WO2024004635A1 - 産業用ロボット - Google Patents

産業用ロボット Download PDF

Info

Publication number
WO2024004635A1
WO2024004635A1 PCT/JP2023/021927 JP2023021927W WO2024004635A1 WO 2024004635 A1 WO2024004635 A1 WO 2024004635A1 JP 2023021927 W JP2023021927 W JP 2023021927W WO 2024004635 A1 WO2024004635 A1 WO 2024004635A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hand
transported
arm
industrial robot
storage cassette
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/021927
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
重幸 改野
Original Assignee
ニデックインスツルメンツ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ニデックインスツルメンツ株式会社 filed Critical ニデックインスツルメンツ株式会社
Publication of WO2024004635A1 publication Critical patent/WO2024004635A1/ja

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to an industrial robot for transporting objects.
  • Patent Document 1 Conventionally, industrial robots that transport objects formed in a flat plate shape are known (for example, see Patent Document 1).
  • the industrial robot described in Patent Document 1 includes two hands on which an object to be transported is mounted, two arms each of which is rotatably connected to the tip side, and two arms.
  • the arm includes a main body portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected.
  • the hand includes a hand base rotatably connected to the distal end side of the arm, and a plurality of forks extending horizontally from the hand base. The object to be transported is placed on the fork.
  • the industrial robot described in Patent Document 1 carries out an object to be transported from a storage cassette that accommodates a plurality of objects to be transported, and carries the object to be transported into a storage cassette.
  • a plurality of objects to be transported are stored in the storage cassette so as to be overlapped with each other at intervals in the vertical direction.
  • the fork of the hand When carrying out objects to be transported from the storage cassette, the fork of the hand enters between the objects to be transported stored in the storage cassette so as to overlap in the vertical direction (that is, the fork enters to the back of the storage cassette), and the objects are transported. Lift up the object and carry it out. Further, when the object to be transported is carried into the storage cassette, the fork on which the object to be transported is placed enters the back side of the storage cassette, and the object to be transported is placed in the storage cassette.
  • the problem of the present invention is that in an industrial robot that transports objects to be transported, a plurality of objects to be transported are stored in a storage section so as to overlap with each other at intervals in the vertical direction.
  • An object of the present invention is to provide an industrial robot capable of carrying out an object to be transported from a storage section and loading an object to be transported into a storage section.
  • an industrial robot of the present invention is an industrial robot that transports an object to be transported. a second hand having a placing part on which the object is placed; It is characterized by performing at least one of a pull-out operation for pulling out an object and a push-in operation for pushing the conveyed object placed on the placement section to a position where it is accommodated in the storage section.
  • the first hand which has the engaging part that engages with the end of the object to be transported, is capable of placing the object to be transported, which is accommodated in the storage part, on the placing part of the second hand. At least one of a pull-out operation for pulling out the object from the accommodating section to a position, and a push-in operation for pushing the conveyed object placed on the mount section of the second hand to a position where it is accommodated in the accommodating section are performed.
  • the object to be transported is pulled out from the storage part by the pulling operation of the first hand whose engaging part is engaged with the end of the transported object.
  • the object to be conveyed is placed on the placing part of the second hand and taken out from the storage part, or by the pushing operation of the first hand whose engaging part is engaged with the end of the object to be conveyed. , it becomes possible to transport the object to be transported that has been placed on the placement section into the storage section.
  • the vertical distance between the objects to be transported stored in the storage section is narrowed so that the objects are overlapped with each other with an interval in the vertical direction, and the first hand and the second hand Even if it is not possible to insert the hand, it is possible to carry out the object to be transported from the storage section or to carry the object to be transported into the storage section.
  • an industrial robot includes a first arm to which the first hand is rotatably connected to the distal end side, a second arm to which the second hand is rotatably connected to the distal end side, and a second arm to which the second hand is rotatably connected to the distal end side.
  • the main body portion is rotatably connected to the base end side of the first arm and the base end side of the second arm.
  • the robot is disposed on the front side of the accommodating part, the engaging part engages with the front end of the object to be transported during the pulling operation and the pushing operation, and the second hand is arranged on the front side of the storage part.
  • the placing section is stopped at a position adjacent to the accommodating section on the near side of the accommodating section.
  • the engaging portion includes a gripping mechanism that grips the end of the object to be transported.
  • the gripping mechanism can grip the end of the object to be transported during a pull-out operation or a push-in operation, thereby stabilizing the state of the object to be transported when performing a pull-out operation or a push-in operation. becomes possible.
  • the gripping mechanism can grip the end of the object to be transported. It becomes possible to stabilize the state of the object to be transported when the object is transported.
  • the gripping mechanism For example, if the first hand linearly moves in the horizontal direction and the first direction is a direction perpendicular to the moving direction of the first hand and the vertical direction, the gripping mechanism The central part of the object is gripped, and a placing surface is formed on both ends of the placing part in the first direction, on which both ends of the object to be conveyed in the first direction are placed. , the portion between the two mounting surfaces in the first direction is arranged below the mounting surfaces. In this case, it is possible to prevent interference between the components of the gripping mechanism and the mounting section when the first hand performs a pulling operation or a pushing operation.
  • the first hand moves linearly in the horizontal direction
  • the first direction is a direction perpendicular to the moving direction of the first hand and the vertical direction.
  • a guide portion is formed to restrict movement of the object.
  • the industrial robot of the present invention even if the vertical distance between the plurality of conveyed objects stored in the storage section is narrow so that they overlap with each other with an interval in the vertical direction, It becomes possible to carry out the objects to be transported from the storage section and to carry them into the storage section.
  • FIG. 1 is a perspective view of main parts of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of a manufacturing system in which the industrial robot shown in FIG. 1 is used.
  • FIG. 2 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 2 is a plan view for explaining the configuration of the first hand shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 5 is a diagram for explaining the configuration of the engaging portion from the direction EE in FIG. 4.
  • FIG. FIG. 2 is a diagram for explaining an operation of the industrial robot shown in FIG. 1 when transporting an object to be transported to a storage section.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining an operation of the industrial robot shown in FIG. 1 when transporting an object to be transported to a storage section.
  • FIG. 1 is a perspective view of essential parts of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of a manufacturing system 4 in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is used.
  • FIG. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in FIG. 1.
  • the industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as "robot 1") is a horizontally articulated robot for transporting a predetermined transport object 2 (see FIG. 4, etc.).
  • the conveyed object 2 is formed into a rectangular flat plate shape, for example.
  • the conveyed object 2 is formed into a thin flat plate shape.
  • the robot 1 is used in a predetermined manufacturing system 4 in which a storage cassette 3 is set as a storage section in which a plurality of objects 2 to be transported are stored.
  • the robot 1 carries out the transport target object 2 from the storage cassette 3 and the transport target object 2 into the storage cassette 3.
  • the thickness direction of the conveyed object 2 accommodated in the accommodation cassette 3 coincides with the up-down direction (vertical direction).
  • a plurality of objects 2 to be conveyed are stored so as to be overlapped with each other at intervals in the vertical direction.
  • a plurality of cassette-side placement portions are formed on which objects to be transported 2 are placed.
  • the distance (pitch) in the vertical direction between the objects 2 to be transported 2 stored in the storage cassette 3 is narrow.
  • the robot 1 includes two hands 5 and 6, an arm 7 to which the hand 5 is rotatably connected to the distal end, an arm 8 to which the hand 6 is rotatably connected to the distal end, and an arm 7. 8, a case body 10 in which the lower part of the body part 9 is housed, and a support that supports the body part 9 and the case body 10 so as to be movable in the horizontal direction. A member (not shown) is provided.
  • Hand 5 of this embodiment is the first hand
  • hand 6 is the second hand.
  • the arm 7 of this embodiment is a first arm
  • the arm 8 is a second arm.
