CN102186639B - 输送装置及真空装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种不仅在低温下、在高温环境下也可靠地保持输送物而实现高速输送、并且使输送物的输送时的灰尘减少的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由驱动连杆部连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）中，设有用来与基板（10）的侧部抵接而卡止的卡止部（5a、5b），并且在连杆机构（20）的驱动连杆部中设有由凸轮机构实现的施力单元（9）。施力单元（9）具备设在连杆机构（20）的驱动连杆部上的凸轮驱动面（31L、31R）、和具有抵接在凸轮驱动面（31L、31R）上而能够从动的从动辊、具有对应于该从动辊的移动而被朝向载置部（5）的卡止部（5a、5b）导引移动的凸状的施力部（6a）的从动机构部（6）。

Description

输送装置及真空装置
技术领域
本发明涉及输送例如基板等输送物的输送装置，特别涉及适合于半导体制造装置等具备多个处理腔的真空装置的输送装置。 
背景技术
在半导体制造等的领域中，以往以来使用图14及图15所示那样的基板输送装置101。 
该基板输送装置101具有驱动部102、连结在该驱动部102上、由多个臂构成的臂部103、和连结在该臂部103的前端上的末端执行器104，构成为，用末端执行器104的上表面支承基板W的背面、在多个处理腔（未图示）间进行基板W的交接。 
末端执行器104一般由陶瓷或不锈钢等制造。因而，如果使臂103以高速伸缩动作或旋绕动作，则末端执行器104也以高速动作，所以因施加在基板W上的加速度的影响而基板W在末端执行器104上滑动，有不能将基板W输送到正确的位置的问题。 
而且，在以往技术中，有当基板W在末端执行器104上滑动时产生的灰尘将基板W的表面污染的问题。 
所以，如图15所示，还提出了在末端执行器104的上表面上设置多个保持部105、由基板W背面的规定部位接触的技术。 
该保持部105一般由橡胶或弹性体等树脂类弹性材料形成，所以抑制基板W的背面的滑动，作为防滑垫片发挥功能。由此，基板W不滑动而以稳定的输送姿势被保持在末端执行器104的上表面上（例如参照专利文献1）。 
这里，由弹性体等树脂类弹性材料形成的保持部105在基板W或周围的环境气体温度比较低（例如200℃以下）的情况下能够效率良好地抑制基板W的滑动，但在该温度较高（例如300～500℃）的情况下，有保持部105因受热变质或变形而不能抑制基板W的滑动的问题。 
另一方面，即使在该温度比较低（例如200℃以下）的情况下，也有基板W因保持部105的粘附力而粘贴、基板W不能从末端执行器104适当地分离的情况。例如，在将基板W交接到处理腔内的台上时，有基板W不从保持部105分离而破裂的问题、或不能将基板W输送到正确的位置的问题。 
进而，由于在原理上通过保持部105与基板W间的摩擦力抑制基板W的滑动，所以如果超过由两者的物质决定的最大静摩擦力那样的加速度作用在基板W上，则基板W在末端执行器104上滑动。因而，有输送装置101的动作速度不能大到超过保持部105与基板W间的最大静摩擦力的问题。 
专利文献1：特开2002－353291号公报。 
发明内容
本发明是为了解决这样的以往的技术课题而做出的，其目的在于在输送物或周围的环境气体温度比较低的环境下、以及该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送。 
此外，本发明的另一目的在于提供一种尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。 
为了达到上述目的而做出的本发明是一种输送装置，具备：伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；和载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；在上述载置部上，设有用来与该输送物的侧部抵接而卡止的卡止部；并且在上述连杆机构的驱动连杆部上设有由凸轮机构实现的施力单元；上述施力单元具备凸轮驱动面和从动机构部，所述凸轮驱动面设在上述连杆机构的驱动连杆部上，所述从动机构部具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊、具有对应于该从动辊的移动而沿着朝向上述载置部的卡止部的方向被导引移动的施力部。 
在本发明中，上述施力单元在旋转方向是相反方向的一对相邻的连杆部件上分别形成有上述凸轮驱动面、并且上述从动机构部具有对应于该一对凸轮驱动面的一对从动辊和凸状的上述施力部也是有效的。 
在本发明中，也可以是，上述施力单元的从动机构部具有用来调节对上述凸轮驱动面的施力的施力调节部件。 
在本发明中，也可以是，在上述施力单元的从动机构部的施力部中，具有用来使该施力部的施力减能的减能部件。 
在本发明中，也可以是，上述载置部的卡止部具有受随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作而向朝向上述施力单元的方向移动的驱动机构驱动、对该输送物施力而与上述施力单元一起把持该输送物的把持机构。 
在本发明中，在上述驱动机构中设有凸轮方式的驱动部、在上述把持机构中设有受上述凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的把持部的情况下也是有效的。 
在本发明中，在上述驱动机构中设有凸轮方式的驱动部、在上述把持机构中设有与上述凸轮方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的把持部的情况下也是有效的。 
在本发明中，在上述把持机构设有两个、各把持机构的把持部配置为、使其相对于通过上述第1及第2驱动轴的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称的情况下也是有效的。 
此外，本发明是一种真空装置，具有：真空槽；和上述任一种的输送装置；上述输送装置的载置部构成为，使其相对于上述真空槽内运入及运出。 
在本发明中，由于在连杆机构的动作前端部上设有通过凸轮机构动作的施力单元、通过该从动机构部的施力部和载置部的卡止部机械地把持并保持输送物，所以能够抑制输送物在载置部上表面上的滑动（在原理上没有滑动）、实现输送物的高速输送。 
此外，通过包括施力单元、将全部的部件用金属制造，不仅在输送物或周围的环境气体温度比较低的环境下、在输送时的温度较高的（例如300～500℃）情况下也能够没有热变质及变形地抑制输送物的滑动。 
