TW202144257A - 物品搬送設備 - Google Patents

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森本雄一
東慎一郎
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日商大福股份有限公司
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Abstract

第1台車具備支撐本體部的支撐用軌道，並且構成為在已藉由支撐用軌道支撐本體部的支撐狀態下，可以和具備該本體部的第2台車一起沿著第1路徑來移動。在第1台車位於第1路徑中之和第2路徑的連接部的狀態下，支撐用軌道是配置在移動用軌道的延長線上。

Description

物品搬送設備
本發明是有關於一種物品搬送設備，其具備第1台車與第2台車，前述第1台車是沿著沿天花板而形成的第1路徑移動，前述第2台車是沿著第2路徑移動。
如上述之物品搬送設備的一例已揭示於國際公開第2015/174181號公報(專利文獻1)中。以下，在先前技術或課題的說明中於括弧內所示的符號是專利文獻1的符號。作為專利文獻1所揭示之物品搬送設備的搬送系統(2)具備天花板行走車(4)與區域台車(16)，前述天花板行走車(4)是沿著從天花板(25)側所支撐的行走軌道(6)來行走，前述區域台車(16)是沿著區域軌道(20)來行走。沿著區域軌道(20)設置有暫存區(22)，區域台車(16)是在裝載埠(14)與暫存區(22)之間搬送物品(10)。區域台車(16)是藉由起重機(50)使把持物品(10)的升降台(52)升降，而對於裝載埠(14)或暫存區(22)來移載物品(10)。又，天花板行走車(4)是藉由起重機使升降台(8)升降，而對於裝載埠(14)或暫存區(22)來移載物品(10)。
然而，在如上述的物品搬送設備中，根據物品的搬送起點或搬送目的地的場所，會有變得必須沿著第1路徑及第2路徑之雙方來搬送物品的情況。又，為了將物品的搬送路徑的長度抑制為較短，也會有較理想是沿著第1路徑與第2路徑之雙方來搬送物品的情況。例如，在專利文獻1的搬送系統(2)中，在將天花板行走車(4)所保持的物品(10)卸下至配置在只有區域台車(16)可存取的場所的暫存區(22)時，必須沿著作為第1路徑的行走軌道(6)與作為第2路徑的區域軌道(20)之雙方來搬送物品(10)。在此情況下，在專利文獻1的搬送系統(2)中，為了將物品(10)從天花板行走車(4)移交至區域台車(16)，必須將物品(10)暫置於天花板行走車(4)及區域台車(16)之雙方都可存取的暫存區(22)等，而容易使物品(10)的搬送所需要的時間變長。
於是，在沿著第1路徑與第2路徑之雙方來搬送物品的情況下，可以謀求物品的搬送所需要的時間之縮短的物品搬送設備之實現是受到期望的。
本揭示之物品搬送設備具備：第1台車，沿著沿天花板而形成的第1路徑移動；第2台車，沿著第2路徑移動，前述第2路徑是在平面視角下一端或兩端連接於前述第1路徑；及移動用軌道，沿著前述第2路徑而設置，前述第2台車具備：沿著前述移動用軌道而移動的本體部、保持物品的保持部、及使前述保持部相對於前述本體部而升降的升降機構，前述第2台車是構成為：在移載對象地點與前述保持部之間移載前述物品的情況下，藉由前述升降機構使前述保持部下降至對應於前述移載對象地點的高度，前述移載對象地點是配置在比前述第2路徑更下方，前述第1台車具備支撐前述本體部的支撐用軌道，前述第1台車是構成為：在已藉由前述支撐用軌道支撐前述本體部的支撐狀態下，可以和具備該本體部的前述第2台車一起沿著前述第1路徑來移動，在前述第1台車位於前述第1路徑中之和前述第2路徑的連接部之狀態下，前述支撐用軌道是配置在前述移動用軌道的延長線上。
在本構成中，第1台車是構成為：在已藉由支撐用軌道支撐第2台車的本體部的支撐狀態下，可以和第2台車一起沿著第1路徑來移動。因此，藉由使支撐狀態的第1台車沿著第1路徑移動，即可以沿著第1路徑來搬送第1台車所支撐之第2台車的保持部所保持的物品。又，在本構成中，藉由使第2台車沿著第2路徑來移動，即可以沿著第2路徑來搬送第2台車的保持部所保持的物品。
並且，在本構成中，由於是在第1台車位於第1路徑中之和第2路徑的連接部的狀態下，將支撐第2台車的本體部的支撐用軌道配置在移動用軌道的延長線上，因此，在此狀態下，可以使第2台車的本體部在支撐用軌道上與沿著第2路徑而設置且供第2台車的本體部移動之移動用軌道上之間移動。據此，藉由將第1台車配置於連接部，即可以使藉由保持部保持了物品的狀態的第2台車，維持該狀態而從第1台車脫離並進入至第2路徑、或者從第2路徑退出而搭載於第1台車。據此，可以迅速地進行連接部中的第1路徑與第2路徑之間的物品搬送，其結果，在沿著第1路徑與第2路徑之雙方來搬送物品的情況下，變得可以謀求物品的搬送所需要的時間之縮短。
物品搬送設備的進一步的特徵與優點，透過以下參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
用以實施發明之形態
參照圖式來說明物品搬送設備的實施形態。
