JP5729415B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

Description

この発明は搬送システムに関し、特に処理装置を待たせずに物品を供給搬出する搬送システムに関する。

半導体加工装置及び半導体の検査装置等の処理装置を待たせずに、FOUP（半導体ウェハーを搬送するための密閉型カセット）等の物品を、これらの装置のロードポートに供給及び搬出する必要がある。そこで、処理装置の付近にバッファを設け、かつバッファと処理装置間の搬送を行うために、追加の搬送装置を設けることが提案されている。例えば特許文献１（JP2006-224944A）では、天井走行車の軌道を天井スペースに平行に複数配置し、一方を長距離搬送用、他方を短距離搬送用とする。そして長距離搬送用の軌道の直下にバッファを、短距離搬送用の軌道の直下に処理装置のロードポートを配置する。長距離搬送用の天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、短距離搬送用の天井走行車はバッファとロードポートとの間で物品を受け渡しする。従って処理装置が必要とする物品が予めバッファまで搬送されていると、処理装置への物品の供給を高速で行うことができる。また処理装置のロードポートからの物品の搬出は、短距離搬送用の天井走行車により高速で行われる。しかしながらこのようにすると、同じ高さ位置に平行に軌道を設けるため、搬送システムが平面視で占める床面積が増大する。

特許文献２（JP2005-150129A）では、処理装置の前面に搬送装置を備えたバッファを設け、天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、バッファ内の搬送装置がロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながら処理装置の前面には、稼働状況を示すディスプレイ、マニュアル操作用の操作パネル等が設けられ、バッファでこれらを塞ぐことは好ましくない。またロードポートは自動搬送装置のみが用いるものではなく、人手で物品を供給搬出することもあり、処理装置の前面をバッファで覆うと、人手でのアクセスが難しくなる。

JP2006-224944A JP2005-150129A

この発明の課題は、処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給及び搬出することにある。
この発明の課題はさらに、バッファとの間で物品を受け渡しする際の昇降量をできる限り小さくすることにある。
この発明の課題はさらに、バッファとロードポート間の搬送距離を短くすることにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車と干渉せずに、天井走行車がバッファとの間で物品を受け渡しする、具体的な構成を提供することにある。

この発明は、複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムに関する。
この発明のシステムは、天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とを備えていることを特徴とする。

この発明では、天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。また処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。第１のバッファと第２のバッファがロードポートの上流側と下流側とに設けられているので、ローカル台車はロードポートとバッファとの間で速やかに物品を供給搬出できる。ロードポートは処理装置に１個のみ設けても複数個設けても良い。ロードポートを複数個設ける場合、ローカル軌道は各ロードポートの上流側から下流側まで設け、第１のバッファは各ロードポートの上流側に、第２のバッファは各ロードポートの下流側に設ける。
そして前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されている。

この発明はまた、既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムに関する。
このシステムは、天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とを備えている。そして前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されている。

このようにすると、既存の天井走行車システムに、ローカル軌道とローカル台車及び第１と第２のバッファから成る搬送システムを後付けできる。そして後付けする搬送システムは、処理装置の改造を必要とせず、既存の天井走行車システムに対しても、支柱を兼用する程度しか改造を必要としない。また天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、さらに処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。第１のバッファと第２のバッファがロードポートの上流側と下流側とに設けられているので、ローカル台車はロードポートとバッファとの間で速やかに物品を供給搬出できる。

この発明では、ロードポートの上流と下流に４物品分のバッファを配置することができ、しかも上段のバッファに対しローカル台車は速やかに物品を移載できる。

また好ましくは、ローカル軌道は２本の平行なレールから成り、かつ２本のレールの間に、物品が鉛直方向に移動できる間隙が設けられている。このようにすると第１の軌道の直下にローカル軌道を配置しても、ロードポート及びバッファとの間で天井走行車が物品を受け渡しできる。