  • the arms 7 and 8 are multi-jointed arms that extend and contract in the horizontal direction.
  • the arms 7 and 8 are composed of two arm parts, a first arm part 13 and a second arm part 14.
  • the base end side of the first arm portion 13 is rotatably connected to the main body portion 9.
  • a proximal end of a second arm 14 is rotatably connected to the distal end of the first arm 13 .
  • Hands 5 and 6 are rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 14 .
  • the first arm portion 13 is arranged above the main body portion 9.
  • the second arm section 14 is arranged above the first arm section 13.
  • the hands 5 and 6 are arranged above the second arm section 14.
  • the base end side of the first arm part 13 of the arm 7 and the base end side of the first arm part 13 of the arm 8 are connected to the main body part 9 while being adjacent to each other in the horizontal direction. Further, the arm 7 and the arm 8 are arranged adjacent to each other, and are arranged at the same position in the vertical direction.
  • the arms 7 and 8 have two positions: one in which the arms 7 and 8 extend so that the tips of the hands 5 and 6 move away from the main body 9, and the other in which the arms 7 and 8 contract so that the tips of the hands 5 and 6 approach the main body 9. It is possible to expand and contract horizontally between the two.
  • the main body portion 9 is rotatable with respect to the case body 10 with the vertical direction as the axis of rotation. Moreover, the main body part 9 is movable up and down with respect to the case body 10.
  • the case body 10 is linearly movable in the horizontal direction with respect to the support member.
  • the moving direction of the case body 10 with respect to the support member (the Y direction in FIG. 2, etc.) will be referred to as the "left-right direction," and the X direction in FIG. do.
  • one side in the front-back direction, the X1 direction side in Figure 2, etc., is the "front” side or the "front” side
  • the opposite side, the X2 direction side in Figure 2, etc. is the "rear” side or “rear” side. shall be.
  • two storage cassettes 3 are arranged with an interval in the left-right direction. Further, the storage cassette 3 is arranged at the rear side of the robot 1. That is, the robot 1 is placed on the front side of the storage cassette 3.
  • the conveyance target object 2 formed in the shape of a rectangular flat plate is stored in the storage cassette 3, the direction of the long side of the conveyance target object 2 substantially coincides with the front-back direction, and the direction of the short side of the conveyance target object 2 almost coincides with the left and right direction.
  • the robot 1 also includes an arm drive mechanism 15 that extends and contracts the arm 7 and rotates the hand 5, an arm drive mechanism 16 that extends and contracts the arm 8 and rotates the hand 6, and a main body that rotates the main body 9. a rotation mechanism 17 , a main body lifting mechanism 18 that raises and lowers the main body 9 , a horizontal movement mechanism 19 that moves the main body 9 in the horizontal direction together with the case 10 , and a control unit 20 that controls the robot 1 . It is equipped with
  • the arm drive mechanism 15 includes a motor serving as a drive source and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm 7 and hand 5.
  • the arm drive mechanism 16 includes a motor serving as a drive source and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm 8 and hand 6.
  • the arm drive mechanisms 15 and 16 are electrically connected to the control section 20. Specifically, the motors of the arm drive mechanisms 15 and 16 are electrically connected to the control section 20.
  • the arm drive mechanism 15 extends and contracts the arm 7 and rotates the hand 5 so that the hand 5 faces in a fixed direction with respect to the main body 9 and moves linearly in the horizontal direction. That is, the hand 5 moves linearly in the horizontal direction.
  • the arm drive mechanism 16 extends and contracts the arm 8 and rotates the hand 6 so that the arm 8 moves linearly in the horizontal direction with the hand 6 facing in a fixed direction with respect to the main body 9 . That is, the hand 6 moves linearly in the horizontal direction.
  • Hand 5 and hand 6 move linearly in the same direction.
  • the hand 5 moves linearly in the front-rear direction with respect to the storage cassette 3 while facing in a certain direction.
  • the hand 6 moves linearly in the front-rear direction relative to the storage cassette 3 while facing in a certain direction.
  • the front-rear direction (X direction) is the direction of movement of the hands 5 and 6 with respect to the storage cassette 3.
  • the main body rotation mechanism 17 rotates the main body 9 relative to the case body 10 with the vertical direction as the axis of rotation.
  • the main body rotation mechanism 17 includes a motor serving as a drive source and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the main body 9.
  • the main body rotation mechanism 17 is housed in the case body 10.
  • the main body rotation mechanism 17 is electrically connected to the control section 20. Specifically, the motor of the main body rotation mechanism 17 and the like are electrically connected to the control section 20 .
  • the main body lifting mechanism 18 raises and lowers the main body 9 with respect to the case body 10. Further, the main body lifting mechanism 18 raises and lowers the main body rotating mechanism 17 together with the main body 9.
  • the main body lifting mechanism 18 is housed in the case body 10.
  • the main body lifting mechanism 18 includes a motor serving as a drive source and a power transmission mechanism transmitting the power of the motor to the main body 9.
  • the main body lifting mechanism 18 is electrically connected to the control unit 20. Specifically, the motor of the main body lifting mechanism 18 and the like are electrically connected to the control unit 20.
  • the horizontal movement mechanism 19 linearly moves the case body 10 in the left-right direction with respect to the support member.
  • the horizontal movement mechanism 19 includes a motor serving as a drive source and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the case body 10.
  • the horizontal movement mechanism 19 is electrically connected to the control section 20. Specifically, the motor of the horizontal movement mechanism 19 and the like are electrically connected to the control section 20 .
  • FIG. 4 is a plan view for explaining the configuration of the hand 5 shown in FIG. 1.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the configuration of the engaging portion 23 from the EE direction in FIG. 4.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the configuration of the hand 5 shown in FIG. 1.
  • the hands 5 and 6 move linearly in the horizontal direction with respect to the main body part 9. Moreover, the hand 5 and the hand 6 move linearly in the same direction with respect to the main body part 9.
  • a direction perpendicular to the moving direction of the hands 5 and 6 and the up-down direction will be referred to as a first direction.
  • the first direction coincides with the left-right direction.
  • the hand 5 includes an engaging portion 23 that engages with an end of the object 2 to be transported.
  • the engaging portion 23 constitutes the tip of the hand 5.
  • a base end portion of the hand 5 is connected to the arm 7 .
  • the engaging portion 23 includes a gripping mechanism 24 that grips the end of the object 2 to be transported.
  • the gripping mechanism 24 includes, for example, an upper gripping member 25 and a lower gripping member 26 that vertically grip an end of the object to be transported 2, and a gripping member elevating mechanism 27 that raises and lowers the upper gripping member 25 (see FIG. 3). ).
  • the upper gripping member 25 is arranged above the end of the conveyed object 2 gripped by the gripping mechanism 24, and the lower gripping member 26 is arranged below the end of the conveyed object 2 gripped by the gripping mechanism 24. It is located in The end of the object to be transported 2 is placed on the upper surface of the lower gripping member 26 .
  • the gripping member elevating mechanism 27 has two positions: a gripping position where the upper gripping member 25 contacts the upper surface of the end of the conveyed object 2 and the gripping mechanism 24 grips the conveyed object 2 (the position shown by the solid line in FIG. 5); The upper gripping member 25 is raised and lowered between a retracted position (a position indicated by a two-dot chain line in FIG. 5) where the gripping member 25 is retracted away from the upper surface of the end of the conveyed object 2.
  • the gripping member elevating mechanism 27 includes a driving source such as a motor, a solenoid, or an air cylinder, and a power transmission mechanism that transmits the power of the driving source to the upper gripping member 25.
  • the gripping member elevating mechanism 27 is electrically connected to the control section 20. Specifically, a drive source for the gripping member elevating mechanism 27 and the like are electrically connected to the control unit 20 . Note that the gripping member elevating mechanism 27 may raise and lower two gripping members, the upper gripping member 25 and the lower gripping member 26.
