JP2000308988A - ウェハハンドリングロボット用の機械式グリッパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は一般的には、高い速度、加速度、お
よび減速度でシリコンウェハのようなワークピースを移
送することができるロボットを提供する。 【解決手段】 より詳細には、本発明は、ロボットアー
ム４２に取着されたワークピースハンドリング部材６０
へワークピースを機械的にクランプするために、ロボッ
トアーム４２に関連付けられたロボットリストを提供す
る。ワークピースクランプは、ワークピースを把持して
ハンドリング部材の速い回動と直線運動の間、ワークピ
ースに対する滑りや損傷を防止するのに十分な力を選択
的に与える。ひとつの実施の形態において、シリコンウ
ェハを確保するためのクランプは、単体の可撓部材に接
続された２個のクランプフィンガを用い、最少の微粒子
発生とウェハ損傷で、ウェハを位置決めして保持する。
クランプは、ウェハを配送したり取上げるための、ワー
クピースハンドリング部材６０の全伸張時以外は、ウェ
ハが常時クランプされるように設計される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークピースを機
械式アームへ確保するクランプ機構に関する。より詳細
には、本発明は、ロボットブレードが、回動するために
少なくとも部分的に後退する時に、ブレードの前端にあ
る保持部材へ半導体ウェハを偏寄させることによって、
半導体ウェハをロボットブレードへ穏やかに確保するク
ランプに関する。

【０００２】

【従来の技術】最新の半導体処理システムは、高度に制
御された処理環境から基板を取り外すことなく数種類の
逐次処理ステップを行なうために、多数の処理チャンバ
を一緒に統合するクラスターツールを含んでいる。これ
らチャンバには、例えばデガスチャンバ、基板プレコン
デショニングチャンバ、冷却チャンバ、移送（トランス
ファ）チャンバ、化学的気相成長チャンバ、物理蒸着チ
ャンバ、エッチチャンバ等を含めることができる。特定
のプロセスレシピおよびプロセスの流れを用いて特定の
構造を製作するために、チャンバが運転される際の操作
条件とパラメータと同様に、クラスターツール中のチャ
ンバの組合せが選択される。

【０００３】ひとたびクラスターツールが、特定の処理
プロセスを行うためのチャンバと補助設備の必要なセッ
トを使ってセットアップされると、クラスターツール
は、一連のチャンバとプロセスステップに基板を通すこ
とにより多数の基板を処理するのが普通である。プロセ
スレシピとシーケンスは、クラスターツールを通る各基
板の処理を指示し、制御し、監視するマイクロプロセッ
サコントローラにプログラムされるのが普通である。一
旦、１カセット分のウェハ全体がクラスターツールによ
り首尾よく処理されると、そのカセットは、さらに別の
クラスターツール、またはケミカルメカニカルポリッシ
ャのようなスタンドアローンへ、更なる処理のために送
られることができる。

【０００４】典型的なクラスターツールは、基板を一連
の処理チャンバに通すことによりそれら基板を処理す
る。これらのシステムでは、ロボットが、基板を一連の
処理チャンバへ通すために使用される。各処理チャンバ
は、一度に２枚のウェハを収容し処理できるように構成
されている。この方法では、クラスターツールにおける
基板のスループットが効果的に倍増する。各処理とハン
ドリングプロセスとに必要な時間は、単位時間当たりの
基板のスループットへ直に影響を及ぼす。集積回路製造
システムの正確な設計は複雑になり得るが、製品品質、
作業コスト、または設備寿命に悪影響を与えること無く
全体のスループットを最大するためにできるだけ速く各
プロセスを行なうことは、ほとんどの場合に必ず利益を
もたらす。

【０００５】クラスターツールでの基板スループット
は、移送チャンバ内に配置されるウェハハンドリングロ
ボットの速度を増すことによって改良される。図１に示
すように、磁気結合されたロボットは、磁気式クランプ
とウェハブレード間の「蛙足」型接続、つまりアームを
備え、固定面内でのロボットブレードのラジアル方向と
回動方向の両運動を提供する。半径方向と回動方向の運
動は、クラスターツール内のひとつの場所から、別の場
所へ、例えばひとつのチャンバから隣のチャンバへ基板
を取上げ、移送し、配送するために、調整されたり組合
わされる。

【０００６】別の典型的なロボットを図２に示す。図２
は、本発明の基板クランプ装置の実施の形態を備える従
来の「極座標」ロボットを示す。図２に示すように、図
１の「蛙足」型ロボットと同様、半径方向と回動方向の
運動は、クラスターツール内のひとつの場所から、別の
場所へ、例えばひとつのチャンバから隣のチャンバへ基
板を取上げ、移送し、配送するために、調整されたり組
合わされることができる。しかしながら、図１のロボッ
トと異なり、図２に示すロボットはウェハ３０２の変換
運動も提供できる。

【０００７】ロボットの速度と加速度が増加するにつれ
て、各基板をハンドリングし、各基板を次の行先へ配送
するのにかかる時間は減少する。しかし、速度に対する
要望は、基板、つまりその上に形成された膜へ損傷を与
える可能性とバランスを取るものでなければならない。
ロボットが基板を余りに急激に移動させたり、あるいは
ウェハブレードを余りに速く回動させた場合、ウェハは
ブレードから滑り落ちてしまい、ウェハとチャンバの両
方、またはロボットに損傷を与える可能性がある。さら
にウェハブレード上でのウェハの摺動により微粒子汚染
物質を発生し、それが基板上に着くと、ひとつ以上のダ
イを汚染し、基板のダイ歩留りを低下させてしまう。さ
らに、ウェハブレード上での基板の動きが基板のミスア
ラインメントを引き起こす可能性があり、その結果、不
正確な処理や、後でチャンバ中の支持部材上へ基板を整
列させる際に更なる粒子発生さえもたらすかもしれな
い。

【０００８】ロボットブレードはウェハブレードの遠端
にウェハブリッジを伴って作られ、このウェハブリッジ
は上方に延在して、ウェハがエッジを越えて滑り出さな
いように抑えている。しかしながら、ウェハブリッジは
ブレードの側面周辺までは延在しておらず、ブレード上
でのウェハの横方向滑りをほんのわずかしか防止できな
い。その上、ウェハはブリッジに対して常に好ましく位
置決めされるとは限らない。急激な移動や高速回動によ
りウェハがブリッジに投げつけられて、ウェハに損傷を
与えたり、ウェハを、ブリッジから越えさせたりおよび
／またはブレードから滑り落としたりする。

【０００９】ウェハの底面とウェハブレードの上面との
間には、ウェハの滑りに抗する特定量の摩擦が存在す
る。しかしながら、シリコンウェハの底面は非常に滑ら
かであり、通常はニッケルメッキされたアルミニウム、
ステンレス鋼、またはセラミックでできたウェハブレー
ドに対し低い摩擦係数を持つ。さらに、典型的なウェハ
は軽量なので、摩擦による抵抗は、ブレードが全後退位
置にあっても、ロボットの高速回動中に与えられる遠心
力に簡単に負けてしまう。しかし通常は、ロボットの回
動数を決定する際に、この低い摩擦係数に依存するとこ
ろが大きい。

【００１０】本明細書中に援用される、１９９７年９月
２２日提出の米国特許出願第０８／９３５、２９３号、
発明の名称「基板クランプ装置」は、ロボットブレード
上のウェハの滑り問題とウェハの移送速度を高める必要
性について論じている。本出願は、移送中にブレード上
の基板を保持するクランプ機構を記載する。しかし、本
発明は、クランプフィンガを係合し、係合を解くための
複雑なレバー／可撓システムに向けられる。

【００１１】とりわけ、複数の、または単体の基板処理
システムにおいて、高められた速度および加速度／減速
度でウェハを移送できるロボットに対するニーズがあ
る。より特定的には、１枚のウェハまたは一対のウェハ
を、ひとつのウェハブレードまたは一対のウェハブレー
ド上で、速い回動と半径方向の動きをする間にウェハの
滑りとウェハの損傷を防止するのに十分な力で確保でき
る、ロボット上のウェハクランプ機構に対するニーズが
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】一局面において、本発明
は、ひとつ以上のアームと、アームを駆動してワークピ
ースをハンドリングするためのひとつ以上のアクチュエ
ータとを有するクランプリストに向けられ、クランプリ
ストは：アームへ枢動可能に結合されるリストハウジン
グ；リストハウジング内に配設される少なくともひとつ
のクランプフィンガ；および、少なくともひとつのクラ
ンプフィンガをワークピースへ付勢するための、少なく
ともひとつのクランプフィンガに結合されるバイアス部
材；を備える。本発明のこの局面での独特な特徴は、変
換部材がアームのうちの少なくともひとつに結合される
ことができ；そして接触パッドがクランプフィンガへ可
動に接続されることができるという点である。さらに、
クランプフィンガはクランプハウジングに枢着されるこ
とができ；そして接触パッドは、ロボットアームが所定
伸張量に達した時に、ワークピースからクランプフィン
ガを遠ざけるべく移動させるようにして位置決めされる
ことができる。さらにひとつのストップ部材がリストハ
ウジングに取着されることができ、ワークピースからク
ランプフィンガが遠ざかる動きを制限するようにされて
位置決めされる。その上さらに、バイアス部材は一スプ
リングであってよく、また２つのクランプフィンガが相
互に離間して取りつけられてもよく、そのスプリングが
クランプフィンガに取着されてもよい。

【００１３】別の局面において、変換部材がアームのう
ちの少なくともひとつに可動に結合されることができ；
可撓部材が少なくともひとつのクランプフィンガへ可動
に接続されることができ；接触パッドが可撓部材に結合
されることができ、かつ少なくともひとつのクランプフ
ィンガに係合するように、そしてロボットアームが所定
伸張量に達した時、少なくともひとつのクランプフィン
ガをワークピースから遠ざけるべく移動させるようにし
て位置決めされることができる。さらに、２つのクラン
プフィンガが相互に離間して取り付けられることがで
き；可撓部材はクランプフィンガに取着されて、変換部
材と接触パッドが係合するとクランプフィンガをワーク
ピースから遠ざけるべく移動させるようにされることが
できる。さらにまた、レバーは、リストハウジングへ枢
着されて、変換部材によりレバーが結合されると可撓部
材の接触パッドと係合させるようにされて位置決めされ
ることができる。

