JP2017186115A - 装置前自動倉庫 - Google Patents
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Abstract
【課題】フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増大させることができる、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫を提供する。【解決手段】装置前自動倉庫1は、ロードポートLの上方に設けられた固定棚3と、前後方向に移動可能なスライド棚4と、ロードポートL、固定棚3、スライド棚4の間でFOUP10を移載する移載装置8と、を備え、移載装置8は、FOUP10を保持する保持部8cと、固定棚3よりも前方側に設けられ、保持部8cを上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置8fと、を有し、移載装置8により移載されるFOUP10が、前後方向に関して固定棚3と重なる状態で上下方向に移動可能な通路Pが設けられており、スライド棚4は、通路P内の第1位置と、第1位置の後方側であってスライド棚4及びスライド棚4に載置されたFOUP10が通路P外に位置する第2位置との間で移動可能である。【選択図】図2
Description
本発明は、装置前自動倉庫に関する。
例えば、半導体製造工場の処理装置に適用される装置前自動倉庫として、被搬送物の移載先が収容される収容空間を画成する収容部を有する本体と、本体内の収容部の上方に設けられ、被搬送物が載置される固定棚と、本体内において移載先と固定棚との間で被搬送物を移載する移載装置と、を備える装置前自動倉庫が知られている(例えば、特許文献1参照)。このような装置前自動倉庫では、移載装置により移載される被搬送物が、前後方向に関して固定棚と重なる状態で上下方向に移動可能とされているため、前後方向にコンパクトな構成とされる。
上述したような装置前自動倉庫では、処理装置の稼働率を向上させる観点から、固定棚等への被搬送物の収容量を増大させることが求められている。一方、半導体製造工場の限られたスペースにおいては、平面視における寸法(すなわち、フットプリント)を拡大することは難しい。
そこで、本発明は、フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増大させることができる、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫を提供することを目的とする。
本発明の装置前自動倉庫は、被搬送物の移載先の上方に設けられ、被搬送物が載置される固定棚と、被搬送物が載置されると共に前後方向に移動可能なスライド棚と、移載先と、固定棚と、スライド棚と、の間で被搬送物を移載する移載装置と、を備え、移載装置は、被搬送物を保持する保持部と、固定棚よりも前方側に設けられ、保持部を上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置と、を有し、移載装置により移載される被搬送物が、前後方向に関して固定棚と重なる状態で上下方向に移動可能な通路が設けられており、スライド棚は、通路内の第1位置と、第1位置の後方側であってスライド棚及びスライド棚に載置された被搬送物が通路外に位置する第2位置との間で移動可能である。
本発明によれば、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫において、第1位置とされたスライド棚に対して移載装置が被搬送物を受け渡しできると共に、スライド棚を第2位置に移動させることで移載装置による被搬送物の通路を形成できる。第2位置が、移載装置が設けられた側の逆側であるため、第2位置とされたスライド棚が移載装置の作動を妨げない。第2位置が、処理装置の上方等のデッドスペースとなるように装置前自動倉庫を設置することで、フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増加させることができる。
本発明の装置前自動倉庫では、スライド棚は、移載先を有する処理装置の上端部より高い位置に設けられていてもよい。この場合、デッドスペースとなる処理装置の上方に第2位置を位置させることにより、処理装置の上方を被搬送物の収納領域として用いることができる。よって、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる。
本発明の装置前自動倉庫では、駆動装置は、左右方向又は上下方向に延在する第1レールと、第1レールに支持され、左右方向及び上下方向のうち第1レールの延在方向ではない方向に延在すると共に、第1レールの延在方向に沿って移動可能である第2レールと、を有し、保持部は、第2レールに支持されると共に第2レールの延在方向に沿って移動可能であってもよい。この場合、前後方向にコンパクトな構成の駆動装置により、保持部を上下方向及び左右方向に移動させることができる。
本発明の装置前自動倉庫では、固定棚は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられており、通路は、左右方向において対向する一対の固定棚の間に設けられていてもよい。この場合、被搬送物の収納領域を拡大することができるため、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる。
本発明の装置前自動倉庫では、固定棚は、上下方向の最上段において複数設けられており、最上段の位置において移載先の上方に設けられた軌道を走行して被搬送物を搬送する搬送車との間で被搬送物を受け渡し可能であり、スライド棚は、最上段において左右方向で対向する一対の固定棚の間に挟まれる位置に設けられていてもよい。この場合、搬送車と最上段の固定棚との間で受け渡しされる被搬送物を、当該最上段の固定棚とスライド棚との間で速やかに移載することができる。