  • the hand 5 moves linearly in the front-rear direction relative to the storage cassette 3 while facing in a certain direction.
  • the engaging portion 23 constitutes the rear end of the hand 5 and engages with the front end (the end on the near side) of the object to be transported 2. That is, when the object 2 to be transported is transported to the storage cassette 3, the gripping mechanism 24 grips the front end of the object 2 to be transported.
  • the width of the upper gripping member 25 and the lower gripping member 26 in the first direction (that is, the width in the left-right direction of the upper gripping member 25 and the lower gripping member 26 when transporting the object 2 to the storage cassette 3) is It is narrower than the width of the object 2 in the short side direction.
  • the upper gripping member 25 and the lower gripping member 26 grip the center portion of the front end of the transporting object 2 in the left-right direction. That is, the gripping mechanism 24 grips the central portion of the conveyed object 2 in the first direction.
  • the hand 6 includes a placing section 6a on which the object 2 to be transported is placed.
  • the mounting portion 6a constitutes the tip of the hand 6.
  • a base end portion of the hand 6 is connected to the arm 8 .
  • the center of the mounting portion 6a in the first direction and the center of the engaging portion 23 in the first direction are arranged at the same position in the first direction.
  • the hand 6 moves linearly in the front-rear direction relative to the storage cassette 3 while facing in a certain direction.
  • the placing section 6a constitutes the rear end of the hand 6.
  • the mounting portion 6a is formed with a mounting surface 6b on which the end of the object to be transported 2 in the short side direction is mounted.
  • the mounting surfaces 6b are formed at two locations on both end sides in the first direction. That is, the objects 2 to be transported in the first direction are on both ends of the mounting section 6a in the first direction (that is, both ends of the mounting section 6a in the left-right direction when transporting the objects 2 to the storage cassette 3).
  • a mounting surface 6b is formed on which both ends of the mounting surface 6b are mounted.
  • the mounting surface 6b is a plane perpendicular to the vertical direction.
  • the lower surface of the object to be transported 2 comes into contact with the mounting surface 6b.
  • the mounting surface 6b is formed in a rectangular shape that is elongated in the direction of movement of the hand 6.
  • the length of the mounting surface 6b in the long side direction is shorter than the length of the conveyed object 2 in the long side direction.
  • a distal end side upper surface 6c which is a portion of the upper surface of the hand 6 between the two placement surfaces 6b in the first direction, is a flat surface disposed below the placement surface 6b. That is, the portion of the upper surface of the hand 6 between the two placement surfaces 6b in the first direction is arranged below the placement surface 6b.
  • the distal end side upper surface 6c is a plane perpendicular to the vertical direction.
  • the upper surface of the portion of the hand 6 excluding the mounting portion 6a is arranged at the same position as the distal end side upper surface 6c in the vertical direction.
  • the upper surface of the portion of the hand 6 excluding the mounting portion 6a is a plane perpendicular to the vertical direction, and is connected to the distal end side upper surface 6c.
  • a guide portion 6d is formed on the placing portion 6a to restrict the movement of the conveyed object 2 in the first direction (that is, to restrict the movement of the conveyed object 2 in the direction of the short side of the conveyed object 2).
  • the guide portions 6d are formed at two locations on both ends of the mounting portion 6a in the first direction.
  • the guide portion 6d is formed outside the mounting surface 6b in the first direction.
  • the guide portion 6d projects upward. An end surface parallel to the long side of the object to be transported 2 can come into contact with the guide portion 6d.
  • FIG. 6 and 7 are diagrams for explaining the operation of the robot 1 shown in FIG. 1 when transporting the object 2 to be transported with respect to the storage cassette 3.
  • the hand 5 moves the conveyed object 2 stored in the accommodation cassette 3 to a position where it can be placed on the placement part 6a of the hand 6. Perform a pull-out operation to pull out the object.
  • the hand 5 pulls out the conveyed object 2 whose front end portion is engaged with the engaging portion 23 from the storage cassette 3 .
  • the hand 5 placed at a predetermined standby position shown in FIG. It moves toward the rear (inner side) toward the storage cassette 3 (see FIG. 6(B)). That is, the arm 7 extends to a position where the gripping mechanism 24 can grip the front end of the object 2 to be transported. Thereafter, the front end portion of the conveyed object 2 is gripped by the gripping mechanism 24 (see FIG. 6(B)). That is, the engaging portion 23 engages with the front end of the object to be transported 2 during the pulling operation.
  • the hand 6 placed at a predetermined standby position shown in FIG. 6(A) also moves rearward toward the storage cassette 3. Specifically, the hand 6 moves rearward to a position where the placement part 6a is adjacent to the storage cassette 3 on the front side of the storage cassette 3, and then stops. That is, during the pulling operation, the hand 6 is stopped at a position in front of the storage cassette 3 and the placement portion 6a is adjacent to the storage cassette 3, and is waiting immediately in front of the storage cassette 3. At this time, the mounting surface 6b of the hand 6 is arranged at the same position in the vertical direction as the lower surface of the conveyed object 2 to be carried out.
  • the hand 5 that grips the object to be transported 2 moves toward the front (that is, the arm 7 contracts), and pulls out the object to be transported 2 from the storage cassette 3 to the front.
  • the hand 5 that grips the object to be transported 2 moves forward, the front end of the object to be transported 2 is eventually placed on the mounting surface 6b of the mounting section 6a. Thereafter, the hand 5 further moves forward until the rear end of the object to be transported 2 is placed on the placement surface 6b.
  • the drawing operation by the hand 5 is completed.
  • the hands 5 and 6 move forward together (see FIG. 7). That is, arms 7 and 8 are contracted.
  • the gripping mechanism 24 grips the front end of the object 2 to be transported.
  • the robot 1 rotates the main body 9, moves the main body 9 up and down, moves the main body 9 horizontally, extends and contracts the arms 7 and 8, and carries out the transport target from the storage cassette 3. 2 to a predetermined position.
  • the gripping mechanism 24 grips the end of the object 2 to be transported.
  • the hand 5 performs a pushing operation to push the object 2 placed on the placement section 6a to a position where it is stored in the storage cassette 3. conduct.
  • the hand 5 pushes the conveyed object 2 whose front end portion is engaged with the engaging portion 23 into the storage cassette 3 . That is, the engaging portion 23 engages with the front end of the conveyed object 2 during the pushing operation.
  • the hands 5 and 6 arranged at the position shown in FIG. 7 move together toward the rear side toward the storage cassette 3. Specifically, the hands 5 and 6 move together to the rear side until the placement part 6a is adjacent to the storage cassette 3 on the front side of the storage cassette 3. At this time, the gripping mechanism 24 grips the front end of the object 2 to be transported. After that, the hand 6 stops. That is, during the pushing operation, the hand 6 is stopped at a position in front of the storage cassette 3 where the placement portion 6a is adjacent to the storage cassette 3. At this time, the placement surface 6b of the hand 6 is at the same position in the vertical direction as the placement surface of the storage cassette 3 (the placement surface of the cassette-side placement section) on which the transported object 2 is placed. It is located.
  • the hand 5 moves further to the rear and pushes the object 2 to the rear (inner side) to a position where the front end of the object 2 is placed on the front end of the storage cassette 3. That is, the hand 5 pushes the object to be transported 2 to the back side to a position where the object to be transported 2 is accommodated in the storage cassette 3 . Thereafter, the hand 5 releases the gripping state of the transport target 2 by the gripping mechanism 24 . When the gripping state of the conveyed object 2 is released, the pushing operation by the hand 5 is completed. After that, the hands 5 and 6 move, for example, to the front side.
  • the hand 5 having the engaging part 23 that engages with the front end of the object to be transported 2 is able to move the object to be transported 2 stored in the storage cassette 3 to the placement part of the hand 6.
