JP2008302437A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008302437A JP2008302437A JP2007149267A JP2007149267A JP2008302437A JP 2008302437 A JP2008302437 A JP 2008302437A JP 2007149267 A JP2007149267 A JP 2007149267A JP 2007149267 A JP2007149267 A JP 2007149267A JP 2008302437 A JP2008302437 A JP 2008302437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gripping
- wafer
- hand
- articulated arm
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】ロボット1は、ウエハ2を搭載するハンド3と、ハンド3を保持する第2アーム6を有する多関節アーム部4とを備えている。ハンド3は、ウエハ2を把持するための把持部28と、ウエハ2を把持する方向へ把持部28を付勢する付勢部材とを備え、第2アーム6は、ハンド3の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ2の搬出開始前に把持部28に当接して把持部28をウエハ2から退避させる偏心部材31を備えている。偏心部材31は、ウエハ2を搬出する際の多関節アーム部4の伸縮動作に伴って、把持部28がウエハ2を把持する方向へ移動するように、把持部28に対して相対移動し、把持部28は、ウエハ2を搬出する際の多関節アーム部4の伸縮動作の減速時に、ウエハ2の把持を開始する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1を示す側面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1を示す平面図であり、(A)は多関節アーム部4が伸びている状態を示し、(B)は多関節アーム部4が縮んでいる状態を示す。図3は、図1に示す産業用ロボット1が組み込まれた半導体製造システム9の概略構成を示す平面図である。図4は、図1に示す多関節アーム部4およびハンド3内の動力の伝達機構を説明するための概略断面図である。図5は、図1に示す多関節アーム部4の伸縮状態とハンド3の向きとの関係を説明するための図である。なお、図4では、図2(A)のE−E方向から見たときの多関節アーム部4等の概略断面を示している。
図6は、図1に示すハンド3の要部および偏心部材31を示す平面図である。図7は、図2(A)のF部の構成を側面から説明するための断面図である。図8は、図2(A)のG部の構成を側面から説明するための断面図である。図9は、図6のH−H断面を示す断面図である。図10は、図6に示す把持部28の動作を説明するための図である。図11は、図1に示すロボット1でウエハ2の搬出、搬入を行う際の中空回転軸16の駆動モータの速度と第1アーム7の回動角度との関係を示す図である。
以上説明したように、本形態では、ウエハ2の搬出開始前には、偏心部材31がカム面37aに当接して把持部28をウエハ2から退避させている。また、偏心部材31は、ウエハ2を搬出する際に多関節アーム部4が縮むと、把持部28が把持方向へ移動するように、把持部28に対して相対移動する。さらに、ウエハ2を搬出する際の多関節アーム部4の伸縮動作の減速時に、把持部28は、圧縮コイルバネ29の付勢力によって、ウエハ2の把持を開始する。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(搬送対象物)
3 ハンド
4 多関節アーム部
5 本体部
6 第2アーム(ハンド保持アーム)
10 受渡しチャンバー(収納部)
11 処理チャンバー(収納部)
28、58、68、78 把持部
29 圧縮コイルバネ(付勢部材)
30 当接部材(当接部)
31 偏心部材
34 ローラ
36 軸部材
37 カム部材
37a カム面
61、79 引張りコイルバネ(付勢部材)
CL 回動中心
Claims (8)
- 搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を搭載するハンドと、前記ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む2本以上のアームを有し前記収納部に対する前記搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、前記多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物に当接して前記搬送対象物を把持するための把持部と、前記搬送対象物を把持する方向へ前記把持部を付勢する付勢部材とを備え、
前記ハンド保持アームは、前記ハンド保持アームに対する前記ハンドの回動中心から偏心した位置で前記ハンド保持アームに固定され、前記収納部からの前記搬送対象物の搬出開始前に前記把持部に当接して前記把持部を前記搬送対象物から退避させる偏心部材を備え、
前記偏心部材は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物を把持する方向へ移動するように、前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、前記付勢部材の付勢力で前記搬送対象物の把持を開始することを特徴とする産業用ロボット。 - 前記把持部は、前記収納部への前記搬送対象物の搬入開始前に、前記付勢部材の付勢力で前記搬送対象物を把持するとともに、
前記偏心部材は、前記収納部へ前記搬送対象物を搬入する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物から退避する方向へ移動するように、前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、さらに、前記収納部へ前記搬送対象物を搬入する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の加速時あるいは定速時に、前記搬送対象物からの退避を開始することを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記把持部は、前記ハンド保持アーム側となる前記ハンドの基端側に配置され、
前記ハンドは、前記搬送対象物の端部が当接する当接部を先端側に備えることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。 - 前記把持部は、前記搬送対象物に当接するとともに回動可能なローラを備えることを特徴とする請求項1から3いずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記把持部は、前記搬送対象物の把持方向および前記搬送対象物からの退避方向へ直線状に移動することを特徴とする請求項1から4いずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記把持部は、前記把持方向および前記退避方向へ直線状に案内される少なくとも2本の軸部材を備えることを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。
- 前記把持部は、前記偏心部材が当接するカム面が内周側に形成される筒状のカム部材を備えることを特徴とする請求項5または6記載の産業用ロボット。
- 搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を搭載するハンドと、前記ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む2本以上のアームを有し前記収納部に対する前記搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、前記多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物に当接して前記搬送対象物を把持するための把持部と、前記搬送対象物から退避させる方向へ前記把持部を付勢する付勢部材とを備え、
前記ハンド保持アームは、前記ハンド保持アームに対する前記ハンドの回動中心から偏心した位置で前記ハンド保持アームに固定され、前記把持部に当接可能な偏心部材を備え、
