WO2021220582A1 - 天井搬送車及び天井搬送システム - Google Patents

天井搬送車及び天井搬送システム Download PDF

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WO2021220582A1
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article
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ceiling
unit
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靖久 伊藤
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a ceiling transport vehicle and a ceiling transport system.
  • a tracked carriage described in Patent Document 1 As a technique related to a ceiling carrier, for example, a tracked carriage described in Patent Document 1 is known.
  • the tracked carriage described in Patent Document 1 includes a main body portion that holds and conveys an article under the rail along a rail including locations arranged in a grid pattern.
  • one aspect of the present invention is to provide an overhead transfer vehicle and an overhead transfer system capable of transferring articles in a desired direction to a load port.
  • the ceiling carrier according to one aspect of the present invention is driven so that an article holding portion for holding an article, a linear driving portion for driving the article holding portion to move linearly, and an article holding portion for horizontal rotation.
  • a swivel drive unit and a control unit that controls the swivel drive unit according to the orientation of the article held by the article holding unit and the orientation of the load port on which the article is placed are provided.
  • the control unit controls the swivel drive unit according to the orientation of the article and the orientation of the load port. , The article can be transferred to the load port in the desired orientation.
  • the linear drive unit includes an elevating drive unit that moves the article holding unit up and down and a slide drive unit that slides the elevating drive unit, and the swivel drive unit slides. It may have a first swivel drive unit that horizontally swivels the drive unit and a second swivel drive unit that horizontally swivels the article holding unit or the elevating drive unit. With such a configuration, it is possible to specifically control the orientation of the article.
  • the ceiling carrier is a ceiling carrier that can travel along rails arranged in a grid pattern at least in part, and has traveling wheels that roll on the rails and a traveling wheel that rolls on the rails and below the rails. It may be arranged and include a main body portion including an article holding portion, a linear drive portion, and a swivel drive portion. According to such a configuration, it becomes easy to freely select the traveling route of the ceiling carrier, it is possible to suppress the occurrence of traffic congestion and improve the transport efficiency.
  • the control unit has a first control for horizontally turning the article holding unit at a first angle so that the orientation of the article and the orientation of the load port have a constant relationship, and the article.
  • a second control of horizontally turning the article holding portion at a second angle smaller than the first angle may be executed so that the orientation is finely adjusted. This makes it possible to reliably transfer the article to the load port in the desired orientation.
  • the ceiling transport system includes a plurality of processing devices arranged so as to be lined up along the passage on one side and the other side of the passage, and the ceiling transport vehicle.
  • Each of the plurality of processing devices has a load port arranged on the aisle side thereof, and is a route on which the ceiling carrier travels, extends so as to cross the aisle, and allows the ceiling carrier to travel on the pair of load ports. It has a traveling route to pass through.
  • the ceiling transport system is a travel route that extends so as to cross a passage and allows an ceiling transport vehicle to pass over a pair of load ports (hereinafter, also referred to as a cross travel route). It is equipped with the above-mentioned ceiling carrier.
  • a ceiling carrier and a ceiling carrier system capable of transferring articles in a desired direction to a load port.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of the ceiling transfer system according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the ceiling carrier of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the ceiling transfer system of FIG.
  • FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which the ceiling carrier of FIG. 1 is viewed from above.
  • FIG. 5 is a plan view illustrating an example of a case where an article is transported between load ports by a ceiling transport vehicle in the ceiling transport system of FIG.
  • FIG. 6 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 7 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 8 is a plan view showing a continuation of FIG. 7.
  • FIG. 9 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 10 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 11 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 12 is a plan view showing a crossing traveling path included in the ceiling transport system according to the
  • the embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the directions in the figure will be described using the XYZ coordinate system.
  • a plane parallel to the horizontal plane is defined as an XY plane.
  • the straight direction along the XY plane is referred to as the X direction, and the direction orthogonal to the X direction is referred to as the Y direction.
  • the traveling direction of the ceiling carrier 100 can be changed from the state shown in the following figure to another direction, and may travel in a curved direction, for example.
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the figure is the + direction, and the opposite direction is the-direction.
  • the direction of rotation around the Z axis is referred to as the ⁇ Z direction.
  • the ceiling transport system SYS is a system for transporting the article M by the ceiling transport vehicle 100, for example, in a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • the ceiling transport system SYS includes a ceiling transport vehicle 100 and a system controller 5 in order to transport the article M to the plurality of processing devices 6.
  • the article M is, for example, a FOUP accommodating a semiconductor wafer, a reticle Pod accommodating a reticle, or the like.
  • the article M has an orientation, for example, the side opposite to the lid portion Mb side of the article M is the front orientation.
  • the processing device 6 is a device that processes the article M.
  • the processing device 6 is not particularly limited, and may be various devices. As shown in FIG. 5, the processing devices 6 are arranged so as to line up along the passage ST on one side and the other side of the passage ST.
  • Each of the plurality of processing devices 6 includes a device main body 61 and a load port 62.
  • the load port 62 is arranged on the aisle ST side, and the article M is placed on it.
  • the load port 62 has an orientation, for example, the passage ST side of the load port 62 faces the front.
  • the orientation of the load port 62 corresponds to the orientation of the article M placed therein.
  • the article M is placed on the load port 62 so that the front surface of the load port 62 and the front surface of the article M coincide with each other (so that the lid portion Mb of the article M faces the device main body 61).
  • the ceiling carrier 100 moves along the rail R of the ceiling transport system SYS and transports the article M. Since the ceiling carrier 100 travels in the vicinity of the ceiling of the building, it may be referred to as a ceiling vehicle.
  • a plurality of ceiling transport vehicles 100 may be used. By transporting the article M by the plurality of ceiling transport vehicles 100, high-density transport becomes possible, and the transport efficiency of the article M can be improved.
  • Rail R is laid on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the rail R is a grid-like rail having a first rail R1, a second rail R2, and an intersection rail R3 (see FIG. 3). At least a part of the rail R is arranged in a grid pattern.
  • the rail R will be referred to as a grid-like rail R.
  • the first rail R1 is provided along the X direction (first direction D1).
  • the second rail R2 is provided along the Y direction (second direction D2).
  • the first direction D1 and the second direction D2 are orthogonal to each other, and the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2 are provided along the directions orthogonal to each other, but are directly connected to each other.
  • the intersection rail R3 is arranged at the intersection of the first rail R1 and the second rail R2.
  • the grid-like rail R is provided along the direction in which the first rail R1 and the second rail R2 are orthogonal to each other, so that a plurality of cells C (sections) are adjacent to each other in a plan view. Note that FIG. 3 shows a part of the grid-like rail R, and the grid-like rail R has the same configuration in the first direction D1 (X direction) and the second direction D2 (Y direction) from the configuration shown in the figure. Are continuously formed.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3 are suspended and supported by a hanging member H (see FIG. 3) on a ceiling (not shown).
  • the suspension member H includes a first portion H1 for suspending the first rail R1, a second portion H2 for suspending the second rail R2, and a third portion H3 for suspending the intersection rail R3.
  • the first portion H1 and the second portion H2 are provided at two locations sandwiching the third portion H3, respectively.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3 each have traveling surfaces R1a, R2a, and R3a on which the traveling wheels 21 described later of the ceiling carrier 100 travel.
  • a gap D is formed between the first rail R1 and the intersection rail R3, and between the second rail R2 and the intersection rail R3, respectively.
  • the gap D is a part of the ceiling carrier 100 when the ceiling carrier 100 travels on the first rail R1 and crosses the second rail R2, or when the ceiling carrier 100 travels on the second rail R2 and crosses the first rail R1. This is the portion through which the connecting portion 30 described later passes. Therefore, the gap D is provided with a width through which the connecting portion 30 can pass.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3 are provided along the same or substantially the same horizontal plane.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3 are arranged on the same or substantially the same horizontal plane as the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the ceiling transport vehicle 100 is a transport vehicle capable of traveling along the rail R, and includes a main body portion 10, a traveling portion 20, a connecting portion 30, and a bogie controller (control). Part) 50 and.
  • the main body 10 is arranged below the grid rail R (-Z side).
  • the main body 10 is formed, for example, in a rectangular shape in a plan view.
  • the main body 10 is formed so as to fit in one cell C on the rail R in a plan view. Therefore, it is possible to pass by another ceiling carrier 100 traveling on the adjacent first rail R1 or second rail R2.