  • a pull-out operation is performed to pull out the object 2 from the storage cassette 3 to a position where it can be placed on the storage cassette 3, and a push-in operation is performed to push the conveyed object 2 placed on the placement section 6a to a position where it can be stored in the storage cassette 3.
  • the object to be transported 2 can be pulled out from the storage cassette 3 by the pulling operation of the hand 5 whose engaging portion 23 is engaged with the front end of the conveyed object 2. It becomes possible to place the conveyed object 2 on the placing part 6a and take it out from the storage cassette 3, and the engaging part 23 engages with the front end of the conveyed object 2. By the pushing operation of the hand 5, it becomes possible to carry the object 2 placed on the placement section 6a into the storage cassette 3.
  • the storage cassette 3 It becomes possible to carry out the conveyance target object 2 from the storage cassette 3, and also to carry in the conveyance target object 2 into the storage cassette 3.
  • the engaging part 23 includes a gripping mechanism 24 that grips the end of the object 2 to be transported, and when the hand 5 performs a pull-out operation and the hand 5 performs a push-in operation, the end of the transport object 2 is , is gripped by the gripping mechanism 24. Therefore, in this embodiment, it is possible to stabilize the state of the conveyed object 2 when performing a pull-out operation or a push-in operation.
  • the object 2 placed on the placing section 6a is gripped by the gripping mechanism 24 even when the conveyed object 2 placed on the placing section 6a is being conveyed, the object 2 placed on the placing section 6a is It becomes possible to stabilize the state of the object to be transported 2 when the object to be transported 2 is transported.
  • a guide portion 6d that restricts movement of the conveyed object 2 in the first direction is formed on the placing portion 6a. Therefore, in this embodiment, it is possible to stabilize the state of the object to be transported 2 when the object to be transported 2 placed on the mounting section 6a is transported.
  • the distal end side upper surface 6c which is the portion of the upper surface of the hand 6 between the two placement surfaces 6b in the first direction, is a flat surface disposed below the placement surface 6b. Therefore, it is possible to prevent interference between the lower gripping member 26 and the mounting portion 6a when the hand 5 performs a pulling operation or a pushing operation.
  • the guide section 6d may not be formed on the placement section 6a. It's okay.
  • the end portion of the object to be transported 2 is gripped by being vertically sandwiched between two gripping members, the upper gripping member 25 and the lower gripping member 26.
  • the width of the object 2 in the short side direction is narrow, the end portion of the object 2 to be transported may be gripped by being sandwiched between two gripping members in the first direction.
  • the engaging portion 23 does not need to include the gripping mechanism 24.
  • an engagement hole is formed at the end of the object to be transported 2
  • the engagement portion 23 includes an engagement claw that is inserted into and engaged with this engagement hole.
  • the engagement claw of the engagement portion 23 engages with the engagement hole of the conveyed object 2 during the pull-out operation and the push-in operation by the hand 5 .
  • the hand 5 may perform only a pulling operation or only a pushing operation.
  • the conveyed object 2 may be formed in a flat plate shape other than a rectangle.
  • the conveyed object 2 may be formed into a square flat plate shape or may be formed into a disk shape.
  • the arm 7 and the arm 8 are arranged at the same position in the vertical direction and are adjacent to each other in the horizontal direction. , the arm 7 and the arm 8 may be arranged at positions shifted from each other in the vertical direction.
  • the robot 1 includes two arms 7 and 8, but the robot 1 has one arm to which the two hands 5 and 6 are rotatably connected to the tip side. It is also possible to have the following. In this case, for example, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-89739, the arm may be composed of three arm parts or two arm parts. good.
  • the robot 1 has two hands 5 and 6 that can move linearly in the same horizontal direction, as disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-25587. 5 and 6 may be provided.
  • the present technology can have the following configuration.
  • (1) In industrial robots that transport objects, comprising a first hand having an engaging part that engages with an end of the object to be transported, and a second hand having a placing part on which the object to be transported is placed;
  • the first hand performs a pulling operation to pull out the object to be transported stored in the storage section from the storage section in which the object to be transported is stored to a position where it can be placed on the storage section;
  • An industrial robot characterized in that the industrial robot performs at least one of a pushing operation of pushing the object to be transported, which has been placed on the container, into a position where it is stored in the storage section.
  • the industrial robot according to (1) further comprising a main body portion to which the side and the base end side of the second arm are rotatably connected.