前記偏心部材は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物を把持する方向へ移動するように前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、前記収納部からの前記搬送対象物の搬出開始前に前記搬送対象物から退避しているとともに、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、前記把持部に当接する前記偏心部材によって前記搬送対象物の把持を開始することを特徴とする産業用ロボット。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149267A JP4959427B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 産業用ロボット |
TW097118569A TWI441719B (zh) | 2007-06-05 | 2008-05-20 | Industrial robotic arm |
KR1020080051598A KR101423776B1 (ko) | 2007-06-05 | 2008-06-02 | 산업용 로보트 |
CN201510639459.0A CN105269552B (zh) | 2007-06-05 | 2008-06-04 | 工业用机器人 |
EP08010223.9A EP2033745B1 (en) | 2007-06-05 | 2008-06-04 | Industrial robot |
CNA2008101259111A CN101318325A (zh) | 2007-06-05 | 2008-06-04 | 工业用机器人 |
US12/133,684 US8043042B2 (en) | 2007-06-05 | 2008-06-05 | Industrial robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149267A JP4959427B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 産業用ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008302437A true JP2008302437A (ja) | 2008-12-18 |
JP4959427B2 JP4959427B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=40178722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007149267A Active JP4959427B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 産業用ロボット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4959427B2 (ja) |
CN (1) | CN101318325A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010044440A1 (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-22 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
JP2010179420A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
WO2011062051A1 (ja) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
JP2011159738A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ウエハ搬送ロボット及びウエハの解放方法 |
JP2018111604A (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | Biデザイン合同会社 | リフト装置及びリフト装置を備えた搬送装置 |
JP2018111200A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-07-19 | ジャビル インク | エンドエフェクターを供給するための器具、システム、及び方法 |
KR20190033459A (ko) * | 2017-09-21 | 2019-03-29 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 프로세스 모듈을 위한 인-시튜 장치 |
JP2019197799A (ja) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板把持装置、基板搬送装置及び基板搬送方法 |
CN110509307A (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-29 | 发那科株式会社 | 机械手以及机械手系统 |
WO2024004635A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボット |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101343892B1 (ko) * | 2008-06-10 | 2013-12-20 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 패러렐 메카니즘 |
CN102751228B (zh) * | 2011-06-28 | 2014-11-26 | 清华大学 | 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置 |
CN102653100A (zh) * | 2012-05-05 | 2012-09-05 | 马丁路德机器人(上海)有限公司 | 新型多关节机械臂 |
JP5990359B2 (ja) * | 2012-10-04 | 2016-09-14 | 平田機工株式会社 | 搬入出ロボット |
JP6251227B2 (ja) | 2015-11-17 | 2017-12-20 | 本田技研工業株式会社 | パーキングロック装置 |
JP6649768B2 (ja) * | 2015-12-28 | 2020-02-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US10453725B2 (en) * | 2017-09-19 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same |
DE102018104670A1 (de) * | 2018-03-01 | 2019-09-05 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Greifvorrichtung für ein Objekt, Laderoboter mit Greifvorrichtung |
JP2022076060A (ja) | 2020-11-09 | 2022-05-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの教示方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6451286A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-27 | Mimasu Handotai Kogyo Kk | Clean chuck |
JP2000308988A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-11-07 | Applied Materials Inc | ウェハハンドリングロボット用の機械式グリッパ |
JP2001517562A (ja) * | 1997-09-22 | 2001-10-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板クランプ装置 |
JP2004119554A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Rorze Corp | 薄板状物の把持装置及びそれを具えた製造設備 |
JP2006041423A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Hitachi Naka Electronics Co Ltd | 精密薄板材の搬送装置 |
-
2007
- 2007-06-05 JP JP2007149267A patent/JP4959427B2/ja active Active
-
2008
