JP2017154840A - 物品搬送設備 - Google Patents

Abstract

【課題】より柔軟に調整用載置面を設定することができ、効率的に物品搬送車の調整が可能な技術を提供する。【解決手段】天井に設置された走行レールＲに吊下げ支持されて、搬送元となる載置台から搬送先となる載置台へ物品を吊り下げ支持して搬送する物品搬送車１を備えた物品搬送設備は、載置台に物品を載置する形態と同じ形態で、搬送用プロファイル情報を調整するための調整用装置Ｃを載置可能な調整用載置面Ｐを有する調整用載置台４を備える。調整用載置面Ｐは、予め規定された上限高さＨＬと下限高さＬＬとの間で、異なる高さに無段階に設定可能である。【選択図】図７

Description

本発明は、天井に設置された走行レールに吊下げ支持されて走行し、搬送元となる載置台から搬送先となる載置台へ物品を吊り下げ支持して搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。

天井に設けられたレールに吊り下げられた物品搬送車を利用して、物品を自動的に運搬する物品搬送設備が実用化されている。物品を高い精度で移載するため、具体的には、搬送元において物品を精度良く保持し、搬送して、搬送先の所定の位置に精度良く載置するためには、物品搬送車の停止位置や物品を支持する支持部が支持動作をする位置が精度良く調整されていることが好ましい。例えば、特開２００９−３５４０３号公報（特許文献１）には、そのような調整（教示）に関する技術が開示されている（［００４９］−［００６４］、図１〜図３等）。特許文献１では、実際に物品が載置される載置台を使った搬送動作を物品搬送車に行わせることによって、調整を行っている。このように実際に物品が載置される載置台を使って調整を行うと、調整を行っている間、その載置台を利用することができず、物品搬送設備の稼働率を低下させるおそれがある。

このため、実際の載置台の高さ（地上からの高さ、或いは天井側のレールから載置台の載置面までの距離）に応じた位置に物品を載置できるように構成された調整用載置台を別途設けて調整を行うことが考えられる（例えば、図１４参照。）。この調整用載置台４００は、物品に代えて調整用載置台４００に載置される調整用ユニットＣを異なる高さの調整用載置面Ｐ（Ｐ１０１〜Ｐ１０３）に載置することができるように構成されている。この例では、調整用載置台４００は、桁部ＢＧと、桁部ＢＧに架け渡された載置部ＳＳとを備えている。載置部ＳＳは、不図示のアクチュエータによる揺動により、調整用載置面Ｐが垂直方向（上下方向）に沿う状態と、調整用載置面Ｐが水平方向に沿う状態との間で姿勢変更可能に構成されている。但し、このような構造では、実際の載置台の高さに応じて柔軟に調整用載置面Ｐの高さを設定することは困難である。また、異なる調整用載置面Ｐの高さの差が小さい場合には、上下方向に隣接する載置部ＳＳ同士が干渉するおそれがあり、短い間隔で調整用載置面Ｐを設定することも困難である。

特開２００９−３５４０３号公報

上記背景に鑑みて、より柔軟に調整用載置面を設定することができ、効率的に物品搬送車の調整が可能な技術の提供が望まれる。

１つの態様として、上記に鑑みた物品搬送設備は、
天井に設置された走行レールと、前記走行レールに沿って地上側に設けられた複数の載置台と、前記走行レールに吊下げ支持されて前記走行レールによって形成された走行経路に沿って走行し、搬送元となる前記載置台から搬送先となる前記載置台へ物品を吊り下げ支持して搬送する物品搬送車と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車は、前記走行経路に沿って走行する走行部と、前記走行部に支持され且つ前記物品を把持して吊り下げ支持する支持部と、前記走行部が停止した状態で前記支持部を前記走行部に対して昇降させる昇降部と、各載置台において前記物品を移載するための前記支持部及び前記昇降部の作動量の情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報を記憶するプロファイル記憶部と、を備え、
前記搬送用プロファイル情報を調整するための調整用装置と、
前記載置台に前記物品を載置する形態と同じ形態で前記調整用装置を載置可能な調整用載置面を有する調整用載置台と、を備え、
前記調整用装置は、前記物品と同じ形態で前記支持部に吊り下げ支持されることが可能であると共に前記物品と同じ形態で前記物品搬送車により前記載置台に載置されることが可能であり、前記調整用載置面に対する移載の際に、前記支持部及び前記昇降部の作動量の情報を取得して前記搬送用プロファイル情報を調整し、
前記調整用載置面は、予め規定された上限高さと下限高さとの間で、異なる高さに無段階に設定可能である。

調整用載置台は、調整用載置面の高さを無段階に調整可能であるから、柔軟に調整用載置面の高さを設定することができる。例えば、構造的に調整用載置面の高さが固定されていると、物品搬送設備の仕様（例えば床面と天井面との距離など）に応じて、調整用載置面の高さを変更することが容易ではない。多段階に高さを設定できるような構造であっても、要求される調整用載置面の高さに合った段が設けられているとは限らない。本構成によれば、無段階に高さを調整可能な調整用載置面を有する調整用載置台を用いて、搬送用プロファイル情報を調整することができる。このため、基準となるプロファイル情報を共通化して、プロファイル情報を調整する際の演算負荷を軽減することもできる。物品搬送設備が物品搬送車を多く有する場合には、調整に要する総時間を短縮することもでき、物品搬送設備の稼働率を向上させることもできる。このように、本構成によれば、より柔軟に調整用載置面を設定することができ、効率的に物品搬送車の調整が可能な技術が提供される。

１つの態様として、前記調整用載置台は、垂直方向に立設されたガイドレールと、前記ガイドレールに少なくとも水平方向の一端が支持されて上面に前記調整用載置面が形成される載置部と、前記載置部を前記ガイドレールに沿って昇降させる昇降アクチュエータと、前記載置部の垂直方向における位置を検出する位置検出センサと、前記位置検出センサの検出結果に基づいて前記昇降アクチュエータを制御して、前記調整用載置面を予め規定された調整用高さに設定する調整台制御装置と、を備えると好適である。

この構成によれば、昇降アクチュエータの制御によって、載置部を垂直方向に無段階で移動させることができる。載置部の上面には、調整用載置面が形成されているから、調整用載置面を異なる高さに無段階に設定することができる。

ここで、前記調整用高さは、前記載置台に前記物品が載置される物品載置面の高さ、及び、前記支持部が予め規定された上昇設定位置から前記載置台に前記物品を載置する際の下降設定位置まで移動する際の前記昇降部の作動量、の少なくとも一方に応じて規定されていると好適である。

搬送用プロファイル情報に含まれる、物品を移載するための支持部及び昇降部の作動量の情報は、載置台の上面と上昇設定位置との距離によって定まる。床面と載置台の上面との距離は、床面が基準となるため物品搬送設備が設置される場所に拘わらず、ほぼ一定である。しかし、物品搬送車は、天井に設置された走行レールに吊り下げ支持され、天井に走行レールを設置するためのブラケット等は、概ね工業規格に応じた標準的な寸法であるから、載置台の上面と上昇設定位置との距離は、物品搬送設備が設置される場所によって異なる可能性がある。また、支持部及び昇降部の作動量は、走行部に対して支持部を吊り下げるベルト等の繰り出し量や繰り出しの際に回転するプーリー等の回転数などによって規定される場合もある。そして、このような繰り出し量や回転数は、支持部及び昇降部の移動距離（作動量）が同じであっても、物品搬送車の仕様によって異なる場合がある。さらに、１つの物品搬送設備に複数種の物品搬送車が用いられている場合もある。

調整用載置面は、上述したような載置台の上面と上昇設定位置との距離や、支持部及び昇降部の作動量（繰り出し量や回転数）が異なっていても適切に搬送用プロファイル情報が調整できるように設定できることが好ましい。従って、調整用載置面の高さを規定する調整用高さは、物品載置面の高さ、及び、支持部が上昇設定位置から下降設定位置まで移動する際の前記昇降部の作動量、の少なくとも一方に応じて規定されていると好適である。

また、複数の前記載置台は、前記物品載置面の高さが異なる複数種を含み、前記調整用高さは、それぞれの前記物品載置面の高さに応じて規定されていると好適である。

複数の載置台の高さも１つの物品搬送設備において１種類とは限らない。床面からの高さが異なる複数種の載置台が用いられている場合もある。物品搬送車は、そのような複数種の載置台に対して物品の搬送を行うから、複数種の載置台のそれぞれの物品載置面の高さに応じて適切に搬送用プロファイル情報を調整できるように調整用載置面が設定できることが好ましい。

１つの態様として、前記調整用載置台は、前記走行レールに吊り下げ支持された前記物品搬送車を床側へ離脱させるメンテナンス用昇降装置に備えられていると好適である。

天井に設置された走行レールに吊下げ支持される物品搬送車は、検査や修理などのメンテナンスの際には、作業効率や安全生を考慮して、地上側に降ろされることが多い。このため、多くの場合、物品搬送車を地上側に降ろす、つまり、天井に設置された走行レールから床側に離脱させるために、メンテナンス用昇降装置が、物品搬送設備に設けられている。このようなメンテナンス用昇降装置に加えて、メンテナンス用昇降装置とは別の箇所に調整用載置台を設けると、物品搬送設備の有効面積が減少するおそれがある。メンテナンス用昇降装置に調整用載置台を備えることによって、メンテナンスのために必要な空間を抑制することができる。また、物品搬送車の検査や修理の際に、搬送用プロファイルの調整を合わせて行うこともできるので、整備や調整等で当該物品搬送車が離脱する時間を抑制して、当該物品搬送車の稼働率の低下を抑制することもできる。

物品搬送設備のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

物品搬送設備の構成を模式的に示す図 分岐部の拡大図 天井搬送車の側面図 物品搬送設備及び天井搬送車のシステム構成を模式的に示すブロック図 天井搬送車及び載置台を示す側面図 天井搬送車及び載置台を示す側面図 調整用載置台の一例を示す側面図 調整用載置台上の調整用ユニットと天井搬送車との関係を示す側面図 吊り下げ支持された調整用ユニットと検査台との関係を示す側面図 調整実施時の調整用載置面と調整用ユニットとの位置関係を示す拡大図 検査台の他の例を示す側面図 メンテナンスリフタの一例を示す図 メンテナンスリフタに調整用載置台が一体化された例を示す図 固定有段型の検査台の一例を示す側面図

以下、物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、物品搬送設備の構成例を模式的に示している。本実施形態では、半導体基板に対して、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う複数の半導体処理装置（処理装置２）の間で、走行経路Ｌに沿って一方向に物品Ｗを搬送する物品搬送車（天井搬送車１）を備えた物品搬送設備を例として説明する。走行経路Ｌは、支持ブラケットによって支持されて天井側に設置された走行レールＲ（図２及び図３参照）によって形成されている。走行経路Ｌには、経路が分岐する分岐部Ｊ１及び経路が合流する合流部Ｊ２を有している。図２は、走行経路Ｌが分岐する分岐部Ｊ１の拡大図を示している。本実施形態では、図３に示すように、物品搬送車は、走行レールＲに吊り下げ支持された天井搬送車１である。以下、天井搬送車１が走行する方向を走行方向Ｙとし、その走行方向Ｙに対して平面視で直交する方向（水平面上で走行方向Ｙに直交する方向）を横方向Ｘと称して説明する。

本実施形態では、物品Ｗは、図３を参照して後述するように、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称され、複数枚の半導体基板を収容する容器である。物品Ｗは、フランジ部６と、収容部５とを有しており、収容部５の前面（例えば走行方向Ｙの側）には、半導体基板を出し入れするための基板出入口（不図示）が形成されている。この基板出入口は着脱可能な蓋体（不図示）によって閉じることが可能である。処理装置２は、容器（物品Ｗ）に収容されている基板（半導体基板）に対して上述したような種々の処理を行う。容器（物品Ｗ）を各処理装置２の間で搬送するため、各処理装置２には、それぞれの処理装置２に隣接する状態で、床面上に（地上側に）載置台３（載置台）が設置されている。これらの載置台３は、天井搬送車１による物品Ｗの搬送対象箇所（搬送元及び搬送先）である。

即ち、物品搬送設備は、天井に設置された走行レールＲと、走行レールＲ（走行経路Ｌ）に沿って地上側に設けられた複数の載置台３と、天井搬送車１とを備えている。天井搬送車１は、走行レールＲに吊下げ支持されて、走行レールＲによって形成された走行経路Ｌに沿って走行し、搬送元となる載置台３から搬送先となる載置台３へ物品Ｗを搬送する。

図１に示すように、物品搬送設備には、少なくとも２つの異なる属性の領域（第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２）が設けられている。走行経路Ｌは、第１エリアＥ１に設けられた第１経路Ｌ１と、第１経路Ｌ１に対して分岐及び合流すると共に第２エリアＥ２に設けられた第２経路Ｌ２とを含む。第１エリアＥ１は、上述した処理装置２が備えられて、各処理装置２（載置台３）の間を、天井搬送車１によって物品Ｗが搬送される領域である。第２エリアＥ２は、第１エリアＥ１とは別の領域に設けられ、後述する調整用ユニットＣを用いて天井搬送車１の調整が行われる領域である。第２エリアＥ２には、後述する被検出体Ｍ（図１０参照）が備えられた検査対象箇所としての調整用載置台４が床面上に設置されている。尚、調整用載置台４及び調整用ユニットＣは、載置台３に物品Ｗを載置する形態と同じ形態で、調整用載置台４に調整用ユニットＣを載置できるように構成されている。

第１経路Ｌ１は、図１において中央部に示された、相対的に大きな環状の主経路Ｌｐと、主経路Ｌｐの外側に示された、相対的に小さな環状の副経路Ｌｓとを含む。主経路Ｌｐから副経路Ｌｓへの分岐部分である分岐部Ｊ１には、図２に示すように、案内レールＧが設けられている。分岐部Ｊ１は、第１経路Ｌ１から第２経路Ｌ２への分岐部分にも存在し、同様に案内レールＧが設けられている。また、図示及び詳細な説明は省略するが、副経路Ｌｓから主経路Ｌｐへの合流部分である合流部Ｊ２にも同様の案内レールＧが設けられている。その他の分岐部分及び合流部分（例えば、図１の上部において主経路Ｌｐに対して接続されている外部接続経路（入場経路Ｌ３及び退場経路Ｌ４）と主経路Ｌｐとの分岐部分及び合流部分）についても同様である。

図３は、天井搬送車１の側面図（走行方向Ｙに直交する方向に見た図）を示している。天井搬送車１は、走行経路Ｌに沿って走行する走行部２２と、走行レールＲの下方に位置するように走行部２２に吊り下げ支持され且つ物品Ｗを支持する支持部２４を備えた本体部２３とを備えている。走行部２２には、走行経路Ｌに沿って設置された走行レールＲ上を転がる走行車輪２２ａと、その走行車輪２２ａを回転させる走行用モータ２２ｍとが備えられている。

図２及び図３に示すように、走行部２２には、走行経路Ｌの分岐部Ｊ１及び合流部Ｊ２に設けられた案内レールＧに案内される案内ローラ２２ｂも備えられている。案内ローラ２２ｂは、走行部２２の走行方向Ｙに沿った方向に見て左右方向（横方向Ｘ）に姿勢変更できるように構成されている。案内ローラ２２ｂの姿勢変更は、案内ローラソレノイド２２ｓ（図２、図４参照）によって行われる。案内ローラソレノイド２２ｓは、案内ローラ２２ｂの位置を、走行方向Ｙに向かって右側（右方向ＸＲ側）の第１位置と左側（左方向ＸＬ側）の第２位置とに切換え、且つ案内ローラ２２ｂをその位置に保持する。案内ローラ２２ｂは、第１位置に位置するときには、走行方向Ｙに沿った方向に見て案内レールＧの右側面に当接し、分岐しない側の案内レール（ここでは相対的に走行方向Ｙに向かって右側に延伸する案内レール（直進側案内レールＧＲ））に沿って走行部２２を案内する。
また、案内ローラ２２ｂは、第２位置に位置するときには、走行方向Ｙに沿った方向に見て案内レールＧの左側面に当接し、左側に延伸する案内レール（分岐側案内レールＧＬ）に沿って走行部２２を案内する。

図３に示すように、物品Ｗのフランジ部６は、物品Ｗの上端部（収容部５よりも上方）に設けられており、天井搬送車１の支持部２４によって支持される。天井搬送車１は、支持部２４によってフランジ部６を吊り下げ支持した状態で物品Ｗを搬送する。図３に示すように、収容部５の底面（物品Ｗの底面）には、上方に向かって凹んだ３つの溝状の底面凹部７が設けられている。３つの底面凹部７のそれぞれは、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部７の内側面が傾斜面となるように形成されている。これら底面凹部７の機能については後述する。また、図３に示すように、フランジ部６の上面（物品Ｗの上面）には、下方に向かって円錐形状に凹んだ上面凹部８が形成されている。この上面凹部８は、下方ほど細い先細り形状に形成されており、上面凹部８の内側面が傾斜面となるように形成されている。上面凹部８の機能についても後述する。

天井搬送車１の本体部２３は、支持部２４と、昇降部２５と、スライド部２６と、回転部２７と、カバー体２８とを備えている。支持部２４は、物品Ｗを吊り下げ支持する機構である。昇降部２５は、支持部２４を走行部２２に対して昇降移動させる駆動部である。スライド部２６は、支持部２４を走行部２２に対して横方向Ｘにスライド移動させる駆動部である。回転部２７は、支持部２４を走行部２２に対して不図示の縦軸心（垂直方向の軸心）周りに回転させる駆動部である。カバー体２８は、図３に示すように、物品Ｗを支持した支持部２４が、後述する上昇設定位置まで上昇している状態で、物品Ｗの上方側及び経路前後側を覆う部材である。尚、上昇設定位置とは、物品Ｗ等の物品を支持した状態で天井搬送車１が走行レールＲに沿って走行する際に、支持部２４が位置する上下方向（垂直方向）の位置として予め規定された位置である。

図４のブロック図は、物品搬送設備及び天井搬送車１のシステム構成を模式的に示している。第１制御装置Ｈ１は、物品搬送設備の中核となるシステムコントローラである。第１制御装置Ｈ１は、天井搬送車１に対する上位コントローラであり、主として第１エリアＥ１における天井搬送車１の作動を制御して、物品Ｗを搬送するための搬送制御の中核となる制御装置である。第２制御装置Ｈ２は、天井搬送車１の調整を行う調整制御の中核となる上位コントローラであり、第２エリアＥ２における天井搬送車１の作動を制御する制御装置である。本実施形態では、このように第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２のそれぞれにおいて天井搬送車１の制御の中核となる制御装置を別途設置しているが、天井搬送車１が、両エリア（Ｅ１，Ｅ２）において共通の制御装置によって制御される形態を妨げるものではない。

図４に示すように、天井搬送車１は、通信制御部１０と、作動制御部１１と、プロファイル記憶部１２と、調整用通信部１５とを備えている。通信制御部１０は、例えば無線ＬＡＮ等に対応したアンテナ及び通信制御回路等によって構成され、少なくとも第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２とワイヤレス通信を行う。作動制御部１１は、マイクロコンピュータ等によって構成され、第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２からの指令に基づいて天井搬送車１を自律制御により作動させる。

プロファイル記憶部１２は、メモリ等の記憶媒体により構成され、各載置台３において物品Ｗを移載するための位置や作動量の情報を含む搬送用プロファイル情報を記憶する。位置情報には、各載置台３において物品Ｗを搬送及び移載するための搬送用停止目標位置情報及び搬送用移載基準作動量情報を含む。詳細は後述するが、搬送用停止目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第１経路Ｌ１）上において走行部２２を停止させる目標位置（搬送用停止目標位置）を示す情報である。また、搬送用移載基準作動量情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第１経路Ｌ１）上で停止している状態で、走行部２２に対して支持部２４を移動（昇降、回転、スライド；詳細は後述する）させる作動量（搬送用移載基準作動量）を示す情報である。

調整用通信部１５は、例えば、近距離ワイヤレス通信規格に対応したアンテナ及び通信制御回路によって構成されている。詳細は後述するが、調整用通信部１５は、調整用ユニットＣのユニット通信部１６とワイヤレス通信を行い、更新された搬送用プロファイル情報、或いは更新用のプロファイル情報（例えば差分情報）を受信する。

本体部２３を構成する支持部２４には、一対の把持爪２４ａ（図３参照）と、把持用モータ２４ｍ（図４参照）とが備えられている。図３に示すように、一対の把持爪２４ａのそれぞれは、各把持爪２４ａの下端部にてフランジ部６を下方から支持するように、側面から見て（Ｘ方向に見て）Ｌ字状に形成されている。一対の把持爪２４ａは、把持用モータ２４ｍの駆動力によって、水平方向に沿って、互いに接近及び離間する。支持部２４は、支持状態と支持解除状態とに切換可能に構成されており、一対の把持爪２４ａが、接近することで支持状態となり、離間することで支持解除状態となる。

図３に示すように、物品Ｗを吊り下げ支持する支持部２４は、支持部２４と同じく本体部２３を構成する昇降部２５により走行部２２に対して昇降可能に支持されている。昇降部２５には、巻回体２５ａと、巻き取りベルト２５ｂと、昇降用モータ２５ｍ（図４参照）とが備えられている。巻回体２５ａは、後述する回転体２７ａに支持されている。巻き取りベルト２５ｂは、巻回体２５ａに巻回されており、先端部には支持部２４が連結支持されている。昇降用モータ２５ｍは、巻回体２５ａを回転させるための動力を与える。昇降用モータ２５ｍが巻回体２５ａを正方向に回転させることによって、巻き取りベルト２５ｂを巻き取り、昇降用モータ２５ｍが巻回体２５ａを逆方向に回転させることによって、巻き取りベルト２５ｂを繰り出す。これによって、支持部２４及び支持部２４に支持された物品Ｗが昇降移動される。尚、昇降部２５には、巻回体２５ａの繰り出し量をパルス数により計測するエンコーダ（不図示）も有している。作動制御部１１は、このパルス数に基づいて支持部２４の昇降高さを制御する。

同じく本体部２３を構成するスライド部２６には、中継部２６ａ（図３参照）と、スライド用モータ２６ｍ（図４参照）とが備えられている。中継部２６ａは、走行部２２に対して横方向Ｘに沿ってスライド移動可能なように、走行部２２に支持されている。スライド用モータ２６ｍは、中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させるための動力を与える。スライド部２６は、スライド用モータ２６ｍの駆動により中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させることで、支持部２４及び昇降部２５を横方向Ｘに沿って移動させる。

同じく本体部２３を構成する回転部２７には、回転体２７ａ（図３参照）と、回転用モータ２７ｍ（図４参照）とが備えられている。回転体２７ａは、垂直方向（上下方向）に沿った縦軸心周りに回転可能に、中継部２６ａに対して支持されている。回転用モータ２７ｍは、回転体２７ａを縦軸心周りに回転させるための動力を与える。回転部２７は、回転用モータ２７ｍの駆動により回転体２７ａを回転させることで、支持部２４及び昇降部２５を縦軸心周りに沿って回転させる。

例えば、搬送用移載基準作動量は、走行部２２に対する支持部２４の縦軸心周りの回転量を規定する回転作動量、走行部２２に対する支持部２４の横方向Ｘでの移動量を規定するスライド作動量、及び、走行部２２に対する支持部２４の上下方向での作動量を規定する下降作動量により定められている。この場合、走行部２２が走行レールＲを走行する際の支持部２４の縦軸心周りの位置を回転基準位置とし、走行部２２が走行する際の支持部２４の横方向Ｘでの位置をスライド基準位置とし、走行部２２が走行する際の支持部２４の上下方向での位置を上昇設定位置とすると好適である。即ち、支持部２４が縦軸心周りで回転基準位置に位置し、且つ横方向Ｘでスライド基準位置に位置し、且つ上下方向で上昇設定位置に位置する位置が支持部２４の走行用位置である。天井搬送車１は、支持部２４が走行用位置に位置する状態で走行レールＲに沿って走行する。

ところで、図１を参照して上述したように、物品搬送設備には、少なくとも２つの異なる属性の領域（第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２）が設けられている。天井搬送車１は、第１エリアＥ１において、複数の載置台３の間で物品Ｗを搬送する。第２エリアＥ２は、天井搬送車１の調整が行われる領域であり、検査対象箇所としての調整用載置台４が床面上に設置されている。プロファイル記憶部１２に記憶されているプロファイル記情報には、各載置台３において物品Ｗを搬送及び移載するための搬送用停止目標位置情報及び搬送用移載基準作動量情報に加え、調整用停止目標位置情報及び調整用移載基準作動量情報も含まれる。

調整用停止目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第２経路Ｌ２）上において走行部２２を停止させる目標位置（調整用停止目標位置）を示す情報である。また、調整用移載基準作動量情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第２経路Ｌ２）上で天井搬送車１が停止している状態で、走行部２２に対して支持部２４を移動（昇降、回転、スライド）させる作動量（調整用移載基準作動量）を示す情報である。

作動制御部１１は、上位コントローラである第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２からの搬送指令に基づいて、搬送制御及び調整制御を実行する。作動制御部１１は、搬送制御及び調整制御の実行に際して、天井搬送車１に設けられている各種アクチュエータを駆動制御する。まず、搬送制御について説明する。搬送制御は、搬送元の載置台３から物品Ｗを受け取り、搬送先の載置台３にその物品Ｗを受け渡すことで、搬送元の載置台３から搬送先の載置台３に物品Ｗを搬送する制御である。搬送元の載置台３から搬送先の載置台３に物品Ｗを搬送する搬送指令に応答して、受取走行処理、受取昇降処理、受渡走行処理、受渡昇降処理の順に処理が実行される。

受取走行処理では、作動制御部１１は、搬送元として指定された載置台３についての搬送用停止目標位置情報に基づいて、走行用モータ２２ｍを制御し、走行部２２を搬送元の載置台３の搬送用停止目標位置まで走行させて、走行部２２を当該搬送用停止目標位置に停止させる。

受取昇降処理では、作動制御部１１は、搬送元の載置台３についての搬送用移載基準作動量情報に基づいて、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御して支持部２４を走行用位置から物品Ｗの近傍まで移動させる。さらに、作動制御部１１は、把持用モータ２４ｍを制御して、把持爪２４ａを接近位置に移動させて、物品Ｗのフランジ部６を把持する。その後、作動制御部１１は、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御して、物品Ｗを吊り下げた状態で、支持部２４を走行用位置に移動させる。これにより、搬送元の載置台３に支持されていた物品Ｗは、走行用位置に位置する支持部２４に支持される。

受渡走行処理では、作動制御部１１は、搬送先として指定された載置台３についての搬送用停止目標位置情報に基づいて、走行用モータ２２ｍを制御し、物品Ｗを吊り下げた状態で走行部２２を走行させ、当該搬送用停止目標位置にて停止させる。

受渡昇降処理では、作動制御部１１は、搬送先の載置台３についての搬送用移載基準作動量情報に基づいて、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御して、物品Ｗを吊り下げた状態で、支持部２４を走行用位置から載置台３の近傍まで移動させる。さらに、作動制御部１１は、把持用モータ２４ｍを制御して、把持爪２４ａを離間位置に移動させる。これにより、支持部２４に支持されていた物品Ｗは、搬送先の載置台３に載置される。その後、作動制御部１１は、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御して、支持部２４を走行用位置に移動させる。

ところで、フランジ部６の上面（物品Ｗの上面）には、図３に示すように、上面凹部８が形成されている。上面凹部８は、支持部２４を図５に示すように下降移動させたときに、支持部２４に備えられている押圧部２４ｃが上方から係合するように構成されている。例えば、受取昇降処理において、天井搬送車１が支持部２４を下降移動させた際に、載置台３に載置支持されている物品Ｗに対して支持部２４が水平方向にずれている場合がある。この場合でも、押圧部２４ｃが上面凹部８の内面に接触して案内されることで、支持部２４の水平方向での位置が、物品Ｗに対して適した位置に案内される。

また、物品Ｗの底面には、図３に示すように、３つの溝状の底面凹部７が備えられている。図６に示すように、底面凹部７は、図６に示すように、物品Ｗが搬送先の載置台３に載置されるときに、載置台３に備えられている位置決め部材９が下方から係合する位置に備えられている。例えば、受渡昇降処理において、支持部２４が下降移動して物品Ｗが載置台３に移載される際に、物品Ｗが載置台３の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合がある。この場合でも、位置決め部材９が底面凹部７の内側面に接触して物品Ｗが水平方向に移動されることで、物品Ｗの水平方向での位置が載置台３の適正支持位置に修正される。

このように、受取昇降処理や受渡昇降処理における多少の誤差は、支持部２４や載置台３の機械的な構造によって低減させることができる。しかし、天井搬送車１の経年変化や消耗等によって、誤差が大きくなると、そのような機械的な構造による対応では誤差を緩和することができず、物品Ｗなどの物品が適正に移載できなくなる場合がある。例えば、走行車輪２２ａの摩耗等により、搬送用停止目標位置情報が表す搬送用停止目標位置が、理想的な搬送用停止目標位置からずれる場合がある。また、昇降部２５の経年劣化や消耗に伴って搬送用移載基準作動量情報が表す搬送用移載基準作動量と理想的な搬送用移載基準作動量とのずれが徐々に大きくなる場合もある。一般的には、期間を定めて定期点検等が行われ、その際に調整が実施される。しかし、各天井搬送車１の稼働率の差や、個体差等によって、定期点検よりも早く誤差が大きくなることもある。従って、個々の天井搬送車１に応じた適切な時期に適切な調整が行われることが望ましい。

