WO2015174181A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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WO2015174181A1
WO2015174181A1 PCT/JP2015/061322 JP2015061322W WO2015174181A1 WO 2015174181 A1 WO2015174181 A1 WO 2015174181A1 JP 2015061322 W JP2015061322 W JP 2015061322W WO 2015174181 A1 WO2015174181 A1 WO 2015174181A1
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local
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traveling
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PCT/JP2015/061322
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池田　昌弘
正純 福島
靖久 伊藤
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transport system and a transport method using an overhead traveling vehicle and a local track.
  • the overhead traveling vehicle is used for transporting articles between load ports in a semiconductor factory or the like. It has been proposed that the transport system enhances the buffer capacity for temporarily storing articles and eliminates the need for the overhead traveling vehicle to wait when the load port is blocked.
  • Patent Document 1 JP2012-111635
  • a track and a buffer of a local carriage are provided below the traveling route of the overhead traveling vehicle so as to overlap the traveling route of the overhead traveling vehicle. When the load port is blocked, the overhead traveling vehicle can be unloaded into the buffer instead of the load port.
  • Patent Document 2 JP4025374.
  • bogie provided with a hoist is made to drive
  • An object of the present invention is to allow a plurality of buffers to be provided and allow a plurality of local carts to travel to a destination while bypassing each other, thereby allowing articles to be placed between the load port and the buffer.
  • the purpose is to enable flexible conveyance.
  • the article is transported by the overhead traveling vehicle between the load ports provided in the processing apparatus.
  • the transport system The traveling route of the overhead traveling vehicle, A plurality of overhead traveling vehicles having a hoist; A traveling route of the local carriage disposed at a position higher than the load port at least at a lower portion of the traveling route of the overhead traveling vehicle and an upper portion of the plurality of load ports; A plurality of local trolleys that run along the route of the local trolley and have hoists; A plurality of buffers provided along the route of the local carriage and storing articles; A controller for controlling the overhead traveling vehicle and the local cart, A plurality of travel routes of the local cart are provided in parallel, and the local cart can be branched and merged between the travel routes of the local cart, The local cart is configured to convey articles between the load port and the buffer under the control of the controller, The overhead traveling vehicle is configured to transfer an article to a load port or a buffer under the control of the controller, and to convey the article to and from a section off the traveling route of the
  • an article is transported by an overhead traveling vehicle between load ports provided in the processing apparatus.
  • the traveling route of the overhead traveling vehicle A plurality of overhead traveling vehicles having a hoist;
  • a traveling route of the local carriage disposed at a position higher than the load port at least at a lower portion of the traveling route of the overhead traveling vehicle and an upper portion of the plurality of load ports;
  • a plurality of local trolleys that run along the route of the local trolley and have hoists;
  • a plurality of buffers provided along the route of the local carriage and storing articles;
  • a controller for controlling the overhead traveling vehicle and the local cart A plurality of travel routes of the local cart are provided in parallel, and the local cart can be branched and joined between the travel routes of the local cart,
  • the local cart conveys the article between the load port and the buffer based on the control of the controller, With the overhead traveling vehicle, the article is transferred to the load port or the buffer under the control of the controller, and the article is transported between the section deviated from the traveling route
  • the traveling route of the overhead traveling vehicle is at the upper part of the load port, the traveling route of the local truck is provided with a route overlapping with these in plan view and a route parallel thereto.
  • the description related to the transport system also applies to the transport method as it is, and the description related to the transport method also applies to the transport system as it is.
  • the present invention since a plurality of travel routes of the local carriage are provided, a large number of buffers can be provided. In addition, since a plurality of local carriages are provided, the carrying capacity is high. And since a local cart can be freely branched and merged between a plurality of travel routes, it is possible to reach another destination by bypassing other local carts. For this reason, it has high buffer capacity and high transport capacity, and can easily reach the target load port. For this reason, it is possible to quickly convey an article upon request, for example, it is possible to quickly convey an article that needs to be conveyed with priority, and it is possible to convey an article for which a time is designated so that it arrives at a designated time.
  • the travel route of the local carriage is composed of a plurality of local tracks spaced apart from each other, the local cart is configured to travel while being guided by the plurality of tracks, and the distance between the tracks.
  • a buffer is placed at the bottom of the. In this case, since the guide is performed by a plurality of tracks, the traveling of the local carriage is stabilized, and the buffer is arranged at the lower part of the interval between the tracks, so that the article can be transferred without moving laterally.
  • a plurality of tracks are provided along the first direction and spaced apart from each other, A plurality of tracks are provided spaced apart from each other along a second direction perpendicular to the first direction;
  • the local carriage has a first traveling unit for traveling along the first direction, a second traveling unit for traveling along the second direction, a first traveling unit, and a second traveling.
  • a switching unit that selects and operates one of the units, and travels vertically and horizontally along the first direction and the second direction.
  • the local cart can travel vertically and horizontally along the first direction and the second direction while switching between the first traveling unit and the second traveling unit.
  • the local carriage can switch the traveling direction at each location where the tracks intersect. For this reason, it is possible to easily reach the destination while bypassing other local carriages. If a large number of tracks in the first direction and a plurality of tracks in the second direction are provided, a larger number of buffers can be provided and the travel route of the local carriage can be increased.
  • the switching is performed, for example, by making the first traveling unit and the second traveling unit relatively movable up and down, for example, using a mechanism that raises and lowers one of them and reverses the other in the opposite direction. Alternatively, a mechanism may be used in which the height of one traveling unit is fixed and the other traveling unit is moved up and down between a selected position lower than the one traveling unit and a high non-selected position.