【００１４】別の局面において、本発明は、ロボットア
ームの遠端に結合されたワークピースハンドリング部材
へワークピースを確保するためのクランプ機構に向けら
れ、このワークピースハンドリング部材は、ワークピー
ス受取り領域と、その遠端にある保持部材とを有するウ
ェハハンドリングブレードを備え、この保持部材は、ワ
ークピース端に接触するようになされて位置決めされる
少なくともひとつのクランプフィンガと；少なくともひ
とつのクランプフィンガに結合されて、ワークピースが
ワークピース受け取り領域上に位置決めされていると
き、クランプフィンガをワークピースへ付勢して、クラ
ンプフィンガと保持部材との間にワークピースをクラン
プするように成されたバイアス部材と；を備える。本発
明のこの局面の特徴は、ワークピースハンドリング部材
とロボットアームとが伸張されるとき、ワークピースか
ら遠ざかるようにクランプフィンガを移動させるように
される、クランプフィンガに結合されたレバー編成を、
クランプ機構が備えることができるという点である。本
発明のこの局面の別の特徴は、レバー編成は、ロボット
アームとワークピースハンドリング部材との間の相対的
角回動によって係合されるようにできること；クランプ
フィンガがワークピースハンドリング部材に枢着され得
ること；そして、ロボットアームが所定伸張量に達した
時に、変換部材はクランプフィンガに係合して、クラン
プフィンガをワークピースから遠ざけるべく移動させる
ようにして位置決めされるロボットアームへ取着され得
ることである。本発明のこの局面におけるさらに別の特
徴は、レバー編成がさらに：クランプフィンへ可動接続
される可撓部材と；変換部材との選択的な結合のために
可撓部材に結合され、ロボットアームが所定伸張量に達
した時、クランプフィンガと係合して少なくともひとつ
のクランプフィンガをワークピースから遠ざけるべく移
動させるように位置決めされる接触パッド；を備え得る
点である。本発明のこの局面のさらに別の特徴は、レバ
ー編成がさらに、ワークピースハンドリング部材に枢着
されたレバーを備え得る点である。レバーは端部を持つ
ことができ；接触パッドは、変換部材との選択的係合の
ために端部近傍でレバーに結合されることができ；そし
て可撓部材の接触パッドは、レバーとの選択的係合のた
めに位置決めされることができ、それにより、変換部材
によるレバーの係合は、ロボットアームが所定伸張量に
達した時に、クランプフィンガをワークピースから遠ざ
けるべく移動させるよう、少なくともひとつのクランプ
フィンガの係合を生じさせる。さらに、２つのクランプ
フィンガが相互に離間して取りつけられてもよく；そし
て、可撓部材がクランプフィンガに取付けられて、変換
部材が接触パッドに係合するとクランプフィンガを離れ
るように移動させる。さらにまた、ストップ部材がワー
クピースハンドリング部材に取着されて、クランプフィ
ンガの少なくともひとつの、ワークピースから離れる動
きを制限するようにされて位置決めされることができ
る。

【００１５】さらに別の局面において、本発明はロボッ
トアームアセンブリに向けられることができ、このロボ
ットアームアセンブリは：一対の「蛙足」型ロボットア
ームであって、各アームが、クランプリストを取着され
た遠端を有し；ロボットアームへ駆動可能に結合された
リストハウジングを備えるクランプリスト；リストハウ
ジング内に配設された少なくともひとつのクランプフィ
ンガ；少なくともひとつのクランプフィンガに結合さ
れ、少なくともひとつのクランプフィンガをワークピー
スへ付勢するバイアス部材；を備える。本発明のこの局
面の特徴は、変換部材がロボットアームの遠端へ取着さ
れ得ること；そして、レバー編成が少なくともひとつの
クランプフィンガに接続されて、ロボットアームが所定
伸張量に達した時に、変換部材による係合のために、少
なくともひとつのクランプフィンガがワークピースから
遠ざかるように移動させるべく成されて位置決めされ得
ることである。本発明のこの局面の別の特徴は、少なく
ともひとつのクランプフィンガがワークピースから離れ
る動きを制限するように、ストップ部材がリストハウジ
ングに取着され得る点である。

【００１６】さらに別の局面において、本発明はひとつ
のロボットに向けられることができる。このロボット
は、第１軸の周りを回動可能な一対の第１ハブ部材；各
ハブ部材を駆動するための一対の磁気駆動部材；一対の
ロボットアームであって、各ロボットアームが第１と第
２のストラットを備え、第１ストラットは、ひとつのハ
ブ部材に取り付けられ；第２ストラットのそれぞれに配
設された変換部材；一対のロボットアームに枢着された
ワークピースハンドリング部材であって、少なくともひ
とつのクランプフィンガを備え；ワークピースへ、少な
くともひとつのクランプフィンガを押付けるように成さ
れた少なくともひとつのクランプフィンガに結合された
バイアス部材；取着されたアームアセンブリが所定伸張
量に達した時に、変換部材による係合に応答して少なく
ともひとつのクランプフィンガを係合させるようにされ
て位置決めされるレバー編成；を備え、このレバー編成
は、取着されたアームアセンブリが所定伸張量に達した
時、ワークピースから少なくともひとつのクランプフィ
ンガを引き離すように成される。本発明のこの局面の特
徴は、バイアス部材は少なくともひとつのスプリングで
あるという点である。本発明のこの局面の別の特徴は、
レバーがリストハウジングへ枢着されることができ、ス
トップ部材がリストハウジングへ取着されて、ワークピ
ースから離れる少なくともひとつのクランプフィンガの
動きを制限するようにされて位置決めされ得る点であ
る。本発明のこの局面の別の特徴は、第１と第２のアー
ムの同方向回動を、２つの独立した運動の一方に変換で
き、第１と第２のアームの反対方向回動を、２つの独立
した運動の他方に変換できることである。

【００１７】もうひとつの局面において、本発明はロボ
ットアームアセンブリに向けられることができる。この
ロボットアームアセンブリは：一対の「蛙足」型ロボッ
トアームであって、各アームがひとつのクランプリスト
を取着された遠端部を有し；ロボットアームへ枢動可能
に結合されたリストハウジングを備えるクランプリス
ト；リストハウジングへ作動可能に接続された複数の対
向クランプフィンガ；および、ワークピースへクランプ
フィンガを押付けるように成され、クランプフィンガに
結合されるバイアス部材；を備える。本発明のこの局面
の特徴は、対向クランプフィンガが、第１の近い方のク
ランプフィンガまたはクランプフィンガのセットと、第
２の遠端にあるクランプフィンガまたはクランプフィン
ガのセットとを備え得る点である。本発明のこの局面の
別の特徴は、共通リンクが、対向するクランプフィンガ
に取着されるか、さもなければ作動可能に接続されて、
クランプフィンガに係合したり係合を解くことができる
という点である。本発明のこの局面の別の特徴は、共通
リンクが、ある長さのワイヤ、セグメントであるバネ
鋼、または他の適切な部材でよい点である。

【００１８】本発明の上記特徴、利点、および目的が達
成される方法の詳細が理解されるように、上記で簡単に
要約された本発明のより詳細を、付帯図面に図解する実
施の形態を参照して説明する。

【００１９】しかしながら、付帯図面は、本発明の代表
的な実施の形態を単に図解するものであり、本発明の範
囲を限定するものではないことに注意すべきである。な
ぜなら、本発明は他の同等で効果的な実施の形態を導く
ことができるからである。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１は、ウェハをハンドリング用
「極座標」ロボットアームの上面略図であり、後退位置
でのロボットを示し、想像線により伸張位置でのロボッ
トを示す。ロボット１０は、駆動部材２０へ強固に接続
された第１ストラット４４を含む単体ロボットアーム４
２を有する。ロボットアーム４２の第２ストラット４５
は、エルボーピボット４６を介して第１ストラット４４
へ駆動可能に接続され、リストピボット５０を介してワ
ークピースハンドリング部材６０に接続される。ストラ
ット４４と４５およびピボット４６と５０の構造は、ウ
ェハハンドリング部材６０を駆動部材２０に接続する
「極座標」ロボットアームを形成する。

【００２１】「極座標」ロボットの基本動作は従来から
のものである。第１ストラット４４は、２種類のモード
のひとつで回動運動する。回動モードでは、駆動部材２
０と第２ストラット４５と、ウェハハンドリング部材６
０との間のリンクが係合を解かれることにより、ロボッ
トアーム全体は、伸縮することなく第１ストラットの回
動時に回動する。伸張モードにおいて、駆動部材２０と
第２ストラット４５と、ウェハハンドリング部材６０の
間のリンクは、例えば第１ストラット４４が時計方向に
回動すると、第２ストラット４５は反時計方向に回動
し、ウェハハンドリング部材６０は時計方向に回動す
る。それぞれのストラットが反対方向に回動することよ
り、ロボット１０に対してウェハハンドリング部材６０
を伸張させる。駆動部材２０が逆に回動すると、第１と
第２のストラット４４、４５およびウェハハンドリング
部材６０は反対方向に回動しウェハハンドリング部材６
０を後退させる。