  • the main body 10 includes an upper unit 17 and a transfer device 18.
  • the upper unit 17 is suspended and supported by the traveling portion 20 via the connecting portion 30.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corners on the upper surface 17a.
  • a traveling wheel 21, a connecting portion 30, and a turning mechanism 34 are provided at each of the four corner portions of the main body portion 10.
  • the transfer device 18 is provided below the upper unit 17.
  • the transfer device 18 is rotatable around the first vertical axis AX1 in the vertical direction.
  • the transfer device 18 includes an article holding unit 13 that holds the article M, an elevating drive unit 14 that moves the article holding unit 13 up and down in the vertical direction, and a slide drive unit 11 that slides the elevating drive unit 14 in the horizontal direction.
  • a rotating unit 12 that holds the slide drive unit 11, a first swivel drive unit 15 that horizontally swivels (rotates) the slide drive unit 11 around the first vertical axis AX1 with respect to the main body 10, and a slide drive unit.
  • the elevating drive unit 14 and the slide drive unit 11 form a linear drive unit that drives the article holding unit 13 so as to move linearly.
  • the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16 constitute a swivel drive unit that drives the article holding unit 13 to rotate horizontally.
  • Horizontal turning means turning around an axis along the vertical direction as a rotation axis.
  • the slide drive unit 11 has, for example, a plurality of movable plates arranged so as to be stacked in the Z direction.
  • the movable plate can move in the Y direction.
  • a second swivel drive unit 16 is attached to the lowermost movable plate.
  • the slide drive unit 11 moves the movable plate by a drive device (not shown), and moves the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13 attached to the lowermost movable plate in one direction with respect to the traveling direction, that is, in a linear direction. It can be slid so that it protrudes in one of the directions.
  • the rotating unit 12 is attached to the first swivel drive unit 15 between the slide drive unit 11 and the upper unit 17 and holds the slide drive unit 11.
  • the article holding portion 13 suspends and holds the article M by gripping the flange portion Ma of the article M.
  • the article holding portion 13 is, for example, a chuck having a claw portion 13a that can move in the horizontal direction, and the claw portion 13a is advanced below the flange portion Ma of the article M to raise the article holding portion 13 to raise the article. Hold M.
  • the article holding portion 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or a belt.
  • the elevating drive unit 14 is attached to the second turning drive unit 16.
  • the elevating drive unit 14 is, for example, a hoist, and the article holding portion 13 is lowered by feeding out the hanging member 13b, and the article holding portion 13 is raised by winding up the hanging member 13b.
  • the elevating drive unit 14 is controlled by the carriage controller 50 and lowers or raises the article holding unit 13 at a predetermined speed. Further, the elevating drive unit 14 is controlled by the carriage controller 50 to hold the article holding unit 13 at a target height.
  • An electric motor or the like is used for the first turning drive unit 15, and the rotating unit 12 is rotated around the first vertical axis AX1.
  • the first swivel drive unit 15 can rotate the slide drive unit 11 around the first vertical axis AX1 together with the rotation of the rotation unit 12.
  • the second rotation drive unit 16 When the slide drive unit 11 is rotated around the first vertical axis AX1 by the first rotation drive unit 15, the second rotation drive unit 16, the elevating drive unit 14, and the article holding unit 13 attached to the lower side of the slide drive unit 11 Rotates integrally around the first vertical axis AX1.
  • An electric motor or the like is used as the second turning drive unit 16, and the elevating drive unit 14 is rotated around the second vertical axis AX2.
  • FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which the main body 10 is viewed from above.
  • FIG. 4 shows an example of rotational movement of the slide drive unit 11 and the elevating drive unit 14.
  • the first turning drive unit 15 is 270 degrees around the first vertical axis AX1 from the state where the slide movement direction of the slide drive unit 11 is aligned with the first direction D1 or the second direction D2.
  • the slide drive unit 11 can be rotated within the range of.
  • the article holding portion 13 can be slid and moved from the main body portion 10 stopped on the grid-like rail R in either the first direction D1 or the second direction D2. Further, the article M can be placed on the load port 62 in a desired direction.
  • the transfer device 18 can project the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13 from the transfer position P1 to any of the protrusion positions P2a, P2b, P2c, and P2d.
  • the protruding position P2a is a protruding position when the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13 are slid and moved in the + Y direction by the slide drive unit 11.
  • the slide drive unit 11 is rotated by the first swivel drive unit 15 by 90 degrees (for example, 90 degrees clockwise) around the first vertical axis AX1, and the slide drive unit 11 rotates the slide drive unit 14 and the article holding unit.
  • the protrusion position P2d is when the slide drive unit 11 is rotated by 270 degrees around the first vertical axis AX1 by the first v15, and the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13 are slid and moved in the ⁇ X direction by the slide drive unit 11. It is a protruding position.
  • the slide drive unit 11 has a configuration in which the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13 are slid and moved in one of the linear directions, but the first swivel drive unit 15 is driven to drive the slide drive unit 11.
  • the first swivel drive unit 15 is driven to drive the slide drive unit 11.
  • the elevating drive unit 14 (article) is lifted and lowered within a range of at least 180 degrees around the second vertical axis AX2 with reference to a linear direction in which the slide drive unit 11 slides and moves.
  • the holding portion 13) is rotated.
  • the elevating drive unit 14 (article holding unit 13) can be rotated 180 degrees around the second vertical axis AX2 within the range indicated by the alternate long and short dash line passing through the second vertical axis AX2 (direction orthogonal to the linear direction). Is.
  • the article M can be placed on the load port 62 in a desired orientation.
  • the front side of the article M is rotated 180 degrees around the second vertical axis AX2 from the state where the front side of the article M is directed in the + X direction, so that the front side of the article M is rotated in the ⁇ X direction. Can be turned (ie in the opposite direction).
  • the front side of the article M can be changed from the state of facing the + X direction to the state of facing the + Y direction or the ⁇ Y direction.
  • the traveling unit 20 has a traveling wheel 21 and an auxiliary wheel 22.
  • the traveling wheels 21 are arranged at the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body 10).
  • Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle (not shown) provided in the connecting portion 30.
  • the axles are provided parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, which will be described later.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls on the grid rail R.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3 on the grid-like rail R, and travels the ceiling carrier 100. It should be noted that not all of the four traveling wheels 21 are rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, and a part of the four traveling wheels 21 may be rotationally driven.
  • the traveling wheel 21 is provided so as to be able to turn in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX3.
  • the traveling wheel 21 is turned in the ⁇ Z direction by the direction changing mechanism 34 described later, and as a result, the traveling direction of the ceiling carrier 100 can be changed.
  • One auxiliary wheel 22 is arranged before and after the traveling wheel 21 in the traveling direction.
  • Each of the auxiliary wheels 22 can rotate in the ⁇ Z direction like the traveling wheel 21.
  • the lower end of the auxiliary wheel 22 is set to be higher than the lower end of the traveling wheel 21. Therefore, when the traveling wheel 21 is traveling on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a, the auxiliary wheel 22 does not come into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the auxiliary wheel 22 comes into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a to prevent the traveling wheel 21 from falling. It should be noted that the present invention is not limited to providing two auxiliary wheels 22 on one traveling wheel 21, and for example, one auxiliary wheel 22 may be provided on one traveling wheel 21, or one auxiliary wheel 22 may not be provided. May be good.
  • a cover W may be provided so as to surround the transfer device 18 and the article M held by the transfer device 18.
  • the cover W has a shape in which the lower end is open and has a shape in which a portion (a portion where the slide moves) where the movable plate of the slide drive unit 11 protrudes is cut out.
  • the upper end of the cover W is attached to the rotating portion 12, and the cover W rotates around the first vertical axis AX1 as the rotating portion 12 rotates.
  • the connecting portion 30 connects the upper unit 17 of the main body portion 10 and the traveling portion 20.
  • the connecting portion 30 is provided at each of the four corner portions of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body portion 10).
  • the main body 10 is suspended by the connecting portion 30 and is arranged below the grid rail R.
  • the connecting portion 30 has a support member 31 and a connecting member 32.
  • the support member 31 rotatably supports the rotation shaft of the traveling wheel 21 and the rotation shaft of the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 holds the relative position between the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and has a thickness that allows it to pass through the gap D.
