JP5382470B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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Description

この発明は搬送システムに関し、特に処理装置を待たせずに物品を供給搬出する搬送システムに関する。
半導体加工装置及び半導体の検査装置等の処理装置を待たせずに、FOUP(半導体ウェハーを搬送するための密閉型カセット)等の物品を、これらの装置のロードポートに供給及び搬出する必要がある。そこで、処理装置の付近にバッファを設け、かつバッファと処理装置間の搬送を行うために、追加の搬送装置を設けることが提案されている。例えば特許文献1(JP2006-224944A)では、天井走行車の軌道を天井スペースに平行に複数配置し、一方を長距離搬送用、他方を短距離搬送用とする。そして長距離搬送用の軌道の直下にバッファを、短距離搬送用の軌道の直下に処理装置のロードポートを配置する。長距離搬送用の天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、短距離搬送用の天井走行車はバッファとロードポートとの間で物品を受け渡しする。従って処理装置が必要とする物品が予めバッファまで搬送されていると、処理装置への物品の供給を高速で行うことができる。また処理装置のロードポートからの物品の搬出は、短距離搬送用の天井走行車により高速で行われる。しかしながらこのようにすると、同じ高さ位置に平行に軌道を設けるため、搬送システムが平面視で占める床面積が増大する。
特許文献2(JP2005-150129A)では、処理装置の前面に搬送装置を備えたバッファを設け、天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、バッファ内の搬送装置がロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながら処理装置の前面には、稼働状況を示すディスプレイ、マニュアル操作用の操作パネル等が設けられ、バッファでこれらを塞ぐことは好ましくない。またロードポートは自動搬送装置のみが用いるものではなく、人手で物品を供給搬出することもあり、処理装置の前面をバッファで覆うと、人手でのアクセスが難しくなる。
JP2006-224944A JP2005-150129A
この発明の課題は、処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給及び搬出することにある。
この発明の課題はさらに、バッファとロードポート間の搬送距離を短くすることにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車と干渉せずに、天井走行車がバッファとの間で物品を受け渡しする、具体的な構成を提供することにある。
この発明は、クリーンルーム内の複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムに関する。
この発明のシステムは、天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする。
この発明では、天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。また処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。第1のバッファと第2のバッファがロードポートの上流側と下流側とに設けられているので、ローカル台車はロードポートとバッファとの間で速やかに物品を供給搬出できる。ロードポートは処理装置に1個のみ設けても複数個設けても良い。ロードポートを複数個設ける場合、ローカル軌道は各ロードポートの上流側から下流側まで設け、第1のバッファは各ロードポートの上流側に、第2のバッファは各ロードポートの下流側に設ける。
この発明はまた、クリーンルーム内の既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムに関する。
このシステムは、前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。
このようにすると、既存の天井走行車システムに、ローカル軌道とローカル台車及び第1と第2のバッファから成る搬送システムを後付けできる。そして後付けする搬送システムは、処理装置の改造を必要とせず、既存の天井走行車システムに対しても、支柱を兼用する程度しか改造を必要としない。また天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、さらに処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。第1のバッファと第2のバッファがロードポートの上流側と下流側とに設けられているので、ローカル台車はロードポートとバッファとの間で速やかに物品を供給搬出できる。
好ましくは、第1のバッファと第2のバッファが各々物品を1個ずつ載置できるように構成されている。このようにするとロードポートに隣接して、上流側と下流側とに合計2個のバッファを配置できる。
好ましくは、第1のバッファと第2のバッファが物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが第1のバッファと第2のバッファの上方を走行可能で、前記第1のバッファと第2のバッファが物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も第1のバッファと第2のバッファの上方を走行自在な高さに、第1のバッファと第2のバッファとが配置されている。このようにするとローカル台車はバッファとの間で速やかに物品を移載できる。
また好ましくは、ローカル軌道は2本の平行なレールから成り、かつ2本のレールの間に、物品が鉛直方向に移動できる間隙が設けられている。このようにすると第1の軌道の直下にローカル軌道を配置しても、ロードポート及びバッファとの間で天井走行車が物品を受け渡しできる。
好ましくは、天井走行車は前記第1のバッファと前記第2のバッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記第1のバッファと前記第2のバッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行う。この制御は、天井走行車のコントローラとローカル台車のコントローラ等により実行する。このようにすると、ロードポートから速やかに物品を搬送すると共に、ロードポート上の物品の有無に係わらず、天井走行車からバッファへ物品を荷下ろしできる。そしてロードポートが空くと、速やかにバッファからロードポートへ物品を搬入できる。
好ましくは、ロードポートの上方に配置される水平なフレームにより第1のバッファと第2のバッファとが支持され、フレームにロードポート側の干渉物を検出するためのルックダウンセンサが設けられている。ルックダウンセンサにより、天井走行車もローカル台車も、ロードポート側の人などとの干渉を起こすことがない。ロードポート側とは、ロードポートの付近のあるいはロードポートの近傍を意味する。
またこの発明では、クリーンルーム内で、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを用いて、ロードポートへ物品を搬送するため、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
第1のバッファと、
第2のバッファとを備え、
前記第1のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
前記第2のバッファは、
処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている。
そして、天井走行車が第1のバッファまたは第2のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
ローカル台車が第1のバッファまたは第2のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行する。
このようにすると、ロードポートから速やかに物品を搬送すると共に、ロードポート上の物品の有無に係わらず、天井走行車からバッファへ物品を荷下ろしできる。そしてロードポートが空くと、速やかにバッファからロードポートへ物品を搬入できる。
参考例の搬送システムの要部側面図 参考例の搬送システムから天井走行車の走行レールを取り外した状態を示す要部平面図 ローカル台車の構造を示す正面図 搬送システム内の通信を示す図 変形例の搬送システムの要部正面図 最適実施例の搬送システムの要部側面図
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
図1〜図5に、参考例の搬送システムとその変形とを示す。各図において、2は搬送システムで、4は処理装置で、例えば半導体処理装置及び半導体の検査装置などである。また搬送システム2はクリーンルーム内に設けられている。処理装置4は1個あるいは複数個のロードポート6を備え、その直上部に天井走行車12の軌道10が設けられて、天井から支柱11で支持されている。天井走行車12はホイスト14を備えて、昇降台16を物品18と共に昇降させる。物品18は例えば半導体ウェハーを収容したFOUPであるが、物品18の種類は任意である。また天井走行車12は、ホイスト14以外に、ホイスト14を横送りする装置及びホイスト14を鉛直軸回りに回動させる装置などを備えていてもよい。軌道10と天井走行車12により天井走行車システムを構成し、このシステム自体は公知である。
軌道10の例えば直下にローカル軌道20が設けられ、ローカル軌道20は例えば個々の処理装置毎に設ける。ローカル軌道20を設ける範囲はロードポート6の直上部と例えばその左右両側であるが、ロードポート6の上部とその左右一方のみでもよい。22はローカル台車で、ローカル軌道20に沿って往復動し、昇降台23をベルト,ワイヤ,ロープなどの吊持材24により昇降させる。ロードポート6から見て、ローカル台車22の走行方向の例えば前後双方に、各々2種類のバッファ25a,b,26a,bを設ける。天井走行車12は図1の矢印の方向に走行し、例えば一対のロードポート6,6の上流側のバッファ25a,26bが第1のバッファで、下流側のバッファ25b,26bが第2のバッファである。
バッファ25a,bは、その上部を物品18を支持したローカル台車22が干渉せずに通過できる高さ位置に設け、ロードポート6に対して平面視で隣接した位置に設ける。言い換えると、ローカル台車22が支持する物品18の底面と、バッファ25a,bでの物品載置面との間に、物品18の1個分超の高さの差を設ける。バッファ26a,bは第2のバッファで、バッファ25a,bから見てロードポート6の反対側に設け、その上部を物品18を支持していないローカル台車22は走行できるが、物品18を支持しているローカル台車22は走行できない高さに設ける。言い換えると、ローカル台車22が支持する物品18の底面と、バッファ26a,bでの物品載置面との間の高さの差を、物品18の1個分以下の高さとする。例えばバッファ26a,bはバッファ25a,bよりも物品18の1個分の高さだけ高い位置に設けられ、バッファ25a,b,26a,bで段差が1段の階段を構成している。そしてバッファ25a,b,26a,bは支柱27,28により支持され、支柱27は例えばローカル軌道20の支柱を兼ねているが、ローカル軌道20の支柱とは別体としてもよい。
参考例ではロードポート6の左右両側(天井走行車12の走行方向を基準とすると、ロードポート6の前後両側)にバッファ25a,b,26a,bを設けたが、片側にのみ設けてもよい。バッファの容量が不足する場合、図1に鎖線で示すように、バッファ26a,bをバッファ31の位置へ移動させ、元のバッファ26a,bの下部にバッファ30を設けると良い。そしてこの場合、ローカル軌道20もバッファ31の上部まで延長する。
以上のようにバッファ25a,b,26a,b等を配置すると、天井走行車12とローカル台車22は任意のバッファ25a,b,26a,bとの間で物品18を受け渡しできる。バッファ25a,bは低い位置にあるので、天井走行車12とローカル台車22とが自由にアクセスできるが、物品18を受け渡す際の昇降量が大きい。バッファ26a,bが空の場合、実荷のローカル台車22と実荷の天井走行車12がアクセスできる。バッファ26a,bに物品18が置かれている場合、空荷のローカル台車22と空荷の天井走行車12がアクセスできる。なお天井走行車12は、一対の走行レールから成るローカル軌道20の間隙を介して、物品18を昇降させ、この機構については後述する。
これらの結果、バッファ25a,b,26a,bに対し、ローカル台車22及び天井走行車12とがアクセスできる。バッファ26a,bはバッファ25a,bに比べて高い位置にあるので、天井走行車12及びローカル台車22は移載時間を短縮できる。とくにローカル台車22は、物品18を移載する際の昇降量が短く、移載時間を短縮できる。またバッファ25a,b,26a,bはロードポート6の付近に置かれているので、ローカル台車22は短時間でロードポート6とバッファ25a,b,26a,b間で物品18を搬送できる。
図2は図1のII−II線に沿って下側を見た図であり、天井走行車12と軌道10とを除いて、搬送システム2を表示してある。ローカル軌道20は図2のように一対のレールから成り、レール間は間隙34である。この間隙34の幅は物品18の奥行きよりも大きく、物品18は間隙を鉛直方向に通過できる。またロードポート6の上部に充電装置36が設けられ、ローカル台車22に充電する。図1,図2では充電装置36を一方のロードポート6の直上部に配置したが、他方のロードポートの上部、あるいは一対のロードポート6,6の中間部などに配置してもよい。
天井走行車12は、処理装置4が直ちに必要とする物品以外は、バッファ25a,b,26a,bで物品18を荷下ろしする。また次の処理装置が直ちに必要とする物品以外は、ロードポート6上の物品ではなく、天井走行車12はバッファ25a,b,26a,bの物品を搬出する。そしてロードポート6とバッファ25a,b,26a,b間の搬送は、基本的にローカル台車22が行う。この結果ロードポート6の上部でローカル台車22が充電のため停止しても、天井走行車12による物品の搬送と干渉しない。なお充電装置36はバッファ25a,b,26a,bに面した位置などに設けてもよい。その場合、この位置でローカル台車22が充電のため長時間停止すると、天井走行車12がバッファへアクセスすることが妨げられる。
図3はローカル台車22の構造を示し、38は走行車輪で、走行モータ40により駆動され、42はバッテリーで、受電装置43を介して充電装置36による充電される。受電装置43への給電は、例えば非接触給電、コネクタあるいは充電カプラなどによる接触充電の何れでもよい。44はホイストで、昇降台23を昇降させ、45はチャックで、物品18の上部のフランジを把持及び解放する。
図4は搬送システム内の通信を示し、天井走行車コントローラ50は天井走行車12と通信して搬送指令を割り付ける。例えば充電装置36がローカル台車22のコントローラを兼ね、通信ユニット51を介して天井走行車コントローラ50との間で通信することにより、バッファ25a,b,26a,bでの物品18の有無とそのIDなどを、天井走行車コントローラ50へ報告する。また充電装置36は、天井走行車コントローラ50から、バッファ25a,b,26a,bを経由しての、物品18の搬送について指示を受ける。通信ユニット52は天井走行車12と通信し、天井走行車12がバッファ25a,b,26a,bとの間で物品18を受け渡しする際のインターロックを行う。通信ユニット53はローカル台車22の通信ユニット54と通信し、ローカル台車22に対してバッファ25a,b,26a,bとロードポート6間の物品18の移載を指示する。
搬送システム2の動作について説明する。処理装置4が丁度必要とする時刻に物品18をロードポート6へ供給し、ロードポート6へ物品18が内部から搬出されると、直ちに処理装置4の外部へ取り去ることが、搬送システムの目標である。このためには処理装置4に対して専属のローカル台車22とバッファ25a,b,26a,bとがあればよい。処理装置4が必要とする物品18を予めバッファ25a,b,26a,bに保持し、処理装置4が要求する時刻にロードポート6へ搬送すればよい。またロードポート6へ内部から搬出された物品18を、ローカル台車22で直ちにバッファ25a,b,26a,bへ移載すればよい。そしてバッファ25a,b,26a,bよりも遠方との搬送は天井走行車12が行い、天井走行車12はバッファ25a,b,26a,bの何れに対してもアクセスでき、緊急時等にはロードポート6に対しても直接アクセスできる。
処理装置4が必要とする時点で、バッファ25a,b,26a,bに必要な物品18が置かれていないことがある。このような場合、天井走行車12が物品18をダイレクトにロードポート6へ荷下ろしできると、処理装置4の待ち時間を短縮できる。また次の処理装置が必要とする物品の搬出が遅れている場合、天井走行車12がロードポート6からダイレクトに物品18を取り去ると、次の処理装置の待ち時間を短縮できる。
ローカル台車22はローカル軌道20に沿って短い距離を走行するので、簡単な台車でよい。コントローラとしての充電装置36との通信は、例えば導体のローカル軌道20を信号線に兼用する、ローカル軌道20に沿ってフィーダー線を設ける、もしくは台車22と充電装置36との間で無線通信する、などにより行う。そして充電装置36への電源と、天井走行車コントローラ50との通信線は、支柱27などを利用して配線できる。
参考例ではローカル軌道20を軌道10の直下に配置する例を示したが、これには限らない。このような例を図5に示し、参考例と同じ符号は同じものを表す。60は新たなローカル軌道で、軌道10の直下を避けるようにその下方に配置され、62は新たなローカル台車である。ローカル台車62はガイドローラ63〜65によりローカル軌道60に支持されて走行し、67,68は新たな支柱で、他の点では図1〜図4の参考例と同様である。
最適実施例
図6に最適実施例を示し、図1〜図4と同じ記号は同じものを表し、特に指摘する点以外は図1〜図4の参考例と同様である。天井走行車12は図6の矢印に沿って一方向に走行する。処理装置4は例えば一対のロードポート6,6を備えて、天井走行車12の走行方向で各ロードポート6,6の上流側に第1のバッファ70が、各ロードポート6,6の下流側に第2のバッファ71が設けられている。ローカル軌道20は、ロードポート6、6の上流側の第1のバッファ70の上部から、下流側の第2のバッファ71の上部まで伸びている。72は水平なフレームで支柱27により支持され、ロードポート6,6の上部からその左右(上流側と下流側)とに伸びて、バッファ70,71を支持している。物品18を支持していないローカル台車22は上方を走行可能で、物品18を支持しているローカル台車22は上方を走行不能な高さに、バッファ70,71は配置されている。
平面視で、軌道10及び軌道20とバッファ70,71が重なり、軌道10,20の直下にロードポート6,6がある。また軌道20は2本のレールから成り、レール間に物品18が鉛直方向に通過自在な隙間がある。軌道20に沿ってローカル台車22の停止位置が例えば4個所あり、各個所に充電カプラー等の充電装置74が設けられ、ローカル台車のリチウムイオン電池等のバッテリーあるいは電気二重層キャパシタ等の蓄電器に充電する。ローカル台車22は停止する都度充電を受けることができるので、小容量のバッテリーあるいは小容量のキャパシタにより駆動できる。なおロードポート6,6の直上の位置はローカル台車22の待機位置には適していないので、バッファ70,71の直上の位置にのみ充電装置74を設けても良い。
73はコントローラで、ローカル台車22を制御すると共に、天井走行車12あるいは図4の天井走行車コントローラ50と通信する。フレーム72は、ロードポート6,6の上部に例えば一対のルックダウンセンサ76,76を備え、ロードポート6,6の付近の干渉物、例えば作業者を監視している。ルックダウンセンサ76は例えばレーザ光源と、レーザ光の向きを変えて図6の鎖線の範囲を走査する機構と、反射光の受光素子とを備えている。そして例えば図6の鎖線の範囲内の物体を監視し、鎖線の範囲内に物体を検出すると、コントローラ73はローカル台車22と天井走行車12とに対し該当するロードポート6との移載を禁止する。なお1個のルックダウンセンサ76で複数個のロードポート6を監視するようにしても良い。またコントローラ73は天井走行車12と直接通信せずに、図4の天井走行車コントローラ50を介して通信しても良い。
最適実施例の動作を説明する。天井走行車12はバッファ70,71へ物品18を荷下ろし(搬入)すると共に、ロードポート6,6上の物品18を搬出(荷積み)する。バッファ70に空きが有り、かつロードポート6に搬出すべき物品18がある場合、天井走行車12は搬送してきた物品18をバッファ70へ荷下ろしすると共に、ロードポート18から物品18を搬出する。従って1台の天井走行車12で搬入と搬出とを実行できる。ローカル台車22はバッファ70,71の物品をロードポート6,6へ搬入する。ローカル台車22の待機位置はバッファ70,71の上部で、待機位置を交互に変える。例えばバッファ71上の物品をロードポート6へ搬入すると、バッファ70上で待機し、次にバッファ70の物品を速やかにロードポート6へ搬入できるようにする。なおバッファ70,71のいずれにも物品18がない場合、天井走行車12がバッファ70へ物品18を荷下ろしできるように、バッファ71上で待機しても良い。ロードポート6,6が物品18でオーバーフローするおそれがある場合は、ローカル台車22がロードポート6からバッファ70,71へ物品を搬出しても良い。また特急品に対しては、天井走行車12が直接ロードポート6へ物品を搬入しても良い。
最適実施例では、バッファ70,71はロードポート6,6に隣接し、軌道20とバッファ70,71との高さの差は小さい。従ってローカル台車22は短時間で物品18をバッファ70,71からロードポート6へ搬入できる。天井走行車12からすると、処理装置4は搬出専用の2個のロードポートと搬入専用の2個のロードポートを備えているのと同様になる。このため物品18をロードポート6へ荷下ろしできないトラブルを減らすことができる。また処理装置4からすると、バッファ70,71に最大2物品まで処理予定の物品を蓄積できる。
実施例と参考例では以下の効果が得られる。
(1) 処理装置4の前面を塞がずにバッファ25a,b,26a,bを設けることができる。
(2) 天井走行車12が走行するスペースとローカル台車22が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができ、搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。
(3) 参考例では、バッファ25a,b,26a,bを階段状に上下2段に配置するので、天井走行車12とローカル台車22は任意のバッファ25a,b,26a,bにアクセスできる。特に、バッファ26a,bは、ローカル軌道20との高さレベルの差が少ないので、小さな昇降量で物品18を供給搬出できる。
(4) ローカル軌道20に設けた間隙34を物品18が通過するので、ローカル軌道20とバッファ25a,b,26a,bを天井走行車12の軌道10の直下に配置できる。
(5) 処理装置4及び既存の天井走行車システムをほとんど改造せずに、ローカル軌道20とローカル台車22及びバッファ25a,b,26a,bから成る搬送システムを後付けできる。
(6) ローカル台車22は短いローカル軌道20を往復するので、ロードポート6とバッファ25a,b,26a,bとの間で速やかに物品を供給搬出できる。特にロードポート6の前後両側にバッファ25a,b,26a,bを設けると、ロードポート6の付近にバッファ25a,b,26a,bを多数設けることができる。
(7) ロードポート6の上部に充電装置36を設けると、天井走行車12のバッファ25a,b,26a,bへのアクセスを妨げずに、ローカル台車22のバッテリー42を充電できる。またバッテリー駆動なので、ローカル軌道20に給電レールを併設する必要がない。
なお全ての処理装置4に対して、バッファ70,71とローカル軌道20及びローカル台車22からなるシステムを設ける必要はない。例えば物品18の処理量の多い処理装置4に対してのみ設けても良い。搬送する物品18の種類は任意で、例えば半導体露光用のレチクルを収容したカセット、フラットパネルディスプレイの基板等でも良い。
2 搬送システム
4 処理装置
6 ロードポート
10 軌道
11 支柱
12 天井走行車
14 ホイスト
16 昇降台
18 物品
20 ローカル軌道
22 ローカル台車
23 昇降台
24 吊持材
25a,b バッファ
26a,b バッファ
27,28 支柱
30,31 バッファ
34 間隙
36 充電装置
38 走行車輪
40 走行モータ
42 バッテリー
43 受電装置
44 ホイスト
45 チャック
50 天井走行車コントローラ
51〜54 通信ユニット
60 ローカル軌道
62 ローカル台車
63〜65 ガイドローラ
67,68 支柱
70,71 バッファ
72 フレーム
73 コントローラ
74 充電装置
76 ルックダウンセンサ

Claims (6)

  1. クリーンルーム内の複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
    前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
    前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    第1のバッファと、
    第2のバッファとを備え、
    前記第1のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
    前記第2のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。
  2. 前記ローカル軌道は2本の平行なレールから成り、かつ2本のレールの間に、物品が鉛直方向に移動できる間隙が設けられていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
  3. 天井走行車は前記第1のバッファと前記第2のバッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記第1のバッファと前記第2のバッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように、天井走行車とローカル台車を制御する手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項1または2の搬送システム。
  4. ロードポートの上方に配置される水平なフレームにより前記第1のバッファと前記第2のバッファとが支持され、前記フレームにロードポート側の干渉物を検出するためのルックダウンセンサが設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかの搬送システム。
  5. クリーンルーム内の既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムであって、
    前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
    前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    第1のバッファと、
    第2のバッファとを備え、
    前記第1のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
    前記第2のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成されている、ことを特徴とする、搬送システム。
  6. クリーンルーム内で、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを用いて、ロードポートへ物品を搬送する方法であって、
    前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に天井走行車軌道と平行に配置されて、クリーンルームの天井側から支持されるローカル軌道と、
    前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    第1のバッファと、
    第2のバッファとを備え、
    前記第1のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
    前記第2のバッファは、
    処理装置のロードポートよりも高い位置に、クリーンルームの天井側から支持されることにより、前記ローカル軌道の下部で、かつ前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側にロードポートの直上部を外すように固定され、
    物品を載置しているときは、物品を支持していないローカル台車のみが上方を走行可能で、物品を載置していないときは、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上方を走行自在な高さに設けられ、
    天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在で、
    さらに物品を1個だけ載置できるように構成され、
    天井走行車が第1のバッファまたは第2のバッファへ物品を荷下ろしするステップと、
    ローカル台車が第1のバッファまたは第2のバッファの物品をロードポートへ荷下ろしするステップと、
    天井走行車がロードポートの物品を搬出するステップ、とを実行することを特徴とする、搬送方法。
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