如圖1所示，物品搬送設備100具備沿著第1路徑P1移動的第1台車10、及沿著第2路徑P2移動的第2台車20。在圖1中，是以比第1路徑P1更細的實線來顯示第2路徑P2。第2路徑P2是在平面視角(沿著上下方向Z的方向視角)下將一端或兩端連接於第1路徑P1。在本實施形態中，形成有複數個第2路徑P2，且至少一部分的第2路徑P2是在平面視角下兩端連接於第1路徑P1。在圖1所示的例子中，全部的第2路徑P2在平面視角下都是兩端連接於第1路徑P1。另外，在圖1中，為了易於區別第1路徑P1與第2路徑P2，將第2路徑P2的端部從第1路徑P1分開來顯示。也可以設成讓在平面視角下兩端連接於第1路徑P1的第2路徑P2、及在平面視角下一端連接於第1路徑P1的第2路徑P2混合存在之構成、或者可以設成全部的第2路徑P2在平面視角下一端連接於第1路徑P1的構成。
將互相正交的2個水平方向設為第1水平方向X及第2水平方向Y，在圖1所示的例子中，在第1路徑P1中包含有：第1部分P1a，形成為在平面視角下沿著第1水平方向X而延伸；及第2部分P1b，形成為在平面視角下沿著第2水平方向Y而延伸。複數個第2部分P1b是在第1水平方向X上排列而設置，第2部分P1b的每一個是連接設置於第2水平方向Y的一側的第1部分P1a、以及設置於第2水平方向Y的另一側的第1部分P1a。亦即，第2部分P1b是形成從一邊的第1部分P1a分歧而合流至另一邊的第1部分P1a的路徑。
在圖1所示的例子中，第2路徑P2是形成為沿著第1水平方向X而延伸。並且，第2路徑P2是連接在第1水平方向X上相鄰的2個第2部分P1b。亦即，將第1水平方向X的一側設為第1側X1，並且將另一側設為第2側X2，第2路徑P2的第1側X1的端部是連接於在第1水平方向X上相鄰的2個第2部分P1b當中配置於第1側X1的第2部分P1b，第2路徑P2的第2側X2的端部是連接於該2個第2部分P1b當中配置於第2側X2的第2部分P1b。在第1水平方向X上相鄰的2個第2部分P1b之間，在第2水平方向Y上排列而設置有複數個第2路徑P2。另外，圖1所示的第1路徑P1或第2路徑P2的佈局僅為一例，可以適當變更第1路徑P1或第2路徑P2的佈局。
如圖2及圖3所示，第1路徑P1是沿著天花板1而形成。具體而言，第1路徑P1是藉由從天花板1懸吊支撐的第1移動用軌道R1所形成。亦即，物品搬送設備100具備沿著第1路徑P1而設置的第1移動用軌道R1。在圖1中雖然是簡化地顯示第1移動用軌道R1，但是在本實施形態中，在水平方向上分開配置的一對第1移動用軌道R1(參照圖2及圖3)是沿著第1路徑P1而設置。另外，這裡的水平方向是第1路徑P1的寬度方向，換言之，是正交於第1路徑P1的長邊方向(第1路徑P1延伸的方向)與上下方向Z(鉛直方向)之雙方的方向。
如圖2及圖3所示，第2路徑P2是沿著天花板1而形成。具體而言，第2路徑P2是藉由從天花板1懸吊支撐的第2移動用軌道R2所形成。亦即，物品搬送設備100具備沿著第2路徑P2而設置的第2移動用軌道R2。在圖1中雖然是簡化地顯示第2移動用軌道R2，但是在本實施形態中，在水平方向上分開配置的一對第2移動用軌道R2(參照圖7(d))是沿著第2路徑P2而設置。另外，這裡的水平方向是第2路徑P2的寬度方向，換言之，是正交於第2路徑P2的長邊方向(第2路徑P2延伸的方向)與上下方向Z之雙方的方向。在本實施形態中，第2移動用軌道R2相當於「移動用軌道」。
如圖1所示，本實施形態中，物品搬送設備100具備複數台第1台車10及複數台第2台車20。如後述，為了使位於第2路徑P2的第2台車20從該第2路徑P2退出，必須把第1台車10配置在第1路徑P1中之和該第2路徑P2的連接部CP上。因此，從物品W的搬送效率的提升之觀點來看，較佳的是設成物品搬送設備100具備複數台第1台車10的構成，較理想的是設成例如物品搬送設備100具備連接部CP的數量以上的數量之第1台車10的構成，前述連接部CP是第1路徑P1中之和第2路徑P2的連接部。又，從物品W的搬送效率的提升之觀點來看，較佳的是設成物品搬送設備100具備複數台第2台車20的構成，較理想的是設成例如物品搬送設備100具備第1台車10的數量以上的數量之第2台車20的構成。
如圖1所顯示的一例，在本實施形態中，第1移動方向M1是設定為單方向，第2移動方向M2是設定為雙方向。在此，第1移動方向M1是第1台車10在第1路徑P1中的移動方向，第2移動方向M2是第2台車20在第2路徑P2中的移動方向。在圖1所示的例子中，是將第2部分P1b的每一個的第1移動方向M1設定成使在第1水平方向X上相鄰的2個第2部分P1b的第1移動方向M1成為互相逆向。
如圖1所示，在本實施形態中，在第2移動用軌道R2上連接有退避用軌道R3，前述退避用軌道R3是用於使第2台車20從第2路徑P2(具體而言是設置有該第2移動用軌道R2的第2路徑P2)退避。退避用軌道R3是以可使第2台車20在第2移動用軌道R2上與退避用軌道R3上之間移動(往返)的形態，連接於第2移動用軌道R2。使位於第2路徑P2的第2台車20從第2移動用軌道R2上移動至退避用軌道R3上，藉此即可以在不使用第1台車10的情形下，使第2台車20從第2路徑P2退避。在圖1中，雖然為了避免繁雜，而設成僅在1個第2路徑P2上設置有退避用軌道R3的形態，但亦可在複數個第2路徑P2(例如，全部的第2路徑P2)上設置退避用軌道R3，或者亦可僅在滿足特定的條件之第2路徑P2(例如，僅路徑長度為設定長度以上的第2路徑P2)上設置退避用軌道R3。
在圖1所示的例子中，退避用軌道R3在平面視角下是一端連接於第2移動用軌道R2，第2台車20是沿著退避用軌道R3而雙向地移動。又，在圖1所示的例子中，各別地設置有退避用軌道R3(第1退避用軌道R3a)與退避用軌道R3(第2退避用軌道R3b)，前述第1退避用軌道R3a是用於使在第2路徑P2上朝向一側(在此為第1側X1)移動的第2台車20從該第2路徑P2退避，前述第2退避用軌道R3b是用於使在第2路徑P2上朝向另一側(在此為第2側X2)移動的第2台車20從該第2路徑P2退避。因此，例如當2台第2台車20在相同的第2路徑P2上往互相接近之側移動的情況下，由於可以考慮設備整體的物品W的搬送效率，來選擇要從第2路徑P2退避的第2台車20，因此會變得易於謀求物品W的搬送效率之提升。
