WO2020255577A1 - 搬送車 - Google Patents

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WO2020255577A1
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transport vehicle
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traveling
controller
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亘 北村
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transport vehicle.
  • a transport vehicle system for transporting articles such as a FOUP accommodating a semiconductor wafer or a reticle Pod accommodating a reticle is used.
  • This transport vehicle system includes a plurality of transport vehicles traveling on a track and a host controller for controlling the plurality of transport vehicles.
  • Each of the plurality of transport vehicles is equipped with an in-vehicle controller that controls the own vehicle, and by controlling the own vehicle based on the transport command received from the host controller, the vehicle travels on the track and the goods are transferred. .. It is known that each transport vehicle transmits information such as a transport command by wireless communication with a host controller.
  • Patent Document 1 the attitude of the antenna is changed on the moving body, but it is necessary to provide a drive mechanism for changing the posture of the antenna separately from the existing configuration in the moving body.
  • the antenna drive mechanism By mounting the antenna drive mechanism on the transport vehicle, the size and weight of the transport vehicle will increase, which is contrary to the demand for miniaturization and weight reduction of the transport vehicle. Further, in the transport vehicle system as described above, since a plurality of transport vehicles are operated, mounting an antenna drive mechanism on each transport vehicle causes an increase in the cost of the transport vehicle system.
  • An object of the present invention is to provide a transport vehicle capable of changing at least one of the position and orientation of the antenna without providing a separate drive mechanism for the antenna.
  • the transport vehicle according to the aspect of the present invention includes a traveling unit.
  • the transport vehicle according to the aspect of the present invention includes a transfer unit that is attached to a traveling unit and delivers articles to the transfer destination.
  • the transport vehicle according to the aspect of the present invention is provided with at least one of a position and a posture that can be changed according to the operation of the transfer portion, and includes an antenna for wireless communication with other devices.
  • the antenna may be provided with a rotation drive unit that rotates the transfer unit around the vertical axis, and the position of the antenna may be changed around the vertical axis in accordance with the rotation of the transfer unit by the rotation drive unit. ..
  • the transfer unit is provided with a lateral mechanism for moving the holding unit for holding the article in the horizontal direction
  • the rotation drive unit rotates the lateral mechanism around the vertical axis
  • the antenna is a lateral mechanism at the transfer unit. It may be provided in a portion other than the portion that moves in the horizontal direction.
  • a frame portion that surrounds the transfer portion and rotates around the vertical axis together with the transfer portion by the rotation drive portion is provided, and the antenna may be attached to the frame portion. Further, the antenna may be attached in a state of protruding downward from the lower end of the frame portion.
  • a controller for controlling the traveling unit is provided, and the controller communicates with other devices via an antenna when the traveling unit travels on a grid-like track, so that each square of the grid on the track If the corresponding progress permission is obtained, it may be advanced to the square, and if the progress permission is not obtained, it may be controlled not to proceed to the square.
  • the antenna is provided so that at least one of the position and the posture can be changed according to the operation of the transfer portion. Therefore, the existing mechanism for changing the position of the antenna and the like is not provided. At least one of the position and orientation of the antenna can be changed by using the transfer portion. Then, it is possible to improve the communication state of the transport vehicle, and it is possible to suppress the increase in size and weight of the transport vehicle.
  • the transfer unit is provided with a lateral mechanism for moving the holding portion for holding the article in the horizontal direction
  • the rotation drive unit rotates the lateral mechanism around the vertical axis
  • the antenna is a lateral mechanism at the transfer unit.
  • the frame portion is rotated by the rotation drive portion.
  • the position of the antenna can be changed easily and surely.
  • the antenna does not project in the horizontal direction, so that the antenna interferes with the other transport vehicle even if it passes by another transport vehicle. Can be prevented.
  • the traveling unit travels on a grid-like track by the controller that controls the traveling unit, the progress permission corresponding to each grid grid on the track is permitted by communicating with other devices via the antenna.
  • the transport vehicles are densely communicated in a part of the grid-like track. It may cause an obstacle.
  • by changing at least one of the position and the posture of the antenna to improve the communication state it is possible to avoid a problem that the transport vehicle cannot move from the grid-like grid.
  • FIG. 1 It is a side view which shows an example of the transport vehicle which concerns on embodiment. It is a perspective view of the transport vehicle shown in FIG. It is a perspective view which shows an example of a transport vehicle system.
  • (A) and (B) are diagrams showing an example when the transport vehicle is viewed from below. It is a block diagram which shows an example of a transport vehicle. It is a figure which shows an example of the operation sequence of a transport vehicle and a controller. It is a flowchart which shows an example of the operation of an in-vehicle controller. It is a figure which shows an example of the operation of a transport vehicle system. It is a perspective view which shows the other example of the transport vehicle which concerns on embodiment.
  • the traveling direction of the transport vehicle V can be changed from the direction shown in the drawing to another direction, and may travel in a curved direction, for example.
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the figure is the + direction
  • the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the ⁇ direction.
  • the turning direction around the vertical axis or the Z axis is referred to as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of the transport vehicle V according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of the transport vehicle V shown in FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an example of a transport vehicle system SYS using a transport vehicle V.
  • the transport vehicle system SYS is a system for transporting an article M by a transport vehicle V in, for example, a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • the transport vehicle system SYS includes a plurality of transport vehicles V1 to Vn (hereinafter, may be collectively referred to as a transport vehicle V) and a controller (upper controller HC, blocking controller BC) for controlling the plurality of transport vehicles V. ..
  • the host controller HC may be configured to include a transport controller and a host controller.
  • the transport vehicle V is a ceiling transport vehicle.
  • the transport vehicle V moves along the track R of the transport vehicle system SYS.
  • the transport vehicle V moves along the track R of the transport vehicle system SYS to transport an article M such as a FOUP accommodating a semiconductor wafer or a reticle Pod accommodating a reticle, and an article to a transfer destination (not shown).
  • Deliver M an article M such as a FOUP accommodating a semiconductor wafer or a reticle Pod accommodating a reticle.
  • the track R is laid on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the track R is provided above a processing device (not shown), a stocker (automated warehouse, not shown), a buffer (not shown), or the like.
  • the processing device is, for example, an exposure device, a coater developer, a film forming device, an etching device, or the like, and performs various treatments on a semiconductor wafer in a container (article M) transported by a transport vehicle V.
  • the stocker stores the article M transported by the transport vehicle V. In the above buffer, the article M transported by the transport vehicle V is temporarily placed and stored.
  • the transport vehicle V delivers the article M to the load port and the buffer of the processing device or the stocker described above.
  • Orbit R is an example of the form of the orbit.
  • the orbit R is a grid-like orbit having a first orbit R1, a second orbit R2, and an intersection orbit R3.
  • the orbit R will be referred to as a grid-like orbit R.
  • the first orbit R1 extends along the X direction (first direction DR1).
  • the second orbit R2 extends along the Y direction (second direction DR2).
  • the first direction DR1 and the second direction DR2 are orthogonal to each other, and the plurality of first orbitals R1 and the plurality of second orbitals R2 are provided along the directions orthogonal to each other.
  • the crossing track R3 is arranged at the intersection of the first track R1 and the second track R2.
  • the crossing track R3 is adjacent to the first track R1 in the first direction DR1 and adjacent to the second track R2 in the second direction DR2.
  • the crossing track R3 forms a track portion formed in the extending direction of the first track R1 and a track portion formed in the extending direction of the second track R2.
  • the grid-shaped orbit R is provided in a direction in which the first orbit R1 and the second orbit R2 are orthogonal to each other, so that a plurality of Cs (squares) are adjacent to each other in a plan view.
  • One grid cell C is a portion surrounded by two adjacent first orbits R1 in the second direction DR2 and two adjacent second orbits R2 in the first direction DR1 in a plan view. .. Note that FIG. 3 shows a part of the grid-like orbit R, and the grid-like orbit R has the same configuration in the first direction DR1 (X direction) and the second direction DR2 (Y direction) from the configuration shown in the figure. Are continuously formed.
  • the first track R1, the second track R2, and the crossing track R3 are suspended from a ceiling (not shown) by a hanging member H (see FIG. 1).
  • the suspending member H includes a first portion H1 for suspending the first track R1, a second portion H2 for suspending the second track R2, and a third portion H3 for suspending the crossing track R3. , Have.
  • the first portion H1 and the second portion H2 are provided at two locations sandwiching the third portion H3, respectively.
  • the first track R1, the second track R2, and the crossing track R3 have traveling surfaces R1a, R2a, and R3a, respectively.
  • the traveling wheels 21 of the transport vehicle V which will be described later, travel (roll) on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • a gap D is formed between the first track R1 and the crossing track R3, and between the second track R2 and the crossing track R3.
  • the gap D is a part of the transport vehicle V when the transport vehicle V travels on the first track R1 and crosses the second track R2, or travels on the second track R2 and crosses the first track R1. This is a portion through which the connecting portion 30 described later passes. Therefore, the gap D is provided with a width through which the connecting portion 30 can pass.
  • the first track R1, the second track R2, and the crossing track R3 are provided along the same or substantially the same horizontal plane.
  • the first track R1, the second track R2, and the crossing track R3 are arranged on the same or substantially the same horizontal plane as the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the transport vehicle system SYS is equipped with a communication system CS.
  • the communication system CS is, for example, a wireless communication system such as a wireless LAN.
  • the communication system CS is used for communication between the transport vehicle V, the host controller HC, and the blocking controller BC.
  • the transport vehicle V, the host controller HC, and the blocking controller BC can communicate with each other via the communication system CS, and can transmit and receive various types of information.
  • a plurality of blocking sections B in which exclusive control is performed so as not to advance the other transport vehicle V when occupied by any one of the plurality of transport vehicles V are defined (FIG. 6). See 3).
  • the blocking section B is set for each grid cell C.
  • the transport vehicle V can occupy the blocking section B and pass through when the progress permission of the blocking section B is obtained from the blocking controller BC, but when the progress permission is not obtained from the blocking controller BC, the transport vehicle V is assigned to the blocking section B.
  • Exclusive control is performed so that it does not proceed. Interference between the transport vehicles V can be prevented by exclusive control.
