CN102725110B - 输送装置及真空装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下及该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送、并且能够尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由第3左臂（3L）、第3右臂（3R）连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作而与基板（10）的侧部抵接、将基板（10）向朝向连杆机构（20）的方向施力的下游侧施力机构（7），在载置部（5）的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作、与基板（10）的侧部抵接而将基板（10）向基板输送方向施力的上游侧施力机构（9）。

Description

输送装置及真空装置

技术领域

本发明涉及输送例如基板等输送物的输送装置，特别涉及适合于半导体制造装置等具备多个处理腔室的真空装置的输送装置。 

背景技术

在半导体制造等的领域中，以往使用图19及图20所示那样的基板输送装置201。 

该基板输送装置201具有驱动部202、连结在该驱动部202上、由多个臂构成的臂部203、和连结在该臂部203的前端上的末端执行器204，构成为，用末端执行器204的上表面支承基板W的背面，在多个处理腔室（未图示）间进行基板W的交接。 

末端执行器204一般用陶瓷或不锈钢等制作。因而，如果使臂部203以高速伸缩动作或旋绕动作，则末端执行器204也以高速动作，所以通过对基板W施加的加速度的影响，基板W在末端执行器204上滑动，有不能将基板W输送到正确的位置的问题。 

除此以外，在以往技术中，有基板W在末端执行器204上滑动时产生的灰尘将基板W的表面污染的问题。 

所以，如图20所示，还提出了在末端执行器204的上表面上设置多个保持部205、在基板W背面的规定部位接触的方案。 

该保持部205一般由橡胶或弹性体等树脂类弹性材料形成，所以抑制基板W的背面的滑动，作为防滑垫发挥功能。由此，在末端执行器204的上表面上将基板W不滑动而以稳定的输送姿势保持（例如参照专利文献1）。 

这里，由弹性体等树脂类弹性材料形成的保持部205虽然在基板W及周围的气体环境温度较低（例如200℃以下）的情况下能够高效率地抑制基板W的滑动，但在该温度较高（例如300～500℃）的情况下，有因保持部205受热的变质或变形而不能抑制基板W的滑动的问题。 

另一方面，在该温度比较低（例如200℃以下）的情况下，也有基板W以保持部205的粘附力粘贴、不能从末端执行器204使基板W适当地离开的情况。例如，在向处理腔室内的台交接基板W时，有基板W不从保持部205离开而破裂的问题、及不能将基板W输送到正确的位置的问题。 

进而，由于在原理上通过保持部205与基板W间的摩擦力抑制基板W的滑动，所以如果在基板W上作用超过由两者的物质决定的最大静摩擦力那样的加速度，则基板W在末端执行器204上滑动。因而，有不能超过保持部205与基板W间的最大静摩擦力而使输送装置201的动作速度增大的问题。 

专利文献1：特开2002－353291号公报。 

发明内容

本发明是为了解决这样的以往的技术的课题而做出的，其目的是在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下、以及在该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送。 

此外，本发明的另一目的是提供一种尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。 

为了达到上述目的而做出的本发明，是一种输送装置，具备：伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；构成为，通过上述下游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。 

在本发明中，在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述下游侧施力机构中设有凸轮方式的驱动部、在上述下游侧施力机构中设有由该凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的下游侧施力部的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述下游侧施力机构中设有连杆方式的驱动部、在上述下游侧施力机构中设有与该连杆方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的下游侧施力部的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述下游侧施力部设有两个、配置为使设在各下游侧施力部中的把持部相对于通过第1及第2驱动轴的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述上游侧施力机构具有设在上述连杆机构的驱动连杆部上、旋转方向是相反方向的一对相邻的连杆部件、在该一对相邻连杆部件上架设设置有由带状的一体的弹性部件构成的带状施力单元的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述上游侧施力机构具备设在上述连杆机构的驱动连杆部上的驱动支承部、和受该驱动支承部驱动的从动机构部、上述从动机构部具备：从动部，具有能够与上述驱动支承部卡合滑动的长槽状滑动部；施力部，连结在该从动部上，对应于该从动部的长槽状滑动部内的上述驱动支承部的移动而被沿着基板输送方向导引移动的情况下也是有效的。 

在本发明中，在上述上游侧施力机构在上述驱动连杆部上设有极性不同的多个驱动用磁铁、并且在上述从动机构部上设有单一的极性的从动用磁铁、构成为根据上述驱动连杆部与上述从动机构部的相对的位置关系、上述多个驱动用磁铁分别与上述从动用磁铁接近或离开的情况下也是有效的。 

此外，本发明是一种输送装置，具备：伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；上游侧施力机构，设在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作，与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力；下游侧施力机构，设在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作，与该输送物的侧部抵接，将该输送物向朝向位于该基板输送方向上游侧的上述连杆机构的方向施力；上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，分别在设于上述连杆机构的驱动连杆部上的一对相邻的连杆部件上设置；和从动机构部，具有分别抵接在该一对凸轮驱动面上而能够从动的一对从动辊、和对应于该一对从动辊的移动而在上述基板输送方向上直线地移动的施力部；设定上述从动机构部的施力部的移动距离，以使得在上述连杆机构伸长的状态下上述从动机构部的施力部不抵接在该输送物的侧部上、并且在上述连杆机构收缩的状态下该从动机构部的施力部抵接在该输送物的侧部上；构成为，通过上述上游侧施力机构及上述下游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。 

在本发明中，在以下的情况下也是有效的：上述下游侧施力机构具备设置为对应于上述上游侧施力机构的从动机构部的移动而在上述基板输送方向上移动的一对驱动部件、分别设在该一对驱动部件的上述基板输送方向下游侧的端部上的凸轮驱动面、和具有分别抵接在上述一对驱动部件的凸轮驱动面上而能够从动的把持部的从动卡止部件；上述从动卡止部件构成为，使其随着上述一对驱动部件的向该基板输送方向下游侧的移动、上述把持部分别向该基板输送方向上游侧旋转移动而起立；并且，设定上述从动卡止部件的施力部的移动距离，以使得在上述连杆机构伸长的状态下上述从动卡止部件的把持部不抵接在该输送物的侧部上、并且在上述连杆机构收缩的状态下上述从动卡止部件的把持部抵接在该输送物的侧部上。 

此外，本发明是一种真空装置，具有真空槽、和上述任一个输送装置，构成为，上述输送装置的载置部相对于上述真空槽内进行运入及运出。 

在本发明中，在载置部的基板输送方向下游侧的部位上设有随着连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构，通过下游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持而机械地保持，所以能够抑制载置部上表面上的输送物的滑动（在原理上没有滑动）而实现输送物的高速输送。 

此外，通过包括施力单元、将全部的部件用金属制作，不仅是输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下，在输送时的温度较高（例如300～500℃）的情况下也没有热变质及变形而抑制输送物的滑动。 

进而，由于在把持输送物的部分上没有滑动的部分，所以能够降低将输送物污染的灰尘的发生。 

另一方面，在本发明中，在载置部的基板输送方向上游侧的部位上设有随着连杆机构的驱动连杆部的动作而与输送物的侧部抵接、将输送物向基板输送方向施力的上游侧施力机构的情况下，由于能够将输送物从基板输送方向的两侧同时把持，所以能够提供不发生输送物的滑动、也不发生灰尘的输送装置。 

此外，在本发明中，在下游侧施力机构中设有凸轮方式的驱动部、和由该凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的下游侧施力部的情况下，由于能够将凸轮机构的滑动部配置在作为输送物的基板的下侧，所以能够防止由例如在滑动部中发生的灰尘造成的基板表面的污染。 

进而，此外在本发明中，在下游侧施力机构中设有连杆方式的驱动部、和与该连杆方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的下游侧施力部的情况下，由于能够将连杆机构的滑动部配置在相对于作为输送物的基板离开的位置上，所以能够防止由例如在滑动部中发生的灰尘造成的基板表面的污染。 

进而，此外在本发明中，在设有两个下游侧施力部、配置为、使设在各下游侧施力部中的把持部相对于通过第1及第2驱动轴的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称的情况下，能够通过两个把持部平衡良好地将基板施力而保持（把持）。 

进而，此外在本发明中，在上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部的情况下，由于通过凸轮和辊传递动力，所以能够以简单的结构提供小型的输送装置，并且由于在把持输送物的部分中没有滑动的部分，所以能够降低将输送物污染的灰尘的发生。 

在本发明中，在上游侧施力机构具有设在上述连杆机构的驱动连杆部上、旋转方向是相反方向的一对相邻的连杆部件、在该一对相邻连杆部件上架设设置有由带状的一体的弹性部件构成的带状施力单元的情况下，由于在把持输送物的附近没有滑动的部分，所以能够尽量降低将输送物污染的灰尘的发生。 