  • the connecting member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connecting member 32 internally includes a transmission mechanism for transmitting the driving force of the traveling drive unit 33, which will be described later, to the traveling wheels 21.
  • This transmission mechanism may be configured to use a chain or a belt, or may be configured to use a gear train.
  • the connecting member 32 is provided so as to be rotatable in the ⁇ Z direction about the swivel shaft AX3. By rotating the connecting member 32 around the turning shaft AX3, the traveling wheel 21 can be turned in the ⁇ Z direction.
  • the connecting portion 30 is provided with a traveling drive portion 33 and a direction changing mechanism 34.
  • the traveling drive unit 33 is attached to the connecting member 32.
  • the traveling drive unit 33 is a drive source for driving the traveling wheels 21, and for example, an electric motor or the like is used.
  • Each of the four traveling wheels 21 is driven by the traveling drive unit 33 to become a drive wheel.
  • the four traveling wheels 21 are controlled by the bogie controller 50 so as to have the same or substantially the same rotation speed. If any one of the four traveling wheels 21 is not used as a driving wheel, the traveling driving unit 33 is not mounted on the connecting member 32.
  • the direction changing mechanism 34 turns the traveling wheel 21 in the ⁇ Z direction by turning the connecting member 32 of the connecting portion 30 with respect to the main body 10 about the turning shaft AX3.
  • the traveling direction of the ceiling carrier 100 is changed from the first state in which the traveling direction is the first direction D1 to the second state in which the traveling direction is the second direction D2, or the traveling direction is the second. It is possible to switch from the second state in which the direction D2 is set to the first state in which the traveling direction is set as the first direction D1.
  • the direction changing mechanism 34 has a drive source 35, a pinion gear 36, and a rack 37.
  • the drive source 35 is attached to the side surface of the traveling drive unit 33 away from the swivel shaft AX3.
  • the pinion gear 36 is attached to the lower surface side of the drive source 35, and is rotationally driven in the ⁇ Z direction by the driving force generated by the drive source 35.
  • the pinion gear 36 has a circular shape in a plan view and has a plurality of teeth in the circumferential direction of the outer circumference.
  • the rack 37 is fixed to the upper surface 17a of the upper unit 17.
  • the rack 37 is provided at each of the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17, and is provided in an arc shape centered on the turning shaft AX3 of the traveling wheel 21.
  • the rack 37 has a plurality of teeth that mesh with the teeth of the pinion gear 36 in the circumferential direction of the outer circumference.
  • the pinion gear 36 and the rack 37 are arranged so that their teeth are in mesh with each other.
  • the pinion gear 36 rotates in the ⁇ Z direction, the pinion gear 36 moves in the circumferential direction around the swivel shaft AX3 along the outer circumference of the rack 37.
  • the connecting member 32 turns, and the traveling drive unit 33 and the direction changing mechanism 34 turn together with the pinion gear 36 in the circumferential direction around the turning shaft AX3.
  • each of the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 arranged at the four corners of the upper surface 17a turns in the range of 90 degrees in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX3.
  • the drive of the turning mechanism 34 is controlled by the bogie controller 50.
  • the bogie controller 50 may instruct the four traveling wheels 21 to perform the turning operations at the same timing, or may instruct them to perform the turning operations at different timings.
  • the traveling wheel 21 shifts from the state of being in contact with one of the first rail R1 and the second rail R2 to the state of being in contact with the other. Therefore, it is possible to switch between the first state in which the traveling direction of the ceiling carrier 100 is the first direction D1 (X direction) and the second state in which the traveling direction is the second direction D2 (Y direction).
  • the trolley controller 50 is a computer including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the dolly controller 50 can be configured as software in which a program stored in the ROM is loaded into the RAM and executed by the CPU, for example.
  • the dolly controller 50 may be configured as hardware using an electronic circuit or the like.
  • the carriage controller 50 may be composed of one device or a plurality of devices. When composed of a plurality of devices, one carriage controller 50 is logically constructed by connecting them via a communication network such as the Internet or an intranet.
  • the carriage controller 50 is provided on the main body 10, but may be provided outside the main body 10.
  • the bogie controller 50 comprehensively controls the operation of each part of the ceiling carrier 100.
  • the bogie controller 50 controls the traveling of the ceiling transport vehicle 100 based on the transport command.
  • the bogie controller 50 controls the traveling of the ceiling carrier 100 by controlling the traveling drive unit 33, the direction changing mechanism 34, and the like.
  • the bogie controller 50 controls the transfer operation of the ceiling transport vehicle 100 based on the transport command.
  • the bogie controller 50 controls the transfer operation of the ceiling carrier 100 by controlling the transfer device 18 and the like.
  • the carriage controller 50 periodically generates and updates state information (not shown).
  • the dolly controller 50 transmits the state information to the system controller 5.
  • the state information includes, for example, information on the current position of the ceiling carrier 100, information indicating the current state of the ceiling carrier 100 such as normal or abnormal, and an execution state (execution) by the ceiling carrier 100 of various commands such as a transport command. , Execution completed, execution failed).
  • the system controller 5 is a computer including a CPU, a ROM, a RAM, and the like.
  • the system controller 5 can be configured as software in which a program stored in the ROM is loaded into the RAM and executed by the CPU, for example.
  • the system controller 5 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the system controller 5 may be composed of one device or a plurality of devices. When it is composed of a plurality of devices, one system controller 5 is logically constructed by connecting them via a communication network such as the Internet or an intranet.
  • the system controller 5 generates a transport command.
  • the system controller 5 selects one of a plurality of ceiling transport vehicles 100 capable of transporting the article M, and assigns a transport command to the selected ceiling transport vehicle 100.
  • the transport command is a travel command for executing the travel to the load port 62 of the transport source, a load grasp command for the article M mounted on the load port 62, and a travel to execute the travel to the load port 62 of the transport destination. It includes a command and a command to unload the held article M to the load port 62.
  • Information about the transport source and the transport destination can be received from, for example, a host controller (not shown).
  • the traveling path to be followed when traveling to the load port 62 of the transport source on the grid-shaped rail R can be obtained by various known methods.
  • the travel path to be followed when traveling to the transport destination load port 62 on the grid-like rail R can be obtained by various known methods.
  • the system controller 5 stores load port information regarding the orientation of each of the plurality of load ports 62 in advance.
  • the system controller 5 stores load port information in which port numbers, positions, and orientations of a plurality of load ports 62 are associated with each other.
  • the port number is an identification number set for each of the plurality of load ports 62.
  • the system controller 5 acquires the direction of the load port 62 of the transfer source and the direction of the load port 62 of the transfer destination in the transfer command to be assigned based on the load port information.
  • the system controller 5 transmits information regarding the orientation of the load port 62 of the transport source and information regarding the orientation of the load port 62 of the transport destination to the ceiling transport vehicle 100 to which the transport command is assigned.
  • the carriage controller 50 has the orientation of the article M held by the article holding unit 13 and the orientation of the load port 62 on which the article M is placed with respect to the stop position of the ceiling carrier 100. At least one of the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16 is controlled according to the above. For example, since the orientation of the article M placed on the load port 62 is a certain relationship (here, the same) with respect to the orientation of the load port 62, the orientation of the article M held by the article holding unit 13 The orientation can be acquired based on the information regarding the orientation of the load port 62 of the transport source transmitted from the system controller 5. The orientation of the load port 62 on which the article M is placed can be obtained based on the information regarding the orientation of the destination load port 62 transmitted from the system controller 5.
  • the trolley controller 50 has a first control for horizontally turning the article holding portion 13 at a first angle so that the orientation of the article M and the orientation of the load port 62 have a constant relationship, and the orientation of the article M is finely adjusted.
  • the second control of rotating the article holding portion 13 horizontally at a second angle is executed.
  • the first angle is a horizontal turning angle required because the direction of the load port 62 of the transport source and the direction of the load port 62 of the transport destination are different.
  • the first angle is, for example, an angle of 90 ° or more and 270 ° or less.
  • the second angle is the angle of horizontal turning required to correct the unintended deviation of the orientation of the article M.
  • the second angle is an angle smaller than the first angle, for example, an angle of 10 ° or less.
  • three processing devices 6 are arranged so as to be lined up along the passage ST on one side and the other side of the passage ST.
  • the passage ST extends straight and straight when viewed from above.