  • the transport vehicle V When traveling on the grid-like track R, the transport vehicle V repeatedly travels from one grid cell C to adjacent grid cells C.
  • the transport vehicle V can selectively travel from one grid cell C in the first direction DR1 (+ X direction, ⁇ X direction) and the second direction DR2 (+ Y direction, ⁇ Y direction).
  • the configuration of the transport vehicle V will be described.
  • the transport vehicle V has a main body portion 10, a traveling portion 20, a connecting portion 30, and an in-vehicle controller 50 (controller).
  • the main body 10 is arranged below the grid-like track R (-Z side).
  • the main body 10 is formed, for example, in a rectangular shape in a plan view.
  • the main body 10 is formed in a size that fits in one grid cell C (see FIG. 3) in the grid-like orbit R in a plan view. Therefore, the main bodies 10 do not interfere with each other even when they pass each other on the adjacent first track R1 or the second track R2.
  • the main body portion 10 includes an upper unit 17, a transfer portion 18, and an antenna 19.
  • the upper unit 17 is suspended from the traveling portion 20 via the connecting portion 30.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corners on the upper surface 17a.
  • the upper unit 17 of the main body 10 is provided with a traveling wheel 21, a connecting portion 30, and a direction changing mechanism 34 at each of the four corner portions.
  • the main body 10 can be stably suspended by the four traveling wheels 21, and the main body 10 can be stably run. Further, the transport vehicle V can deliver the article M to a predetermined position by using the transfer unit 18.
  • the transfer unit 18 is provided below the upper unit 17.
  • the transfer portion 18 is rotatable around the vertical axis AX1 in the Z direction (vertical direction).
  • the transfer unit 18 includes a holding unit 13 that holds the article M, an elevating drive unit 14 that moves the holding unit 13 up and down in the vertical direction, a lateral mechanism 11 that slides the elevating drive unit 14 in the horizontal direction, and a lateral mechanism 11. It has a rotation drive unit 12 for rotating the.
  • the holding portion 13 suspends and holds the article M by gripping the flange portion Ma provided on the article M.
  • the holding portion 13 is, for example, a chuck having a claw portion 13a that can move in the horizontal direction, and the claw portion 13a is advanced below the flange portion Ma of the article M, and the holding portion 13 is raised to raise the article M. Hold.
  • the holding portion 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or a belt. The operation of the claw portion 13a is controlled by the vehicle-mounted controller 50.
  • the elevating drive unit 14 is, for example, a hoist, and the holding unit 13 is lowered by feeding out the hanging member 13b, and the holding unit 13 is raised by winding the hanging member 13b.
  • the elevating drive unit 14 is controlled by the vehicle-mounted controller 50 and lowers or raises the holding unit 13 at a predetermined speed. Further, the elevating drive unit 14 is controlled by the vehicle-mounted controller 50 to hold the holding unit 13 at a target height.
  • the lateral mechanism 11 has, for example, a plurality of movable plates arranged so as to be stacked in the Z direction.
  • the movable plate is relatively movable in the Y direction.
  • the upper surface side of the uppermost movable plate is supported by the rotation drive unit 12.
  • an elevating drive unit 14 is attached to the lower surface side of the lowermost movable plate.
  • the movable plate is moved by a drive device (not shown), and the elevating drive unit 14 and the holding unit 13 attached to the lowermost movable plate are, for example, horizontal with respect to the traveling direction of the transport vehicle V. It can be moved horizontally (sliding) in the direction.
  • the operation of the lateral mechanism 11 is controlled by the vehicle-mounted controller 50.
  • the rotation drive unit 12 is provided between the lateral mechanism 11 and the upper unit 17.
  • the rotation drive unit 12 rotates the lateral mechanism 11 relative to the upper unit 17 around the axis of the vertical axis AX1.
  • the rotation drive unit 12 has a rotation member 12a and a drive source 12b.
  • the rotating member 12a is provided so as to be rotatable in the axial direction of the vertical axis.
  • the rotating member 12a supports the lateral mechanism 11.
  • the uppermost movable plate in the lateral mechanism 11 is integrally attached to the rotating member 12a.
  • an electric motor or the like is used as the drive source 12b, and the drive source 12b is integrally attached to the upper unit 17.
  • the drive source 12b rotates the rotating member 12a in the axial direction of the vertical shaft AX1.
  • the rotation drive unit 12 rotates the lateral mechanism 11 (elevation drive unit 14 and holding unit 13) in the axial direction of the vertical axis AX1 by rotating the rotation member 12a by the driving force from the drive source 12b. Can be made to. That is, the rotation drive unit 12 rotates the elevating drive unit 14 and the holding unit 13 by the lateral mechanism 11 in the lateral direction in the axial direction of the vertical axis AX1.
  • a second rotation drive unit 16 is provided between the lateral mechanism 11 and the elevating drive unit 14.
  • the second rotation drive unit 16 can rotate the elevating drive unit 14 (holding unit 13) in the axial direction of the vertical axis AX2 in the vertical direction with respect to the lateral mechanism 11.
  • the second rotation drive unit 16 may be provided in the holding unit 13 instead of being provided between the lateral mechanism 11 and the elevating drive unit 14. In this case, the holding unit 13 can be rotated with respect to the elevating drive unit 14 in the axial direction of the vertical axis AX2 by the second rotation drive unit 16.
  • a frame portion W may be provided so as to surround the transfer portion 18 and the article M held by the transfer portion 18.
  • the frame portion W has a tubular shape with the lower end open, and has a shape in which a portion where the movable plate of the lateral mechanism 11 protrudes is cut out.
  • the upper end of the frame portion W is attached to the rotating member 12a of the rotating driving unit 12, and rotates around the vertical axis AX1 as the rotating member 12a rotates.
  • the traveling unit 20 has a traveling wheel 21 and an auxiliary wheel 22.
  • the traveling wheels 21 are arranged at the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body 10).
  • Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle provided on the connecting portion 30.
  • the axles are provided parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, which will be described later.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first track R1, the second track R2, and the crossing track R3 on the track R, and travels the transport vehicle V. It should be noted that not all of the four traveling wheels 21 are rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, and a part of the four traveling wheels 21 may be rotationally driven.
  • the traveling wheel 21 is provided so as to be able to turn in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX3.
  • the traveling wheel 21 can be turned in the ⁇ Z direction by the direction changing mechanism 34 described later, and the traveling direction of the transport vehicle V can be changed.
  • One auxiliary wheel 22 is arranged before and after the traveling wheel 21 in the traveling direction.
  • each of the auxiliary wheels 22 is rotatable around an axle parallel to or substantially parallel to the XY plane.
  • the lower end of the auxiliary wheel 22 is set to be higher than the lower end of the traveling wheel 21. Therefore, when the traveling wheel 21 is traveling on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a, the auxiliary wheel 22 does not come into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the auxiliary wheel 22 comes into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a to prevent the traveling wheel 21 from falling. It should be noted that the present invention is not limited to providing two auxiliary wheels 22 on one traveling wheel 21, and for example, one auxiliary wheel 22 may be provided on one traveling wheel 21, or one auxiliary wheel 22 may not be provided. May be good.
  • the connecting portion 30 connects the upper unit 17 of the main body portion 10 and the traveling portion 20.
  • the connecting portion 30 is provided at each of the four corner portions of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body portion 10).
  • the main body portion 10 is suspended from the traveling portion 20 by the connecting portion 30, and is arranged below the grid-like track R.
  • the connecting portion 30 has a support member 31 and a connecting member 32.
  • the support member 31 rotatably supports the rotation shaft of the traveling wheel 21 and the rotation shaft of the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 holds the relative position between the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and has a thickness that allows it to pass through the gap D (see FIG. 1).
  • the connecting member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connecting member 32 is provided internally with a transmission mechanism for transmitting the driving force of the traveling drive unit 33, which will be described later, to the traveling wheels 21.
  • This transmission mechanism may be configured to use a chain or a belt, or may be configured to use a gear train.
  • the connecting member 32 is provided so as to be swivelable in the ⁇ Z direction about the swivel shaft AX3. By turning the connecting member 32 around the turning shaft AX3, the traveling wheel 21 can be turned in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX3 via the support member 31.
  • the connecting portion 30 is provided with a traveling drive unit 33 and a direction changing mechanism 34.
  • the traveling drive unit 33 is attached to the connecting member 32.
  • the traveling drive unit 33 is a driving source for driving the traveling wheels 21, and for example, an electric motor or the like is used.
  • Each of the four traveling wheels 21 is driven by the traveling drive unit 33 to become a drive wheel.
  • the four traveling wheels 21 are controlled by the vehicle-mounted controller 50 so as to have the same or substantially the same rotation speed. If any one of the four traveling wheels 21 is not used as the driving wheel, the traveling drive unit 33 is not attached to the connecting member 32.
  • the direction changing mechanism 34 turns the connecting member 32 of the connecting portion 30 around the turning shaft AX3, thereby turning the traveling wheel 21 in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX3.
  • the traveling direction of the transport vehicle V can be changed from the first state in which the traveling direction is the first direction DR1 to the second state in which the traveling direction is the second direction DR2, or the traveling direction is the second direction. It is possible to switch from the second state in which the DR2 is set to the first state in which the traveling direction is the first direction DR1.
  • the direction changing mechanism 34 has a drive source 35, a pinion gear 36, and a rack 37.
  • the drive source 35 is attached to the side surface of the traveling drive unit 33 away from the swivel shaft AX3.
  • As the drive source 35 for example, an electric motor or the like is used.
  • the pinion gear 36 is attached to the lower surface side of the drive source 35, and is rotationally driven in the ⁇ Z direction by the driving force generated by the drive source 35.
  • the pinion gear 36 has a circular shape in a plan view and has a plurality of teeth in the circumferential direction of the outer circumference.
  • the rack 37 is fixed to the upper surface 17a of the upper unit 17.
  • the rack 37 is provided at each of the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17, and is provided in an arc shape (fan shape) centered on the turning shaft AX3 of the traveling wheel 21.
  • the rack 37 has a plurality of teeth that mesh with the teeth of the pinion gear 36 in the circumferential direction of the outer circumference.