在本发明中，在上游侧施力机构具备设在连杆机构的驱动连杆部上的驱动支承部、和由该驱动支承部驱动的从动机构部、从动机构部具备具有能够与驱动支承部卡合滑动的长槽状滑动部的从动部、和连结在该从动部上、对应于该从动部的长槽状滑动部内的上述驱动支承部的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部的情况下，由于通过滑动机构传递动力，所以能够以简单的结构提供小型的输送装置，并且在把持输送物的部分中没有滑动的部分，所以能够降低将输送物污染的灰尘的发生。 

在本发明中，在上游侧施力机构在驱动连杆部上设有极性不同的多个驱动用磁铁、并且在从动机构部中设有单一的极性的从动用磁铁、构成为、通过驱动连杆部与从动机构部的相对的位置关系而多个驱动用磁铁分别与从动用磁铁接近或离开的情况下，由于能够将从驱动连杆部对从动机构部的驱动力以非接触传递，所以能够降低将输送物污染的灰尘的发生。 

附图说明

图1是示意地表示有关本发明的输送装置的概要的结构的俯视图。 

图2（a）是表示本发明的上游侧施力机构的从动机构部的例子的结构图，图2（b）是表示该上游侧施力机构的整体的结构图。 

图3（a）、图3（b）是详细地说明该上游侧施力机构的动作原理及结构的图。 

图4是表示该下游侧施力机构及上游侧施力机构的俯视图。 

图5（a）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图，图5（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的部分剖视图。 

图6（a）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图，图6（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的部分剖视图。 

图7（a）～图7（c）是表示本例的输送装置的动作的说明图。 

图8是表示本发明的另一例的上游侧施力机构及下游侧施力机构的俯视图。 

图9（a）、图9（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图。 

图10是表示本发明的上游侧施力机构的另一例的图。 

图11是表示上游侧施力机构的另一例的主要部的部分截面侧视图。 

图12是表示上游侧施力机构的再另一例的主要部的结构图。 

图13是表示上游侧施力机构的再另一例的主要部的结构图。 

图14（a）、图14（b）是表示上游侧施力机构的再另一例的主要部的结构及动作的图。 

图15（a）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的整体的结构图，图15（b）是图15（a）的A－A线剖视图。 

图16是详细地说明该例的动作原理及结构的图。 

图17（a）、图17（b）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的结构及动作的图。 

图18（a）、图18（b）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的结构及动作的图。 

图19是表示有关以往技术的输送装置的概略结构图。 

图20是表示有关以往技术的输送装置的主要部概略结构图。 

附图标记说明 

1L 第1左臂、1R 第1右臂、2L 第2左臂、2R 第2右臂、3L 第3左臂（驱动连杆部）、3R 第3右臂（驱动连杆部）、4 动力传递机构、5 载置部、6 从动机构部、6a 施力部、7 下游侧施力机构、8A 输送室、8B 处理室、9 上游侧施力机构、10 基板（输送物）、20 连杆机构、31L、31R 凸轮驱动面、50 输送装置、730 把持部。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本发明的优选的实施方式。 

图1是示意地表示有关本发明的输送装置的概要的结构的俯视图。 

如图1所示，本发明的输送装置50例如是在真空处理槽内进行作为输送物的基板10的输送的所谓蛙腿方式的结构，具有用来驱动以下说明的连杆机构20的在铅直方向上以同心状配设的第1及第2驱动轴11、12。 

这些各驱动轴11、12构成为，被从独立的第1及第2驱动源M1、M2分别传递顺时针方向或逆时针方向的旋转动力。 

在第1驱动轴11上固定着第1左臂1L的一个端部（基端部），在第2驱动轴12上固定着第1右臂1R的一个端部（基端部）。 

第1左臂1L的另一个端部（前端部）上，以支轴21L为中心在水平方向上旋转自如地安装着第2左臂2L的一个端部（基端部）。 

在第1右臂1R的另一个端部（前端部）上，以支轴21R为中心在水平方向上旋转自如地安装着第2右臂2R的一个端部（基端部）。 

在本实施方式中，这些第1左臂1L及第1右臂1R形成为直线状，构成为，使其具有相同的支点间距离。 

第2左臂2L形成为直线状，在其另一个端部（前端部）上，通过固定螺纹件22L固定着第3左臂3L的一个端部（基端部）。 

第2右臂2R形成为直线状，在其另一个端部（前端部）上，通过固定螺纹件22R固定着第3右臂3R的一个端部（基端部）。 

这里，第3左臂3L、第3右臂3R是构成驱动连杆部的部件，形成为大致“く”字状，各自的弯曲部分的凸部朝向连杆外方侧而配置。 

此外，第3左臂3L的另一个端部（前端部）以设在后述的动力传递机构4的表面上的支轴23L为中心在水平方向上旋转自如地安装。 

另一方面，第3右臂3R的另一个端部（前端部）以设在后述的动力传递机构4的例如表面侧的支轴23R为中心在水平方向上旋转自如地安装。 

在本实施方式中，构成为，从第2左臂2L的支轴21L到第3左臂3L的支轴23L的支点间距离与从第2右臂2R的支轴21R到第3右臂3R的支轴23R的支点间距离具有相同的距离。 

此外，动力传递机构4在例如矩形薄型箱形状的壳体内具有相互啮合的一对齿轮（未图示）。 

这些齿轮具有相同的齿数，各自的旋转轴固定在上述支轴23L、23R上，由此，构成为，向反方向以相同速度旋转，以作为姿势控制机构发挥作用。 

这些支轴23L、23R在相对于基板的输送方向正交的方向上接近配置。 

在本发明的情况下，虽然没有特别限定，但从平衡良好地保持输送物的观点看，优选的是构成为，在通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、相对于基板输送方向（箭头P方向）正交的位置上配置支轴23L、23R。 

在动力传递机构4的基板输送方向下游侧，设有作为所谓末端执行器的载置部5。 

该载置部5具有隔开规定的间隔设置的支承部件5L、5R。 

另一方面，在本发明中，在支承部件5L、5R的基板输送方向下游侧的端部上设有用来把持基板10的下游侧施力机构7。 

该下游侧施力机构7如后述那样构成为，随着构成连杆机构20的第3左臂3L及第3右臂3R的动作，在载置部5的基板输送方向下游侧的部位上分别与基板10的侧部抵接，将基板10向朝向连杆机构20的方向（基板输送方向上游侧）施力（用附图标记f1、f2表示）。 

进而，在本发明中，在载置部5的基板输送方向上游侧的部位上设有上游侧施力机构9。 

该上游侧施力机构9如以下说明那样构成为，随着连杆机构20的第3左臂3L及第3右臂3R的动作，与基板10的侧部抵接，将基板10向基板输送方向施力（用附图标记F表示）。 

图2（a）是表示本发明的上游侧施力机构的从动机构部的例子的结构图，图2（b）是表示该上游侧施力机构的整体的结构图，图3（a）、图3（b）是详细地说明上游侧施力机构的动作原理及结构的图。 

另外，在图2（a）、图2（b）及图3（a）、图3（b）中，如后述的图4所示，在从动机构部6的主体部60上安装固定着下游侧施力机构7的基部71，但这里为了方便而省略关于下游侧施力机构7的说明。 

如图2（b）所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分别形成为半圆形状，在各前端部的基板输送方向下游侧的部分上设有圆弧状的凸轮驱动面31L、31R。并且，具有这些第3左臂3L及第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R和图2（a）所示的从动机构部6而构成上游侧施力机构9。 

这里，第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R通过将第3左臂3L和第3右臂3R的例如上表面侧分别切缺为阶梯状，形成为关于基板输送方向下游侧方向为凸的圆弧状。 

并且，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R构成为，使各前端部侧的变位量（支轴23L与内侧抵接面31L1间的距离、支轴23R与内侧抵接面31R1间的距离）r1比各基端部侧的变位量（支轴23L与外侧抵接面31L0间的距离、支轴23R与外侧抵接面31R0间的距离）r0小（r1<r0）。 

另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R形成为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

另一方面，本例的从动机构部6优选的是由不锈钢等金属部件构成，具有直线棒状的主体部60。 

在从动机构部6的主体部60的一端部上，安装着例如梯形形状的支承部件61，在该支承部件61的梯形底边的两端部上，分别设有例如具有相同的直径的正圆形的从动辊62L、62R。 

这里，从动辊62L、62R例如配置为，使其相对于主体部60延伸的方向的直线成线对称，构成为，使其以相对于包括该主体部60的平面正交的方向的支轴63L、63R为中心旋转。 

在从动机构部6的主体部60的另一端部上，安装着例如凸状（这里是销形状）的施力部6a。该施力部6a的前端部也可以实施用来防止灰尘的发生的由例如PTFE（聚四氟乙烯树脂）等耐热性的树脂材料构成的涂层。 

