JP7435605B2 - 搬送車 - Google Patents

搬送車 Download PDF

Info

Publication number
JP7435605B2
JP7435605B2 JP2021527439A JP2021527439A JP7435605B2 JP 7435605 B2 JP7435605 B2 JP 7435605B2 JP 2021527439 A JP2021527439 A JP 2021527439A JP 2021527439 A JP2021527439 A JP 2021527439A JP 7435605 B2 JP7435605 B2 JP 7435605B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
antenna
unit
section
vehicle
controller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021527439A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020255577A1 (ja
JPWO2020255577A5 (ja
Inventor
亘 北村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of JPWO2020255577A1 publication Critical patent/JPWO2020255577A1/ja
Publication of JPWO2020255577A5 publication Critical patent/JPWO2020255577A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7435605B2 publication Critical patent/JP7435605B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Description

本発明は、搬送車に関する。
半導体製造工場等では、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、又はレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を搬送する搬送車システムが用いられている。この搬送車システムは、軌道を走行する複数の搬送車と、複数の搬送車を制御する上位コントローラとを備えている。複数の搬送車は、それぞれ自車を制御する車載のコントローラを備えており、上位コントローラから受け取った搬送指令に基づいて自車を制御することにより軌道を走行して物品の移載を行っている。各搬送車は、上位コントローラとの間で無線通信により搬送指令等の情報の伝達を行うことが知られている。例えば、軌道を走行する他の搬送車等が無線通信の障害物となって無線通信の電波強度が低下すると、上位コントローラとの間で情報を十分に伝達できなくなり、搬送車の動作の障害となる。このように電波強度が低下した際、通信を行っているアンテナの姿勢を移動体（搬送車）上において変化させ、電波強度を増加させるようにした技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開昭６０－０１３８０１号公報
特許文献１では、アンテナの姿勢を移動体上において変化させているが、アンテナの姿勢を変化させるための駆動機構を移動体における既存の構成とは別に設ける必要がある。搬送車にアンテナの駆動機構を搭載することで、搬送車の大型化及び重量の増加を招き、搬送車の小型化及び軽量化の要請に反することとなる。また、上記したような搬送車システムでは、複数の搬送車が運用されるため、各搬送車にアンテナの駆動機構を搭載することで、搬送車システムのコスト増加を招くことになる。
本発明は、アンテナの駆動機構を別に設けることなく、アンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることが可能な搬送車を提供することを目的とする。
本発明の態様においては、搬送車が提供される。搬送車は、格子状の軌道を走行する走行部を備える。搬送車は、走行部に取り付けられ、移載先に対して物品を受け渡しする移載部を備える。搬送車は、移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられ、他の機器との間で無線通信を行うアンテナを備える。搬送車は、移載部を囲むフレーム部を備える。搬送車は、移載部及びフレーム部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部を備える。回動駆動部は、平面視において走行部に対する位置が変わるようにフレーム部を回動させる。アンテナは、フレーム部に設けられ、平面視において走行部に対するフレーム部の位置が変わることにより、鉛直軸まわりの位置が変更される。回動駆動部によってフレーム部及びアンテナが移動する範囲は、平面視において、軌道における格子の１つのマス目に収まる。
移載部は、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備えてよい。回動駆動部は、ラテラル機構を鉛直軸まわりに回動させてよい。アンテナは、移載部においてラテラル機構により水平方向に移動する部分以外の部分に設けられてよい。
アンテナは、フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられてよい。走行部は、アンテナを介して他の機器との間で通信を行うことにより軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合にはマス目に進行し、進行許可が得られない場合にはマス目には進行しなくてよい。
上記した搬送車によれば、アンテナが、移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられるため、アンテナの位置等を変更させる機構を別に設けることなく、既存の移載部を用いることでアンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることができる。そして、搬送車において通信状態の改善を図ることを可能とし、かつ、搬送車の大型化及び重量の増加を抑制することができる。
また、移載部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部を備え、アンテナが、回動駆動部による移載部の回動に追従して、鉛直軸まわりの位置が変更される構成では、移載部の回動駆動部を用いることで、アンテナの位置を容易かつ確実に変更できる。また、移載部が、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備え、回動駆動部が、ラテラル機構を鉛直軸まわりに回動させ、アンテナが、移載部においてラテラル機構により水平方向に移動する部分以外の部分に設けられる構成では、アンテナと、ラテラル機構により水平方向に移動する部分との干渉を防止できる。
また、移載部を囲みかつ回動駆動部により移載部とともに鉛直軸まわりに回動するフレーム部を備え、アンテナが、フレーム部に取り付けられる構成では、回動駆動部により回動するフレーム部によってアンテナの位置を容易かつ確実に変更できる。また、アンテナが、フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられる構成では、アンテナが水平方向に突出しないので、他の搬送車とすれ違う場合でも他の搬送車とアンテナとが干渉することを防止できる。また、走行部を制御するコントローラにより、走行部が格子状の軌道を走行する際、アンテナを介して他の機器との間で通信を行うことにより軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合にはマス目に進行させ、進行許可が得られない場合にはマス目には進行させないように制御する構成では、格子状の軌道の一部に搬送車が密集して通信障害を引き起こす場合があり、このような場合にアンテナの位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させて通信状態を改善することで、搬送車が格子状のマス目から動けなくなる不具合を回避できる。