１つの態様として、実際の載置台３の高さ（地上からの高さ、或いは走行レールＲから載置台の載置面までの距離）に応じた位置に物品Ｗを載置できるように構成された調整用載置台を別途設けて調整を行うことが考えられる（例えば、図１４参照。）。この調整用載置台４００は、物品に代えて調整用載置台４００に載置される調整用ユニットＣを異なる高さの調整用載置面Ｐ（Ｐ１０１〜Ｐ１０３）に載置することができるように構成されている。この例では、調整用載置台４００は、桁部ＢＧと、桁部ＢＧに架け渡された載置部ＳＳとを備えている。載置部ＳＳは、不図示のアクチュエータによる揺動により、調整用載置面Ｐが垂直方向（上下方向）に沿う状態と、調整用載置面Ｐが水平方向に沿う状態との間で姿勢変更可能に構成されている。但し、このような構造では、実際の載置台３の高さに応じて柔軟に調整用載置面Ｐの高さを設定することが容易ではない。また、異なる調整用載置面Ｐの高さの差が小さい場合には、上下方向に隣接する載置部ＳＳ同士が干渉するおそれがあり、短い間隔で調整用載置面Ｐを設定することも困難である。

そこで、本実施形態では、図７に示すように、調整用載置面Ｐを、予め規定された上限高さＨＬと下限高さＬＬとの間で、異なる高さに無段階に設定可能な調整用載置台４が利用される。調整用載置面Ｐには、載置台３に物品Ｗを載置する形態と同じ形態で調整用ユニットＣを載置可能である。

調整用載置台４は、垂直方向に立設されたガイドレール４１と、昇降ベルト４３とを備えている。調整用載置面Ｐが上面に形成された載置部Ｓは、ガイドレール４１に少なくとも水平方向の一端が支持されている。本実施形態では、載置部Ｓは、ガイドレール４１と昇降ベルト４３によって両端が支持されている。昇降ベルト４３は、昇降アクチュエータ４４によって駆動される。昇降アクチュエータ４４は、例えばモータであり、当該モータが正方向に回転することで載置部Ｓはガイドレール４１に沿って上昇し、当該モータが逆方向に回転することで載置部Ｓはガイドレール４１に沿って下降する。つまり、昇降アクチュエータ４４は、載置部Ｓをガイドレール４１に沿って昇降させる。

載置部Ｓの垂直方向における位置は位置検出センサ４５によって検出される。図７には、位置検出センサ４５として、レーザー距離計を例示している。レーザー距離計は、載置部Ｓの裏面側にレーザーを照射して、レーザー距離計と載置部Ｓとの距離を計測する。ここでは、位置検出センサ４５としてこのようなレーザー距離計を例示しているが、エンコーダ等によって昇降ベルト４３の移動量を計測する形式であってもよい。位置検出センサ４５による検出結果は、調整台制御装置４８に伝達される。調整台制御装置４８は、第２制御装置Ｈ２からの指令（調整用載置面Ｐの位置（調整用高さ）の指示を含む）により、位置検出センサ４５の検出結果に基づいて昇降アクチュエータ４４を駆動制御して、載置部Ｓを昇降させる。これによって、調整用載置面Ｐは、予め規定された調整用高さに設定される。

調整台制御装置４８は、第２制御装置Ｈ２からの指令に基づいて、或いは、調整台制御装置４８に備えられた操作パネル４９への作業者の操作に基づいて、載置部Ｓを昇降させる。例えば、作業者による操作パネル４９の操作に基づいて、載置部Ｓを昇降させても良いし、第２制御装置Ｈ２に組み込まれたプログラム等に基づいて、自動的に載置部Ｓを昇降させてもよい。このように載置部Ｓを自動的に昇降させる場合には、搬送用プロファイル情報の調整の全工程を自動化することも可能である。

尚、調整用高さは、載置台３に物品Ｗが載置される物品載置面（図５参照）の高さに応じて規定されていると好適である。調整用高さは、載置台３に物品Ｗが載置される高さ（物品載置面の高さ）に応じて規定されていると、実際の載置台３を用いて調整することと等価な調整が可能となる。尚、物品搬送設備に備えられる複数の載置台３の全てにおいて、物品載置面の高さが同じであるとは限らない。複数の載置台３が、物品載置面の高さの異なる複数の種類の載置台３を含む場合もある。この場合、天井搬送車１は、複数の種類の載置台３に対して物品Ｗの搬送を行う。従って、調整用高さが、それぞれの物品載置面の高さに応じて複数、規定されていると、複数の種類の載置台３のそれぞれの物品載置面の高さに応じて適切に搬送用プロファイル情報を調整できる。

また、調整用高さは、支持部２４が予め規定された上昇設定位置から載置台３に物品Ｗを載置する際の下降設定位置まで移動する際の昇降部２５の作動量に応じて規定されていると好適である。尚、物品載置面の高さは、各載置台３の物品載置面の位置に依存する。同一の種類の載置台３であれば、基本的に下降設定位置は同一となるが、載置台３によって物品載置面の位置が異なる場合もあるから、下降設定位置は、１つの物品搬送設備において１つとは限らない。一方、上昇設定位置は、天井搬送車１が走行する際の基準となる位置であるから、原則として１つの物品搬送設備において１つの値である。

上述したように、搬送用プロファイル情報には、搬送用移載基準作動量情報が含まれる。搬送用移載基準作動量情報は、走行部２２に対して支持部２４を移動させる際の支持部２４の作動量を含むが、その作動量は少なくとも昇降部２５の作動量である。物品Ｗを移載するための支持部２４及び昇降部２５の作動量の情報は、載置台３の上面（物品載置面）と上昇設定位置との距離によって定まる。

床面と物品載置面との距離は、床面が基準となるため物品搬送設備が設置される場所に拘わらず、ほぼ一定である。しかし、床面に対する天井の高さは様々である。天井搬送車１を吊り下げ支持する走行レールＲを天井に設置するためのブラケット等は、概ね工業規格に応じた標準的な寸法である。従って、物品載置面と上昇設定位置との距離は、物品搬送設備が設置される場所によって異なる可能性がある。また、支持部２４及び昇降部２５の作動量は、走行部２２に対して支持部２４を吊り下げるベルト等の繰り出し量や繰り出しの際に回転するプーリー等の回転数などによって規定される場合もある。そして、このような繰り出し量や回転数は、支持部２４の移動距離（作動量）が同じであっても、天井搬送車１の仕様によって異なる場合がある。例えば、１つの物品搬送設備に複数の種類の天井搬送車１が用いられている場合では、１つの載置台３に対する搬送用移載基準作動量も複数種存在する場合がある。従って、調整用高さは、支持部２４が予め規定された上昇設定位置から載置台３に物品Ｗを載置する際の下降設定位置まで移動する際の昇降部２５の作動量に応じて規定されていると好適である。

調整用載置面Ｐは、上述したような載置台３の上面（物品載置面）と上昇設定位置との距離や、支持部２４及び昇降部２５の作動量（繰り出し量や回転数）が異なっていても適切に搬送用プロファイル情報が調整できるように設定できることが好ましい。従って、調整用載置面Ｐの高さを規定する調整用高さは、物品載置面の高さ、及び、支持部２４が上昇設定位置から下降設定位置まで移動する際の昇降部２５の作動量、の少なくとも一方に応じて規定されていると好適である。

