JP2007331906A - 天井走行車システム - Google Patents
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Abstract
【構成】 走行レール20,21を上下に設け、上層の走行レール20から天井走行車32がアクセス可能なバッファ28,26と下層の走行レール21からアクセス可能なバッファ29を設ける。さらに走行レール20,21を接続する昇降路を設ける。
【効果】 バッファの数を増すと共に、天井走行車は上下何れのバッファにもアクセスできる。
【選択図】 図2
Description
この発明は天井走行車システムに関し、特にバッファの増設に関する。
天井走行車の走行レールの側方や下方にバッファを設けることが知られている(特許文献1)。ここで発明者はバッファの数をさらに増すことを検討して、この発明に到った。
特開2005−206371号公報
この発明の課題は、天井走行車が物品を受け渡しできるバッファの数を増すことにある。
請求項2,4の発明での追加の課題は、上層の走行レールの下方にバッファを設置するコストを低減することにある。
請求項3の発明での追加の課題は、上下各層の走行レールの側方にバッファを設置するコストを低減することにある。
請求項2,4の発明での追加の課題は、上層の走行レールの下方にバッファを設置するコストを低減することにある。
請求項3の発明での追加の課題は、上下各層の走行レールの側方にバッファを設置するコストを低減することにある。
この発明は、走行レールに沿って天井走行車を走行させると共に、天井走行車が物品を受け渡し自在な位置に、走行レールに沿ってバッファを設けた天井走行車システムにおいて、前記走行レールを少なくとも上下2層に配置すると共に、上下の走行レール間を天井走行車が移動するための手段を設け、さらに前記バッファを上下の走行レールの各々に対して設けた、ことを特徴とする。
好ましくは、上層の走行レールの下方にバッファを設けると共に、該下層の走行レールと前記上層の走行レールの下方のバッファとを共通の支持部材で支持する。
また好ましくは、前記下層の走行レールの上面に、前記上層の走行レール下方のバッファを設ける。バッファを走行レールの上面に設けるとは、走行レールの上面自体をバッファとすることや、バッファを走行レールの上面に取り付けることを意味する。
なお走行レールの下方のバッファをアンダーバッファということがある。
また好ましくは、前記下層の走行レールの上面に、前記上層の走行レール下方のバッファを設ける。バッファを走行レールの上面に設けるとは、走行レールの上面自体をバッファとすることや、バッファを走行レールの上面に取り付けることを意味する。
なお走行レールの下方のバッファをアンダーバッファということがある。
また好ましくは、上層の走行レールの側方と、下層の走行レールの側方とに、各々バッファを設けると共に、前記各バッファを共通の支持部材で支持する。また以下走行レールの側方のバッファを、サイドバッファということがある。
この発明では、上下2層の走行レールの各々に対してバッファを設けるので、バッファの数を増すことができる。また天井走行車は上下2層の走行レール間を移動できるので、上下何れの層のバッファも利用できる。従って全体として、天井走行車システムの搬送能力と物品のバッファ能力を高めることができる。
ここで下層の走行レールと上層の走行レール下方のバッファとを共通の支持部材で支持すると、バッファの設置コストを低減できる。特に下方の走行レールの上面にバッファを設けると、設置コストをさらに低減できる。
また上層の走行レールの側方と、下層の走行レールの側方とに、各々バッファを設けると共に、前記各バッファを共通の支持部材で支持すると、側方のバッファの設置コストを低減できる。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図1〜図5に、実施例の天井走行車システム2とその変形とを示す。図1に上下の走行ルートの配置を模式的に示す。天井走行車システム2は例えばクリーンルーム内に配置され、床面から天井面までの高さは例えば4m以上で、上層走行ルート4と下層走行ルート6とを、床面からの高さ位置を違えて、上下例えば2層に配置してある。なお実施例では走行ルート4,6を上下2層に配置するが、上中下の3層以上に配置してもよい。走行ルート4,6は昇降路7,8で接続され、昇降路7は下層走行ルート6から上層走行ルート4への昇降路で、昇降路8は上層走行ルート4から下層走行ルート6への昇降路である。実施例では天井走行車が昇降路7,8を自走して昇降する。しかし昇降路7,8の代わりに、天井走行車の走行レール付きのエレベータを設けて、走行レールに沿って天井走行車がエレベータ内に出入りし、エレベータで上下の走行ルート4,6を接続してもよい。10は分岐部、12は合流部である。そして例えば、下層走行ルート6から物品を受け渡し自在な位置に、図示しない処理装置のロードポート14がある。図1には示さなかったが、上下の走行ルート4,6各々の下方にアンダーバッファを、側方にサイドバッファを設けて、物品をバッファする。
図2に、ロードポート14の付近での、上層の走行レール20と下層の走行レール21とを示す。上層の走行レール20は上層走行ルートの一部で、下層の走行レール21は下層走行ルートの一部である。22,23は走行レール20,21の支持用のアームで、24はその支柱であり、下層の走行レール21の上面を上層の走行レール20の下方のアンダーバッファ26として用いる。28,29はサイドバッファで、サイドバッファ28は、走行レール20を走行する天井走行車から物品40を受け渡し自在で、サイドバッファ29は、下層の走行レール21を走行する天井走行車から物品を受け渡し自在である。30は支柱で、サイドバッファ28,29の共通の支持部材である。42はサイドバッファ28と支柱30とを接続するアーム、43はサイドバッファ29と支柱30とを接続するアームである。
天井走行車32は図示しない走行部を備えて、走行部は走行レール20,21内に収容されている。34は横移動部で、36は昇降駆動部で、物品40を把持/解放自在な昇降台38を昇降させる。そして横移動部34により昇降駆動部36〜物品40を横移動させ、サイドバッファ28,29との間で物品を受け渡しできるようにする。
図3に、サイドバッファ28とアンダーバッファ26の上面を示す。アンダーバッファ26は走行レール21の上面に設けられ、44は物品の底部を位置決めするためのピンで、走行レール21はピン44等のバッファとして必要な部材を取り付けた走行レールである。サイドバッファ28,29はピン44等を設けた板やフレームで構成されている。バッファ26,28,29等には、ピン44等の位置決め具の他に、バーコードやRFID等のバッファのID、バッファ上の物品の有無を天井走行車32が検出しやすくするための反射板等がある。