実施形態に係る搬送車の一例を示す側面図である。 図１に示す搬送車の斜視図である。 搬送車システムの一例を示す斜視図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、搬送車を下方から見た場合の一例を示す図である。 搬送車の一例を示すブロック図である。 搬送車及びコントローラの動作シーケンスの一例を示す図である。 車載コントローラの動作の一例を示すフローチャートである。 搬送車システムの動作の一例を示す図である。 実施形態に係る搬送車の他の例を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系により図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面に沿った一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。なお、搬送車Ｖの走行方向は、図示された方向から他の方向に変化可能であり、例えば曲線方向に走行する場合もある。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向と反対の方向が－方向であるとして説明する。また、鉛直軸まわり又はＺ軸まわりの旋回方向をθＺ方向と表記する。
図１は、実施形態に係る搬送車Ｖの一例を示す側面図である。図２は、図１に示す搬送車Ｖの斜視図である。図３は、搬送車Ｖを用いた搬送車システムＳＹＳの一例を示す斜視図である。搬送車システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを搬送車Ｖにより搬送するためのシステムである。搬送車システムＳＹＳは、複数の搬送車Ｖ１～Ｖｎ（以下、搬送車Ｖと総称する場合もある）と、複数の搬送車Ｖを制御するコントローラ（上位コントローラＨＣ、ブロッキングコントローラＢＣ）と、を備える。なお、上位コントローラＨＣは、搬送コントローラと上位コントローラとを含んで構成される場合がある。
本実施形態では、搬送車Ｖが天井搬送車である例を説明する。搬送車Ｖは、搬送車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って移動する。搬送車Ｖは、搬送車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、又はレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送するとともに、図示しない移載先に対して物品Ｍの受け渡しを行う。
軌道Ｒは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。軌道Ｒは、処理装置（図示せず）、ストッカ（自動倉庫、図示せず）、バッファ（図示せず）等に対して上方に設けられている。上記の処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、エッチング装置等であり、搬送車Ｖが搬送する容器（物品Ｍ）内の半導体ウエハに各種処理を施す。上記のストッカは、搬送車Ｖが搬送する物品Ｍを保管する。上記のバッファは、搬送車Ｖが搬送する物品Ｍを一時的に載置して保管する。搬送車Ｖは、上記した処理装置又はストッカのロードポート、及びバッファに対して物品Ｍの受け渡しを行う。
軌道Ｒは、軌道の形態の一例である。軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と、第２軌道Ｒ２と、交差用軌道Ｒ３と、を有する格子状軌道である。以下、軌道Ｒを格子状軌道Ｒと称する。第１軌道Ｒ１は、Ｘ方向（第１方向ＤＲ１）に沿って延在する。第２軌道Ｒ２は、Ｙ方向（第２方向ＤＲ２）に沿って延在する。本実施形態では、第１方向ＤＲ１と第２方向ＤＲ２とが直交しており、複数の第１軌道Ｒ１と複数の第２軌道Ｒ２とは、互いに直交する方向に沿って設けられる。
交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２との交差部に配置される。交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１に対して第１方向ＤＲ１に隣り合うと共に第２軌道Ｒ２に対して第２方向ＤＲ２に隣り合っている。交差用軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１の延在方向に形成された軌道部分と、第２軌道Ｒ２の延在方向に形成された軌道部分とを形成する。格子状軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とが直交する方向に設けられることで、平面視で複数のＣ（マス目）が隣り合う状態となっている。１つのグリッドセルＣは、平面視において、第２方向ＤＲ２において隣り合った２つの第１軌道Ｒ１と、第１方向ＤＲ１において隣り合った２つの第２軌道Ｒ２と、に囲まれた部分である。なお、図３では格子状軌道Ｒの一部について示しており、格子状軌道Ｒは、図示している構成から第１方向ＤＲ１（Ｘ方向）及び第２方向ＤＲ２（Ｙ方向）に同様の構成が連続して形成されている。
第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈ（図３参照）によって不図示の天井から吊り下げられている。吊り下げ部材Ｈは、第１軌道Ｒ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２軌道Ｒ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、交差用軌道Ｒ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、それぞれ走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。後述する搬送車Ｖの走行車輪２１は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ上を走行（転動）する。第１軌道Ｒ１と交差用軌道Ｒ３との間、第２軌道Ｒ２と交差用軌道Ｒ３との間には、それぞれ間隙Ｄが形成される。間隙Ｄは、搬送車Ｖが第１軌道Ｒ１を走行して第２軌道Ｒ２を横切る際、又は第２軌道Ｒ２を走行して第１軌道Ｒ１を横切る際に、搬送車Ｖの一部である後述の連結部３０が通過する部分である。従って、間隙Ｄは、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、同一又はほぼ同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
搬送車システムＳＹＳは、通信システムＣＳを備える。通信システムＣＳは、例えば、無線ＬＡＮ等の無線通信システムである。通信システムＣＳは、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣの相互間の通信に用いられる。搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣは、それぞれ、通信システムＣＳを介して通信可能であり、各種情報の送受信が可能となっている。
搬送車Ｖの走行領域には、複数の搬送車Ｖのうちいずれか１台により占有される場合に他の搬送車Ｖを進行させない排他制御が行われるブロッキング区間Ｂが複数定められている（図３参照）。本実施形態では、ブロッキング区間Ｂは、グリッドセルＣ毎に設定されている。搬送車Ｖは、ブロッキングコントローラＢＣからブロッキング区間Ｂの進行許可を得た場合にブロッキング区間Ｂを占有して通過可能であるが、ブロッキングコントローラＢＣから進行許可が得られない場合にはブロッキング区間Ｂに進行しないように排他制御される。排他制御により搬送車Ｖ同士の干渉を防止することができる。
搬送車Ｖは、格子状軌道Ｒを走行する際、１つのグリッドセルＣから隣り合うグリッドセルＣに進行することを繰り返して走行する。搬送車Ｖは、１つのグリッドセルＣから第１方向ＤＲ１（＋Ｘ方向、－Ｘ方向）、第２方向ＤＲ２（＋Ｙ方向、－Ｙ方向）に選択的に走行可能である。搬送車Ｖの構成について説明する。図１及び図２に示すように、搬送車Ｖは、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、車載コントローラ５０（コントローラ）とを有する。
本体部１０は、格子状軌道Ｒの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状軌道Ｒにおける１つのグリッドセルＣ（図３参照）に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１軌道Ｒ１又は第２軌道Ｒ２を走行する他の搬送車Ｖとすれ違う場合でも本体部１０同士が干渉しない。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載部１８と、アンテナ１９とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部を有する。