  • the processing device 6 on one side of the passage ST and the processing device 6 on the other side of the passage ST are arranged so as to face each other.
  • the direction of the load port 62 is such that the front side is the passage ST side.
  • the article M placed on the load port 62S is transferred to the load port 62E facing the load port 62S via the passage ST.
  • the orientation of the load port 62S and the orientation of the load port 62E are 180 ° opposite.
  • the ceiling transport vehicle 100 is assigned a transport command from the system controller 5, and receives information on the directions of the load ports 62S and 62E of the transport source and the transport destination related to the transport command from the system controller 5. As a result, the ceiling carrier 100 executes the following operations under the control of the carriage controller 50.
  • the ceiling transport vehicle 100 travels along the travel route of the transport command to a position where the article M can be transferred to and from the load port 62S of the transport source.
  • the ceiling carrier 100 grips the article M placed on the load port 62S of the carrier.
  • the ceiling carrier 100 follows the traveling route of the transport command to a position where the article M can be transferred to and from the load port 62E of the transport destination in a state where the article M is loaded. And run.
  • the first control is performed as shown in FIG. 9 so that the orientation of the article M and the orientation of the transport destination load port 62E match (the front surface of the article M is the load port).
  • At least one of the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16 is controlled, and the article holding unit 13 is swiveled horizontally at a first angle.
  • the first angle is 180 °.
  • the ceiling carrier 100 unloads the article M to the load port 62E of the transport destination.
  • the second control is performed so that the orientation of the article M is finely adjusted (so that the front surface of the article M faces the front surface of the load port 62E correctly), so that the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive are driven.
  • At least one of the portions 16 is controlled, and the article holding portion 13 is horizontally swiveled at a second angle.
  • the transfer of the article M from the load port 62S to the load port 62E is completed.
  • the ceiling carrier 100 is assigned another transport command, for example, and travels toward the other load port 62 (see FIG. 11).
  • At least one of the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16 is used regardless of the orientation of the article M held by the article holding unit 13.
  • the article M can be transferred to the load port 62 in a desired orientation.
  • the ceiling carrier 100 has an elevating drive unit 14 that moves the article holding unit 13 up and down and a slide drive unit 11 that slides the elevating drive unit 14 as a linear drive unit, and the slide drive unit 11 as a turning drive unit. It has a first turning drive unit 15 for horizontally turning and a second turning drive unit 16 for horizontally turning the elevating drive unit 14. According to such a configuration, it is possible to specifically control the orientation of the article M.
  • the ceiling transport vehicle 100 is a transport vehicle capable of traveling along the grid rail R, and includes a traveling wheel 21 that rolls on the grid rail R and a main body portion 10 arranged below the grid rail R. , Equipped with. According to such a configuration, it becomes easy to freely select the traveling route of the ceiling transport vehicle 100, it is possible to suppress the occurrence of traffic congestion and improve the transport efficiency.
  • the carriage controller 50 has a first control for horizontally turning the article holding portion 13 at a first angle so that the orientation of the article M and the orientation of the load port 62 have a constant relationship, and the orientation of the article M is different.
  • a second control for horizontally turning the article holding portion 13 at a second angle so as to be finely adjusted is executed. As a result, the article M can be reliably transferred to the load port 62 in a desired direction.
  • the traveling path of the ceiling transport vehicle 100 on the grid rail R is set by the system controller 5 in response to the transport command generated, but is not limited to this.
  • the ceiling transport system SYS extends so as to cross the passage ST and passes the ceiling transport vehicle 100 over the pair of load ports 62 as the travel route 7 on which the ceiling transport vehicle 100 travels.
  • a crossing travel path 70 may be provided.
  • the traveling route 7 is a preset one-way route.
  • the traveling route 7 includes at least a first interbay route 71 and a second interbay route 72 in addition to the crossing traveling route 70.
  • the first interbay path 71 is set as a pair arranged in parallel with the passing directions facing each other.
  • the second interbay route 72 is set as a pair arranged in parallel with the passing directions facing each other.
  • the second interbay route 72 connects a pair of first interbay routes 71.
  • the second interbay route 72 extends in the direction along the passage ST.
  • the crossing route 70 connects a pair of second interbay routes 72.
  • the crossing travel route 70 constitutes an intrabay route.
  • the crossing travel paths 70 are set as pairs arranged in parallel with the passing directions facing each other.
  • three pairs of crossing travel routes 70 are set between the pair of second interbay routes 72.
  • the crossing route 70 is set to pass over a pair of load ports 62 or its surroundings.
  • the ceiling transport system SYS includes a crossing travel path 70 and a ceiling transport vehicle 100. Even between the pair of load ports 62 related to the crossing travel path 70, the article M can be transferred in a desired direction by appropriately controlling at least one of the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16. Is possible.
  • the ceiling carrier 100 transferred at the point A exists, the article M in the area X is not on the route passing through the point A, so that the article M in the area X is to be transferred.
  • the running of the ceiling carrier 100 toward the load port 62 is not disturbed. It is not necessary to provide a branch merging in the vicinity of the transferable load port 62 (region Y). Therefore, congestion is less likely to occur near the load port 62.
  • the ceiling carrier 100 has acquired the orientation of the article M held by the article holding unit 13 based on the information regarding the orientation of the transport source load port 62 transmitted from the system controller 5.
  • the method of acquiring the orientation of the article M is not particularly limited.
  • the orientation of the article M held by the article holding unit 13 may be recognized by a separate sensor or camera.
  • the ceiling carrier 100 has acquired the orientation of the transport destination load port 62 based on the information regarding the orientation of the transport destination load port 62 transmitted from the system controller 5, but the transport destination load port
  • the acquisition method of the orientation of 62 is not particularly limited.
  • the orientation of the load port 62 at the transfer destination may be recognized by a separate sensor or camera.
  • the ceiling carrier 100 may be a ceiling carrier that is not arranged in a grid pattern and travels along a one-way rail.
  • the direction of entering the load port 62 is restricted, and as a result, the traveling route to the load port 62 is restricted. May be restricted.
  • the passage of the other ceiling transport vehicle 100 will be obstructed, traffic congestion will occur, and the transport efficiency will decrease.
  • the article M is received in a desired direction with respect to the load port 62 regardless of the direction of entry into the load port 62. Can be passed.
  • the overhead transport vehicle can suppress the restriction of the travel route to the target load port 62, and for example, it becomes easy to select a travel route that does not interfere with the passage of other ceiling transport vehicles. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of traffic congestion and improve the transportation efficiency.
  • a ceiling carrier that is not arranged in a grid pattern and travels along a one-way rail, the direction of the article M held by the article holding portion 13 and the orientation of the load port 62 of the transport destination.
  • at least one of the first swivel drive unit 15 and the second swivel drive unit 16 is controlled according to the approach direction to the load port 62 of the transport destination.
  • the elevating drive unit 14 is configured to be horizontally swiveled by the second swivel drive unit 16, but the article holding unit 13 may be configured to be horizontally swiveled by the second swivel drive unit 16.
  • the article holding portion 13 is horizontally swiveled so that the orientation of the article M and the orientation of the load port 62 have a constant relationship.
  • the first control is executed, the execution timing of the first control is not particularly limited.
  • the first control may be executed while the article M is being unloaded from the load port 62E at the transport destination.
  • each configuration in the above-described embodiments and modifications can be arbitrarily applied to each configuration in another embodiment or modification.
  • a part of each configuration in the above-described embodiment or modification can be appropriately omitted without departing from the gist of one aspect of the present invention.
  • Processing device 10 ... Main body, 11 ... Slide drive unit (straight drive unit), 13 ... Article holding unit, 14 ... Elevating drive unit (straight drive unit), 15 ... First swivel drive unit (swivel drive unit) , 16 ... 2nd turning drive unit (turning drive unit), 21 ... traveling wheels, 50 ... trolley controller (control unit), 62 ... road port, 70 ... crossing traveling route (traveling route), 100 ... ceiling carrier, M ... Article, R ... Lattice rail (rail), ST ... Passage.