此外，在从动机构部6的主体部60的中腹部与上述支承部件61之间，在该主体部60的周围安装着压缩螺旋弹簧64。该压缩螺旋弹簧64的前端部分固定在支承部件61上。 

并且，在本例中，如图2（b）所示，构成为，通过在使从动机构部6的从动辊62L、62R分别抵接在第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R上的状态下用例如设在载置部5的表面上的导引部件65导引，从动机构部6的主体部60通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线在基板输送方向上直线移动。 

在此情况下，安装在从动机构部6的主体部60上的压缩螺旋弹簧64的施力部6a侧的前端部分抵接卡止在导引部件65上，通过其弹性力将从动机构部6的从动辊62L、62R对第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R推压。 

接着，使用图3（a）、图3（b）详细地说明上游侧施力机构的动作原理及结构。 

在本例中，设定为，在连杆机构20伸长的状态下，如图3（a）所示，使第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度大。 

另一方面，设定为，在连杆机构20收缩的状态下，如图3（b）所示，使第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度小。 

在这样的结构中，设定从动机构部6的长度（这里，是从施力部6a的前端部到从动辊62L、62R的凸轮驱动面31L、31R的内侧抵接面31L1、31R1的距离），以使在连杆机构20伸长的状态下，如图3（a）所示，从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触，并且设定第3左臂3L及第3右臂3R的安装面30L、30R的角度、上述凸轮驱动面31L、31R的变位量r1，决定从动辊62L、62R的各内侧抵接面31L1、31R1与基板10的侧部的距离，将其设为距离D。 

另一方面，在连杆机构20收缩的状态下，如图3（b）所示，第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度比180度小，从动机构部6的从动辊62L、62R沿着第3左臂3L及第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R分别向外侧抵接面31L0、31R0侧移动，由此，第3左臂3L和第3右臂3R的支轴23L、23R与各凸轮驱动面31L、31R间的距离变大（r0>r1）。 

在此情况下，在本例中，将从动机构部6的从动辊62L、62R与各凸轮驱动面31L、31R的接触部分和各支轴23L、23R连结的直线的相对于基板输送方向的角度，连杆机构20收缩的状态比连杆机构20伸长的状态小（θ0<θ1），所以随着第3左臂3L及第3右臂3R的向收缩方向的旋转，从动机构部6向基板输送方向下游侧移动，从动辊62L、62R的接触端部与应输送的基板10的侧部的距离变小（r0cosθ0>r1cosθ1，即，d<D）。 

结果，从动机构部6的基板输送方向下游侧的部分（施力部6a）与应输送的基板10的侧部接触，对基板10的侧部作用向基板输送方向的力F。 

在本例中，在上述动作时，压缩螺旋弹簧64的输送方向下游侧的部分抵接在导引部件65上而被压缩，所以通过压缩螺旋弹簧64的弹性力，将从动机构部6的从动辊62L、62R推压紧贴在第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R上，由此，从动机构部6沿着导引部件65可靠地以高精度向基板输送方向下游侧移动。 

图4是表示本例的下游侧施力机构及上游侧施力机构的俯视图，图5（a）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图，图5（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的部分剖视图，图6（a）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图，图6（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的部分剖视图。 

如图4所示，在本例中，在载置部5的基板输送方向下游侧的部位上设有具有左下游侧施力部70L及右下游侧施力部70R的下游侧施力机构7。 

这里，下游侧施力机构7具有安装固定在上述从动机构部6的主体部60上的、沿与基板输送方向（箭头P方向）正交的方向延伸的直线棒状的基部71。 

该基部71具有与载置部5的支承部件5L、5R的间隔大致相等的长度，在左支承部件5L上，安装固定着沿基板输送方向延伸的直线棒状的左驱动部件71L，在右支承部件5R上，安装固定着沿基板输送方向延伸的直线棒状的右驱动部件71R。 

在本例的情况下，这些左驱动部件71L及右驱动部件71R分别沿着支承部件5L、5R配置在各自的下侧。 

此外，左驱动部件71L及右驱动部件71R配置为，使其相对于通过上述第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

并且，在载置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上，设有左下游侧施力部70L、右下游侧施力部70R。在本例中，由上述基部71、左驱动部件71L及右驱动部件71R构成驱动机构，构成为，随着连杆机构20的动作而分别驱动左下游侧施力部70L及右下游侧施力部70R。 

这里，左下游侧施力部70L和右下游侧施力部70R构成为，使其通过相同的机构动作，配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

以下，使用图4、图5（a）、图5（b）及图6（a）、图6（b），适当以右下游侧施力部70R为例说明本发明的下游侧施力机构的结构及动作。 

如图5（a）、图5（b）所示，本例的右下游侧施力部70R具有安装在支承部件5R的下部处的例如箱状的保持部51。 

在该保持部51的底部51a上，朝向水平方向支承着上述右驱动部件71R。 

并且，在设在保持部51的两侧的侧壁部51b上，可旋转地支承着沿相对于基板输送方向为直角方向延伸并且朝向水平方向的支轴72R。 

在该支轴72R上，安装固定着构成右下游侧施力部70R的右夹紧卡止部件73R。 

该右夹紧卡止部件73R形成为大致“L”字状，由向铅直上方延伸的把持部730、和相对于支轴72R向基板输送方向下游侧延伸的凸轮从动部731构成。 

这里，右夹紧卡止部件73R的把持部730构成为，使其前端部分从设在支承部件5R上的开口部74R向上方突出。 

并且，形成为，使长度即支点间距离比凸轮从动部731长，构成为，使其前端部分从设在支承部件5R上的开口部74R向上方突出。 

在本例中，如图5（b）所示，在右夹紧卡止部件73R的把持部730的基板输送方向下游侧的部分上，安装着作为弹性部件的例如拉伸螺旋弹簧75的一端部，进而，该拉伸螺旋弹簧75的另一端部安装在设在支承部件5R上的基板输送方向下游侧的位置上的安装部件76上。 

并且，如图5（b）所示，拉伸螺旋弹簧75构成为，将右夹紧卡止部件73R的把持部730向基板输送方向下游侧拉伸。 

此外，在右夹紧卡止部件73R的把持部730上，设有相对于基板输送方向以规定的角度（例如向应输送的基板10的内侧为45°左右）倾斜的例如平面形状的把持面732。 

另外，在右夹紧卡止部件73R的把持面732上，也可以实施用来防止灰尘的发生的由例如PTFE等耐热性的树脂材料构成的涂层。 

另一方面，右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731相对于支轴72R稍稍朝向下方形成，构成为，使支轴72R的正下方的部分和凸轮从动部731的下表面734对驱动部件71R的上表面710（及以下说明的凸轮驱动面711）接触。 

并且，凸轮从动部731的前端部的形状形成为R形状。 

在本例的情况下，该凸轮驱动面711形成为凹部状，形成为相对于右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731的下表面734嵌合的凹曲面形状。 

另外，在右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731与驱动部件71R的上表面710接触的部分上，也可以实施用来防止灰尘的发生的由例如PTFE等耐热性的树脂材料构成的涂层。 

另一方面，左下游侧施力部70L是与上述右下游侧施力部70R相同的结构，如图4所示，具有配置为相对于沿基板输送方向延伸的直线成线对称的支轴72L、左夹紧卡止部件73L、开口部74L，在左夹紧卡止部件73L上，设有把持部730、凸轮从动部731及把持面732。 

此外，驱动部件71L具有与上述驱动部件71R相同的结构，虽然没有图示，但在其上表面上，形成有对左夹紧卡止部件73L的凸轮从动部731的下表面734嵌合的凹曲面形状的凸轮驱动面711。 

接着，使用图4、图5（a）、图5（b）及图6（a）、图6（b），详细地说明下游侧施力机构的动作原理及结构。 

在本例的情况下，设定从动机构部6的长度，以使得在连杆机构20伸长的状态下，如上述那样从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 

在此状态下，固定在从动机构部6的主体部60上的基部71位于基板输送方向上游侧的规定位置上，由此，左驱动部件71L及右驱动部件71R也位于基板输送方向上游侧的规定位置上。 

所以，在这样的位置关系中，例如，如图5（a）、图5（b）所示，设定右驱动部件71R的长度、右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731的长度、右驱动部件71R的凸轮驱动面711的长度、位置及形状，以使设在右驱动部件71R上的凸轮驱动面711的底部分和右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731为关于基板输送方向重叠的位置。 

在此状态下，右夹紧卡止部件73R的把持部730被拉伸螺旋弹簧向基板输送方向拉伸，所以右夹紧卡止部件73R的把持部730以支轴72R为中心向倒向基板输送方向的方向旋转，由此，将右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731推压在右驱动部件71R的凸轮驱动面711的底部分上，右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731抵接在右驱动部件71R的凸轮驱动面711的底部分上而成为静止状态。 

并且，如图5（a）所示，在此状态下设定支轴72R的位置、右夹紧卡止部件73R的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使得右夹紧卡止部件73R的把持面732相对于基板10的缘部离开。 