本体部１０の上部ユニット１７には、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４が設けられる。４つの走行車輪２１によって本体部１０を安定して吊り下げることができ、かつ、本体部１０を安定して走行させることができる。また、搬送車Ｖは、移載部１８を用いることにより、所定位置に対して物品Ｍの受け渡しを行うことができる。
移載部１８は、上部ユニット１７の下方に設けられる。移載部１８は、Ｚ方向（鉛直方向）の鉛直軸ＡＸ１まわりに回動可能である。移載部１８は、物品Ｍを保持する保持部１３と、保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させるラテラル機構１１と、ラテラル機構１１を回動させる回動駆動部１２とを有する。保持部１３は、物品Ｍに備えられたフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進行させ、保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。爪部１３ａの動作は、車載コントローラ５０により制御される。
昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、車載コントローラ５０に制御され、所定の速度で保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、車載コントローラ５０に制御され、保持部１３を目標の高さに保持する。
ラテラル機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。可動板は、Ｙ方向に相対的に移動可能である。最上層の可動板の上面側は、回動駆動部１２に支持されている。また、最下層の可動板の下面側には、昇降駆動部１４が取り付けられている。ラテラル機構１１は、不図示の駆動装置により可動板を移動させ、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び保持部１３を、例えば、搬送車Ｖの走行方向に対して直交する水平方向に横出しさせる（スライド移動させる）ことができる。ラテラル機構１１の動作は、車載コントローラ５０により制御される。
回動駆動部１２は、ラテラル機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動駆動部１２は、上部ユニット１７に対してラテラル機構１１を鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに相対的に回転させる。回動駆動部１２は、回動部材１２ａと、駆動源１２ｂとを有する。回動部材１２ａは、鉛直軸の軸まわり方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、ラテラル機構１１を支持する。ラテラル機構１１における最上層の可動板は、回動部材１２ａに一体的に取り付けられている。駆動源１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、上部ユニット１７に一体的に取り付けられている。駆動源１２ｂは、回動部材１２ａを鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させる。回動駆動部１２は、駆動源１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させることにより、ラテラル機構１１（昇降駆動部１４及び保持部１３）を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させることができる。すなわち、回動駆動部１２は、ラテラル機構１１による昇降駆動部１４及び保持部１３の横出し方向を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回転させる。
また、ラテラル機構１１と昇降駆動部１４との間には第２回動駆動部１６が設けられている。第２回動駆動部１６は、昇降駆動部１４（保持部１３）をラテラル機構１１に対して鉛直方向の鉛直軸ＡＸ２の軸まわり方向に回動させることができる。なお、第２回動駆動部１６は、ラテラル機構１１と昇降駆動部１４との間に設けられることに代えて、保持部１３に設けられてもよい。この場合、第２回動駆動部１６により保持部１３を昇降駆動部１４に対して鉛直軸ＡＸ２の軸まわり方向に回動させることができる。
また、図１及び図２に示すように、移載部１８及び移載部１８に保持している物品Ｍを囲むようにフレーム部Ｗが設けられてもよい。フレーム部Ｗは、下端を開放した筒状であって、かつ、ラテラル機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。フレーム部Ｗは、上端が回動駆動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動する。
走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸に取り付けられている。車軸は、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行に設けられている。走行車輪２１のそれぞれは、後述する走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、軌道Ｒにおいて、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差用軌道Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、搬送車Ｖを走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、搬送車Ｖの走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸の軸まわりに回転可能となっている。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、走行車輪２１が間隙Ｄ（図３参照）を通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
図２に示すように、連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられる。この連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状軌道Ｒより下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１と、接続部材３２とを有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１により、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、間隙Ｄ（図３参照）を通過可能な厚さに形成される。
接続部材３２は、支持部材３１から下方に延在して上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ３を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ３まわりのθＺ方向に旋回させることができる。
連結部３０には、走行駆動部３３と、方向転換機構３４とが設けられる。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電気モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪となる。４つの走行車輪２１は、同一又はほぼ同一の回転数となるように車載コントローラ５０によって制御される。なお、４つの走行車輪２１のうちいずれかを駆動輪として用いない場合は、接続部材３２に走行駆動部３３は装着されない。
方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ３を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ３まわりのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、搬送車Ｖの走行方向を第１方向ＤＲ１とする第１状態から走行方向を第２方向ＤＲ２とする第２状態に、又は走行方向を第２方向ＤＲ２とする第２状態から走行方向を第１方向ＤＲ１とする第１状態に切り替えることが可能である。