  • the first hand moves linearly in a horizontal direction;
  • One side in the moving direction of the first hand with respect to the housing section is the front side, and the opposite side to the front side is the back side
  • the industrial robot is arranged on the front side of the housing part,
  • the engaging portion engages with the front end of the object to be conveyed during the pulling operation and the pushing operation, (2), wherein the second hand is stopped at a position in front of the accommodating section and the placing section is adjacent to the accommodating section during the pulling operation and the pushing operation.
  • industrial robot (4) The industrial robot according to any one of (1) to (3), wherein the engaging portion includes a gripping mechanism that grips an end of the object to be transported.
  • the first hand moves linearly in a horizontal direction; If the direction perpendicular to the moving direction of the first hand and the vertical direction is the first direction, The gripping mechanism grips a central portion of the conveyed object in the first direction, Placing surfaces on which both ends of the object to be transported in the first direction are placed are formed on both end sides of the placement part in the first direction, The industry according to (4), wherein a portion of the upper surface of the placement part between the two placement surfaces in the first direction is located below the placement surface. robot.
  • the first hand moves linearly in a horizontal direction; If the direction perpendicular to the moving direction of the first hand and the vertical direction is the first direction,
  • the industrial robot according to any one of (1) to (5), characterized in that the placing section is provided with a guide section that restricts movement of the object to be transported in the first direction.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容部に収容される複数枚の搬送対象物の上下方向の間隔が狭くなっていても、収容部からの搬送対象物の搬出や収容部への搬送対象物の搬入を行うことが可能な産業用ロボットを提供する。この産業用ロボットは、搬送対象物2の端部に係合する係合部を有する第1ハンド5と、搬送対象物2が載置される載置部6aを有する第2ハンド6とを備えている。第1ハンド5は、搬送対象物2が収容される収容部から載置部6aに載置可能な位置まで収容部に収容される搬送対象物2を引き出す引出動作、および、載置部6aに載置されていた搬送対象物2を収容部に収容される位置まで押し込む押込動作の少なくともいずれか一方を行っている。

Description

産業用ロボット
 本発明は、搬送対象物を搬送するための産業用ロボットに関する。
 従来、平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される2個のハンドと、2個のハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される2本のアームと、2本のアームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。ハンドは、アームの先端側に回動可能に連結されるハンド基部と、ハンド基部から水平方向に伸びる複数のフォークとを備えている。搬送対象物は、フォークに載置される。
 特許文献1に記載の産業用ロボットは、複数枚の搬送対象物が収容される収容カセットから搬送対象物を搬出したり、収容カセットに搬送対象物を搬入したりする。収容カセットには、複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセットからの搬送対象物の搬出時には、上下方向で重なるように収容カセットに収容されている搬送対象物の間にハンドのフォークが入り込み(すなわち、収容カセットの奥側までフォークが入り込み)、搬送対象物を持ち上げて搬出する。また、収容カセットへの搬送対象物の搬入時には、搬送対象物が載置されたフォークが収容カセットの奥側まで入り込んで、搬送対象物を収容カセットの中に置く。
特開2021-167045号公報
 特許文献1に記載の産業用ロボットの場合、収容カセットに収容される搬送対象物の上下方向の間隔(ピッチ)が狭くなると、ハンドのフォークを収容カセットの奥側まで入れることができなくなって、収容カセットからの搬送対象物の搬出や収容カセットへの搬送対象物の搬入ができなくなるおそれがある。
 そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容部に収容される複数枚の搬送対象物の上下方向の間隔が狭くなっていても、収容部からの搬送対象物の搬出や収容部への搬送対象物の搬入を行うことが可能な産業用ロボットを提供することにある。
 上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の端部に係合する係合部を有する第1ハンドと、搬送対象物が載置される載置部を有する第2ハンドとを備え、第1ハンドは、搬送対象物が収容される収容部から載置部に載置可能な位置まで収容部に収容される搬送対象物を引き出す引出動作、および、載置部に載置されていた搬送対象物を収容部に収容される位置まで押し込む押込動作の少なくともいずれか一方を行うことを特徴とする。
 本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物の端部に係合する係合部を有する第1ハンドは、収容部に収容される搬送対象物を第2ハンドの載置部に載置可能な位置まで収容部から引き出す引出動作、および、第2ハンドの載置部に載置されていた搬送対象物を収容部に収容される位置まで押し込む押込動作の少なくともいずれか一方を行っている。
 そのため、本発明では、収容部の奥側まで第1ハンドを入れなくても、搬送対象物の端部に係合部が係合している第1ハンドの引出動作によって収容部から引き出された搬送対象物を第2ハンドの載置部に載置して収容部から搬送対象物を搬出したり、搬送対象物の端部に係合部が係合している第1ハンドの押込動作によって、載置部に載置されていた搬送対象物を収容部に搬入したりすることが可能になる。したがって、本発明では、上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容部に収容される搬送対象物の上下方向の間隔が狭くなっていて、収容部の奥側まで第1ハンドおよび第2ハンドを入れることができなくても、収容部からの搬送対象物の搬出や収容部への搬送対象物の搬入を行うことが可能になる。
 本発明において、たとえば、産業用ロボットは、第1ハンドが先端側に回動可能に連結される第1アームと、第2ハンドが先端側に回動可能に連結される第2アームと、第1アームの基端側および第2アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。
この場合には、たとえば、第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、収容部に対する第1ハンドの移動方向の一方側を手前側とし、手前側の反対側を奥側とすると、産業用ロボットは、収容部の手前側に配置され、係合部は、引出動作時および押込動作時に、搬送対象物の手前側の端部に係合し、第2ハンドは、引出動作時および押込動作時に、収容部の手前側で載置部が収容部に隣接する位置で停止している。
 本発明において、係合部は、搬送対象物の端部を把持する把持機構を備えることが好ましい。このように構成すると、引出動作時や押込動作時に把持機構によって搬送対象物の端部を把持することが可能になるため、引出動作や押込動作を行うときの搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。また、このように構成すると、載置部に載置された搬送対象物の搬送時に把持機構によって搬送対象物の端部を把持することが可能になるため、載置部に載置された搬送対象物を搬送するときの搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。
 本発明において、たとえば、第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、把持機構は、第1方向における搬送対象物の中心部分を把持し、載置部の第1方向の両端側には、第1方向における搬送対象物の両端部が載置される載置面が形成され、載置部の上面の、第1方向における2個の載置面の間の部分は、載置面よりも下側に配置されている。この場合には、第1ハンドが引出動作や押込動作を行うときの、把持機構の構成部品と載置部との干渉を防止することが可能になる。
 本発明において、第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、載置部には、第1方向において搬送対象物の移動を規制するガイド部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、載置部に載置された搬送対象物を搬送するときの搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。
 以上のように、本発明の産業用ロボットでは、上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容部に収容される複数枚の搬送対象物の上下方向の間隔が狭くなっていても、収容部からの搬送対象物の搬出や収容部への搬送対象物の搬入を行うことが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの要部の斜視図である。 図1に示す産業用ロボットが使用される製造システムの概略平面図である。 図1に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。 図1に示す第1ハンドの構成を説明するための平面図である。 図4のE-E方向から係合部の構成を説明するための図である。 図1に示す産業用ロボットの、収容部に対する搬送対象物の搬送時の動作を説明するための図である。 図1に示す産業用ロボットの、収容部に対する搬送対象物の搬送時の動作を説明するための図である。
