所示之下流側推壓機構7之基部71，但是，於此，為了方便，係將針對下流側推壓機構7之說明省略。
如圖18(a)(b)中所示一般，在本例中，第3左臂3L與第3右臂3R，係將其之前端部分別形成為半徑r之半圓形狀，在第3左臂3L以及第3右臂3R之最前端部處，係分別被設置有以使該端部側之面例如成為N極的方式所配置了的例如由永久磁石所成之第1驅動用磁石36L、36R。
又，在第3左臂3L與第3右臂3R處，於其之前端部份的基板搬送方向下流側之部位處，係分別被設置有以使其之表面例如成為S極的方式所配置了的例如由永久磁石所成之第2驅動用磁石37L、37R。
在本例中，第1驅動用磁石36L、36R，和第2驅動用磁石37L、37R，係以相對於上述之通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式，而被作配置。
另一方面，在連動機構部6D之本體部160處，係在與被設置有推壓部6a之側的相反側之端部處，被設置有具備著例如較本體部160而更為廣寬幅之卡止部167a的支持構件167，在此支持構件之前端部處，係被設置有以使該端部側之面(側面以及底面)成為例如S極的方式所配置了的例如由永久磁石所成之連動用磁石169。
又，在連動機構部6D之本體部160的中腹部與上述之支持構件167之間，係於該本體部160之周圍而被裝著有壓縮線圈彈簧166。此壓縮線圈彈簧166，其之前端部份係被固定在支持構件167之卡止部167a處。
接著，使用圖18(a)(b)，對於本例之上流側推壓機構的動作原理以及構成作詳細說明。
在本例中，於連桿機構20作了伸展的狀態下，係如圖18(a)中所示一般，設定為使第3左臂3L以及第3右臂3R所成的角度會成為例如較180度而更大。
另一方面，於連桿機構20作了縮起的狀態下，係如圖18(b)中所示一般，設定為使第3左臂3L以及第3右臂3R所成的角度會成為例如較180度而更小。
進而，以經由第3左臂3L和第3右臂3R以及連動機構部6D之間的相對性之位置關係，來使第1以及第2驅動用磁石36L、36R、37L、37R、和連動用磁石169之間的位置關係(近接或者是分離)作變化的方式，來作設定。
亦即是，在連桿機構20作了伸展的狀態下，如圖18(a)中所示一般，以不使連動機構部6D之基板搬送方向下流側的推壓部6a與應搬送基板10之側部作接觸，並且使連動用磁石169相對於上述之第1驅動用磁石36L、36R而作近接的方式，來對於連動機構部6D之本體部160以及支持構件167之長度、第3左臂3L與第3右臂3R之形狀、第1驅動用磁石36L、36R之配置位置作設定。
另一方面，於連桿機構20作了縮起的狀態下，係如圖18(b)中所示一般，以使被設置在第3左臂3L以及第3右臂3R處之第2驅動用磁石37L、37R與連動機構部6D之連動用磁石分別相對向的方式，來設定第2驅動用磁石37L、37R之配置位置。
在此種本例中，在連桿機構20作了伸展的狀態下，如圖18(a)中所示一般，由於連動機構部6D之S極的連動用磁石169，係相對於第3左臂3L以及第3右臂3R之N極的第1驅動用磁石36L、36R而作近接，因此，經由各別之磁力，連動用磁石169與第1驅動用磁石36L、36R係相互吸引，藉由此，連動機構部6D係被朝向基板搬送方向上流側作拉張，連動機構部6D之推壓部6a，係成為並不與應搬送基板10之側部作接觸的狀態，並作靜止。
另一方面，在連桿機構20作了縮起的狀態下，如圖18(b)中所示一般，由於第3左臂3L以及第3右臂3R之S極的第2驅動用磁石37L、37R，係與連動機構部6D之S極的連動用磁石169相互作對向，因此，經由各別之磁力，連動用磁石169與第2驅動用磁石37L、37R係開始相互排斥，藉由此，連動機構部6D係被朝向基板搬送方向下流側作推壓，連動機構部6D之基板搬送方向下流側的推壓部6a，係成為與應搬送基板10之側部作接觸，並對於基板10之側部而作用朝向基板搬送方向之力F。
若依據具備此種構成之本例，則由於係能夠從第3左臂3L以及第3右臂3R來對於連動機構部6D而將驅動力以非接觸來作傳導，因此，係能夠將會對於搬送物造成污染之塵埃的產生降低。
另外，本發明，係並不被限定於上述之實施形態，而可進行各種之變更。
例如，在圖2(a)(b)所示之例中，係設為將相鄰接之2個的凸輪驅動面31L、31R和與此些相對應之2個的連動滾輪62L、62R作組合並構成上流側推壓機構9之凸輪機構，但是，本發明，係並不被限定於此，亦可將1個的凸輪驅動面和與此相對應之1個的連動滾輪作組合來構成上流側推壓機構9之凸輪機構，又，亦可將3個以上的凸輪驅動面和與此相對應之3個以上的連動滾輪作組合來構成上流側推壓機構9之凸輪機構。