接著，針對第1台車10及第2台車20的構成來進行說明。如圖2及圖3所示，第2台車20具備沿著第2移動用軌道R2(在此為一對第2移動用軌道R2)移動的第2本體部21、保持物品W的保持部24、及使保持部24相對於第2本體部21來升降的升降機構25。第2本體部21具備在第2移動用軌道R2上(具體而言是形成在第2移動用軌道R2的行走面上)滾動的第2行走輪22，第2行走輪22是藉由馬達等之驅動力源(未圖示)來驅動，藉此使第2本體部21沿著第2移動用軌道R2來移動。在本實施形態中，第2本體部21相當於「本體部」。
在本實施形態中，保持部24是從上側Z1(上下方向Z的上側)來保持物品W。在此，物品W是容置半導體晶圓的容器，具體而言為FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓傳送盒)。保持部24是把持形成於物品W的上部之凸緣部，藉此來保持該物品W。保持部24的狀態是藉由馬達等之驅動力源(未圖示)的驅動，而切換成保持物品W的保持狀態、以及解除對物品W的保持之保持解除狀態。
升降機構25是使保持部24在移動用高度與移載用高度之間升降，前述移動用高度是第2本體部21的移動時的高度，前述移載用高度是對於移載對象地點2來移載物品W的高度。具體而言，保持部24是被升降體23所支撐，升降機構25是藉由使升降體23升降，而使升降體23所支撐的保持部24升降。移載用高度是因應於各移載對象地點2的高度來設定。在圖2中是以二點鏈線來顯示位於移動用高度的保持部24，並且以實線來顯示位於移載用高度的保持部24，前述移載用高度是對應於作為移載對象地點2的埠41。埠41是進行處理裝置40(參照圖1)中之物品W的搬入及搬出的至少一者的地點(裝載埠等)，前述處理裝置40是將物品W設為處理對象的處理裝置。在圖3~圖5中，顯示有位於移動用高度的保持部24。第2台車20是構成為在配置在比第2路徑P2更下方的移載對象地點2與保持部24之間移載物品W的情況下，藉由升降機構25使保持部24下降至對應於移載對象地點2的高度(移載用高度)。
在本實施形態中，升降機構25是在已懸吊支撐升降體23的狀態下使升降體23升降。具體而言，如圖2所示，升降體23是連結於皮帶或繩索等之傳動構件26的前端部。雖然省略圖式，但升降機構25是藉由馬達等之驅動力源的驅動而使捲繞有傳動構件26的捲繞體旋轉，來捲取或送出傳動構件26，藉此使升降體23上升或下降。
在本實施形態中，第2台車20具備旋轉機構27，前述旋轉機構27是使保持部24相對於第2本體部21而繞著沿上下方向Z的軸心來旋轉。旋轉機構27是例如構成為使保持部24相對於升降體23而繞著沿上下方向Z的軸心來旋轉、或者構成為使支撐保持部24的升降體23相對於第2本體部21而繞著沿上下方向Z的軸心來旋轉。藉由將旋轉機構27設置於第2台車20，即可以配合移載對象地點2中的物品W的擺姿，使保持部24所保持的物品W旋轉。
在本實施形態中，雖然第2台車20並未具備使保持部24相對於第2本體部21而在路徑寬度方向(第2路徑P2的寬度方向)上移動的移動機構，但是也可以設為在第2台車20設置像這樣的移動機構(例如，使支撐保持部24的升降體23在該路徑寬度方向上移動的機構)之構成。藉由將移動機構設置於第2台車20，即使移載對象地點2是配置在平面視角下相對於第2路徑P2而在路徑寬度方向上偏離的位置之情況下，仍然可以在移載對象地點2與保持部24之間移載物品W。
如圖2及圖3所示，第1台車10具備沿著第1移動用軌道R1(在此為一對第1移動用軌道R1)移動的第1本體部11、及支撐第2台車20的台車支撐部13。第1本體部11具備在第1移動用軌道R1上(具體而言是形成在第1移動用軌道R1的行走面上)滾動的第1行走輪12，第1行走輪12是藉由馬達等之驅動力源(未圖示)來驅動，藉此使第1本體部11沿著第1移動用軌道R1來移動。
台車支撐部13是連結於第1本體部11，並且與第1本體部11一起沿著第1路徑P1來移動。在本實施形態中，台車支撐部13是以配置在比第1移動用軌道R1更下側Z2(上下方向Z的下側)的狀態，而被第1本體部11懸吊支撐。在本實施形態中，台車支撐部13是形成保存第2台車20的保存空間。此保存空間是形成為從第1路徑P1的長邊方向的兩側來覆蓋第2台車20，並且在第1路徑P1的寬度方向的兩側開口。
第1台車10(具體而言為台車支撐部13)具備支撐第2本體部21的支撐用軌道14。支撐用軌道14具備第2行走輪22可滾動的行走面(例如，和第2移動用軌道R2的行走面相同形狀的行走面)，支撐用軌道14是在第2行走輪22已載置於支撐用軌道14的行走面的狀態下，從下側Z2來支撐第2本體部21。第1台車10是構成為在已藉由支撐用軌道14來支撐第2本體部21的支撐狀態下，可以和具備該第2本體部21的第2台車20一起沿著第1路徑P1來移動。
如圖2及圖3所示，在第1台車10位於連接部CP的狀態下，支撐用軌道14是配置在第2移動用軌道R2的延長線上。因此，在第1台車10位於連接部CP的狀態下，第2台車20可以在第2移動用軌道R2上與支撐用軌道14上之間移動(往返)。支撐用軌道14是形成為直線狀，並且配置成沿著第1路徑P1的寬度方向延伸。並且，在第1台車10位於連接部CP的狀態下，支撐用軌道14是配置在下述線上：在第1路徑P1的寬度方向上將第2移動用軌道R2往第1台車10側延長的線上。在本實施形態中，由於在水平方向上分開配置的一對第2移動用軌道R2是沿著第2路徑P2而設置，因此第1台車10具備在第1路徑P1的長邊方向上分開配置的一對支撐用軌道14。並且，在第1台車10位於連接部CP的狀態下，一對支撐用軌道14的每一個是配置在所對應的第2移動用軌道R2的延長線上。