- 2008-06-04 CN CNA2008101259111A patent/CN101318325A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6451286A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-27 | Mimasu Handotai Kogyo Kk | Clean chuck |
JP2001517562A (ja) * | 1997-09-22 | 2001-10-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板クランプ装置 |
JP2000308988A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-11-07 | Applied Materials Inc | ウェハハンドリングロボット用の機械式グリッパ |
JP2004119554A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Rorze Corp | 薄板状物の把持装置及びそれを具えた製造設備 |
JP2006041423A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Hitachi Naka Electronics Co Ltd | 精密薄板材の搬送装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010044440A1 (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-22 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
JP5002710B2 (ja) * | 2008-10-17 | 2012-08-15 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
US8505991B2 (en) | 2008-10-17 | 2013-08-13 | Ulvac, Inc. | Conveying device and vacuum apparatus |
JP2010179420A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
WO2011062051A1 (ja) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
JP2011159738A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ウエハ搬送ロボット及びウエハの解放方法 |
JP7301260B2 (ja) | 2016-12-06 | 2023-07-03 | ジャビル インク | エンドエフェクターを供給するための器具、システム、及び方法 |
JP2018111200A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-07-19 | ジャビル インク | エンドエフェクターを供給するための器具、システム、及び方法 |
JP2018111604A (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | Biデザイン合同会社 | リフト装置及びリフト装置を備えた搬送装置 |
KR20190033459A (ko) * | 2017-09-21 | 2019-03-29 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 프로세스 모듈을 위한 인-시튜 장치 |
US11887879B2 (en) | 2017-09-21 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | In-situ apparatus for semiconductor process module |
KR102641354B1 (ko) * | 2017-09-21 | 2024-02-26 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 프로세스 모듈을 위한 인-시튜 장치 |
JP2019197799A (ja) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板把持装置、基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JP7126856B2 (ja) | 2018-05-09 | 2022-08-29 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板把持装置、基板搬送装置及び基板搬送方法 |
CN110509307A (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-29 | 发那科株式会社 | 机械手以及机械手系统 |
WO2024004635A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101318325A (zh) | 2008-12-10 |
JP4959427B2 (ja) | 2012-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4959427B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP4979530B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR101423776B1 (ko) | 산업용 로보트 | |
TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
US8882430B2 (en) | Industrial robot | |
US9561586B2 (en) | Articulated robot, and conveying device | |
US20020009359A1 (en) | Mechanical gripper for wafer handling robots | |
WO2012039274A1 (ja) | 産業用ロボット | |
JP5525399B2 (ja) | 搬送装置、基板処理システム及び姿勢制御機構 | |
US9401296B2 (en) | Vacuum robot adapted to grip and transport a substrate and method thereof with passive bias | |
JPH02197143A (ja) | 搬送装置 | |
JPH11288988A (ja) | アライメント高速処理機構 | |
JP4938560B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2002264065A (ja) | ウエハ搬送ロボット | |
JP2012186505A (ja) | 部品供給装置 | |
JP5157460B2 (ja) | エンドエフェクタ及びそれを備えた搬送装置 | |
JP5827046B2 (ja) | 板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置 | |
JP2004146714A (ja) | 被処理体の搬送機構 | |
JP6116088B2 (ja) | エンドエフェクタ装置及び該エンドエフェクタ装置を用いた板状部材の位置決め方法 | |
JP2009252890A (ja) | 部品供給装置 | |
KR20040100030A (ko) | 반도체 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 반도체 기판가공 장치 | |
CN115924539A (zh) | 工业机器人 | |
JP3141891U (ja) | ワーク搬送装置 | |
JPH0535575B2 (ja) | ||
JP2002305227A (ja) | ウェハハンド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110913 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120321 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150330 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4959427 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |