JP5382470B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents
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Description
この発明の課題はさらに、バッファとロードポート間の搬送距離を短くすることにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車と干渉せずに、天井走行車がバッファとの間で物品を受け渡しする、具体的な構成を提供することにある。
この発明のシステムは、天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする。
このシステムは、前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。
好ましくは、第1のバッファと第2のバッファが物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが第1のバッファと第2のバッファの上方を走行可能で、前記第1のバッファと第2のバッファが物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も第1のバッファと第2のバッファの上方を走行自在な高さに、第1のバッファと第2のバッファとが配置されている。このようにするとローカル台車はバッファとの間で速やかに物品を移載できる。
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている。
そして、天井走行車が第1のバッファまたは第2のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
ローカル台車が第1のバッファまたは第2のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行する。
図6に最適実施例を示し、図1〜図4と同じ記号は同じものを表し、特に指摘する点以外は図1〜図4の参考例と同様である。天井走行車12は図6の矢印に沿って一方向に走行する。処理装置4は例えば一対のロードポート6,6を備えて、天井走行車12の走行方向で各ロードポート6,6の上流側に第1のバッファ70が、各ロードポート6,6の下流側に第2のバッファ71が設けられている。ローカル軌道20は、ロードポート6、6の上流側の第1のバッファ70の上部から、下流側の第2のバッファ71の上部まで伸びている。72は水平なフレームで支柱27により支持され、ロードポート6,6の上部からその左右(上流側と下流側)とに伸びて、バッファ70,71を支持している。物品18を支持していないローカル台車22は上方を走行可能で、物品18を支持しているローカル台車22は上方を走行不能な高さに、バッファ70,71は配置されている。
(1) 処理装置4の前面を塞がずにバッファ25a,b,26a,bを設けることができる。
(2) 天井走行車12が走行するスペースとローカル台車22が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。
(3) 参考例では、バッファ25a,b,26a,bを階段状に上下2段に配置するので、天井走行車12とローカル台車22は任意のバッファ25a,b,26a,bにアクセスできる。特に、バッファ26a,bは、ローカル軌道20との高さレベルの差が少ないので、小さな昇降量で物品18を供給搬出できる。
(4) ローカル軌道20に設けた間隙34を物品18が通過するので、ローカル軌道20とバッファ25a,b,26a,bを天井走行車12の軌道10の直下に配置できる。
(5) 処理装置4及び既存の天井走行車システムをほとんど改造せずに、ローカル軌道20とローカル台車22及びバッファ25a,b,26a,bから成る搬送システムを後付けできる。
(6) ローカル台車22は短いローカル軌道20を往復するので、ロードポート6とバッファ25a,b,26a,bとの間で速やかに物品を供給搬出できる。特にロードポート6の前後両側にバッファ25a,b,26a,bを設けると、ロードポート6の付近にバッファ25a,b,26a,bを多数設けることができる。
(7) ロードポート6の上部に充電装置36を設けると、天井走行車12のバッファ25a,b,26a,bへのアクセスを妨げずに、ローカル台車22のバッテリー42を充電できる。またバッテリー駆動なので、ローカル軌道20に給電レールを併設する必要がない。
4 処理装置
6 ロードポート
10 軌道
11 支柱
12 天井走行車
14 ホイスト
16 昇降台
18 物品
20 ローカル軌道
22 ローカル台車
23 昇降台
24 吊持材
25a,b バッファ
26a,b バッファ
27,28 支柱
30,31 バッファ
34 間隙
36 充電装置
38 走行車輪
40 走行モータ
42 バッテリー
43 受電装置
44 ホイスト
45 チャック
50 天井走行車コントローラ
51〜54 通信ユニット
60 ローカル軌道
62 ローカル台車
63〜65 ガイドローラ
67,68 支柱
70,71 バッファ
72 フレーム
73 コントローラ
74 充電装置
76 ルックダウンセンサ
Claims (6)
- クリーンルーム内の複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。 - 前記ローカル軌道は2本の平行なレールから成り、かつ2本のレールの間に、物品が鉛直方向に移動できる間隙が設けられていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
- 天井走行車は前記第1のバッファと前記第2のバッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記第1のバッファと前記第2のバッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように、天井走行車とローカル台車を制御する手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項1または2の搬送システム。
- ロードポートの上方に配置される水平なフレームにより前記第1のバッファと前記第2のバッファとが支持され、前記フレームにロードポート側の干渉物を検出するためのルックダウンセンサが設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかの搬送システム。
- クリーンルーム内の既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムであって、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。 - クリーンルーム内で、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを用いて、ロードポートへ物品を搬送する方法であって、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
天井走行車が第1のバッファまたは第2のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
ローカル台車が第1のバッファまたは第2のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行することを特徴とする、搬送方法。
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