方向転換機構３４は、駆動源３５と、ピニオンギア３６と、ラック３７とを有する。駆動源３５は、走行駆動部３３において旋回軸ＡＸ３から離れた側面に取り付けられている。駆動源３５は、例えば電気モータ等が用いられる。ピニオンギア３６は、駆動源３５の下面側に取り付けられており、駆動源３５で発生した駆動力によりθＺ方向に回転駆動する。ピニオンギア３６は、平面視で円形状であり、外周の周方向に複数の歯を有する。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａに固定される。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられ、走行車輪２１の旋回軸ＡＸ３を中心とした円弧状（扇形状）に設けられる。ラック３７は、外周の周方向に、ピニオンギア３６の歯と噛み合う複数の歯を有する。
ピニオンギア３６及びラック３７は、互いの歯が噛み合った状態で配置される。ピニオンギア３６がθＺ方向に回転することにより、ラック３７の外周に沿うようにピニオンギア３６が旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に移動する。このピニオンギア３６の移動により、接続部材３２が旋回し、走行駆動部３３及び方向転換機構３４がピニオンギア３６と共に旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に旋回する。
方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、車載コントローラ５０によって制御される。車載コントローラ５０は、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うように指示してもよいし、異なるタイミングで行うように指示してもよい。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。換言すれば、走行車輪２１の回転軸の方向が第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２の一方とされた状態から他方とされる状態に移行する。このため、搬送車Ｖの走行方向を第１方向ＤＲ１（Ｘ方向）とする第１状態と、走行方向を第２方向ＤＲ２（Ｙ方向）とする第２状態とで切り替えることができる。
搬送車Ｖは、位置情報を検出する位置検出部（図示せず）を備える。この位置検出部は、位置情報を示すバーコード等の位置マーカ（図示せず）を検出することにより、搬送車Ｖの現在位置を検出する。位置検出部は、例えば、バーコードを読み取り可能なバーコードリーダが用いられ、非接触により位置マーカを検出する。位置マーカは、例えば、格子状軌道ＲのグリッドセルＣ毎に設置されている。
アンテナ１９は、上位コントローラＨＣ、ブロッキングコントローラＢＣ等の他の機器との間で各種情報を送受信するための無線通信を行う際に用いられる。また、アンテナ１９は、他の搬送車Ｖとの間で各種情報を送受信するための無線通信を行う際に用いられてもよい。すなわち、搬送車Ｖは、アンテナ１９を介して他の機器との間で、通信システムＣＳによる情報の送受信を行う。アンテナ１９は、車載コントローラ５０に電気的に接続される。アンテナ１９により受信される情報は、車載コントローラ５０に送られる。換言すれば、車載コントローラ５０は、アンテナ１９を介して他の機器との間で、通信システムＣＳによる情報の送受信を行う。
アンテナ１９は、移載部１８の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能である。換言すれば、アンテナ１９は、移載部１８の動作に伴い位置及び姿勢の少なくとも一方が変化する部材に取り付けられており、部材の位置あるいは姿勢の変化に伴い、同様に位置あるいは姿勢が変化する。アンテナ１９は、例えば、フレーム部Ｗの下端に取り付けられている。本実施形態において、アンテナ１９は、フレーム部Ｗの下端において、鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに所定の角度（例えば、９０°）ごとに４つ配置される。アンテナ１９の個数及び配置は、上記に限定されない。複数のアンテナ１９を用いることで、いずれかのアンテナ１９により他の機器との無線通信を確立することができ、冗長性を確保できる。なお、アンテナ１９は、複数であることに限定されず、１本であってもよい。
アンテナ１９は、フレーム部Ｗの下端から下方に突出した状態で取り付けられる。このため、アンテナ１９が水平方向に突出しないので、例えば、格子状軌道Ｒにおいて、他の搬送車Ｖとすれ違う場合でも他の搬送車Ｖとアンテナ１９とが干渉することを防止できる。
図４（Ａ）及び（Ｂ）は、搬送車Ｖを下方から見た場合の一例を示す図である。図４（Ａ）に示すように、アンテナ１９は、鉛直軸ＡＸ１を挟んで配置される一対のアンテナ１９Ａと、同様に、鉛直軸ＡＸ１を挟んで配置される一対のアンテナ１９Ｂとで構成される。一対のアンテナ１９Ａ、１９Ｂは、例えば、一対のアンテナ１９Ａ、１９Ｂのうち一方を主として用い、他方を補助として用いてもよいし、一対のアンテナ１９Ａを主として用い、一対のアンテナ１９Ｂを補助として用いてもよい。また、アンテナ１９Ａ、１９Ｂは、それぞれ通信可能な帯域が互いに異なるように設定されてもよい。
アンテナ１９は、フレーム部Ｗに一体的に取り付けられている。このため、回動駆動部１２の駆動によりフレーム部Ｗが鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動する場合、図４（Ｂ）に示すように、フレーム部Ｗの回動に追従して鉛直軸ＡＸ１の軸まわりの位置が変更される。従って、回動駆動部１２の駆動によりアンテナ１９の位置を容易かつ確実に変更できる。回動駆動部１２は、ラテラル機構１１を回動させる必要がない場合においても、アンテナ１９の位置及び姿勢の少なくとも一方を変更するためにフレーム部Ｗを回動させる。換言すれば、回動駆動部１２は、ラテラル機構１１（昇降駆動部１４及び保持部１３）を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させるラテラル機構回動駆動部として機能するとともに、アンテナ１９を鉛直軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させるアンテナ回動駆動部として機能する。
例えば、アンテナ１９Ａ、１９Ｂによる受信感度が低い場合は、回動駆動部１２によりアンテナ１９Ａ、１９Ｂの位置を変更させて、受信感度の高い位置にアンテナ１９Ａ、１９Ｂを設定できる。例えば、車載コントローラ５０は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続した場合等、アンテナ１９による受信感度が低いと判断される場合、受信感度をモニターしつつ回動駆動部１２によりアンテナ１９Ａ、１９Ｂを回動（周回移動）させる。この際、受信感度が高い位置（情報の送受信が可能となった位置）でアンテナ１９Ａ、１９Ｂの回動を停止させてもよい。
なお、アンテナ１９が取り付けられる部分は、フレーム部Ｗの下端に限定されない。アンテナ１９は、移載部１８の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能であれば、取付位置は任意である。また、アンテナ１９は、ラテラル機構１１により水平方向に移動する部分以外の部分に取り付けられる。ラテラル機構１１により水平方向に移動する部分にアンテナ１９を取り付ける構成とした場合、アンテナ１９の受信感度の向上を目的としてアンテナ１９の位置を変更するためには、ラテラル機構１１により昇降駆動部１４等を横出しする必要がある。このためには、昇降駆動部１４等が横出しされるブロッキング区間Ｂの占有許可を得ている必要があるが、かかる占有許可はアンテナ１９を介しての無線通信により得られるため、ラテラル機構１１により昇降駆動部１４等を横出しできない場合がある。従って、アンテナ１９の位置を変更する機構としては、ラテラル機構１１よりも回動駆動部１２を用いることが望ましい。
図５は、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及び、ブロッキングコントローラＢＣの一例を示すブロック図である。車載コントローラ５０は、搬送車Ｖを統括的に制御する。車載コントローラ５０は、各種データを記憶（格納）する記憶部５１と、通信部５２と、走行制御部５３、移載制御部５４、進行許可要求生成部５５と、判定部５６と、状態情報処理部５７と、を備える。車載コントローラ５０は、例えば、コンピュータ装置が用いられる。車載コントローラ５０は、本実施形態ではフレーム部Ｗに設けられる例を示すが（図１、図２参照）、本体部１０の上部ユニット１７に設けられてもよいし、本体部１０の外部に設けられてもよい。
通信部５２は、アンテナ１９を介して外部の装置との間で通信を行う。通信部５２は、無線により、通信システムＣＳ（図３参照）に接続される。通信部５２は、通信システムＣＳを介して、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣの間で、それぞれ無線通信を行う。