但是，從以良好平衡來將基板10作保持(把持)的觀點來看，係以如同上述實施形態一般，藉由相鄰接之2個的凸輪驅動面31L、31R和與此些相對應之2個的連動滾輪62L、62R作組合並構成上流側推壓機構9之凸輪機構為理想。
另外，關於上流側推壓機構9之凸輪機構，針對凸輪驅動面之形狀、連動滾輪之大小等，係可因應於將本發明作適用之搬送裝置來適宜作變更。
進而，亦可構成為；在如同平行連桿臂機構一般之分別相對性地作平行移動之複數的鄰接連桿部處，形成凸輪驅動面，並沿著該凸輪驅動面而使上流側推壓機構9移動，而經由上述之動作來將搬送物作保持。
另一方面，關於下流側推壓機構，在圖4所示之例中，針對左下流側推壓部70L、右下流側推壓部70R，雖係將 左驅動構件71L以及右驅動構件71R(特別是各把持面732)，以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而作了配置，但是，本發明，係並不被限定於此，只要是能夠對於基板10而朝向連桿機構20之方向作推壓，則亦可相對於該直線而以成為非對稱的方式來作配置。
又，在圖4所示之例中，雖係設為設置了2個的凸輪方式之下流側推壓部(左下流側推壓部70L、右下流側推壓部)，但是，亦可因應於基板10之形狀或者是大小、亦或是裝置構成等，來將凸輪式推壓部設為1個或者是3個以上。
另一方面，在圖8所示之例中，係將左下流側推壓部81L之把持部86L、右下流側推壓部81R之把持部86R，以相對於通過第1以及第2驅動軸11、12之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而作了配置，但是，本發明，係並不被限定於此，只要是能夠對於基板10而朝向連桿機構20之方向作推壓，則亦可將把持部86L、86R相對於該直線而以成為非對稱的方式來作配置。
又，在圖8所示之例中，雖係設為設置了2個的連桿方式之下流側推壓部(左下流側推壓部81L、右下流側推壓部81R)，但是，亦可因應於基板10之形狀或者是大小、亦或是裝置構成等，來將連桿式推壓部設為1個或者是3個以上。
更進而，在上述之實施形態中，雖係針對設置了具備有可移動之推壓部之上流側推壓機構的情況而作了說明，但是，本發明，係亦可代替上流側推壓機構，而在載置部上設置1或者是2以上之卡止部，並經由該卡止部與下流側推壓機構來將搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並機械性地作保持。
但是，從能夠將搬送物更確實地作保持，並在把持時而盡可能地使搬送物不會在載置部上移動以防止塵埃之產生的觀點來看，係以設為經由上述一般之上流側推壓機構以及下流側推壓機構來將搬送物作挾持保持的構成為理想。
進而，本發明，係並不僅是對於例如Si晶圓等之圓板形狀的基板，而亦可使用在對於例如玻璃基板等之矩形形狀的基板或者是橢圓形狀、多角型形狀等之各種的基板之搬送中。
1L．．．第1左臂
1R．．．第1右臂
2L．．．第2左臂
2R．．．第2右臂
3L．．．第3左臂(驅動連桿部)
3R．．．第3右臂(驅動連桿部)
4．．．動力傳導機構
5．．．載置部
6．．．連動機構部
6a．．．推壓部
7．．．下流側推壓機構
8A．．．搬送室
8B．．．處理室
9．．．上流側推壓機構
10．．．基板(搬送物)
20．．．連桿機構
31L、31R．．．凸輪驅動面
50．．．搬送裝置
730．．．把持部
[圖1]對於本發明之搬送裝置的概要構成作模式性展示之平面圖。
[圖2](a)：對於在本發明中之上流側推壓機構的連動機構部之例作展示的構成圖。(b)：對該上流側推壓機構之全體作展示的構成圖。
[圖3](a)、(b)：用以對於同上流側推壓機構之動作原理以及構成作詳細說明的圖。
[圖4]對於同下流側推壓機構以及上流側推壓機構作展示的平面圖。
[圖5](a)：對於同下流側推壓機構的重要部分作展示之平面圖，(b)：對同下流側推壓機構之重要部分作展示的部分剖面圖。
[圖6](a)：對於同下流側推壓機構的重要部分作展示之平面圖，(b)：對同下流側推壓機構之重要部分作展示的部分剖面圖。
[圖7](a)～(c)：對於在本例中之搬送裝置的動作作展示之說明圖。
[圖8]對於本發明之其他例中的上流側推壓機構以及下流側推壓機構作展示的平面圖。
[圖9](a)、(b)：對於同下流側推壓機構之重要部分作展示的平面圖。