実施例の動作を説明する。ロードポート14との間で物品40を受け渡しする場合、図2のように天井走行車32は下層の走行レール21に沿って走行し、昇降駆動部36で昇降台38を昇降させる。この場合、上層の走行レール20を走行する天井走行車は、ロードポート14との間で物品の受け渡しができないので、上層の走行レール20はバイパス用に、下層の走行レール21はロードポート14との間の物品の受け渡し用とする。上層の走行レール20に対してはサイドバッファ28とアンダーバッファ26とを設け、下層の走行レール21に対してはサイドバッファ29の他に、ロードポート14の無い位置では、図4,図5に示したアンダーバッファ27を設ける。
ロードポート14から荷積みした物品、あるいはロードポート14へ荷下ろしする予定の物品は、サイドバッファ29や下層の走行レール21の下側のアンダーバッファに一時保管する。遠方のロードポートへ搬送する予定の物品は、サイドバッファ28やアンダーバッファ26を中継点として、一時保管する。また走行レール20,21は、図1の昇降路7,8で接続されているので、天井走行車32はいずれの走行レール20,21も走行できる。これらの結果、天井走行車が使用できる走行ルートが増し、上層の走行ルート4からなるバイパスルートによって渋滞の影響を受けにくくなり、また投入できる天井走行車32の台数が2倍に増すので、搬送能力が増加する。バッファ26,28,29等を上下両層の走行レール20,21に対して設けるので、バッファの数も2倍に増加できる。この結果、処理装置15へ搬入予定の物品をそのロードポート14付近のバッファまで予め搬送し、ロードポート14が空くと速やかに搬入できる。またロードポート14から搬出した物品を、次の行先のロードポートが利用できなくても、バッファに保管することにより、ロードポートから速やかに物品を搬出できる。そして天井走行車32は上層の走行ルート4と下層の走行ルート6の間を移動自在なので、いずれの層のバッファも利用できる。
実施例ではさらに、アンダーバッファ26を下層の走行レール21の上面に設けるので、その設置コストを極めて小さくできる。具体的にはピン44を設けた板やフレームを、走行レール21の上面に取り付けるだけでよい。またサイドバッファ28,29を上下に重ね、共通の支柱30で支持するので、水平方向に見た専有面積が小さくし、かつ設置コストも小さくできる。
図4は、天井走行車32が左右双方に昇降駆動部36を横移動できる場合の、変形例である。この場合、上層の走行レール20からでも下層の走行レール21からでも、天井走行車32は昇降駆動部36を横移動させて、ロードポート14との間で物品40を受け渡しする。このようにすると、下層の走行レール21の下側の空間をアンダーバッファに利用できるので、支柱24を下側に延長した支柱25を設け、アンダーバッファ27を支持させる。またロードポート14の無いエリアでは、図4の右側に鎖線で示すように、支柱30を設けて、上層の走行レール20に対するサイドバッファ46を増設する。ここで、処理装置15と干渉しなければ、支柱30をさらに下方へ延長し、下層の走行レール21に対するサイドバッファを増設してもよい。特に指摘した点以外は、図4の変形例は、図1〜図3の実施例と同様である。
図5に第2の変形例を示す。この変形例でも、天井走行車32は横移動部34により昇降駆動部36を左右双方に横移動させる。そしてこの変形例では、支柱24を用いてアーム23のやや上方にアンダーバッファ52を設ける。なおアンダーバッファ52を走行レール21で支持してもよい。さらに下層の走行レール21の下方に、アンダーバッファ27を設ける。図示しない処理装置などと干渉しない場合、走行レール20,21の処理装置側にも支柱30を設けて、支柱30とアーム42,43により上下2層のサイドバッファ46,48を支持する。
実施例では以下の効果が得られる。
(1) 上下2層の走行ルート4,6があり、天井走行車32は昇降路7,8によりいずれの走行ルートも利用できるので、物品40の搬送能力が向上する。
(2) 上下2層の走行ルート4,6に対して、いずれもサイドバッファ28,29やアンダーバッファ26,27等を設けるので、バッファの数を増すことができる。
(3) 下層の走行ルート6はロードポート14との間の物品の受け渡しに用い、下側のサイドバッファ29やアンダーバッファ27はロードポート14との間で受け渡しする物品のバッファに用いることができる。上層走行ルート4はバイパス路あるいは迂回路として用い、サイドバッファ28やアンダーバッファ26は、長距離搬送用の物品の中継用のバッファとして用いることができる。
(4) アンダーバッファ26,27,52は下層の走行レール21を文字通りに利用して、もしくはその支柱24を利用して設置できるので、設置コストを低減できる。
(5) 上下のサイドバッファ28,29は、同じスペースで共通の支柱30で設置できるので、設置が容易でそのコストも小さい。
(1) 上下2層の走行ルート4,6があり、天井走行車32は昇降路7,8によりいずれの走行ルートも利用できるので、物品40の搬送能力が向上する。
(2) 上下2層の走行ルート4,6に対して、いずれもサイドバッファ28,29やアンダーバッファ26,27等を設けるので、バッファの数を増すことができる。
(3) 下層の走行ルート6はロードポート14との間の物品の受け渡しに用い、下側のサイドバッファ29やアンダーバッファ27はロードポート14との間で受け渡しする物品のバッファに用いることができる。上層走行ルート4はバイパス路あるいは迂回路として用い、サイドバッファ28やアンダーバッファ26は、長距離搬送用の物品の中継用のバッファとして用いることができる。
(4) アンダーバッファ26,27,52は下層の走行レール21を文字通りに利用して、もしくはその支柱24を利用して設置できるので、設置コストを低減できる。
(5) 上下のサイドバッファ28,29は、同じスペースで共通の支柱30で設置できるので、設置が容易でそのコストも小さい。
実施例では走行レール20,21を上下に重ねた例を示したが、全ての位置で上下に重ねる必要はなく、例えば天井走行車の走行量が少ないエリアでは、上下いずれか1層のみでもよい。また天井走行車32の横移動部34が、一方にのみ昇降駆動部36を横移動できる場合、上層の走行レール20と下層の走行レール21とを、部分的に平面視で位置を変えて配置してもよい。
2 天井走行車システム
4 上層走行ルート
6 下層走行ルート
7,8 昇降路
10 分岐部
12 合流部
14 ロードポート