本発明の装置前自動倉庫では、スライド棚は、最上段に設けられた一対の固定棚の間に2つ並んで設けられていてもよい。この場合、搬送車と最上段の固定棚との間で受け渡しされる被搬送物を、当該最上段の固定棚とスライド棚との間で速やかに移載することができると共に、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を一層増大させることができる。
本発明の装置前自動倉庫では、装置前自動倉庫の本体から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在すると共にスライド棚を移動可能に支持する支持レールを備え、支持レールは、一方のスライド棚において他方のスライド棚と対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、他方のスライド棚において一方のスライド棚と対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられており、スライド棚は、支持レールの延在方向に沿って第1位置と第2位置との間で移動可能であってもよい。この場合、2つのスライド棚のそれぞれを他方のスライド棚に近い側の端部においてそれぞれ支持する支持レールを設けないことにより、通路が支持レールによって妨げられない。よって、容易に通路を形成することができる。
本発明の装置前自動倉庫では、通路の左右方向の両側に設けられている固定棚において、最上段に設けられた固定棚の左右方向の距離に比して、他の固定棚の左右方向の距離は短くてもよい。この場合、他の固定棚と移載先との間での被搬送物の移載に要する時間を短縮することができる。
本発明の装置前自動倉庫では、通路の左右方向の両側に設けられている固定棚において、最上段に設けられた固定棚の左右方向の距離と、他の固定棚の左右方向の距離とが等しくてもよい。この場合、2つのスライド棚のうち一方のみを第2位置に位置させるだけで、他方のスライド棚の位置によらずに、容易に通路を形成することができる。
本発明の装置前自動倉庫では、本体は、固定棚が移載先の上方に位置する第1本体位置と、固定棚が移載先の上方より前方に位置する第2本体位置との間で移動可能であり、支持レールは、本体が第2本体位置にあるときに移載先の上方から退避可能であってもよい。この場合、例えば装置前自動倉庫のメンテナンス等のために本体を第2本体位置に移動させた場合であっても、搬送車と移載先との間で被搬送物を直接移載することが可能となるため、処理装置の稼働を継続することができる。
本発明の装置前自動倉庫では、左右方向に延びる中心軸線回りに支持レールを回動させる回動装置を更に備え、回動装置は、支持レールが前後方向に延在すると共に本体の後方に突出する第1姿勢と、支持レールが上下方向に延在する第2姿勢との間で支持レールを回動させてもよい。この場合、例えば装置前自動倉庫のメンテナンス等のために本体を第2本体位置に移動させた場合であっても、搬送車と移載先との間で被搬送物を直接移載することが可能となるため、処理装置の稼働を継続することができる。
本発明によれば、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる装置前自動倉庫を提供することが可能となる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、装置前自動倉庫を設置した状態において、図中に示すX軸方向を「前後方向」、Y軸方向を「左右方向」、Z軸方向を「上下方向」とする。特にX軸正方向を「前方」、X軸負方向を「後方」とする。
[装置前自動倉庫の構成]
図1〜図3に示されるように、装置前自動倉庫1は、例えば半導体処理装置(処理装置)Mを備える半導体製造工場に配置されている。装置前自動倉庫1は、例えば天井搬送車(搬送車)Vから半導体処理装置Mのロードポート(移載先)Lに移載されるべき被搬送物を一時保管するための倉庫である。装置前自動倉庫1は、半導体処理装置Mの前面に近接して配置される。すなわち、装置前自動倉庫1の背面が、半導体処理装置Mの前面と相対向するように設置される。
図1〜図3に示されるように、装置前自動倉庫1は、例えば半導体処理装置(処理装置)Mを備える半導体製造工場に配置されている。装置前自動倉庫1は、例えば天井搬送車(搬送車)Vから半導体処理装置Mのロードポート(移載先)Lに移載されるべき被搬送物を一時保管するための倉庫である。装置前自動倉庫1は、半導体処理装置Mの前面に近接して配置される。すなわち、装置前自動倉庫1の背面が、半導体処理装置Mの前面と相対向するように設置される。
ここでは、被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたFOUP(Front Opening Unified Pod)10である。天井搬送車Vは、半導体製造工場の天井付近に敷設された軌道Tを走行してFOUP10を搬送するOHT(Overhead Hoist Transfer)である。軌道Tは、ロードポートLの上方に設けられている。
半導体処理装置Mは、ロードポートLにFOUP10が載置されると、当該FOUP10に収容されている半導体ウェハを装置内に取り込み、所定の処理を行う。そして、半導体処理装置Mは、半導体ウェハの処理を完了すると、当該半導体ウェハをFOUP10に再び収容する。なお、ロードポートLは、半導体処理装置Mの前面側に位置している。
装置前自動倉庫1は、本体2と、固定棚3と、スライド棚4と、支持レール5と、進退機構6と、回動装置7と、移載装置8と、を備える。