以下、搬送用プロファイル情報の調整について説明する。例えば、第１制御装置Ｈ１は、調整対象となる天井搬送車１（調整対象車）に第１エリアＥ１から第２エリアＥ２に離脱させる指令（離脱指令）を与える。調整対象となる天井搬送車１の指定は、作業者による手動の指定でも良いし、第１制御装置Ｈ１やその他の制御装置による天井搬送車１の管理情報に基づくものであってもよい。調整対象車に指定された天井搬送車１の作動制御部１１は、第１制御装置Ｈ１からの離脱指令に基づいて、天井搬送車１（調整対象車）を分岐部Ｊ１から第２経路Ｌ２へ進入させる。当該天井搬送車１（調整対象車）の作動制御部１１は、プロファイル記憶部１２に記憶された調整用載置台４に対する調整用停止目標位置情報に基づいて、天井搬送車１を調整用停止目標位置まで走行させて停止させる。

本実施形態では、第２エリアＥ２では、天井搬送車１（調整対象車）は、第２制御装置Ｈ２の指令に基づいて動作する。第２制御装置Ｈ２は、天井搬送車１（調整対象車）に対して、調整指令を送信する。天井搬送車１（調整対象車）の作動制御部１１は、第２制御装置Ｈ２からの調整指令に応答して、後述するように、調整用ユニットＣ（調整用装置）を用いた調整作動を行う。作動制御部１１は、さらに、この調整作動によって得られた結果に基づいて、プロファイル記憶部１２に記憶されている搬送用プロファイル情報を更新する。

調整が完了すると、当該天井搬送車１（調整対象車）は、第１制御装置Ｈ１の指令に基づいて物品Ｗを搬送可能な状態となる。調整が完了したことは、当該天井搬送車１から第１制御装置Ｈ１に通知しても良いし、第２制御装置Ｈ２から第１制御装置Ｈ１に通知してもよい。第１制御装置Ｈ１は、生産管理装置などのさらに上位のコントローラからの搬送要求に基づいて、天井搬送車１（調整対象車）を派遣する載置台３（載置台）を指定して、当該天井搬送車１に搬送指令を送信する。天井搬送車１の作動制御部１１は、天井搬送車１（調整対象車）を第２エリアＥ２から第１エリアＥ１へ合流させ、搬送指令に基づいて物品Ｗの搬送を行う。

以下、搬送用プロファイル情報の調整手順の具体例を説明する。本実施形態では、天井搬送車１が、物品Ｗに代えて調整用ユニットＣ（調整用装置）を調整用載置台４から受け取り、調整用載置台４に受け渡すことによって調整が行われる。好ましくは、天井搬送車１は、調整用ユニットＣを受け取った後、調整用ユニットＣを吊り下げ支持して走行し、調整用ユニットＣを受け取った際とは異なる高さに設定された調整用載置台４に、調整用ユニットＣを受け渡す。調整用ユニットＣ（調整用装置）は、天井搬送車１（調整対象車）の昇降部２５によって昇降される際に調整用データを取得する。この調整用データによって、支持部２４の昇降、回転、スライドに関する誤差を演算することができる。また、天井搬送車１が調整用ユニットＣを吊り下げ支持して走行した際の作動量と、調整用ユニットＣが取得した調整用データとに基づいて、搬送用停止位置情報の誤差を演算することができる。調整用ユニットＣは、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報（更新用のプロファイル情報）を演算し、当該搬送用プロファイル情報を更新用データとして調整対象車に伝達する。尚、更新用データは、搬送用プロファイル情報に限らず、元の搬送用プロファイル情報との差分情報であってもよい。

第２エリアＥ２には、載置台３に物品Ｗを載置する形態と同じ形態で調整用ユニットＣを載置可能な調整用載置面Ｐを有する調整用載置台４が備えられている。上述したように、第１エリアＥ１に配置された載置台３には、地上からの高さが異なるものもある。従って、第２エリアにおいて実施される調整制御では、調整用ユニットＣは、異なる高さの調整用載置面Ｐ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３・・・）に載置され、当該調整用載置面Ｐ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３・・・）のそれぞれから昇降される際に調整用データを取得すると好適である。

調整用ユニットＣは、異なる高さに載置された状態から、昇降部２５によって昇降され、それぞれの高さからの昇降時に取得した調整用データに基づいて搬送用プロファイル情報を演算する。本実施形態では、調整対象車は、第２経路Ｌ２に沿って移動すると共に、異なる高さの調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣを移載する。調整用ユニットＣは、複数の高さの調整用載置面Ｐごとに調整用データを取得する。

例えば、調整用ユニットＣは、図７に示す、第１調整用載置面Ｐ１、第２調整用載置面Ｐ２、第３調整用載置面Ｐ３の内の何れか１つの高さの調整用載置面Ｐ（例えば、第１調整用載置面Ｐ１）を保管場所として、調整用載置台４に載置されている。調整対象車としての天井搬送車１は、はじめに、第１調整用載置面Ｐ１に載置されている調整用ユニットＣに対する受取走行処理及び受取昇降処理を行い、調整用ユニットＣを吊り下げ支持している間に高さが変更された載置部Ｓ（例えば、第２調整用載置面Ｐ２）に対して受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。

支持部２４は、調整用ユニットＣを第２調整用載置面Ｐ２に載置したまま、一旦、上昇設定位置まで上昇する。天井搬送車１は、次に、第２調整用載置面Ｐ２に載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、調整用ユニットＣを吊り下げ支持している間に高さが変更された載置部Ｓ（例えば、第３調整用載置面Ｐ３）に対して受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。支持部２４は、調整用ユニットＣを第３調整用載置面Ｐ３に載置したまま、一旦、上昇設定位置まで上昇する。天井搬送車１は、最後に、第３調整用載置面Ｐ３に載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、調整用ユニットＣを吊り下げ支持している間に高さが変更された載置部Ｓ（例えば、第１調整用載置面Ｐ１）に対して受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。尚、第３調整用載置面Ｐ３に載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理の後、第２エリアＥ２の中に設けられた学習用経路Ｌｔ（図１参照）を通って受渡走行処理を行った後、載置部Ｓ（第１調整用載置面Ｐ１）に対して受渡昇降処理を行ってもよい。

この一連の移載処理及び演算を１ループとして、同様の移載処理及び演算が複数回繰り返される。例えば、測定誤差等を考慮して当該移載処理及び演算を３ループ繰り返して、平均や標準偏差を用いて更新用の搬送用プロファイル情報が決定される。当然ながら、充分な精度が得られるのであれば、１ループで収束させてもよい。

上記の例では、最後に１回だけ、学習用経路Ｌｔを通って受渡走行処理を行う形態を例示したが、調整用載置面Ｐの高さを変更する都度、学習用経路Ｌｔを通って受渡走行処理を行ってもよい。上記の例と同様に、調整用ユニットＣは、第１調整用載置面Ｐ１を保管場所として、調整用載置台４に載置されているとする。調整対象車としての天井搬送車１は、はじめに、第１調整用載置面Ｐ１に載置されている調整用ユニットＣに対する受取走行処理及び受取昇降処理を行い、調整用ユニットＣを吊り下げ支持している間に高さが変更された載置部Ｓ（例えば、第２調整用載置面Ｐ２）に対して、学習用経路Ｌｔを通って受渡走行処理を行った後、受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。

次に、第２調整用載置面Ｐ２に載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、第３調整用載置面Ｐ３に対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。最後に、第３調整用載置面Ｐ３に載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、第１調整用載置面Ｐ１に対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。上記と同様に、この一連の移載処理及び演算を１ループとして、同様の移載処理及び演算を複数回繰り返してもよい。当然ながら、充分な精度が得られるのであれば、１ループで収束させてもよい。