15 処理装置
20 上層の走行レール
21 下層の走行レール
22,23 アーム
24,25,30 支柱
26,27,52 アンダーバッファ
28,29 サイドバッファ
32 天井走行車
34 横移動部
36 昇降駆動部
38 昇降台
40 物品
42,43 アーム
44 ピン
46,48 サイドバッファ
4 上層走行ルート
6 下層走行ルート
7,8 昇降路
10 分岐部
12 合流部
14 ロードポート
15 処理装置
20 上層の走行レール
21 下層の走行レール
22,23 アーム
24,25,30 支柱
26,27,52 アンダーバッファ
28,29 サイドバッファ
32 天井走行車
34 横移動部
36 昇降駆動部
38 昇降台
40 物品
42,43 アーム
44 ピン
46,48 サイドバッファ
Claims (4)
- 走行レールに沿って天井走行車を走行させると共に、天井走行車が物品を受け渡し自在な位置に、走行レールに沿ってバッファを設けたシステムにおいて、
前記走行レールを少なくとも上下2層に配置すると共に、上下の走行レール間を天井走行車が移動するための手段を設け、さらに前記バッファを上下の走行レールの各々に対して設けた、ことを特徴とする天井走行車システム。 - 上層の走行レールの下方にバッファを設けると共に、該下層の走行レールと前記上層の走行レールの下方のバッファとを共通の支持部材で支持することを特徴とする、請求項1の天井走行車システム。
- 前記下層の走行レールの上面に、前記上層の走行レール下方のバッファを設けたことを特徴とする、請求項1の天井走行車システム。
- 上層の走行レールの側方と、下層の走行レールの側方とに、各々バッファを設けると共に、前記各バッファを共通の支持部材で支持することを特徴とする、請求項1の天井走行車システム。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011111283A1 (ja) | 2010-03-08 | 2011-09-15 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP2012111635A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-06-14 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及び搬送方法 |
WO2017029871A1 (ja) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
WO2018088089A1 (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法 |
JPWO2020153040A1 (ja) * | 2019-01-25 | 2021-11-25 | 村田機械株式会社 | 保管システム |
JPWO2020153039A1 (ja) * | 2019-01-25 | 2021-11-25 | 村田機械株式会社 | 保管システム |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4688824B2 (ja) * | 2007-01-12 | 2011-05-25 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法 |
JP2010184760A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Muratec Automation Co Ltd | 移載システム |
JP4807424B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2011-11-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
JP5445015B2 (ja) * | 2009-10-14 | 2014-03-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | キャリア移載促進装置 |
EP2554494B1 (en) * | 2010-04-02 | 2020-02-05 | Murata Machinery, Ltd. | Side buffer for a transport vehicle that travels along the ceiling, and transport vehicle system |
KR101533366B1 (ko) | 2010-11-04 | 2015-07-02 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템 및 반송 방법 |
JP5382470B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2014-01-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
TWI447058B (zh) * | 2011-11-30 | 2014-08-01 | Inotera Memories Inc | 天車輸送系統及其運轉方法 |
CN104395207B (zh) * | 2012-07-26 | 2016-07-06 | 村田机械株式会社 | 桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法 |
WO2018003287A1 (ja) | 2016-06-27 | 2018-01-04 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
DE102017119928A1 (de) * | 2016-09-27 | 2018-03-29 | Westfalia Intralogistic Gmbh | Logistiksystem |
JP6766584B2 (ja) * | 2016-10-19 | 2020-10-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6883120B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-06-09 | パーキンエルマー インフォマティクス, インコーポレイテッド | 化学情報を含む文書の検索および索引付けのためのシステムおよび方法 |