本体2は、装置前自動倉庫1の筐体である。本体2の前方及び側方は壁面によって覆われ、本体2の後方及び上方は開口している。本体2は、ロードポートLが収容される収容空間Rを画成する収容部2aを有する。収容部2aは、本体2の下部に形成されている。収容部2aは、本体2の後方の開口部を介してロードポートLを進入及び退出させることができる。
本体2は、下面の4隅に車輪2bを有する。本体2は、車輪2bによって前後方向に移動可能とされている。本体2は、装置前自動倉庫1の通常の稼働時には、第1本体位置に位置している。第1本体位置とは、ロードポートLが収容空間Rに収容された状態となる本体2の位置である(図4参照)。一方、本体2は、例えば装置前自動倉庫1のメンテナンス時には、第2本体位置に位置している。第2本体位置とは、ロードポートLが収容部2aの外に出た状態となる本体2の位置である(図2参照)。このように、本体2は、第1本体位置と第2本体位置との間で移動可能である。
固定棚3は、本体2内の収容部2aの上方に設けられる。固定棚3には、FOUP10が載置される。固定棚3は、本体2の後方部(背面部)から本体2内部に向かって突き出して設けられている。或いは、固定棚3は、本体2の側方部(側面部)から本体2内部に向かって突き出して設けられたものであってもよい。固定棚3のうち少なくとも1つは、ロードポートLの直上(鉛直上方)に設けられる。固定棚3に載置されるFOUP10の少なくとも一部と、ロードポートLに載置されるFOUP10の少なくとも一部とが平面視において重なるように、少なくとも1つの固定棚3が設けられている。
固定棚3は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられている。固定棚3は、上下方向の最上段において複数設けられた第1固定棚3aと、最上段以外の段において複数設けられた第2固定棚3bと、を有する。図4に示されるように、複数の固定棚3は、前後方向に関して、FOUP10の載置位置が何れも同じ位置となるように設けられている。すなわち、複数の固定棚3にそれぞれ載置されたFOUP10が、前後方向において何れも同じ位置となるように、各固定棚3に載置されるFOUP10の位置決めを行う位置決め部材(不図示)が設けられている。
図3及び図4に示されるように、第1固定棚3aは、本体2が前記第1本体位置とされた状態において軌道Tの下方(鉛直下方)に位置し、軌道Tにおける天井搬送車Vとの間でFOUP10を受け渡し可能な入出庫ポートとしての機能を有する。天井搬送車Vから第1固定棚3aにFOUP10を受け渡す場合、FOUP10を保持している天井搬送車Vは、FOUP10の載置されていない第1固定棚3aの直上に停止し、昇降装置(不図示)によってFOUP10を下降させて第1固定棚3aに載置する。逆に、第1固定棚3aから天井搬送車VにFOUP10を受け渡す場合、FOUPを保持していない天井搬送車Vは、FOUP10が載置されている第1固定棚3aの直上に停止し、昇降装置によってFOUP10を取得して上昇させる。
第2固定棚3bは、第1固定棚3aからロードポートLにFOUP10を移載する場合に、例えばロードポートLがFOUP10を移載可能な状態にないとき、当該FOUP10を載置して一時保管するための領域(バッファ)である。ロードポートLがFOUP10を移載可能な状態となると、第2固定棚3bに一時保管されたFOUP10は、移載装置8によりロードポートLに移載される。
固定棚3は、本体2内に縦方向に延在する通路Pを挟んで配置されている(図7参照)。すなわち、通路Pは、左右方向において対向する一対の固定棚3の間に設けられている。通路Pは、移載装置8が、第1固定棚3a及び第2固定棚3bとロードポートLとの間でFOUP10を移載する際のFOUP10の移動経路である。図4に破線で示されるように、移載装置8がFOUP10を移載する際、通路Pを移動するFOUP10の前後方向の位置は、固定棚3に載置されたFOUP10の位置と等しい。固定棚3の配置について、詳しくは後述する。
図4及び図5に示されるように、スライド棚4は、本体2に設けられている。スライド棚4は、第1固定棚3aからロードポートLにFOUP10を移載する場合に、例えばロードポートLがFOUP10を移載可能な状態にないとき、当該FOUP10を載置して一時保管するための領域(バッファ)である。ロードポートLがFOUP10を移載可能な状態となると、スライド棚4に一時保管されたFOUP10は、移載装置8によりロードポートLに移載される。
スライド棚4は、一対の第1固定棚3aの間に左右方向に2つ並んで設けられている。以下の説明では、これらのスライド棚のうち、前方から見て左側のスライド棚4を左スライド棚4L、右側のスライド棚を右スライド棚4Rとする。なお、図5には左スライド棚4Lを例示しているが、右スライド棚4Rについても、図5に対して例えば左右対称の位置に支持レール5及び進退機構6が設けられている以外は同様である。
スライド棚4は、本体2内において、半導体処理装置Mの上端部Maより高い位置に設けられている。スライド棚4は、支持レール5及び進退機構6によって、支持レール5の延在方向に沿って移動可能に支持されている。図4及び図5に示されるように、スライド棚4は、その少なくとも一部が通路P内に位置する第1位置と、第1位置に対し後方側であってスライド棚4及びそのスライド棚4に載置されたFOUP10が通路P外に位置する第2位置との間で移動可能とされている。第2位置は、本体2に対して後方側の位置であり、半導体処理装置Mの上方(鉛直上方)である。スライド棚4の配置について、詳しくは後述する。