  • trajectories are arranged in a grid pattern along the first direction and the second direction from the upper part of the load port to the upper part of the processing apparatus, and the trajectories in the first direction and the second direction are arranged.
  • a buffer is arranged at the lower part of the frame of the grid surrounded by, and the local cart can travel to any grid frame. In this way, a large number of buffers can be provided, and the local carriage can reach the destination along a lattice-like track while bypassing other local carriages.
  • the traveling route of the overhead traveling vehicle is a double-branched branch on the upstream side of the traveling route of the local carriage, and a single-line merge on the downstream side.
  • a buffer is provided in the lower part so that the article can be transferred to both the overhead traveling vehicle and the local carriage. Since the traveling route of the overhead traveling vehicle is a double track, it is possible to reduce traffic congestion due to the overhead traveling vehicle stopping and transferring articles.
  • the travel route branched in a double line is arranged at the upper part of the load port and the upper part of the processing apparatus or the upper part of the rear surface of the processing apparatus, and from the upper part of the load port to the upper part of the processing apparatus or the processing apparatus.
  • the travel route of the local cart is arranged over the upper part of the back. In this way, the overhead traveling vehicle can directly access the load port or can travel on a route avoiding the load port and access the buffer. In addition, a large number of routes and buffers for the local cart can be provided.
  • the local cart is provided with a turntable that rotates an article about a vertical axis.
  • the turntable may rotate the hoist, or may move up and down by the hoist.
  • the turntable may be capable of rotating the article 180 ° at a minimum, but it is preferable that three types of rotation of 90 °, 180 °, and 270 ° can be preferably performed and the rotation angle can be finely corrected.
  • the article can be rotated according to the direction of the load port.
  • Front view of main part of transfer system of embodiment The principal part top view of the conveyance system of an Example Plan view of local cart, local trajectory, and buffer in the embodiment
  • the principal part top view of the conveyance system of a modification The principal part top view of the conveyance system of a 2nd modification Block diagram showing a control system in the embodiment
  • FIG. 1 to FIG. 8 show a transfer system 2 (FIGS. 1 to 4 and 8) of the embodiment and its modifications (FIGS. 5 to 7).
  • the transfer system 2 is provided in a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • An overhead traveling vehicle (OHT) 4 travels along a traveling track 6 along an interbay route and an intrabay route provided in the ceiling space of the clean room.
  • the column 7 supports the traveling track 6 from the ceiling 25 side.
  • the intra bay route is a route in a bay where the processing device 12 such as a semiconductor is disposed, and is connected to each other by an inter bay route.
  • the overhead traveling vehicle 4 includes a hoist and a hoist lateral movement mechanism (both not shown), and the hoist base 8 is moved up and down by the hoist to transfer the article 10 such as FOUP to and from the load port 14. .
  • the mission of the overhead traveling vehicle 4 in the embodiment is to quickly convey the article 10 between the load ports 14 of different intra-bay routes.
  • stopping the overhead traveling vehicle 4 to transfer the article 10 to and from the load port 14 causes a traffic jam on the intra bay route. Therefore, the overhead traveling vehicle 4 increases the opportunity to carry the article in and out of the buffer other than the load port 14 and reduces the traffic jam.
  • the local cart performs the transfer between the load port 14 and the buffer, and preferably increases the rate at which the local cart performs the transfer in the bay. Therefore, the number of local carts is increased to increase the conveyance capability, and the local carts can flexibly select the travel route so that the local carts are not congested.
  • the local track 20 is a local cart, and the local track 20 is provided in the bay from the upper part of the load port 14 to the upper part of the processing apparatus 12 or the upper part of the rear surface of the processing apparatus 12.
  • the local tracks 20 are arranged in a vertical and horizontal lattice shape and are supported by the ceiling 25 by, for example, support columns 24, but may be supported by a floor surface of a clean room or the like.
  • a buffer 22 is provided, for example, in a lattice shape below the local track 20, and is supported by the local track 20 by, for example, support columns 23.
  • the local cart 16 conveys the article 10 between the buffer 22 and the load port 14.
  • FIG. 2 shows an arrangement example of the local trajectory 20.
  • an intrabay route 32 and an extension route 34 are drawn into the bay.
  • the extension route 34 is a route that has been added to the normal intrabay route 32 that passes through the upper part of the processing device 12 or the upper part of the rear surface and passes through the upper part of the load port 14.
  • the local trajectory 20 is arranged in a lattice shape on the processing device 12 or the like, and one or a plurality of buffers 22 are provided in one frame of the lattice. That is, the buffer 22 is provided in a space surrounded by the tracks in the lattice-like local track 20.
  • a transfer area 36 An area accessible by both the local carriage 16 and the overhead traveling vehicle 4 is referred to as a transfer area 36, and the load port 14 and the buffer 22 are provided in the transfer area 36.
  • the local track 20 is also provided on the passage 37 between the rows of the left and right processing devices 12 so that the conveyance in the bay can be performed only by the local carriage 16.
  • the local tracks 20 on the left and right of the bay may not be connected.
  • the chain line at the lower part of FIG. 2 when processing apparatus 12 'and load port 14' are arrange
  • the direction of the article can be rotated by 90 °, 180 °, and 270 ° by the turntable of the local carriage 16. Further, it is preferable that the rotation angle of the turntable can be finely corrected so as to correct a slight misalignment of the load ports 14 and 14 '.