另一方面，如果从该状态起使第3左臂3L及第3右臂3R向使连杆机构20收缩的方向旋转，则与从动机构部6的主体部60一起，基部71和左驱动部件71L及右驱动部件71R向基板输送方向（箭头P方向）移动。 

由此，如图6（a）、图6（b）所示，通过右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731从右驱动部件71R的凸轮驱动面711脱出、凸轮从动部731的下表面734抵接在驱动部件71R的上表面710上，右夹紧卡止部件73R的把持部730以支轴72R为中心向与基板输送方向相反方向、即起立的方向旋转。 

并且，在本例中，设定上述支轴72R的位置、右夹紧卡止部件73R的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使得在如图4所示那样连杆机构20收缩的状态下，如图6（a）所示那样右夹紧卡止部件73R的把持面732抵接在被从动机构部6的施力部6a向基板输送方向施力而移动的基板10的缘部。 

在此情况下，关于左下游侧施力部70L也与右下游侧施力部70R同样，相对于驱动部件71的凸轮驱动面711设定支轴72L的位置、左夹紧卡止部件73L的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使左夹紧卡止部件73L的把持面732与基板10的缘部抵接。 

在本发明的情况下，虽然没有特别限定，但优选的是进行设定，以使左夹紧卡止部件73L的把持部730及右夹紧卡止部件73R的把持部730的移动距离（行程）相对于左驱动部件71L及右驱动部件71R的移动距离、即从动机构部6的移动距离较小。 

根据具有这样的结构的本例，则在连杆机构20收缩的状态下，如图4所示，从从动机构部6的施力部6a作用基板输送方向的力F，在从左下游侧施力部70L的左夹紧卡止部件73L及右下游侧施力部70R的右夹紧卡止部件73R朝向连杆机构20的方向上作用向基板10内方的力f1、f2，由此，对于该基板10，关于基板输送方向从上游侧及下游侧作用推压力，在载置部5上可靠地保持（把持）基板10。 

在该连杆机构20的收缩状态下，通过使第1左臂1L及第1右臂1R向相同的方向旋转，能够在保持着基板10的状态下进行旋绕动作。 

另外，从动机构部6的施力部6a、和左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732接触在基板10的缘部上的时机既可以与连杆机构20完全收缩的状态同时，也可以是连杆机构20完全收缩之前（眼看就要的时候），可以根据采用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 

但是，从精度良好地把持基板10的观点看，优选的是构成为，在从动机构部6的施力部6a接触在基板10的缘部上之后、左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732接触在基板10的缘部上。 

特别是，在本例中，左下游侧施力部70L（左夹紧卡止部件73L的把持面732）及右下游侧施力部70R（右夹紧卡止部件73R的把持面732）配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称，所以能够平衡良好地将基板10施力而保持（把持）。 

进而，在本例中，通过设定为、使左夹紧卡止部件73L的把持部730及右夹紧卡止部件73R的把持部730的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离较小，能够相对于从动机构部6的施力部6a进行的向基板10的施力的时机以规定的范围设定左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732的时机及时间，由此能够精度良好地把持基板10。 

图7（a）～图7（c）是表示本例的输送装置的动作的说明图。 

这里，以将基板10从输送室8A向处理室8B内运入的情况为例进行说明。另外，输送室8A及处理室8B连接在未图示的真空排气系统上。此外，在输送室8A与处理室8B间连接着未图示的闸阀，在该闸阀打开后进行运入、运出动作。 

首先，如图7（a）所示，在如上述那样使连杆机构20收缩而保持着基板10的状态下，将载置部5的前端部朝向处理室8B侧。 

在此状态下，如上所述，从从动机构部6的施力部6a作用基板输送方向的力，并且通过来自从动机构部6的动力，经由基部71、左驱动部件71L及右驱动部件71R在从左下游侧施力部70L的左夹紧卡止部件73L及右下游侧施力部70R的右夹紧卡止部件73R朝向连杆机构20的方向上作用力，所以将基板10把持在载置部5上。 

通过从该状态使第1左臂1L向顺时针方向旋转、并且使第1右臂1R向逆时针方向旋转，开始连杆机构20的伸长动作，如图7（b）所示，基板10朝向处理室8B直线前进。 

进而，通过继续连杆机构20的伸长动作，如图7（c）所示，将基板10运入到处理室8B内。 

在此状态下，如上所述，从动机构部6的施力部6a与基板10的侧部、以及左下游侧施力部70L的左夹紧卡止部件73L及右下游侧施力部70R的右夹紧卡止部件73R与基板10的侧部为不接触的状态，所以通过用设在处理室8B中的未图示的升降机构支承基板10使其上升，能够使基板10从输送装置50的载置部5脱离。 

另外，将从动机构部6的施力部6a与基板10的侧部、以及左下游侧施力部70L的左夹紧卡止部件73L及右下游侧施力部70R的右夹紧卡止部件73R与基板10的侧部的接触解除的时机既可以是与连杆机构20完全伸长的状态同时，也可以是连杆机构20完全伸长之前（眼看就要的时候），可以根据采用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 

然后，通过使第1左臂1L向逆时针方向旋转、并使第1右臂1R向顺时针方向旋转而进行连杆机构20的收缩动作，能够使载置部5向输送室8A内返回。 

如以上所述，在本例中，在载置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上设置具有左下游侧施力部70L、右下游侧施力部70R的下游侧施力机构7，并且在连杆机构20的动作前端部上设置通过凸轮机构动作的上游侧施力机构9，通过左夹紧卡止部件73L及右夹紧卡止部件73R和从动机构部6的施力部6a将基板10从基板输送方向的两侧夹着而机械地保持，所以能够抑制载置部5上表面上的基板10的滑动（在同时把持的情况下在原理上没有滑动），能够实现基板10的高速输送。 

此外，通过包括左下游侧施力部70L、右下游侧施力部70R及从动机构部6、将全部的部件用金属制作，不仅在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下、在输送时的温度较高（例如300～500℃）的情况下也没有热变质及变形而能够抑制基板10的滑动。 

进而，左夹紧卡止部件73L、右夹紧卡止部件73R及从动机构部6的施力部6a是凸状的部件，在把持基板10的部分中没有滑动部，并且几乎没有基板10的滑动，所以能够降低污染基板10的灰尘的发生。 

进而，此外根据本实施方式，由于凸轮机构的滑动部配置在基板10的下侧，所以能够防止由在该滑动部发生的灰尘造成的基板10表面的污染。 

图8及图9（a）、图9（b）是表示本发明的另一例的图，图8是表示上游侧施力机构及下游侧施力机构的俯视图，图9（a）、图9（b）是表示该下游侧施力机构的主要部的俯视图。以下，对于与上述例子对应的部分赋予相同的附图标记而省略其详细的说明。 

如图8所示，在本例的下游侧施力机构8中，在载置部5的支承部件5L、5R的前端部分上，分别设有由连杆方式的施力机构构成的后述的下游侧施力部81L、81R。此外，具有用来驱动这些下游侧施力部81L、81R的驱动部件80。 

该驱动部件80由大致“コ”字状的部件构成，由直线棒状的基部80a、和在基部80a的两端部上在与基部80a正交的方向上分别延伸的直线棒状的左驱动部80L、右驱动部80R构成。 

在本例的情况下，驱动部件80配置为，使基部80a与基板输送方向正交，构成为，使从动机构部6的主体部60将该基部80a贯通。并且，由此配置构成为，使从动机构部6的主体部60和驱动部件80能够相对地向基板输送方向及其相反方向移动。 

此外，设定驱动部件80的基部80a的长度，以使其比载置部5的支承部件5L、5R的间距长，由此，在将驱动部件80安装在输送装置50上的情况下，左驱动部80L、右驱动部80R分别配置在支承部件5L、5R的外侧。 

这里，驱动部件80的左驱动部80L、右驱动部80R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

驱动部件80构成为，使其经由以下说明的动力传递机构82从连杆机构20的第3右臂3R受力。 

该动力传递机构82具有直线棒状的主体部82a，该主体部82a的一个端部被朝向与上述驱动部件80的基部80a正交的方向安装固定。 

在该动力传递机构82的主体部82a的另一端部上，在水平面内旋转自如地支承着正圆形的从动辊82b。 

另一方面，在第3右臂3R上，与图4所示的例子的情况相比、从第3右臂3R的前端部朝向后端部长度较长地形成有凸轮驱动面31R。 

并且，构成为，在从动机构部6的右侧相邻配置动力传递机构82，在使该从动辊82b抵接在凸轮驱动面31R上的状态下，受例如设在载置部5的表面上的导引部件82c导引，由此，动力传递机构82的主体部82a向基板输送方向或其相反方向直线移动。 

进而，在本例中，采用如下的结构：在动力传递机构82的主体部82a的基板输送方向侧的端部附近固定着安装部件82d，在该安装部件82d上安装棒状的固定销82e，再将该固定销82e的一端部安装固定到驱动部件80的基部80a上，并且将固定销82e的另一个端部分例如固定到导引部件82c上，由此，使动力传递机构82的主体部82a和驱动部件80的基部80a不旋转。 