在第1台車10位於連接部CP的狀態下，藉由第2台車20從第2移動用軌道R2上移動至支撐用軌道14上，使第2台車20搭載於第1台車10(具體而言是將第2台車20保存於台車支撐部13)。第2台車20是在第2本體部21被支撐用軌道14支撐的狀態下，保存於台車支撐部13。在本實施形態中，如圖2所示，台車支撐部13具備限制體15，前述限制體15是限制被支撐用軌道14支撐的狀態之第2本體部21沿著支撐用軌道14移動。限制體15是設置在第1路徑P1的寬度方向的兩側，並且構成為可將姿勢切換成限制姿勢與容許姿勢，前述限制姿勢是限制第2本體部21的移動，前述容許姿勢是容許第2本體部21的移動。在圖2及圖3中，顯示將第1路徑P1的寬度方向的兩側的限制體15切換成限制姿勢的狀態。另一方面，在圖4及圖5中是顯示以下狀態：第1路徑P1的寬度方向的一側(在此為第1側X1)的限制體15是切換為容許姿勢，藉此搭載於第1台車10的第2台車20可以從支撐用軌道14上移動至第2移動用軌道R2上。
也可以設成第1台車10具備軌道移動機構之構成，前述軌道移動機構是使支撐用軌道14在第1路徑P1的寬度方向上移動。在此情況下，當第2台車20在第2移動用軌道R2上與支撐用軌道14上之間移動的情況下，可以使支撐用軌道14移動，以使第2台車20的移動起點或移動目的地之第2移動用軌道R2與支撐用軌道14的間隙變小，而變得易於使第2台車20順暢地移動。
如圖8所示，物品搬送設備100具備控制第1台車10及第2台車20的控制部30。控制部30具備CPU等之運算處理裝置並且具備記憶體等之周邊電路，並且可藉由這些硬體、與在運算處理裝置等之硬體上執行的程式之協同合作，來實現控制部30的各個功能。
第1台車10具備第1台車控制部31(機器控制器)，前述第1台車控制部31是因應於來自控制部30的指令而控制第1台車10的動作，第2台車20具備第2台車控制部32(機器控制器)，前述第2台車控制部32是因應於來自控制部30的指令而控制第2台車20的動作。第1台車控制部31是例如依據各種感測器的檢測資訊來控制各種馬達的驅動，藉此控制第1台車10的動作，第2台車控制部32是例如依據各種感測器的檢測資訊來控制各種馬達的驅動，藉此控制第2台車20的動作。控制部30是透過第1台車控制部31來控制第1台車10，並且透過第2台車控制部32來控制第2台車20。
在第1台車控制部31所控制的第1台車10的動作中，包含第1本體部11的移動動作，在本實施形態中更包含限制體15的姿勢變更動作。如上述，在本實施形態中，由於第1移動方向M1是設定為單方向，因此第1台車控制部31是將第1本體部11的移動動作控制成使第1台車10在第1路徑P1上往已設定的特定方向移動。在第2台車控制部32所控制的第2台車20的動作中，包含第2本體部21的移動動作、保持部24的狀態切換動作、及升降機構25所進行之保持部24的升降動作，在本實施形態中更包含旋轉機構27所進行之保持部24的旋轉動作。如上述，在本實施形態中，由於第2移動方向M2是設定為雙方向，因此第2台車控制部32是將第2本體部21的移動動作控制成使第2台車20在第2路徑P2上往任意的方向移動。
控制部30是使第2台車20移動至對應於移載對象地點2的位置。並且，控制部30是在已使第2台車20停止於該位置的狀態下，使第2台車20依序執行保持部24往移載用高度的下降動作、保持部24的狀態切換動作、及保持部24往移動用高度的上升動作，藉此在移載對象地點2與保持部24之間移載物品W。另外，將物品W從保持部24移載至移載對象地點2的情況下，是將保持部24的狀態從保持狀態切換至保持解除狀態，藉此將保持部24所保持的物品W卸下至移載對象地點2。另一方面，將物品W從移載對象地點2移載至保持部24的情況下，是將保持部24的狀態從保持解除狀態切換至保持狀態，藉此從移載對象地點2取出原本放置在移載對象地點2的物品W。
如上述，移載對象地點2與保持部24之間的物品W的移載是在第2台車20已配置在對應於移載對象地點2的位置之狀態下進行。在本實施形態中，對應於移載對象地點2的位置，是在平面視角下第2台車20與該移載對象地點2重疊的位置。如圖1所示，在本實施形態中，在平面視角下與第1路徑P1重疊的位置上配置有移載對象地點2。在圖1所示的例子中，處理裝置40的埠41、及保管物品W的保管部51之雙方，是作為移載對象地點2而在平面視角下配置在與第1路徑P1重疊的位置上。當像這樣配置在平面視角下與第1路徑P1重疊的位置的移載對象地點2，被設為第2台車20所進行之物品W的移載對象(物品W的移載起點或移載目的地)的情況下，第2台車20是在該第2台車20的第2本體部21受到第1台車10的支撐用軌道14支撐的狀態下，在移載對象地點2與保持部24之間移載物品W，前述第1台車10的支撐用軌道14是配置在第1路徑P1中在平面視角下與移載對象地點2重疊的位置上。