[圖10]對於本發明中之上流側推壓機構的其他例子作展示的圖。
[圖11]對於上流側推壓機構的其他例子之重要部分作展示的部分剖面側面圖。
[圖12]對於上流側推壓機構的又一其他例子之重要部分作展示的構成圖。
[圖13]對於上流側推壓機構的又一其他例子之重要部分作展示的構成圖。
[圖14](a)、(b)：對於上流側推壓機構的又一其他例子之重要部分的構成以及動作作展示之圖。
[圖15](a)：對於在本發明中之上流側推壓機構的又一其他例子的全體作展示之構成圖。(b)：圖15(a)之A-A線剖面圖。
[圖16]對於同例之動作原理以及構成作詳細說明的圖。
[圖17](a)、(b)：對於在本發明中之上流側推壓機構的又一其他例子之構成以及動作作展示之圖。
[圖18](a)、(b)：對於在本發明中之上流側推壓機構的又一其他例子之構成以及動作作展示之圖。
[圖19]先前技術之搬送裝置的概略構成圖。
[圖20]先前技術之搬送裝置的重要部分概略構成圖。
1L．．．第1左臂
1R．．．第1右臂
2L．．．第2左臂
2R．．．第2右臂
3L．．．第3左臂(驅動連桿部)
3R．．．第3右臂(驅動連桿部)
4．．．動力傳導機構
5．．．載置部
5L．．．支持構件
5R．．．支持構件
7．．．下流側推壓機構
9．．．上流側推壓機構
10．．．基板(搬送物)
11．．．驅動軸
12．．．驅動軸
20．．．連桿機構
21L．．．支軸
21R．．．支軸
22L．．．固定螺絲
22R．．．固定螺絲
23L．．．支軸
23R．．．支軸
M1．．．第1驅動源
M2．．．第2驅動源
50．．．搬送裝置

Claims (10)

  1. 一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓，前述上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處；和連動機構部，係具備有與該凸輪驅動面相抵接並可作連動的連動滾輪，並且具備有因應於該連動滾輪之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部，該搬送裝置，係構成為經由以前述下流側推壓機構以及前述上流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之搬送裝置，其中，在前述下流側推壓機構處，係被設置有凸輪方式之驅動 部、和經由該凸輪方式之驅動部而被作驅動的凸輪方式之下流側推壓部。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載之搬送裝置，其中，在前述下流側推壓機構處，係被設置有連桿方式之驅動部、和與該連桿方式之驅動部相卡合並被作驅動的連桿方式之下流側推壓部。
  4. 如申請專利範圍第2項或第3項所記載之搬送裝置，其中，前述下流側推壓部，係被設置有2個，被設置在各下流側推壓部處之把持部，係以相對於通過第1以及第2驅動軸之旋轉中心軸線而在基板搬送方向上延伸之直線而成為線對稱的方式而被作配置。
  5. 一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向位置於該基板搬送方向上流側之前述連桿機構之方向來作推 壓，前述上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係分別被設置在被設置於前述連桿機構之驅動連桿部處的一對之相鄰接的連桿構件處；和一對之連動滾輪，係分別與該一對之凸輪驅動面相抵接並可作連動；和連動機構部，係具備有因應於該一對之連動滾輪之移動而在前述基板搬送方向作直線移動之推壓部，以在前述連桿機構作了伸長的狀態下而前述連動機構部之推壓部並不會與該搬送物之側部相抵接、且在前述連桿機構作了縮起的狀態下該連動機構部之推壓部會與該搬送物之側部作抵接的方式，來設定前述連動機構部之推壓部的移動距離，經由以前述上流側推壓機構以及前述下流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載之搬送裝置，其中，前述下流側推壓機構，係具備有：一對之驅動構件，係以因應於前述上流側推壓機構之連動機構部的移動而在前述基板搬送方向上作移動的方式而被作設置；和凸輪驅動面，係分別被設置在該一對之驅動構件的前述基板搬送方向下流側之端部處；和連動卡止構件，係具備有分別與前述一對之驅動構件的凸輪驅動面相抵接並可連動的把持部，前述連動卡止構件，係構成為：伴隨著前述一對之驅 動構件的朝向該基板搬送方向下流側之移動，而使前述把持部從分別傾斜了的狀態來朝向該基板搬送方向上流側作旋轉移動並起立，並且，以在前述連桿機構作了伸長的狀態下而前述連動卡止構件之把持部並不會與該搬送物之側部相抵接、且在前述連桿機構作了縮起的狀態下該連動卡止構件之把持部會與該搬送物之側部作抵接的方式，來設定前述連動卡止構件之把持部的移動距離。