  • the pinion gear 36 and the rack 37 are arranged so that their teeth are in mesh with each other.
  • the pinion gear 36 rotates in the ⁇ Z direction, the pinion gear 36 moves in the circumferential direction around the swivel shaft AX3 along the outer circumference of the rack 37.
  • the connecting member 32 turns, and the traveling drive unit 33 and the direction changing mechanism 34 turn together with the pinion gear 36 in the circumferential direction around the turning shaft AX3.
  • each of the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 arranged at the four corners of the upper surface 17a turns around the turning shaft AX3 in the range of 90 degrees in the ⁇ Z direction.
  • the drive of the direction changing mechanism 34 is controlled by the vehicle-mounted controller 50.
  • the vehicle-mounted controller 50 may instruct the four traveling wheels 21 to perform the turning operations at the same timing, or may instruct them to perform the turning operations at different timings.
  • the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 shifts from the state of being in contact with one of the first track R1 and the second track R2 to the state of being in contact with the other.
  • the direction of the rotation axis of the traveling wheel 21 shifts from one of the first direction DR1 and the second direction DR2 to the other. Therefore, it is possible to switch between the first state in which the traveling direction of the transport vehicle V is the first direction DR1 (X direction) and the second state in which the traveling direction is the second direction DR2 (Y direction).
  • the transport vehicle V is provided with a position detection unit (not shown) that detects position information.
  • This position detection unit detects the current position of the transport vehicle V by detecting a position marker (not shown) such as a barcode indicating the position information.
  • a position marker such as a barcode indicating the position information.
  • a bar code reader capable of reading a bar code is used as the position detection unit, and the position marker is detected by non-contact.
  • the position marker is installed for each grid cell C of the grid-like track R, for example.
  • the antenna 19 is used for wireless communication for transmitting and receiving various information with other devices such as the host controller HC and the blocking controller BC. Further, the antenna 19 may be used when performing wireless communication for transmitting and receiving various information with another transport vehicle V. That is, the transport vehicle V transmits / receives information by the communication system CS to / from other devices via the antenna 19.
  • the antenna 19 is electrically connected to the vehicle-mounted controller 50. The information received by the antenna 19 is sent to the vehicle-mounted controller 50. In other words, the in-vehicle controller 50 transmits / receives information by the communication system CS to / from another device via the antenna 19.
  • At least one of the position and orientation of the antenna 19 can be changed according to the operation of the transfer unit 18.
  • the antenna 19 is attached to a member whose position and posture change with the operation of the transfer unit 18, and the position or posture changes with the change of the position or posture of the member. ..
  • the antenna 19 is attached to, for example, the lower end of the frame portion W.
  • four antennas 19 are arranged at the lower end of the frame portion W around the axis of the vertical axis AX1 at predetermined angles (for example, 90 °).
  • the number and arrangement of the antennas 19 are not limited to the above.
  • wireless communication with another device can be established by any of the antennas 19, and redundancy can be ensured.
  • the number of antennas 19 is not limited to a plurality, and may be one.
  • the antenna 19 is attached in a state of protruding downward from the lower end of the frame portion W. Therefore, since the antenna 19 does not project in the horizontal direction, it is possible to prevent the antenna 19 from interfering with the other transport vehicle V even when the antenna 19 passes by the other transport vehicle V, for example, in the grid-like track R.
  • the antenna 19 is composed of a pair of antennas 19A arranged so as to sandwich the vertical axis AX1 and a pair of antennas 19B arranged so as to sandwich the vertical axis AX1. ..
  • the pair of antennas 19A and 19B for example, one of the pair of antennas 19A and 19B may be mainly used and the other may be used as an auxiliary, or the pair of antennas 19A may be mainly used and the pair of antennas 19B may be used as an auxiliary. May be good.
  • the antennas 19A and 19B may be set so that the communicable bands are different from each other.
  • the antenna 19 is integrally attached to the frame portion W. Therefore, when the frame portion W is rotated around the axis of the vertical axis AX1 by the drive of the rotation drive unit 12, as shown in FIG. 4B, the vertical axis AX1 follows the rotation of the frame portion W. The position around the axis of is changed. Therefore, the position of the antenna 19 can be easily and surely changed by driving the rotation driving unit 12.
  • the rotation drive unit 12 rotates the frame unit W in order to change at least one of the position and the posture of the antenna 19 even when it is not necessary to rotate the lateral mechanism 11.
  • the rotation drive unit 12 functions as a lateral mechanism rotation drive unit that rotates the lateral mechanism 11 (elevation drive unit 14 and holding unit 13) in the axial direction of the vertical axis AX1, and also causes the antenna 19 to operate. It functions as an antenna rotation drive unit that rotates the vertical shaft AX1 in the axial direction.
  • the positions of the antennas 19A and 19B can be changed by the rotation driving unit 12, and the antennas 19A and 19B can be set at the positions where the reception sensitivity is high.
  • the in-vehicle controller 50 is determined to have low reception sensitivity by the antenna 19, such as when the communication quality of wireless communication with another device by the communication system CS continues to be less than a predetermined value for a certain period of time or longer.
  • the antennas 19A and 19B are rotated (circulated) by the rotation driving unit 12 while monitoring the reception sensitivity. At this time, the rotation of the antennas 19A and 19B may be stopped at a position where the reception sensitivity is high (a position where information can be transmitted and received).
  • the portion to which the antenna 19 is attached is not limited to the lower end of the frame portion W.
  • the mounting position of the antenna 19 is arbitrary as long as at least one of the position and the posture can be changed according to the operation of the transfer portion 18.
  • the antenna 19 is attached to a portion other than the portion that moves in the horizontal direction by the lateral mechanism 11.
  • the elevating drive unit 14 and the like are used by the lateral mechanism 11. Need to be sideways.
  • the elevating drive unit 14 and the like may not be able to be pushed out sideways. Therefore, it is desirable to use the rotation drive unit 12 rather than the lateral mechanism 11 as the mechanism for changing the position of the antenna 19.
  • FIG. 5 is a block diagram showing an example of the transport vehicle V, the upper controller HC, and the blocking controller BC.
  • the in-vehicle controller 50 comprehensively controls the transport vehicle V.
  • the in-vehicle controller 50 includes a storage unit 51 that stores (stores) various data, a communication unit 52, a travel control unit 53, a transfer control unit 54, a progress permission request generation unit 55, a determination unit 56, and state information processing.
  • a unit 57 is provided.
  • the in-vehicle controller 50 for example, a computer device is used.
  • the in-vehicle controller 50 is provided in the frame portion W in the present embodiment (see FIGS. 1 and 2), the in-vehicle controller 50 may be provided in the upper unit 17 of the main body portion 10 or may be provided outside the main body portion 10. May be done.
  • the communication unit 52 communicates with an external device via the antenna 19.
  • the communication unit 52 is wirelessly connected to the communication system CS (see FIG. 3).
  • the communication unit 52 performs wireless communication between the host controller HC and the blocking controller BC, respectively, via the communication system CS.
  • the travel control unit 53 controls the travel of the transport vehicle V by controlling the travel drive unit 33, the direction change mechanism 34, and the like.
  • the travel control unit 53 controls, for example, travel speed, operation related to stopping, and operation related to direction change.
  • the travel control unit 53 controls the travel of the transport vehicle V based on the transport command received from the host controller HC.
  • the travel control unit 53 controls the travel so that the transport vehicle V travels in accordance with the progress permission for the blocking section B (see FIG. 3) given by the blocking controller BC.
  • the progress permission received from the blocking controller BC is stored in the storage unit 51 as progress permission information.
  • the progress permission information includes information indicating the blocking section B for which the progress permission has been given.
  • the travel control unit 53 advances the transport vehicle V (travel unit 20) to the blocking section B for which the progress permission has been obtained.
  • the traveling control unit 53 controls traveling so that the transport vehicle V does not advance in the blocking section B for which the traveling permission has not been obtained. If the travel control unit 53 has not obtained the progress permission, the traveling vehicle V is stopped before the blocking section B and waits until the progress permission of the blocking section B is obtained.
  • the transfer control unit 54 controls the transfer operation of the article M by the transfer unit 18 based on the transfer command.
  • the transfer control unit 54 operates the transfer unit 18 and the like to grip and hold the article M placed in a predetermined place, or lowers the held article M to a predetermined place. Controls the unloading operation to be loaded.
  • the progress permission request generation unit 55 generates progress permission requests for a plurality of blocking sections B that the own vehicle is planning to pass through in the traveling path of the grid-like track R defined by a command such as a transport command.
  • the progress permission request generation unit 55 may generate a progress permission request for each blocking section B, or may generate a progress permission request that combines a plurality of blocking sections B.
  • the determination unit 56 determines whether or not the state in which the communication quality of wireless communication with other devices by the communication system CS is less than a predetermined value continues for a certain period of time or longer. For example, the determination unit 56 may determine whether or not the radio wave intensity when transmitting and receiving various information via the antenna 19 is equal to or higher than a predetermined value. As the radio wave intensity in this case, for example, the reception sensitivity between the carrier V and the host controller HC and the blocking controller BC may be used. Further, the above-mentioned fixed time can be set to an arbitrary time, and may be set in advance by an operator or the like, or may be automatically set by the in-vehicle controller 50.
  • the mode in which the determination unit 56 uses the radio wave strength in the wireless communication between the transport vehicle V and the host controller HC and the blocking controller BC is described as an example, but the present embodiment is not limited to this mode. ..
  • the determination unit 56 uses the radio wave strength in wireless communication between either one of the host controller HC and the blocking controller BC and the carrier V, and the communication quality (radio wave strength) of the wireless communication is less than a predetermined value. May be determined whether or not has continued for a certain period of time or longer. Further, the determination unit 56 may determine the communication quality of the wireless communication by using a parameter other than the radio wave strength.
  • the determination unit 56 acquires the radio wave intensity received by the communication unit 52 via the antenna 19, and determines whether or not the value is equal to or higher than a predetermined value based on the radio wave intensity.
  • the predetermined value is preset and stored in the storage unit 51. For example, the predetermined value is set to a value that can be transmitted and received without any error or with few errors.