  • FIG. 3 shows the local track 20 and the local carriage 16.
  • a groove 21 is provided at the center of the local track 20 in the width direction.
  • the local carriage 16 includes, for example, two pairs of wheels 18 and two pairs of wheels 19 and two pairs of wheels 19 and the like. Further, the wheel 18 is rotated by the traveling unit 40, the wheel 19 is rotated by the traveling unit 41, one of the wheels 18, 19 is lowered and the other is raised, and the lowered wheel is guided by the groove 21 to run. As described above, the local carriage 16 travels while being guided by the pair of local tracks 20, 20, and can move from an arbitrary position of the local track 20 arranged in a lattice shape to an arbitrary position. During this time, the local carriage 16 not only travels vertically and horizontally, but can also move forward and backward.
  • FIG. 4 shows the structure of the local carriage 16.
  • the wheel 18 is rotated by the belt 42, and the belt 42 is driven from the motor 46 via the gear 43 and the belt 44.
  • the output of the motor 46 is transmitted to the traveling unit 40b by the drive shaft 48.
  • the traveling unit 41 has the same structure.
  • Reference numeral 50 denotes a hoist that lifts and lowers a lifting platform 52 that grips the article 10 and transfers the article 10 between the load port 14 and the buffer 22.
  • the turntable 54 rotates the hoist 50 in increments of 90 °, for example, and rotates the article 10 in a direction suitable for the load port 14.
  • the switching unit 56 includes a motor and a cam (not shown), lowers one of the traveling units 40 and 41, guides one of the wheels 18 and 19 to the groove 21, and lifts the other to float from the local track 20. Then, the article 10 is drawn into the interior of the local carriage 16, and if the drive shaft 48, the switching unit 56, etc. are provided on the upper part of the article 10, these members can be arranged avoiding the article 10, and the local carriage 16 in plan view The area can be reduced.
  • the local carriage 16 can travel from any position of the local track 20 in FIG. 2 to any position, and can rotate the article 10 in a desired direction.
  • the space required for the local carriage 16 is one grid of the local track 20 and eight grids around it. That is, the local carriage 16 can freely travel if there is a gap of one frame or more between the local carriage 16 and another local carriage 16. For this reason, it can run freely without being blocked by other local carts.
  • a protrusion 61 is provided at the center of the local track 60 and a pair of grooves 21 and 21 are provided on both sides thereof so that the pair of local carriages 16 and 16 can travel on the same local track 60.
  • the buffer 22 is indicated by a chain line in FIG.
  • the structure of the local track is arbitrary.
  • the guide roller provided on the local carriage 16 may be guided by the local track without providing the groove 21.
  • the local carriage 16 travels on the upper part of the local tracks 20, 60, but the local carriage 16 may travel so as to be suspended from the local track.
  • the local trajectory 20 in FIG. 6 is a modification of the arrangement of the local trajectory 20 on a small scale.
  • the local trajectory 20 in FIG. 6 can be regarded as a trajectory at the bottom of the intrabay route 36 and a trajectory on the side of the local trajectory 36 arranged parallel to each other in a double-line shape and branching and merging with any frame. it can. Since the local cart can travel in the vertical and horizontal directions and freely move back and forth on the local track 20, even if an overhead traveling vehicle or another local cart is transferring an article in the transfer area 36, it can bypass and reach the destination. One destination can be reached in three directions (from four directions in FIG. 2). Then, the direction of the article can be adjusted according to the load port 14 by the turntable.
  • the extension route 34 is provided at the upper part of the row of the processing devices 12 or the upper part of the rear surface, and the local track 20 is arranged in a range from the intra bay route 32 to the extension route 34.
  • the overhead traveling vehicle can transfer articles in either of the transfer areas 36a and 36b.
  • the article can be transferred directly to or from the load port 14, or the transfer area 36a opposite to the load port 14 can be transferred.
  • the buffer and the article can be transferred.
  • the local carriage can reach the destination by bypassing the position where the overhead carriage or another local carriage is transferring.
  • Reference numeral 62 denotes a spare space in which neither the local track 20 nor the buffer 22 is provided, and the local track 20 and the buffer 22 may be added here.
  • FIG. 8 shows a control system of the transport system 2.
  • Reference numeral 70 denotes a top-level production management system (MES) that performs information management of the material management system (MCS) 71 and the processing device controller 75, and based on the semiconductor production schedule, the processing device controller 75 and the material management system 71. Instruct.
  • the processing device controller 75 manages the processing device 12 based on an instruction from the production management system 70 and reports the progress of processing to the production management system 70.
  • the material management system 71 creates a transport schedule for the article 10 based on the semiconductor production schedule from the production management system 70, and transports the article 10 to the overhead traveling vehicle controller (OHT controller) 72 and the local cart controller 74. Let it run.
  • a stocker controller (not shown) may be provided.
  • the overhead traveling vehicle controller 72 and the local cart controller 74 may be integrated or separated.
  • the overhead traveling vehicle 4 can travel along the traveling route only in one direction, and the traveling route may be congested, so it is difficult to convey the article as instructed.
  • the local carriage 16 can travel in the vertical and horizontal directions, can freely move forward and backward, and can easily reach the destination because the local track is arranged in a double-line shape in parallel.