进而，由于施力单元构成为，通过凸轮和辊传递动力，所以能够以简洁的结构提供小型的输送装置。 
进而，由于在把持输送物的部分中没有滑动的部分，所以能够减少污染输送物的灰尘的产生。 
另一方面，在本发明中，在施力单元的从动机构部具有用来调节对上述凸轮驱动面的施力的施力调节部件的情况下，能够将从动机构部的从动辊以适当的力推压紧贴在凸轮驱动面上，所以能够使从动机构部沿着导引部件可靠地以高精度向基板输送方向下游侧移动。 
此外，在本发明中，在使施力单元的从动机构部的施力部具有用来使施力减能的减能部件的情况下，可以根据装置结构及输送物的大小等而以最适当的力可靠地保持输送物。 
另一方面，在本发明中，在载置部的卡止部具有受随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作而向朝向上述施力单元的方向移动的驱动机构驱动、对该输送物施力而与上述施力单元一起把持该输送物的把持机构的情况下，能够将输送物从基板输送方向的两侧可靠地保持（把持）。 
此外，在本发明中，在上述驱动机构中设有凸轮方式的驱动部、在上述把持机构中设有受上述凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的把持部的情况下，能够将凸轮机构的滑动部配置在输送物（晶片等基板）的下侧，能够防止例如在滑动部产生的灰尘带来的输送物表面的污染。 
此外，在本发明中，在上述驱动机构中设有凸轮方式的驱动部、在上述把持机构中设有与上述凸轮方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的把持部的情况下，由于能够将该连杆机构的滑动部配置在输送物（晶片等基板）侧的远处，所以能够防止例如在滑动部产生的灰尘带来的输送物表面的污染。 
进而，在本发明中，在设有两个上述把持机构、各把持机构的把持部配置为使其相对于通过上述第1及第2驱动轴的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称的情况下，能够通过两个把持机构平衡良好地对基板施力而保持（把持）。 
附图说明
图1是表示有关本发明的输送装置的实施方式的结构的平面图。 
图2（a）是表示该实施方式的施力单元的从动机构部的结构图，图2（b）是表示该实施方式的施力单元的整体的结构图。 
图3（a）、图3（b）是详细地表示本发明的动作原理及结构的说明图。 
图4（a）～图4（c）是表示本发明的实施方式的输送装置的动作的说明图。 
图5是表示本发明的另一实施方式的主要部的结构图。 
图6是表示本发明的再另一实施方式的主要部的部分剖视侧视图。 
图7是表示本发明的再另一实施方式的主要部的结构图。 
图8是表示本发明的再另一实施方式的施力部及夹紧卡止机构的平面图。 
图9（a）是表示施力部及夹紧卡止机构的主要部的平面图，图9（b）是表示夹紧卡止机构的主要部的部分剖视图。 
图10（a）是表示施力部及夹紧卡止机构的主要部的平面图，图10（b）是表示夹紧卡止机构的主要部的部分剖视图。 
图11是表示本发明的再另一实施方式的施力部及夹紧卡止机构的平面图。 
图12（a）、图12（b）是表示夹紧卡止机构的主要部的平面图。 
图13是表示本发明的再另一实施方式的主要部的结构图。 
图14是有关以往技术的输送装置的概略结构图。 
图15是有关以往技术的输送装置的主要部概略结构图。 
附图标记说明
1L 第1左臂，1R 第1右臂，2L 第2左臂，2R 第2右臂，3L 第3左臂（驱动连杆部），3R 第3右臂（驱动连杆部），4 动力传递机构，5 载置部，5a、5b 卡止部，6 从动机构部，7 输送室，8 处理室，9 施力单元，10 基板（输送物），20 连杆机构，31L、31R 凸轮驱动面，50 输送装置。
具体实施方式
以下，参照附图详细地说明本发明的优选的实施方式。 
图1是表示有关本发明的输送装置的实施方式的结构的平面图。 
如图1所示，本实施方式的输送装置50是例如在真空处理槽内进行作为输送物的基板10的输送的所谓蛙腿（frog leg）方式的输送装置，具有用来驱动以下说明的连杆机构20的在铅直方向上以同心状配设的第1及第2驱动轴11、12。 
这些各驱动轴11、12构成为，被从独立的第1及第2驱动源M1、M2分别传递顺时针方向或逆时针方向的旋转动力。 
在第1驱动轴11上固定着第1左臂1L的一端部（基端部），在第2驱动轴12的一端部（基端部）上固定着第1右臂1R。 
在第1左臂1L的另一端部（前端部）上，以支轴21L为中心在水平方向上旋转自如地安装着第2左臂2L的一端部（基端部）。 
在第1右臂1R的另一端部（前端部）上，以支轴21R为中心在水平方向上旋转自如地安装着第2右臂2R的一端部（基端部）。 
在本实施方式中，这些第1左臂1L及第1右臂1R形成为直线状，构成为，使其具有相同的支点间距离。 
第2左臂2L形成为直线状，在其另一端部（前端部）上，用固定螺纹件22L固定着第3左臂3L的一端部（基端部）。 
第2右臂2R形成为直线状，在其另一端部（前端部）上，用固定螺纹件22R固定着第3右臂3R的一端部（基端部）。 
这里，第3左臂3L、第3右臂3R是构成驱动连杆部的部件，大致形成为“く”字状，将各自的弯曲部分的凸部朝向连杆外方侧配置。 
此外，第3左臂3L的另一端部（前端部）以设在后述的动力传递机构4的表面上的支轴23L为中心在水平方向上旋转自如地安装。 
另一方面，第3右臂3R的另一端部（前端部）以设在后述的动力传递机构4的例如表面侧的支轴23R为中心在水平方向上旋转自如地安装。 
在本实施方式中，构成为，使从第2左臂2L的支轴21L到第3左臂3L的支轴23L的支点间距离、与从第2右臂2R的支轴21R到第3右臂3R的支轴23R的支点间距离具有相同的距离。 
此外，动力传递机构4在例如矩形薄型箱形状的壳体内具有相互啮合的一对齿轮（未图示）。 
这些齿轮具有相同的齿数，各自的旋转轴固定在上述支轴23L、23R上，由此构成为，为了作为姿势控制机构作用而向相反方向以相同速度旋转。 
这些支轴23L、23R在相对于基板的输送方向正交的方向上接近而配置。 
在本发明的情况下，并没有特别限定，但从平衡良好地保持输送物的观点看，优选的是构成为，将支轴23L、23R配置在通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线的、相对于基板输送方向（箭头P方向）正交的位置上。 
在动力传递机构4的基板输送方向下游侧，设有作为所谓末端执行器的载置部5。 
该载置部5设有隔开规定的间隔设置的支承部件5L、5R。 
这里，在支承部件5L、5R的基板输送方向下游侧的端部上，分别设有能够与基板10的侧部抵接的凸部形状的卡止部5a、5b。 