  • the determination unit 56 determines whether or not the antenna 19 has rotated by a predetermined amount about the vertical axis AX1. For example, when rotating the antenna 19, if the reception sensitivity is not improved even if the antenna 19 is rotated (360 °), there is a possibility that the reception sensitivity is not improved even if the antenna 19 is rotated. In this case, after the antenna 19 has rotated once, the in-vehicle controller 50 may rotate the antenna 19 again after a lapse of a predetermined time to improve the reception sensitivity, or an error that the communication is poor or Abnormal processing such as an alarm may be executed.
  • the vehicle-mounted controller 50 may execute other processing (countermeasures) such as changing the communication channel instead of the error or the alarm as the abnormality processing.
  • the state information processing unit 57 periodically generates and updates state information.
  • the state information is stored in the storage unit 51.
  • the state information processing unit 57 transmits the generated state information to the upper controller HC via the communication unit 52 in response to the state information request transmitted from the upper controller HC.
  • the state information includes, for example, information on the current position of the own vehicle, information indicating the current state such as normal or abnormal related to the running operation or the transfer operation, and the execution state of various commands such as the transport command (execution, execution completion, execution). Failure), information about.
  • the state information may include information regarding the current position of the antenna 19.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of an operation sequence of the transport vehicle V, the host controller HC, and the blocking controller BC.
  • FIG. 7 is a flowchart showing an example of the operation of the vehicle-mounted controller 50 of the transport vehicle V.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the operation of the transport vehicle system SYS. Note that FIG. 8 shows a part of the grid-like orbit R. Further, in FIG. 8, the grid cells C and the blocking section B of the portions indicated by the numbers “1 to 60” are grid cells C1 to C60 and blocking sections B1 to B60, respectively.
  • an access point AP for wireless communication between the upper controller HC and the blocking controller BC is set.
  • the transport vehicle V transmits / receives information to / from the host controller HC and the blocking controller BC via the access point AP by wireless communication using the antenna 19.
  • the host controller HC assigns a transport command to the transport vehicle V (step S1).
  • the host controller HC selects a transport vehicle V capable of transporting the article M from the plurality of transport vehicles V, and assigns a transport command to the transport vehicle V.
  • the host controller HC issues a transport command from the status information of each transport vehicle V, map information indicating the position of each part (eg, processing device, storage device, buffer) related to the transport vehicle system SYS, position information of the article M, and the like. Generate.
  • the transport command is a travel command for the transport vehicle V to travel along a predetermined route, a load-grabbing command for grabbing the article M at a predetermined position, and an unloading command for unloading the grabbed article M at a predetermined position. Etc. are included.
  • the host controller HC causes the grid cell C42 to grab the article M as a transport command, and shows the article M as a two-point chain line from the grid cells C42 to C29 while holding the article M.
  • a transport command is assigned to the transport vehicle V to travel the travel route and execute the unloading of the article M in the grid cell C29.
  • the progress permission request generation unit 55 of the vehicle-mounted controller 50 When the transport vehicle V receives the transport command, the progress permission request generation unit 55 of the vehicle-mounted controller 50 generates a progress permission request for the blocking section B through which the own vehicle passes along the travel route defined by the transport command (Ste S2).
  • the progress permission request generated by the progress permission request generation unit 55 is transmitted to the blocking controller BC by the communication unit 52 (step S3).
  • the blocking controller BC may make a transmission request to each transport vehicle V by periodic communication, and the transmission of the progress permission request in step S3 may be performed as a response to the transmission request.
  • the blocking controller BC determines whether or not to permit the progress of the blocking section B for which the progress permission request has been made (step S4). If the blocking controller BC has already given permission to proceed to another carrier V for the blocking section B, the blocking controller BC determines that the progress is not permitted, but if the blocking section B is not given permission to proceed, the carrier vehicle Since V can proceed, it is determined that the transport vehicle V that has requested the progress permission is permitted to proceed. If it is determined in step S4 that the progress is permitted, the progress permission is transmitted to the transport vehicle V that has transmitted the progress permission request (step S5). The transport vehicle V that has received the progress permission advances to the blocking section B to which the progress permission is given, and executes an operation based on the transport command (step S6).
  • each transport vehicle V is controlled by repeatedly performing the operations of steps S1 to S6 of FIG.
  • each transport vehicle V transmits information such as a transport command by wireless communication with the host controller HC, and proceeds to the blocking section B by wireless communication with the blocking controller BC.
  • the other transport vehicles V2 to V6 interfere with wireless communication. It may become an object and the signal strength of communication may decrease.
  • the other transport vehicles V2 to V6 are stopped because, for example, the transfer operation of the article M is being executed.
  • the transport vehicle V1 cannot obtain permission to proceed, for example, for the blocking section B to proceed next. It may stop.
  • the transport vehicle V does not have a mechanism for changing the position or posture of the antenna 19, the transport vehicle V itself cannot move and therefore the position or posture of the antenna 19 cannot be changed. Therefore, wireless communication by the antenna 19 Communication quality is not improved. Then, the transport vehicle V cannot obtain the progress permission for the blocking section B to proceed next forever, and continues to stop.
  • FIG. 7 is a flowchart showing an example of the operation of the in-vehicle controller 50 of the transport vehicle V.
  • the determination unit 56 of the in-vehicle controller 50 determines whether or not the state in which the communication quality of wireless communication with other devices by the communication system CS is less than a predetermined value continues for a certain period of time or longer.
  • the determination unit 56 may acquire the intensity of the radio wave signal input / output by the communication unit 52 at predetermined time intervals, and make a determination based on the intensity of the radio wave signal.
  • the state in which the communication quality is less than the predetermined value is not continued for a certain period of time or more by the determination unit 56 (NO in step S11)
  • it is assumed that appropriate wireless communication with other devices has been established, and the process is terminated. To do.
  • step S11 when the determination unit 56 determines that the state in which the communication quality is less than a predetermined value continues for a certain period of time or longer (YES in step S11), the communication quality (radio wave) for wireless communication with another device is performed. Assuming that the strength) is not sufficient, the antenna 19 is rotated by a predetermined amount (step S12).
  • step S12 the vehicle-mounted controller 50 drives the rotation drive unit 12 to rotate the frame unit W and the antenna 19 around the axis of the vertical axis AX1.
  • the in-vehicle controller 50 may rotate the rotation drive unit 12 at a predetermined speed, or may move the rotation drive unit 12 in steps at predetermined angles.
  • the position of the antenna 19 can be changed by using the existing transfer unit 18 (rotation drive unit 12).
  • step S13 the determination unit 56 determines whether or not the rotation amount of the antenna 19 exceeds the set value.
  • step S13 the determination unit 56 determines whether or not the rotation amount of the antenna 19 exceeds the preset rotation amount.
  • the determination unit 56 determines, for example, whether or not the amount of rotation of the antenna 19 exceeds 360 °, which is the set location.
  • the processes after step S11 are repeated. That is, in step S11, the determination unit 56 determines whether or not the communication quality acquired while the antenna 19 is rotating has been kept below a predetermined value for a certain period of time or longer.
  • the in-vehicle controller 50 holds the position of the antenna 19 (the position of the antenna 19 whose radio wave intensity is equal to or higher than the predetermined value) in which the state of less than the predetermined value does not continue for a certain period of time or more in terms of communication quality. Then, the transport vehicle V (the transport vehicle V1 shown in FIG. 8) can transmit information to the host controller HC or the blocking controller BC, and can restart the execution of the transport command. In step S11, when the determination unit 56 again determines that the rotation amount of the antenna 19 does not exceed the set value (NO in step S13), the processes after step S12 are performed.
  • step S14 the vehicle-mounted controller 50 executes an error or an alarm or other abnormal processing (step S14). End the process.
  • the vehicle-mounted controller 50 may execute other processing (countermeasures) such as changing the communication channel instead of the error or alarm as the abnormality processing. Further, the vehicle-mounted controller 50 may wait for a predetermined time (for example, several minutes) before performing this step S14, and then perform the processing after step S11 again. For example, any of the other transport vehicles V2 to V6 shown in FIG. 8 may have completed the transfer operation of the article M and have already proceeded from the grid cell C. In this case, the communication status in the transport vehicle V1.
  • the host controller HC or the blocking controller BC identifies the transport vehicle V (transport vehicle V1 in FIG. 8) that has not been communicated for a predetermined time, and notifies the operator or the like that there is a transport vehicle V that cannot communicate. You may.
  • FIG. 9 is a perspective view showing another example of the transport vehicle according to the embodiment.
  • the transport vehicle VA shown in FIG. 9 has a configuration in which the position of the antenna 19 in the vertical direction can be changed.
  • the other configurations of the transport vehicle VA are the same as those of the transport vehicle V described above, and the same reference numerals are given and the description thereof will be omitted.
  • the position of the antenna 19 can be changed downward in the vertical direction.
  • the antenna 19 can move by combining rotation about the vertical axis AX1 and linear movement in the vertical direction, and moves the position of the antenna 19 more widely. be able to.
  • the downward position change of the antenna 19 can be performed by a simple actuator, and a significant increase in cost can be suppressed. Further, a configuration may be applied in which the position of the antenna 19 is held by a lock mechanism, and the antenna 19 is lowered by its own weight by releasing the holding of the antenna 19 in synchronization with the rotation of the antenna 19, for example.
  • At least the position and orientation of the antenna 19 can be determined by using the drive mechanism in the existing transfer portion 18 without separately providing the mechanism for driving the antenna 19 in the transport vehicle V.
  • One can be changed. Then, even if the transport vehicle V (traveling unit 20) itself is stopped, the communication state can be improved by the antenna 19, and the size and weight of the transport vehicle V can be suppressed from increasing.
  • the embodiment in which the antenna 19 is attached to the lower end of the frame portion W is described as an example, but the present invention is not limited to this embodiment.
  • the antenna 19 may be provided so as to project in the horizontal direction (for example, the tangential direction of the outer periphery of the frame portion W in a plan view) on the outer upper portion of the frame portion W.
  • the embodiment in which the antenna 19 is arranged along the vertical direction (Z direction) is described as an example, but the present invention is not limited to this embodiment.