  • the overhead traveling vehicle 4 When a traffic jam or the like occurs, the overhead traveling vehicle 4 appropriately changes the unloading position to a buffer or the like in the transfer area, and notifies the local traveling vehicle controller 74 to that effect. And the local trolley
  • the embodiment has the following characteristics. 1) The local carriage 16 can travel vertically and horizontally and freely move forward and backward, and can freely select the travel route to the destination. 2) The local carriage 16 has a turntable and can change the direction of the article according to the load port 14. 3) Since the local carriage 16 and the buffer 22 are provided, the overhead traveling vehicle 4 can freely change the unloading position and the loading position. In other words, the article can be conveyed by the local carriage 16 between the convenient position of the overhead traveling vehicle 4 and the target load port 14 and stored in the buffer 22. 4) A large number of buffers 22 can be provided, and the local carriage 16 can run flexibly, so that articles can be conveyed by the multiple local carriages 16.
  • the local track 20 has a lattice shape, and the local carriage 16 can run vertically and horizontally.
  • the local cart that can move forward and backward and can freely branch and merge will run flexibly to the target position, Goods can be taken in and out.

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

　多数のバッファ(22)と、走行経路を自由に選択できる多数のローカル台車(16)とを用いて、柔軟にロードポート(14)に物品を搬出入する。天井走行車(4)の走行ルート(6)に沿って、ホイスト(50)を有する複数の天井走行車(4)を走行させる。天井走行車(4)の走行ルートの下部及び複数のロードポート(14)の上部で、ロードポート(14)よりも高い位置にローカル台車(16)の走行ルート(20)を配置し、ホイスト(50)を備えている複数のローカル台車(16)を走行させ、ローカル台車(16)の走行ルート(20)に沿って複数のバッファ(22)を設ける。ローカル台車(16)の走行ルート(20)は平行に複数設けられ、かつローカル台車(16)の走行ルート(20)間で、ローカル台車(16)が分岐及び合流自在である。ローカル台車(16)により、ロードポート(14)とバッファ(22)との間で、前記コントローラの制御に基づいて物品を搬送し、天井走行車(4)により、ロードポート(14)もしくはバッファ(22)に対し、前記コントローラの制御により物品を移載し、かつローカル台車(16)の走行ルート(20)から外 れた区間との間で物品を搬送する。

Description

搬送システム及び搬送方法
　この発明は、天井走行車とローカル軌道とを用いる搬送システム及び搬送方法に関する。
　天井走行車は、半導体工場等において、ロードポート間で物品を搬送するために用いられている。そして搬送システムが物品を一時的に保管するバッファ能力を高め、かつロードポートが塞がっている場合に、天井走行車が待機する必要を無くすことが提案されている。例えば特許文献１（JP2012-111635）では、天井走行車の走行ルートの下部に、天井走行車の走行ルートと重なるように、ローカル台車の軌道とバッファとを設ける。そして、ロードポートが塞がっている場合、天井走行車はロードポートではなくバッファに荷下ろしすることができる。
　なお特許文献２（JP4025374）では、平積みの倉庫に関して、上下にパレットを積層して保管する。そしてパレットの上部を、ホイストを備える台車を縦横に走行させて、パレットを搬送させる。このようにすると、ガントリークレーンに比べ、パレットの搬送能力を高めることができる。
JP2012-111635 JP4025374
　特許文献１の手法では、ローカル台車は基本的に１台で、バッファの数も限られている。ここで単純にローカル台車の数を増すと、他のローカル台車にブロックされて、ローカル台車が目的地まで到達できない場合が増加する。
　この発明の課題は、多数のバッファを設けることができるようにすると共に、複数のローカル台車が互いに迂回しながら目的地まで走行できるようにすることにより、ロードポートとバッファとの間で、物品を柔軟に搬送できるようにすることにある。