【００２２】図２は、ウェハ３０２をタンデム処理する
のに有用な実施例としての統合クラスターツール４００
の概略線図を示す。ウェハ３０２はクラスターツール４
００に導入されて、クラスターツールからロードロック
チャンバ４０２を介して取り出される。一対のウェハハ
ンドリングブレード６４を備えるロボット１０は、クラ
スターツール４００内に配置されて、基板をロードロッ
クチャンバ４０２と様々な処理チャンバ４０４間を移送
する。ロボットアーム４２は後退位置で図解されてい
て、ロボットアセンブリが移送チャンバ４０６内で自由
に回動できるようになっている。図２のクラスターツー
ルの特定な構成は単なる説明のためのものであり、図示
のシステムは、２枚のウェハ３０２を同時に処理する能
力がある。しかしながら、本発明は１枚のウェハ移送、
即ち先に説明し図１に示す「極座標」ロボットのような
ロボットアセンブリにも等しく適用できる。本発明の好
ましい局面において、製造プロセスシーケンス、クラス
ターツール内の条件、およびロボット１０の動作を制御
するために、マイクロプロセッサコントローラが設けら
れる。

【００２３】図２はまた、後退位置にある「蛙足」型磁
気結合ロボット１０を図解し、伸張の場合を想像線で示
す。ロボット１０は、コンピュータ制御駆動モータへ磁
気結合された２個の同心リングを備え、リングを共通軸
の周りに回動させる。ロボット１０は一対のロボットア
ーム４２を含み、各アームは、第１磁気駆動部材２０へ
剛体的に接続された第１ストラット４４を有する。ロボ
ットアーム４２の第２ストラット４５は、エルボピボッ
ト４６により第１ストラット４４へ、リストピボット５
０によりワークピースハンドリング部材６０へ、そして
共通の剛性接続部材１９０へ、それぞれ枢動可能に接続
される。ストラット４４と４５、およびピボット４６と
５０の構造は、ウェハハンドリング部材６０を磁気駆動
部材２０に接続する「蛙足」形状をしたロボットアーム
４２を形成する。

【００２４】磁気駆動部材２０が同方向に同角速度で回
動する時、ロボット１０は、図の面に直角な回動軸ｚの
周りを同方向に同角速度で回動する。磁気駆動部材２０
が反対方向へ同角速度で回動する時、ウェハハンドリン
グ部材６０の、伸張位置へまたは伸張位置からの直線半
径方向運動を生ずる。両モータが同速度で同方向に回動
するモードを用いて、隣接するチャンバとの間のウェハ
交換に適する位置から、別のチャンバとの間のウェハ交
換に適する位置までロボット１０を回動させることがで
きる。両モータが同速度で反対方向に回動するモードを
用いて、ウェハブレードを半径方向にチャンバのひとつ
へ伸ばして入れてから、そのチャンバからウェハブレー
ドを引出すことができる。モータ回動のその他いくつか
の組合せを用いて、ロボットがｘ軸周りを回動すると
き、ウェハブレードを伸縮できる。ピボット５０のとこ
ろで第２ストラット４５とワークピースハンドリング部
材６０に取着された接続部材１９０は、２つのワークピ
ースハンドリング部材６０間に延在していて、２つのワ
ークピースハンドリング部材６０とロボットアーム４２
とを接続する。接続部材１９０とワークピースハンドリ
ング部材６０との組合せは、集合的にリスト８０と称す
る。支持体１９０に対する、ひとつのアームアセンブリ
４２の動きは、他のアームアセンブリ４２により、接続
支持体１９０の同期機構、例えば歯車やベルト機構を用
いて対称的な動きとなる。

【００２５】図３と４は下側カバープレートを部分的に
取除いたワークピースハンドリング部材６０の第１の実
施の形態の部分底面図を示し、「蛙足」型ロボットでの
使用に適したクランプリスト８０の内部作動部品を図解
する。図５と６はカバーのないワークピースハンドリン
グ部材６０の第２の実施の形態の部分上面図を示し、
「極座標」ロボットでの使用に適するクランプリスト８
０の内部作動部品を図解する。図３と５は、伸張位置ま
たは開放位置にあるクランプフィンガ９０を示し、その
位置でウェハハンドリング部材６０はいっぱいに伸張さ
れるので、クランプフィンガ９０はウェハ３０２のロー
ディングまたはアンローディングのために、ウェハ３０
２から係合を解かれる。

【００２６】各ワークピースハンドリング部材６０は、
リストハウジング１９９、ウェハハンドリングブレード
６４、およびクランプリスト８０を有する。リストハウ
ジング１９９はワークピースハンドリング部材６０の内
部運動部品をカバーする上側カバープレートと下側カバ
ープレートを含んでもよい。ハウジング１９９は実質的
に剛体であり、ワークピースハンドリング部材６０の構
成部品を保護するように成されている。ハンドリングブ
レード６４は、その一体部品としてのリストハウジング
１９９の前端から延在し、その上でウェハ３０２を受取
るように成されている。ブリッジ、つまり保持用部材７
０（図１と２に示す）は、ウェハハンドリングブレード
６４の遠端でリストハウジング１９９と反対側にウェハ
ブレード端から上方に延長して、ブレード上に置かれた
ウェハ３０２を支持するために使われる。図１７と１８
を参照して、後で検討する代替案はワークピースハンド
リング部材６０の遠端に第２セットのクランプフィンガ
を備えている。

【００２７】ワークピースハンドリング部材６０のクラ
ンプリスト８０は、レバー編成１０９、バイアス部材１
１４、および一対のクランプフィンガ９０とから構成さ
れる。バイアス部材１１４は一対のクランプフィンガ９
０の間に接続された一本のスプリングであることが好ま
しい。

【００２８】対のクランプフィンガ９０は、好ましく
は、リストハウジング１９９内へ相互に間隔をあけて枢
着され、配設される。２個のクランプフィンガ９０は、
好ましくは、バイアス部材１１４によって一緒に結合さ
れて、クランプフィンガ９０を略ワークピース即ちウェ
ハ３０２に向く方向へ偏寄する。クランプフィンガ９０
は、クランプ機構がクランプ位置にある時、クランプフ
ィンガ９０がウェハ３０２の端に係合するように選択さ
れる。クランプフィンガ９０の遠端は、好ましくは、処
理された硬質耐磨耗性材料で形成された加工済み先端９
４またはローラ９２を含んで、クランプフィンガ９０と
ウェハ３０２との間の摩擦を最小にし、それによって微
粒子発生を最少にする。さらに先端可撓性部材９３は、
クランプフィンガ９０の遠端近傍に備えられて、クラン
プフィンガ９０がウェハ３０２を把持する時、クランプ
フィンガ９０の力に起因する衝撃を吸収して微粒子発生
をさらに少なくし、および／または、クランプフィンガ
９０とウェハ３０２間の追加クランプ力を維持する。図
１５と１６に示すように、注目されることは、単一のク
ランプフィンガ９０が、ウェハ３０２との係合のため
に、複数のチップ端９４またはローラ９２も設けること
ができる点である。図１５と１６に示す実施の形態にお
いて、保持部材７０は、ウェハ３０２をブレード上に確
保するために、ウェハハンドリングブレード６４の遠端
近くの適当な位置に、ローラ９２またはチップ端９４と
対向させて配置することができ、保持部材７０がウェハ
ハンドリングブレード６４の遠端に配置できない場合
は、代わりに、ローラ９２または先端９４とほぼ対向し
ている限り、ウェハ３０２の外周に沿うどこに配置して
もよい。図１６に示す実施の形態において、単体のクラ
ンプフィンガ９０は、クランプリスト８０へ摺動可能に
取付けることもできる。

【００２９】図３と４に示す特定の実施の形態におい
て、レバーアセンブリつまりレバー編成１０９は一般
に、対向端を持つ伸張レバーである第１レバー１２０を
含む。第１レバー１２０の一端は第１クランプフィンガ
９０に固定されるか、あるいは一体接続される。第１レ
バー１２０の固定端または一体化接続端１２１の反対側
に、第１レバー１２０の接触端１２４が、それに関連付
けられた比較的平坦な部分を持っていて、その平坦部が
接触パッド１２２を画成する。変換部材１２５は、下記
の第２レバー１３０の接触パッド１３５と係合するため
に第１レバー１２０に取着してもよい。図示されていな
いが、変換部材１２５は、第１レバー１２０の代わりに
第２レバー１３０に接続されて第２レバー１３０の接触
パッド１３５が第１レバー１２０と接続される第２接触
パッドとすることができる点に注意すべきである。レバ
ーアセンブリ、即ちレバー編成１０９は、接続端１３１
で第２クランプフィンガ９０へ固定接続されるか一体接
続される、伸張レバーであってもよい第２レバー１３０
を含むことができ、これはその接続端１３１に対向する
接触端１３２を有する。第１と第２のレバー１２０と１
３０は角度関係をもって備えられ、第１と第２のクラン
プフィンガ９０に沿う同一面内でそれぞれ枢動するよう
にされる。第１レバー１２０の変換部材１２５は、第１
レバー１２０とそれに固定された変換部材１２５が前方
向に回動する時に、第２レバー１３０の接触端１３２に
関連付けられた接触パッド１３５に接触して、その間の
接触を保つように成されて位置決めされている。第２レ
バー１３０の接触パッド１３５と第１レバー１２０の変
換部材１２５との間の摩擦と、それによって発生する微
粒子を最少にするために、第１レバー１２０の変換部材
１２５は好ましくは硬質耐磨耗性材料で形成され、自ら
へ回動可能に取着された接触ローラ１２６を含むのが好
ましい。作動において、第１レバー１２０とそれに接続
された変換部材１２５の枢動が、第２レバー１３０の枢
動を行なわせる。ロボットアーム４２の第２ストラット
４５に取着される変換部材８２は、第１レバー１２０の
接触パッド１２２と選択的に係合し、第１クランプフィ
ンガ９０を枢動させ、ロボットアームの所定伸張時にウ
ェハ３０２から離す。