走行制御部５３は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、搬送車Ｖの走行を制御する。走行制御部５３は、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。走行制御部５３は、上位コントローラＨＣから受信した搬送指令に基づいて、搬送車Ｖの走行を制御する。
また、走行制御部５３は、ブロッキングコントローラＢＣから与えられたブロッキング区間Ｂ（図３参照）についての進行許可に従って搬送車Ｖが走行するように走行を制御する。ブロッキングコントローラＢＣから受信した進行許可は、進行許可情報として記憶部５１に記憶される。進行許可情報は、進行許可が与えられたブロッキング区間Ｂを示す情報を含む。走行制御部５３は、進行許可情報に基づいて、進行許可を得たブロッキング区間Ｂに搬送車Ｖ（走行部２０）を進行させる。なお、走行制御部５３は、進行許可を得ていないブロッキング区間Ｂには搬送車Ｖを進行させないように走行を制御する。走行制御部５３は、進行許可を得ていない場合、ブロッキング区間Ｂの手前で搬送車Ｖを停止させ、ブロッキング区間Ｂの進行許可を取得するまで待機させる。
移載制御部５４は、搬送指令に基づいて、移載部１８による物品Ｍの移載動作を制御する。移載制御部５４は、移載部１８等を動作させて、所定の場所に載置されている物品Ｍを把持して保持する荷つかみ動作、又は、保持した物品Ｍを所定の場所に下ろして載置させる荷下ろし動作を制御する。
進行許可要求生成部５５は、搬送指令等の指令により定められた格子状軌道Ｒの走行経路において、自車が通過を予定している複数のブロッキング区間Ｂについての進行許可要求を生成する。進行許可要求生成部５５は、ブロッキング区間Ｂごとに進行許可要求を生成してもよいし、複数のブロッキング区間Ｂをまとめた進行許可要求を生成してもよい。
判定部５６は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行う。例えば、判定部５６は、アンテナ１９を介して各種情報を送受信する際の電波強度が所定値以上か否かの判定を行ってもよい。この場合の電波強度は、例えば、搬送車Ｖと、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間の受信感度が用いられてもよい。また、上記した一定時間は、任意の時間に設定可能であり、オペレータ等により予め設定されてもよいし、車載コントローラ５０により自動的に設定されてもよい。本実施形態では、判定部５６が、搬送車Ｖと、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間の無線通信における電波強度を用いる態様を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、判定部５６は、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣのいずれか一方と、搬送車Ｖとの無線通信における電波強度を用いて、無線通信の通信品質（電波強度）が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行ってもよい。また、判定部５６は、電波強度以外のパラメータを用いて無線通信の通信品質を判定してもよい。判定部５６は、通信部５２においてアンテナ１９を介して受信する電波強度を取得し、電波強度に基づいて所定値以上か否かの判定を行う。所定値は、予め設定されて記憶部５１に記憶されており、例えば、各種情報がエラーなく又はエラーが少ない状態で送受信可能な値に設定されている。
また、判定部５６は、アンテナ１９が鉛直軸ＡＸ１を中心として所定量回動したか否かを判定する。例えば、アンテナ１９を回動させる場合、一周にわたって（３６０°）回動させても受信感度が改善されない場合は、アンテナ１９を回動させても受信感度が改善されない可能性がある。この場合、アンテナ１９が一周回動した後、車載コントローラ５０は、所定時間経過後に再度アンテナ１９の回動を行わせて受信感度の改善を図ってもよいし、通信不良であることのエラー又は警報等の異常処理を実行させてもよい。例えば、搬送車Ｖから発する警報としては、搬送車Ｖに搭載された警告灯の点灯、点滅、又はスピーカからの警告音等がある。また、車載コントローラ５０は、異常処理として、エラー又は警報に代えて、例えば通信チャンネルの変更等、他の処理（対処）を実行させてもよい。
状態情報処理部５７は、周期的に状態情報を生成し更新する。状態情報は記憶部５１に格納される。状態情報処理部５７は、上位コントローラＨＣから送信された状態情報要求に応じて、生成した状態情報を、通信部５２を介して上位コントローラＨＣに送信する。状態情報は、例えば、自車の現在位置の情報、走行動作又は移載動作に関する正常又は異常等の現在の状態を示す情報、搬送指令等の各種指令の実行状態（実行中、実行完了、実行失敗）、関する情報である。また、状態情報には、アンテナ１９の現在の位置に関する情報を含ませてもよい。
次に、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣによる搬送車Ｖの制御について説明する。図６は、搬送車Ｖ、上位コントローラＨＣ、及びブロッキングコントローラＢＣの動作シーケンスの一例を示す図である。図７は、搬送車Ｖの車載コントローラ５０の動作の一例を示すフローチャートである。図８は、搬送車システムＳＹＳの動作の一例を示す図である。なお、図８では、格子状軌道Ｒの一部を示している。また、図８において、数字「１～６０」で示される部分のグリッドセルＣ及びブロッキング区間Ｂは、それぞれ、グリッドセルＣ１～Ｃ６０、ブロッキング区間Ｂ１～Ｂ６０である。また、グリッドセルＣ６には、上位コントローラＨＣとブロッキングコントローラＢＣとの間で無線通信するためのアクセスポイントＡＰが設定されている。搬送車Ｖは、アンテナ１９を用いた無線通信により、アクセスポイントＡＰを介して、上位コントローラＨＣ及びブロッキングコントローラＢＣとの間で情報の送受信を行う。
上位コントローラＨＣは、搬送車Ｖに搬送指令を割り付ける（ステップＳ１）。上位コントローラＨＣは、複数の搬送車Ｖのうち、物品Ｍを搬送可能な搬送車Ｖを選択し、搬送車Ｖに搬送指令を割り付ける。上位コントローラＨＣは、各搬送車Ｖの状態情報、搬送車システムＳＹＳに関連する各部（例、処理装置、保管装置、バッファ）の位置を示すマップ情報、物品Ｍの位置情報等から、搬送指令を生成する。搬送指令は、搬送車Ｖに対して、所定の経路に沿って走行させる走行指令、所定位置の物品Ｍの荷つかみさせる荷つかみ指令、荷つかみした物品Ｍを所定位置に荷下ろしさせる荷下ろし指令等を含む。
例えば、上位コントローラＨＣは、図８に示すように、搬送指令として、グリッドセルＣ４２で物品Ｍの荷つかみを実行させ、物品Ｍを保持させたままグリッドセルＣ４２からＣ２９までの２点鎖線として示される走行経路を走行させ、グリッドセルＣ２９で物品Ｍの荷おろしを実行させる搬送指令を搬送車Ｖに割り付ける。
搬送車Ｖが搬送指令を受信すると、車載コントローラ５０の進行許可要求生成部５５は、搬送指令により定められた走行経路に沿って、自車が通過するブロッキング区間Ｂの進行許可要求を生成する（ステップＳ２）。進行許可要求生成部５５により生成された進行許可要求は、通信部５２により、ブロッキングコントローラＢＣに送信される（ステップＳ３）。なお、ブロッキングコントローラＢＣは、周期的な通信により各搬送車Ｖに対して送信要求を行ってもよく、ステップＳ３における進行許可要求の送信は、この送信要求に対する応答として行ってもよい。
ブロッキングコントローラＢＣは、進行許可要求を受信すると、進行許可要求があったブロッキング区間Ｂについて進行を許可するか否かを判定する（ステップＳ４）。ブロッキングコントローラＢＣは、ブロッキング区間Ｂについて既に他の搬送車Ｖに進行許可を与えている場合は、進行を許可しないと判定するが、ブロッキング区間Ｂに対して進行許可を与えていない場合は搬送車Ｖが進行可能であるので、進行許可要求を行った搬送車Ｖに進行を許可すると判定する。ステップＳ４で進行を許可すると判定された場合、進行許可要求を送信した搬送車Ｖに対して進行許可を送信する（ステップＳ５）。進行許可を受信した搬送車Ｖは、進行許可が与えられたブロッキング区間Ｂに進行し、搬送指令に基づく動作を実行する（ステップＳ６）。