另一方面，在驱动部件80的左驱动部80L的前端部上，可以支轴83L为中心在水平面内旋转地支承着后述的左连杆部件84L的一端部，此外，在驱动部件80的右驱动部80R的前端部上，可以支轴83R为中心在水平面内旋转地支承着后述的右连杆部件84R的一端部。 

此外，在主体部82a上安装着例如螺旋弹簧82f，螺旋弹簧82f的一个端部固定在主体部82a上，并且另一个端部抵接在导引部件82c上。通过该螺旋弹簧82f的力，成为在主体部82a上向基板输送方向作用有力的状态，所以当连杆机构20处于伸长状态时，由后述的把持部86L、86R进行的基板10的把持被解除。 

这些左连杆部件84L及右连杆部件84R都由大致“L”字状的相同形状的部件构成，在不受驱动部件80的左驱动部80L或右驱动部80R支承的一侧的前端部上设有例如R形状的把持部86L、86R，以使其在与主体部分正交的方向上延伸。 

进而，左连杆部件84L及右连杆部件84R的各自的中腹部可以设在载置部5的各支承部件5L、5R的前端部上的支轴85L、85R为中心在水平面内旋转地被支承。这里，左连杆部件84L及右连杆部件84R的各自的把持部86L、86R被朝向与基板输送方向相反方向配置。 

并且，通过这样的结构，左下游侧施力部81L及右下游侧施力部81R的把持部86L、86R配置为，使其相对于通过上述第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

另外，在把持部86L、86R的与基板10的缘部接触的部分上，也可以实施用来防止灰尘的发生的由例如PTFE等耐热性的树脂材料构成的涂层。 

接着，使用图8及图9（a）、图9（b），详细地说明本例的动作原理及结构。 

另外，在本例的情况下，左下游侧施力部81L和右下游侧施力部81R构成为，使其通过相同的机构动作，以下，适当以右下游侧施力部81R为例说明本发明的连杆方式的下游侧施力部的结构及动作。 

在本例中，与图4所示的例子同样，设定从动机构部6的长度，以使得在连杆机构20伸长的状态下、从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 

并且，构成为，在连杆机构20收缩的状态下，从动机构部6移动到基板输送方向下游侧，从动机构部6的施力部6a与应输送的基板10的侧部接触。 

本例的动力传递机构82构成为，使其与上述从动机构部6一起向相同方向移动。 

即，分别设定第3右臂的第3凸轮驱动面31R的形状、动力传递机构82的从动辊82b、主体部82a的长度、驱动部件80的基部80a及右驱动部80R的长度、右连杆部件84R（把持部86R）的长度、支轴83R、85R的位置，以使得在连杆机构20伸长的状态下，例如关于右连杆部件84R如在图9（a）中表示那样，把持部86R不接触在基部10的缘部上。 

分别设定驱动部件80的基部80a及左驱动部80L的长度、左连杆部件84L（把持部86L）的长度、支轴83L、85L的位置，以使关于左连杆部件84L，把持部86L也不接触在基部10的缘部上。 

另外，在本发明中，虽然没有特别限定，但例如关于右连杆部件84R如在图9（a）中表示那样，优选的是构成为，使把持部86R的与基板10的接触部分与支承部件5R的支轴85R的间距P1比支承部件5R的支轴85R与右驱动部80R的支轴83R的间距P2小。 

另一方面，关于左连杆部件84L，也虽然没有图示、但同样优选的是构成为，使把持部86L的与基板10的接触部分与支承部件5L的支轴85L的间距比支承部件5L的支轴85L与右驱动部80L的支轴83L的间距小。 

通过这样的结构，可以进行设定，以使左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离较小。 

在本例中，如果使第3左臂3L及第3右臂3R从连杆机构20伸长的状态向使连杆机构20收缩的方向旋转，则从动机构部6的主体部60向基板输送方向移动，并且来自第3右臂3R的凸轮驱动面31R的力经由动力传递机构82被传递给驱动部件80的基部80a，由此，驱动部件80向基板输送方向（箭头P方向）移动。 

结果，左连杆部件84L、右连杆部件84R以支轴85L、85R为中心旋转，以使把持部86L、86R向与基板输送方向相反方向移动（参照图9（b））。 

所以，在本例中，分别设定上述第3右臂的第3凸轮驱动面31R的形状、动力传递机构82的从动辊82b、主体部82a的长度、驱动部件80的基部80a以及左驱动部80L及右驱动部80R的长度、左连杆部件84L及右连杆部件84（把持部86L、86R）的长度、支轴83L、85L、83R、85R的位置，以使得在连杆机构20收缩的状态下，左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R对受从动机构部6的施力部6a向基板输送方向施力而移动的基板10的缘部抵接。 

根据具有这样的结构的本例，在连杆机构20收缩的状态下，如图8所示，从从动机构部6的施力部6a作用基板输送方向的力F，并且通过来自动力传递机构82的主体部82a的动力，经由驱动部件80，以从左下游侧施力部81L的左连杆部件84L及右下游侧施力部81R的右连杆部件84R朝向连杆机构20的方向作用向基板10内方的力f3、f4，由此，对于该基板10，关于基板输送方向从上游及下游侧作用推压力，在载置部5上可靠地保持（把持）基板10。 

另外，从动机构部6的施力部6a和左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R接触在基板10上的时机既可以是与连杆机构20完全收缩的状态同时，也可以是连杆机构20完全收缩之前（眼看就要的时候），可以根据采用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 

但是，从精度良好地把持基板10的观点看，优选的是构成为，在从动机构部6的施力部6a接触在基板10的缘部上之后，左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R接触在基板10的缘部上。 

进而，在本例中，左下游侧施力部81L的把持部86L及右下游侧施力部81R的把持部86R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称，所以能够通过左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R平衡良好地将基板10施力而保持（把持）。 

进而，此外在本例中，通过进行设定、以使左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离较小，能够相对于从动机构部6的施力部6a进行的向基板10的施力的时机以规定的范围设定左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R的时机及时间，由此能够精度良好地把持基板10。 

除此以外，根据本例，由于连杆机构的滑动部配置在相对于基板10离开的位置上，所以能够防止由在该滑动部发生的灰尘造成的基板10表面的污染。 

关于其他结构及作用效果，与上述例子是相同的，所以省略其详细的说明。 

图10～图13是表示本发明的上游侧施力机构的另一例的图，以下，对于与上述例子对应的部分赋予共通的附图标记而省略其详细的说明。 

另外，在图10～图13所示的例子中，在从动机构部6的主体部60上安装固定着例如图4所示的下游侧施力机构7的基部70，但这里为了方便而省略上下游侧施力机构7的说明。 

图10是表示在上游侧施力机构的从动机构部中具有用来使该施力部的施力减力的减力部件的例子的图。 

如图10所示，在本例中，构成为，使从动机构部6的施力部6a的支承部66沿着主体部60延伸的方向移动，在这些主体部60的前端部与施力部6a之间的支承部66的周围，安装着压缩螺旋弹簧（减力部件）67。并且，构成为，在施力部6a的前端部上作用有向主体部60方向的力的情况下施力部6a克服压缩螺旋弹簧67的弹性力而向主体部60方向移动。 

根据具有这样的结构的本例，由于在保持（把持）基板10时能够调整对基板10的作用力，所以有对应于各种输送物及装置结构而设计的自由度变大、通用性变高的优点。 

图11是表示上游侧施力机构的另一例的主要部的部分截面侧视图，构成为，使第3左臂3L和第3右臂3R位于动力传递机构4的下方。 

如图11所示，在本例中，在第3左臂3L和第3右臂3R的前端部上配设上述结构的从动机构部6，构成为，使其主体部60沿着基板输送方向直线前进移动。 

在从动机构部6的主体部60的前端部上安装着减力部件6b。该减力部件6b通过由例如不锈钢等金属构成的板状的弹性材料构成，从主体部60的前端部朝向上方配设。 

并且，在减力部件6b的前端部上设有例如凹部形状的施力部6c，该施力部6c经由设在载置部5上的孔部5a突出到载置部5上，构成为，随着从动机构部6的移动，施力部6c的凹面部分相对于基板10的侧部抵接或离开。 

根据具有这样的结构的本例，与上述例子同样，在保持（把持）基板10时能够调整对基板10的作用力。 

除此以外，根据本例，例如可以作为美国专利6,364,599B1的图22或图23所示的减小上侧的末端执行器与下侧的末端执行器的上下间隔的臂机构的下侧臂的晶片施力机构使用。另外，作为该臂机构的上侧臂的晶片施力机构，可以使用上述图2（a）、图2（b）及图3（a）、图3（b）的结构。 