　この発明の搬送システムでは、処理装置に設けられているロードポート間で、天井走行車により物品を搬送する。搬送システムは、
　天井走行車の走行ルートと、
　ホイストを有する複数の天井走行車と、
　少なくとも天井走行車の走行ルートの下部及び複数のロードポートの上部で、ロードポートよりも高い位置に配置されているローカル台車の走行ルートと、
　ローカル台車の走行ルートに沿って走行し、かつホイストを備えている複数のローカル台車と、
　ローカル台車の走行ルートに沿って設けられかつ物品を保管する、複数のバッファと、
　天井走行車とローカル台車とを制御するコントローラ、とを備え、
　ローカル台車の走行ルートは平行に複数設けられ、かつローカル台車の走行ルート間で、ローカル台車が分岐及び合流自在であり、
　ローカル台車は、ロードポートとバッファとの間で前記コントローラの制御により物品を搬送するように構成され、
　天井走行車は、ロードポートもしくはバッファに対し前記コントローラの制御により物品を移載し、かつローカル台車の走行ルートから外れた区間との間で物品を搬送するように構成されている。
　この発明の搬送方法では、処理装置に設けられているロードポート間で、天井走行車により物品を搬送する。この発明の搬送方法では、
　天井走行車の走行ルートと、
　ホイストを有する複数の天井走行車と、
　少なくとも天井走行車の走行ルートの下部及び複数のロードポートの上部で、ロードポートよりも高い位置に配置されているローカル台車の走行ルートと、
　ローカル台車の走行ルートに沿って走行し、かつホイストを備えている複数のローカル台車と、
　ローカル台車の走行ルートに沿って設けられかつ物品を保管する、複数のバッファと、
　天井走行車とローカル台車とを制御するコントローラ、とが設けられ、
　ローカル台車の走行ルートは平行に複数設けられ、かつローカル台車の走行ルート間で、ローカル台車が分岐及び合流自在で、
　ローカル台車により、ロードポートとバッファとの間で、前記コントローラの制御に基づいて物品を搬送し、
　天井走行車により、ロードポートもしくはバッファに対し、前記コントローラの制御により物品を移載し、かつローカル台車の走行ルートから外れた区間との間で物品を搬送する。
　天井走行車の走行ルートがロードポートの上部にある場合、ローカル台車の走行ルートは、平面視でこれらと重なるルートと、これと平行なルートとを設ける。この明細書では、搬送システムに関する記載はそのまま搬送方法にも当てはまり、搬送方法に関する記載はそのまま搬送システムにも当てはまる。
　この発明では、ローカル台車の走行ルートを複数設けるので、多数のバッファを設けることができる。またローカル台車を複数設けるので、搬送能力が高い。そして複数の走行ルート間で、ローカル台車は分岐と合流とが自在なので、他のローカル台車を迂回して目的地へ到達できる。このため、高いバッファ能力と高い搬送能力とを備え、かつ目的のロードポートに容易に到達できる。このため要求に応じて速やかに物品を搬送でき、例えば優先して搬送する必要がある物品を速やかに搬送でき、また時間が指定されている物品を指定された時間に到着するように搬送できる。
　好ましくは、ローカル台車の走行ルートは、互いに間隔を置いて配置されている複数のローカルな軌道から成り、ローカル台車は、複数の軌道にガイドされて走行するように構成され、かつ軌道間の間隔の下部にバッファが配置されている。このようにすると、複数の軌道によりガイドするので、ローカル台車の走行が安定し、軌道間の間隔の下部にバッファが配置されているので、物品を横移動させずに移載できる。
　好ましくは、第１の方向に沿って、互いに間隔を置いて配置されている複数の軌道が設けられ、
　第１の方向と直角な第２の方向に沿って、互いに間隔を置いて配置されている複数の軌道が設けられ、
　ローカル台車は、第１の方向に沿って走行するための第１の走行部と、第２の方向に沿って走行するための第２の走行部と、第１の走行部と第２の走行部の一方を選択して動作させる切替部とを備えて、第１の方向と第２の方向とに沿って縦横に走行する。
　ローカル台車は、第１の走行部と第２の走行部とを切替ながら、第１の方向と第２の方向に沿って、縦横に走行できる。また軌道が交差する個所毎に、ローカル台車は走行方向を切り替えることができる。このため、目的地まで他のローカル台車等を迂回しながら容易に到達できる。そして第１の方向の軌道と、第２の方向の軌道を多数設けると、バッファをより多数設け、かつローカル台車の走行経路を増すことができる。切替は、例えば第１の走行部と第２の走行部とを相対的に昇降自在にすることにより行い、例えばこれらの一方を昇降させると共に、他方を逆向きに昇降させる機構を用いる。あるいは、一方の走行部の高さを固定し、他方の走行部を、一方の走行部よりも低い選択位置と、高い非選択位置との間で、昇降させる機構を用いても良い。　
　好ましくは、ロードポートの上部から処理装置の上部に渡って、第１の方向と第２の方向とに沿って軌道が格子状に配置され、第１の方向の軌道と第２の方向の軌道とに囲まれている格子の枠の下部にバッファが配置され、ローカル台車は任意の格子の枠へ走行自在である。このようにすると多数のバッファを設けることができ、しかもローカル台車は、格子状の軌道に沿って、他のローカル台車を迂回しながら、目的地へ到達できる。
　好ましくは、天井走行車の走行ルートは、ローカル台車の走行ルートの上部の上流側で複線状に分岐し、かつ下流側で単線状に合流し、さらに、複線状に分岐している走行ルートの下部に、天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在なバッファが設けられている。天井走行車の走行ルートが複線なので、天井走行車が停止して物品を移載することによる渋滞を少なくできる。