本実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、図６のステップＳ１～ステップＳ６の動作が繰り返して行われることにより、各搬送車Ｖが制御される。各搬送車Ｖは、上記のように、上位コントローラＨＣとの間の無線通信により搬送指令等の情報の伝達を行い、ブロッキングコントローラＢＣとの間の無線通信によりブロッキング区間Ｂへの進行を行っている。例えば、図８に示すように、搬送指令を実行中の搬送車Ｖ１とアクセスポイントＡＰとの間に他の搬送車Ｖ２～Ｖ６が存在する場合、他の搬送車Ｖ２～Ｖ６が無線通信の障害物となって通信の電波強度が低下する場合がある。他の搬送車Ｖ２～Ｖ６は、例えば、物品Ｍの移載動作を実行中のために停車している。この場合、搬送車Ｖ１と上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣとの間で無線通信による情報の伝達ができなくなり、搬送車Ｖ１は、例えば次に進行すべきブロッキング区間Ｂについて進行許可が得られず、停止する場合がある。ここで、搬送車Ｖがアンテナ１９の位置あるいは姿勢を変更する機構を備えない場合、搬送車Ｖ自体は移動できないためアンテナ１９の位置あるいは姿勢を変更することができず、ゆえにアンテナ１９による無線通信の通信品質は改善されない。そして、搬送車Ｖは次に進行すべきブロッキング区間Ｂについての進行許可をいつまでも得ることができず、停止し続けることとなる。
図７は、搬送車Ｖの車載コントローラ５０の動作の一例を示すフローチャートである。図７に示すように、車載コントローラ５０の判定部５６は、通信システムＣＳによる他の機器との無線通信の通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かの判定を行う（ステップＳ１１）。ステップＳ１１において、判定部５６は、例えば所定時間ごとに通信部５２において入出力される電波信号の強度を取得し、この電波信号の強度に基づいて判定を行ってもよい。判定部５６により通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続していない場合（ステップＳ１１のＮＯ）、他の機器との間で適切な無線通信が確立されているとして、処理を終了する。
一方、判定部５６により通信品質が所定値未満である状態が一定時間以上継続したと判定された場合（ステップＳ１１のＹＥＳ）、他の機器との間で無線通信を行うための通信品質（電波強度）が十分ではないとして、アンテナ１９を所定量回動させる（ステップＳ１２）。ステップＳ１２において、車載コントローラ５０は、回動駆動部１２を駆動させてフレーム部Ｗ及びアンテナ１９を鉛直軸ＡＸ１の軸まわりに回動させる。車載コントローラ５０は、回動駆動部１２を所定速度で回動させてもよいし、所定角度ごとにステップ移動させてもよい。アンテナ１９は、既存の移載部１８（回動駆動部１２）を用いることで位置を変えることができる。
続いて、判定部５６は、アンテナ１９の回動量が設定値を超えるか否かを判定する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３において、判定部５６は、アンテナ１９の回動量が、予め設定された回動量を超えるか否かを判定する。判定部５６は、例えば、アンテナ１９の回動量が設定地である３６０°を超えたか否かを判定する。判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えないと判定された場合（ステップＳ１３のＮＯ）、ステップＳ１１以降の処理を繰り返し行う。すなわち、判定部５６は、ステップＳ１１において、アンテナ１９の回動中において取得した通信品質について、所定値未満である状態が一定時間以上継続したか否かを判定する。
また、車載コントローラ５０は、通信品質について、所定値未満である状態が一定時間以上継続しないアンテナ１９の位置（電波強度が所定値以上となったアンテナ１９の位置）を保持する。そして、搬送車Ｖ（図８に示す搬送車Ｖ１）は、上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣとの間で情報の伝達が可能となり、搬送指令の実行を再開することが可能となる。なお、このステップＳ１１において、再度判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えないと判定された場合（ステップＳ１３のＮＯ）、ステップＳ１２以降の処理が行われる。
また、判定部５６により、アンテナ１９の回動量が設定値を超えたと判定された場合（ステップＳ１３のＹＥＳ）、車載コントローラ５０は、エラー又は警報等の異常処理を実行して（ステップＳ１４）、処理を終了する。ステップＳ１４において、車載コントローラ５０は、異常処理として、エラー又は警報に代えて、例えば通信チャンネルの変更等、他の処理（対処）を実行させてもよい。また、車載コントローラ５０は、このステップＳ１４を行う前に、所定時間（例えば数分間）待機した後、再度ステップＳ１１以降の処理を行ってもよい。例えば、図８に示す他の搬送車Ｖ２～Ｖ６のいずれかが、物品Ｍの移載動作を完了してグリッドセルＣから既に進行している場合があり、この場合、搬送車Ｖ１において通信状況が改善されている可能性がある。また、上位コントローラＨＣ又はブロッキングコントローラＢＣは、所定時間通信が行われていない搬送車Ｖ（図８の搬送車Ｖ１）を特定して、オペレータ等に通信不能の搬送車Ｖが存在することを通知してもよい。
図９は、実施形態に係る搬送車の他の例を示す斜視図である。図９に示す搬送車ＶＡでは、アンテナ１９の鉛直方向の位置を変更可能な構成となっている。なお、搬送車ＶＡの他の構成については、上記した搬送車Ｖと同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。図９に示す形態では、アンテナ１９の位置が鉛直方向の下方に変更可能である。図９に示すように、アンテナ１９は、鉛直軸ＡＸ１を中心とした回動と、鉛直方向への直線移動とを組み合わせた移動が可能となっており、アンテナ１９の位置をより広範に移動させることができる。また、アンテナ１９の下方への位置の変更は、簡易的なアクチュエータにより実行でき、コストの大幅な増加を抑えることができる。また、アンテナ１９の位置をロック機構により保持しておき、例えばアンテナ１９の回動に同期させてアンテナ１９の保持を解放することでアンテナ１９を自重により下降させる構成が適用されてもよい。
このように、本実施形態によれば、搬送車Ｖにおいてアンテナ１９を駆動する機構を別に設けることなく、既存の移載部１８の中の駆動機構を用いることでアンテナ１９の位置及び姿勢の少なくとも一方を変更させることができる。そして、搬送車Ｖ（走行部２０）自体は停止したままでも、アンテナ１９による通信状態の改善を図ることができ、かつ、搬送車Ｖの大型化及び重量の増加を抑制することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることは当業者において明らかである。また、変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。上記した実施形態等で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記した実施形態等で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、本実施形態において示した各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－１１４５３５、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
また、上記した実施形態では、アンテナ１９を回動させることでアンテナ１９の位置を変更すると説明しているが、アンテナ１９の位置の変更は、アンテナ１９の姿勢を変更することを含む意味で用いている。
また、上記した実施形態では、アンテナ１９がフレーム部Ｗの下端に取り付けられる形態を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、アンテナ１９は、フレーム部Ｗの外側上部において、水平方向（例えば、平面視でフレーム部Ｗの外周の接線方向など）に突出させた状態で設けられてもよい。
また、上記した実施形態では、アンテナ１９が鉛直方向（Ｚ方向）に沿って配置される形態を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。例えば、アンテナ１９は、鉛直方向に対して傾けた状態でフレーム部Ｗに取り付けられてもよい。
Ｃ・・・グリッドセル（マス目）
Ｍ・・・物品
Ｒ・・・軌道
ＢＣ・・・ブロッキングコントローラ（コントローラ）
ＨＣ・・・上位コントローラ（コントローラ）
Ｖ、Ｖ１～Ｖ６・・・搬送車
Ｗ・・・フレーム部
ＡＰ・・・アクセスポイント
ＡＸ１・・・鉛直軸
ＳＹＳ・・・搬送車システム
１０・・・本体部
１１・・・ラテラル機構
１２・・・回動駆動部
１３・・・保持部
１８・・・移載部
１９、１９Ａ、１９Ｂ・・・アンテナ
２０・・・走行部
５０・・・車載コントローラ
５１・・・記憶部
５２・・・通信部
５３・・・走行制御部
５４・・・移載制御部
５５・・・進行許可生成部
５６・・・判定部
５７・・・状態情報処理部