图12是表示上游侧施力机构的再另一例的主要部的结构图，表示具有用来使从动机构部的施力部的作用力减力的减力部件的例子。 

如图12所示，本例是图10所示的例子的变形例，在从动机构部6的主体部60的前端部上，固定着例如沿与主体部60延伸的方向正交的方向延伸的直线棒状的安装部件67，在该安装部件67的两端部上，安装着例如由不锈钢等金属构成的带状环状的两个减力施力部6d、6e，以使其从安装部件67向基板输送方向下游侧突出。 

这里，两个减力施力部6d、6e形成为相同的大小及形状，配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

根据具有这样的结构的本例，除了与图10所示的例子同样地在保持（把持）基板10时能够调整对基板10的作用力以外，还通过相对于基板输送方向线对称地配置的两个减力施力部6d、6e将基板10施力，所以有能够平衡良好地保持（把持）基板10的优点。 

另外，在本例中，如图11所示的例子那样，也可以构成为，使第3左臂3L、第3右臂3R及从动机构部6位于动力传递机构4的下方。 

在此情况下，与图11所示的例子同样，优选的是，在载置部5上设置孔部（未图示），经由该孔部使安装部件68及减力施力部6d、6e位于载置部5的上方，构成为，使减力施力部6d、6e相对于基板10的侧部抵接或离开。 

根据这样的本例，例如有可以作为美国专利6,364,599B1的图22或图23所示的减小上侧的末端执行器与下侧的末端执行器的上下间隔的臂机构的下侧臂的晶片施力机构使用的优点。另外，作为该臂机构的上侧臂的晶片施力机构，可以使用上述图12的结构本身。 

图13是表示上游侧施力机构的再另一例的主要部的结构图。 

在上述图2（b）所示的例子中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R构成为，使其各前端部侧的变位量r1比各基端部侧的变位量r0小（r1<r0）。 

但是，在例如具有多个图7（a）～图7（c）所示那样的处理室8B的输送装置中，根据处理室8B的内部结构，基板10的交接位置并不一定相同，从驱动轴11、12的中心轴到各处理室8B的交接位置的距离不同。 

这里，在到交接位置的距离、即交接距离较短的情况下，交接基板10时的基板10的边缘与施力部6a的间隔变小，考虑有可能施力部6a碰到基板10的边缘而发生灰尘发生或基板偏移的问题。 

作为避免该问题的方法，例如，如图13所示，也可以将第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R的前端部侧的形状如由图中斜线部分表示那样形成为遍及规定的角度而变位量为一定的形状、即例如与各凸轮驱动面31L、31R的前端部侧的变位量r1相同的半径的圆弧形状。 

如果做成这样的结构，则当从动辊62L、62R在由图中斜线表示的半径r1的范围中接触在各凸轮驱动面31L、31R上时，从动机构部6的主体部60不在基板输送方向上进行直线运动，所以在交接距离较短的情况下及较长的情况下，都能够将交接基板10时的基板10的边缘与施力部6a保持为不会相互接触的间隔，能够避免灰尘发生及基板偏移的问题。 

图14（a）、图14（b）是表示上游侧施力机构的再另一例的结构图。以下，对于与上述例子对应的部分赋予共通的附图标记而省略其详细的说明。 

另外，在本例中，在第3右臂3R上形成有上述凸轮驱动面31R，在载置部5上安装有例如图8所示那样的下游侧施力机构8，但这里为了方便而省略关于上下游侧施力机构8的说明。 

如图14（a）、图14（b）所示，在本例中，作为上游侧施力机构9A，在第3左臂3L的载置部5侧的安装面30L、和第3右臂3R的载置部5侧的安装面30R上，架设安装着由一连串的弹性体构成的上游侧施力部件6A。 

该上游侧施力部件6A优选的是由例如不锈钢等金属材料构成，各自的端部通过例如螺纹件等固定在第3左臂3L及第3右臂3R上。并且，由此，设定其长度，以使其成为从第3左臂3L的载置部5侧的安装面30L和第3右臂3R的载置部5侧的安装面30R向基板输送方向下游侧为凸部形状。 

进而，在本发明的情况下，从防止真空中的灰尘的发生的观点看，优选的是选择上游侧施力部件6A的材料、此外决定上游侧施力部件6A的形状及配置，以使上游侧施力部件6A不接触在动力传递机构4的表面及载置部5的表面上。 

从这样的观点看，更优选的是，作为上游侧施力部件6A的形状而形成为规定宽度的带状（皮带状）。 

此外，上游侧施力部件6A的安装位置是从载置部5的表面向上方离开的位置，优选的是设定为，使上游侧施力部件6A的基板输送方向下游侧的部分可靠地接触在基板10的侧部上。 

使用图14（a）、图14（b），详细地说明本发明的动作原理及结构。 

如图14（a）、图14（b）所示，在本例中，构成为，在连杆机构20伸长的状态及收缩的状态下、第3左臂3L的安装面30L和第3右臂3R的安装面30R分别为相对于基板输送方向倾斜的状态。 

这里，进行设定，以使得在连杆机构20伸长的状态下，如图14（a）所示，第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度大。 

此外，本发明的情况下，虽然没有特别限定，但将第3左臂3L的安装面30L和第3右臂3R的安装面30R的上游侧施力部件6A的固定部310L、310R间的距离设为例如比第3左臂3L及第3右臂3R的前端部侧的支轴23L、23R间的距离大的距离D。 

另一方面，设定为，使得在连杆机构20收缩的状态下，如图14（b）所示，第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度小。 

在这样的结构中，在连杆机构20伸长的状态下，如图14（a）所示，对于架设在第3左臂3L及第3右臂3R间的上游侧施力部件6A的两端部附近，分别作用向内侧方向卷入的力（力矩）T。结果，上游侧施力部件6A成为以与正圆相比在基板输送方向上压扁的形状静止的状态。 

并且，在此状态下，设定上游侧施力部件6A的形状、大小、材质，并且设定第3左臂3L及第3右臂3R的安装面30L、30R的角度、上游侧施力部件6A的固定位置（固定部310L、310R间距离），以使上游侧施力部件6A的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 

另一方面，在连杆机构20收缩的状态下，如图14（b）所示，第3左臂3L的安装面30L和第3右臂3R的安装面30R的上游侧施力部件6A的固定部310L、310R间的距离d与连杆机构20伸长的状态相比较小（D>d），并且，第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度比180度小，所以对于架设在第3左臂3L及第3右臂3R间的上游侧施力部件6A的两端部附近，分别作用向基板输送方向下游侧推出的力（力矩）t。 

结果，上游侧施力部件6A的基板输送方向下游侧的部分（施力部6a）与应输送的基板10的侧部接触，能够对基板10的侧部作用向基板输送方向的力F。 

在以上所述的本例中，通过使上游侧施力部件6A为带状的部件，在把持基板10的附近不再有滑动部，所以能够将污染基板10的灰尘的发生降低到极限。 

关于其他结构及作用效果，与上述例子是相同的，所以省略其详细的说明。 

图15（a）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的整体的结构图，图15（b）是图15（a）的A－A线剖视图。以下，对于与上述例子对应的部分赋予共通的附图标记而省略其详细的说明。 

另外，在本例中，在从动机构部6的主体部160上安装固定着例如图4所示的下游侧施力机构7的基部70，但这里为了方便而省略关于上下游侧施力机构7的说明。 

如图15（a）所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分别形成为半圆形状，在第3左臂3L及第3右臂3R的表侧面130L、130R上分别设有凸状的驱动支承部131L、131R（以下单称作“驱动凸部”），由这些驱动凸部131L、131R和从动机构部6B构成基于滑动机构的上游侧施力机构9B。 

在本例中，驱动凸部131L、131R优选的是由不锈钢等金属材料构成，设在从第3左臂3L的支轴23L和第3右臂3R的支轴23R离开规定的距离的位置上。在此情况下，驱动凸部131L、131R配置在比第3左臂3L及第3右臂3R的支轴23L、23R靠基板输送方向下游侧。 

另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各驱动凸部131L、131R设置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称。 

本例的驱动凸部131L、131R是与后述的从动部61的长孔62卡合的部件，具有相同的结构。 

如图15（b）所示，各驱动凸部131L、131R具有以立设在第3左臂3L及第3右臂3R的表侧面130L、130R上的支轴132L、132R为中心在水平方向上转动自如地被支承的圆筒状的旋转轴133L、133R。 

在各旋转轴133L、133R的上部，设有比各旋转轴133L、133R直径大一些的例如圆板状的支承部134L、134R。 

另一方面，本例的从动机构部6B优选的是由不锈钢等金属部件构成，具有直线棒状的主体部160。 

在从动机构部6B的主体部160的一端部上，安装有例如沿相对于主体部160正交的方向延伸的长方形平板状的从动部161。在该从动部161上，例如在其宽度方向的中央区域中，形成有沿着从动部161的长度方向以直线状延伸的长孔162。 