　好ましくは、前記複線状に分岐している走行ルートは、ロードポートの上部と、処理装置の上部もしくは処理装置の背面の上部とに配置され、ロードポートの上部から処理装置の上部もしくは処理装置の背面の上部とに渡って、ローカル台車の走行ルートが配置されている。このようにすると、天井走行車は、ロードポートに直接アクセスすることも、ロードポートを避けたルートを走行して、バッファにアクセスすることもできる。またローカル台車の走行ルートとバッファを多数設けることができる。
　好ましくは、ローカル台車は、物品を鉛直軸回りに回転させるターンテーブルを備えている。ターンテーブルはホイストを回転させても良く、あるいはホイストにより昇降しても良い。またターンテーブルは最低限物品を１８０°回転できればよいが、好ましくは９０°、１８０°、２７０°の３種類の回転ができ、かつ回転角を微修正できることが好ましい。ターンテーブルを設けることにより、ロードポートの向きに合わせて、物品を回転させることができる。
実施例の搬送システムの要部正面図 実施例の搬送システムの要部平面図 実施例でのローカル台車とローカル軌道、及びバッファの平面図 実施例でのローカル台車とローカル軌道、及びバッファの一部切欠部付き正面図 変形例のローカル軌道の平面図 変形例の搬送システムの要部平面図 第２の変形例の搬送システムの要部平面図 実施例での制御系を示すブロック図
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
　図１～図８に、実施例の搬送システム２（図１～図４，図８）とその変形（図５～図７）とを示す。搬送システム２は、半導体製造工場のクリーンルーム等に設けられている。クリーンルームの天井スペースに設けられたインターベイルート及びイントラベイルートを、天井走行車（ＯＨＴ）４が走行軌道６に沿って走行する。なお支柱７は、走行軌道６を天井２５側から支持する。イントラベイルートは、半導体等の処理装置１２が配置されているベイ内のルートで、インターベイルートにより互いに接続されている。また天井走行車４は、ホイストとホイストの横移動機構（いずれも不図示）を備え、ホイストにより昇降台８を昇降させることにより、ＦＯＵＰ等の物品１０をロードポート１４との間で移載する。
　実施例での天井走行車４の任務は、異なるイントラベイルートのロードポート１４間で速やかに物品１０を搬送することである。ここで天井走行車４が、ロードポート１４との間で物品１０を移載するため停止することが、イントラベイルートの渋滞の原因となる。そこで天井走行車４はロードポート１４以外のバッファに物品を搬出入する機会を増して、渋滞を少なくする。これに伴って、ロードポート１４とバッファとの間の搬送をローカル台車が行い、好ましくはベイ内での搬送をローカル台車が行う割合を高める。そこでローカル台車の台数を増して搬送能力を高めると共に、ローカル台車が走行経路を柔軟に選択できるようにして、ローカル台車が渋滞しないようにする。
　１６はローカル台車で、ローカル軌道２０は、ロードポート１４の上部から、処理装置１２の上部もしくは処理装置１２の背面の上部等に渡って、ベイ内に設けられている。ローカル軌道２０は例えば縦横の格子状に配置され、例えば支柱２４により天井２５により支持されるが、クリーンルームの床面等により支持しても良い。またローカル軌道２０の下部に、バッファ２２が例えば格子状に設けられ、例えば支柱２３によりローカル軌道２０によって支持されている。そしてローカル台車１６は、バッファ２２とロードポート１４との間で物品１０を搬送する。
　図２に、ローカル軌道２０の配置例を示す。インターベイルート３０から、ベイ内にイントラベイルート３２と増設ルート３４とが引き込まれている。増設ルート３４は、処理装置１２の上部あるいは背面の上部を通り、ロードポート１４の上部を通る通常のイントラベイルート３２に増設されたルートである。ローカル軌道２０は、処理装置１２の上部等に格子状に配置され、格子の１枠に例えば１個、あるいは複数個のバッファ２２が設けられている。即ち、格子状のローカル軌道２０での、軌道により囲まれたスペースに、バッファ２２が設けられている。またローカル台車１６と天井走行車４とが共にアクセス可能なエリアを移載エリア３６と呼び、移載エリア３６にはロードポート１４とバッファ２２とが設けられている。図２では、左右の処理装置１２の列の間の通路３７上にも、ローカル軌道２０を設け、ベイ内の搬送をローカル台車１６のみで行えるようにしている。しかしベイの左右のローカル軌道２０を接続しないようにしても良い。なお図２の下部に鎖線で示すように、処理装置１２'とロードポート１４'とが配置されている場合、これに応じて鎖線のローカル軌道２０'を追加することが好ましい。この場合、ロードポート１４'の向きは、他のロードポート１４から、９０°あるいは２７０°変化している。そこでローカル台車１６のターンテーブルにより、物品の向きを９０°、１８０°、及び２７０°回転させることができるようにすることが好ましい。さらにロードポート１４，１４'等の微妙な向きのずれを補正するように、ターンテーブルの回転角を微修正できるようにすることが好ましい。
　図３に、ローカル軌道２０とローカル台車１６とを示す。ローカル軌道２０の幅方向の中心に溝２１が設けられ、ローカル台車１６は車輪１８を例えば前後２対、車輪１９を例えば前後２対備え、車輪１８，１９は走行方向が直角である。また走行部４０により車輪１８を回転させ、走行部４１により車輪１９を回転させ、車輪１８，１９の一方を下降させて他方を上昇させ、下降させた車輪を溝２１によりガイドして走行させる。このように、ローカル台車１６は一対のローカル軌道２０，２０にガイドされて走行し、格子状に配置されているローカル軌道２０の任意の位置から任意の位置へ移動できる。この間に、ローカル台車１６は縦横に走行するだけでなく、前後進が自在である。