【００３０】変換部材８２は、ワークピースハンドリン
グ部材６０へ第２ストラット４５を接続するピボット５
０近くで第２ストラット４５に固着された剛性長尺部材
である。変換レバー８２は、第２ストラット４５から外
方に、リストハウジング１９９内へ延在する。変換部材
８２の先端へ回動可能に取付けられているのは、実質的
な微粒子を発生することなく他の面に接触するように成
されたローラ８４である。変換部材８２と接触パッド１
２２との間の摩擦を最少にするために、ローラ８４は、
硬質耐磨耗性材料で形成されるのが好ましい。変換部材
８２は、その先端が回動してウェハ３０２とハンドリン
グブレード６４に向かって略前方へ移動するとともに、
その先端が第１レバー１２０の接触パッド１２２に接触
するように成されて位置決めされている。ロボットアー
ム４２が伸張することにより、変換部材８２の前方向へ
の回動を生じさせる。

【００３１】変換部材８２がロボットアームの所定伸張
位置で第１レバー１２０の接触パッド１２２に係合する
と、第１レバー１２０の変換部材１２５は同じように、
第２レバー１３０の接触パッド１３５と係合して第２ク
ランプフィンガ９０を、ロボットアームの所定伸張位置
で枢動してウェハ３０２から離す。好ましくは、第１レ
バー１２０の変換部材１２５、第２レバー１３０の接触
パッド１３５の輪郭、および第１と第２のクランプフィ
ンガ９０の形状は、第１と第２の両クランプフィンガ９
０の回動角がいつでも同じであるように選択する。

【００３２】ここで、図５と６に示す実施の形態を参照
すると、変換部材８２は、第２ストラット４５をワーク
ピースハンドリング部材６０へ接続するピボット５０の
近くで第２ストラット４５に固着される。変換部材８２
に回動可能に取着されるのは、硬質微粒子を発生するこ
となく他の面に接触するようになされたローラ８４であ
る。ローラ８４は、例えばＰＥＥＫ（ポリエチルエーテ
ルケトン）またはＴＵＦＳＡＭ（テフロン（登録商標）
を含浸した電着塗装アルミニウム）のような硬質耐磨耗
性材料で形成され、変換部材８２と接触パッド１２２の
間の摩擦を最少にするのが好ましい。変換部材８２は、
第２ストラット４５とそれに固定された変換部材８２と
が、ウェハハンドリング部材６０の全伸張地点またはそ
の付近で、ウェハハンドリング部材６０に対して回動す
る時、第１レバー１２０の接触パッド１２２に接触する
ように成されて位置決めされている。ロボットアーム４
２の伸張は第１レバー１２０を回動させ、ロボットアー
ムの所定伸張位置で第１クランプフィンガ９０を枢動し
てウェハ３０２から離す。

【００３３】変換部材８２がロボットアームの所定伸張
位置で第１レバー１２０の接触パッド１２２に係合する
と、第１レバー１２０の変換部材１２５は同様に、第２
レバー１３０の接触パッド１３５と係合することによ
り、ロボットアームの所定伸張位置で第２クランプフィ
ンガ９０を枢動してウェハ３０２から離す。好ましくは
第１レバー１２０の変換部材１２５、第２レバー１３０
の接触パッド１３５の輪郭、および第１と第２のクラン
プフィンガ９０の形状は、第１と第２の両クランプフィ
ンガ９０の回動角がいつも同じであるように選択する。

【００３４】図３と４は、下側カバープレート２０２が
取外された状態のクランプリスト８０の底面図であり、
「蛙足」型ロボットのロボットアーム４２の伸張と後退
の各位置におけるクランプリスト８０の作動を示す。同
様に図５と６は、カバープレートがない状態のクランプ
リスト８０の上面図であり、「極座標」ロボットのロボ
ットアーム４２の作動を伸張と後退の各場合について示
す。図の比較は、完全伸張時にクランプがどのようにウ
ェハを開放するかを示すのに効果的である。図４と６は
リストアセンブリ６０を、それが回動位置にある時のよ
うに、ロボットのハブ上の完全後退位置で示す。クラン
プフィンガ９０は、クランプ位置でウェハ３０２の周囲
に係合される。クランプフィンガ９０の係合はウェハ３
０２をクランプするだけでなく、ブレード上にウェハを
確実かつ正確に位置決めする。ウェハ３０２は正確に位
置決めされるので、ハンドリングエラーはほとんど無
く、ウェハの中心を探す高度な検知装置を使う必要はな
い。しかし、その類いの装置は依然として必要になろ
う。リスト８０が最も後退した時、変換部材８２とそれ
に係合する第１レバー１２０の接触パッド１２２との間
の最短部の距離は最大になる。

【００３５】図３と５は、チャンバ４０４（図２）の壁
４１２内のウェハ移送スロット４１０を通って、クラン
プ機構が開放される点まで伸張したブレード６４とリス
ト８０を示す。処理チャンバ（図示せず）のリフトピン
のような別の装置によってブレード６４の頂部からウェ
ハが持ち上げられることを可能にする、クランプフィン
ガ９０のローラ９２とウェハの端部との間のギャップに
注意すること。変換部材８２，１２５，レバー１２０、
１３０、ストップ部材１５０、１５１（後に説明）、お
よびスプリングまたは他のバイアス部材１１４の相対的
位置に注意すると効果的である。この開放位置におい
て、スプリングまたは他のバイアス部材１１４が伸張さ
れる。スプリングまたは他のバイアス部材１１４は、リ
ストアセンブリ６０が、回動位置（図４と６）にある時
のように、ロボットのハブ上の完全な後退位置にある
時、ウェハ３０２を保持部材７０に係合させて確保する
ために、ウェハ３０２にほぼ向いた方向に、接触フィン
ガ９０を常時は偏寄する。しかしながら、変換部材８２
の力は、レバー編成１０９と結合している時は、スプリ
ングまたは他のバイアス部材１１４のバイアス力に逆ら
って作用することにより、ロボットアームの所定伸張位
置で、クランプフィンガ９０をウェハ３０２から切り離
す。

【００３６】外部ストップ部材１５０は、上側カバープ
レート２００に取着された固定ストップを備え、第１と
第２のクランプフィンガ９０の外向きの動きを制限す
る。ストップ部材１５０は所定位置を超えるクランプフ
ィンガ９０が外向き運動を阻止するように位置決めされ
ている。この位置は、ウェハ３０２を望ましく解放する
ために、ウェハ３０２から離れるクランプフィンガ９０
の必要な行程量によって決定される。ある例では、ロボ
ット１０は不整列のウェハ３０２を回収しなければなら
ず、クランプ機構が、ウェハをハンドリングブレード６
４上で把持する時にウェハを整列させるように働らく。
従がって、不整列のウェハ３０２をハンドリングブレー
ド６４上へ載置できるように、クランプフィンガ９０は
十分に後退しなければならない。好ましい実施の形態で
は、外側ストップ部材１５０は、クランプフィンガ９０
が０．１６インチまで後退できるように位置決めされて
いて、中心から０．０８０インチまでのウェハのミスア
ラインメントを受入れることができる。後退量は特定シ
ステムの公差を受入れるように調整でき、スプリングま
たは他のバイアス部材１１４から本来の寿命が得られる
ように、そして先端可撓部材９３が損傷を受けないよう
に、ひとつの実施の形態では特定的に制限される。しか
しながら後退量は、クランプアセンブリが使われる特定
のシステムが指定する量にすることができる。同様に内
部ストップ部材１５１が、第１と第２のクランプフィン
ガ９０の内向きの動きを制限するために備えられてもよ
い。内部ストップ部材１５１は、例えばレバー編成１０
９がミスアラインメントを阻止するために、所定位置を
超えてクランプフィンガ９０が内側に移動しないように
されて位置決めされる。

【００３７】図７と８は、下側プレートを部分的に除去
してクランプリスト８０の内部作動部品が見えるように
したワークピースハンドリング部材６０の第３の実施の
形態を示し、「蛙足」型ロボットに使用される。図９と
１０は、ワークピースハンドリング部材６０のカバーの
ない「極座標」ロボットに使われるクランプリストの作
動部品が見える状態を示す第４の実施の形態を示す。図
７と９は、伸張位置つまり開放位置にあるクランプフィ
ンガ９０を示し、この位置でウェハハンドリング部材６
０はいっぱいに伸びるので、ウェハ３０２のローディン
グまたはアンローディングのために、クランプフィンガ
９０はウェハ３０２との係合を解かれる。

【００３８】図７から１０の実施の形態において、レバ
ーアセンブリ、即ちレバー編成１０９は、一般に、対向
端を有する長尺レバーである変換レバー２００を含む。
変換レバー２００の枢動端はリストハウジング内に取り
付けられて配設され、クランプフィンガ９０と同じ面で
枢動するようにされる。変換レバー２００はさらに、接
触パッド２２０を画成する比較的平坦な変換レバー関連
部分を有する。変換部材２０８は下記可撓編成２４５の
接触パッド２４０との結合用の変換レバー２００に取着
してもよい。変換部材２０８は、例えばＰＥＥＫ（ポリ
エチルエーテルケトン）またはＴＵＦＳＡＭ（テフロン
を含浸した電着塗装アルミニウム）のような、硬質耐磨
耗性材料で形成されて、そこへ回動可能に取着された接
触ローラ２１０を含むのが好ましい。

【００３９】可撓編成２４５は、中央接触部２４２を備
え、この中央接触部は、可撓セグメント２３０が固定接
続される対向端を有し、対向端から可撓セグメント２３
０がクランプフィンガ９０の遠端部まで延在して、そこ
へ固定接続される。

【００４０】変換レバー２００の変換部材２０８は、変
換レバー２００とそれに固定された変換部材２０８とが
前進方向へ回動すると、可撓編成２４５の接触部２４２
に関連付けられた接触パッド２４０と接触して、その間
との接触を維持するようにされて位置決めされている。
作動において、変換レバー２００とそれに接続された変
換部材２０８の枢動により、可撓編成２４５の接続部２
４２と、それに取着された可撓セグメント２３０の関係
付けられた可撓部材が前進方向へ移動させられる。可撓
セグメント２３０の前進により、それが取着されている
クランプフィンガ９０の末端の内側への動きを行なわ
せ、クランプフィンガ９０の遠端が外側に移動してウェ
ハ３０２から離れるようにするため、クランプフィンガ
９０を枢動させる。ロボットアーム４２の第２ストラッ
ト４５に取着される変換部材８２は、第１レバー１２０
の接触パッド１２２と選択的に係合するようにされて、
第１クランプフィンガ９０を、ロボットアームの所定伸
張位置で枢動してウェハ３０２から離す。