好ましくは、天井走行車は前記第１のバッファと前記第２のバッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記第１のバッファと前記第２のバッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行う。この制御は、天井走行車のコントローラとローカル台車のコントローラ等により実行する。このようにすると、ロードポートから速やかに物品を搬送すると共に、ロードポート上の物品の有無に係わらず、天井走行車からバッファへ物品を荷下ろしできる。そしてロードポートが空くと、速やかにバッファからロードポートへ物品を搬入できる。

またこの発明の搬送システムは、天井走行車軌道の下方で、前記ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
上段と下段の２段の階段状のバッファとが設けられ、
前記上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段に物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されていることを特徴とする。例えば階段状のバッファとして図１のバッファ２５a,２６aの組み合わせとバッファ２５a,２６aの組み合わせの、少なくとも一方を設ける。

このようにすると、天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。また処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。またバッファを階段状に上下２段に配置するので、天井走行車とローカル台車は上下いずれの段にもアクセスでき、上段のバッファではローカル軌道との高さレベルの差が小さいので、小さな昇降量で物品を供給搬出できる。

またこの発明では、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを用いて、ロードポートへ物品を搬送するため、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とが設けられている。
また前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されている。
そして、天井走行車が第１のバッファまたは第２のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
ローカル台車が第１のバッファまたは第２のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行する。

このようにすると、ロードポートから速やかに物品を搬送すると共に、ロードポート上の物品の有無に係わらず、天井走行車からバッファへ物品を荷下ろしできる。そしてロードポートが空くと、速やかにバッファからロードポートへ物品を搬入できる。

実施例の搬送システムの要部側面図 実施例の搬送システムから天井走行車の走行レールを取り外した状態を示す要部平面図 ローカル台車の構造を示す正面図 搬送システム内の通信を示す図 変形例の搬送システムの要部正面図 参考例の搬送システムの要部側面図

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。

図１〜図５に、実施例の搬送システムとその変形とを示す。各図において、２は搬送システムで、４は処理装置で、例えば半導体処理装置及び半導体の検査装置などである。また搬送システム２はクリーンルーム内に設けられている。処理装置４は１個あるいは複数個のロードポート６を備え、その直上部に天井走行車１２の軌道１０が設けられて、天井から支柱１１で支持されている。天井走行車１２はホイスト１４を備えて、昇降台１６を物品１８と共に昇降させる。物品１８は例えば半導体ウェハーを収容したFOUPであるが、物品１８の種類は任意である。また天井走行車１２は、ホイスト１４以外に、ホイスト１４を横送りする装置及びホイスト１４を鉛直軸回りに回動させる装置などを備えていてもよい。軌道１０と天井走行車１２により天井走行車システムを構成し、このシステム自体は公知である。

軌道１０の例えば直下にローカル軌道２０が設けられ、ローカル軌道２０は例えば個々の処理装置毎に設ける。ローカル軌道２０を設ける範囲はロードポート６の直上部と例えばその左右両側であるが、ロードポート６の上部とその左右一方のみでもよい。２２はローカル台車で、ローカル軌道２０に沿って往復動し、昇降台２３をベルト，ワイヤ，ロープなどの吊持材２４により昇降させる。ロードポート６から見て、ローカル台車２２の走行方向の例えば前後双方に、各々２種類のバッファ２５a,b，２６a,bを設ける。天井走行車１２は図１の矢印の方向に走行し、例えば一対のロードポート６，６の上流側のバッファ２５a,２６bが第１のバッファで、下流側のバッファ２５b，２６bが第２のバッファである。

バッファ２５a,bは、その上部を物品１８を支持したローカル台車２２が干渉せずに通過できる高さ位置に設け、ロードポート６に対して平面視で隣接した位置に設ける。言い換えると、ローカル台車２２が支持する物品１８の底面と、バッファ２５a,bでの物品載置面との間に、物品１８の１個分超の高さの差を設ける。バッファ２６a,bは第２のバッファで、バッファ２５a,bから見てロードポート６の反対側に設け、その上部を物品１８を支持していないローカル台車２２は走行できるが、物品１８を支持しているローカル台車２２は走行できない高さに設ける。言い換えると、ローカル台車２２が支持する物品１８の底面と、バッファ２６a,bでの物品載置面との間の高さの差を、物品１８の１個分以下の高さとする。例えばバッファ２６a,bはバッファ２５a,bよりも物品１８の１個分の高さだけ高い位置に設けられ、バッファ２５a,b，２６a,bで段差が１段の階段を構成している。そしてバッファ２５a,b，２６a,bは支柱２７，２８により支持され、支柱２７は例えばローカル軌道２０の支柱を兼ねているが、ローカル軌道２０の支柱とは別体としてもよい。