  • the antenna 19 may be attached to the frame portion W in a state of being tilted with respect to the vertical direction.

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Abstract

【課題】アンテナの駆動機構を別に設けることなく、アンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させる。 【解決手段】搬送車は、走行部と、走行部に取り付けられ、移載先に対して物品を受け渡しする移載部と、移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられ、他の機器との間で無線通信を行うアンテナと、を備える。

Description

搬送車
　本発明は、搬送車に関する。
　半導体製造工場等では、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、又はレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を搬送する搬送車システムが用いられている。この搬送車システムは、軌道を走行する複数の搬送車と、複数の搬送車を制御する上位コントローラとを備えている。複数の搬送車は、それぞれ自車を制御する車載のコントローラを備えており、上位コントローラから受け取った搬送指令に基づいて自車を制御することにより軌道を走行して物品の移載を行っている。各搬送車は、上位コントローラとの間で無線通信により搬送指令等の情報の伝達を行うことが知られている。例えば、軌道を走行する他の搬送車等が無線通信の障害物となって無線通信の電波強度が低下すると、上位コントローラとの間で情報を十分に伝達できなくなり、搬送車の動作の障害となる。このように電波強度が低下した際、通信を行っているアンテナの姿勢を移動体（搬送車）上において変化させ、電波強度を増加させるようにした技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開昭６０－０１３８０１号公報
　特許文献１では、アンテナの姿勢を移動体上において変化させているが、アンテナの姿勢を変化させるための駆動機構を移動体における既存の構成とは別に設ける必要がある。搬送車にアンテナの駆動機構を搭載することで、搬送車の大型化及び重量の増加を招き、搬送車の小型化及び軽量化の要請に反することとなる。また、上記したような搬送車システムでは、複数の搬送車が運用されるため、各搬送車にアンテナの駆動機構を搭載することで、搬送車システムのコスト増加を招くことになる。
　本発明は、アンテナの駆動機構を別に設けることなく、アンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることが可能な搬送車を提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る搬送車は、走行部を備える。また、本発明の態様に係る搬送車は、走行部に取り付けられ、移載先に対して物品を受け渡しする移載部を備える。また、本発明の態様に係る搬送車は、移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられ、他の機器との間で無線通信を行うアンテナを備える。
　また、移載部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部を備え、アンテナは、回動駆動部による移載部の回動に追従して、鉛直軸まわりの位置が変更されてもよい。また、移載部は、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備え、回動駆動部は、ラテラル機構を鉛直軸まわりに回動させ、アンテナは、移載部においてラテラル機構により水平方向に移動する部分以外の部分に設けられてもよい。
　また、移載部を囲みかつ回動駆動部により移載部とともに鉛直軸まわりに回動するフレーム部を備え、アンテナは、フレーム部に取り付けられてもよい。また、アンテナは、フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられてもよい。また、走行部を制御するコントローラを備え、コントローラは、走行部が格子状の軌道を走行する際、アンテナを介して他の機器との間で通信を行うことにより軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合にはマス目に進行させ、進行許可が得られない場合にはマス目には進行させないように制御してもよい。
　上記した搬送車によれば、アンテナが、移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられるため、アンテナの位置等を変更させる機構を別に設けることなく、既存の移載部を用いることでアンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることができる。そして、搬送車において通信状態の改善を図ることを可能とし、かつ、搬送車の大型化及び重量の増加を抑制することができる。
　また、移載部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部を備え、アンテナが、回動駆動部による移載部の回動に追従して、鉛直軸まわりの位置が変更される構成では、移載部の回動駆動部を用いることで、アンテナの位置を容易かつ確実に変更できる。また、移載部が、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備え、回動駆動部が、ラテラル機構を鉛直軸まわりに回動させ、アンテナが、移載部においてラテラル機構により水平方向に移動する部分以外の部分に設けられる構成では、アンテナと、ラテラル機構により水平方向に移動する部分との干渉を防止できる。
　また、移載部を囲みかつ回動駆動部により移載部とともに鉛直軸まわりに回動するフレーム部を備え、アンテナが、フレーム部に取り付けられる構成では、回動駆動部により回動するフレーム部によってアンテナの位置を容易かつ確実に変更できる。また、アンテナが、フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられる構成では、アンテナが水平方向に突出しないので、他の搬送車とすれ違う場合でも他の搬送車とアンテナとが干渉することを防止できる。また、走行部を制御するコントローラにより、走行部が格子状の軌道を走行する際、アンテナを介して他の機器との間で通信を行うことにより軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合にはマス目に進行させ、進行許可が得られない場合にはマス目には進行させないように制御する構成では、格子状の軌道の一部に搬送車が密集して通信障害を引き起こす場合があり、このような場合にアンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させて通信状態を改善することで、搬送車が格子状のマス目から動けなくなる不具合を回避できる。
実施形態に係る搬送車の一例を示す側面図である。 図１に示す搬送車の斜視図である。 搬送車システムの一例を示す斜視図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、搬送車を下方から見た場合の一例を示す図である。 搬送車の一例を示すブロック図である。 搬送車及びコントローラの動作シーケンスの一例を示す図である。 車載コントローラの動作の一例を示すフローチャートである。 搬送車システムの動作の一例を示す図である。 実施形態に係る搬送車の他の例を示す斜視図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系により図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面に沿った一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。なお、搬送車Ｖの走行方向は、図示された方向から他の方向に変化可能であり、例えば曲線方向に走行する場合もある。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向と反対の方向が－方向であるとして説明する。また、鉛直軸まわり又はＺ軸まわりの旋回方向をθＺ方向と表記する。
　図１は、実施形態に係る搬送車Ｖの一例を示す側面図である。図２は、図１に示す搬送車Ｖの斜視図である。図３は、搬送車Ｖを用いた搬送車システムＳＹＳの一例を示す斜視図である。搬送車システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを搬送車Ｖにより搬送するためのシステムである。搬送車システムＳＹＳは、複数の搬送車Ｖ１～Ｖｎ（以下、搬送車Ｖと総称する場合もある）と、複数の搬送車Ｖを制御するコントローラ（上位コントローラＨＣ、ブロッキングコントローラＢＣ）と、を備える。なお、上位コントローラＨＣは、搬送コントローラと上位コントローラとを含んで構成される場合がある。
　本実施形態では、搬送車Ｖが天井搬送車である例を説明する。搬送車Ｖは、搬送車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って移動する。搬送車Ｖは、搬送車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、又はレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送するとともに、図示しない移載先に対して物品Ｍの受け渡しを行う。
　軌道Ｒは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。軌道Ｒは、処理装置（図示せず）、ストッカ（自動倉庫、図示せず）、バッファ（図示せず）等に対して上方に設けられている。上記の処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、エッチング装置等であり、搬送車Ｖが搬送する容器（物品Ｍ）内の半導体ウエハに各種処理を施す。上記のストッカは、搬送車Ｖが搬送する物品Ｍを保管する。上記のバッファは、搬送車Ｖが搬送する物品Ｍを一時的に載置して保管する。搬送車Ｖは、上記した処理装置又はストッカのロードポート、及びバッファに対して物品Ｍの受け渡しを行う。
　軌道Ｒは、軌道の形態の一例である。軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と、第２軌道Ｒ２と、交差用軌道Ｒ３と、を有する格子状軌道である。以下、軌道Ｒを格子状軌道Ｒと称する。第１軌道Ｒ１は、Ｘ方向（第１方向ＤＲ１）に沿って延在する。第２軌道Ｒ２は、Ｙ方向（第２方向ＤＲ２）に沿って延在する。本実施形態では、第１方向ＤＲ１と第２方向ＤＲ２とが直交しており、複数の第１軌道Ｒ１と複数の第２軌道Ｒ２とは、互いに直交する方向に沿って設けられる。
　交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２との交差部に配置される。交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１に対して第１方向ＤＲ１に隣り合うと共に第２軌道Ｒ２に対して第２方向ＤＲ２に隣り合っている。交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１の延在方向に形成された軌道部分と、第２軌道Ｒ２の延在方向に形成された軌道部分とを形成する。格子状軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とが直交する方向に設けられることで、平面視で複数のＣ（マス目）が隣り合う状態となっている。１つのグリッドセルＣは、平面視において、第２方向ＤＲ２において隣り合った２つの第１軌道Ｒ１と、第１方向ＤＲ１において隣り合った２つの第２軌道Ｒ２と、に囲まれた部分である。なお、図３では格子状軌道Ｒの一部について示しており、格子状軌道Ｒは、図示している構成から第１方向ＤＲ１（Ｘ方向）及び第２方向ＤＲ２（Ｙ方向）に同様の構成が連続して形成されている。
　第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈ（図１参照）によって不図示の天井から吊り下げられている。吊り下げ部材Ｈは、第１軌道Ｒ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２軌道Ｒ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、交差用軌道Ｒ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
　第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、それぞれ走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。後述する搬送車Ｖの走行車輪２１は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ上を走行（転動）する。第１軌道Ｒ１と交差用軌道Ｒ３との間、第２軌道Ｒ２と交差用軌道Ｒ３との間には、それぞれ間隙Ｄが形成される。間隙Ｄは、搬送車Ｖが第１軌道Ｒ１を走行して第２軌道Ｒ２を横切る際、又は第２軌道Ｒ２を走行して第１軌道Ｒ１を横切る際に、搬送車Ｖの一部である後述の連結部３０が通過する部分である。従って、間隙Ｄは、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、同一又はほぼ同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