  7. 一種真空裝置，其特徵為，具備有：真空槽；和搬送裝置，係具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓，前述上流側推壓機構，係具備有：凸輪驅動面，係被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處；和連動機構部，係具備有與該凸輪驅動面相抵接並可作連動的連動滾輪，並且具備有因應於該連動滾輪 之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部，該搬送裝置，係構成為經由以前述下流側推壓機構以及前述上流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持，該真空裝置，係構成為：使前述搬送裝置之載置部，對於前述真空槽內而進行搬入以及搬出。
  8. 一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓，前述上流側推壓機構，係具備有被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處並且旋轉方向係互為相反方向的一對之相鄰接的連桿構件，在該一對之鄰接連桿構件處，係被跨架設置有由帶狀之一體性的彈性構件所成之帶狀推壓手段， 該搬送裝置，係構成為經由以前述下流側推壓機構以及前述上流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
  9. 一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係經由驅動連桿部而被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之驅動連桿部的動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側來作推壓，前述上流側推壓機構，係具備有：被設置在前述連桿機構之驅動連桿部處的驅動支持部、和經由該驅動支持部而被作驅動之連動機構部，前述連動機構部，係具備有：具有能夠與前述驅動支持部相互卡合滑動的長溝狀滑動部之連動部、和被與該連動部相連結，並且因應於在該連動部之長溝狀滑動部內的前述驅動支持部之移動而被沿著基板搬送方向作導引移動之推壓部， 該搬送裝置，係構成為經由以前述下流側推壓機構以及前述上流側推壓機構所進行的推壓，來將該搬送物從基板搬送方向之兩側而作挾持並作保持。
  10. 一種搬送裝置，其特徵為，具備有：連桿機構，係可自由伸縮，並具備著複數之臂，且被傳導有從驅動源而來之動力；和載置部，係被連結於前述連桿機構之動作前端部處，並用以載置搬送物；和下流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向下流側的部位處，並伴隨著前述連桿機構之動作而與該搬送物之側部作抵接並將該搬送物朝向前述連桿機構之方向來作推壓；和上流側推壓機構，係被設置在前述載置部之基板搬送方向上流側的部位處，並藉由以前述連桿機構所驅動的連動機構部來將該搬送物朝向該基板搬送方向下流側作推壓，前述連桿機構，係具備有：一對之第1臂，係分別被固定在設置為同心狀並且旋轉方向互為相反方向之第1以及第2驅動軸上；和一對之第2臂，係分別被可在水平方向上自由旋轉地而安裝於該第1臂之前端部處；和一對之第3臂，係分別被固定在前述一對之第2臂的前端部處，並且，該第3臂之前端部，係以使旋轉方向成為相反方向的方式，來對於前述載置部而分別可在水平方向上自由旋轉地作連結， 在前述一對之第3臂處，係分別被設置有極性為相異之複數之驅動用磁石，並且，在前述連動機構部處，係被設置有單一極性之連動用磁石，該搬送裝置，係構成為依據前述一對之第3臂和前述連動機構部之間的相對性之位置關係，來使前述一對之第3臂的前述驅動用磁石和前述連動機構部之前述連動用磁石相互接近或分離。
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