　図４は、ローカル台車１６の構造を示す。走行部４０ａでは、ベルト４２により車輪１８を回転させ、モータ４６からギア４３とベルト４４とを介して、ベルト４２を駆動する。また駆動軸４８により、モータ４６の出力を、走行部４０ｂへ伝達する。走行部４１も構造は同じである。５０はホイストで、物品１０を把持する昇降台５２を昇降させ、ロードポート１４及びバッファ２２との間で物品１０を移載する。ターンテーブル５４は、ホイスト５０を例えば９０°刻みで回転させ、ロードポート１４に適合する向きへと物品１０を回転させる。切替部５６は図示しないモータとカム等を備え、走行部４０，４１の一方を下降させて、車輪１８，１９の一方を溝２１にガイドさせ、他方を上昇させて、ローカル軌道２０から浮かす。そして物品１０はローカル台車１６の内部へ引き込まれ、物品１０の上部に駆動軸４８，切替部５６等を設けると、物品１０を避けてこれらの部材を配置でき、ローカル台車１６の平面視での面積を小さくできる。
　以上の構造により、ローカル台車１６は、図２のローカル軌道２０の任意の位置から任意の位置まで走行でき、物品１０を所望の向きに回転させることができる。またローカル台車１６が必要とするスペースは、ローカル軌道２０の格子１枠と、その周囲の格子８枠である。即ち、ローカル台車１６は、他のローカル台車１６との間に、格子１枠以上の隙間が有れば自由に走行できる。このため、他のローカル台車にブロックされずに、自由に走行できる。
　図５の変形例では、ローカル軌道６０の中心に突条６１を設けると共に、その両側に一対の溝２１，２１を設けて、同じローカル軌道６０を一対のローカル台車１６，１６が走行できるようにする。なお図５の鎖線によりバッファ２２を示す。ローカル軌道の構造は任意で、例えば溝２１を設けずに、ローカル台車１６に設けたガイドローラをローカル軌道でガイドしても良い。また実施例では、ローカル軌道２０，６０の上部をローカル台車１６が走行するが、ローカル軌道から懸垂するように、ローカル台車１６が走行しても良い。
　図６の変形例は、ローカル軌道２０の配置を小規模にしたものである。図６のローカル軌道２０は、イントラベイルート３６の下部の軌道と、その側方の軌道とを平行に複線状に配置し、かつ任意の枠で分岐と合流とを自在にしたものと見なすことができる。ローカル台車は、ローカル軌道２０を縦横にかつ前後進自在に走行できるので、移載エリア３６で天井走行車あるいは他のローカル台車が物品を移載中でも、迂回して目的地に達することができる。また１つの目的地に、その三方（図２では目的地の四方から）、到達することができる。そしてターンテーブルにより、物品の向きをロードポート１４に合わせて整えることができる。
　図７の変形例では、処理装置１２の列の上部あるいは背面の上部に、増設ルート３４を設け、イントラベイルート３２から増設ルート３４に渡る範囲に、ローカル軌道２０を配置する。天井走行車は、移載エリア３６ａ，３６ｂのいずれでも物品の移載ができ、例えば直接ロードポート１４との間で物品を移載することも、あるいはロードポート１４と反対側の移載エリア３６ａのバッファと物品を移載することもできる。ローカル台車は、天井走行車あるいは他のローカル台車が移載を行っている位置を迂回して、目的地に達することができる。なお６２は、ローカル軌道２０もバッファ２２も設けていない予備スペースで、ここにローカル軌道２０とバッファ２２を増設しても良い。
　図８は、搬送システム２の制御系を示す。７０は最上位の生産管理システム（ＭＥＳ）で、材料管理システム（ＭＣＳ）７１および処理装置コントローラ７５の情報管理を行うと共に、半導体の生産スケジュールに基づいて、処理装置コントローラ７５と材料管理システム７１に指示する。処理装置コントローラ７５は、生産管理システム７０からの指示に基づき、処理装置１２を管理し、処理の進捗状況を生産管理システム７０に報告する。材料管理システム７１は、生産管理システム７０からの半導体の生産スケジュールに基づいて、物品１０の搬送スケジュールを作成し、天井走行車コントローラ（ＯＨＴコントローラ）７２及びローカル台車コントローラ７４に、物品１０の搬送を実行させる。これ以外に、不図示のストッカコントローラを設けても良い。なお天井走行車コントローラ７２とローカル台車コントローラ７４とを一体にしても、別体にしても良い。天井走行車４は、走行ルートを一方向にしか走行できず、また走行ルートが渋滞することがあるため、指示通りに物品を搬送することは難しい。これに対してローカル台車１６は、縦横に走行でき、前進と後退とが自由で、かつローカル軌道が平行に複線状に配置されているため、容易に目的地に達することができる。
　渋滞等が生じると、天井走行車４は荷下ろし位置を移載エリア内のバッファなどに適宜に変更し、その旨を天井走行車コントローラ７２からローカル台車コントローラ７４へ通知する。そしてローカル台車１６は、天井走行車が荷下ろしした位置から、目的のロードポートへ物品を搬送する。またロードポート上に天井走行車４が停止して荷積みすると、他の天井走行車の走行を制約する。さらに渋滞のため、天井走行車が目的のロードポートにアクセスするのが難しいことがある。これに対して、ローカル台車１６は容易に所望のロードポートにアクセスして荷積みでき、また天井走行車の渋滞が生じにくい位置のバッファへ荷下ろしできる。このためロードポートからの搬出を速やかに行うことができる。
　実施例には以下の特徴がある。
1)　ローカル台車１６は縦横にかつ前後進自在に走行でき、目的地までの走行経路を自由に選択できる。
2)　ローカル台車１６はターンテーブルを備え、物品の向きをロードポート１４に合わせて変更できる。
3)　ローカル台車１６とバッファ２２とが有るので、天井走行車４は荷下ろし位置と荷積み位置とを自由に変更できる。言い換えると、天井走行車４の都合の良い位置と目的のロードポート１４との間で、ローカル台車１６により物品を搬送し、バッファ２２に保管しておくことができる。
4)　バッファ２２を多数設けることができ、またローカル台車１６は柔軟に走行できるので、多数のローカル台車１６により物品を搬送できる。
5)　これらのため、緊急に搬送を要する物品（ホットロット）を速やかにロードポート１４に搬出入できる。
6)　多数のローカル台車１６が所望のロードポート１４にアクセスでき、多数のバッファ２２が有るので、生産管理システム７１から要求された時間に、要求されたロードポート１４に物品を搬出入できる。