这里，卡止部5a、5b形成为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
另一方面，在本实施方式中，设有以下说明的基于凸轮机构的施力单元9。 
图2（a）是表示本实施方式的施力单元的从动机构部的结构图，图2（b）是表示本实施方式的施力单元的整体的结构图。 
如图2（b）所示，在本实施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分别形成为半圆形状，在各前端部的基板输送方向下游侧的部分，设有圆弧状的凸轮驱动面31L、31R。并且，具有这些第3左臂3L及第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R、和图2（a）所示的从动机构部6而构成施力单元9。 
这里，第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R通过将第3左臂3L和第3右臂3R的例如上表面侧分别以台阶状切口而形成为关于基板输送方向下游侧方向为凸的圆弧状。 
并且，在本实施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R构成为，使各前端部侧的变位量（支轴23L与内侧抵接面31L1间的距离、支轴23R与内侧抵接面31R1间的距离）r1比各基端部侧的变位量（支轴23L与外侧抵接面31L0间的距离、支轴23R与外侧抵接面31R0间的距离）r0小（r1<r0）。 
另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R形成为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
另一方面，本实施方式的从动机构部6优选的是由不锈钢等金属部件构成，具有直线棒状的主体部60。 
在从动机构部6的主体部60的一端部上，安装有例如梯形形状的支承部件61，在该支承部件61的梯形底边的两端部上，分别设有例如具有相同的直径的正圆形的从动辊62L、62R。 
这里，从动辊62L、62R例如配置为，使其相对于主体部60延伸的方向的直线为线对称，构成为，使其以相对于包括该主体部60的平面正交的方向的支轴63L、63R为中心旋转。 
在从动机构部6的主体部60的另一端部上，安装有例如凸状（这里是销形状）的施力部6a。该施力部6a的前端部也可以实施用来防止灰尘的产生的由例如PTFE（聚四氟乙烯树脂）等耐热性的树脂材料构成的涂层。 
此外，在从动机构部6的主体部60的中腹部与上述支承部件61之间，在该主体部60的周围安装有压缩螺旋弹簧64。该压缩螺旋弹簧64的前端部分固定在支承部件61上。 
并且，在本实施方式中，如图2（b）所示，构成为，通过在使从动机构部6的从动辊62L、62R分别抵接在第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R上的状态下、用例如设在载置部5的表面上的导引部件65导引，使从动机构部6的主体部60通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向直线移动。 
在此情况下，安装在从动机构部6的主体部60上的压缩螺旋弹簧64将其施力部6a侧的前端部分抵接而卡止在导引部件65上，通过其弹性力将从动机构部6的从动辊62L、62R相对于第3左臂3L和第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R推压。 
接着，使用图3（a）、图3（b）详细地说明本发明的动作原理及结构。 
在本发明的实施方式中，在连杆机构20伸展的状态下，如图3（a）所示，设定为，使第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度大。 
另一方面，在连杆机构20收缩的状态下，如图3（b）所示，设定为，使第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度例如比180度小。 
在这样的结构中，在连杆机构20伸展的状态下，如图3（a）所示，设定从动机构部6的长度（这里是从施力部6a的前端部到从动辊62L、62R的凸轮驱动面31L、31R的内侧抵接面31L1、31R1的距离），以使从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触，并且设定第3左臂3L及第3右臂3R的安装面30L、30R的角度、上述凸轮驱动面31L、31R的变位量r1，决定从动辊62L、62R的各内侧抵接面31L1、31R1与基板10的侧部的距离，将其设为距离D。 
另一方面，在连杆机构20收缩的状态下，如图3（b）所示，第3左臂3L的安装面30L与第3右臂3R的安装面30R所成的角度变得比180度小，从动机构部6的从动辊62L、62R沿着第3左臂3L及第3右臂3R的凸轮驱动面31L、31R分别向外侧抵接面31L0、31R0侧移动，由此，第3左臂3L和第3右臂3R的支轴23L、23R与各凸轮驱动面31L、31R间的距离变大（r0>r1）。 
在此情况下，在本实施方式中，关于将从动机构部6的从动辊62L、62R与各凸轮驱动面31L、31R的接触部分和各支轴23L、23R连结的直线的相对于基板输送方向的角度，连杆机构20收缩的状态比连杆机构20伸展的状态小（θ0<θ1 ），所以随着第3左臂3L及第3右臂3R的向收缩方向的旋转，从动机构部6向基板输送方向下游侧移动，从动辊62L、62R的接触端部与应输送的基板10的侧部的距离变小（r0cosθ0>r1cosθ1，即d<D）。 
结果，从动机构部6的基板输送方向下游侧的部分（施力部6a）与应输送的基板10的侧部接触，对于基板10的侧部作用有朝向载置部5的卡止部5a、5b的方向的力F，由此，对于该基板10，关于基板输送方向从上游及下游侧作用推压力，在载置部5上保持（把持）基板10。 
在本实施方式中，由于上述动作时压缩螺旋弹簧64的输送方向下游侧的部分抵接在导引部件65上而被压缩，所以通过压缩螺旋弹簧64的弹性力，将从动机构部6的从动辊62L、62R推压而紧贴在第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R上，由此，从动机构部6沿着导引部件65可靠地以高精度向基板输送方向下游侧移动。 
在这样的连杆机构20的收缩状态下，通过使第1左臂1L及第1右臂1R向相同的方向旋转，能够在保持着基板10的状态下进行旋绕动作。 
图4（a）～图4（c）是表示本实施方式的输送装置的动作的说明图。 
这里，以从输送室7向处理室8内运入基板10的情况为例进行说明。另外，输送室7及处理室8连接在未图示的真空排气系统上。此外，在输送室7与处理室8间连接着未图示的闸阀，在该闸阀打开后进行运入、运出动作。 