【００４１】ここで、図７と８に示す実施の形態を参照
すると、変換部材８２は、ワークピースハンドリング部
材６０へ第２ストラット４５を接続するピボット５０近
くで第２ストラット４５に固定して取着される剛性のあ
る長尺部材である。変換部材８２は第２ストラット４５
から外向きに延在してリストハウジング１９９内に至
る。変換部材８２の遠端へ枢動可能に取着されているの
は、硬質微粒子を発生すること無く他の面に接触するよ
うに成されたローラ８４である。ローラ８４は、例えば
ＰＥＥＫまたはＴＵＦＬＡＭ被覆アルミニウムのような
硬質耐磨耗性材料で形成することが、変換部材８２と接
触パッド１２２間の摩擦を最小にするために好ましい。
変換部材８２は、その遠端が回動しほぼ前方に、即ちウ
ェハ３０２とハンドリングブレード６４にほぼ向かって
移動すると、その遠端が変換レバー２００の接触パッド
２２０に接触するように成されて位置決めされている。
ロボットアーム４２が伸びると、変換部材８２を前方へ
回動させる。

【００４２】変換部材８２が、変換レバー２００の接触
パッド２２０とロボットの所定伸張位置で係合すると、
変換レバー２００の変換部材２０８は同じように、接触
部２４２の接触パッド２４０と係合して可撓編成をウェ
ハ３０２に向かって前方に移動させ、それによってクラ
ンプフィンガ９０を枢動させ、ロボットアームの所定伸
張位置でウェハ３０２から離れる。好ましくは、変換レ
バー２００の変換部材２０８、変換レバー２００の接触
パッド２２０の輪郭、可撓編成２４５の接触パッド２４
０の輪郭、およびクランプフィンガ９０の形状は、クラ
ンプフィンガ９０の回動角がいつも同じになるように選
択される。

【００４３】ここで、図９と１０に示す実施の形態を参
照すると、変換部材８２は、第２ストラット４５をワー
クピースハンドリング部材６０に接続するピボット５０
近くで第２ストラット４５へ固定して取着されている。
ローラ８４は、硬質微粒子を発生させないように、他の
面と接触するようになっている。ローラ８４は、変換部
材８２と接触パッド１２２間の摩擦を最小にするため
に、例えばＰＥＥＫまたはＴＵＦＬＡＭ被覆したアルミ
ニウムのような、硬質耐磨耗性材料でできているのが好
ましい。変換部材８２は、第２ストラット４５とそれに
固定された変換部材８２が、ウェハハンドリング部材６
０の全伸張位置近くで、ウェハハンドリング部材６０に
対して回動すると、第１レバー１２０の接触パッド１２
２に接触するようにされて位置決めされる。ロボットア
ーム４２が伸びると、変換部材８２が回動させられる。

【００４４】変換部材８２が第１の接触パッド１２２と
ロボットアームの所定伸張位置で係合すると、第１レバ
ー１２０の変換部材１２５は同じように、第２レバーの
接触パッド１３５と係合して、第２クランプフィンガ９
０を枢動させ、ロボットアームの所定伸張位置でウェハ
３０２から離す。好ましくは、第１レバー１２０の変換
部材１２５、第２レバー１３０の接触パッド１３５の輪
郭、および第１と第２のクランプフィンガ９０の形状
は、それら両フィンガの回動角度がいつも同じであるよ
うに選択される。

【００４５】図７と８は、クランプリスト８０の、下側
カバープレート２０２を取外した状態の底面図であり、
後退位置と伸張位置にある「蛙足」型ロボットのロボッ
トアーム４２によるクランプリスト８０の動作をそれぞ
れ示す。同様に、図９と１０は、クランプリスト８０の
カバープレートがない状態の上面図であり、後退位置と
伸張位置にある「極座標」ロボットのロボットアーム４
２によるクランプリスト４２の動作をそれぞれ示す。ク
ランプ機構が全伸張位置でどのようにウェハを開放する
かを示すには、図を比較するのが有効である。図８と１
０は、リストアセンブリ６０が回動位置にある時のよう
に、ロボットのハブ上の全伸張位置にあるリストアセン
ブリ６０を示す。クランプフィンガ９０は、クランプ位
置でウェハ３０２の外周に係合されることに注意するこ
と。クランプフィンガ９０の係合は単にウェハ３０２を
クランプするだけでなく、ブレード６４上へウェハをい
つも正確に位置決めする。ウェハ３０２は正確に位置決
めされるので、ハンドリング誤差がもっと少なくなり、
優れたウェハ中心検出装置を使う必要はないが、この類
いの装置は依然として使うことになろう。また、リスト
８０の後退時に、変換部材８２と変換レバー２００の係
合用接触パッド間の最短距離が最大になることに注意す
ること。同様に、変換レバー２００の変換部材２０８と
可撓編成２４５の係合用接触パッド２４０の最短距離が
最大になる。

【００４６】図７と９は、チャンバ４０４（図２）の壁
４１２内のウェハ移送スロット４１０を通って、クラン
プ機構が開放される地点まで延ばされたブレード６４と
リスト８０を示す。ウェハ３０２が、処理チャンバ（図
示せず）のリフトピンのような別の装置によってブレー
ド６４の頂部から持ち上げられるのを可能にする、ウェ
ハ３０２の端部とクランプフィンガ９０との間の間隙に
注意すること。変換部材８２と２０８、変換レバー２０
０、可撓編成２４５、可撓セグメント２３０、ストップ
部材１５０、１５１、およびスプリングまたは他のバイ
アス部材１１４、の相対位置に注意する。この開放位置
で、スプリングまたは他のバイアス部材１１４は伸ばさ
れている。スプリングまたは他のバイアス部材１１４
は、接触フィンガ９０を、ほぼウェハ３０２の方向に偏
寄して、リストアセンブリ６０が回動位置にある時（図
８と１０）のように、ロボットのハブ上方の全後退位置
にリストアセンブリ６０があるとき、ウェハ３０２と係
合して保持部材７０に確保する。しかしながら、変換レ
バー２００と係合する際の変換部材８２の力と、可撓編
成２４５と係合する際の変換レバー２００の合力は、ス
プリングまたは他のバイアス部材１１４のバイアス力に
逆らって作用し、ロボットアームの所定伸張位置で、ウ
ェハ３０２からクランプフィンガ９０の係合を解く。

【００４７】外側ストップ部材１５０は、上側カバープ
レート２００に取着された固定ストップを備え、第１と
第２のクランプフィンガ９０の外向きの動きを制限す
る。ストップ部材１５０は、クランプフィンガ９０が決
められた位置を越えて外側に移動しないようになされて
位置決めされている。この位置は、クランプフィンガ９
０がウェハ３０２を要望通り開放するために必要なウェ
ハ３０２からの移動量によって決定される。例えば、ロ
ボット１０は不整列ウェハを回収しなければならない。
クランプ機構は、このようなウェハ３０２をハンドリン
グブレード６４上に把持する時にウェハを整列させる働
らきをする。従がって、クランプフィンガ９０は、ウェ
ハハンドリングブレード６４上へ不整列ウェハ３０２が
載せられるようにするのに十分なだけ後退されなければ
ならない。好ましい実施の形態では、外側ストップ部材
１５０は、クランプフィンガ９０が０．１６０インチま
で後退できるように位置決めされていて、中心から０．
０８０インチまでのウェハのミスアラインメントを修正
できる。後退量は特定システムの公差を受入れるように
調整でき、スプリングまたは他のバイアス部材１１４か
ら本来の寿命が得られるように、ひとつの実施の形態で
は、特定の制限がなされて先端可撓部材９３への損傷を
阻止する。しかしながら後退量はクランプアセンブリが
使われる特定のシステムが指定する量とすることができ
る。同様に、内部ストップ部材１５１が、第１と第２の
クランプフィンガ９０の内向きの動きを制限するために
備えられてよい。内部ストップ部材１５１は、例えばレ
バー編成１０９のミスアラインメントを阻止するため
に、予め決められた位置を越えるクランプフィンガ９０
の内向きの動きを阻止するようになされて位置決めされ
る。

【００４８】図１１と１２は、複数のウェハ支持部材７
４を有するウェハブレード６４の上面図と側断面図であ
る。ウェハ支持部材７４はウェハブレード６４に係合さ
れるか、または一体形成され、ウェハブレード６４の上
面がウェハ３０２の下面に接触しないように、ウェハブ
レード６４の上面より上へ十分な距離だけ延在するウェ
ハ接触面７６を有する。このようにして、ウェハ支持部
材７４は、ウェハ３０２の下面が接触したり擦られたり
する程度を減らし、それによって微粒子発生および／ま
たはウェハ損傷の可能性または程度を減らす。

【００４９】ウェハ３０２はわずか３個のウェハ支持部
材７４で支持できるであろうが、ウェハブレード６４は
少なくとも４個の支持部材７４を備えるのが好ましい。
またウェハ３０２がクランプされる時に、更なる安定性
が与えられる場合であっても、上に受取られたウェハ３
０２へ安定性を提供するために、ウェハ支持部材７４は
実用的な範囲の距離分広がっていることが一般的には好
ましい。好ましくは大きな半径の凸面を持つ複数の支持
部材７４は、ウェハ３０２の下面との接触圧力を減ら
し、それによって微粒子発生の可能性をさらに減らすこ
とになる。さらに、ロボットのブレードは、ウェハがブ
レードとエッジだけで接触するように傾斜を持たせるこ
とができることに注意されたい。これは、ウェハとブレ
ードとの間の摩擦を減らす働らきをすることができ、そ
れによってウェハを所定位置まで押すのに必要な力を減
らす。