支持レール5は、スライド棚4を当該支持レール5に沿って移動可能に支持する。支持レール5は、本体2から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在している。支持レール5は、左スライド棚4Lにおいて右スライド棚4Rと対向する一端部(すなわち、左スライド棚4Lの右側の端部)とは左右方向において反対側の他端部(すなわち、左スライド棚4Lの左側の端部)に設けられている。また、支持レール5は、右スライド棚4Rにおいて左スライド棚4Lと対向する一端部(すなわち、右スライド棚4Rの左側の端部)とは左右方向において反対側の他端部(すなわち、右スライド棚4Rの右側の端部)に設けられている。なお、支持レール5は、左スライド棚4Lの右側の端部、及び、右スライド棚4Rの左側の端部には設けられていない。
進退機構6は、支持レール5の延在方向に沿って延在するシリンダ6a及びピストン6bの動作により、スライド棚4を支持レール5の延在方向に沿って移動させる。進退機構6は、左右方向においてスライド棚4の中央部に位置している。シリンダ6aとしては、例えば空気圧シリンダ、油圧シリンダ等を用いることができる。或いは、シリンダ6a及びピストン6bに代えて、モータ及び歯付ベルトを用いた構成としてもよい。また、進退機構6は、リニアガイド6c及びレール6dを更に有すると共に、リニアガイド6cの2倍のストロークでスライド棚4を移動させる倍速機構6eを有する。
図6に示されるように、回動装置7は、左右方向に延びる中心軸線A回りに支持レール5を回動させる。回動装置7としては、例えばモータを用いることができる。回動装置7は、支持レール5が前後方向に延在すると共に本体2の後方に突出する第1姿勢と、支持レール5が上下方向に延在する第2姿勢との間で支持レール5を回動させる。回動装置7は、例えば装置前自動倉庫1の通常の稼働時に支持レール5を第1姿勢とし、例えば装置前自動倉庫1のメンテナンス時に支持レール5を第2姿勢とする。
図3及び図4に示されるように、移載装置8は、本体2内において、ロードポートL、固定棚3、スライド棚4の間でFOUP10を移載する。移載装置8は、FOUP10を保持する保持部8cと、保持部8cを上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置8fと、を有する。駆動装置8fは、固定棚3よりも前方側に設けられている。駆動装置8fは、本体2に固定され、本体2の左右方向に延在する第1レール8aと、第1レール8aに支持され、本体2の上下方向に延在すると共に、第1レール8aの延在方向に沿って移動可能である第2レール8bと、図示しない駆動源と、を有する。保持部8cは、第2レール8bに支持され、第2レール8bの延在方向に沿って移動可能とされている。
保持部8cは、後方に向かって突出するヘッド部8dと、ヘッド部8dの下面側に設けられた支持部8eと、を含む。ヘッド部8dは、固定棚3に載置されたFOUP10を保持することができる位置まで、第2レール8bから後方に突出している。ヘッド部8dは、第2レール8bに対して前後方向に移動しない。すなわち、前後方向に関して、第2レール8bと支持部8eとの距離は一定である。支持部8eは、FOUP10の上面に設けられたフランジ部11を掬い取って支持する。なお、保持部8cは、ヘッド部8dに備えられた把持部(チャック)によってフランジ部11を把持するものであってもよい。
[固定棚3及びスライド棚4の配置]
固定棚3及びスライド棚4の配置について説明する。図7に示されるように、固定棚3は、通路Pの左右方向の両側に設けられている。すなわち、通路Pは、その左右方向の両側に配置された固定棚3によって規定されている。通路Pの左右方向の幅は、FOUP10を保持した保持部8cが上下方向に通過可能な幅とされている。通路Pの左右方向の両側に設けられている第1固定棚3aの左右方向の距離に比して、第2固定棚3bの左右方向の距離は短い。
固定棚3及びスライド棚4の配置について説明する。図7に示されるように、固定棚3は、通路Pの左右方向の両側に設けられている。すなわち、通路Pは、その左右方向の両側に配置された固定棚3によって規定されている。通路Pの左右方向の幅は、FOUP10を保持した保持部8cが上下方向に通過可能な幅とされている。通路Pの左右方向の両側に設けられている第1固定棚3aの左右方向の距離に比して、第2固定棚3bの左右方向の距離は短い。
固定棚3は、本体2が第1本体位置に位置しているときには、ロードポートLの上方に位置している。一方、固定棚3は、本体2が第2本体位置に位置しているときには、ロードポートLの上方より前方に位置している。
第1固定棚3aは、左右方向に並んで設けられた左スライド棚4L及び右スライド棚4Rの左右方向の両側に設けられている。すなわち、左スライド棚4L及び右スライド棚4Rは、最上段において左右方向で対向する一対の第1固定棚3aの間に挟まれる位置に設けられている。第1固定棚3a、左スライド棚4L、右スライド棚4Rは、上下方向において同じ高さの位置に配置されている。
[装置前自動倉庫1の動作]
装置前自動倉庫1の動作について説明する。装置前自動倉庫1は、以下の第1動作及び第2動作を実行することができる。
装置前自動倉庫1の動作について説明する。装置前自動倉庫1は、以下の第1動作及び第2動作を実行することができる。
まず、装置前自動倉庫1の第1動作について説明する。装置前自動倉庫1の第1動作は、一例として、FOUP10をロードポートLに移載することができない場合であって、全ての第2固定棚3bにFOUP10が載置されているときに実行される。なお、FOUP10をロードポートLに移載することができない場合としては、例えば半導体処理装置Mが他のFOUP10に収容されていた半導体ウェハに対して処理を行っている最中である場合等が挙げられる。
第1動作において、装置前自動倉庫1は、天井搬送車Vによって第1固定棚3aにFOUP10が載置されると共に、スライド棚4を第2位置から第1位置に移動させる。このとき、第1位置に移動したスライド棚4によって通路Pが一時的に塞がれた状態となる。