首先，如图4（a）所示，如上述那样使连杆机构20收缩，在保持着基板10的状态下使载置部5的卡止部5a、5b朝向处理室8侧。 
通过从该状态使第1左臂1L向顺时针方向旋转、并且使第1右臂1R向逆时针方向旋转，开始连杆机构20的伸展动作，如图4（b）所示，基板10朝向处理室8直线前进。 
进而，通过继续连杆机构20的伸展动作，如图4（c）所示，将基板10运入到处理室8内。 
在此状态下，如使用图3（a）说明那样，为从动机构部6的施力部6a与基板10的侧部不接触的状态，所以通过由设置在处理室8中的未图示的升降机构支承基板10而使其上升，能够使基板10从输送装置50的载置部5脱离。 
另外，将从动机构部6的施力部6a与基板10的侧部的接触解除的时刻既可以是与连杆机构20完全伸展的状态同时，也可以是连杆机构20完全伸展前（即将完全伸展之前），也可以根据应用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 
然后，通过使第1左臂1L向逆时针方向旋转、并使第1右臂1R向顺时针方向旋转、进行连杆机构20的收缩动作，能够使载置部5回到输送室7内。 
如以上所述那样，在本实施方式中，由于在连杆机构20的动作前端部设有通过凸轮机构动作的施力单元6、通过向基板输送方向下游侧移动的从动机构部6的施力部6a和卡止部5a、5b机械地把持并保持基板10，所以能够抑制基板10在载置部5上表面的滑动（在原理上没有滑动），能够实现基板10的高速输送。 
此外，通过包括从动机构部6而将全部的部件用金属制造，不论是输送物或周围的环境气体温度比较低的环境下、还是输送时的温度较高（例如300～500℃）的情况，都能够没有热变质及变形而抑制基板10的滑动。 
进而，由于从动机构部6的施力部6a是凸状的部件，在把持基板10的部分中没有滑动部，所以能够减少污染基板10的灰尘的产生。 
图5～图7是表示本发明的其他实施方式的图，以下，对与上述实施方式对应的部分赋予共通的附图标记而省略其详细的说明。 
图5是表示在施力单元的从动机构部中具有用来使该施力部的施力减能的减能部件的例子的图。 
如图5所示，在本实施方式中，构成为，使施力部6a的支承部66沿着主体部60延伸的方向移动，在这些主体部60的前端部与施力部6a之间的支承部66的周围安装有压缩螺旋弹簧（减能部件）67。并且，构成为，在施力部6a的前端部上作用有向主体部60方向的力的情况下，施力部6a抵抗压缩螺旋弹簧67的弹性力而向主体部60方向移动。 
根据具有这样的结构的本实施方式，由于能够调节在保持（把持）基板10时对基板10的施力，所以根据各种输送物及装置结构而设计的自由度变大，具有通用性变高的优点。 
图6是表示本发明的再另一实施方式的主要部的部分剖视侧视图，构成为，使第3左臂3L和第3右臂3R位于动力传递机构4的下方。 
如图6所示，在本实施方式中，在第3左臂3L和第3右臂3R的前端部配设上述结构的从动机构部6，构成为，使其主体部60沿着基板输送方向直线前进移动。 
在从动机构部6的主体部60的前端部上安装有减能部件6b。该减能部件6b由由例如不锈钢等金属形成的板状的弹性材料构成，从主体部60的前端部朝向上方配设。 
并且，在减能部件6b的前端部设有例如凹部形状的施力部6c，构成为，该施力部6c经由设在载置部5上的孔部5a突出到载置部5上、随着从动机构部6的移动、施力部6c的凹面部分相对于基板10的侧部抵接或离开间隔。 
根据具有这样的结构的本实施方式，与上述实施方式同样，能够在保持（把持）基板10时调节对基板10的施力。 
而且，根据本实施方式，可以作为例如在美国专利6,364,599B1的图22及图23中表示的使上侧的末端执行器与下侧的末端执行器的上下间隔变小的臂机构的下侧臂的晶片把持机构使用。另外，作为该臂机构的上侧臂的晶片把持机构可以使用上述图2（a）、图2（b）及图3（a）、图3（b）的结构。 
图7是表示本发明的再另一实施方式的主要部的结构图，表示具有用来使该施力部的施力减能的减能部件的例子。 
如图7所示，本实施方式是图5所示的实施方式的变形例，在从动机构部6的主体部60的前端部上固定有例如沿与主体部60延伸的方向正交的方向延伸的直线棒状的安装部件68，在该安装部件68的两端部上，安装有由例如不锈钢等金属构成的带状环状的两个减能施力部6d、6e，以使其从安装部件68向基板输送方向下游侧突出。 
这里，两个减能施力部6d、6e形成为相同的大小及形状，配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
根据具有这样的结构的本实施方式，除了与图5所示的实施方式同样在保持（把持）基板10时能够调节对基板10的施力以外，由于通过相对于基板输送方向线对称地配置的两个减能施力部6d、6e将基板10施力，所以具有能够平衡良好地保持（把持）基板10的优点。 
另外，在本实施方式中，也可以如图6所示的实施方式那样构成为，使第3左臂3L和第3右臂3R以及从动机构部6位于动力传递机构4的下方。 
在此情况下，可以与图6所示的实施方式同样，在载置部5上设置孔部（未图示），经由该孔部使安装部件68及减能施力部6d、6e位于载置部5的上方，构成为，使减能施力部6d、6e相对于基板10的侧部抵接或离开间隔。 
根据这样的本实施方式，具有能够作为例如在美国专利6,364,599B1的图22及图23中表示的使上侧的末端执行器与下侧的末端执行器的上下间隔变小的臂机构的下侧臂的晶片把持机构使用的优点。另外，作为该臂机构的上侧臂的晶片把持机构可以使用上述图7的结构本身。 
图8及图9（a）、图9（b）是表示本发明的再另一实施方式的图，图8是表示施力部及夹紧卡止机构的平面图，图9（a）是表示夹紧卡止机构的主要部的平面图，图9（b）是表示夹紧卡止机构的主要部的部分剖视图。以下，对于与上述实施方式对应的部分赋予相同的附图标记而省略其详细的说明。 
如图8所示，本实施方式如后所述，是在载置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上设有左夹紧卡止机构（把持机构）70L、右夹紧卡止机构（把持机构）70R的结构。 
这里，在从动机构部6的主体部60上，安装固定有沿与基板输送方向（箭头P方向）正交的方向延伸的直线棒状的基部71。 
该基部71具有与载置部5的支承部件5L、5R的间隔大致相等的长度，在左支承部件5L上，安装固定有沿基板输送方向延伸的直线棒状的左驱动部件71L，在右支承部件5R上，安装固定有沿基板输送方向延伸的直线棒状的右驱动部件71R。 
在本实施方式的情况下，这些左驱动部件71L及右驱动部件71R分别沿着支承部件5L、5R配置在各自的下侧。 