　実施例では、ローカル軌道２０は格子状で、ローカル台車１６は縦横に走行自在である。しかし最小限、ローカル軌道を複線に配置し、分岐部と合流部とで複線を接続すると、前後進が自在でかつ分岐と合流とが自在なローカル台車により、目的位置へ柔軟に走行して、物品を搬出入できる。
２　搬送システム　　４　天井走行車（ＯＨＴ）　　
６　走行軌道（走行ルート）　　７　支柱　　８　昇降台
１０　物品　　１２　処理装置　　１４　ロードポート
１６　ローカル台車　　１８，１９　車輪
２０　ローカル軌道（ローカル台車の走行ルート）　　２１　溝
２２　バッファ　　２３，２４　支柱　　２５　天井
３０　インターベイルート　　３２　イントラベイルート
３４　増設ルート　　３６　移載エリア　　３７　通路
４０，４１　走行部　　４２，４４　ベルト（駆動媒体）
４３　ギア　　４６　モータ　　４８　駆動軸　　５０　ホイスト
５２　昇降台　　５４　ターンテーブル　　５６　切替部
６０　ローカル軌道　　６１　突条　　６２　予備スペース
７０　生産管理システム（ＭＥＳ）
７１　材料管理システム（ＭＣＳ）
７２　天井走行車コントローラ（ＯＨＴコントローラ）
７４　ローカル台車コントローラ　　７５　処理装置コントローラ

Claims (8)

  1. 　処理装置に設けられているロードポート間で、天井走行車により物品を搬送する搬送システムであって、
    　天井走行車の走行ルートと、
    　ホイストを有する複数の天井走行車と、
    　少なくとも天井走行車の走行ルートの下部及び複数のロードポートの上部で、ロードポートよりも高い位置に配置されているローカル台車の走行ルートと、
    　ローカル台車の走行ルートに沿って走行し、かつホイストを備えている複数のローカル台車と、
    　ローカル台車の走行ルートに沿って設けられかつ物品を保管する、複数のバッファと、
    　天井走行車とローカル台車とを制御するコントローラ、とを備え、
    　ローカル台車の走行ルートは平行に複数設けられ、かつローカル台車の走行ルート間で、ローカル台車が分岐及び合流自在であり、
    　ローカル台車は、ロードポートとバッファとの間で前記コントローラの制御により物品を搬送するように構成され、
    　天井走行車は、ロードポートもしくはバッファに対し前記コントローラの制御により物品を移載し、かつローカル台車の走行ルートから外れた区間との間で物品を搬送するように構成されている、搬送システム。
  2. 　ローカル台車の走行ルートは、互いに間隔を置いて配置されている複数のローカルな軌道から成り、
    　ローカル台車は、複数の軌道にガイドされて走行するように構成され、
    　かつ軌道間の間隔の下部にバッファが配置されていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  3. 　第１の方向に沿って、互いに間隔を置いて配置されている複数の軌道が設けられ、
    　第１の方向と直角な第２の方向に沿って、互いに間隔を置いて配置されている複数の軌道が設けられ、
    　ローカル台車は、第１の方向に沿って走行するための第１の走行部と、第２の方向に沿って走行するための第２の走行部と、第１の走行部と第２の走行部の一方を選択して動作させる切替部とを備えて、第１の方向と第２の方向とに沿って縦横に走行するように構成されていることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  4. 　ロードポートの上部から処理装置の上部に渡って、第１の方向と第２の方向とに沿って軌道が格子状に配置され、
    　第１の方向の軌道と第２の方向の軌道とに囲まれている格子の枠の下部にバッファが配置され、ローカル台車は任意の格子の枠へ走行自在であることを特徴とする、請求項３の搬送システム。
  5. 　天井走行車の走行ルートは、ローカル台車の走行ルートの上部の上流側で複線状に分岐し、かつ下流側で単線状に合流し、
    　さらに、複線状に分岐している走行ルートの下部に、天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在なバッファが設けられていることを特徴とする、請求項１～４のいずれかの搬送システム。
  6. 　前記複線状に分岐している走行ルートは、ロードポートの上部と、処理装置の上部もしくは処理装置の背面の上部とに配置され、
    　ロードポートの上部から処理装置の上部もしくは処理装置の背面の上部とに渡って、ローカル台車の走行ルートが配置されていることを特徴とする、請求項５の搬送システム。
  7. 　ローカル台車は、物品を鉛直軸回りに回転させるターンテーブルを備えていることを特徴とする、請求項１～６のいずれかの搬送システム。
  8. 　処理装置に設けられているロードポート間で、天井走行車により物品を搬送する搬送方法であって、
    　天井走行車の走行ルートと、
    　ホイストを有する複数の天井走行車と、
    　少なくとも天井走行車の走行ルートの下部及び複数のロードポートの上部で、ロードポートよりも高い位置に配置されているローカル台車の走行ルートと、
    　ローカル台車の走行ルートに沿って走行し、かつホイストを備えている複数のローカル台車と、
    　ローカル台車の走行ルートに沿って設けられかつ物品を保管する、複数のバッファと、
    　天井走行車とローカル台車とを制御するコントローラ、とが設けられ、
    　ローカル台車の走行ルートは平行に複数設けられ、かつローカル台車の走行ルート間で、ローカル台車が分岐及び合流自在で、
    　ローカル台車により、ロードポートとバッファとの間で、前記コントローラの制御に基づいて物品を搬送し、
    　天井走行車により、ロードポートもしくはバッファに対し、前記コントローラの制御により物品を移載し、かつローカル台車の走行ルートから外れた区間との間で物品を搬送する搬送方法。　　
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