圖2是顯示將配置在平面視角下與第1路徑P1重疊的位置的埠41，設為藉由第2台車20來移載物品W的移載對象地點2之狀況。由於圖2所示的埠41是配置在與第1路徑P1中之和第2路徑P2的連接部CP在平面視角下重疊的位置之移載對象地點2，因此在圖2所示的狀況下，第2台車20是在該第2台車20的第2本體部21受到配置在連接部CP的第1台車10的支撐用軌道14所支撐的狀態下，在移載對象地點2與保持部24之間移載物品W。在本實施形態中，處理裝置40的埠41或保管物品W的保管部51是作為移載對象地點2而配置在平面視角下與連接部CP重疊的位置上，在圖1所示的例子中，這些埠41及保管部51之雙方是作為移載對象地點2而配置在平面視角下與連接部CP重疊的位置上。
如圖1所示，移載對象地點2也會配置在平面視角下與第2路徑P2重疊的位置上。在圖1所示的例子中，處理裝置40的埠41、及保管物品W的保管部51之雙方，是作為移載對象地點2而在平面視角下配置在與第2路徑P2重疊的位置上。當像這樣配置在平面視角下與第2路徑P2重疊的位置的移載對象地點2，被設為第2台車20所進行之物品W的移載對象(物品W的移載起點或移載目的地)的情況下，第2台車20是在配置於第2路徑P2中在平面視角下與移載對象地點2重疊的位置之狀態下，在移載對象地點2與保持部24之間移載物品W。
圖3~圖5是顯示以下狀況：配置在平面視角下與第2路徑P2重疊的位置的保管部51(具體而言，相對於第2路徑P2而相鄰於下側Z2來配置的保管部51)是設為藉由第2台車20來移載物品W的移載對象地點2。在此是顯示下述狀況：搭載於配置在連接部CP的第1台車10之第2台車20(參照圖3)是從該第1台車10的支撐用軌道14上移動至第2移動用軌道R2上(參照圖4)，而配置在第2路徑P2中在平面視角下與保管部51(物品W的移載對象的保管部51)重疊的位置(參照圖5)。
在圖3~圖5所示的例子中，保管部51是設置於保管裝置50。此保管裝置50具備從下側Z2支撐物品W的支撐部52。支撐部52是構成為可在第2路徑P2的長邊方向(在此為第1水平方向X)上排列並支撐複數個物品W，支撐部52中的物品W的支撐地點的每一個是構成保管部51。在圖3~圖5所示的例子中，支撐部52是從第2移動用軌道R2懸吊支撐。也可以和像這樣的構成不同，而設為支撐部52從天花板1懸吊支撐的構成。又，針對配置在平面視角下與第1路徑P1重疊的位置的保管裝置50(參照圖1)，也可以設成支撐部52從第1移動用軌道R1懸吊支撐的構成。又，也可以設成將支撐部52支撐於牆壁或地板的構成。
當成為位於第2路徑P2之第2台車20的物品W的移載對象之移載對象地點2，配置在平面視角下與不同於該第2路徑P2的第2路徑P2重疊的位置的情況、以及配置在平面視角下與第1路徑P1重疊的位置的情況下，控制部30是使用第1台車10，使第2台車20移動至對應於移載對象地點2的位置。圖6及圖7分別顯示控制部30進行像這樣的控制的狀況的例子。
在圖6中，將在連接部CP中互相連接的2個第2路徑P2的其中一個設為第1對象路徑P2a，並且將另一個設為第2對象路徑P2b，以時間序列的方式來顯示使第2台車20從第1對象路徑P2a移動至第2對象路徑P2b的情形。在本實施形態中，控制部30是構成為在透過連接部CP使位於第1對象路徑P2a的第2台車20即對象台車移動至第2對象路徑P2b的情況下，進行下述控制：配合對象台車到達連接部CP，而將非支撐狀態的第1台車10(亦即，未藉由支撐用軌道14支撐有第2本體部21的狀態之第1台車10)配置於該連接部CP。在此，「配合對象台車到達連接部CP而配置」是指在包含對象台車到達連接部CP的時間點之預定期間內配置。換言之，是指和對象台車到達連接部CP的時間點同時或同時期來配置。從設備整體的物品W之搬送效率的提升的觀點來看，此預定期間較佳的是較短的期間，又，此預定期間的結束時間較佳的是設為對象台車到達連接部CP的時間點。
由於控制部30會進行如上述的控制，因此在圖6所示的例子中，是配合在第1對象路徑P2a上移動的第2台車20到達連接部CP，而將非支撐狀態的第1台車10配置於該連接部CP(圖6(a))。在此，在比第2台車20到達連接部CP的時間點更之前的時間點，將非支撐狀態的第1台車10配置於該連接部CP。並且，已到達連接部CP的第2台車20的第2本體部21是從沿著第1對象路徑P2a而設置的第2移動用軌道R2上，移動至配置於連接部CP的第1台車10的支撐用軌道14上後(圖6(b))，從該支撐用軌道14上，移動至沿著第2對象路徑P2b而設置的第2移動用軌道R2上(圖6(c))。藉此，第2台車20是從第1對象路徑P2a透過連接部CP而移動至第2對象路徑P2b。
在圖7中，將在連接部CP中未互相連接的2個第2路徑P2的其中一個設為第3對象路徑P2c，並且將另一個設為第4對象路徑P2d，以時間序列的方式來顯示使第2台車20從第3對象路徑P2c移動至第4對象路徑P2d的情形。如圖7(d)所示，第3對象路徑P2c與第4對象路徑P2d是透過2個連接部CP(第2連接部CP2及第3連接部CP3)、以及將第1路徑P1中的這2個連接部CP連接的部分而連接。另外，在圖7(d)中，是以一點鏈線的箭頭來顯示在該圖7(d)所示的時間點以前的第1台車10及第2台車20的移動軌跡。
如圖7(a)所示，第2台車20的第2本體部21是從第1台車10的支撐用軌道14上，移動至沿著第3對象路徑P2c而設置的第2移動用軌道R2上，藉此使第2台車20進入至第3對象路徑P2c，前述第1台車10的支撐用軌道14是配置在第1路徑P1中之與第3對象路徑P2c的連接部CP(第1連接部CP1)。在第1路徑P1中之與第3對象路徑P2c的2個連接部CP當中，將不是第1連接部CP1的連接部設為第2連接部CP2，第2台車20是在第3對象路徑P2c上朝向第2連接部CP2側移動。