【００５０】支持部材７４は任意の材料で製作してもよ
いが、一般的には、処理環境で腐食や侵食をせず、それ
による微粒子を発生しない、そしてウェハ表面に損傷を
与えない材料を選ぶのが望ましい。支持部材としての使
用するに好ましい材料にはアルミナ、ブルーサファイ
ヤ、ジルコニア、窒化ケイ素、およびシリコンカーバイ
ドがある。支持部材７４はまた、セラミック、サファイ
ヤ、またはダイアモンドを上に被覆堆積した機械加工金
属で作ってもよい。

【００５１】図１３Ａは、図９に示すウェハブレード６
４とウェハ支持部材７４の部分拡大断面図である。図１
３Ａの支持部材７４は、支持面７８内で回動可能なボー
ルベアリングとして示される。このベアリングは回動も
転がりもできるので部材７４とウェハ３０２間の摩擦の
程度はさらに減らされるか解消されることができる。

【００５２】図１３Ｂと１３Ｃは、図１３Ａに示す支持
部材７４の代替、またはそれと組合せて使われる代替支
持部材７４の部分断面図である。図１３Ｂの支持部材７
４は、ブレード６４の穴内に堅固に受容されたポスト
と、ウェハ３０２と接触する上面７６を形成する半球状
ボタンを備える。図１３Ｃの支持部材７４は、ブレード
の穴内に堅固に確保されたボールつまり球であるので、
上面７６はブレード６４の上面６６よりわずかに上まで
延びている。図１３Ａ、１３Ｂ、および１３Ｃの各設計
またはそれらと等価な設計は、単独かまたは組合わせて
使用され、ウェハ３０２の支持を提供する。

【００５３】作動方法 作動において、ロボット１０は、移送チャンバ４０６内
で自らの軸周りを回動することにより、ウェハハンドリ
ング部材６０と、移送チャンバ４０６に取着された様々
なチャンバ４０４とを整列させる。チャンバ４０２と４
０４とがひとたび整列されると、ロボットアーム４２は
第１と第２のストラット４４と４５の相対回動によって
伸張し、ウェハハンドリング部材６０とその上に置かれ
ているウェハ３０２とを、チャンバ４０４中へ移送のた
めに移動させる。ウェハ３０２の、チャンバ４０４との
間でのより速い移動を促進するために、ウェハ３０２
は、ウェハハンドリング部材６０上で、そこに留まって
いる時にクランプされる。このクランピングを促進する
のに使われるクランプリスト８０は、以下のように作動
する。以下の説明は、説明を容易にするために、それぞ
れ単体のロボットアーム４２、クランプリスト８０、お
よびワークピースハンドリングブレード６４を引用して
いるが、デュアルブレードは、各ブレードとも同じよう
に作動していることが理解されるはずである。

【００５４】ウェハハンドリング部材６０でウェハを移
送中、スプリング、または他のバイアス部材１１４がク
ランプフィンガ９０をクランプ位置に偏寄する。スプリ
ングまたは他のバイアス部材１１４に十分な力が加わっ
た時だけ、クランプフィンガ９０は外向きに移動してウ
ェハ３０２から離される。好ましい実施の形態では、ス
プリングまたは他のバイアス部材１１４は、ウェハ上に
約０．１４ポンド、すなわちウェハ質量の１．２倍のク
ランプ力を及ぼす。ウェハ３０２の寸法は実質的に一定
であるので、クランプフィンガ９０のクランプ位置を変
える必要はない。従がって、クランプリスト８０はクラ
ンプフィンガ９０の内向きと外向きの動きを制限する。
各ウェハ３０２に関連する２つの接触フィンガ９０を接
続する先に記載の装置を使って、クランプフィンガ９０
の両方をひとつのロボットアーム４２の動きを使って後
退させることができる。

【００５５】従がって、スプリングまたは他のバイアス
部材１１４は、クランプフィンガ９０を内側へ、つまり
ウェハハンドリングブレード６４上のウェハ３０２と接
触する位置へ偏寄させる。しかし、ウェハ３０２をウェ
ハハンドリングブレード６４の上に載置し、そこからウ
ェハ３０２を取外すためには、クランプ動作を解除して
クランプフィンガ９０を後退しなければならない。ウェ
ハ３０２がブレード６４上にある時間の大半は、ロボッ
ト１０がウェハ３０２を動かしている。ロボット移送の
効率を最大にするには、ロボット１０が、ウェハ３０２
をより速く動かすべく、より高い速度とより大きな加速
度と減速度を利用することができるように、ウェハ３０
２は、それがハンドリングブレード６４上にある間はで
きるだけ長くクランプされる。従がって、クランプ力
は、ウェハハンドリングブレード６４とチャンバ４０４
間のウェハの移送を達成するだけのために開放される。
このようにして、クランプ力それ自体は、ロボットアー
ム４２がチャンバ４０４中に伸ばされて移送を完了する
ときにだけ開放される。

【００５６】ロボットアーム４２がチャンバ４０４の中
に伸びて、ロボット１０とチャンバ４０４との間の移送
を完了すると、ストラット４４と４５は、ワークピース
ハンドリング部材６０に対して回動する。第２ストラッ
ト４８のこの回動により、それにしっかり固定されて取
着された変換部材８２の相対回動が生ずる。変換部材８
２は、第２ストラット４５が、ロボットアーム４２の所
定伸張量へ変換される決められた回動量に達する時、変
換部材８２の遠端に取着されたローラ８４は第１レバー
１２０の接触パッド１２２と接触し、ロボットアームの
継続する伸びとともに第１レバー１２０に枢動を行わせ
る。従がって、変換レバー８２は、ロボットアーム４２
の伸張運動と、ストラット４４と４５の回動運動とを、
第１レバー１２０の前方向回動へ変換する。第１レバー
１２０の変換部材１２５は、その後第２レバー１３０の
接触パッド１３５に係合し、それがまた第２レバー１３
０を前方に偏寄して、第２レバー１３０の前方向回動を
生ずる。第１のレバー１２０と第２のレバー１３０が前
方に回動すると、両者は取着された接触フィンガ９０が
ウェハ３０２とハンドリングブレード６４から遠ざかる
ように動かす。次いで、ウェハ３０２をウェハハンドリ
ングブレード６４から取外すことができる。ロボットア
ーム４２が引き続き交代すると、変換部材８２が第１レ
バー１２０との係合を解き、スプリングまたは他のバイ
アス部材１１４が、クランプフィンガ９０をクランプ位
置に戻して、クランプフィンガ９０がウェハハンドリン
グブレード６４上に載るウェハ３０２の端とに係合さ
せ、それによって、ウェハ３０２を保持部材７０に押付
ける。スプリングまたは他のバイアス部材１１４は、こ
のようにしてワークピースハンドリング部材６０をクラ
ンプ位置へ偏寄する。ウェハ３０２を、ハンドリングブ
レード６４に固定した保持部材７０へ偏寄することによ
り、クランプフィンガ９０は、ウェハ３０２がハンドリ
ング部材６４の上に置かれる度にウェハ３０２を同じ位
置へ整列させ、それによって装置の再現性を高める。

【００５７】クランプフィンガ９０が後退する位置に到
達する前は、ロボットの動きは遅くされ、ウェハハンド
リングブレード６４上のウェハ３０２のどのような動き
も回避する。しかし、クランプされているとき、ロボッ
トの動きの速度、加速度、および減速度は、ロボットの
運動ケイパビリティによってのみ制限される。

【００５８】本発明の重要な設計上の考慮のひとつは、
図２に示すような幾つかのクラスターツール４００にお
いて、処理チャンバ４０４とロードロックチャンバ４０
２は、ロボット１０の軸xから同一の距離であってもよ
いか否かという点である。本発明はストップ部材１５０
を使用することでこの差に対応する。スプリングまたは
他のバイアス部材１１４は、接触フィンガ９０を外向き
に偏寄させ、決められた外側位置に達すると、接触フィ
ンガ９０がストップ部材１５０に接触し、それにより、
接触フィンガ９０のそれ以上の外方への移動するのを阻
止する。特定の実施の形態において、レバー編成１０９
は少なくともひとつの可撓部分を含んでもよく、それは
図６〜７および図１３〜１４に示す実施の形態の可撓セ
グメント２３０を含んで、ロボットアーム４５のそれ以
上の移動による「ロストモーション」を吸収するように
してもよい。

【００５９】クランプ機構がウェハ３０２を開放する正
確な位置は、様々な構成要素の相対的サイズと位置決め
に依存し、かつ決められるだろう。例えば、変換部材８
２が第２ストラット４５にｃ取着される角度と接触パッ
ド１２２の相対位置は、それらが相互に接触する相対位
置を決定する。ストラット４４と４５の相対長さは、第
２ストラット４５の、ワークピースハンドリング部材６
０に対する相対回動量を決定する。クランプフィンガ９
０は、第２ストラット４５とワークピースハンドリング
部材６０間の相対角度で開放するので、ストラット４４
と４５の長さは、ロボットアーム４２が伸張された時に
だけ当該角度に到達するようにしなければならない。ク
ランプフィンガ９０が後退する点に影響する他の要因に
は、スプリング１１４の張力と、第１レバー１２０、第
２レバー１３０、および第２レバー１３０の接触パッド
１３５の相対位置が含まれる。好ましい実施の形態で
は、これ等の構成要素は、ウェハハンドリングブレード
６４が変換位置（例えば全伸張位置）の１〜３インチ以
内にある時に、クランプフィンガ９０が後退するように
なされる。