 以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
 (産業用ロボットの全体構成)
 図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の要部の斜視図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1が使用される製造システム4の概略平面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の構成を説明するためのブロック図である。
 本形態の産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、所定の搬送対象物2(図4等参照)を搬送するための水平多関節型のロボットである。搬送対象物2は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。また、搬送対象物2は、薄い平板状に形成されている。ロボット1は、複数枚の搬送対象物2が収容される収容部としての収容カセット3がセットされる所定の製造システム4で使用される。ロボット1は、収容カセット3からの搬送対象物2の搬出と、収容カセット3への搬送対象物2の搬入とを行う。
 収容カセット3に収容される搬送対象物2の厚さ方向は、上下方向(鉛直方向)と一致している。収容カセット3には、複数枚の搬送対象物2が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセット3の内部には、搬送対象物2が載置される複数のカセット側載置部が形成されている。収容カセット3に収容される搬送対象物2の上下方向の間隔(ピッチ)は狭くなっている。
 ロボット1は、2個のハンド5、6と、ハンド5が先端側に回動可能に連結されるアーム7と、ハンド6が先端側に回動可能に連結されるアーム8と、アーム7、8の基端側が回動可能に連結される本体部9と、本体部9の下側部分が収容されるケース体10と、本体部9およびケース体10を水平方向に移動可能に支持する支持部材(図示省略)とを備えている。本形態のハンド5は、第1ハンドであり、ハンド6は、第2ハンドである。また、本形態のアーム7は、第1アームであり、アーム8は、第2アームである。
 アーム7、8は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム7、8は、第1アーム部13と第2アーム部14との2個のアーム部によって構成されている。第1アーム部13の基端側は、本体部9に回動可能に連結されている。第1アーム部13の先端側には、第2アーム部14の基端側が回動可能に連結されている。第2アーム部14の先端側には、ハンド5、6が回動可能に連結されている。
 第1アーム部13は、本体部9よりも上側に配置されている。第2アーム部14は、第1アーム部13よりも上側に配置されている。ハンド5、6は、第2アーム部14よりも上側に配置されている。アーム7の第1アーム部13の基端側とアーム8の第1アーム部13の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態で本体部9に連結されている。
また、アーム7とアーム8とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。
 水平方向において、本体部9に対する第1アーム部13の回動中心と第1アーム部13に対する第2アーム部14の回動中心との距離と、第1アーム部13に対する第2アーム部14の回動中心と第2アーム部14に対するハンド5、6の回動中心との距離とは等しくなっている。アーム7、8は、ハンド5、6の先端が本体部9から離れるようにアーム7、8が伸びる位置と、ハンド5、6の先端が本体部9に近づくようにアーム7、8が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。
 本体部9は、ケース体10に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。また、本体部9は、ケース体10に対して昇降可能になっている。ケース体10は、支持部材に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。以下の説明では、支持部材に対するケース体10の移動方向(図2等のY方向)を「左右方向」とし、左右方向と上下方向とに直交する図2等のX方向を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図2等のX1方向側を「前」側または「手前」側とし、その反対側である図2等のX2方向側を「後ろ」側または「奥」側とする。
 本形態では、たとえば、2個の収容カセット3が左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、収容カセット3は、ロボット1の後ろ側に配置されている。すなわち、ロボット1は、収容カセット3の手前側に配置されている。長方形状の平板状に形成される搬送対象物2が収容カセット3に収容されているときには、搬送対象物2の長辺の方向が前後方向と略一致し、搬送対象物2の短辺の方向が左右方向と略一致している。
 また、ロボット1は、アーム7を伸縮させるとともにハンド5を回動させるアーム駆動機構15と、アーム8を伸縮させるとともにハンド6を回動させるアーム駆動機構16と、本体部9を回動させる本体部回動機構17と、本体部9を昇降させる本体部昇降機構18と、ケース体10と一緒に本体部9を水平方向に移動させる水平移動機構19と、ロボット1を制御する制御部20とを備えている。
 アーム駆動機構15は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム7およびハンド5に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構16は、アーム駆動機構15と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム8およびハンド6に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構15、16は、制御部20に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構15、16のモータ等が制御部20に電気的に接続されている。
 アーム駆動機構15は、本体部9に対してハンド5が一定方向を向いた状態で水平方向に直線的に移動するようにアーム7を伸縮させるとともにハンド5を回動させる。すなわち、ハンド5は、水平方向に直線的に移動する。アーム駆動機構16は、本体部9に対してハンド6が一定方向を向いた状態で水平方向に直線的に移動するようにアーム8を伸縮させるとともにハンド6を回動させる。すなわち、ハンド6は、水平方向に直線的に移動する。ハンド5とハンド6とは、同じ方向へ直線的に移動する。
 収容カセット3からの搬送対象物2の搬出時、および、収容カセット3への搬送対象物2の搬入時(以下、「収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時」とする。)には、ハンド5は、一定方向を向いた状態で収容カセット3に対して前後方向に直線的に移動する。また、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、ハンド6は、一定方向を向いた状態で収容カセット3に対して前後方向に直線的に移動する。本形態の前後方向(X方向)は、収容カセット3に対するハンド5、6の移動方向となっている。
 本体部回動機構17は、上下方向を回動の軸方向としてケース体10に対して本体部9を回動させる。本体部回動機構17は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部9に伝達する動力伝達機構とを備えている。本体部回動機構17は、ケース体10に収容されている。本体部回動機構17は、制御部20に電気的に接続されている。具体的には、本体部回動機構17のモータ等が制御部20に電気的に接続されている。
 本体部昇降機構18は、ケース体10に対して本体部9を昇降させる。また、本体部昇降機構18は、本体部9と一緒に本体部回動機構17を昇降させる。本体部昇降機構18は、ケース体10に収容されている。本体部昇降機構18は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部9に伝達する動力伝達機構とを備えている。本体部昇降機構18は、制御部20に電気的に接続されている。具体的には、本体部昇降機構18のモータ等が制御部20に電気的に接続されている。
 水平移動機構19は、支持部材に対してケース体10を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構19は、駆動源となるモータと、モータの動力をケース体10に伝達する動力伝達機構とを備えている。水平移動機構19は、制御部20に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構19のモータ等が制御部20に電気的に接続されている。
 (ハンドの構成)
 図4は、図1に示すハンド5の構成を説明するための平面図である。図5は、図4のE-E方向から係合部23の構成を説明するための図である。
 上述のように、ハンド5、6は、本体部9に対して水平方向に直線的に移動する。また、ハンド5とハンド6とは、本体部9に対して同じ方向へ直線的に移動する。以下の説明では、ハンド5、6の移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とする。収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、第1方向は左右方向と一致している。
 ハンド5は、搬送対象物2の端部に係合する係合部23を備えている。係合部23は、ハンド5の先端部を構成している。アーム7には、ハンド5の基端部が連結されている。
係合部23は、搬送対象物2の端部を把持する把持機構24を備えている。把持機構24は、たとえば、搬送対象物2の端部を上下方向で挟んで把持する上側把持部材25および下側把持部材26と、上側把持部材25を昇降させる把持部材昇降機構27(図3参照)とを備えている。上側把持部材25は、把持機構24に把持される搬送対象物2の端部の上側に配置され、下側把持部材26は、把持機構24に把持される搬送対象物2の端部の下側に配置されている。搬送対象物2の端部は、下側把持部材26の上面に載置される。
 把持部材昇降機構27は、上側把持部材25が搬送対象物2の端部の上面に接触して把持機構24が搬送対象物2を把持する把持位置(図5の実線で示す位置)と、上側把持部材25が搬送対象物2の端部の上面から離れて退避する退避位置(図5の二点鎖線で示す位置)との間で上側把持部材25を昇降させる。把持部材昇降機構27は、モータ、ソレノイドまたはエアシリンダ等の駆動源と、駆動源の動力を上側把持部材25に伝達する動力伝達機構とを備えている。把持部材昇降機構27は、制御部20に電気的に接続されている。具体的には、把持部材昇降機構27の駆動源等が制御部20に電気的に接続されている。なお、把持部材昇降機構27は、上側把持部材25と下側把持部材26との2個の把持部材を昇降させても良い。
 上述のように、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、ハンド5は、一定方向を向いた状態で収容カセット3に対して前後方向に直線的に移動する。収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、係合部23は、ハンド5の後端部を構成しており、搬送対象物2の前端部(手前側の端部)に係合する。すなわち、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、把持機構24は、搬送対象物2の前端部を把持する。