在本實施形態中，控制部30是構成為在使位於第2路徑P2的第2台車20即對象台車於連接部CP中從該第2路徑P2退出的情況下，進行下述控制：配合對象台車到達連接部CP，而將非支撐狀態的第1台車10配置於該連接部CP。因此，配合在第3對象路徑P2c上移動的第2台車20到達第2連接部CP2，而將非支撐狀態的第1台車10配置於第2連接部CP2，已到達第2連接部CP2的第2台車20的第2本體部21是從沿著第3對象路徑P2c而設置的第2移動用軌道R2上，移動至配置於第2連接部CP2的第1台車10的支撐用軌道14上(圖7(b))。藉此，配置於第2連接部CP2的第1台車10即成為支撐狀態的第1台車10。另外，配置在第2連接部CP2的第1台車10，亦可為和原本配置在第1連接部CP1的第1台車10為相同的第1台車10，亦可為不同的第1台車10。
如圖7(d)顯示第1台車10的移動軌跡，已成為支撐狀態的第1台車10是從第2連接部CP2沿著第1路徑P1來移動，直到第1路徑P1中之與第4對象路徑P2d的連接部CP(第3連接部CP3)。並且，在支撐狀態的第1台車10已配置在第3連接部CP3的狀態下，第2台車20的第2本體部21是從該第1台車10的支撐用軌道14上，移動至沿著第4對象路徑P2d而設置的第2移動用軌道R2上(圖7(c))。藉此，第2台車20是從第3對象路徑P2c透過2個連接部CP及第1路徑P1而移動至第4對象路徑P2d。
[其他的實施形態] 接著，針對物品搬送設備的其他實施形態進行說明。
(1)在上述實施形態中，是以控制部30進行下述控制之構成為例進行了說明：在透過連接部CP使位於第1對象路徑P2a的第2台車20即對象台車移動至第2對象路徑P2b的情況下，配合對象台車到達連接部CP，而將非支撐狀態的第1台車10配置於該連接部CP。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以設成控制部30不進行像這樣的控制之構成。
(2)在上述實施形態中，是以下述構成為例進行了說明：處理裝置40的埠41、或保管物品W的保管部51是作為移載對象地點2而配置在平面視角下與連接部CP重疊的位置上。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以設為在平面視角下與連接部CP重疊的位置上，並不配置埠41及保管部51之任一者。
(3)在上述實施形態中，是以第2台車20具備旋轉機構27的構成為例來進行說明。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以設為第2台車20不具備旋轉機構27的構成。
(4)在上述實施形態中，是以第2路徑P2中之第2台車20的移動方向(第2移動方向M2)設定為雙方向的構成為例來進行說明。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以設成將第2移動方向M2設定為單方向的構成。又，在上述實施形態中，是以第1路徑P1中之第1台車10的移動方向(第1移動方向M1)設定為單方向的構成為例來進行說明。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以設成將第1移動方向M1設定為雙方向的構成。
(5)在上述實施形態中，是以物品搬送設備100具備複數台第1台車10與複數台第2台車20的構成為例來進行說明。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，根據物品搬送設備100的規模或用途，也可以設為以下構成：物品搬送設備100僅具備1台第1台車10的構成、物品搬送設備100僅具備1台第2台車20的構成、或者將這些構成組合之構成。
(6)在上述實施形態中，是以物品W為容置半導體晶圓的容器之構成為例來進行說明。但是，本揭示並不限定於那樣的構成，也可以將物品W設為容置半導體晶圓以外的容置物(倍縮光罩或玻璃基板等)的容器、或容器以外的物品。
(7)另外，在上述各實施形態中所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態所揭示的構成組合來適用(包含作為其他實施形態所說明的實施形態彼此的組合)。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部的點上均只不過是例示。從而，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可適當地進行各種改變。
[上述實施形態的概要] 以下，針對上述所說明的物品搬送設備的概要進行說明。
物品搬送設備具備：第1台車，沿著沿天花板而形成的第1路徑移動；第2台車，沿著第2路徑移動，前述第2路徑是在平面視角下一端或兩端連接於前述第1路徑；及移動用軌道，沿著前述第2路徑而設置，前述第2台車具備：沿著前述移動用軌道而移動的本體部、保持物品的保持部、及使前述保持部相對於前述本體部而升降的升降機構，前述第2台車是構成為：在移載對象地點與前述保持部之間移載前述物品的情況下，藉由前述升降機構使前述保持部下降至對應於前述移載對象地點的高度，前述移載對象地點是配置在比前述第2路徑更下方，前述第1台車具備支撐前述本體部的支撐用軌道，前述第1台車是構成為：在已藉由前述支撐用軌道支撐前述本體部的支撐狀態下，可以和具備該本體部的前述第2台車一起沿著前述第1路徑來移動，在前述第1台車位於前述第1路徑中之和前述第2路徑的連接部之狀態下，前述支撐用軌道是配置在前述移動用軌道的延長線上。