【００６０】クランプフィンガ９０がウェハ３０２を係
合する時、ウェハ３０２はフィンガ９０と保持部材７０
との間にしっかり確保され、次いでクランフィンガ９０
との係合によりウェハ３０２は保持部材７０に抗して移
動するまで押すことになる。ウェハ３０２の底面がウェ
ハ支持部材７４のウェハとの接触面による何らかの摩擦
力に遭遇するのは、ウェハブレード６４に対するウェハ
３０２のこの移動の間である。しかし、大きな面積にわ
たってウェハ３０２に接触する従来ブレードの支持部材
と異なり、本発明の支持部材は、その間の接触と摩擦の
程度を減らすか最少にし、それによってウェハ損傷や微
粒子発生を減少または解消する。その結果、本発明のウ
ェハ支持部材７４は、摩擦を提供するために依存される
のではなくて、ウェハ３０２に対する摩擦や損傷を減ら
すために依存されている。ブレード６４の移動中に、ウ
ェハ３０２を所定位置で保持するのが、本発明のクラン
プ動作である。

【００６１】ここで、図１７と１８を参照すると、本発
明のいずれの実施の形態も、対向するクランプフィンガ
９０、６９０、またはセットのクランプフィンガ９０、
６９０を含むことができる点に気付くはずであり、それ
は、ウェハ３０２の対向する両側に配置された、中央の
第1クランプフィンガのセット９０と、遠端の第2クラン
プフィンガのセット６９０を含むであろう。図１７と１
８はカバープレートのないワークピースハンドリング部
材６０の実施の形態の部分上面図を示し、クランプリス
ト８０内部の作動構成部品を図解する。図１７と１８に
示す実施の形態は「蛙足」型ロボットでの使用に適する
が、対向するクランプフィンガ９０と６９０のセット
は、ここに記載の何れの他の実施の形態でも使うことが
できるであろうことに注意されたい。図１７は伸張位
置、即ち開放位置のクランプフィンガ９０、６９０を示
し、そこではウェハハンドリング部材６０はいっぱいに
伸びているので、クランプフィンガ９０、６９０はロー
ディングまたはアンローディングのためにウェハ３０２
との係合が解かれる。

【００６２】図１７と１８に示す実施の形態では、保持
部材７０（図１と２に示す）は使われない。代わりに、
ウェハ３０２は対向するクランプフィンガ９０、６９０
によってどちらかの側で接触される。好ましくは、対向
する．クランプフィンガ９０、６９０のセットは、長さ
のあるワイヤ、バネ鋼のセグメント、またはその他の適
当な部材であってもよい共通リンクにより作動可能に接
続される。

【００６３】図１７と１８に示す実施の形態の作動にお
いて、ロボット１０は移送チャンバ４０６内で自らの軸
の周りを回動することにより、ウェハハンドリング部材
６０を、移送チャンバ４０６に取着された様々なチャン
バ４０４と整列させる。一旦チャンバ４０２に４０４が
整列されると、ロボットアーム４２が伸びて、第１と第
２のストラット４４と４５の相対回動によって、ウェハ
ハンドリング部材６０と、その上に載っているウェハ３
０２とが、移送のためにチャンバ４０４に入る。チャン
バ４０４との間でウェハ３０２のより速い移送を容易に
するために、ウェハ３０２は、ウェハハンドリング部材
６０上にあるとき、その上でクランプされる。このクラ
ンプ動作を促進するために使われるクランプリスト８０
は以下のように作動する。以下の説明は、説明を簡単に
するために、それぞれ単体のロボットアーム４２、クラ
ンプリスト８０、およびワークピースハンドリングブレ
ード６４だけを引用しているが、デュアルブレードの動
作は、各ブレードで同じように起こることが理解される
はずである。

【００６４】ウェハハンドリング部材６０でのウェハの
移送中、スプリングまたは他のバイアス部材１１４は共
通リンク部材９８を偏寄し、共通リンク部材がクランプ
フィンガ９０と６９０を、クランプ位置に偏寄する。ス
プリングまたは他のバイアス部材１１４に十分な力がか
けられた時のみ、取着されたクランプフィンガ９０、６
９０が外側に動いてウェハ３０２から離れる。クランプ
フィンガ６９０は任意の個数をブレード６４の遠端に設
けることができる。好ましくは、２個のクランプフィン
ガ６９０を使用して、それらがブレード６４に対して枢
動することにより、そこに取着されたローラ６９２を、
リンク部材９８の軸方向の動きに応じてウェハ３０２に
向かって回動し、かつウェハから離れる。

【００６５】ロボットアーム４２がチャンバ４０４内に
伸びて、ロボット１０とチャンバとの間の移送が完了す
ると、ストラット４４と４５はワークピースハンドリン
グ部材６０に対して回動する。第２ストラット４５のこ
の回動により、そこに固定されて取着された変換部材８
２が相対的に回動させられる。第２ストラット４５が、
ロボットアーム４２の与えられた伸張量へ変換する決め
られた回動量に達した時、変換部材８２の先端に取着さ
れたローラ８４が第１レバー１２０の接触パッド１２２
に接触し、ロボットアーム４２の引き続く伸張に伴って
第１レバー１２０の枢動を生じさせるように、変換部材
８２が位置決めされる。従がって、変換部材８２はロボ
ットアーム４２の伸張運動とストラット４４と４５の回
動運動とを、第１レバー１２０の後向きの回動運動に変
換する。第１レバー１２０の変換部材１２５は、次いで
リンク部材９８の接触パッド１３５に係合し、その接触
部材はまた、またリンク部材９８を後方に偏寄する。リ
ンク部材９８が後方に移動すると、作動可能に係合され
る接触フィンガ９０、６９０をウェハ３０２とハンドリ
ングブレード６４から離れさせる。次いで、ウェハ３０
２は、ウェハハンドリングブレード６４から外されても
よい。ロボットアーム４２の引き続く後退により、変換
部材８２は第１レバー１２０との係合を解かれ、スプリ
ングまたは他のバイアス部材１１４がクランプフィンガ
９０と６９０をクランプ位置に戻すことを可能にし、ク
ランプフィンガ９０がウェハハンドリングブレード６４
上に載っているウェハ３０２の端と係合させ、それによ
ってウェハ３０２を保持部材７０へ押し付ける。

【００６６】以上は本発明の好ましい実施の形態に関す
るが、本発明の他のまたは更なる実施の形態は、その基
本範囲から離れることなく考慮されるだろうし、その範
囲は特許請求の範囲により決定される。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェハをハンドリング用「極座標」ロボットア
ームの上面略図であり、後退位置でのロボットを示し、
想像線により伸張位置でのロボットを示す。

【図２】ウェハをハンドリング用「蛙足」型ロボットを
有するクラスターツールの上面略図であり、後退位置で
のロボットを示し、想像線により伸張位置でのロボット
を示す。

【図３】下側カバープレートを一部除去した「蛙足」型
ロボットのクランプリストアセンブリの底面図であり、
全伸張位置近くにある本発明のレバー編成の第１の実施
の形態を示す。

【図４】下側カバープレートを一部除去した「蛙足」型
ロボットのクランプリストアセンブリの底面図であり、
部分的に後退されてクランプされた位置における本発明
のレバー編成の第１の実施の形態を示す。

【図５】カバープレートのない「極座標」ロボットのク
ランプ装置の上面図であり、全伸張位置近くにある本発
明のレバー編成の第２の実施の形態を示す。

【図６】カバープレートのない「極座標」ロボットのク
ランプ装置の上面図であり、部分的に後退されてクラン
プされた位置における本発明のレバー編成の第２の実施
の形態を示す。

【図７】下側カバープレートを一部取り外した「蛙足」
型ロボットのクランプリストアセンブリの底面図であ
り、全伸張位置近くにある本発明のレバー編成の第３の
実施の形態を示す。

【図８】下側カバープレートを一部取り外した「蛙足」
型ロボットのクランプリストアセンブリの底面図であ
り、部分的に後退されてクランプされた位置における本
発明のレバー編成の第３の実施の形態を示す。

【図９】カバープレートのない「極座標」ロボットのク
ランプリストの上面図であり、全伸張位置近くにおける
本発明のレバー編成の第４の実施の形態を示す。

【図１０】カバープレートのない「極座標」式ロボット
のクランプリストの上面図であり、部分的に後退されて
クランプされた位置における本発明のレバー編成の第４
の実施の形態を示す。

【図１１】複数のウェハ支持部材を有するウェハブレー
ドの上面図と断面図である。

【図１２】複数のウェハ支持部材を有するウェハブレー
ドの上面図と断面図である。

【図１３】図１３Ａは、図９に示すウェハブレードとウ
ェハ支持部材の部分拡大断面図、図１３Ｂは、ウェハ支
持部材の代わりに、またはそれと組合せて使用できる代
替のウェハ支持部材の部分拡大断面図、図１３Ｃは、ウ
ェハ支持部材の代わりに、またはそれと組合せて使用で
きる代替のウェハ支持部材の部分拡大断面図である。

【図１４】クランプフィンガ９０の実施の形態の部分図
であり、ローラに代わる、機械加工された先端部を示
す。

【図１５】ウェハハンドリング用「極座標」ロボットの
上面略図であり、単体のクランプフィンガを使って、後
退位置にあるロボットと、想像線による伸張位置にある
ロボットを示す。

【図１６】カバープレートのない「蛙足」型ロボットの
クランプリストアセンブリの上面図であり、単体のクラ
ンプフィンガを使った実施の形態を示す。

【図１７】カバープレートのない「蛙足」型ロボットの
クランプリストアセンブリの上面図であり、ウェハの対
向側面の対向するクランプフィンガのセットを用いて、
ほぼ全伸張位置にある本発明のレバー編成の実施の形態
を示す。

【図１８】カバープレートのない「蛙足」型ロボットの
クランプリストアセンブリの上面図であり、ウェハの対
向側面の対向するクランプフィンガのセットを用いて、
部分的に後退されてクランプされた位置における本発明
のレバー編成の実施の形態を示す。