Claims (4)

  1. 格子状の軌道を走行する走行部と、
    前記走行部に取り付けられ、移載先に対して物品を受け渡しする移載部と、
    前記移載部の動作に追従して位置及び姿勢の少なくとも一方が変更可能に設けられ、他の機器との間で無線通信を行うアンテナと、
    前記移載部を囲むフレーム部と、
    前記移載部及び前記フレーム部を鉛直軸まわりに回動させる回動駆動部と、を備え、
    前記回動駆動部は、平面視において前記走行部に対する位置が変わるように前記フレーム部を回動させ、
    前記アンテナは、前記フレーム部に設けられ、平面視において前記走行部に対する前記フレーム部の位置が変わることにより、前記鉛直軸まわりの位置が変更され、
    前記回動駆動部によって前記フレーム部及び前記アンテナが移動する範囲は、平面視において、前記軌道における格子の１つのマス目に収まる、搬送車。
  2. 前記移載部は、物品を保持する保持部を水平方向に移動させるラテラル機構を備え、
    前記回動駆動部は、前記ラテラル機構を前記鉛直軸まわりに回動させ、
    前記アンテナは、前記移載部において前記ラテラル機構により前記水平方向に移動する部分以外の部分に設けられる、請求項１に記載の搬送車。
  3. 前記アンテナは、前記フレーム部の下端から下方に突出した状態で取り付けられる、請求項１又は請求項２に記載の搬送車。
  4. 前記走行部は、前記アンテナを介して前記他の機器との間で通信を行うことにより前記軌道における格子の各マス目に対応する進行許可が得られた場合には前記マス目に進行し、前記進行許可が得られない場合には前記マス目には進行しない、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送車。
JP2021527439A 2019-06-20 2020-05-08 搬送車 Active JP7435605B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019114535 2019-06-20
JP2019114535 2019-06-20
PCT/JP2020/018612 WO2020255577A1 (ja) 2019-06-20 2020-05-08 搬送車