図８及び図９は、天井搬送車１が、物品Ｗに代えて調整用ユニットＣを調整用載置台４から受け取る際の挙動を例示している。また、図１０の拡大図は、調整実施時の調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣとの位置関係を示している。上述したように、天井搬送車１は、物品Ｗに代えて調整用ユニットＣを支持し、物品Ｗを搬送するのと同様に、調整用ユニットＣを搬送することが可能である。図１０に示すように、物品Ｗと同様に、調整用ユニットＣの上端部にもユニットフランジ部１３が設けられており、このユニットフランジ部１３が天井搬送車１の支持部２４にて吊り下げ支持される。ユニットフランジ部１３よりも下方、物品Ｗの収容部５に対応する場所には、ユニット本体部１４が設けられている。ユニット本体部１４には、距離センサ１８及びイメージセンサ１９が支持されている。

ユニット本体部１４の底面（調整用ユニットＣの底面）には、物品Ｗと同様に、上方に凹んだ３つの溝状の底面凹部（ユニット底面凹部７ｂ）が備えられている。また、調整用載置台４の上面には、載置台３と同様に、調整用ユニットＣの下方から係合する位置に位置決め部材９が備えられている。そのため、調整用ユニットＣが調整用載置台４に移載される際に、調整用ユニットＣが載置台３の適正支持位置に対して水平方向にずれていても、位置決め部材９がユニット底面凹部７ｂの内側面に接触して調整用ユニットＣが水平方向に移動されることで、調整用ユニットＣの水平方向での位置が適正支持位置に修正される。これにより、調整用載置台４における任意の高さに位置する載置部Ｓに対する調整用ユニットＣの受渡走行処理や受渡昇降処理において誤差があっても、常に調整用ユニットＣを規定の位置に載置させることができる。従って、当該調整用載置台４に対する次の受取走行処理や受取昇降処理を適切に行うことができる。

また、ユニットフランジ部１３の上面（調整用ユニットＣの上面）には、物品Ｗと同様に、下方に凹んだ円錐形状のユニット上面凹部（図示せず）が形成されている。ユニット上面凹部は、支持部２４を図８に示すように下降移動させたときに、支持部２４に備えられている押圧部２４ｃが上方から係合するように構成されている。例えば、受取昇降処理において、天井搬送車１が支持部２４を下降移動させた際に、調整用載置台４に載置支持されている調整用ユニットＣに対して支持部２４が水平方向にずれている場合がある。この場合でも、押圧部２４ｃがユニット上面凹部の内面に接触して案内されることで、支持部２４の水平方向での位置が、調整用ユニットＣに対して適した位置に案内される。

図４に示すように、天井搬送車１には、調整用ユニットＣのユニット通信部１６との間で無線通信により各種情報を送受信するための調整用通信部１５が備えられている。また、調整用ユニットＣには、距離センサ１８と、イメージセンサ１９と、ユニット通信部１６と、ユニット制御部１７とが備えられている。距離センサ１８は、例えばレーザー距離計であり、図１０を参照して後述するように、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離を計測する。イメージセンサ１９は、例えば二次元イメージセンサであり、調整用載置台４（好ましくは調整用載置面Ｐ）に備えられた被検出体Ｍを撮影するためのセンサである。ユニット通信部１６は、アンテナ及び通信制御回路を備え、天井搬送車１との間で近距離ワイヤレス通信により各種情報を送受信する。ユニット制御部１７は、マイクロコンピュータ等を中核として構成され、距離センサ１８やイメージセンサ１９やユニット通信部１６の作動を制御すると共に、イメージセンサ１９による被検出体Ｍの撮影画像を画像認識し、その結果に基づいて更新用の搬送用プロファイル情報などの更新用データを演算する。

図８に示すように、調整用載置面Ｐに向かって調整用ユニットＣを下降させる場合、まず、調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座するまで（載置されるまで）、天井搬送車１は、昇降用モータ２５ｍを駆動して巻き取りベルト２５ｂを繰り出す。上述したように、巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量は、エンコーダによってパルス数として計数されている。調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座したか否かは、例えば、巻き取りベルト２５ｂに係る張力の変化によって昇降部２５或いは作動制御部１１が判定する。調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座したと判定された後、天井搬送車１は、昇降用モータ２５ｍを駆動して巻き取りベルト２５ｂを低速で巻き取り始める。

巻き取りベルト２５ｂの巻き取りにより、調整用ユニットＣは、図１０に示すように、調整用載置面Ｐから浮き上がる。距離センサ１８により、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離が計測され、その計測結果が天井搬送車１に伝達される。当該距離が予め規定された調整用離間距離Ｄに対する許容範囲内に入ると、巻き取りベルト２５ｂの巻き取りが停止される。これにより、調整用ユニットＣは、調整用載置面Ｐに対して、調整用離間距離Ｄだけ離れた状態で、支持部２４により吊り下げ支持された状態となる。巻き取りベルト２５ｂに張力が掛かった状態でのパルス数が、巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量として取得され、調整用ユニットＣに伝達される。尚、調整用離間距離Ｄは、例えば、５〜１０［ｍｍ］程度であり、正負両方向に２．５〜３［ｍｍ］程度の誤差が許容される。例えば、調整用離間距離Ｄが５［ｍｍ］で許容誤差が±２．５［ｍｍ］の場合、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離が２．５〜７．５［ｍｍ］の範囲内にある状態で、調整用ユニットＣは、支持部２４により吊り下げ支持された状態となる。この状態で、イメージセンサ１９は、被検出体Ｍを撮影する。

例えば、被検出体Ｍは、２次元コードを備えて構成されている。調整用ユニットＣ（ユニット制御部１７）は、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさ、角度、位置等に基づいて、イメージセンサ１９に対する被検出体Ｍの走行方向、幅方向及び縦軸心周りでのズレ量を判別する。イメージセンサ１９の位置は、調整用ユニットＣの中で固定されているため、調整用ユニットＣに対する被検出体Ｍの走行方向、幅方向及び上下軸心周りでのズレ量が判別される。尚、距離センサ１８を備えず、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさから、ユニット制御部１７が、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離を演算してもよい。また、距離センサ１８を備える場合であっても、当該距離には上述したように誤差が許容されているので、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさに基づいて当該距離を補正し、さらに巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量を補正してもよい。

例えば、物品搬送設備が新たに構築される場合、当該物品搬送設備の全ての天井搬送車１の中で基準となる天井搬送車１（基準搬送車）に対して、搬送用プロファイル情報が整備される。この搬送用プロファイル情報は、当該物品搬送設備の他の全ての天井搬送車１に対して基準となるプロファイル情報（基準プロファイル情報）である。基準プロファイル情報は、調整用載置台を含む全ての載置台、つまり、第１エリアＥ１の全ての載置台３、及び第２エリアＥ２の調整用載置台４に対して実際に物品Ｗ及び調整用ユニットＣ（或いはこれらに代わる基準物品）を搬送及び移載することによって生成される（基準プロファイル整備フェーズ）。

当該物品搬送設備に、基準搬送車以外の天井搬送車１を追加する場合、追加対象の天井搬送車１のプロファイル記憶部１２に、基準プロファイル情報が書き込まれる。次に、当該天井搬送車１を第２エリアＥ２に送り、上述したような調整を行う。調整の際の受取走行処理、受取昇降処理、受渡走行処理、受渡昇降処理は、基準プロファイル情報に基づいて実行されるので、基準搬送車と追加対象の天井搬送車１との個体差が差分データとして抽出される。基準プロファイル情報と差分データとに基づいて、当該天井搬送車１に固有の搬送用プロファイル情報が生成され、プロファイル記憶部１２に書き込まれる。固有の搬送用プロファイル情報が設定された天井搬送車１は、第１エリアＥ１に投入される。