スライド棚4は、第1位置において移載装置8との間でFOUP10の受け渡しが可能とされる。移載装置8は、第1位置とされたスライド棚4に対して、前後方向に関して固定棚3におけるFOUP10の載置位置と同じ位置にFOUP10を受け渡しする。このような動作を実現するために、第1位置とされたスライド棚4に載置されたFOUP10と、固定棚3に載置されたFOUP10とが前後方向において同じ位置となるように、固定棚3及びスライド棚4に載置されるFOUP10の位置決めを行う位置決め部材(不図示)が設けられている。
装置前自動倉庫1は、移載装置8によって第1固定棚3aからスライド棚4にFOUP10を移載する。そして、装置前自動倉庫1は、FOUP10が載置されたスライド棚4を再び第2位置に移動させる。これにより、スライド棚4及びそのスライド棚4に載置されたFOUP10が通路P外となり、それらによって通路Pが塞がれていない状態となる。なお、支持レール5は、左スライド棚4L及び右スライド棚4Rのそれぞれにおいて、他方のスライド棚4に近い側の端部を支持する位置には設けられていないため、支持レール5によっても通路Pは塞がれていない。
続いて、例えば半導体処理装置Mが他のFOUP10に収容されていた半導体ウェハに対して行っていた処理が完了して当該半導体ウェハをFOUP10に再び収容すると、装置前自動倉庫1は、移載装置8によってロードポートLに載置されているFOUP10を例えば第1固定棚3aに移載する。これにより、FOUP10をロードポートLに移載することができる状態になる。なお、移載装置8によってFOUP10をロードポートLから第1固定棚3aに移載する際、スライド棚4は第2位置とされる。この状態では、スライド棚4及びそのスライド棚4に載置されたFOUP10によって通路Pが塞がれていない状態であるため、図3に破線で示されるように、FOUP10を保持した保持部8cは、通路Pを移動することができる。
続いて、装置前自動倉庫1は、FOUP10が載置されたスライド棚4を第2位置から第1位置に移動させると共に、移載装置8によってスライド棚4から当該FOUP10を取得する。その後、装置前自動倉庫1は、スライド棚4を再び第2位置に移動させる。これにより、スライド棚4によって通路Pが塞がれていない状態となる。
続いて、移載装置8は、保持しているFOUP10を、通路Pを移動してロードポートLに移載する。
次に、装置前自動倉庫1の第2動作について説明する。装置前自動倉庫1の第1動作は、例えば、装置前自動倉庫1のメンテナンスを行う場合であって、半導体処理装置Mの稼働を継続するときに実行される。
第2動作において、装置前自動倉庫1は、本体2が半導体処理装置Mから離間するように、本体2を第2本体位置に移動させる。この場合において、支持レール5が第1姿勢とされているときには、支持レール5は、本体の後方に突出しているため、ロードポートLの上方に位置する状態となる。従って、この状態では、天井搬送車VとロードポートLとの間を支持レール5が塞ぎ、天井搬送車VからロードポートLにFOUP10を直接載置することができない。
そこで、支持レール5は、本体2が第2本体位置にあるときにロードポートLの上方から退避可能に構成されている。具体的には、本体2が第2本体位置にあり、且つ、支持レール5が回動装置7によって回動されて第2姿勢となることによって、支持レール5は、ロードポートLの上方から退避する。従って、支持レール5が第2姿勢とされた状態では、天井搬送車VとロードポートLとの間が支持レール5によって塞がれていないため、天井搬送車VからロードポートLにFOUP10を直接載置することができる。
[作用及び効果]
以上説明したように、装置前自動倉庫1では、保持部8cによって保持されるFOUP10の少なくとも一部が前後方向に関して固定棚3の少なくとも一部と重なる状態において、移載装置8は、保持部8cの突出量を変化させることなくFOUP10を搬送する。このため、装置前自動倉庫1は、前後方向にコンパクトな構成となる。装置前自動倉庫1では、FOUP10が載置されると共に本体2の前後方向に移動可能なスライド棚4が本体2に設けられている。スライド棚4は、少なくとも一部が通路P内に位置する第1位置と、通路P外に位置する第2位置との間で移動可能である。これにより、スライド棚4が第1位置に位置している場合には、移載装置8によりスライド棚4に対してFOUP10を受け渡しでき、スライド棚4が第2位置に位置している場合には、通路Pを移載装置8の保持部8cが移動できる。第2位置は、第1位置に対し前後方向に関して移載装置8が設けられた側の反対側であるため、第2位置とされたスライド棚4は、移載装置8の動作を妨げない。そのため、従来では移載装置8によるFOUP10の移動経路としてのみ用いられていた通路Pの一部を、FOUP10の収納領域として用いることができる。従って、装置前自動倉庫1では、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を増大させることができる。