KR102270043B1 (ko) | 2017-08-29 | 2021-06-28 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 |
JP6704423B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2020-06-03 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
CN108821125B (zh) * | 2018-06-25 | 2020-04-14 | 芜湖中铁科吉富轨道有限公司 | 一种钢轨输送加工用悬吊装置及其使用方法 |
WO2020095571A1 (ja) | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 村田機械株式会社 | 天井吊下棚 |
KR102252736B1 (ko) * | 2019-07-29 | 2021-05-17 | 세메스 주식회사 | 반도체 제조 설비용 이송 장치 |
TWI714472B (zh) * | 2020-03-12 | 2020-12-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓載具運輸系統 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970011065B1 (ko) * | 1992-12-21 | 1997-07-05 | 다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치와 기판처리장치에 있어서 기판교환장치 및 기판교환방법 |
JP4648190B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2011-03-09 | 平田機工株式会社 | 基板搬送システム |
JP4045451B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4337683B2 (ja) * | 2004-08-16 | 2009-09-30 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
-
2006
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-
2008
- 2008-04-23 HK HK08104500.7A patent/HK1110057A1/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9004840B2 (en) | 2010-03-08 | 2015-04-14 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility with intermediate transfer device |
US9592959B2 (en) | 2010-03-08 | 2017-03-14 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility with intermediate rack |
TWI607937B (zh) * | 2010-03-08 | 2017-12-11 | 大福股份有限公司 | 物品搬送設備 |
WO2011111283A1 (ja) | 2010-03-08 | 2011-09-15 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP2012111635A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-06-14 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及び搬送方法 |
KR102062179B1 (ko) * | 2015-08-14 | 2020-01-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템 |
WO2017029871A1 (ja) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JPWO2017029871A1 (ja) * | 2015-08-14 | 2018-02-22 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
KR20180039129A (ko) | 2015-08-14 | 2018-04-17 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템 |
US10734267B2 (en) | 2015-08-14 | 2020-08-04 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system |
US20190006217A1 (en) * | 2015-08-14 | 2019-01-03 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system |
JPWO2018088089A1 (ja) * | 2016-11-08 | 2019-07-25 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法 |
WO2018088089A1 (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法 |
TWI738911B (zh) * | 2016-11-08 | 2021-09-11 | 日商村田機械股份有限公司 | 高架搬送車及高架搬送車之控制方法 |
JPWO2020153040A1 (ja) * | 2019-01-25 | 2021-11-25 | 村田機械株式会社 | 保管システム |
JPWO2020153039A1 (ja) * | 2019-01-25 | 2021-11-25 | 村田機械株式会社 | 保管システム |
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US11673741B2 (en) | 2019-01-25 | 2023-06-13 | Murata Machinery, Ltd. | Storage system |
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