此外，左驱动部件71L及右驱动部件71R配置为，使其相对于通过上述第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
在支承部件5L的前端部分上，设有左夹紧卡止机构70L，在支承部件5R的前端部分上，设有右夹紧卡止机构70R。 
这些左夹紧卡止机构70L和右夹紧卡止机构70R构成为，使其在相同的机构作用下动作，配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
在本实施方式中，由上述基部71、左驱动部件71L及右驱动部件71R构成驱动机构。 
以下，使用图8、图9（a）、图9（b）及图10（a）、图10（b），适当地以右夹紧卡止机构70R为例说明本发明的凸轮方式的把持机构的结构及动作。 
如图9（a）、图9（b）所示，本实施方式的右夹紧卡止机构70R具有安装在支承部件5R的下部的例如箱状的保持部50。 
在该保持部50的底部50a上，朝向水平方向支承着上述右驱动部件71R。 
并且，在设在保持部50的两侧的侧壁部50b上，可旋转地支承着相对于基板输送方向沿直角方向延伸并且朝向水平方向的支轴72R。 
在该支轴72R上，安装固定着构成右夹紧卡止机构70L的右夹紧卡止部件73R。 
该右夹紧卡止部件73R形成为大致“L”字状，由向铅直上方延伸的把持部730、和相对于支轴72R向基板输送方向下游侧延伸的凸轮从动部731构成。 
这里，右夹紧卡止部件73R的把持部730构成为，使其前端部分从设在支承部件5R上的开口部74R向上方突出。 
并且，形成为，使长度即支点间距离比凸轮从动部731长，构成为，使把持部730的前端部分从设在支承部件5R上的开口部74R向上方突出。 
在本实施方式中，如图9（b）所示，在右夹紧卡止部件73R的把持部730的基板输送方向下游侧的部分上，安装有作为弹性部件的例如拉伸螺旋弹簧75的一端部，进而，该拉伸螺旋弹簧75的另一端部安装在设于支承部件5R上的基板输送方向下游侧的位置上的安装部件76上。 
并且，如图9（b）所示，拉伸螺旋弹簧75构成为，使其将右夹紧卡止部件73R的把持部730向基板输送方向下游侧拉伸。 
此外，在右夹紧卡止部件73R的把持部730上，设有相对于基板输送方向倾斜规定的角度（例如向应输送的基板10的内方侧45°左右）的例如平面形状的把持面732。 
另外，在右夹紧卡止部件73R的把持面732上，也可以实施用来防止灰尘的产生的由例如PTFE（聚四氟乙烯树脂）等耐热性的树脂材料构成的涂层。 
另一方面，右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731相对于支轴72R稍朝向下方形成，构成为，使支轴72R的正下方的部分和凸轮从动部731的下表面734对驱动部件71R的上表面710（以及以下说明的凸轮驱动面711）接触。 
并且，凸轮从动部731的前端部的形状形成为R形状。 
在本实施方式的情况下，该凸轮驱动面711形成为凹部状，形成为相对于右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731的下表面734嵌合的凹曲面形状。 
另外，在右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731与驱动部件71R的上表面710接触的部分上，也可以实施用来防止灰尘的产生的由例如PTFE（聚四氟乙烯树脂）等耐热性的树脂材料构成的涂层。 
另一方面，左夹紧卡止机构70L是与上述的右夹紧卡止机构70R相同的结构，具有配置为使其相对于沿基板输送方向延伸的直线为线对称的支轴72L、左夹紧卡止部件73、开口部74L，在左夹紧卡止部件73上，设有把持部730、凸轮从动部731及把持面732。 
此外，驱动部件71L具有与上述的驱动部件71R相同的结构，虽然没有图示，但在其上表面上形成有相对于左夹紧卡止部件73L的凸轮从动部731的下表面嵌合的凹曲面形状的凸轮驱动面711。 
接着，使用图8、图9（a）、图9（b）及图10（a）、图10（b）详细地说明本实施方式的动作原理及结构。 
在本实施方式的情况下，在连杆机构20伸展的状态下，设定从动机构部6的长度，以使从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 
在此状态下，固定在从动机构部6的主体部60上的基部71位于基板输送方向上游侧的规定位置上，由此，左驱动部件71L及右驱动部件71R也位于基板输送方向上游侧的规定位置上。 
所以，在这样的位置关系中，例如如图9（a）、图9（b）所示，设定右驱动部件71R的长度、右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731的长度、右驱动部件71R的凸轮驱动面711的长度、位置及形状，以使设在右驱动部件71R上的凸轮驱动面711的底部和右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731关于基板输送方向为重叠的位置。 
在此状态下，由于右夹紧卡止部件73R的把持部730被拉伸螺旋弹簧向基板输送方向拉伸，所以右夹紧卡止部件73R的把持部730以支轴72R为中心朝向基板输送方向倾倒的方向旋转，由此，将右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731推压在右驱动部件71R的凸轮驱动面711的底部上，右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731抵接在右驱动部件71R的凸轮驱动面711的底部分上而成为静止状态。 
并且，如图9（a）所示，在此状态下，设定支轴72R的位置、右夹紧卡止部件73R的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使右夹紧卡止部件73R的把持面732相对于基板10的边缘部离开间隔。 
另一方面，如果从该状态使第3左臂3L及第3右臂3R向使连杆机构20收缩的方向旋转，则基部71和左驱动部件71L及右驱动部件71R与从动机构部6的主体部60一起向基板输送方向移动。 
由此，如图10（a）、图10（b）所示，通过右夹紧卡止部件73R的凸轮从动部731从右驱动部件71R的凸轮驱动面711脱离、凸轮从动部731的下表面734抵接在驱动部件71R的上表面710上，右夹紧卡止部件73R的把持部730以支轴72R为中心向与基板输送方向相反方向、即竖起的方向旋转。 