 第1方向における上側把持部材25および下側把持部材26の幅(すなわち、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時における上側把持部材25および下側把持部材26の左右方向の幅)は、搬送対象物2の短辺方向の幅よりも狭くなっている。収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、上側把持部材25および下側把持部材26は、搬送対象物2の前端部の左右方向の中心部分を把持する。すなわち、把持機構24は、第1方向における搬送対象物2の中心部分を把持する。
 ハンド6は、搬送対象物2が載置される載置部6aを備えている。載置部6aは、ハンド6の先端部を構成している。アーム8には、ハンド6の基端部が連結されている。第1方向における載置部6aの中心と第1方向における係合部23の中心とは、第1方向において同じ位置に配置されている。上述のように、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、ハンド6は、一定方向を向いた状態で収容カセット3に対して前後方向に直線的に移動する。収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時には、載置部6aは、ハンド6の後端部を構成している。
 載置部6aには、搬送対象物2の短辺方向の端部が載置される載置面6bが形成されている。載置面6bは、第1方向の両端側の2箇所に形成されている。すなわち、載置部6aの第1方向の両端側(すなわち、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時における載置部6aの左右方向の両端側)には、第1方向における搬送対象物2の両端部が載置される載置面6bが形成されている。載置面6bは、上下方向に直交する平面となっている。載置面6bには、搬送対象物2の下面が接触する。載置面6bは、ハンド6の移動方向に細長い長方形状に形成されている。載置面6bの長辺の方向の長さは、搬送対象物2の長辺の方向の長さよりも短くなっている。
 ハンド6の上面の、第1方向における2個の載置面6bの間の部分である先端側上面6cは、載置面6bよりも下側に配置される平面となっている。すなわち、ハンド6の上面の、第1方向における2個の載置面6bの間の部分は、載置面6bよりも下側に配置されている。先端側上面6cは、上下方向に直交する平面となっている。ハンド6の、載置部6aを除いた部分の上面は、上下方向において先端側上面6cと同じ位置に配置されている。ハンド6の、載置部6aを除いた部分の上面は、上下方向に直交する平面となっており、先端側上面6cに繋がっている。
 また、載置部6aには、第1方向において搬送対象物2の移動を規制する(すなわち、搬送対象物2の短辺の方向において搬送対象物2の移動を規制する)ガイド部6dが形成されている。ガイド部6dは、第1方向における載置部6aの両端の2箇所に形成されている。ガイド部6dは、第1方向における載置面6bの外側に形成されている。ガイド部6dは、上側に向かって突出している。ガイド部6dには、搬送対象物2の、長辺に平行な端面が接触可能となっている。
 (産業用ロボットの動作)
 図6、図7は、図1に示すロボット1の、収容カセット3に対する搬送対象物2の搬送時の動作を説明するための図である。
 ロボット1が収容カセット3から搬送対象物2を搬出するときには、ハンド5は、収容カセット3に収容される搬送対象物2を、ハンド6の載置部6aに載置可能な位置まで収容カセット3から引き出す引出動作を行う。引出動作では、ハンド5は、係合部23が前端部に係合している搬送対象物2を収容カセット3から引き出す。
 引出動作では、まず、図6(A)に示す所定の待機位置に配置されるハンド5が、把持機構24による搬送対象物2の前端部(手前側の端部)の把持が可能な位置まで収容カセット3に向かって後ろ側(奥側)に移動する(図6(B)参照)。すなわち、搬送対象物2の前端部を把持機構24が把持可能な位置までアーム7が伸びる。その後、把持機構24によって搬送対象物2の前端部を把持する(図6(B)参照)。すなわち、係合部23は、引出動作時に、搬送対象物2の手前側の端部に係合する。
 ハンド5の移動前または移動時あるいは移動後には、図6(A)に示す所定の待機位置に配置されるハンド6も収容カセット3に向かって後ろ側に移動する。具体的には、収容カセット3の前側で載置部6aが収容カセット3に隣接する位置までハンド6が後ろ側に移動して停止する。すなわち、ハンド6は、引出動作時に、収容カセット3の手前側で載置部6aが収容カセット3に隣接する位置で停止しており、収容カセット3のすぐ前側で待機している。このときには、ハンド6の載置面6bは、上下方向において、搬出される搬送対象物2の下面と同じ位置に配置されている。
 その後、搬送対象物2を把持するハンド5が前側に向かって移動して(すなわち、アーム7が縮んで)、収容カセット3から前側へ搬送対象物2を引き出す。搬送対象物2を把持するハンド5が前側に移動すると、やがて、搬送対象物2の前端部が載置部6aの載置面6bに載置される。その後、さらに、ハンド5は、搬送対象物2の後端部が載置面6bに載置されるまで前側に移動する。この動作が完了すると、ハンド5による引出動作が完了する。
 搬送対象物2の後端部が載置面6bに載置されて、ハンド5による引出動作が完了すると、ハンド5とハンド6とが一緒に前側に移動する(図7参照)。すなわち、アーム7、8が縮む。たとえば、図7に示す位置まで、ハンド5、6が一緒に前側に移動する。このときには、把持機構24は、搬送対象物2の前端部を把持している。その後、ロボット1は、本体部9の回動動作、本体部9の昇降動作、本体部9の水平移動動作およびアーム7、8の伸縮動作等を行って、収容カセット3から搬出した搬送対象物2を所定位置まで搬送する。このときには、把持機構24は、搬送対象物2の端部を把持している。
 また、ロボット1が収容カセット3に搬送対象物2を搬入するときには、ハンド5は、載置部6aに載置されていた搬送対象物2を収容カセット3に収容される位置まで押し込む押込動作を行う。押込動作では、ハンド5は、係合部23が前端部に係合している搬送対象物2を収容カセット3に押し込む。すなわち、係合部23は、押込動作時に、搬送対象物2の手前側の端部に係合している。
 押込動作の前には、たとえば、図7に示す位置に配置されるハンド5、6が一緒に収容カセット3に向かって後ろ側に移動する。具体的には、収容カセット3の前側で載置部6aが収容カセット3に隣接する位置までハンド5、6が一緒に後ろ側に移動する。このときには、把持機構24は、搬送対象物2の前端部を把持している。その後、ハンド6は、停止する。すなわち、ハンド6は、押込動作時に、収容カセット3の手前側で載置部6aが収容カセット3に隣接する位置で停止している。このときには、ハンド6の載置面6bは、上下方向において、搬入される搬送対象物2が載置される収容カセット3の載置面(カセット側載置部の載置面)と同じ位置に配置されている。
 その後の押込動作では、ハンド5は、さらに後ろ側に移動して、搬送対象物2の前端部が収容カセット3の前端部に載る位置まで搬送対象物2を後ろ側(奥側)に押し込む。すなわち、ハンド5は、搬送対象物2が収容カセット3に収容される位置まで搬送対象物2を奥側に押し込む。その後、ハンド5は、把持機構24による搬送対象物2の把持状態を解除する。搬送対象物2の把持状態が解除されると、ハンド5による押込動作が完了する。その後、ハンド5、6は、たとえば、前側に移動する。
 (本形態の主な効果)
 以上説明したように、本形態では、搬送対象物2の前端部に係合する係合部23を有するハンド5は、収容カセット3に収容される搬送対象物2を、ハンド6の載置部6aに載置可能な位置まで収容カセット3から引き出す引出動作と、載置部6aに載置されていた搬送対象物2を収容カセット3に収容される位置まで押し込む押込動作とを行っている。
 そのため、本形態では、収容カセット3の奥側までハンド5を入れなくても、搬送対象物2の前端部に係合部23が係合しているハンド5の引出動作によって収容カセット3から引き出された搬送対象物2を載置部6aに載置して収容カセット3から搬送対象物2を搬出することが可能になるとともに、搬送対象物2の前端部に係合部23が係合しているハンド5の押込動作によって、載置部6aに載置されていた搬送対象物2を収容カセット3に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、収容カセット3に収容される搬送対象物2の上下方向の間隔が狭くなっていて、収容カセット3の奥側までハンド5、6を入れることができなくても、収容カセット3からの搬送対象物2の搬出を行うことが可能になるとともに、収容カセット3への搬送対象物2の搬入を行うことが可能になる。
 本形態では、係合部23は、搬送対象物2の端部を把持する把持機構24を備えており、ハンド5による引出動作時およびハンド5による押込動作時に、搬送対象物2の端部は、把持機構24によって把持されている。そのため、本形態では、引出動作や押込動作を行うときの搬送対象物2の状態を安定させることが可能になる。また、本形態では、載置部6aに載置された搬送対象物2の搬送時にも把持機構24によって搬送対象物2の端部が把持されているため、載置部6aに載置された搬送対象物2を搬送するときの搬送対象物2の状態を安定させることが可能になる。
 本形態では、載置部6aに、第1方向において搬送対象物2の移動を規制するガイド部6dが形成されている。そのため、本形態では、載置部6aに載置された搬送対象物2を搬送するときの搬送対象物2の状態を安定させることが可能になる。また、本形態では、ハンド6の上面の、第1方向における2個の載置面6bの間の部分である先端側上面6cは、載置面6bよりも下側に配置される平面となっているため、ハンド5が引出動作や押込動作を行うときの、下側把持部材26と載置部6aとの干渉を防止することが可能になる。
 (他の実施の形態)
 上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
 上述した形態において、載置部6aに載置される搬送対象物2を把持機構24によってより安定した状態で把持することができるのであれば、載置部6aにガイド部6dが形成されていなくても良い。また、上述した形態では、搬送対象物2の端部は、上側把持部材25と下側把持部材26との2個の把持部材によって上下方向で挟まれることで把持されているが、たとえば、搬送対象物2の短辺の方向の幅が狭い場合には、搬送対象物2の端部は、2個の把持部材によって第1方向で挟まれることで把持されても良い。
 上述した形態において、係合部23は、把持機構24を備えていなくても良い。この場合には、たとえば、搬送対象物2の端部に係合穴が形成されるとともに、係合部23は、この係合穴に挿入されて係合する係合爪を備えている。この場合には、ハンド5による引出動作時および押込動作時に、搬送対象物2の係合穴に係合部23の係合爪が係合している。また、上述した形態において、ハンド5は、引出動作のみを行っても良いし、押込動作のみを行っても良い。また、上述した形態において、搬送対象物2は、長方形以外の形状の平板状に形成されていても良い。たとえば、搬送対象物2は、正方形の平板状に形成されていても良いし、円板状に形成されていても良い。
 上述した形態では、アーム7とアーム8とは、上下方向において同じ位置に配置されており、水平方向において互いに隣接しているが、たとえば、特開2021-167041号公報に開示されているように、アーム7とアーム8とが上下方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態では、ロボット1は、2本のアーム7、8を備えているが、ロボット1は、2個のハンド5、6が先端側に回動可能に連結される1本のアームを備えていても良い。この場合には、たとえば、特開2018-89739号公報に開示されているように、アームは、3個のアーム部によって構成されていても良いし、2個のアーム部によって構成されていても良い。また、ロボット1は、たとえば、特開2019-25587号公報に開示されているように、2個のハンド5、6が水平方向の同じ方向へ直線的に移動可能となるように2個のハンド5、6を保持する1個のアームを備えていても良い。
 (本技術の構成)
 なお、本技術は以下のような構成を取ることが可能である。
(1)搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