　搬送車システムＳＹＳは、通信システムＣＳを備える。通信システムＣＳは、例えば、無線ＬＡＮ等の無線通信システムである。通信システムＣＳは、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣの相互間の通信に用いられる。搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣは、それぞれ、通信システムＣＳを介して通信可能であり、各種情報の送受信が可能となっている。
　搬送車Ｖの走行領域には、複数の搬送車Ｖのうちいずれか１台により占有される場合に他の搬送車Ｖを進行させない排他制御が行われるブロッキング区間Ｂが複数定められている（図３参照）。本実施形態では、ブロッキング区間Ｂは、グリッドセルＣ毎に設定されている。搬送車Ｖは、ブロッキングコントローラＢＣからブロッキング区間Ｂの進行許可を得た場合にブロッキング区間Ｂを占有して通過可能であるが、ブロッキングコントローラＢＣから進行許可が得られない場合にはブロッキング区間Ｂに進行しないように排他制御される。排他制御により搬送車Ｖ同士の干渉を防止することができる。
　搬送車Ｖは、格子状軌道Ｒを走行する際、１つのグリッドセルＣから隣り合うグリッドセルＣに進行することを繰り返して走行する。搬送車Ｖは、１つのグリッドセルＣから第１方向ＤＲ１（＋Ｘ方向、－Ｘ方向）、第２方向ＤＲ２（＋Ｙ方向、－Ｙ方向）に選択的に走行可能である。搬送車Ｖの構成について説明する。図１及び図２に示すように、搬送車Ｖは、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、車載コントローラ５０（コントローラ）とを有する。
　本体部１０は、格子状軌道Ｒの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状軌道Ｒにおける１つのグリッドセルＣ（図３参照）に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１軌道Ｒ１又は第２軌道Ｒ２を走行する他の搬送車Ｖとすれ違う場合でも本体部１０同士が干渉しない。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載部１８と、アンテナ１９とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部を有する。
　本体部１０の上部ユニット１７には、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４が設けられる。４つの走行車輪２１によって本体部１０を安定して吊り下げることができ、かつ、本体部１０を安定して走行させることができる。また、搬送車Ｖは、移載部１８を用いることにより、所定位置に対して物品Ｍの受け渡しを行うことができる。
　移載部１８は、上部ユニット１７の下方に設けられる。移載部１８は、Ｚ方向（鉛直方向）の鉛直軸ＡＸ１まわりに回動可能である。移載部１８は、物品Ｍを保持する保持部１３と、保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させるラテラル機構１１と、ラテラル機構１１を回動させる回動駆動部１２とを有する。保持部１３は、物品Ｍに備えられたフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進行させ、保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。爪部１３ａの動作は、車載コントローラ５０により制御される。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、車載コントローラ５０に制御され、所定の速度で保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、車載コントローラ５０に制御され、保持部１３を目標の高さに保持する。
　ラテラル機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。可動板は、Ｙ方向に相対的に移動可能である。最上層の可動板の上面側は、回動駆動部１２に支持されている。また、最下層の可動板の下面側には、昇降駆動部１４が取り付けられている。ラテラル機構１１は、不図示の駆動装置により可動板を移動させ、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び保持部１３を、例えば、搬送車Ｖの走行方向に対して直交する水平方向に横出しさせる（スライド移動させる）ことができる。ラテラル機構１１の動作は、車載コントローラ５０により制御される。
　回動駆動部１２は、ラテラル機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動駆動部１２は、上部ユニット１７に対してラテラル機構１１を鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに相対的に回転させる。回動駆動部１２は、回動部材１２ａと、駆動源１２ｂとを有する。回動部材１２ａは、鉛直軸の軸まわり方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、ラテラル機構１１を支持する。ラテラル機構１１における最上層の可動板は、回動部材１２ａに一体的に取り付けられている。駆動源１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、上部ユニット１７に一体的に取り付けられている。駆動源１２ｂは、回動部材１２ａを鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させる。回動駆動部１２は、駆動源１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させることにより、ラテラル機構１１（昇降駆動部１４及び保持部１３）を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させることができる。すなわち、回動駆動部１２は、ラテラル機構１１による昇降駆動部１４及び保持部１３の横出し方向を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回転させる。
　また、ラテラル機構１１と昇降駆動部１４との間には第２回動駆動部１６が設けられている。第２回動駆動部１６は、昇降駆動部１４（保持部１３）をラテラル機構１１に対して鉛直方向の鉛直軸ＡＸ２の軸まわり方向に回動させることができる。なお、第２回動駆動部１６は、ラテラル機構１１と昇降駆動部１４との間に設けられることに代えて、保持部１３に設けられてもよい。この場合、第２回動駆動部１６により保持部１３を昇降駆動部１４に対して鉛直軸ＡＸ２の軸まわり方向に回動させることができる。
　また、図１及び図２に示すように、移載部１８及び移載部１８に保持している物品Ｍを囲むようにフレーム部Ｗが設けられてもよい。フレーム部Ｗは、下端を開放した筒状であって、かつ、ラテラル機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。フレーム部Ｗは、上端が回動駆動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動する。
　走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸に取り付けられている。車軸は、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行に設けられている。走行車輪２１のそれぞれは、後述する走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、軌道Ｒにおいて、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、搬送車Ｖを走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、搬送車Ｖの走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸の軸まわりに回転可能となっている。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、走行車輪２１が間隙Ｄ（図１参照）を通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　図２に示すように、連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられる。この連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状軌道Ｒより下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１と、接続部材３２とを有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１により、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、間隙Ｄ（図１参照）を通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延在して上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ３を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ３まわりのθＺ方向に旋回させることができる。
　連結部３０には、走行駆動部３３と、方向転換機構３４とが設けられる。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電気モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪となる。４つの走行車輪２１は、同一又はほぼ同一の回転数となるように車載コントローラ５０によって制御される。なお、４つの走行車輪２１のうちいずれかを駆動輪として用いない場合は、接続部材３２に走行駆動部３３は装着されない。
　方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ３を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ３まわりのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、搬送車Ｖの走行方向を第１方向ＤＲ１とする第１状態から走行方向を第２方向ＤＲ２とする第２状態に、又は走行方向を第２方向ＤＲ２とする第２状態から走行方向を第１方向ＤＲ１とする第１状態に切り替えることが可能である。
　方向転換機構３４は、駆動源３５と、ピニオンギア３６と、ラック３７とを有する。駆動源３５は、走行駆動部３３において旋回軸ＡＸ３から離れた側面に取り付けられている。駆動源３５は、例えば電気モータ等が用いられる。ピニオンギア３６は、駆動源３５の下面側に取り付けられており、駆動源３５で発生した駆動力によりθＺ方向に回転駆動する。ピニオンギア３６は、平面視で円形状であり、外周の周方向に複数の歯を有する。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａに固定される。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられ、走行車輪２１の旋回軸ＡＸ３を中心とした円弧状（扇形状）に設けられる。ラック３７は、外周の周方向に、ピニオンギア３６の歯と噛み合う複数の歯を有する。
　ピニオンギア３６及びラック３７は、互いの歯が噛み合った状態で配置される。ピニオンギア３６がθＺ方向に回転することにより、ラック３７の外周に沿うようにピニオンギア３６が旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に移動する。このピニオンギア３６の移動により、接続部材３２が旋回し、走行駆動部３３及び方向転換機構３４がピニオンギア３６と共に旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に旋回する。
　方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、車載コントローラ５０によって制御される。車載コントローラ５０は、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うように指示してもよいし、異なるタイミングで行うように指示してもよい。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。換言すれば、走行車輪２１の回転軸の方向が第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２の一方とされた状態から他方とされる状態に移行する。このため、搬送車Ｖの走行方向を第１方向ＤＲ１（Ｘ方向）とする第１状態と、走行方向を第２方向ＤＲ２（Ｙ方向）とする第２状態とで切り替えることができる。
