JP7126856B2 - 基板把持装置、基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Description
複数の爪を有し、それらの爪を基板の端面に当接させてその基板を把持するハンドと、
前記複数の爪を相対的に接近動させて前記基板の把持位置に位置付ける移動機構と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪が前記基板の端面に当接することで変形する変形部と、
前記変形部の変形量を検知する検知部と、
制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記移動機構によって前記各爪が前記基板を把持すべき正常把持位置に位置付けられたはずであるという条件下で前記検知部が検出した変化量から前記各爪による前記基板の把持状態を判定することを特徴とする。
基板を基板把持装置で把持して所定の移動路を搬送する基板搬送装置において、
前記基板把持装置は、前述の実施形態に係る基板把持装置であることを特徴とする。
ハンドが有する複数の爪を基板の端面に当接させてその基板を把持する工程と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪が前記基板の端面に当接することで変形する変形部の変形量を検知する工程と、
前記各爪が前記基板を把持すべき正常把持位置に位置付けられたはずであるという条件下での前記変形部の変形量から前記各爪による前記基板の把持状態を判定する判定工程と、
を有することを特徴とする。
図1に示すように、実施形態に係る基板処理装置10は、複数の開閉ユニット11と、第1の搬送ロボット(基板搬送装置)12と、第1の移動機構13と、バッファユニット14と、第2の搬送ロボット(基板搬送装置)15と、第2の移動機構16と、複数の基板処理ユニット17と、装置付帯ユニット18とを備えている。この基板処理装置10は、基板Wの表面(上面や下面)に処理液(例えば、レジスト剥離液やリンス液、洗浄液など)を供給し、基板Wの表面を処理する装置である。各基板処理ユニット17は、複数種類の処理工程(例えば、レジスト剥離工程やリンス工程、洗浄工程など)を行う。
次に、前述の第1の搬送ロボット12及び第1の移動機構13について図3を参照して説明する。
次に、前述のハンド21について図4及び図5を参照して説明する。
次に、前述の基板処理装置10が行う基板処理(基板搬送処理を含む)の流れについて説明する。なお、基板Wに対して2種類の処理を行う場合には、図1において、上下に延びる第2のロボット搬送路を挟んで左側の4つの処理室17a(以下、第1の処理室17aとすることがある)と、右側の4つの処理室17a(以下、第2の処理室17aとすることがある)が異なる処理を行うように設定されている。異なる処理を行う場合、第1の処理室17aは、第1処理が行われる処理室であり、第2の処理室は、第1処理の次の処理(第2処理)が行われる処理室17aである。
まず、全体の基板処理の流れについて図1を参照して説明する。一例として、第1の処理室17aと、その第1の処理室17aに対向する第2の処理室17aが一組にされ、一枚の基板Wに対して第1処理及び第2処理が組ごとに実行される。なお、第1の搬送ロボット12及び第2の搬送ロボット15は、前述のように、必要に応じて移動することがあるが、それらの移動の説明については省略する。
次に、前述の基板処理において第1の搬送ロボット12が基板Wを把持する基板把持処理(基板把持工程)の流れについて図8を参照して説明する。なお、繰り返し回数(図8中では「3」)などの処理条件はあらかじめ制御ユニット18bに設定されているが、操作者によって任意に変更可能である。また、初期条件として「N=0」が制御ユニット18bに設定されている。また、第1の搬送ロボット12は、同じ機能を有するハンド21を4つ備えているが、以下の説明では、1つのハンド21に着目して説明する。
前述の説明では、第1の搬送ロボット12の構成を例示したが、第2の搬送ロボット15が有するハンド19を第1の搬送ロボット12のハンド21と同じ構成にしても良く、また、異なる構成にしても良い。
15 第2の搬送ロボット(基板搬送装置)
18b 制御ユニット(制御部)
21 ハンド
21a 固定ハンド部材
21b 移動ハンド部材
21c 検知部
21d 移動機構
21d1 ピストンロッド
30 前後進部
32 固定把持部材
32a 爪
40 反転部
42 移動把持部材
42a 爪
42b 変形部
50 昇降回転部
51 片持ち梁
52 固定梁
W 基板
Claims (11)
- 複数の爪を有し、それらの爪を基板の端面に当接させてその基板を把持するハンドと、
前記複数の爪を相対的に接近動させて前記基板の把持位置に位置付ける移動機構と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪が前記基板の端面に当接することで変形する変形部と、