如图15（b）所示，从动部161的长孔162设定为，使其宽度比上述驱动凸部131L、131R的旋转轴133L、133R的直径大一些、并且比支承部134L、134R的直径小。 

此外，从动部161的长孔162的长度设定为，使其比随着第3左臂3L和第3右臂3R的旋转而移动的驱动凸部131L、131R间的最大距离长。 

通过这样的结构，如果使第3左臂3L和第3右臂3R旋转，则各驱动凸部131L、131R的驱动轴133L、133R一边在从动部161的长孔162内卡合滑动一边推压其基板输送方向上游或下游侧的开口缘部。 

在从动机构部6B的主体部160的另一端部上，安装着凸状（例如销形状）的施力部6a。该施力部6a的前端部也可以实施用来防止灰尘的发生的由例如PTFE等耐热性的树脂材料构成的涂层。 

在本例中，如图15（b）所示，构成为，通过在使第3左臂3L和第3右臂3R的各驱动凸部131L、131R卡合在从动机构部6B的从动部161的长孔162中的状态下受例如设在载置部5的表侧面上的导引部件163导引，从动机构部6B的主体部160向基板输送方向或其相反方向直线移动。 

接着，使用图16（a）、图16（b），详细地说明本例的动作原理及结构。 

以下，考虑使第3左臂3L的支轴23L与驱动凸部131L的支轴132L之间的距离、以及第3右臂3R的支轴23R与驱动凸部131R的支轴132R之间的距离分别为r的情况。 

在本例中，设定为，使得在连杆机构20伸长的状态下，如图16（a）所示，第3左臂3L及第3右臂3R的前端部所成的角度例如比180度大。 

在此状态下，决定从动部161的长孔162的大小、各驱动凸部131L、131R的位置，以使卡合在从动机构部6B的从动部161的长孔162中的第3左臂3L和第3右臂3R的各驱动凸部131L、131R在该长孔162内位于两端部。 

并且，设定从动机构部6B的基准长度（这里，是从施力部6a的前端部到驱动凸部131L、131R的支轴132L、132R的距离），以使从动机构部6B的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 

在本例中，构成为，例如使各驱动凸部131L、131R比第3左臂3L及第3右臂3R的支轴23L、23R在相对于基板输送方向正交的方向上位于外方侧（相对于基板输送方向的角度θ1）。 

另一方面，设定为，使得在连杆机构20收缩的状态下，如图16（b）所示，第3左臂3L及第3右臂3R的前端部所成的角度例如比180度小。 

在此状态下，驱动凸部131L、131R分别以第3左臂3L或第3右臂3R的支轴23L、23R为中心向相互接近的方向旋转移动。 

这里，设定上述各部件的大小、形状、位置，以使相对于基板输送方向的角度θ0比连杆机构20伸长的状态下的相对于基板输送方向的角度θ1在绝对值上较小，例如各驱动凸部131L、131R位于比第3左臂3L及第3右臂3R的支轴23L、23R靠基板输送方向的垂直方向的内方侧。 

在这样的结构中，如果使第3左臂3L及第3右臂3R向收缩方向旋转，则各驱动凸部131L、131R向基板输送方向下游侧移动，推压从动部161的长孔162的开口缘部，从动机构部6B向基板输送方向下游侧移动，施力部6a与应输送的基板10的侧部的距离变小（rcosθ0>rcosθ1，即，d<D）。 

结果，从动机构部6B的基板输送方向下游侧的部分（施力部6a的前端部）与应输送的基板10的侧部接触，能够对基板10的侧部作用向基板输送方向的力F。 

图17（a）、图17（b）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的结构及动作的图，图17（a）是表示连杆机构20伸长的状态的图，图17（b）是表示连杆机构20收缩的状态的图。 

另外，在本例中，在构成上游侧施力机构9C的从动机构部6C的主体部160上安装固定着例如图4所示的下游侧施力机构7的基部71，但这里为了方便而省略上下游侧施力机构7的说明。 

如图17（a）、图17（b）所示，本例的上游侧施力机构9C是图15（a）、图15（b）的变形例，在从动部161A上，仅在从动部161A的对应于第3右臂3R侧的区域中设有长孔162A。 

该从动部161A以设在第3左臂3L的表侧面130L上的支轴35为中心在水平方向上转动自如地被支承。在本例中，构成为，支轴35设在与上述驱动凸部131L相同的位置上，由此，从动部161A以一个端部（左侧的端部）为中心转动。 

从动部161A的长孔162A形成为，使其沿着从动部161A的长度方向以直线状延伸，构成为，使其与设在第3右臂3R上的驱动凸部131R（旋转轴133R）卡合。 

此外，本例的从动部161A与从动机构部6C的主体部160分离。并且，在从动部161A的基板输送方向下游侧的部位上，设有沿相对于基板输送方向正交的方向延伸、具有规定的大小的驱动抵接部161a。 

另一方面，在从动机构部6C的主体部160的与施力部6a相反侧的端部上，设有与上述从动部161A的驱动抵接部161a抵接的从动抵接部160a。 

此外，在从动机构部6C的主体部160的与施力部6a相反侧的端部上设有支承部160b，在该支承部160b与上述导引部件163之间，在该主体部160的周围安装着压缩螺旋弹簧166。 

在这样的结构中，如果从图17（a）所示的伸长状态起使第3左臂3L及第3右臂3R向收缩方向旋转，则从动部161A以支轴35为中心向顺时针方向旋转，并且驱动凸部131R向逆时针方向旋转，由此，从动部161A向基板输送方向下游侧移动。 

并且，通过从动部161A的驱动抵接部161a抵接在从动机构部6C的主体部160的从动抵接部160a上、将其向基板输送方向下游侧施力，从动机构部6C克服压缩螺旋弹簧166的弹性力而向基板输送方向下游侧移动。 

结果，从动机构部6C的基板输送方向下游侧的施力部6a与应输送的基板10的侧部接触，能够对基板10的侧部作用向基板输送方向的力F。 

根据具有这样的结构的本例，由于能够以适当的力将设在从动机构部6C的施力部6a上的从动抵接部160a推压在从动部161A的驱动抵接部161a上而紧贴，所以能够使从动机构部6C例如沿着导引部件163可靠地以高精度向基板输送方向下游侧移动。 

除此以外，根据本例，由于从动部161A与主体部160分离，所以有能够仅在施力部6a与基板10的侧部接触的部分的附近使主体部160滑动、能够降低因导引部件163与主体部160的滑动带来的灰尘的发生的优点。 

图18（a）、图18（b）是表示本发明的上游侧施力机构的再另一例的结构及动作的图，以下，对于与上述例子对应的部分赋予共通的附图标记，省略其详细的说明。 

另外，在本例中，在构成上游侧施力机构9D的从动机构部6D的主体部60上安装固定着例如图4所示的下游侧施力机构7的基部71，但这里为了方便而省略上下游侧施力机构7的说明。  

如图18（a）、图18（b）所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分分别形成为半径r的半圆形状，在第3左臂3L和第3右臂3R的最前端部上，分别设有配置为使该端部侧的面例如为N极的、例如由永久磁铁构成的第1驱动用磁铁36L、36R。 

此外，在第3左臂3L和第3右臂3R上，在其前端部分、基板输送方向下游侧的部位上，分别设有配置为使其表面例如为S极的、例如由永久磁铁构成的第2驱动用磁铁37L、37R。 

在本例中，第1驱动用磁铁36L、36R和第2驱动用磁铁37L、37R配置为，使其相对于通过上述第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线分别成线对称。 

另一方面，在从动机构部6D的主体部160上，在与设有施力部6a的一侧的相反侧的端部上设有例如具有比主体部160宽幅的卡止部167a的支承部件167，在该支承部件的前端部上，设有配置为使该端部侧的面（侧面及底面）例如为S极的、例如由永久磁铁构成的从动用磁铁169。 

此外，在从动机构部6D的主体部160的中腹部与上述支承部件167之间，在该主体部160的周围安装着压缩螺旋弹簧166。该压缩螺旋弹簧166的前端部分固定在支承部件167的卡止部167a上。 

接着，使用图18（a）、图18（b），详细地说明本例的上游侧施力机构的动作原理及结构。 

在本例中，设定为，使得在连杆机构20伸长的状态下，如图18（a）所示，第3左臂3L与第3右臂3R所成的角度例如比180度大。 

另一方面，设定为，使得在连杆机构20收缩的状态下，如图18（b）所示，第3左臂3L与第3右臂3R所成的角度例如比180度小。 

进而，设定为，使得根据第3左臂3L和第3右臂3R与从动机构部6D的相对的位置关系、第1及第2驱动用磁铁36L、36R、37L、37R与从动用磁铁169的位置关系（接近或离开）变化。 

即，设定从动机构部6D的主体部160及支承部件167的长度、第3左臂3L和第3右臂3R的形状、第1驱动用磁铁36L、36R的配置位置，以使得在连杆机构20伸长的状态下，如图18（a）所示，从动机构部6D的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触、并且从动用磁铁169相对于上述第1驱动用磁铁36L、36R接近。 