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2020255577A1 JPWO2020255577A1 (ja) 2020-12-24
JPWO2020255577A5 JPWO2020255577A5 (ja) 2022-03-10
JP7435605B2 true JP7435605B2 (ja) 2024-02-21

Family

ID=74037229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021527439A Active JP7435605B2 (ja) 2019-06-20 2020-05-08 搬送車

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20220359251A1 (ja)
EP (1) EP3988474A4 (ja)
JP (1) JP7435605B2 (ja)
KR (1) KR20220008331A (ja)
CN (1) CN114126988B (ja)
IL (1) IL289059A (ja)
WO (1) WO2020255577A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024509221A (ja) 2022-01-20 2024-02-29 エルジー エナジー ソリューション リミテッド リチウム二次電池の正極製造用バインダー組成物、及びこれによって製造されたリチウム二次電池の正極

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2715130B2 (ja) 1989-01-12 1998-02-18 株式会社ダイフク 荷搬送設備
JP2005001804A (ja) 2003-06-11 2005-01-06 Hitachi Ltd 自動クレーンシステム及びクレーン制御方法
JP2016175506A (ja) 2015-03-19 2016-10-06 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
JP2018118809A (ja) 2017-01-23 2018-08-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6946965B2 (ja) 2017-11-22 2021-10-13 村田機械株式会社 搬送システム

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6041234B2 (ja) * 1976-08-20 1985-09-14 株式会社 山口機械研究所 水流利用の発電装置
JPS58152235A (ja) * 1982-03-08 1983-09-09 Fuji Photo Film Co Ltd ハロゲン化銀写真感光材料
JPS6013801A (ja) 1983-07-01 1985-01-24 Seiko Instr & Electronics Ltd 高分子物質精製濃縮装置
JPH09289708A (ja) * 1996-04-19 1997-11-04 Toyota Autom Loom Works Ltd 移動体運行システムの通信方法
JPH09295707A (ja) * 1996-05-07 1997-11-18 Shinko Electric Co Ltd 搬送ロボットを用いたクリーンルームの物品搬送管理方法
JP2002068481A (ja) * 2000-08-28 2002-03-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd コンテナの段積貯蔵装置
JP4651835B2 (ja) * 2001-03-08 2011-03-16 株式会社シンク・ラボラトリー ロール立体倉庫における被製版ロールの収納・取り出し方法
JP2003150247A (ja) * 2001-11-19 2003-05-23 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JP2004010204A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd マーカシステム
JP4131706B2 (ja) * 2004-02-12 2008-08-13 日本輸送機株式会社 無人搬送車の走行停止制御装置
CN101183431A (zh) * 2006-06-09 2008-05-21 日本电气株式会社 无线通信系统和无线通信方法
JP5266683B2 (ja) * 2007-08-03 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法
JP5450334B2 (ja) * 2010-09-28 2014-03-26 株式会社椿本チエイン 物品管理システム
DE202013008718U1 (de) * 2013-09-30 2013-12-19 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Transportfahrzeug zum störungsfreien Transport von Lastregalen in Werkshallen mit Funkabschattungen und mit teilweise autonomem Fahrbetrieb
DE102013019368A1 (de) * 2013-11-18 2015-05-21 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur weitgehend maschinellen Zusammenstellung von Warenlieferungen in Lagerhallen
JP6365136B2 (ja) * 2014-09-02 2018-08-01 村田機械株式会社 走行車システム
JP2017154840A (ja) * 2016-02-29 2017-09-07 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7066160B2 (ja) * 2017-08-23 2022-05-13 学校法人千葉工業大学 自走型鉄筋作業用ロボット、自走型鉄筋結束ロボット
DE102017222883A1 (de) 2017-12-15 2019-06-19 Te Connectivity Germany Gmbh Kontaktierungseinheit zum elektrischen Kontaktieren zumindest eines Elektroniksegments eines Elektronikmoduls und Verfahren

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2715130B2 (ja) 1989-01-12 1998-02-18 株式会社ダイフク 荷搬送設備
JP2005001804A (ja) 2003-06-11 2005-01-06 Hitachi Ltd 自動クレーンシステム及びクレーン制御方法
JP2016175506A (ja) 2015-03-19 2016-10-06 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
JP2018118809A (ja) 2017-01-23 2018-08-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6946965B2 (ja) 2017-11-22 2021-10-13 村田機械株式会社 搬送システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN114126988B (zh) 2023-11-10
KR20220008331A (ko) 2022-01-20
IL289059A (en) 2022-02-01
TW202105111A (zh) 2021-02-01
EP3988474A1 (en) 2022-04-27
JPWO2020255577A1 (ja) 2020-12-24
WO2020255577A1 (ja) 2020-12-24
EP3988474A4 (en) 2023-06-21
CN114126988A (zh) 2022-03-01
US20220359251A1 (en) 2022-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI505980B (zh) Transfer system
WO2017029871A1 (ja) 搬送システム
CN113056405A (zh) 高架搬运车以及高架搬运车系统
JP7351348B2 (ja) 搬送システム及びグリッドシステム
JP7435605B2 (ja) 搬送車
JP7226537B2 (ja) 走行車システム及び走行車の制御方法
WO2021220582A1 (ja) 天井搬送車及び天井搬送システム
CN114080364B (zh) 行驶车系统、以及行驶车的控制方法
TWI830922B (zh) 搬送車
JP7235106B2 (ja) 走行車システム及び走行車の制御方法
CN112173981A (zh) 运送机控制装置和包括其的运送机控制系统
CN113841099B (zh) 行驶车系统及行驶车的控制方法
JP7347695B2 (ja) 天井保管システム
WO2023188769A1 (ja) 搬送システム
WO2023026512A1 (ja) 搬送システム
WO2024070299A1 (ja) 天井搬送車
WO2024070303A1 (ja) 天井搬送車
TW202329312A (zh) 搬送系統
KR20230067513A (ko) 물품 반송 장치
KR20240051991A (ko) 반송 시스템
CN115427329A (zh) 输送车系统

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211213

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230419

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230808

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231005

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240109

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240122

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7435605

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150