実施例ではロードポート６の左右両側（天井走行車１２の走行方向を基準とすると、ロードポート６の前後両側）にバッファ２５a,b，２６a,bを設けたが、片側にのみ設けてもよい。バッファの容量が不足する場合、図１に鎖線で示すように、バッファ２６a,bをバッファ３１の位置へ移動させ、元のバッファ２６a,bの下部にバッファ３０を設けると良い。そしてこの場合、ローカル軌道２０もバッファ３１の上部まで延長する。

以上のようにバッファ２５a,b，２６a,b等を配置すると、天井走行車１２とローカル台車２２は任意のバッファ２５a,b，２６a,bとの間で物品１８を受け渡しできる。バッファ２５a,bは低い位置にあるので、天井走行車１２とローカル台車２２とが自由にアクセスできるが、物品１８を受け渡す際の昇降量が大きい。バッファ２６a,bが空の場合、実荷のローカル台車２２と実荷の天井走行車１２がアクセスできる。バッファ２６a,bに物品１８が置かれている場合、空荷のローカル台車２２と空荷の天井走行車１２がアクセスできる。なお天井走行車１２は、一対の走行レールから成るローカル軌道２０の間隙を介して、物品１８を昇降させ、この機構については後述する。

これらの結果、バッファ２５a,b，２６a,bに対し、ローカル台車２２及び天井走行車１２とがアクセスできる。バッファ２６a,bはバッファ２５a,bに比べて高い位置にあるので、天井走行車１２及びローカル台車２２は移載時間を短縮できる。とくにローカル台車２２は、物品１８を移載する際の昇降量が短く、移載時間を短縮できる。またバッファ２５a,b，２６a,bはロードポート６の付近に置かれているので、ローカル台車２２は短時間でロードポート６とバッファ２５a,b，２６a,b間で物品１８を搬送できる。

図２は図１のII−II線に沿って下側を見た図であり、天井走行車１２と軌道１０とを除いて、搬送システム２を表示してある。ローカル軌道２０は図２のように一対のレールから成り、レール間は間隙３４である。この間隙３４の幅は物品１８の奥行きよりも大きく、物品１８は間隙を鉛直方向に通過できる。またロードポート６の上部に充電装置３６が設けられ、ローカル台車２２に充電する。図１，図２では充電装置３６を一方のロードポート６の直上部に配置したが、他方のロードポートの上部、あるいは一対のロードポート６，６の中間部などに配置してもよい。

天井走行車１２は、処理装置４が直ちに必要とする物品以外は、バッファ２５a,b，２６a,bで物品１８を荷下ろしする。また次の処理装置が直ちに必要とする物品以外は、ロードポート６上の物品ではなく、天井走行車１２はバッファ２５a,b，２６a,bの物品を搬出する。そしてロードポート６とバッファ２５a,b，２６a,b間の搬送は、基本的にローカル台車２２が行う。この結果ロードポート６の上部でローカル台車２２が充電のため停止しても、天井走行車１２による物品の搬送と干渉しない。なお充電装置３６はバッファ２５a,b，２６a,bに面した位置などに設けてもよい。その場合、この位置でローカル台車２２が充電のため長時間停止すると、天井走行車１２がバッファへアクセスすることが妨げられる。

図３はローカル台車２２の構造を示し、３８は走行車輪で、走行モータ４０により駆動され、４２はバッテリーで、受電装置４３を介して充電装置３６による充電される。受電装置４３への給電は、例えば非接触給電、コネクタあるいは充電カプラなどによる接触充電の何れでもよい。４４はホイストで、昇降台２３を昇降させ、４５はチャックで、物品１８の上部のフランジを把持及び解放する。