在本構成中，第1台車是構成為：在已藉由支撐用軌道支撐第2台車的本體部的支撐狀態下，可以和第2台車一起沿著第1路徑來移動。因此，藉由使支撐狀態的第1台車沿著第1路徑移動，即可以沿著第1路徑來搬送第1台車所支撐之第2台車的保持部所保持的物品。又，在本構成中，藉由使第2台車沿著第2路徑來移動，即可以沿著第2路徑來搬送第2台車的保持部所保持的物品。
並且，在本構成中，由於是在第1台車位於第1路徑中之和第2路徑的連接部的狀態下，將支撐第2台車的本體部的支撐用軌道配置在沿著第2路徑而設置且供第2台車的本體部移動之移動用軌道的延長線上，因此，在此狀態下，可以使第2台車的本體部在支撐用軌道上與移動用軌道上之間移動。據此，藉由將第1台車配置於連接部，即可以使藉由保持部保持了物品的狀態的第2台車，維持該狀態而從第1台車脫離並進入至第2路徑、或者從第2路徑退出而搭載於第1台車。據此，可以迅速地進行連接部中的第1路徑與第2路徑之間的物品搬送，其結果，在沿著第1路徑與第2路徑之雙方來搬送物品的情況下，變得可以謀求物品的搬送所需要的時間之縮短。
在此，較理想的是，具備複數台前述第1台車與複數台前述第2台車，前述第1路徑中之前述第1台車的移動方向是設定為單方向，前述第2路徑中之前述第2台車的移動方向是設定為雙方向。
根據本構成，由於是將第1路徑中之第1台車的移動方向設定為單方向，因此可以藉由第1路徑中之第1台車的移動的流暢化來謀求物品的搬送效率之提升。又，由於是將第2路徑中之第2台車的移動方向設定為雙方向，因此可以藉由搬送路徑的長度的縮短來謀求物品的搬送效率之提升。
又，較理想的是，具備複數台前述第2台車，前述第2路徑中之前述第2台車的移動方向是設定為雙方向，在前述移動用軌道上連接有退避用軌道，前述退避用軌道是用於使前述第2台車從前述第2路徑退避。
根據本構成，在1個第2路徑上配置有複數台第2台車的情況下，可以使成為移動的妨礙之第2台車從移動用軌道上移動至退避用軌道上，而使其從第2路徑退避。並且，根據本構成，由於可以在不使用第1台車的情形下，進行第2台車從第2路徑的退避或往第2路徑的返回，因此可以將對設備整體的物品搬送效率所造成的影響抑制為較小，來進行這些退避或返回。
又，較理想的是，前述第2路徑是在平面視角下兩端連接於前述第1路徑。
根據本構成，由於和只有第2路徑的一端連接於第1路徑的情況相較之下，可以提高透過第2路徑之物品的搬送路徑的設定的自由度，因此可以謀求設備整體的物品的搬送效率之提升。
又，較理想的是，前述第2台車具備旋轉機構，前述旋轉機構是使前述保持部相對於前述本體部而繞著沿上下方向的軸心來旋轉。
根據本構成，由於可以配合移載對象地點中的物品的擺姿，來使保持部所保持的物品旋轉，因此會變得容易進行移載對象地點與保持部之間的物品的移載。
又，較理想的是，埠或保管前述物品的保管部是作為前述移載對象地點而在平面視角下配置在和前述連接部重疊的位置，前述埠供進行將前述物品設為處理對象之處理裝置中的前述物品的搬入及搬出的至少一者。
在本揭示之物品搬送設備中，是在第2台車受第1台車所支撐的狀態下，使第2台車的本體部受到設置在第1台車的支撐用軌道所支撐。因此，藉由適當地設置支撐用軌道，可以將第2台車受到第1台車所支撐的狀態之第2台車的姿勢，維持在水平姿勢等之適合於物品的移載的姿勢。其結果，即使將移載對象地點配置在平面視角下和連接部重疊的位置上，仍然可以藉由將已支撐第2台車的狀態的第1台車配置於連接部，而在該移載對象地點與第2台車的保持部之間適當地移載物品。根據本構成，可以有效地利用像這樣將移載對象地點配置在平面視角下和連接部重疊的位置之情形，而可以在平面視角下和連接部重疊的位置上，將埠或保管部作為移載對象地點來配置。
又，較理想的是，具備前述連接部的數量以上的數量之前述第1台車。
在本揭示的物品搬送設備中，為了進行第2台車往第2路徑的進入或第2台車從第2路徑的退出，必須將第1台車配置於連接部。根據本構成，由於物品搬送設備具備可以在全部的連接部上配置第1台車的程度之數量的第1台車，因此可以有效率地進行第2台車往第2路徑的進入或第2台車從第2路徑的退出，來謀求設備整體的物品的搬送效率之提升。
又，較理想的是，具備前述第1台車的數量以上的數量之前述第2台車。
假設在第1台車與第2台車的數量相同的情況下，存在有沿著第2路徑移動中的第2台車的情況下，會變成存在有和其相同數量的第1台車為不支撐第2台車的狀態，並且相應於該數量而產生物品搬送設備的浪費之情形。根據本構成，由於物品搬送設備具備第1台車的數量以上的數量之第2台車，因此可以將不支撐第2台車的狀態的第1台車的數量抑制為較少。據此，可以謀求設備整體的物品的搬送效率之提升。
又，較理想的是，具備控制前述第1台車及前述第2台車的控制部，將在前述連接部上互相連接的2個前述第2路徑的其中一個設為第1對象路徑，並且將另一個設為第2對象路徑，前述控制部在使位於前述第1對象路徑的前述第2台車即對象台車，透過前述連接部而移動至前述第2對象路徑的情況下，是進行下述控制：配合前述對象台車到達前述連接部，而將非前述支撐狀態的前述第1台車配置於該連接部。
根據本構成，可以使位於第1對象路徑的第2台車即對象台車的本體部，從沿著第1對象路徑而設置的移動用軌道上移動至配置在連接部的第1台車的支撐用軌道上，並且從該支撐用軌道上移動至沿著第2對象路徑而設置的移動用軌道上，藉此使對象台車從第1對象路徑移動至第2對象路徑。並且，根據本構成，由於是在和對象台車到達連接部的時間點同時或同時期，將非支撐狀態的第1台車配置於該連接部，因此可以一面抑制因將第1台車配置於連接部的時間點過早所造成之設備整體的搬送效率的降低，一面使對象台車迅速地從第1對象路徑移動至第2對象路徑。