 前記搬送対象物の端部に係合する係合部を有する第1ハンドと、前記搬送対象物が載置される載置部を有する第2ハンドとを備え、
 前記第1ハンドは、前記搬送対象物が収容される収容部から前記載置部に載置可能な位置まで前記収容部に収容される前記搬送対象物を引き出す引出動作、および、前記載置部に載置されていた前記搬送対象物を前記収容部に収容される位置まで押し込む押込動作の少なくともいずれか一方を行うことを特徴とする産業用ロボット。
(2)前記第1ハンドが先端側に回動可能に連結される第1アームと、前記第2ハンドが先端側に回動可能に連結される第2アームと、前記第1アームの基端側および前記第2アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする(1)記載の産業用ロボット。
(3)前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
 前記収容部に対する前記第1ハンドの移動方向の一方側を手前側とし、手前側の反対側を奥側とすると、
 前記産業用ロボットは、前記収容部の手前側に配置され、
 前記係合部は、前記引出動作時および前記押込動作時に、前記搬送対象物の手前側の端部に係合し、
 前記第2ハンドは、前記引出動作時および前記押込動作時に、前記収容部の手前側で前記載置部が前記収容部に隣接する位置で停止していることを特徴とする(2)記載の産業用ロボット。
(4)前記係合部は、前記搬送対象物の端部を把持する把持機構を備えることを特徴とする(1)から(3)のいずれかに記載の産業用ロボット。
(5)前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
 前記第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、
 前記把持機構は、前記第1方向における前記搬送対象物の中心部分を把持し、
 前記載置部の前記第1方向の両端側には、前記第1方向における前記搬送対象物の両端部が載置される載置面が形成され、
 前記載置部の上面の、前記第1方向における2個の前記載置面の間の部分は、前記載置面よりも下側に配置されていることを特徴とする(4)記載の産業用ロボット。
(6)前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
 前記第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、
 前記載置部には、前記第1方向において前記搬送対象物の移動を規制するガイド部が形成されていることを特徴とする(1)から(5)のいずれかに記載の産業用ロボット。
 1 ロボット(産業用ロボット)
 2 搬送対象物
 3 収容カセット(収容部)
 5 ハンド(第1ハンド)
 6 ハンド(第2ハンド)
 6a 載置部
 6b 載置面
 6d ガイド部
 7 アーム(第1アーム)
 8 アーム(第2アーム)
 9 本体部
 23 係合部
 24 把持機構
 X 収容部に対する第1ハンドの移動方向
 X1 手前側
 X2 奥側

Claims (6)

  1.  搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
     前記搬送対象物の端部に係合する係合部を有する第1ハンドと、前記搬送対象物が載置される載置部を有する第2ハンドとを備え、
     前記第1ハンドは、前記搬送対象物が収容される収容部から前記載置部に載置可能な位置まで前記収容部に収容される前記搬送対象物を引き出す引出動作、および、前記載置部に載置されていた前記搬送対象物を前記収容部に収容される位置まで押し込む押込動作の少なくともいずれか一方を行うことを特徴とする産業用ロボット。
  2.  前記第1ハンドが先端側に回動可能に連結される第1アームと、前記第2ハンドが先端側に回動可能に連結される第2アームと、前記第1アームの基端側および前記第2アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
  3.  前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
     前記収容部に対する前記第1ハンドの移動方向の一方側を手前側とし、手前側の反対側を奥側とすると、
     前記産業用ロボットは、前記収容部の手前側に配置され、
     前記係合部は、前記引出動作時および前記押込動作時に、前記搬送対象物の手前側の端部に係合し、
     前記第2ハンドは、前記引出動作時および前記押込動作時に、前記収容部の手前側で前記載置部が前記収容部に隣接する位置で停止していることを特徴とする請求項2記載の産業用ロボット。
  4.  前記係合部は、前記搬送対象物の端部を把持する把持機構を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
  5.  前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
     前記第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、
     前記把持機構は、前記第1方向における前記搬送対象物の中心部分を把持し、
     前記載置部の前記第1方向の両端側には、前記第1方向における前記搬送対象物の両端部が載置される載置面が形成され、
     前記載置部の上面の、前記第1方向における2個の前記載置面の間の部分は、前記載置面よりも下側に配置されていることを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。
  6.  前記第1ハンドは、水平方向に直線的に移動し、
     前記第1ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を第1方向とすると、
     前記載置部には、前記第1方向において前記搬送対象物の移動を規制するガイド部が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
PCT/JP2023/021927 2022-06-29 2023-06-13 産業用ロボット WO2024004635A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022-104436 2022-06-29
JP2022104436A JP2024004685A (ja) 2022-06-29 2022-06-29 産業用ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024004635A1 true WO2024004635A1 (ja) 2024-01-04

Family

ID=89382018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/021927 WO2024004635A1 (ja) 2022-06-29 2023-06-13 産業用ロボット

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2024004685A (ja)
WO (1) WO2024004635A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0729957A (ja) * 1993-07-15 1995-01-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JPH11204461A (ja) * 1998-01-09 1999-07-30 Disco Abrasive Syst Ltd フレーム位置決め装置及びフレーム位置決め方法
JP2003264212A (ja) * 2002-03-11 2003-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd ウエハーの取り扱い装置と方法
JP2008302437A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2013030703A (ja) * 2011-07-29 2013-02-07 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd ウエハリングのアライメント方法並びにアライメント機構
CN114446847A (zh) * 2021-12-28 2022-05-06 长江存储科技有限责任公司 一种晶圆传送系统及晶圆传送方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0729957A (ja) * 1993-07-15 1995-01-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JPH11204461A (ja) * 1998-01-09 1999-07-30 Disco Abrasive Syst Ltd フレーム位置決め装置及びフレーム位置決め方法
JP2003264212A (ja) * 2002-03-11 2003-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd ウエハーの取り扱い装置と方法
JP2008302437A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2013030703A (ja) * 2011-07-29 2013-02-07 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd ウエハリングのアライメント方法並びにアライメント機構
CN114446847A (zh) * 2021-12-28 2022-05-06 长江存储科技有限责任公司 一种晶圆传送系统及晶圆传送方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024004685A (ja) 2024-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI398335B (zh) Workpiece conveying system
WO2012086164A1 (ja) 搬送ロボット、その基板搬送方法、及び基板搬送中継装置
CN113614005B (zh) 移载装置
JP3724361B2 (ja) 基板搬送装置
JP2017175072A (ja) 基板搬送ハンド及びロボット
US11970341B2 (en) Article transfer facility
CN109263750B (zh) 搬运台车
WO2024004635A1 (ja) 産業用ロボット
WO2015114850A1 (ja) 基板搬送システムおよび方法
JP6709692B2 (ja) ロボット、教示用治具およびロボットの教示方法
JP2002264065A (ja) ウエハ搬送ロボット
WO2024004636A1 (ja) 産業用ロボット
CN213916933U (zh) 一种上料装置
JP2023013991A (ja) 複合フォーク装置、それを含む集積回路製造システム、及びそれを用いた搬送方法
US20200270058A1 (en) Transfer device and stacker crane
CN113257723A (zh) 半导体工艺设备
JPS63244856A (ja) ウエハボ−トの移送装置
JPH068319U (ja) 分析装置における試料搬送機構
JP2017186115A (ja) 装置前自動倉庫
CN218950340U (zh) 载具循环运输装置
CN215515307U (zh) 移载定位装置及加工设备
WO2021100337A1 (ja) スタッカクレーン
KR200276090Y1 (ko) 반도체패키지 제조 장비의 그립퍼장치
JPS63247212A (ja) パレツトコンベヤ
CN116715009B (zh) 板材搬运装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23831083

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1