図４は搬送システム内の通信を示し、天井走行車コントローラ５０は天井走行車１２と通信して搬送指令を割り付ける。例えば充電装置３６がローカル台車２２のコントローラを兼ね、通信ユニット５１を介して天井走行車コントローラ５０との間で通信することにより、バッファ２５a,b，２６a,bでの物品１８の有無とそのIDなどを、天井走行車コントローラ５０へ報告する。また充電装置３６は、天井走行車コントローラ５０から、バッファ２５a,b，２６a,bを経由しての、物品１８の搬送について指示を受ける。通信ユニット５２は天井走行車１２と通信し、天井走行車１２がバッファ２５a,b，２６a,bとの間で物品１８を受け渡しする際のインターロックを行う。通信ユニット５３はローカル台車２２の通信ユニット５４と通信し、ローカル台車２２に対してバッファ２５a,b，２６a,bとロードポート６間の物品１８の移載を指示する。

搬送システム２の動作について説明する。処理装置４が丁度必要とする時刻に物品１８をロードポート６へ供給し、ロードポート６へ物品１８が内部から搬出されると、直ちに処理装置４の外部へ取り去ることが、搬送システムの目標である。このためには処理装置４に対して専属のローカル台車２２とバッファ２５a,b，２６a,bとがあればよい。処理装置４が必要とする物品１８を予めバッファ２５a,b，２６a,bに保持し、処理装置４が要求する時刻にロードポート６へ搬送すればよい。またロードポート６へ内部から搬出された物品１８を、ローカル台車２２で直ちにバッファ２５a,b，２６a,bへ移載すればよい。そしてバッファ２５a,b，２６a,bよりも遠方との搬送は天井走行車１２が行い、天井走行車１２はバッファ２５a,b，２６a,bの何れに対してもアクセスでき、緊急時等にはロードポート６に対しても直接アクセスできる。

処理装置４が必要とする時点で、バッファ２５a,b，２６a,bに必要な物品１８が置かれていないことがある。このような場合、天井走行車１２が物品１８をダイレクトにロードポート６へ荷下ろしできると、処理装置４の待ち時間を短縮できる。また次の処理装置が必要とする物品の搬出が遅れている場合、天井走行車１２がロードポート６からダイレクトに物品１８を取り去ると、次の処理装置の待ち時間を短縮できる。

ローカル台車２２はローカル軌道２０に沿って短い距離を走行するので、簡単な台車でよい。コントローラとしての充電装置３６との通信は、例えば導体のローカル軌道２０を信号線に兼用する、ローカル軌道２０に沿ってフィーダー線を設ける、もしくは台車２２と充電装置３６との間で無線通信する、などにより行う。そして充電装置３６への電源と、天井走行車コントローラ５０との通信線は、支柱２７などを利用して配線できる。

実施例ではローカル軌道２０を軌道１０の直下に配置する例を示したが、これには限らない。このような例を図５に示し、実施例と同じ符号は同じものを表す。６０は新たなローカル軌道で、軌道１０の直下を避けるようにその下方に配置され、６２は新たなローカル台車である。ローカル台車６２はガイドローラ６３〜６５によりローカル軌道６０に支持されて走行し、６７，６８は新たな支柱で、他の点では図１〜図４の実施例と同様である。

参考例
図６に参考例を示し、図１〜図４と同じ記号は同じものを表し、特に指摘する点以外は図１〜図４の実施例と同様である。天井走行車１２は図６の矢印に沿って一方向に走行する。処理装置４は例えば一対のロードポート６，６を備えて、天井走行車１２の走行方向で各ロードポート６，６の上流側に第１のバッファ７０が、各ロードポート６，６の下流側に第２のバッファ７１が設けられている。なお処理装置４当たりのロードポート６の数は任意である。ローカル軌道２０は、ロードポート６、６の上流側の第１のバッファ７０の上部から、下流側の第２のバッファ７１の上部まで伸びている。７２は水平なフレームで支柱２７により支持され、ロードポート６，６の上部からその左右（上流側と下流側）とに伸びて、バッファ７０，７１を支持している。物品１８を支持していないローカル台車２２は上方を走行可能で、物品１８を支持しているローカル台車２２は上方を走行不能な高さに、バッファ７０，７１は配置されている。