以上説明したように、装置前自動倉庫1では、保持部8cによって保持されるFOUP10の少なくとも一部が前後方向に関して固定棚3の少なくとも一部と重なる状態において、移載装置8は、保持部8cの突出量を変化させることなくFOUP10を搬送する。このため、装置前自動倉庫1は、前後方向にコンパクトな構成となる。装置前自動倉庫1では、FOUP10が載置されると共に本体2の前後方向に移動可能なスライド棚4が本体2に設けられている。スライド棚4は、少なくとも一部が通路P内に位置する第1位置と、通路P外に位置する第2位置との間で移動可能である。これにより、スライド棚4が第1位置に位置している場合には、移載装置8によりスライド棚4に対してFOUP10を受け渡しでき、スライド棚4が第2位置に位置している場合には、通路Pを移載装置8の保持部8cが移動できる。第2位置は、第1位置に対し前後方向に関して移載装置8が設けられた側の反対側であるため、第2位置とされたスライド棚4は、移載装置8の動作を妨げない。そのため、従来では移載装置8によるFOUP10の移動経路としてのみ用いられていた通路Pの一部を、FOUP10の収納領域として用いることができる。従って、装置前自動倉庫1では、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を増大させることができる。
装置前自動倉庫1では、スライド棚4は、半導体処理装置Mの上端部Maより高い位置に設けられている。このため、デッドスペースとなる半導体処理装置Mの上方に第2位置を位置させることにより、半導体処理装置Mの上方をFOUP10の収納領域として用いることができる。よって、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を増大させることができる。
装置前自動倉庫1では、駆動装置8fは、左右方向又は上下方向に延在する第1レール8aと、第1レール8aに支持され、左右方向及び上下方向のうち第1レール8aの延在方向ではない方向に延在すると共に、第1レール8aの延在方向に沿って移動可能である第2レール8bと、を有し、保持部8cは、第2レール8bに支持されると共に第2レール8bの延在方向に沿って移動可能である。このため、前後方向にコンパクトな構成の駆動装置8fにより、保持部8cを上下方向及び左右方向に移動させることができる。
装置前自動倉庫1では、固定棚3は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられており、通路Pは、左右方向において対向する一対の固定棚3の間に設けられている。このため、FOUP10の収納領域を拡大することができる。よって、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を増大させることができる。
装置前自動倉庫1では、第1固定棚3aは、上下方向の最上段において複数設けられており、最上段の位置においてロードポートLの上方に設けられた軌道Tを走行してFOUP10を搬送する天井搬送車Vとの間でFOUP10を受け渡し可能であり、スライド棚4は、最上段において左右方向で対向する一対の第1固定棚3aの間に挟まれる位置に設けられている。このため、天井搬送車Vと第1固定棚3aとの間で受け渡しされるFOUP10を、当該第1固定棚3aとスライド棚4との間で速やかに移載することができる。
装置前自動倉庫1では、スライド棚4は、一対の第1固定棚3aの間に2つ並んで設けられている。このため、天井搬送車Vと第1固定棚3aとの間で受け渡しされるFOUP10を、当該第1固定棚3aとスライド棚4との間で速やかに移載することができると共に、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を増大させることができる。
装置前自動倉庫1では、本体2から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在すると共にスライド棚4を移動可能に支持する支持レール5を備え、支持レール5は、左スライド棚4Lにおいて右スライド棚4Rと対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、右スライド棚4Rにおいて左スライド棚4Lと対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられており、スライド棚4は、支持レール5の延在方向に沿って第1位置と第2位置との間で移動可能である。このため、前方から見た左スライド棚4Lの右側の端部を支持する支持レール、及び、前方から見た右スライド棚4Rの左側の端部を支持する支持レールを設けないことにより、通路Pが支持レール5によって妨げられない。よって、容易に通路Pを形成することができる。
装置前自動倉庫1では、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、第1固定棚3aの左右方向の距離に比して、第2固定棚3bの左右方向の距離は短い。このため、第2固定棚3bとロードポートLとの間でのFOUP10の移載に要する時間を短縮することができる。
装置前自動倉庫1では、本体2は、固定棚3がロードポートLの上方に位置する第1本体位置と、固定棚3がロードポートLの上方より前方に位置する第2本体位置との間で移動可能であり、支持レール5は、本体2が第2本体位置にあるときにロードポートLの上方から退避可能である。このため、例えば装置前自動倉庫1のメンテナンス等のために本体2を第2本体位置に移動させた場合であっても、天井搬送車VとロードポートLとの間でFOUP10を直接移載することが可能となるため、半導体処理装置Mの稼働を継続することができる。
装置前自動倉庫1では、左右方向に延びる中心軸線A回りに支持レール5を回動させる回動装置7を更に備え、回動装置7は、支持レール5が前後方向に延在すると共に本体2の後方に突出する第1姿勢と、支持レール5が上下方向に延在する第2姿勢との間で支持レール5を回動させる。このため、例えば装置前自動倉庫1のメンテナンス等のために本体2を第2本体位置に移動させた場合であっても、天井搬送車VとロードポートLとの間でFOUP10を直接移載することが可能となるため、半導体処理装置Mの稼働を継続することができる。
[変形例]