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Abstract

天井搬送車は、物品を保持する物品保持部と、物品保持部が直線的に移動するように駆動する直線駆動部と、物品保持部が水平旋回するように駆動する旋回駆動部と、物品保持部で保持している物品の向き及び当該物品が載置されるロードポートの向きに応じて、旋回駆動部を制御する制御部と、を備える。

Description

天井搬送車及び天井搬送システム
　本発明の一側面は、天井搬送車及び天井搬送システムに関する。
　天井搬送車に関する技術として、例えば特許文献１に記載された有軌道台車が知られている。特許文献１に記載された有軌道台車は、格子状に配置された箇所を含むレールに沿って、レールの下側で物品を保持して搬送する本体部を備える。
国際公開第２０１８／０３７７６２号
　ところで、上述したような天井搬送車では、物品保持部で保持している物品の向きによっては、ロードポートに対して所望の向きで物品を移載することが困難になる可能性がある。
　そこで、本発明の一側面は、ロードポートに対して所望の向きで物品を移載することができる天井搬送車及び天井搬送システムを提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、物品を保持する物品保持部と、物品保持部が直線的に移動するように駆動する直線駆動部と、物品保持部が水平旋回するように駆動する旋回駆動部と、物品保持部で保持している物品の向き及び当該物品が載置されるロードポートの向きに応じて、旋回駆動部を制御する制御部と、を備える。
　この天井搬送車によれば、物品保持部で保持している物品の向きが何れの向きであっても、制御部により旋回駆動部を物品の向き及びロードポートの向きに応じて制御することにより、ロードポートに対して所望の向きで物品を移載することができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、直線駆動部は、物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部をスライド移動させるスライド駆動部と、を有し、旋回駆動部は、スライド駆動部を水平旋回させる第1旋回駆動部と、物品保持部又は昇降駆動部を水平旋回させる第２旋回駆動部と、を有していてもよい。このような構成によれば、物品の向きを具体的に制御することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、少なくとも一部が格子状に配置されたレールに沿って走行可能な天井搬送車であって、レール上を転動する走行車輪と、レールの下方に配置され、物品保持部、直線駆動部及び旋回駆動部を含む本体部と、を備えていてもよい。このような構成によれば、天井搬送車の走行経路を自由に選択しやすくなり、渋滞の発生を抑え、搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、制御部は、物品の向きとロードポートの向きとが一定関係になるように、物品保持部を第１角度水平旋回させる第１制御と、物品の向きが微調整されるように、物品保持部を、第１角度よりも小さい第２角度水平旋回させる第２制御と、を実行してもよい。これにより、ロードポートに対して、確実に所望の向きで物品を移載することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送システムは、通路を挟んだ一方側及び他方側のそれぞれにおいて当該通路に沿って並ぶように配置された複数の処理装置と、上記天井搬送車と、を備え、複数の処理装置のそれぞれは、その通路側に配置されたロードポートを有し、天井搬送車が走行する経路であって、通路を横断するように延び且つ天井搬送車を一対のロードポート上を通過させる走行経路を備える。
　一般的に、通路を介して対向する一対のロードポートの向きは互いに反対方向となるため、物品の向きとロードポートの向きとが一定関係になるように当該一対のロードポートの間で物品を移載することは、困難である。この問題点を解決するために、本発明の一側面に係る天井搬送システムは、通路を横断するように延び且つ天井搬送車を一対のロードポート上を通過させる走行経路（以下、横断走行経路ともいう）及び上記天井搬送車を備えている。横断走行経路に係る一対のロードポートの間でも、制御部により旋回駆動部を適宜制御することにより、所望の向きで物品を移載することが可能となる。
　本発明の一側面によれば、ロードポートに対して所望の向きで物品を移載することができる天井搬送車及び天井搬送システムを提供することが可能となる。
図１は、実施形態に係る天井搬送システムの一例を示す側面図である。 図２は、図１の天井搬送車を示す斜視図である。 図３は、図１の天井搬送システムを示す斜視図である。 図４は、図１の天井搬送車を上方から見た状態を模式的に示す図である。 図５は、図１の天井搬送システムにおいて天井搬送車により物品をロードポート間で搬送する場合の一例を説明する平面図である。 図６は、図５の続きを示す平面図である。 図７は、図６の続きを示す平面図である。 図８は、図７の続きを示す平面図である。 図９は、図８の続きを示す平面図である。 図１０は、図９の続きを示す平面図である。 図１１は、図１０の続きを示す平面図である。 図１２は、変形例に係る天井搬送システムが備える横断走行経路を示す平面図である。
　以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面に沿った一直線方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。なお、天井搬送車１００の走行方向は、以下の図に示された状態から他の方向に変化可能であり、例えば曲線方向に走行する場合もある。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、反対の方向が－方向であるとして説明する。また、Ｚ軸まわりの回転方向をθＺ方向と表記する。
　図１、図２及び図３に示されるように、天井搬送システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを天井搬送車１００により搬送するためのシステムである。天井搬送システムＳＹＳは、複数の処理装置６へ物品Ｍを搬送するため、天井搬送車１００と、システムコントローラ５と、を備える。物品Ｍは、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等である。物品Ｍには向きがあり、例えば物品Ｍの蓋部Ｍｂ側と反対側が正面の向きである。
　処理装置６は、物品Ｍに対して処理を行う装置である。処理装置６は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。図５に示されるように、処理装置６は、通路ＳＴを挟んだ一方側及び他方側のそれぞれにおいて当該通路ＳＴに沿って並ぶように配置されている。複数の処理装置６のそれぞれは、装置本体６１及びロードポート６２を含む。ロードポート６２は、通路ＳＴ側に配置され、物品Ｍが載置される。ロードポート６２には向きがあり、例えばロードポート６２の通路ＳＴ側が正面の向きである。ロードポート６２の向きは、そこに載置する物品Ｍの向きに対応する。例えば、ロードポート６２の正面と物品Ｍの正面とが一致するように（物品Ｍの蓋部Ｍｂが装置本体６１に向くように）、ロードポート６２上に物品Ｍが載せられる。
　図１、図２及び図３に示されるように、天井搬送車１００は、天井搬送システムＳＹＳのレールＲに沿って移動し、物品Ｍを搬送する。天井搬送車１００は、建屋の天井近傍を走行するため、天井走行車と称する場合がある。天井搬送車１００は、例えば複数台用いられてもよい。複数の天井搬送車１００によって物品Ｍを搬送することにより、高密度な搬送が可能となり、物品Ｍの搬送効率を向上させることが可能となる。
　レールＲは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。レールＲは、第１レールＲ１と、第２レールＲ２と、交差点レールＲ３と、を有する格子状レールである（図３参照）。レールＲは、その少なくとも一部が格子状に配置されている。以下、レールＲを格子状レールＲと称する。第１レールＲ１は、Ｘ方向（第１方向Ｄ１）に沿って設けられる。第２レールＲ２は、Ｙ方向（第２方向Ｄ２）に沿って設けられる。本実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが直交しており、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とは、互いに直交する方向に沿って設けられるが、互いに直接交差しないように設けられている。交差点レールＲ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２との交差部分に配置される。格子状レールＲは、第１レールＲ１と第２レールＲ２とが直交する方向に沿って設けられることで、平面視で複数のセルＣ（区画）が隣り合う状態となっている。なお、図３では格子状レールＲの一部について示しており、格子状レールＲは、図示している構成から第１方向Ｄ１（Ｘ方向）及び第２方向Ｄ２（Ｙ方向）に同様の構成が連続して形成されている。
　第１レールＲ１、第２レールＲ２及び交差点レールＲ３は、吊り下げ部材Ｈ（図３参照）によって不図示の天井に吊り下げ支持されている。吊り下げ部材Ｈは、第１レールＲ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２レールＲ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、交差点レールＲ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
　第１レールＲ１、第２レールＲ２及び交差点レールＲ３は、それぞれ、天井搬送車１００の後述する走行車輪２１が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第１レールＲ１と交差点レールＲ３との間、第２レールＲ２と交差点レールＲ３との間には、それぞれ隙間Ｄが形成される。隙間Ｄは、天井搬送車１００が第１レールＲ１を走行して第２レールＲ２を横切る際、あるいは第２レールＲ２を走行して第１レールＲ１を横切る際に、天井搬送車１００の一部である後述の連結部３０が通過する部分である。従って、隙間Ｄは、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差点レールＲ３は、同一又はほぼ同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差点レールＲ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