平面視で、軌道１０及び軌道２０とバッファ７０，７１が重なり、軌道１０，２０の直下にロードポート６，６がある。また軌道２０は２本のレールから成り、レール間に物品１８が鉛直方向に通過自在な隙間がある。軌道２０に沿ってローカル台車２２の停止位置が例えば４個所あり、各個所に充電カプラー等の充電装置７４が設けられ、ローカル台車のリチウムイオン電池等のバッテリーあるいは電気二重層キャパシタ等の蓄電器に充電する。ローカル台車２２は停止する都度充電を受けることができるので、小容量のバッテリーあるいは小容量のキャパシタにより駆動できる。なおロードポート６，６の直上の位置はローカル台車２２の待機位置には適していないので、バッファ７０，７１の直上の位置にのみ充電装置７４を設けても良い。

７３はコントローラで、ローカル台車２２を制御すると共に、天井走行車１２あるいは図４の天井走行車コントローラ５０と通信する。フレーム７２は、ロードポート６，６の上部に例えば一対のルックダウンセンサ７６，７６を備え、ロードポート６，６の付近の干渉物、例えば作業者を監視している。ルックダウンセンサ７６は例えばレーザ光源と、レーザ光の向きを変えて図６の鎖線の範囲を走査する機構と、反射光の受光素子とを備えている。そして例えば図６の鎖線の範囲内の物体を監視し、鎖線の範囲内に物体を検出すると、コントローラ７３はローカル台車２２と天井走行車１２とに対し該当するロードポート６との移載を禁止する。なお１個のルックダウンセンサ７６で複数個のロードポート６を監視するようにしても良い。またコントローラ７３は天井走行車１２と直接通信せずに、図４の天井走行車コントローラ５０を介して通信しても良い。

参考例の動作を説明する。天井走行車１２はバッファ７０，７１へ物品１８を荷下ろし（搬入）すると共に、ロードポート６，６上の物品１８を搬出（荷積み）する。バッファ７０に空きが有り、かつロードポート６に搬出すべき物品１８がある場合、天井走行車１２は搬送してきた物品１８をバッファ７０へ荷下ろしすると共に、ロードポート１８から物品１８を搬出する。従って１台の天井走行車１２で搬入と搬出とを実行できる。ローカル台車２２はバッファ７０，７１の物品をロードポート６，６へ搬入する。ローカル台車２２の待機位置はバッファ７０，７１の上部で、待機位置を交互に変える。例えばバッファ７１上の物品をロードポート６へ搬入すると、バッファ７０上で待機し、次にバッファ７０の物品を速やかにロードポート６へ搬入できるようにする。なおバッファ７０，７１のいずれにも物品１８がない場合、天井走行車１２がバッファ７０へ物品１８を荷下ろしできるように、バッファ７１上で待機しても良い。ロードポート６，６が物品１８でオーバーフローするおそれがある場合は、ローカル台車２２がロードポート６からバッファ７０，７１へ物品を搬出しても良い。また特急品に対しては、天井走行車１２が直接ロードポート６へ物品を搬入しても良い。

参考例では、バッファ７０，７１はロードポート６，６に隣接し、軌道２０とバッファ７０，７１との高さの差は小さい。従ってローカル台車２２は短時間で物品１８をバッファ７０，７１からロードポート６へ搬入できる。天井走行車１２からすると、処理装置４は搬出専用の２個のロードポートと搬入専用の２個のロードポートを備えているのと同様になる。このため物品１８をロードポート６へ荷下ろしできないトラブルを減らすことができる。また処理装置４からすると、バッファ７０，７１に最大２物品まで処理予定の物品を蓄積できる。