并且，在本实施方式中，如图8所示，在连杆机构20收缩的状态下，如图10（a）所示，设定上述支轴72R的位置、右夹紧卡止部件73R的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使右夹紧卡止部件73R的把持面732抵接在被从动机构部6的施力部6a向基板输送方向施力而移动的基板10的边缘部上。 
在此情况下，关于左夹紧卡止机构70L，也与右夹紧卡止机构70R同样，相对于驱动部件71的凸轮驱动面711设定支轴72L的位置、左夹紧卡止部件73L的把持部730的长度及形状、以及把持面732的位置及形状，以使左夹紧卡止部件73L的把持面732与基板10的边缘部抵接。 
在本发明的情况下，没有特别限定，但优选的是进行设定、以使左夹紧卡止部件73L的把持部730及右夹紧卡止部件73R的把持部730的移动距离（行程）相对于左驱动部件71L及右驱动部件71R的移动距离、即从动机构部6的移动距离较小。 
根据具有这样的结构的本实施方式，在连杆机构20收缩的状态下，如图8所示，从从动机构部6的施力部6a作用基板输送方向的力F，并且从左夹紧卡止机构70L的左夹紧卡止部件73L及右夹紧卡止机构70R的右夹紧卡止部件73R作用朝向基板10内方的力f1、f2，由此，对于该基板10，关于基板输送方向从上游及下游侧作用推压力，将基板10可靠地保持（把持）在载置部5上。 
在该连杆机构20的收缩状态下，通过使第1左臂1L及第1右臂1R向相同的方向旋转，能够在保持着基板10的状态下进行旋绕动作。 
另外，从动机构部6的施力部6a和左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732接触在基板10的边缘部上的时刻既可以是与连杆机构20完全收缩的状态同时，也可以是连杆机构20完全收缩之前（即将完全收缩之前），可以根据应用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 
但是，从精度良好地把持基板10的观点看，优选的是构成为，在从动机构部6的施力部6a接触在基板10的边缘部上之后、左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732接触在基板10的边缘部上。 
特别是，在本实施方式中，由于左夹紧卡止机构70L（左夹紧卡止部件73L的把持面732）及右夹紧卡止机构70R（右夹紧卡止部件73R的把持面732）配置为、使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称，所以能够平衡良好地施力并保持（把持）基板10。 
进而，在本实施方式中，通过设定为、使左夹紧卡止部件73L的把持部730及右夹紧卡止部件73R的把持部730的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离小，可以相对于从动机构部6的施力部6a进行的向基板10的施力的时刻、以规定的范围设定左夹紧卡止部件73L的把持面732及右夹紧卡止部件73R的把持面732的时刻及时间，由此能够精度良好地把持基板10。 
进而，根据本实施方式，由于能够将左夹紧卡止机构70L及右夹紧卡止机构70R的凸轮机构的滑动部分配置在基板10的下侧，所以能够防止例如在该滑动部分产生的灰尘带来的基板10表面的污染。 
图11及图12（a）、图12（b）是表示本发明的再另一实施方式的图，图11是表示施力部及夹紧卡止机构的平面图、图12（a）、图12（b）是表示夹紧卡止机构的主要部的平面图。以下，对于与上述实施方式对应的部分赋予相同的附图标记而省略其详细的说明。 
如图11所示，在本实施方式中，在载置部5的支承部件5L、5R的前端部分上，分别设有作为连杆方式的把持机构的、后述的夹紧卡止机构81L、81R。此外，具有用来驱动这些夹紧卡止机构81L、81R的驱动部件80。 
该驱动部件80由大致“コ”字状的部件构成，由直线棒状的基部80a、和在基部80a的两端部沿与基部80a正交的方向分别延伸的直线棒状的左驱动部80L、右驱动部80R构成。 
在本实施方式的情况下，驱动部件80配置为，使基部80a与基板输送方向正交，构成为，使从动机构部6的主体部60贯通该基部80a。并且，由此将从动机构部6的主体部60和驱动部件80配置构成为，使其能够相对地向基板输送方向及其相反方向移动。 
此外，驱动部件80的基部80a的长度设定为，使其比载置部5的支承部件5L、5R的间距长，由此，在将驱动部件80安装到输送装置50上的情况下，左驱动部80L、右驱动部80R分别被配置在支承部件5L、5R的外侧。 
这里，驱动部件80的左驱动部80L、右驱动部80R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
驱动部件80构成为，使其经由以下说明的动力传递机构82从连杆机构20的第3右臂3R受到力。 
该动力传递机构82具有直线棒状的主体部82a，该主体部82a的一端部被朝向与上述的驱动部件80的基部80a正交的方向安装固定。 
在该动力传递机构82的主体部82a的另一端部上，在水平面内旋转自如地支承着正圆形的从动辊82b。 
另一方面，在第3右臂3R上，与图8所示的实施方式的情况相比，凸轮驱动面31R从第3右臂3R的前端部朝向后端部长度较长地形成。 
并且，在从动机构部6的右侧相邻配置有动力传递机构82，构成为，通过在使其从动辊82b抵接在凸轮驱动面31R上的状态下通过例如设在载置部5的表面上的导引部件82c导引，动力传递机构82的主体部82a向基板输送方向或其相反方向直线移动。 
进而，在本实施方式中，采用了在动力传递机构82的主体部82a的基板输送方向侧的端部附近固定安装部件82d、在该安装部件82d上安装棒状的固定销82e、进而通过将该固定销82e的一端部安装固定在驱动部件80的基部80a上、并且将固定销82e的另一端部分固定在例如导引部件82c上、使得动力传递机构82的主体部82a与驱动部件80的基部80a不会旋转那样的结构。 
另一方面，在驱动部件80的左驱动部80L的前端部上，可以支轴83L为中心在水平面内旋转地支承着后述的左连杆部件84L的一端部，此外，在驱动部件80的右驱动部80R的前端部上，可以支轴83R为中心在水平面内旋转地支承着后述的右连杆部件84R的一端部。 
此外，在主体部82a上安装有例如螺旋弹簧82f，螺旋弹簧82f的一端部固定在主体部82a上，并且另一端部抵接在导引部件82c的端部上。由于为通过该螺旋弹簧82f的力对主体部82a向基板输送方向上游侧施加力的状态，所以当连杆机构20处于伸展状态时，把持部86L、86R对基板10的把持被解除。 
这些左连杆部件84L及右连杆部件84R都由大致“L”字状的相同形状的部件构成，在没有受驱动部件80的左驱动部80L或右驱动部80R支承的一侧的前端部上，设有例如R形状的把持部86L、86R，以使其沿与主体部分正交的方向延伸。 
