JP3141891U - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台1と、ワーク収納カセット2a、2bと、基台上の一方の側に設けられ、ワーク収納カセットがその上に固定されるカセット載置台3と、カセット載置台の下側に形成されたスペースに配置されたアラインメントユニット4と、基台上の他方の側に配置され、水平面内においてワーク収納カセットおよびアラインメントユニットに対して前進および後退する方向およびそれに直交する方向にそれぞれ独立に移動可能とされたベース部8と、基台上に設けられ、ベース部を移動させるベース部移動機構5〜7と、ベース部に設けられた垂直な支柱部10、11と、支柱部に取り付けられ、上下に移動可能とされた搬送アーム支持部12と、搬送アーム支持部にこれから突出するように取り付けられた搬送アーム13を備える。
【選択図】図1
Description
ウエハー搬送装置は、通常、複数のウエハー収納カセット、アライナー装置およびアーム式ロボット装置を備えており、ロボット装置によって、ウエハー収納カセットからウエハーを1枚ずつ取り出し、アライナー装置に移し、アライナー装置において、オリフラ、ノッチ等の目印によるウエハーの回転位置合わせを行った後、再び、ロボット装置によって、ウエハーを前と同じウエハー収納カセット、または別のウエハー収納カセットまで搬送し、所定の支持棚に収容するようになっている(例えば、特許文献1、2参照)。
アラインメントユニット4は、ワークWの偏心補正および角度制御(回転位置合わせ)を行うものであり、公知の任意の方式のものが使用可能であるが、この実施例では、ワークWの裏面を吸着するセラミックチャック方式のものが使用される。
第2スライドガイド7には、公知の適当なガイドレール(図示はされない)を介してベース部8が取り付けられて、第2スライドガイド7に沿ってスライド運動し得るようになっている。また、図示されないが、第2スライドガイド7の内部には、長手方向にのびるボールネジが、両端を固定された状態で備えられている。このボールネジにはモータが螺合し、モータの作動により、当該モータがボールネジに沿って往復運動し得るようになっている。モータは、例えば中空モータからなっている。さらに、このモータとベース部8とが接続され、モータの駆動によって、ベース部8が第2スライドガイドに沿ってスライド運動し得るようになっている。
2a、2b ワーク収納カセット
3 カセット載置台
4 アラインメントユニット
5 第1スライドガイド
6 スライド部
7 第2スライドガイド
8 ベース部
9 支柱部
10 第3スライドガイド
11 可動ブロック
12 搬送アーム支持部
13 搬送アーム
A、B、C 別のワーク収納カセット
W ワーク
Claims (4)
- 基台と、
複数段の支持棚を備えた少なくとも1つのワーク収納カセットと、
前記基台上の一方の側に設けられ、前記ワーク収納カセットがその上に固定されるカセット載置台と、
前記カセット載置台の下側に形成されたスペースに配置されたアラインメントユニットと、
前記基台上の他方の側に配置されたベース部と、
前記基台上に設けられ、前記ベース部を、水平面内において前記ワーク収納カセットおよび前記アラインメントユニットに対して前進および後退する方向およびそれに直交する方向にそれぞれ独立に移動させるベース部駆動機構と、
前記ベース部に設けられた垂直な支柱部と、
前記支柱部に取り付けられ、上下に移動可能とされた搬送アーム支持部と、
前記搬送アーム支持部を駆動する搬送アーム支持部駆動機構と、
前記搬送アーム支持部にこれから突出するように取り付けられ、先端にワーク保持部を有する搬送アームと、を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記ベース部駆動機構は、
前記基台上の前記他方の側において、前記ワーク収納カセットおよび前記アラインメントユニットに対して前進および後退する方向に沿って、互いに間隔をあけて平行に取り付けられた一対の第1スライドガイドと、
前記一対の第1スライドガイドのそれぞれにスライド運動可能に取り付けられたスライド部と、
少なくとも一方の前記スライド部をスライド運動させる第1駆動部と、
前記スライド部を互いに連結し、前記一対の第1スライドガイドに直交してのびる第2スライドガイドと、を有し、前記第2スライドガイドに対し前記ベース部がスライド運動可能に取り付けられており、さらに、
前記ベース部を前記第2スライドガイドに沿ってスライド運動させる第2駆動部を有していることを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送装置。 - 前記支柱部は、
前記ベース部に突設された垂直な第3スライドガイドと、
前記第3スライドガイドにスライド運動可能に取り付けられた可動ブロックと、
前記可動ブロックをスライド運動させる第3駆動部と、を有し、前記可動ブロックに前記搬送アーム支持部が取り付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のワーク搬送装置。 - 前記支柱部の前記可動ブロックは、その上端面に、前記支柱部の軸に平行な回転駆動軸を備えた第4駆動部を有し、前記第4駆動部の前記回転駆動軸に前記搬送アーム支持部が取り付けられ、それによって前記搬送アームが前記回転駆動軸のまわりに回転運動し得ることを特徴とする請求項3に記載のワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008001405U JP3141891U (ja) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008001405U JP3141891U (ja) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | ワーク搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3141891U true JP3141891U (ja) | 2008-05-22 |
Family
ID=43291929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008001405U Expired - Lifetime JP3141891U (ja) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3141891U (ja) |
-
2008
- 2008-03-11 JP JP2008001405U patent/JP3141891U/ja not_active Expired - Lifetime
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