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ひとつ以上のアームと、前記ひとつ以上
   のアームを駆動してワークピースをハンドリングするた
   めのひとつ以上のアクチュエータとを有するロボットア
   センブリ用クランプリストであって： ａ）前記ひとつ以上のアームと枢動可能に結合されたリ
   ストハウジング； ｂ）前記リストハウジングに関連付けられた少なくとも
   ひとつのクランプフィンガ；および、 ｃ）前記少なくともひとつのクランプフィンガに結合さ
   れ、前記ワークピースへ前記少なくともひとつのクラン
   プフィンガを押付けるためのバイアス部材；を備えるロ
   ボット用クランプリスト。
2. 【請求項２】 更に、前記ひとつ以上のアームの少なく
   ともひとつに結合された変換部材と、 前記少なくともひとつのクランプフィンガへ移動可能に
   接続された接触パッドを備える請求項１に記載のクラン
   プリスト。
3. 【請求項３】 前記少なくともひとつのクランプフィン
   ガが前記リストハウジングに枢着され；前記接触パッド
   が前記少なくともひとつのクランプフィンガを、前記ロ
   ボットアームが所定伸張量に達した時に、前記ワークピ
   ースから遠ざかるべく移動させるようにして位置決めさ
   れる請求項２に記載のクランプリスト。
4. 【請求項４】 更に、前記リストハウジングに取付けら
   れ、前記少なくともひとつのクランプフィンガの、前記
   ワークピースから遠ざかる動きを制限するようにして位
   置決めされるストップ部材を備える請求項３に記載のク
   ランプリスト。
5. 【請求項５】 前記バイアス部材が少なくともひとつの
   スプリングである請求項４に記載のクランプリスト。
6. 【請求項６】 更に、相互に離間して取付けられ、前記
   スプリングに接続される２つのクランプフィンガを備え
   る請求項５に記載のクランプリスト。
7. 【請求項７】 更に、前記ひとつ以上のアームの少なく
   ともひとつに接続される変換部材；前記少なくともひと
   つのクランプフィンガへ可動に接続される可撓部材；前
   記可撓部材に結合され、前記ロボットアームが所定伸張
   量に達した時に、前記少なくともひとつのクランプフィ
   ンガに係合して、前記少なくともひとつのクランプフィ
   ンガを前記ワークピースから遠ざかるべく移動させよう
   にして位置決めされる接触パッドを備える請求項１に記
   載のクランプリスト。
8. 【請求項８】 更に、相互に離間して取付けられた２つ
   のクランプフィンガを備え；前記可撓部材が前記クラン
   プフィンガに取付けられ、かつ前記変換部材と前記接触
   パッドとの係合時に、前記クランプフィンガを前記ワー
   クピースから離れて遠ざかるべく移動させるようにされ
   た請求項７に記載のクランプリスト。
9. 【請求項９】 更に、前記リストハウジングに枢着さ
   れ、前記変換部材による前記レバーの係合時に、前記可
   撓部材の前記接触パッドに係合するようにされて位置決
   めされるレバーを備える請求項８に記載のクランプリス
   ト。
10. 【請求項１０】 前記少なくともひとつのクランプフィ
    ンガが、第１クランプフィンガと第２クランプフィンガ
    を備え、前記両クランプフィンガは前記ウェハの対向両
    側近傍に配置される請求項１に記載のクランプリスト。
11. 【請求項１１】 ロボットアームの遠端に結合されたワ
    ークピースハンドリング部材にワークピースを確保する
    ためのクランプ機構において、前記ワークピースハンド
    リング部材は、ワークピース受取り領域とその遠端にあ
    る保持部材とを有するウェハハンドリングブレードを備
    え、前記クランプ機構は：前記ワークピースの端に接触
    するようにされて位置決めされる少なくともひとつのク
    ランプフィンガ；前記少なくともひとつのクランプフィ
    ンガと前記保持部材との間に前記ワークピースをクラン
    プするよう前記ワークピース受取領域に前記ワークピー
    スが位置決めされた時に、前記少なくともひとつのクラ
    ンプフィンガを前記ワークピースに押付けるように成さ
    れ、前記少なくともひとつのクランプフィンガに結合さ
    れるバイアス部材；を備えるクランプ機構。
12. 【請求項１２】 更に、前記ワークピースハンドリング
    部材と前記ロボットアームが伸張した時に、前記少なく
    ともひとつのクランプフィンガに係合され、前記フィン
    ガを、前記ワークピースから遠ざかるべく移動させるよ
    うにされたレバー編成を備える請求項１１に記載のクラ
    ンプ機構。
13. 【請求項１３】 前記レバー編成が、前記ロボットアー
    ムと前記ワークピースハンドリング部材との間で相対的
    な角回動することによって係合されようにされる請求項
    １２に記載のクランプ機構。
14. 【請求項１４】 前記少なくともひとつのクランプフィ
    ンガが、前記ワークピースハンドリング部材に枢着さ
    れ；そして更に、前記ロボットアームが所定伸張量に達
    した時に、前記少なくともひとつのクランプフィンガと
    係合し、前記少なくともひとつのクランプフィンガを前
    記ワークピースから遠ざかるべく移動させるようにされ
    て位置決めされる前記ロボットアームに取付けられる変
    換部材を備える請求項１３に記載のクランプ機構。
15. 【請求項１５】 前記レバー編成が更に：前記少なくと
    もひとつのクランプフィンガへ可動に接続された可撓部
    材；および、 前記変換部材と選択的に係合するために前記可撓部材に
    結合され、前記ロボットアームが所定伸張量に達した時
    に、前記少なくともひとつのクランプフィンガと係合し
    前記ワークピースから前記少なくともひとつのクランプ
    フィンガを遠ざかるようにされて位置決めされる接触パ
    ッド；を備える請求項１４に記載のクランプ機構。
16. 【請求項１６】 前記レバー編成が更に：前記ワークピ
    ースハンドリング部材に枢着されたレバーを備え；前記
    レバーは一端部を有し；更に、前記変換部材と選択係合
    するために前記端部近傍で前記レバーに結合される接触
    パッドを備え、それによって、前記変換部材による前記
    レバーの係合が、前記ロボットアームが所定伸張量に達
    した時に、前記少なくともひとつのクランプフィンガの
    係合を行なわせて、前記ワークピースから前記クランプ
    フィンガを遠ざけるように移動させる請求項１５に記載
    のクランプ装置。
17. 【請求項１７】 更に、相互に離間して取付けられた２
    つのクランプフィンガを備え；前記可撓部材が前記クラ
    ンフィンガに取付けられ、前記接触パッドとの前記変換
    部材の係合時に前記クランプフィンガが離間するように
    移動させられる請求項１６に記載のクランプ機構。
18. 【請求項１８】 更に、前記ワークピースハンドリング
    部材に取付けられ、前記ワークピースから前記少なくと
    もひとつのクランプフィンガの、前記ワークピースから
    の移動が制限されるようにされて位置決めされるストッ
    プ部材を備える請求項１５に記載のクランプ機構。
19. 【請求項１９】 ロボットアームアセンブリであって：
    一対の「蛙足」型ロボットアームを備え、前記各アーム
    はクランプリストを取着された遠端部を有し；前記クラ
    ンプリストは：前記ロボットアームに枢動可能に結合さ
    れたリストハウジング；前記リストハウジング内に配設
    された少なくともひとつのクランプフィンガ；そして前
    記少なくともひとつのクランプフィンガをワークピース
    に付勢するように成された前記少なくともひとつのクラ
    ンプフィンガと結合されたバイアス部材；を備えるロボ
    ットアームアセンブリ。
20. 【請求項２０】 更に、前記ロボットアームの前記遠端
    に取着される変換部材；前記ロボットアームが所定伸張
    量に達した時に、前記少なくともひとつのクランプフィ
    ンガに接続され、前記少なくともひとつのクランプフィ
    ンガを前記ワークピースから遠ざけるべく移動させるよ
    うに、前記変換部材による係合のために適合されて位置
    決めされるレバー編成；を備える請求項１９に記載のロ
    ボットアームアセンブリ。
21. 【請求項２１】 更に、前記リストハウジングに取着さ
    れ、前記少なくともひとつのクランプフィンガの、前記
    ワークピースから離れる動きを制限するようにされて位
    置決めされるストップ部材を備える請求項２０に記載の
    ロボットアームアセンブリ。
22. 【請求項２２】 ロボットであって：第１軸の周りを回
    動可能な一対の第１ハブ部材；前記ハブ部材の各々を駆
    動するための一対の磁気駆動部材；それぞれが第１と第
    ２のストラットを備え、前記第１ストラットが前記ハブ
    部材の一方に取付けられた、一対のロボットアーム；前
    記各第２ストラット上に配設された変換部材；そして、 前記一対のロボットアームに枢着されたワークピースハ
    ンドリング部材；を備え、 前記ワークピースハンドリング部材は：少なくともひと
    つのクランプフィンガ；ワークピースへ前記少なくとも
    ひとつのクランプフィンガを押付けるようにされた前記
    少なくともひとつのクランプフィンガに係合されるバイ
    アス部材；前記取着されたアームアセンブリが所定伸張
    量に達した時に、前記変換部材によるレバーの係合に応
    答して前記少なくともひとつのクランプフィンガと係合
    するように成されて位置決めされる前記レバー編成；を
    備え、取着された前記アームアセンブリは、所定伸張量
    に達した時に、前記少なくともひとつのクランプフィン
    ガを前記ワークピースから引き離すようにされるロボッ
    ト。
23. 【請求項２３】 前記バイアス部材が少なくともひとつ
    のスプリングである請求項２２に記載のロボット。
24. 【請求項２４】 更に、前記リストハウジングに枢着さ
    れるレバーを備える請求項２３に記載のロボット。
25. 【請求項２５】 更に、前記リストハウジングに取着さ
    れ、前記少なくともひとつのクランプフィンガの、前記
    ワークピースから離間する動きを制限するようにされて
    位置決めされるストップ部材を備える請求項２４に記載
    のロボット。
26. 【請求項２６】 前記第１と第２のアームの同一方向の
    回動が前記２つの独立した運動の一方へ変換され、前記
    第１と第２のアームの反対方向の回動が、前記２つの独
    立した運動の他方に変換される請求項２５に記載のロボ
    ット。