本揭示之物品搬送設備只要可以在上述各效果當中發揮至少1個效果即可。
1:天花板 2:移載對象地點 10:第1台車 11:第1本體部 12:第1行走輪 13:台車支撐部 14:支撐用軌道 15:限制體 20:第2台車 21:第2本體部(本體部) 22:第2行走輪 23:升降體 24:保持部 25:升降機構 26:傳動構件 27:旋轉機構 30:控制部 31:第1台車控制部 32:第2台車控制部 40:處理裝置 41:埠 50:保管裝置 51:保管部 52:支撐部 100:物品搬送設備 CP:連接部 CP1:第1連接部 CP2:第2連接部 CP3:第3連接部 M1:第1移動方向(第1台車的移動方向) M2:第2移動方向(第2台車的移動方向) P1:第1路徑 P1a:第1部分 P1b:第2部分 P2:第2路徑 P2a:第1對象路徑 P2b:第2對象路徑 P2c:第3對象路徑 P2d:第4對象路徑 R1:第1移動用軌道 R2:第2移動用軌道(移動用軌道) R3:退避用軌道 R3a:第1退避用軌道 R3b:第2退避用軌道 W:物品 X:第1水平方向 X1:第1側 X2:第2側 Y:第2水平方向 Z:上下方向 Z1:上側 Z2:下側
圖1是物品搬送設備的一部分的平面圖。 圖2是連接部中的物品的移載處理之說明圖。 圖3是第2路徑中的物品的移載處理之說明圖。 圖4是第2路徑中的物品的移載處理之說明圖。 圖5是第2路徑中的物品的移載處理之說明圖。 圖6是以時間序列的方式來顯示第2台車從在連接部中互相連接的2個第2路徑的一者往另一者移動之情形的圖。 圖7是以時間序列的方式來顯示第2台車從在連接部中互相未連接的2個第2路徑的一者往另一者移動之情形的圖。 圖8是控制方塊圖。
1:天花板
2:移載對象地點
10:第1台車
11:第1本體部
12:第1行走輪
13:台車支撐部
14:支撐用軌道
15:限制體
20:第2台車
21:第2本體部(本體部)
22:第2行走輪
23:升降體
24:保持部
25:升降機構
27:旋轉機構
50:保管裝置
51:保管部
52:支撐部
CP:連接部
P1:第1路徑
P2:第2路徑
R1:第1移動用軌道
R2:第2移動用軌道(移動用軌道)
W:物品
X:第1水平方向
X1:第1側
X2:第2側
Z:上下方向
Z1:上側
Z2:下側

Claims (9)

  1. 一種物品搬送設備，具有以下特徵： 前述物品搬送設備具備： 第1台車，沿著沿天花板而形成的第1路徑移動； 第2台車，沿著第2路徑移動，前述第2路徑是在平面視角下一端或兩端連接於前述第1路徑；及 移動用軌道，沿著前述第2路徑而設置， 前述第2台車具備：沿著前述移動用軌道而移動的本體部、保持物品的保持部、及使前述保持部相對於前述本體部而升降的升降機構，前述第2台車是構成為：在移載對象地點與前述保持部之間移載前述物品的情況下，藉由前述升降機構使前述保持部下降至對應於前述移載對象地點的高度，前述移載對象地點是配置在比前述第2路徑更下方， 前述第1台車具備支撐前述本體部的支撐用軌道，前述第1台車是構成為：在已藉由前述支撐用軌道支撐前述本體部的支撐狀態下，可以和具備該本體部的前述第2台車一起沿著前述第1路徑來移動， 在前述第1台車位於前述第1路徑中之和前述第2路徑的連接部之狀態下，前述支撐用軌道是配置在前述移動用軌道的延長線上。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其具備複數台前述第1台車與複數台前述第2台車， 前述第1路徑中之前述第1台車的移動方向是設定為單方向， 前述第2路徑中之前述第2台車的移動方向是設定為雙方向。
  3. 如請求項1或2之物品搬送設備，其具備複數台前述第2台車， 前述第2路徑中之前述第2台車的移動方向是設定為雙方向， 在前述移動用軌道上連接有退避用軌道，前述退避用軌道是用於使前述第2台車從前述第2路徑退避。
  4. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中前述第2路徑是在平面視角下兩端連接於前述第1路徑。
  5. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中前述第2台車具備旋轉機構，前述旋轉機構是使前述保持部相對於前述本體部而繞著沿上下方向的軸心來旋轉。
  6. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中埠或保管前述物品的保管部是作為前述移載對象地點而在平面視角下配置在和前述連接部重疊的位置，前述埠供進行將前述物品設為處理對象之處理裝置中的前述物品的搬入及搬出的至少一者。
  7. 如請求項1或2之物品搬送設備，其具備前述連接部的數量以上的數量之前述第1台車。
  8. 如請求項1或2之物品搬送設備，其具備前述第1台車的數量以上的數量之前述第2台車。
  9. 如請求項1或2之物品搬送設備，其具備控制前述第1台車及前述第2台車的控制部， 將在前述連接部上互相連接的2個前述第2路徑的其中一個設為第1對象路徑，並且將另一個設為第2對象路徑， 前述控制部在使位於前述第1對象路徑的前述第2台車即對象台車，透過前述連接部而移動至前述第2對象路徑的情況下，是進行下述控制：配合前述對象台車到達前述連接部，而將非前述支撐狀態的前述第1台車配置於該連接部。
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