前記変形部の変形量を検知する検知部と、
制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記移動機構によって前記各爪が前記基板を把持すべき正常把持位置に位置付けられたはずであるという条件下で前記検知部が検出した変化量から前記各爪による前記基板の把持状態を判定することを特徴とする基板把持装置。 - 前記変形部は、変形により変化する隙間を有する形状に形成されており、
前記検知部は、前記隙間の変化量を検知することを特徴とする請求項1に記載の基板把持装置。 - 前記ハンドは、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する固定ハンド部材と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する移動ハンド部材と、
を具備し、
前記変形部は、前記移動ハンド部材の前記爪が前記基板の端面に当接することで変形するように前記移動ハンド部材に形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板把持装置。 - 前記制御部は、前記把持状態が不十分と判定した場合、前記ハンドに対し、前記基板を把持する把持動作をやり直させることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板把持装置。
- 前記把持状態が不十分とは、前記爪による前記基板の把持力が不足している状態であることを特徴とする請求項4に記載の基板把持装置。
- 基板を基板把持装置で把持して所定の移動路を搬送する基板搬送装置において、
前記基板把持装置は、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板把持装置であることを特徴とする基板搬送装置。 - 複数の爪を有し、それらの爪を基板の端面に当接させてその基板を把持するハンドと、
前記複数の爪を相対的に接近動させて前記基板の把持位置に位置付ける移動機構と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪が前記基板の端面に当接することで変形する変形部と、
前記変形部の変形量を検知する検知部と、
制御部と、
を有し、
前記ハンドは、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する固定ハンド部材と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する移動ハンド部材と、
を具備し、
前記変形部は、前記移動ハンド部材の前記爪が前記基板の端面に当接することで変形する隙間を有した片持ち梁及び固定梁を有する片持ち梁構造で前記移動ハンド部材に形成され、
前記制御部は、前記移動機構によって前記各爪が前記基板を把持すべき正常把持位置に位置付けられたはずであるという条件下で前記検知部が検出した前記片持ち梁と前記固定梁との前記隙間の変化量から前記基板の把持状態を判定することを特徴とする基板把持装置。 - ハンドが有する複数の爪を基板の端面に当接させてその基板を把持する工程と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪が前記基板の端面に当接することで変形する変形部の変形量を検知する工程と、
前記各爪が前記基板を把持すべき正常把持位置に位置付けられたはずであるという条件下での前記変形部の変形量から前記各爪による前記基板の把持状態を判定する判定工程と、
を有することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記変形部は、変形により変化する隙間を有する形状に形成されており、
前記検知する工程では、前記隙間の変化量を検知することを特徴とする請求項8に記載の基板搬送方法。 - 前記ハンドは、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する固定ハンド部材と、
前記複数の爪のうち少なくとも一つの爪を有する移動ハンド部材と、
を具備し、
前記変形部は、前記移動ハンド部材の前記爪が前記基板の端面に当接することで変形するように前記移動ハンド部材に形成されており、
前記検知する工程では、前記移動ハンド部材の前記爪が前記基板の端面に当接することで変形する前記変形部の変形量を検知することを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の基板搬送方法。 - 前記判定工程において、前記把持状態が不十分と判定した場合、前記ハンドに対し、前記基板を把持する把持動作をやり直させる工程を有することを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか一項に記載の基板搬送方法。
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