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されない。例えば、図8に示されるように、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、最上段に設けられた第1固定棚3aの左右方向の距離と、第2固定棚3bの左右方向の距離とが等しくてもよい。この場合、2つのスライド棚4のうち一方のみを第2位置に位置させるだけで、他方のスライド棚4の位置によらずに、容易に通路Pを形成することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されない。例えば、図8に示されるように、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、最上段に設けられた第1固定棚3aの左右方向の距離と、第2固定棚3bの左右方向の距離とが等しくてもよい。この場合、2つのスライド棚4のうち一方のみを第2位置に位置させるだけで、他方のスライド棚4の位置によらずに、容易に通路Pを形成することができる。
また、図9に示されるように、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、最上段に設けられた第1固定棚3aの左右方向の距離と、第2固定棚3bの左右方向の距離とが等しく、且つ、スライド棚4は1つのみ設けられていてもよい。この場合、第1固定棚3aの左右方向の距離を短くすることができるため、第1固定棚3aとロードポートLとの間でのFOUP10の移載に要する時間を短縮することができる。
また、図10に示されるように、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、最上段に設けられた第1固定棚3aの左右方向の距離と、第2固定棚3bの左右方向の距離とが等しく、且つ、スライド棚4を1つのみ設けられた構成が、左右方向に複数(ここでは、2つ)並んで設けられていてもよい。この場合、第1固定棚3aの左右方向の距離を短くすることができるため、第1固定棚3aとロードポートLとの間でのFOUP10の移載に要する時間を短縮することができる。
また、図11に示されるように、左スライド棚4L及び右スライド棚4Rのそれぞれが上下方向に2段設けられていてもよい。この場合、FOUP10の収納領域を拡大することができるため、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を一層増大させることができる。
また、図12に示されるように、通路Pの左右方向の両側に設けられている固定棚3において、最上段に設けられた第1固定棚3aの左右方向の距離と、第2固定棚3bの左右方向の距離とが等しく、且つ、左スライド棚4L及び右スライド棚4Rのそれぞれが上下方向に2段設けられていてもよい。この場合、2つのスライド棚4のうち一方のみを第2位置に位置させるだけで、他方のスライド棚4の位置によらずに、容易に通路Pを形成することができる。また、FOUP10の収納領域を拡大することができるため、本体2の寸法を維持したままで、FOUP10の収容量を一層増大させることができる。
また、移載装置8は、本体2の上下方向に延在する第1レール8aと、第1レール8aに支持され、本体2の左右方向に延在すると共に、第1レール8aの延在方向に沿って移動可能である第2レール8bと、第2レール8bに支持され、FOUP10を保持すると共に第2レール8bの延在方向に沿って移動可能である保持部8cと、を有していてもよい。
また、支持レール5がロードポートLの上方から退避する態様は、支持レール5の全体が回動することに限定されない。例えば、支持レール5は、本体2から後方に突出している部分のみが折れ曲がることによってロードポートLの上方から退避してもよく、或いは、支持レール5が本体2から取り外されることによってロードポートLの上方から退避してもよい。
また、本体2が第1本体位置に位置し、支持レール5が第1姿勢をとり、スライド棚4が第1位置に位置している場合において、天井搬送車Vは、スライド棚4にFOUP10を直接移載してもよい。この場合、天井搬送車Vが保持しているFOUP10がスライド棚4に載置されるまでに要する時間を短縮することができる。
また、上記実施形態では、天井搬送車VはOHTであるとした。しかし、天井搬送車VはOHTに限定されず、ロードポートLの上方を走行し、装置前自動倉庫1に対してFOUP10を移載することができる装置であればよい。
また、被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたFOUP10に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、装置前自動倉庫1は、半導体製造工場以外の施設にも適用可能である。
1…装置前自動倉庫、2…本体、2a…収容部、3…固定棚、4…スライド棚、8…移載装置、8a…第1レール、8b…第2レール、8c…保持部、8f…駆動装置、10…FOUP(被搬送物)、L…ロードポート(移載先)、P…通路、R…収容空間。
Claims (11)
- 被搬送物の移載先の上方に設けられ、前記被搬送物が載置される固定棚と、
前記被搬送物が載置されると共に前後方向に移動可能なスライド棚と、
前記移載先と、前記固定棚と、前記スライド棚と、の間で前記被搬送物を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、
前記被搬送物を保持する保持部と、
前記固定棚よりも前方側に設けられ、前記保持部を上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置と、を有し、
前記移載装置により移載される前記被搬送物が、前記前後方向に関して前記固定棚と重なる状態で前記上下方向に移動可能な通路が設けられており、