　図１及び図２に示されるように、天井搬送車１００は、レールＲに沿って走行可能な搬送車であって、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、台車コントローラ（制御部）５０とを有する。
　本体部１０は、格子状レールＲの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視でレールＲにおける１つのセルＣに収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１レールＲ１又は第２レールＲ２を走行する他の天井搬送車１００とすれ違うことが可能となる。
　本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置１８とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０に吊り下げ支持される。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部を有する。本体部１０の４つのコーナー部のそれぞれには、走行車輪２１、連結部３０及び方向転換機構３４が設けられている。
　移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられる。移載装置１８は、鉛直方向の第１垂直軸ＡＸ１まわりに回転可能である。移載装置１８は、物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させるスライド駆動部１１と、スライド駆動部１１を保持する回動部１２と、本体部１０に対してスライド駆動部１１を第１垂直軸ＡＸ１まわりに水平旋回させる（回転駆動する）第１旋回駆動部１５と、スライド駆動部１１に対して昇降駆動部１４を第２垂直軸ＡＸ２まわりに水平旋回させる第２旋回駆動部１６と、を有する。昇降駆動部１４及びスライド駆動部１１は、物品保持部１３が直線的に移動するように駆動する直線駆動部を構成する。第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６は、物品保持部１３が水平旋回するように駆動する旋回駆動部を構成する。水平旋回は、鉛直方向に沿う軸を回転軸として旋回することを意味する。
　スライド駆動部１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。可動板は、Ｙ方向に移動可能である。最下層の可動板には、第２旋回駆動部１６が取り付けられている。スライド駆動部１１は、不図示の駆動装置により可動板を移動させ、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３を走行方向に対して一方向に、つまり一直線方向のうちの一方向に突出するようスライド移動させることができる。回動部１２は、スライド駆動部１１と上部ユニット１７との間において第１旋回駆動部１５に取り付けられ、スライド駆動部１１を保持する。
　物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
　昇降駆動部１４は、第２旋回駆動部１６に取り付けられている。昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、台車コントローラ５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、台車コントローラ５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　第１旋回駆動部１５は、電動モータ等が用いられ、回動部１２を第１垂直軸ＡＸ１まわりに回転させる。第１旋回駆動部１５は、回動部１２の回転とともに、スライド駆動部１１を第１垂直軸ＡＸ１まわりに回転させることができる。第１旋回駆動部１５によりスライド駆動部１１が第１垂直軸ＡＸ１まわりに回転する場合、スライド駆動部１１の下側に取り付けられる第２旋回駆動部１６、昇降駆動部１４、及び物品保持部１３が一体で第１垂直軸ＡＸ１まわりに回転する。第２旋回駆動部１６は、電動モータ等が用いられ、昇降駆動部１４を第２垂直軸ＡＸ２まわりに回転させる。
　図４は、本体部１０を上方から見た状態を模式的に示す図である。図４は、スライド駆動部１１及び昇降駆動部１４の回転移動の一例を示している。図４に示されるように、第１旋回駆動部１５は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２にスライド駆動部１１のスライド移動の方向を合わせた状態から、第１垂直軸ＡＸ１まわりに２７０度の範囲でスライド駆動部１１を回転させることができる。この場合、格子状レールＲに停止している本体部１０から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のいずれの方向に対しても物品保持部１３をスライド移動させることが可能となる。また、ロードポート６２に対して、物品Ｍを所望の向きで載置することが可能となる。
　移載装置１８は、スライド駆動部１１を駆動することにより、昇降駆動部１４及び物品保持部１３を移載位置Ｐ１から突出位置Ｐ２ａ、Ｐ２ｂ、Ｐ２ｃ、Ｐ２ｄのいずれかに突出可能である。突出位置Ｐ２ａは、スライド駆動部１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３を＋Ｙ方向にスライド移動させた際の突出位置である。突出位置Ｐ２ｂは、第１旋回駆動部１５によりスライド駆動部１１を第１垂直軸ＡＸ１まわりに９０度（例えば時計回りに９０度）回転させ、スライド駆動部１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３を＋Ｘ方向にスライド移動させた際の突出位置である。突出位置Ｐ２ｃは、第１旋回駆動部１５によりスライド駆動部１１を第１垂直軸ＡＸ１まわりに１８０度回転させ、スライド駆動部１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３を－Ｙ方向にスライド移動させた際の突出位置である。突出位置Ｐ２ｄは、第１ｖ１５によりスライド駆動部１１を第１垂直軸ＡＸ１まわりに２７０度回転させ、スライド駆動部１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３を－Ｘ方向にスライド移動させた際の突出位置である。
　このように、スライド駆動部１１は、昇降駆動部１４及び物品保持部１３を一直線方向のうちの一方向にスライド移動させる構成であるが、第１旋回駆動部１５を駆動させてスライド駆動部１１の回動位置を９０度間隔で設定することにより、＋Ｘ方向（第１方向Ｄ１）、＋Ｙ方向（第２方向Ｄ２）、－Ｘ方向（第１方向Ｄ１）、－Ｙ方向（第２方向Ｄ２）の４方向のそれぞれに昇降駆動部１４及び物品保持部１３をスライド移動させることが可能である。
　また、第２旋回駆動部１６は、電動モータ等が用いられ、スライド駆動部１１によりスライド移動させる一直線方向を基準として、第２垂直軸ＡＸ２まわりに少なくとも１８０度の範囲で昇降駆動部１４（物品保持部１３）を回転させる。図４では、第２垂直軸ＡＸ２を通る一点鎖線で示す方向（一直線方向に直交する方向）の範囲で、第２垂直軸ＡＸ２まわりに昇降駆動部１４（物品保持部１３）を１８０度回転可能である。この場合、ロードポート６２に対して、物品Ｍを所望の向きで載置することが可能となる。例えば、第２旋回駆動部１６を駆動することにより、物品Ｍの正面側を＋Ｘ方向に向けた状態から第２垂直軸ＡＸ２まわりに１８０度回転させることで、物品Ｍの正面側を－Ｘ方向（すなわち反対方向）に向けることができる。例えば、第２旋回駆動部１６を駆動することにより、物品Ｍの正面側を＋Ｘ方向に向けた状態から、＋Ｙ方向又は－Ｙ方向に向けた状態とすることができる。
　図１、図２及び図３に示されるように、走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた不図示の車軸に取り付けられている。車軸は、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行に設けられている。走行車輪２１のそれぞれは、後述する走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、格子状レールＲ上を転動する。走行車輪２１のそれぞれは、格子状レールＲにおいて、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差点レールＲ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、天井搬送車１００を走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、その結果、天井搬送車１００の走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、θＺ方向に回転可能となっている。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、走行車輪２１が隙間Ｄ（図３参照）を通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　図１及び図２に示されるように、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲むようにカバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、下端を開放した形状であって、かつ、スライド駆動部１１の可動板が突出する部分（スライド移動する部分）を切り欠いた形状を有している。カバーＷは、上端が回動部１２に取り付けられており、回動部１２の回動に伴って第１垂直軸ＡＸ１まわりに回動する。
　連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられる。この連結部３０によって本体部１０は、吊り下げられた状態となり、格子状レールＲより下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１と、接続部材３２とを有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１により、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、隙間Ｄを通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に回転可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ３を中心として回転することで、走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることができる。