実施例では以下の効果が得られる。
(1) 処理装置４の前面を塞がずにバッファ２５a,b，２６a,bを設けることができる。
(2) 天井走行車１２が走行するスペースとローカル台車２２が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。
(3) バッファ２５a,b，２６a,bを階段状に上下２段に配置するので、天井走行車１２とローカル台車２２は任意のバッファ２５a,b，２６a,bにアクセスできる。特に、バッファ２６a,bは、ローカル軌道２０との高さレベルの差が少ないので、小さな昇降量で物品１８を供給搬出できる。
(4) ローカル軌道２０に設けた間隙３４を物品１８が通過するので、ローカル軌道２０とバッファ２５a,b，２６a,bを天井走行車１２の軌道１０の直下に配置できる。
(5) 処理装置４及び既存の天井走行車システムをほとんど改造せずに、ローカル軌道２０とローカル台車２２及びバッファ２５a,b，２６a,bから成る搬送システムを後付けできる。
(6) ローカル台車２２は短いローカル軌道２０を往復するので、ロードポート６とバッファ２５a,b，２６a,bとの間で速やかに物品を供給搬出できる。特にロードポート６の前後両側にバッファ２５a,b，２６a,bを設けると、ロードポート６の付近にバッファ２５a,b，２６a,bを多数設けることができる。
(7) ロードポート６の上部に充電装置３６を設けると、天井走行車１２のバッファ２５a,b，２６a,bへのアクセスを妨げずに、ローカル台車２２のバッテリー４２を充電できる。またバッテリー駆動なので、ローカル軌道２０に給電レールを併設する必要がない。

なお全ての処理装置４に対して、バッファ７０，７１とローカル軌道２０及びローカル台車２２からなるシステムを設ける必要はない。例えば物品１８の処理量の多い処理装置４に対してのみ設けても良い。搬送する物品１８の種類は任意で、例えば半導体露光用のレチクルを収容したカセット、フラットパネルディスプレイの基板等でも良い。

２ 搬送システム
４ 処理装置
６ ロードポート
１０ 軌道
１１ 支柱
１２ 天井走行車
１４ ホイスト
１６ 昇降台
１８ 物品
２０ ローカル軌道
２２ ローカル台車
２３ 昇降台
２４ 吊持材
２５a,b バッファ
２６a,b バッファ
２７，２８ 支柱
３０，３１ バッファ
３４ 間隙
３６ 充電装置
３８ 走行車輪
４０ 走行モータ
４２ バッテリー
４３ 受電装置
４４ ホイスト
４５ チャック
５０ 天井走行車コントローラ
５１〜５４ 通信ユニット
６０ ローカル軌道
６２ ローカル台車
６３〜６５ ガイドローラ
６７，６８ 支柱
７０，７１ バッファ
７２ フレーム
７３ コントローラ
７４ 充電装置
７６ ルックダウンセンサ

Claims (6)

1. 複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
   前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
   前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とを備え、
   前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されていることを特徴とする、搬送システム。
2. 前記ローカル軌道は２本の平行なレールから成り、かつ２本のレールの間に、物品が鉛直方向に移動できる間隙が設けられていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
3. 天井走行車は前記第１のバッファと前記第２のバッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記第１のバッファと前記第２のバッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように、天井走行車とローカル台車を制御する手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
4. 既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムであって、
   前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されるローカル軌道と、
   前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
   前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とを備え、
   かつ前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されていることを特徴とする、搬送システム。
5. 複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
   前記天井走行車軌道の下方で、前記ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
   前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
   上段と下段の２段の階段状のバッファとが設けられ、
   前記上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段に物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されていることを特徴とする、搬送システム。
6. 処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを用いて、ロードポートへ物品を搬送する方法であって、
   前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
   前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第１のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第２のバッファ、とが設けられ、
   前記第１のバッファと第２のバッファが各々上段と下段の２段の階段状の構造で、第１のバッファと第２のバッファは上段と下段に各々物品を１個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置され、
   天井走行車が第１のバッファまたは第２のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
   ローカル台車が第１のバッファまたは第２のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
   天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行することを特徴とする、搬送方法。

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