　搬送車Ｖは、位置情報を検出する位置検出部（図示せず）を備える。この位置検出部は、位置情報を示すバーコード等の位置マーカ（図示せず）を検出することにより、搬送車Ｖの現在位置を検出する。位置検出部は、例えば、バーコードを読み取り可能なバーコードリーダが用いられ、非接触により位置マーカを検出する。位置マーカは、例えば、格子状軌道ＲのグリッドセルＣ毎に設置されている。
　アンテナ１９は、上位コントローラＨＣ、ブロッキングコントローラＢＣ等の他の機器との間で各種情報を送受信するための無線通信を行う際に用いられる。また、アンテナ１９は、他の搬送車Ｖとの間で各種情報を送受信するための無線通信を行う際に用いられてもよい。すなわち、搬送車Ｖは、アンテナ１９を介して他の機器との間で、通信システムＣＳによる情報の送受信を行う。アンテナ１９は、車載コントローラ５０に電気的に接続される。アンテナ１９により受信される情報は、車載コントローラ５０に送られる。換言すれば、車載コントローラ５０は、アンテナ１９を介して他の機器との間で、通信システムＣＳによる情報の送受信を行う。
　アンテナ１９は、移載部１８の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能である。換言すれば、アンテナ１９は、移載部１８の動作に伴い位置及び姿勢の少なくとも一方が変化する部材に取り付けられており、部材の位置あるいは姿勢の変化に伴い、同様に位置あるいは姿勢が変化する。アンテナ１９は、例えば、フレーム部Ｗの下端に取り付けられている。本実施形態において、アンテナ１９は、フレーム部Ｗの下端において、鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに所定の角度（例えば、９０°）ごとに４つ配置される。アンテナ１９の個数及び配置は、上記に限定されない。複数のアンテナ１９を用いることで、いずれかのアンテナ１９により他の機器との無線通信を確立することができ、冗長性を確保できる。なお、アンテナ１９は、複数であることに限定されず、１本であってもよい。
　アンテナ１９は、フレーム部Ｗの下端から下方に突出した状態で取り付けられる。このため、アンテナ１９が水平方向に突出しないので、例えば、格子状軌道Ｒにおいて、他の搬送車Ｖとすれ違う場合でも他の搬送車Ｖとアンテナ１９とが干渉することを防止できる。
　図４（Ａ）及び（Ｂ）は、搬送車Ｖを下方から見た場合の一例を示す図である。図４（Ａ）に示すように、アンテナ１９は、鉛直軸ＡＸ１を挟んで配置される一対のアンテナ１９Ａと、同様に、鉛直軸ＡＸ１を挟んで配置される一対のアンテナ１９Ｂとで構成される。一対のアンテナ１９Ａ、１９Ｂは、例えば、一対のアンテナ１９Ａ、１９Ｂのうち一方を主として用い、他方を補助として用いてもよいし、一対のアンテナ１９Ａを主として用い、一対のアンテナ１９Ｂを補助として用いてもよい。また、アンテナ１９Ａ、１９Ｂは、それぞれ通信可能な帯域が互いに異なるように設定されてもよい。
　アンテナ１９は、フレーム部Ｗに一体的に取り付けられている。このため、回動駆動部１２の駆動によりフレーム部Ｗが鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動する場合、図４（Ｂ）に示すように、フレーム部Ｗの回動に追従して鉛直軸ＡＸ１の軸まわりの位置が変更される。従って、回動駆動部１２の駆動によりアンテナ１９の位置を容易かつ確実に変更できる。回動駆動部１２は、ラテラル機構１１を回動させる必要がない場合においても、アンテナ１９の位置及び姿勢の少なくとも一方を変更するためにフレーム部Ｗを回動させる。換言すれば、回動駆動部１２は、ラテラル機構１１（昇降駆動部１４及び保持部１３）を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させるラテラル機構回動駆動部として機能するとともに、アンテナ１９を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させるアンテナ回動駆動部として機能する。
　例えば、アンテナ１９Ａ、１９Ｂによる受信感度が低い場合は、回動駆動部１２によりアンテナ１９Ａ、１９Ｂの位置を変更させて、受信感度の高い位置にアンテナ１９Ａ、１９Ｂを設定できる。例えば、車載コントローラ５０は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続した場合等、アンテナ１９による受信感度が低いと判断される場合、受信感度をモニターしつつ回動駆動部１２によりアンテナ１９Ａ、１９Ｂを回動（周回移動）させる。この際、受信感度が高い位置（情報の送受信が可能となった位置）でアンテナ１９Ａ、１９Ｂの回動を停止させてもよい。
　なお、アンテナ１９が取り付けられる部分は、フレーム部Ｗの下端に限定されない。アンテナ１９は、移載部１８の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能であれば、取付位置は任意である。また、アンテナ１９は、ラテラル機構１１により水平方向に移動する部分以外の部分に取り付けられる。ラテラル機構１１により水平方向に移動する部分にアンテナ１９を取り付ける構成とした場合、アンテナ１９の受信感度の向上を目的としてアンテナ１９の位置を変更するためには、ラテラル機構１１により昇降駆動部１４等を横出しする必要がある。このためには、昇降駆動部１４等が横出しされるブロッキング区間Ｂの占有許可を得ている必要があるが、かかる占有許可はアンテナ１９を介しての無線通信により得られるため、ラテラル機構１１により昇降駆動部１４等を横出しできない場合がある。従って、アンテナ１９の位置を変更する機構としては、ラテラル機構１１よりも回動駆動部１２を用いることが望ましい。
　図５は、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及び、ブロッキングコントローラＢＣの一例を示すブロック図である。車載コントローラ５０は、搬送車Ｖを統括的に制御する。車載コントローラ５０は、各種データを記憶（格納）する記憶部５１と、通信部５２と、走行制御部５３、移載制御部５４、進行許可要求生成部５５と、判定部５６と、状態情報処理部５７と、を備える。車載コントローラ５０は、例えば、コンピュータ装置が用いられる。車載コントローラ５０は、本実施形態ではフレーム部Ｗに設けられる例を示すが（図１、図２参照）、本体部１０の上部ユニット１７に設けられてもよいし、本体部１０の外部に設けられてもよい。
　通信部５２は、アンテナ１９を介して外部の装置との間で通信を行う。通信部５２は、無線により、通信システムＣＳ（図３参照）に接続される。通信部５２は、通信システムＣＳを介して、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣの間で、それぞれ無線通信を行う。
　走行制御部５３は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、搬送車Ｖの走行を制御する。走行制御部５３は、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。走行制御部５３は、上位コントローラＨＣから受信した搬送指令に基づいて、搬送車Ｖの走行を制御する。
　また、走行制御部５３は、ブロッキングコントローラＢＣから与えられたブロッキング区間Ｂ（図３参照）についての進行許可に従って搬送車Ｖが走行するように走行を制御する。ブロッキングコントローラＢＣから受信した進行許可は、進行許可情報として記憶部５１に記憶される。進行許可情報は、進行許可が与えられたブロッキング区間Ｂを示す情報を含む。走行制御部５３は、進行許可情報に基づいて、進行許可を得たブロッキング区間Ｂに搬送車Ｖ（走行部２０）を進行させる。なお、走行制御部５３は、進行許可を得ていないブロッキング区間Ｂには搬送車Ｖを進行させないように走行を制御する。走行制御部５３は、進行許可を得ていない場合、ブロッキング区間Ｂの手前で搬送車Ｖを停止させ、ブロッキング区間Ｂの進行許可を取得するまで待機させる。
　移載制御部５４は、搬送指令に基づいて、移載部１８による物品Ｍの移載動作を制御する。移載制御部５４は、移載部１８等を動作させて、所定の場所に載置されている物品Ｍを把持して保持する荷つかみ動作、又は、保持した物品Ｍを所定の場所に下ろして載置させる荷下ろし動作を制御する。
　進行許可要求生成部５５は、搬送指令等の指令により定められた格子状軌道Ｒの走行経路において、自車が通過を予定している複数のブロッキング区間Ｂについての進行許可要求を生成する。進行許可要求生成部５５は、ブロッキング区間Ｂごとに進行許可要求を生成してもよいし、複数のブロッキング区間Ｂをまとめた進行許可要求を生成してもよい。
　判定部５６は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行う。例えば、判定部５６は、アンテナ１９を介して各種情報を送受信する際の電波強度が所定値以上か否かの判定を行ってもよい。この場合の電波強度は、例えば、搬送車Ｖと、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間の受信感度が用いられてもよい。また、上記した一定時間は、任意の時間に設定可能であり、オペレータ等により予め設定されてもよいし、車載コントローラ５０により自動的に設定されてもよい。本実施形態では、判定部５６が、搬送車Ｖと、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間の無線通信における電波強度を用いる態様を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、判定部５６は、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣのいずれか一方と、搬送車Ｖとの無線通信における電波強度を用いて、無線通信の通信品質（電波強度）が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行ってもよい。また、判定部５６は、電波強度以外のパラメータを用いて無線通信の通信品質を判定してもよい。判定部５６は、通信部５２においてアンテナ１９を介して受信する電波強度を取得し、電波強度に基づいて所定値以上か否かの判定を行う。所定値は、予め設定されて記憶部５１に記憶されており、例えば、各種情報がエラーなく又はエラーが少ない状態で送受信可能な値に設定されている。
　また、判定部５６は、アンテナ１９が鉛直軸ＡＸ１を中心として所定量回動したか否かを判定する。例えば、アンテナ１９を回動させる場合、一周にわたって（３６０°）回動させても受信感度が改善されない場合は、アンテナ１９を回動させても受信感度が改善されない可能性がある。この場合、アンテナ１９が一周回動した後、車載コントローラ５０は、所定時間経過後に再度アンテナ１９の回動を行わせて受信感度の改善を図ってもよいし、通信不良であることのエラー又は警報等の異常処理を実行させてもよい。例えば、搬送車Ｖから発する警報としては、搬送車Ｖに搭載された警告灯の点灯、点滅、又はスピーカからの警告音等がある。また、車載コントローラ５０は、異常処理として、エラー又は警報に代えて、例えば通信チャンネルの変更等、他の処理（対処）を実行させてもよい。
　状態情報処理部５７は、周期的に状態情報を生成し更新する。状態情報は記憶部５１に格納される。状態情報処理部５７は、上位コントローラＨＣから送信された状態情報要求に応じて、生成した状態情報を、通信部５２を介して上位コントローラＨＣに送信する。状態情報は、例えば、自車の現在位置の情報、走行動作又は移載動作に関する正常又は異常等の現在の状態を示す情報、搬送指令等の各種指令の実行状態（実行中、実行完了、実行失敗）、関する情報である。また、状態情報には、アンテナ１９の現在の位置に関する情報を含ませてもよい。
　次に、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣによる搬送車Ｖの制御について説明する。図６は、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣの動作シーケンスの一例を示す図である。図７は、搬送車Ｖの車載コントローラ５０の動作の一例を示すフローチャートである。図８は、搬送車システムＳＹＳの動作の一例を示す図である。なお、図８では、格子状軌道Ｒの一部を示している。また、図８において、数字「１～６０」で示される部分のグリッドセルＣ及びブロッキング区間Ｂは、それぞれ、グリッドセルＣ１～Ｃ６０、ブロッキング区間Ｂ１～Ｂ６０である。また、グリッドセルＣ６には、上位コントローラＨＣとブロッキングコントローラＢＣとの間で無線通信するためのアクセスポイントＡＰが設定されている。搬送車Ｖは、アンテナ１９を用いた無線通信により、アクセスポイントＡＰを介して、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間で情報の送受信を行う。
　上位コントローラＨＣは、搬送車Ｖに搬送指令を割り付ける（ステップＳ１）。上位コントローラＨＣは、複数の搬送車Ｖのうち、物品Ｍを搬送可能な搬送車Ｖを選択し、搬送車Ｖに搬送指令を割り付ける。上位コントローラＨＣは、各搬送車Ｖの状態情報、搬送車システムＳＹＳに関連する各部（例、処理装置、保管装置、バッファ）の位置を示すマップ情報、物品Ｍの位置情報等から、搬送指令を生成する。搬送指令は、搬送車Ｖに対して、所定の経路に沿って走行させる走行指令、所定位置の物品Ｍの荷つかみさせる荷つかみ指令、荷つかみした物品Ｍを所定位置に荷下ろしさせる荷下ろし指令等を含む。