另一方面，设定第2驱动用磁铁37L、37R的配置位置，以使得在连杆机构20收缩的状态下，如图18（b）所示，设在第3左臂3L及第3右臂3R上的第2驱动用磁铁37L、37R与从动机构部6D的从动用磁铁分别对置。 

在这样的本例中，在连杆机构20伸长的状态下，如图18（a）所示，从动机构部6D的S极的从动用磁铁169相对于第3左臂3L及第3右臂3R的N极的第1驱动用磁铁36L、36R接近，所以通过各自的磁力，从动用磁铁169与第1驱动用磁铁36L、36R相吸引，由此，从动机构部6D被向基板输送方向上游侧拉伸，从动机构部6D的施力部6a成为不与应输送的基板10的侧部接触的状态而静止。 

另一方面，在连杆机构20收缩的状态下，如图18（b）所示，由于第3左臂3L及第3右臂3R的S极的第2驱动用磁铁37L、37R与从动机构部6D的S极的从动用磁铁169分别对置，所以通过各自的磁力，从动用磁铁169与第2驱动用磁铁37L、37R相排斥，由此，从动机构部6D被向基板输送方向下游侧施力，结果，从动机构部6D的基板输送方向下游侧的施力部6a与应输送的基板10的侧部接触，对于基板10的侧部作用向基板输送方向的力F。 

根据具有这样的结构的本例，由于能够将从第3左臂3L及第3右臂3R对从动机构部6D的驱动力以非接触传递，所以能够降低将输送物污染的灰尘的发生。 

另外，本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更。 

例如，在图2（a）、图2（b）所示的例子中，将相邻的两个凸轮驱动面31L、31R与对应于它们的两个从动辊62L、62R组合而构成上游侧施力机构9的凸轮机构，但本发明并不限定于此，也可以将一个凸轮驱动面与对应于它的一个从动辊组合而构成上游侧施力机构9的凸轮机构，此外，也可以将三个以上的凸轮驱动面与对应于它们的三个以上的从动辊组合而构成上游侧施力机构9的凸轮机构。 

但是，从平衡良好地保持（把持）基板10的观点看，如上述实施方式那样将相邻的两个凸轮驱动面31L、31R与对应于它们的两个从动辊62L、62R组合而构成上游侧施力机构9的凸轮机构是优选的。 

另外，关于上游侧施力机构9的凸轮机构，可以根据采用本发明的输送装置而适当地变更凸轮驱动面的形状、从动辊的大小等。 

进而，也可以构成为，在平行连杆臂机构那样的分别相对平行移动的多个相邻连杆部上形成凸轮驱动面，使上游侧施力机构9沿着该凸轮驱动面移动，通过上述动作保持输送物。 

另一方面，关于下游侧施力机构，在图4所示的例子中，对于左下游侧施力部70L、右下游侧施力部70R，将左驱动部件71L及右驱动部件71R（特别是各把持面732）配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称，但本发明并不限定于此，只要能够对基板10向朝向连杆机构20的方向施力，也可以配置为，使其相对于该直线为非对称。 

此外，在图4所示的例子中，设置两个凸轮方式的下游侧施力部（左下游侧施力部70L、右下游侧施力部），但根据基板10的形状及大小、此外装置结构等，也可以将凸轮式施力部设置一个或三个以上。 

另一方面，在图8所示的例子中，将左下游侧施力部81L的把持部86L、右下游侧施力部81R的把持部86R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称，但本发明并不限定于此，只要能够对基板10向朝向连杆机构20的方向施力，也可以配置为，使其相对于该直线为非对称。 

此外，在图8所示的例子中，将连杆方式的下游侧施力部设置两个（左下游侧施力部81L、右下游侧施力部81R），但也可以根据基板10的形状及大小、此外装置结构等而将连杆式施力部设置一个或三个以上。 

进而，此外在上述实施方式中，对设有具有可移动的施力部的上游侧施力机构的情况进行了说明，但本发明也可以代替上游侧施力机构而在载置部上设置1或两个以上的卡止部、通过该卡止部和下游侧施力机构将输送物从基板输送方向的两侧夹持而机械地保持。 

但是，从更可靠地保持输送物、在把持时尽可能不使输送物在载置部上移动而防止灰尘的发生的观点看，优选的是构成为，通过上述那样的上游侧施力机构及下游侧施力机构夹持保持输送物。 

除此以外，本发明不仅是例如Si晶片等圆板形状的基板，能够在例如玻璃基板等矩形形状的基板、或椭圆形状、多边形形状等的各种基板的输送中使用。 

Claims (9)

1.一种输送装置，其特征在于，

具备：

伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；

载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；

在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；

在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构；

上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部；

构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。

2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述上游侧施力机构具有设在上述连杆机构的驱动连杆部上、旋转方向是相反方向的一对相邻的连杆部件，在该一对相邻连杆部件上架设设置有由带状的一体的弹性部件构成的带状施力单元。

3.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

上述上游侧施力机构在上述驱动连杆部上设有极性不同的多个驱动用磁铁；

并且，在上述从动机构部上设有单一的极性的从动用磁铁；

构成为，根据上述驱动连杆部与上述从动机构部的相对的位置关系，上述多个驱动用磁铁分别与上述从动用磁铁接近或离开。

4.一种输送装置，其特征在于，

具备：

伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；

载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；

上游侧施力机构，设在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作，与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力；

下游侧施力机构，设在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作，与该输送物的侧部抵接，将该输送物向朝向位于该基板输送方向上游侧的上述连杆机构的方向施力；

上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，分别在设于上述连杆机构的驱动连杆部上的一对相邻的连杆部件上设置；和从动机构部，具有分别抵接在该一对凸轮驱动面上而能够从动的一对从动辊、和对应于该一对从动辊的移动而在上述基板输送方向上直线地移动的施力部；

设定上述从动机构部的施力部的移动距离，以使得在上述连杆机构伸长的状态下上述从动机构部的施力部不抵接在该输送物的侧部上、并且在上述连杆机构收缩的状态下该从动机构部的施力部抵接在该输送物的侧部上；

构成为，通过上述上游侧施力机构及上述下游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。

5.如权利要求4所述的输送装置，其特征在于，

上述下游侧施力机构具备设置为对应于上述上游侧施力机构的从动机构部的移动而在上述基板输送方向上移动的一对驱动部件、分别设在该一对驱动部件的上述基板输送方向下游侧的端部上的凸轮驱动面、和具有分别抵接在上述一对驱动部件的凸轮驱动面上而能够从动的把持部的从动卡止部件；

上述从动卡止部件构成为，使其随着上述一对驱动部件的向该基板输送方向下游侧的移动、上述把持部分别从倾斜的状态向该基板输送方向上游侧旋转移动而起立；

并且，设定上述从动卡止部件的把持部的移动距离，以使得在上述连杆机构伸长的状态下上述从动卡止部件的把持部不抵接在该输送物的侧部上、并且在上述连杆机构收缩的状态下上述从动卡止部件的把持部抵接在该输送物的侧部上。

6.一种真空装置，其特征在于，

具备：

真空槽；

输送装置，具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构、和经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上、用来载置输送物的载置部，在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作而与该输送物的侧部抵接、将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构，在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构，上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部；构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持；

构成为，上述输送装置的载置部相对于上述真空槽内进行运入及运出。

7.一种输送装置，其特征在于，

具备：

伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力，由在铅直方向上以同心状配设的第1及第2驱动轴驱动的多个臂；

载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；

在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；

在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构；

在上述下游侧施力机构中，设有凸轮方式的驱动部、和由该凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的下游侧施力部；

上述下游侧施力部设有两个，配置为，使设在各下游侧施力部中的把持部相对于通过上述第1及第2驱动轴的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称；

上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部；

构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。

8.一种输送装置，其特征在于，

具备：

伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力，由在铅直方向上以同心状配设的第1及第2驱动轴驱动的多个臂；

载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；

在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；

在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构；

在上述下游侧施力机构中，设有连杆方式的驱动部、和与该连杆方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的下游侧施力部；

上述下游侧施力部设有两个，配置为，使设在各下游侧施力部中的把持部相对于通过上述第1及第2驱动轴的旋转中心轴线、沿基板输送方向延伸的直线成线对称；

上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部；

构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。

9.一种输送装置，其特征在于，

具备：

伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；

载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；

在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；

在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构；

上述上游侧施力机构具备设在上述连杆机构的驱动连杆部上的驱动支承部、和受该驱动支承部驱动的从动机构部；

上述从动机构部具备：从动部，具有能够与上述驱动支承部卡合滑动的长槽状滑动部；施力部，连结在该从动部上，对应于该从动部的长槽状滑动部内的上述驱动支承部的移动而被沿着基板输送方向导引移动；

构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。