进而，左连杆部件84L及右连杆部件84R的各自的中腹部可以设在载置部5的各支承部件5L、5R的前端部上的支轴85L、85R为中心在水平面内旋转地被支承。这里，左连杆部件84L及右连杆部件84R的各自的把持部86L、86R被朝向与基板输送方向相反方向配置。 
并且，通过这样的结构，将左夹紧卡止机构81L及右夹紧卡止机构81R的把持部86L、86R配置为，使其相对于通过上述第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。 
另外，在把持部86L、86R的与基板10的边缘部接触的部分上，可以实施用来防止灰尘的产生的由例如PTFE（聚四氟乙烯树脂）等耐热性的树脂材料构成的涂层。 
接着，使用图11及图12（a）、图12（b）详细地说明本实施方式的动作原理及结构。 
另外，在本实施方式的情况下，左夹紧卡止机构81L和右夹紧卡止机构81R构成为，使其在相同的机构作用下动作，以下，适当地以右夹紧卡止机构81R为例说明本发明的连杆方式的把持机构的结构及动作。 
在本实施方式中，与图3（a）、图3（b）所示的实施方式同样，在连杆机构20伸展的状态下，设定从动机构部6的长度，以使从动机构部6的基板输送方向下游侧的施力部6a不与应输送的基板10的侧部接触。 
并且，在连杆机构20收缩的状态下，构成为，从动机构部6向基板输送方向下游侧移动，从动机构部6的施力部6a与应输送的基板10的侧部接触。 
本实施方式的动力传递机构82构成为，使其与上述从动机构部6一起向相同方向移动。 
即，在连杆机构20伸展的状态下，例如，关于右连杆部件84R，如图12（a）所示，分别设定第3右臂的第3凸轮驱动面31R的形状、动力传递机构82的从动辊82b、主体部82a的长度、驱动部件80的基部80a以及右驱动部80R的长度、右连杆部件84R（把持部86R）的长度、支轴83R、85R的位置，以使把持部86R不与基部10的边缘部接触。 
关于左连杆部件84L，也分别设定驱动部件80的基部80a及左驱动部80L的长度、左连杆部件84L（把持部86L）的长度、支轴83L、85L的位置，以使把持部86L不与基部10的边缘部接触。 
另外，本发明中，虽然没有特别限定，但例如关于右连杆部件84R，优选的是，如图12（a）所示那样构成为，使把持部86R的与基板10的接触部分与支承部件5R的支轴85R的间距P1比支承部件5R的支轴85R与右驱动部80R的支轴83R的间距P2小。 
另一方面，关于左连杆部件84L也虽然没有图示，但同样优选的是构成为，使把持部86L的与基板10的接触部分与支承部件5L的支轴85L的间距比支承部件5L的支轴85L与右驱动部80L的支轴83L的间距小。 
通过这样的结构，可以设定为，使左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离较小。 
在本实施方式中，如果从连杆机构20伸展的状态使第3左臂3L及第3右臂3R向使连杆机构20收缩的方向旋转，则从动机构部6的主体部60向基板输送方向移动，并且来自第3右臂3R的凸轮驱动面31R的力被经由动力传递机构82传递给驱动部件80的基部80a，由此驱动部件80向基板输送方向移动。 
结果，左连杆部件84L、右连杆部件84R以支轴85L、85R为中心旋转，以使把持部86L、86R向与基板输送方向相反方向移动（参照图12（b））。 
所以，在本实施方式中，在连杆机构20收缩的状态下，分别设定上述第3右臂的第3凸轮驱动面31R的形状、动力传递机构82的从动辊82b、主体部82a的长度、驱动部件80的基部80a以及左驱动部80L及右驱动部80R的长度、左连杆部件84L及右连杆部件84（把持部86L、86R）的长度、支轴83L、85L、83R、85R的位置，以使左连杆部件84L的把持部86L及右连杆部件84R的把持部86R对被从动机构部6的施力部6a向基板输送方向施力而移动的基板10的边缘部抵接。 
根据具有这样的结构的本实施方式，在连杆机构20收缩的状态下，如图11所示，从从动机构部6的施力部6a作用基板输送方向的力F，并且从左夹紧卡止机构81L的左连杆部件84L及右夹紧卡止机构81R的右连杆部件84R作用朝向基板10内方的力f3、f4，由此，对于该基板10，关于基板输送方向从上游及下游侧作用推压力，将基板10可靠地保持（把持）在载置部5上。 
并且，在该连杆机构20的收缩状态下，通过使第1左臂1L及第1右臂1R向相同的方向旋转，能够在保持着基板10的状态下进行旋绕动作。 
另外，从动机构部6的施力部6a、和左夹紧卡止部件84L的把持部86L及右夹紧卡止部件84R的把持部86R接触在基板10上的时刻既可以是与连杆机构20完全收缩的状态同时，也可以是连杆机构20完全收缩之前（即将完全收缩之前），可以根据应用本发明的输送装置及真空装置的大小及配置结构而适当变更。 
但是，从精度良好地把持基板10的观点看，优选的是构成为，在从动机构部6的施力部6a接触在基板10的边缘部上之后、左夹紧卡止部件84L的把持部86L及右夹紧卡止部件84R的把持部86R接触在基板10的边缘部上。 
进而，在本实施方式中，由于左夹紧卡止机构81L的把持部86L及右夹紧卡止机构81R的把持部86R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称，所以能够通过左夹紧卡止部件84L的把持部86L及右夹紧卡止部件84R的把持部86R平衡良好地施力并保持（把持）基板10。 
进而，在本实施方式中，通过设定为，使左夹紧卡止部件84L的把持部86L及右夹紧卡止部件84R的把持部86R的移动距离相对于从动机构部6的向基板输送方向的移动距离较小，能够相对于从动机构部6的施力部6a进行的向基板10的施力的时刻、以规定的范围设定左夹紧卡止部件84L的把持部86L及右夹紧卡止部件84R的把持部86R的时刻及时间，由此能够精度良好地把持基板10。 
此外，在本实施方式中，由于能够将左夹紧卡止机构81L及右夹紧卡止机构81R的连杆机构的滑动部分配置在基板10的侧方远处，所以能够防止例如在该滑动部分产生的灰尘带来的基板10表面的污染。 
另外，本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更。 
例如，在上述实施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R构成为，使各前端部侧的变位量r1比各基端部侧的变位量r0小（r1<r0）。 
但是，在具有多个例如图4（a）～图4（c）所示那样的处理室8的输送装置中，根据处理室8的内部结构，基板10的交接位置并不一定相同，从驱动轴11、12的中心轴到各处理室8的交接位置的距离不同。 