物品搬送設備が稼働した後は、調整が必要な天井搬送車１（調整対象車）が、第１エリアＥ１から第２エリアＥ２に離脱し、上述したように調整が行われる。調整が完了すると、新しい搬送用プロファイル情報が、調整対象車のプロファイル記憶部１２に記憶される。調整が完了した天井搬送車１は、再度第１エリアＥ１に投入される。

〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。

（１）上記においては、図７を参照して、調整用載置台４が、昇降アクチュエータ４４によって駆動される昇降ベルト４３を備え、昇降ベルト４３とガイドレール４１とに支持されて載置部Ｓが昇降する形態を例示した。しかし、図１１に示すように、調整用載置台４（４Ａ）が、ストローク長の長い電動シリンダ４７を備え、電動シリンダ４７とガイドレール４１とに支持されて載置部Ｓが昇降する形態とすることもできる。尚、電動シリンダ４７に代えて、作業者がハンドル等を操作して、手動で載置部Ｓを昇降させる形態とすることも可能である。

（２）天井搬送車１は、検査や修理などのメンテナンスの際には、作業効率や安全生を考慮して、地上側に降ろされることが多い。このため、多くの場合、天井搬送車１を地上側に降ろす、つまり、床側に離脱させるために、図１２に示すようなメンテナンスリフタ８０（メンテナンス用昇降装置）が、物品搬送設備に設けられている。図１２に仮想線で示す天井搬送車１は、メンテナンスリフタ８０によって地上側へ降ろされている状態を示している。メンテナンスリフタ８０には、走行レールＲと連続して走行経路Ｌを形成するように、リフタ用レールＲａが設けられている。このリフタ用レールＲａは、モータ８３、ワイヤ８４、釣り合い錘８５を用いたトラクション方式の昇降機構によって、仮想線で示す地上側と、走行レールＲと連続する天井側との間で昇降可能である。天井搬送車１は、走行車輪２２ａがリフタ用レールＲａ上に位置して、リフタ用レールＲａによって天井搬送車１が吊り下げ支持されている状態で、リフタ用レールＲａを下降させることによって、地上側へ降ろされる。

リフタ用レールＲａが図１２に仮想線で示す位置まで下降すると、リフタ用レールＲａは、台車８８に設けられた台車用レールＲｓと連続した経路を形成する。天井搬送車１を台車８８の側へ移動させると、天井搬送車１は、走行車輪２２ａが台車用レールＲｓ上に位置して、台車用レールＲｓによって吊り下げ支持される状態となる。この状態で台車８８を移動させることで、天井搬送車１を運搬することができる。

このようなメンテナンスリフタ８０とは別に（図１に示すような平面視においてメンテナンスリフタ８０とは異なる位置に）調整用載置台４を設けると、物品搬送設備の有効面積が減少するおそれがある。図１３に示すように、メンテナンスリフタ８０と共に調整用載置台４Ｂ（４）を備えることによって、メンテナンスのために必要な空間を抑制することができる。尚、図１３は、メンテナンスリフタ８０を走行方向Ｙに沿った方向から見た図である。このように、メンテナンスリフタ８０と共に調整用載置台４Ｂ（４）を備えると、天井搬送車１の検査や修理の際に、搬送用プロファイルの調整を合わせて行うこともできるので、整備や調整等で当該天井搬送車１が第１エリアＥ１から離脱する時間を抑制して、当該天井搬送車１の稼働率の低下を抑制することもできる。尚、メンテナンスリフタ８０は、図１に示したようなループ状の学習用経路Ｌｔに配置されてもよいが、分岐部Ｊ１から分岐した後、行き止まりとなる経路の端部に配置されていてもよい。

（３）上記においては、調整用ユニットＣが単体で調整用装置を構成し、調整用ユニットＣのユニット制御部１７が搬送用プロファイルを演算する形態を例示した。しかし、第２エリアＥ２に配置される調整用装置は、調整用ユニットＣと、地上側に固定的に設置された調整用制御装置（不図示）とを組み合わせて構成されていてもよい。尚、この場合、調整用ユニットＣと調整用制御装置とはワイヤレス通信すると好適である。

（４）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

１ ：天井搬送車（物品搬送車）
３ ：載置台
４ ：調整用載置台
１２ ：プロファイル記憶部
２２ ：走行部
２４ ：支持部
２５ ：昇降部
４１ ：ガイドレール
８０ ：メンテナンスリフタ（メンテナンス用昇降装置）
Ｃ ：調整用ユニット（調整用装置）
ＨＬ ：上限高さ
Ｌ ：走行経路
ＬＬ ：下限高さ
Ｐ ：調整用載置面
Ｑ ：物品載置面
Ｒ ：走行レール
Ｓ ：載置部
Ｗ ：物品

Claims (5)

1. 天井に設置された走行レールと、前記走行レールに沿って地上側に設けられた複数の載置台と、前記走行レールに吊下げ支持されて前記走行レールによって形成された走行経路に沿って走行し、搬送元となる前記載置台から搬送先となる前記載置台へ物品を吊り下げ支持して搬送する物品搬送車と、を備えた物品搬送設備であって、
   前記物品搬送車は、前記走行経路に沿って走行する走行部と、前記走行部に支持され且つ前記物品を把持して吊り下げ支持する支持部と、前記走行部が停止した状態で前記支持部を前記走行部に対して昇降させる昇降部と、各載置台において前記物品を移載するための前記支持部及び前記昇降部の作動量の情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報を記憶するプロファイル記憶部と、を備え、
   前記搬送用プロファイル情報を調整するための調整用装置と、
   前記載置台に前記物品を載置する形態と同じ形態で前記調整用装置を載置可能な調整用載置面を有する調整用載置台と、を備え、
   前記調整用装置は、前記物品と同じ形態で前記支持部に吊り下げ支持されることが可能であると共に前記物品と同じ形態で前記物品搬送車により前記載置台に載置されることが可能であり、前記調整用載置面に対する移載の際に、前記支持部及び前記昇降部の作動量の情報を取得して前記搬送用プロファイル情報を調整し、
   前記調整用載置面は、予め規定された上限高さと下限高さとの間で、異なる高さに無段階に設定可能である、
   物品搬送設備。
2. 前記調整用載置台は、垂直方向に立設されたガイドレールと、前記ガイドレールに少なくとも水平方向の一端が支持されて上面に前記調整用載置面が形成される載置部と、前記載置部を前記ガイドレールに沿って昇降させる昇降アクチュエータと、前記載置部の垂直方向における位置を検出する位置検出センサと、前記位置検出センサの検出結果に基づいて前記昇降アクチュエータを制御して、前記調整用載置面を予め規定された調整用高さに設定する調整台制御装置と、を備える、
   請求項１に記載の物品搬送設備。
3. 前記調整用高さは、前記載置台に前記物品が載置される物品載置面の高さ、及び、前記支持部が予め規定された上昇設定位置から前記載置台に前記物品を載置する際の下降設定位置まで移動する際の前記昇降部の作動量、の少なくとも一方に応じて規定されている請求項２に記載の物品搬送設備。
4. 複数の前記載置台は、前記物品載置面の高さが異なる複数種を含み、前記調整用高さは、それぞれの前記物品載置面の高さに応じて規定されている請求項３に記載の物品搬送設備。
5. 前記調整用載置台は、前記走行レールに吊り下げ支持された前記物品搬送車を床側へ離脱させるメンテナンス用昇降装置に備えられている、請求項１から３の何れか一項に記載の物品搬送設備。

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