　連結部３０には、走行駆動部３３と、方向転換機構３４とが設けられる。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電気モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪となる。４つの走行車輪２１は、同一又はほぼ同一の回転数となるように台車コントローラ５０によって制御される。なお、４つの走行車輪２１のうちいずれかを駆動輪として用いない場合は、その接続部材３２には走行駆動部３３は装着されない。
　方向転換機構３４は、本体部１０に対して連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ３を中心として旋回させることにより、走行車輪２１をθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、天井搬送車１００の走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態から走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態に、又は走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態から走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態に切り替えることが可能である。
　方向転換機構３４は、駆動源３５と、ピニオンギア３６と、ラック３７とを有する。駆動源３５は、走行駆動部３３において旋回軸ＡＸ３から離れた側面に取り付けられている。駆動源３５には、例えば電気モータ等が用いられる。ピニオンギア３６は、駆動源３５の下面側に取り付けられており、駆動源３５で発生した駆動力によりθＺ方向に回転駆動する。ピニオンギア３６は、平面視で円形状であり、外周の周方向に複数の歯を有する。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａに固定される。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられ、走行車輪２１の旋回軸ＡＸ３を中心とした円弧状に設けられる。ラック３７は、外周の周方向に、ピニオンギア３６の歯と噛み合う複数の歯を有する。
　ピニオンギア３６及びラック３７は、互いの歯が噛み合った状態で配置される。ピニオンギア３６がθＺ方向に回転することにより、ラック３７の外周に沿うようにピニオンギア３６が旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に移動する。このピニオンギア３６の移動により、接続部材３２が旋回し、走行駆動部３３及び方向転換機構３４がピニオンギア３６とともに旋回軸ＡＸ３を中心とする円周方向に旋回する。
　方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ３を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、台車コントローラ５０によって制御される。台車コントローラ５０は、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うように指示してもよいし、異なるタイミングで行うように指示してもよい。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１レールＲ１及び第２レールＲ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。このため、天井搬送車１００の走行方向を第１方向Ｄ１（Ｘ方向）とする第１状態と、走行方向を第２方向Ｄ２（Ｙ方向）とする第２状態とで切り替えることができる。
　台車コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなるコンピュータである。台車コントローラ５０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。台車コントローラ５０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。台車コントローラ５０は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つの台車コントローラ５０が構築される。台車コントローラ５０は、本体部１０に設けられるが、本体部１０の外部に設けられてもよい。
　台車コントローラ５０は、天井搬送車１００の各部の動作を統括的に制御する。台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、天井搬送車１００の走行を制御する。台車コントローラ５０は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、天井搬送車１００の走行を制御する。台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、天井搬送車１００の移載動作を制御する。台車コントローラ５０は、移載装置１８等を制御することにより、天井搬送車１００の移載動作を制御する。台車コントローラ５０は、周期的に状態情報（図示せず）を生成し更新する。台車コントローラ５０は、状態情報をシステムコントローラ５に送信する。状態情報は、例えば、天井搬送車１００の現在位置の情報、正常又は異常等の天井搬送車１００の現在の状態を示す情報、搬送指令等の各種指令の天井搬送車１００による実行状態（実行中、実行完了、実行失敗）に関する情報である。
　システムコントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータである。システムコントローラ５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システムコントローラ５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システムコントローラ５は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つのシステムコントローラ５が構築される。
　システムコントローラ５は、搬送指令を生成する。システムコントローラ５は、物品Ｍを搬送可能な複数の天井搬送車１００のうちの何れかを選択し、選択した天井搬送車１００に搬送指令を割付ける。搬送指令は、搬送元のロードポート６２への走行を実行させる走行指令と、当該ロードポート６２に載置された物品Ｍの荷つかみ指令と、搬送先のロードポート６２への走行を実行させる走行指令と、保持している物品Ｍの当該ロードポート６２への荷下ろし指令と、を含む。搬送元及び搬送先に関する情報は、例えば、上位コントローラ（不図示）から受信することができる。格子状レールＲにおいて搬送元のロードポート６２へ走行する際に辿る走行経路は、種々の公知手法により取得することができる。格子状レールＲにおいて搬送先のロードポート６２へ走行する際に辿る走行経路は、同様に、種々の公知手法により取得することができる。
　システムコントローラ５には、複数のロードポート６２のそれぞれの向きに関するロードポート情報が予め記憶されている。一例として、システムコントローラ５には、複数のロードポート６２のポート番号、位置及び向きが互いに関連付けられたロードポート情報が記憶されている。ポート番号は、複数のロードポート６２毎に設定された識別用の番号である。システムコントローラ５は、割り付ける搬送指令における搬送元のロードポート６２の向きと搬送先のロードポート６２の向きとを、ロードポート情報に基づき取得する。システムコントローラ５は、搬送指令を割り付ける天井搬送車１００に対して、搬送元のロードポート６２の向きに関する情報と搬送先のロードポート６２の向きに関する情報とを送信する。
　ここで、本実施形態において、台車コントローラ５０は、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向きと、当該物品Ｍが載置されるロードポート６２の天井搬送車１００の停止位置に対する向きとに応じて、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかを制御する。例えば、ロードポート６２に載せられた物品Ｍの向きは、ロードポート６２の向きに対して一定関係の（ここでは、同じ）向きであることから、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向きは、システムコントローラ５から送信された、搬送元のロードポート６２の向きに関する情報に基づき取得できる。物品Ｍが載置されるロードポート６２の向きは、システムコントローラ５から送信された、搬送先のロードポート６２の向きに関する情報に基づき取得できる。
　台車コントローラ５０は、物品Ｍの向きとロードポート６２の向きとが一定関係になるように、物品保持部１３を第１角度水平旋回させる第１制御と、物品Ｍの向きが微調整されるように、物品保持部１３を第角度水平旋回させる第２制御と、を実行する。第１角度は、搬送元のロードポート６２の向きと搬送先のロードポート６２の向きとが異なるために要される水平旋回の角度である。第１角度は、例えば９０°以上２７０°以下の角度である。第２角度は、物品Ｍの向きの意図しないずれを補正するために要される水平旋回の角度である。第２角度は、第１角度よりも小さい角度であり、例えば１０°以下の角度である。
　次に、天井搬送システムＳＹＳにおいて、天井搬送車１００により物品Ｍをロードポート６２間で搬送する場合の一例を説明する。
　一例では、図５に示されるように、通路ＳＴを挟んだ一方側及び他方側のそれぞれにおいて、当該通路ＳＴに沿って並ぶように処理装置６が３台ずつ配置されている。通路ＳＴは、上方から見て、直線的に真っ直ぐ延びる。通路ＳＴの一方側の処理装置６と通路ＳＴの他方側の処理装置６とは、互いに向き合うように配置されている。ロードポート６２の向きは、正面を通路ＳＴ側とする向きである。ここでの一例では、ロードポート６２Ｓに載置された物品Ｍを、このロードポート６２Ｓに通路ＳＴを介して対向するロードポート６２Ｅに移載する。ロードポート６２Ｓの向きとロードポート６２Ｅの向きとは、１８０°反対の向きである。
　天井搬送車１００は、搬送指令がシステムコントローラ５から割り付けられると共に、当該搬送指令に係る搬送元及び搬送先それぞれのロードポート６２Ｓ，６２Ｅの向きに関する情報をシステムコントローラ５から受信する。これにより、天井搬送車１００は、台車コントローラ５０の制御により、以下の動作を実行する。