　例えば、上位コントローラＨＣは、図８に示すように、搬送指令として、グリッドセルＣ４２で物品Ｍの荷つかみを実行させ、物品Ｍを保持させたままグリッドセルＣ４２からＣ２９までの２点鎖線として示される走行経路を走行させ、グリッドセルＣ２９で物品Ｍの荷おろしを実行させる搬送指令を搬送車Ｖに割り付ける。
　搬送車Ｖが搬送指令を受信すると、車載コントローラ５０の進行許可要求生成部５５は、搬送指令により定められた走行経路に沿って、自車が通過するブロッキング区間Ｂの進行許可要求を生成する（ステップＳ２）。進行許可要求生成部５５により生成された進行許可要求は、通信部５２により、ブロッキングコントローラＢＣに送信される（ステップＳ３）。なお、ブロッキングコントローラＢＣは、周期的な通信により各搬送車Ｖに対して送信要求を行ってもよく、ステップＳ３における進行許可要求の送信は、この送信要求に対する応答として行ってもよい。
　ブロッキングコントローラＢＣは、進行許可要求を受信すると、進行許可要求があったブロッキング区間Ｂについて進行を許可するか否かを判定する（ステップＳ４）。ブロッキングコントローラＢＣは、ブロッキング区間Ｂについて既に他の搬送車Ｖに進行許可を与えている場合は、進行を許可しないと判定するが、ブロッキング区間Ｂに対して進行許可を与えていない場合は搬送車Ｖが進行可能であるので、進行許可要求を行った搬送車Ｖに進行を許可すると判定する。ステップＳ４で進行を許可すると判定された場合、進行許可要求を送信した搬送車Ｖに対して進行許可を送信する（ステップＳ５）。進行許可を受信した搬送車Ｖは、進行許可が与えられたブロッキング区間Ｂに進行し、搬送指令に基づく動作を実行する（ステップＳ６）。
　本実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、図６のステップＳ１～ステップＳ６の動作が繰り返して行われることにより、各搬送車Ｖが制御される。各搬送車Ｖは、上記のように、上位コントローラＨＣとの間の無線通信により搬送指令等の情報の伝達を行い、ブロッキングコントローラＢＣとの間の無線通信によりブロッキング区間Ｂへの進行を行っている。例えば、図８に示すように、搬送指令を実行中の搬送車Ｖ１とアクセスポイントＡＰとの間に他の搬送車Ｖ２～Ｖ６が存在する場合、他の搬送車Ｖ２～Ｖ６が無線通信の障害物となって通信の電波強度が低下する場合がある。他の搬送車Ｖ２～Ｖ６は、例えば、物品Ｍの移載動作を実行中のために停車している。この場合、搬送車Ｖ１と上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣとの間で無線通信による情報の伝達ができなくなり、搬送車Ｖ１は、例えば次に進行すべきブロッキング区間Ｂについて進行許可が得られず、停止する場合がある。ここで、搬送車Ｖがアンテナ１９の位置あるいは姿勢を変更する機構を備えない場合、搬送車Ｖ自体は移動できないためアンテナ１９の位置あるいは姿勢を変更することができず、ゆえにアンテナ１９による無線通信の通信品質は改善されない。そして、搬送車Ｖは次に進行すべきブロッキング区間Ｂについての進行許可をいつまでも得ることができず、停止し続けることとなる。
　図７は、搬送車Ｖの車載コントローラ５０の動作の一例を示すフローチャートである。図７に示すように、車載コントローラ５０の判定部５６は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行う（ステップＳ１１）。ステップＳ１１において、判定部５６は、例えば所定時間ごとに通信部５２において入出力される電波信号の強度を取得し、この電波信号の強度に基づいて判定を行ってもよい。判定部５６により通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続していない場合（ステップＳ１１のＮＯ）、他の機器との間で適切な無線通信が確立されているとして、処理を終了する。
　一方、判定部５６により通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したと判定された場合（ステップＳ１１のＹＥＳ）、他の機器との間で無線通信を行うための通信品質（電波強度）が十分ではないとして、アンテナ１９を所定量回動させる（ステップＳ１２）。ステップＳ１２において、車載コントローラ５０は、回動駆動部１２を駆動させてフレーム部Ｗ及びアンテナ１９を鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動させる。車載コントローラ５０は、回動駆動部１２を所定速度で回動させてもよいし、所定角度ごとにステップ移動させてもよい。アンテナ１９は、既存の移載部１８（回動駆動部１２）を用いることで位置を変えることができる。
　続いて、判定部５６は、アンテナ１９の回動量が設定値を超えるか否かを判定する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３において、判定部５６は、アンテナ１９の回動量が、予め設定された回動量を超えるか否かを判定する。判定部５６は、例えば、アンテナ１９の回動量が設定地である３６０°を超えたか否かを判定する。判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えないと判定された場合（ステップＳ１３のＮＯ）、ステップＳ１１以降の処理を繰り返し行う。すなわち、判定部５６は、ステップＳ１１において、アンテナ１９の回動中において取得した通信品質について、所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かを判定する。
　また、車載コントローラ５０は、通信品質について、所定値未満である状態が一定時間以上継続しないアンテナ１９の位置（電波強度が所定値以上となったアンテナ１９の位置）を保持する。そして、搬送車Ｖ（図８に示す搬送車Ｖ１）は、上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣとの間で情報の伝達が可能となり、搬送指令の実行を再開することが可能となる。なお、このステップＳ１１において、再度判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えないと判定された場合（ステップＳ１３のＮＯ）、ステップＳ１２以降の処理が行われる。
　また、判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えたと判定された場合（ステップＳ１３のＹＥＳ）、車載コントローラ５０は、エラー又は警報等の異常処理を実行して（ステップＳ１４）、処理を終了する。ステップＳ１４において、車載コントローラ５０は、異常処理として、エラー又は警報に代えて、例えば通信チャンネルの変更等、他の処理（対処）を実行させてもよい。また、車載コントローラ５０は、このステップＳ１４を行う前に、所定時間（例えば数分間）待機した後、再度ステップＳ１１以降の処理を行ってもよい。例えば、図８に示す他の搬送車Ｖ２～Ｖ６のいずれかが、物品Ｍの移載動作を完了してグリッドセルＣから既に進行している場合があり、この場合、搬送車Ｖ１において通信状況が改善されている可能性がある。また、上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣは、所定時間通信が行われていない搬送車Ｖ（図８の搬送車Ｖ１）を特定して、オペレータ等に通信不能の搬送車Ｖが存在することを通知してもよい。
　図９は、実施形態に係る搬送車の他の例を示す斜視図である。図９に示す搬送車ＶＡでは、アンテナ１９の鉛直方向の位置を変更可能な構成となっている。なお、搬送車ＶＡの他の構成については、上記した搬送車Ｖと同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。図９に示す形態では、アンテナ１９の位置が鉛直方向の下方に変更可能である。図９に示すように、アンテナ１９は、鉛直軸ＡＸ１を中心とした回動と、鉛直方向への直線移動とを組み合わせた移動が可能となっており、アンテナ１９の位置をより広範に移動させることができる。また、アンテナ１９の下方への位置の変更は、簡易的なアクチュエータにより実行でき、コストの大幅な増加を抑えることができる。また、アンテナ１９の位置をロック機構により保持しておき、例えばアンテナ１９の回動に同期させてアンテナ１９の保持を解放することでアンテナ１９を自重により下降させる構成が適用されてもよい。
　このように、本実施形態によれば、搬送車Ｖにおいてアンテナ１９を駆動する機構を別に設けることなく、既存の移載部１８の中の駆動機構を用いることでアンテナ１９の位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることができる。そして、搬送車Ｖ（走行部２０）自体は停止したままでも、アンテナ１９による通信状態の改善を図ることができ、かつ、搬送車Ｖの大型化及び重量の増加を抑制することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることは当業者において明らかである。また、変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。上記した実施形態等で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記した実施形態等で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、本実施形態において示した各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－１１４５３５、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
　また、上記した実施形態では、アンテナ１９を回動させることでアンテナ１９の位置を変更すると説明しているが、アンテナ１９の位置の変更は、アンテナ１９の姿勢を変更することを含む意味で用いている。
　また、上記した実施形態では、アンテナ１９がフレーム部Ｗの下端に取り付けられる形態を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、アンテナ１９は、フレーム部Ｗの外側上部において、水平方向（例えば、平面視でフレーム部Ｗの外周の接線方向など）に突出させた状態で設けられてもよい。
　また、上記した実施形態では、アンテナ１９が鉛直方向（Ｚ方向）に沿って配置される形態を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、アンテナ１９は、鉛直方向に対して傾けた状態でフレーム部Ｗに取り付けられてもよい。
Ｃ・・・グリッドセル（マス目）
Ｍ・・・物品
Ｒ・・・軌道
ＢＣ・・・ブロッキングコントローラ（コントローラ）
ＨＣ・・・上位コントローラ（コントローラ）
Ｖ、Ｖ１～Ｖ６・・・搬送車
Ｗ・・・フレーム部
ＡＰ・・・アクセスポイント
ＡＸ１・・・鉛直軸
ＳＹＳ・・・搬送車システム
１０・・・本体部
１１・・・ラテラル機構
１２・・・回動駆動部
１３・・・保持部
１８・・・移載部
１９、１９Ａ、１９Ｂ・・・アンテナ
２０・・・走行部
５０・・・車載コントローラ
５１・・・記憶部
５２・・・通信部
５３・・・走行制御部
５４・・・移載制御部
５５・・・進行許可生成部
５６・・・判定部
５７・・・状態情報処理部

Claims (6)

  1. 　走行部と、
    　前記走行部に取り付けられ、移載先に対して物品を受け渡しする移載部と、
    　前記移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられ、他の機器との間で無線通信を行うアンテナと、を備える、搬送車。
  2. 　前記移載部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部を備え、
    　前記アンテナは、前記回動駆動部による前記移載部の回動に追従して、前記鉛直軸まわりの位置が変更される、請求項１に記載の搬送車。
  3. 　前記移載部は、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備え、
    　前記回動駆動部は、前記ラテラル機構を前記鉛直軸まわりに回動させ、
    　前記アンテナは、前記移載部において前記ラテラル機構により水平方向に移動する部分以外の部分に設けられる、請求項２に記載の搬送車。
  4. 　前記移載部を囲みかつ前記回動駆動部により前記移載部とともに前記鉛直軸まわりに回動するフレーム部を備え、
    　前記アンテナは、前記フレーム部に取り付けられる、請求項２又は請求項３に記載の搬送車。
  5. 　前記アンテナは、前記フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられる、請求項４に記載の搬送車。
  6. 　前記走行部は、格子状の軌道を走行し、前記アンテナを介して前記他の機器との間で通信を行うことにより前記軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合には前記マス目に進行し、前記進行許可が得られない場合には前記マス目には進行しない、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送車。
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