前記スライド棚は、前記通路内の第1位置と、前記第1位置の後方側であって前記スライド棚及び前記スライド棚に載置された前記被搬送物が前記通路外に位置する第2位置との間で移動可能である、装置前自動倉庫。 - 前記スライド棚は、前記移載先を有する処理装置の上端部より高い位置に設けられている、請求項1記載の装置前自動倉庫。
- 前記駆動装置は、
前記左右方向又は前記上下方向に延在する第1レールと、
前記第1レールに支持され、前記左右方向及び前記上下方向のうち前記第1レールの延在方向ではない方向に延在すると共に、前記第1レールの延在方向に沿って移動可能である第2レールと、を有し、
前記保持部は、前記第2レールに支持されると共に前記第2レールの延在方向に沿って移動可能である、請求項1又は2記載の装置前自動倉庫。 - 前記固定棚は、前記上下方向及び前記左右方向のそれぞれに複数設けられており、
前記通路は、前記左右方向において対向する一対の前記固定棚の間に設けられている、請求項1〜3の何れか一項記載の装置前自動倉庫。 - 前記固定棚は、前記上下方向の最上段において複数設けられており、前記最上段の位置において前記移載先の上方に設けられた軌道を走行して前記被搬送物を搬送する搬送車との間で前記被搬送物を受け渡し可能であり、
前記スライド棚は、前記最上段において前記左右方向で対向する一対の前記固定棚の間に挟まれる位置に設けられている、請求項4記載の装置前自動倉庫。 - 前記スライド棚は、前記最上段に設けられた一対の前記固定棚の間に2つ並んで設けられている、請求項5記載の装置前自動倉庫。
- 該装置前自動倉庫の本体から後方に突出して設けられ、前記前後方向に沿って延在すると共に前記スライド棚を移動可能に支持する支持レールを備え、
前記支持レールは、一方の前記スライド棚において他方の前記スライド棚と対向する一端部とは前記左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、他方の前記スライド棚において一方の前記スライド棚と対向する一端部とは前記左右方向において反対側の他端部に設けられており、
前記スライド棚は、前記支持レールの延在方向に沿って前記第1位置と前記第2位置との間で移動可能である、請求項6記載の装置前自動倉庫。 - 前記通路の前記左右方向の両側に設けられている前記固定棚において、前記最上段に設けられた前記固定棚の前記左右方向の距離に比して、他の前記固定棚の前記左右方向の距離は短い、請求項6又は7記載の装置前自動倉庫。
- 前記通路の前記左右方向の両側に設けられている前記固定棚において、前記最上段に設けられた前記固定棚の前記左右方向の距離と、他の前記固定棚の前記左右方向の距離とが等しい、請求項6又は7記載の装置前自動倉庫。
- 前記本体は、前記固定棚が前記移載先の上方に位置する第1本体位置と、前記固定棚が前記移載先の上方より前方に位置する第2本体位置との間で移動可能であり、
前記支持レールは、前記本体が前記第2本体位置にあるときに前記移載先の上方から退避可能である、請求項7記載の装置前自動倉庫。 - 前記左右方向に延びる中心軸線回りに前記支持レールを回動させる回動装置を更に備え、
前記回動装置は、支持レールが前記前後方向に延在すると共に前記本体の後方に突出する第1姿勢と、支持レールが前記上下方向に延在する第2姿勢との間で前記支持レールを回動させる、請求項10記載の装置前自動倉庫。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016075319A JP2017186115A (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 装置前自動倉庫 |
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JP2016075319A JP2017186115A (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 装置前自動倉庫 |
Publications (1)
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JP2017186115A true JP2017186115A (ja) | 2017-10-12 |
Family
ID=60044618
Family Applications (1)
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JP2016075319A Pending JP2017186115A (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 装置前自動倉庫 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2017186115A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11034519B2 (en) | 2018-06-11 | 2021-06-15 | Murata Machinery, Ltd. | Article placement apparatus, stocker provided therewith, and transport vehicle system |
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2016
- 2016-04-04 JP JP2016075319A patent/JP2017186115A/ja active Pending
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