　すなわち、図６に示されるように、天井搬送車１００は、搬送元のロードポート６２Ｓとの間で物品Ｍを移載可能な位置まで、搬送指令の走行経路に沿って走行する。図７に示されるように、天井搬送車１００は、搬送元のロードポート６２Ｓに載置された物品Ｍの荷つかみを行う。図８に示されるように、天井搬送車１００は、物品Ｍを荷つかみした状態で、搬送先のロードポート６２Ｅとの間で物品Ｍを移載可能な位置まで、搬送指令の走行経路に沿って走行する。ロードポート６２Ｅへの搬送中、図９に示されるように、第１制御を実施し、物品Ｍの向きと搬送先のロードポート６２Ｅの向きとが一致するように（物品Ｍの正面がロードポート６２Ｅの正面を向くように）、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかを制御し、物品保持部１３を第１角度水平旋回させる。図示する例では、第１角度は１８０°である。
　図１０に示されるように、天井搬送車１００は、搬送先のロードポート６２Ｅに対して物品Ｍの荷下ろしを行う。このとき、第２制御を実施し、物品Ｍの向きが微調整されるように（物品Ｍの正面がロードポート６２Ｅの正面を正しく向くように）、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかを制御し、物品保持部１３を第２角度水平旋回させる。以上により、ロードポート６２Ｓからロードポート６２Ｅへの物品Ｍの移載が完了する。その後、天井搬送車１００は、例えば他の搬送指令が割り付けられ、他のロードポート６２へ向かって走行する（図１１参照）。
　以上、天井搬送車１００によれば、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向きが何れの向きであっても、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかを物品Ｍの向き及びロードポート６２の向きに応じて制御することにより、ロードポート６２に対して所望の向きで物品Ｍを移載することができる。
　天井搬送車１００は、直線駆動部として、物品保持部１３を昇降させる昇降駆動部１４と昇降駆動部１４をスライド移動させるスライド駆動部１１とを有し、旋回駆動部として、スライド駆動部１１を水平旋回させる第１旋回駆動部１５と昇降駆動部１４を水平旋回させる第２旋回駆動部１６とを有する。このような構成によれば、物品Ｍの向きを具体的に制御することが可能となる。
　天井搬送車１００は、格子状レールＲに沿って走行可能な搬送車であって、格子状レールＲ上を転動する走行車輪２１と、格子状レールＲの下方に配置された本体部１０と、を備える。このような構成によれば、天井搬送車１００の走行経路を自由に選択しやすくなり、渋滞の発生を抑え、搬送効率を向上させることが可能となる。
　天井搬送車１００では、台車コントローラ５０は、物品Ｍの向きとロードポート６２の向きとが一定関係になるように物品保持部１３を第１角度水平旋回させる第１制御と、物品Ｍの向きが微調整されるように物品保持部１３を第２角度水平旋回させる第２制御と、を実行する。これにより、ロードポート６２に対して、確実に所望の向きで物品Ｍを移載することが可能となる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態において、格子状レールＲにおける天井搬送車１００の走行経路は、システムコントローラ５により、搬送指令の生成に伴って当該搬送指令に応じて設定されるが、これに限定されない。例えば図１２に示されるように、天井搬送システムＳＹＳは、天井搬送車１００が走行する走行経路７として、通路ＳＴを横断するように延び且つ天井搬送車１００を一対のロードポート６２上を通過させる横断走行経路７０を備えていてもよい。
　図１２に示される一例では、走行経路７は、予め設定された一方通行の経路である。走行経路７は、横断走行経路７０の他に、第１インターベイ経路７１及び第２インターベイ経路７２を少なくとも含む。第１インターベイ経路７１は、互いに通行方向を反対方向として平行に並ぶ対で設定されている。第２インターベイ経路７２は、互いに通行方向を反対方向として平行に並ぶ対で設定されている。第２インターベイ経路７２は、一対の第１インターベイ経路７１を接続する。第２インターベイ経路７２は、通路ＳＴに沿う方向に延びる。横断走行経路７０は、一対の第２インターベイ経路７２を接続する。横断走行経路７０は、イントラベイ経路を構成する。横断走行経路７０は、互いに通行方向を反対方向として平行に並ぶ対で設定されている。ここでは、横断走行経路７０は一対の第２インターベイ経路７２の間に３対設定されている。横断走行経路７０は、一対のロードポート６２又はその周辺上を通るように設定されている。
　一般的に、通路ＳＴを介して対向する一対のロードポート６２の向きは、互いに反対方向となる。そのため、物品Ｍの向きとロードポート６２の向きとが一定関係になるように当該一対のロードポート６２の間で物品Ｍを移載することは、困難である。この問題点を解決するために、天井搬送システムＳＹＳは、横断走行経路７０及び天井搬送車１００を備えている。横断走行経路７０に係る一対のロードポート６２の間でも、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかを適宜制御することにより、所望の向きで物品Ｍを移載することが可能となる。また、ポイントＡで移載している天井搬送車１００が存在しても、領域Ｘ内にある物品ＭはポイントＡを通る経路上に無いため、領域Ｘ内の物品Ｍを移載しようとして各ロードポート６２に向かっている天井搬送車１００の走行が邪魔されなくなる。移載可能なロードポート６２近傍(領域Ｙ)内に分岐合流を設けなくてもよい。よって、ロードポート６２付近で渋滞が起こりにくくなる。
　上記実施形態では、天井搬送車１００は、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向きを、システムコントローラ５から送信された搬送元のロードポート６２の向きに関する情報に基づいて取得したが、物品Ｍの向きの取得手法は特に限定されない。例えば別途のセンサ又はカメラにより、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向きを認識してもよい。上記実施形態では、天井搬送車１００は、搬送先のロードポート６２の向きを、システムコントローラ５から送信された搬送先のロードポート６２の向きに関する情報に基づいて取得したが、搬送先のロードポート６２の向きの取得手法は特に限定されない。例えば別途のセンサ又はカメラにより、搬送先のロードポート６２の向きを認識してもよい。
　上記実施形態では、天井搬送車１００は、格子状に配置されておらず且つ一方通行のレールに沿って走行する天井搬送車であってもよい。このような天井搬送車では、ロードポート６２に対して所望の向きで物品Ｍを移載するために、当該ロードポート６２に進入する方向が制限され、ひいては、当該ロードポート６２への走行経路が制限される場合がある。この場合、他の天井搬送車１００の通行を邪魔してしまい、渋滞が発生して搬送効率が低下してしまう懸念がある。この点、台車コントローラ５０により旋回駆動部を適宜制御することにより、ロードポート６２に対して何れの方向から進入した場合であっても、当該ロードポート６２に対して所望の向きで物品Ｍを受け渡すことができる。その結果、天井搬送車は、目的のロードポート６２への走行経路が制限されることを抑制でき、例えば他の天井搬送車の通行を邪魔しないような走行経路を選択しやすくなる。したがって、渋滞の発生を抑え、搬送効率を向上させることが可能となる。なお、格子状に配置されておらず且つ一方通行のレールに沿って走行する天井搬送車の場合には、物品保持部１３で保持している物品Ｍの向き、搬送先のロードポート６２の向き、及び搬送先のロードポート６２への進入方向に応じて、第１旋回駆動部１５及び第２旋回駆動部１６の少なくとも何れかが制御される。
　上記実施形態では、第２旋回駆動部１６により昇降駆動部１４が水平旋回するように構成したが、第２旋回駆動部１６により物品保持部１３が水平旋回するように構成してもよい。上記実施形態では、天井搬送車１００が搬送先のロードポート６２へ走行している間に、物品Ｍの向きとロードポート６２の向きとが一定関係になるように物品保持部１３を水平旋回させる第１制御を実行したが、第１制御の実行タイミングは特に限定されない。例えば、搬送先のロードポート６２Ｅに対して物品Ｍの荷下ろしを行っている間に、第１制御を実行してもよい。
　上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
　６…処理装置、１０…本体部、１１…スライド駆動部（直線駆動部）、１３…物品保持部、１４…昇降駆動部（直線駆動部）、１５…第１旋回駆動部（旋回駆動部）、１６…第２旋回駆動部（旋回駆動部）、２１…走行車輪、５０…台車コントローラ（制御部）、６２…ロードポート、７０…横断走行経路（走行経路）、１００…天井搬送車、Ｍ…物品、Ｒ…格子状レール（レール）、ＳＴ…通路。

Claims (5)

  1. 　物品を保持する物品保持部と、
    　前記物品保持部が直線的に移動するように駆動する直線駆動部と、
    　前記物品保持部が水平旋回するように駆動する旋回駆動部と、
    　前記物品保持部で保持している前記物品の向き及び当該物品が載置されるロードポートの向きに応じて、前記旋回駆動部を制御する制御部と、を備える、天井搬送車。
  2. 　前記直線駆動部は、前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、前記昇降駆動部をスライド移動させるスライド駆動部と、を有し、
    　前記旋回駆動部は、前記スライド駆動部を水平旋回させる第１旋回駆動部と、前記物品保持部又は前記昇降駆動部を水平旋回させる第２旋回駆動部と、を有する、請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　少なくとも一部が格子状に配置されたレールに沿って走行可能な天井搬送車であって、
    　前記レール上を転動する走行車輪と、
    　前記レールの下方に配置され、前記物品保持部、前記直線駆動部及び前記旋回駆動部を含む本体部と、を備える、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記制御部は、
    　　前記物品の向きと前記ロードポートの向きとが一定関係になるように、前記物品保持部を第１角度水平旋回させる第１制御と、
    　　前記物品の向きが微調整されるように、前記物品保持部を、前記第１角度よりも小さい第２角度水平旋回させる第２制御と、を実行する、請求項１～３の何れか一項に記載の天井搬送車。
  5. 　通路を挟んだ一方側及び他方側のそれぞれにおいて当該通路に沿って並ぶように配置された複数の処理装置と、
    　請求項１～４の何れか一項に記載の天井搬送車と、を備え、
    　複数の前記処理装置のそれぞれは、その前記通路側に配置された前記ロードポートを有し、
    　前記天井搬送車が走行する経路であって、前記通路を横断するように延び且つ前記天井搬送車を一対の前記ロードポート上を通過させる走行経路を備える、天井搬送システム。
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