这里，到交接位置的距离、即交接距离较短的情况下，也可以想到，交接基板10时的基板10的边缘与施力部6a的间隔变小，有可能施力部6a碰在基板10的边缘上而发生产生灰尘或基板偏移的问题。 
作为避免该问题的方法，例如如图13所示，也可以将第3左臂3L和第3右臂3R的各凸轮驱动面31L、31R的前端部侧的形状如图中用斜线部分表示那样形成为变位量遍及规定的角度为一定的形状、即例如与各凸轮驱动面31L、31R的前端部侧的变位量r1相同的半径的圆弧形状。 
如果做成这样的结构，则当从动辊62L、62R以图中用斜线表示的半径r1的范围接触在各凸轮驱动面31L、31R上时，从动机构部6的主体部60不向基板输送方向进行直线运动，所以不论是交接距离较短的情况还是较长的情况，都能够将交接基板10时的基板10的边缘和施力部6a保持为不会相互接触的间隔，能够避免灰尘产生及基板偏移的问题。 
此外，在上述实施方式中，将相邻的两个凸轮驱动面31L、31R与对应于它们的两个从动辊62L、62R组合而构成施力单元6的凸轮机构，但本发明并不限定于此，也可以将一个凸轮驱动面与对应于它的一个从动辊组合而构成施力单元的凸轮机构，此外也可以将三个以上的凸轮驱动面与对应于它们的三个以上的从动辊组合而构成施力单元的凸轮机构。 
但是，从平衡良好地保持（把持）基板10的观点看，优选的是如上述实施方式那样将相邻的两个凸轮驱动面31L、31R与对应于它们的两个从动辊62L、62R组合而构成施力单元6的凸轮机构。 
另外，关于施力单元的凸轮机构，对于凸轮驱动面的形状、从动辊的大小等可以根据应用本发明的输送装置而适当变更。 
进而，本发明能够应用到具有各种连杆机构的输送装置中。 
例如，在上述实施方式中，使形成有凸轮驱动面31L、31R的第3左臂3L和第3右臂3R旋转，通过凸轮机构使从动机构部6动作，但本发明并不限定于此，也可以在第2左臂2L和第2右臂2R上形成凸轮驱动面而进行上述的动作。 
进而，也可以构成为，在平行连杆臂机构那样的分别相对地平行移动的多个相邻连杆部上形成凸轮驱动面，使从动机构部沿着该凸轮驱动面移动，通过上述的动作保持输送物。 
另一方面，在图8、图9（a）、图9（b）及图10（a）、图10（b）所示的实施方式中，对于左夹紧卡止机构70L、右夹紧卡止机构70R，将左驱动部件71L及右驱动部件71R（特别是各把持面732）配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称，但本发明并不限定于此，也可以配置为，使其相对于该直线为非对称。 
此外，在图8、图9（a）、图9（b）及图10（a）、图10（b）所示的实施方式中，设置两个凸轮方式的把持机构（左夹紧卡止机构70L、右夹紧卡止机构），但根据基板10的形状及大小、还有装置结构等，也可以设置一个或三个以上的凸轮式把持机构。 
另一方面，在图11及图12（a）、图12（b）所示的实施方式中，将左夹紧卡止机构81L的把持部86L、右夹紧卡止机构81R的把持部86R配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴11、12的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称，但本发明并不限定于此，也可以配置为，使其相对于该直线为非对称。 
此外，在图11及图12（a）、图12（b）所示的实施方式中，设置了两个连杆方式的把持机构（左夹紧卡止机构81L、右夹紧卡止机构81R），但根据基板10的形状及大小、还有装置结构等，也可以设置一个或三个以上的连杆式把持机构。 
进而，也可以将上述图5～图7所示的实施方式、与上述图8、图9（a）、图9（b）及图10（a）、图10（b）或图11及图12（a）、图12（b）所示的实施方式任意地组合。 
除此以外，本发明不仅在例如Si晶片等圆板形状的基板、在例如玻璃基板等矩形形状的基板、椭圆形状、多角形的形状等各种基板的输送中都能够使用。 

Claims (8)

1.一种输送装置，其特征在于，
具备：
伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；和
载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；
在上述载置部上，设有用来与该输送物的侧部抵接而卡止的卡止部；并且
在上述连杆机构的驱动连杆部上设有由凸轮机构实现的施力单元；
上述施力单元具备凸轮驱动面和从动机构部，所述凸轮驱动面分别设在上述连杆机构的驱动连杆部的旋转方向是相反方向的一对相邻的连杆部件上，所述从动机构部具有分别抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的一对从动辊、具有对应于该一对从动辊的移动而沿着朝向上述载置部的卡止部的方向被导引移动的凸状的施力部。
2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，
上述施力单元的从动机构部具有用来调节对上述凸轮驱动面的施力的施力调节部件。
3.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，
在上述施力单元的从动机构部的施力部中，具有用来使该施力部的施力减能的减能部件。
4.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，
上述载置部的卡止部具有受随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作而向朝向上述施力单元的方向移动的驱动机构驱动、对该输送物施力而与上述施力单元一起把持该输送物的把持机构。
5.如权利要求4所述的输送装置，其特征在于，
在上述驱动机构中，设有凸轮方式的驱动部，在上述把持机构中，设有受上述凸轮方式的驱动部驱动的凸轮方式的把持部。
6.如权利要求4所述的输送装置，其特征在于，
在上述驱动机构中，设有凸轮方式的驱动部，在上述把持机构中，设有与上述凸轮方式的驱动部卡合而被驱动的连杆方式的把持部。
7.如权利要求4所述的输送装置，其特征在于，
上述输送装置具有用来驱动上述连杆机构的在铅直方向上以同心状配设的第1及第2驱动轴，上述把持机构设有两个，各把持机构的把持部配置为，使其相对于通过第1及第2驱动轴的旋转中心轴线而沿基板输送方向延伸的直线为线对称。
8.一种真空装置，其特征在于，
具有：
真空槽；和
权利要求1～7中任一项所述的输送装置；
上述输送装置的载置部构成为，使其相对于上述真空槽内运入及运出。
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